CH694038A5 - Haltevorrichtung zur Positionierung mehrerer Gegenstände auf einem Substrat und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung - Google Patents

Haltevorrichtung zur Positionierung mehrerer Gegenstände auf einem Substrat und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung Download PDF

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CH694038A5
CH694038A5 CH01471/99A CH147199A CH694038A5 CH 694038 A5 CH694038 A5 CH 694038A5 CH 01471/99 A CH01471/99 A CH 01471/99A CH 147199 A CH147199 A CH 147199A CH 694038 A5 CH694038 A5 CH 694038A5
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Hoi Cheong Steve Sun
Christina Knoedler
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Delsys Pharmaceutical Corp
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Description


  



   Synthetische Perlen, die im Allgemeinen einen Durchmesser von mehreren  hundert Mikrometern haben, werden in der chemischen Industrie beispielsweise  für die Unterstützung bei der chemischen Synthese verwendet. Beispielsweise  werden solche Perlen bzw. Kügelchen in der kombinatorischen Chemie  für die Festphasensynthese verwendet, was zu Tausenden und üblicherweise  Zehntausenden verschiedener Mitglieder einer Kombinationsbibliothek  führt. In der kombinatorischen Chemie wird eine Vielkanalanordnung,  wie zum Beispiel eine Mikrotiterplatte, verwendet, um eine Vielzahl  chemischer Verbindungen gleichzeitig auszusieben bzw. zu durchmustern.  Jeder Kanal erfordert die Hinzufügung einer individuellen Perle für  ein solches Durchmustern. 



   Um die Perlen (Beads) einem Feld bzw. Array mit individuellen Vertiefungen  (Wells) hinzuzufügen, werden die Perlen einzeln beispielsweise unter  Verwendung einer Mikropipette dem Array hinzugefügt. Die Verwendung  einer Mikropipette für das einzelne Abgeben von Perlen auf ein Array  ist ineffizient, umständlich und zeitraubend und es führt üblicherweise    zum Verstopfen der Öffnung der Mikropipette. Wenn man beispielsweise  annimmt, dass es im Durchschnitt etwa 30 Sekunden dauert, eine einzelne  Perle in jeder Vertiefung anzuordnen, so würde man etwa 48 Minuten  brauchen, um die Perlen in einer Mikrotiterplatte mit 96 Vertiefungen  anzuordnen und es würde mehr als 83 Stunden dauern, um die Perlen  in einer Platte mit 10 000 Vertiefungen anzuordnen. Es besteht daher  ein Bedürfnis für eine wirksamere Einrichtung zum Positionieren und  Abscheiden bzw.

   Ablegen mehrerer kleiner Gegenstände, wie zum Beispiel  Perlen auf einem Substrat, einschliesslich einer Mikrotiterplatte  mit einer Vielzahl von Vertiefungen (Wells).  Zusammenfassung  der Erfindung  



   Die Nachteile, die bisher mit dem Stand der Technik verknüpft waren,  werden durch die erfindungsgemässe Technik und die Vorrichtung zum  gleichzeitigen Anziehen mehrerer Gegenstände an ein Substrat überwunden.  Die vorliegende Erfindung stellt Vorteile, einschliesslich der Kosteneffektivität,  der Effizienz und beispielsweise auch der Fähigkeit für das gleichzeitige  Anordnen einzelner Perlen in einer Vielzahl von Vertiefungen bereit.                                                           



   Die Erfindung ist unter anderem auf Vorrichtungen mit einer Halteeinrichtung  und entsprechende Verfahren zum Positionieren mehrerer Gegenstände  gerichtet, wahlweise auch für den Transport auf ein Aufnahmesubstrat.  Halteeinrichtungen werden hier definiert als Klemmen oder Halterungen  für das Halten eines Gegenstandes oder von Gegenständen. Die Gegenstände  können von der Halteeinrichtung freigegeben werden, wenn dies erwünscht  ist, wie zum Beispiel dann, wenn die Gegenstände für das Abscheiden  auf dem Aufnahmesubstrat positioniert sind.

   Statt dass konventionelle  mechanische Klemmen verwendet werden, die auf Kompression beruhen  oder Kompression verwenden, richtet sich die vorliegende Erfindung  auf den Gebrauch von negativem Druck in einer Vakuumhalterung oder  auf statische Elektrizität für die Haltekraft, die auf die von der  Halteeinrichtung gehaltenen Gegenstände aufgebracht wird. 



   Gemäss einem Aspekt ist die vorliegende Erfindung auf eine Vorrichtung  für das Positionieren oder Transportieren mehrerer Gegenstände wie  zum Beispiel von Perlen in einer ausgewählten Konfiguration gerichtet,  wobei jeder Gegenstand vorzugsweise eine Dicke von weniger als etwa  3 mm oder eine durchschnittliche Breite oder Durchmesser von weniger  als oder etwa gleich 1 mm hat, mit: einer nichtmechanischen Halteeinrichtung,  die eine Schicht für das Halten der Gegenstände hat, wobei die Schicht  einen Aufbau hat, der im Wesentlichen der ausgewählten Konfiguration  entspricht. In bevorzugten Ausführungsformen beruht die Halteeinrichtung  auf Vakuumbasis oder auf elektrostatischer Basis. 



