CH697685B1 - Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Dünnschichtsystems mittels Zerstäuben. - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Dünnschichtsystems mittels Zerstäuben. Download PDF

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CH697685B1
CH697685B1 CH8532005A CH8532005A CH697685B1 CH 697685 B1 CH697685 B1 CH 697685B1 CH 8532005 A CH8532005 A CH 8532005A CH 8532005 A CH8532005 A CH 8532005A CH 697685 B1 CH697685 B1 CH 697685B1
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working chamber
thin
vacuum working
layer
gas
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CH8532005A
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Hagen Dr Bartzsch
Peter Dr Frach
Klaus Goedicke
Stephan Lange
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Fraunhofer Ges Forschung
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
    • C23C14/0036—Reactive sputtering
    • C23C14/0042—Controlling partial pressure or flow rate of reactive or inert gases with feedback of measurements

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