     Zusätzlich zur Halteeinrichtung ist die vorliegende Erfindung  auch auf Verfahren gerichtet, die die Verwendung von Halteeinrichtungen  beinhalten, beispielsweise ist die vorliegende Erfindung auf ein  Verfahren zum Positionieren mehrerer Gegenstände gerichtet, die vorzugsweise  eine Dicke von weniger als etwa 3 mm und einen Durchmesser von weniger  als etwa 1 mm haben, wie zum Beispiel Perlen, und zwar in einer ausgewählten  Konfiguration, mit: (a) Bereitstellen einer nichtmechanischen Halteeinrichtung,  die eine Schicht für das Halten der Gegenstände hat, wobei die Schicht  eine Konfiguration hat, die im Wesentlichen der ausgewählten Konfiguration  entspricht, (b) Aufbringen der Gegenstände auf der Halteeinrichtung  und (c) Positionieren der Gegenstände unter Verwendung der Halteeinrichtung.

    Vorzugsweise beinhalten die Verfahren die Verwendung von Halteeinrichtungen,  die auf Vakuumbasis oder elektrostatischer Basis beruhen. 



   Nach einem weiteren Aspekt ist die vorliegende Erfindung auf ein  Verfahren zum Transportieren mehrerer Gegenstände wie zum Beispiel  Perlen zu einem Aufnahmesubstrat gerichtet, das eine Ausgestaltung  bzw. Konfiguration für das Aufnehmen der Gegenstände hat, wobei jeder  Gegenstand vorzugsweise einen durchschnittlichen Durchmesser von  weniger als etwa 1 mm hat, mit: (a) Bereitstellen einer nichtmechanischen  Halteeinrichtung, wie zu Beispiel einer Vakuumhalteeinrichtung oder  einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die eine Schicht für das  Halten der Gegenstände hat, wobei die Schicht eine Ausgestaltung  bzw. Konfiguration hat, die im Wesentlichen der Konfiguration des  Aufnahmesubstrates entspricht, (b) Aufbringen der Gegenstände auf  der Halteeinrichtung und (c) Transportieren der Gegenstände zu  dem Aufnahmesubstrat.

   Vorzugsweise beinhaltet dieses Verfahren die  Verwendung einer Halteeinrichtung, die auf Vakuum oder Elektrostatik  beruht. Dieses Verfahren sieht vorzugsweise das Ausrichten der Halteeinrichtung  und des Aufnahmesubstrates vor dem Transport der Gegenstände und  das Freigeben der Gegenstände durch Freigeben oder Umkehren des Effektes  der nichtmechanischen Halteeinrichtung vor, welche beispielsweise  mit Vakuum oder mit elekt-rostatischen Einrichtungen arbeitet. 



   Die Halteeinrichtung auf Vakuumbasis der Erfindung kann mit zahlreichen  Arten von Gegenständen, einschliesslich Perlen, verwendet werden,  die wiederum mehr als einen Typ von Perlen umfassen können und die  vorzugsweise einen Durchmesser haben, der grösser als etwa 100 Mikrometer  und noch bevorzugter einen Durchmesser zwischen etwa 100 und 300    Mikrometer, besonders einen Durchmesser von etwa 125 bis 175 Mikrometer,  wie zum Beispiel 150 Mikrometer, haben. 



   Zusätzlich zu den Halteeinrichtungen auf Vakuumbasis ist die vorliegende  Erfindung auch auf die Verwendung von elektrostatischer Anziehung  gerichtet, um mehrere Gegenstände an einer Halteeinrichtung anhaften  zu lassen. Diese Halteeinrichtung wird hier als "elektrostatische  Halteeinrichtung mit Leitungspfaden" bezeichnet. 



   Gemäss einem weiteren bevorzugten Aspekt ist die vorliegende Erfindung  auf eine elektrostatische Halteeinrichtung für das elektrostatische  Anziehen mehrerer Gegenstände, wie zum Beispiel Perlen, gerichtet,  wobei die Halteeinrichtung aufweist: (a) eine untere leitfähige Schicht,  (b) eine mittlere dielektrische Schicht und (c) eine obere leitfähige  Schicht, wobei die obere leitfähige Schicht Öffnungen hat, welche  die mittlere dielektrische Schicht freigeben. 



   Weiterhin ist die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur chemischen  Herstellung gerichtet, welches die Verwendung einer elektrostatischen  Halteeinrichtung für das Anziehen mehrerer Gegenstände, wie zum Beispiel  Perlen, an ein Substrat verwendet, wobei die Gegenstände eine chemische  Reaktion unterstützen. Zusätzlich stellt die vorliegende Erfindung  die Verwendung der elektrostatischen Halteeinrichtung für das Anziehen  mehrerer Gegenstände bereit. Diese Verwendung wird vorzugsweise bewirkt  mit mehreren Gegenständen, wie zum Beispiel einer Mehrzahl von Perlen,  die verwendet werden, um eine chemische Reaktion für eine chemische  Untersuchung oder chemische Herstellung zu unterstützen.

   Beispielsweise  kann die elektrostatische Halteeinrichtung verwendet werden, um eine  Mehrzahl von Perlen an ein Substrat anzuziehen und die Perlen gegen  Schwerkraft an einem Substrat zu halten. Die Halteeinrichtung kann  auch verwendet werden, um im Wesentlichen gleichzeitig eine Mehrzahl  von Perlen zu positionieren. Die Halterung kann dann verwendet werden,  um die Perlen im Wesentlichen gleichzeitig zu einem Aufnahmesubstrat,  wie zum Beispiel einem Substrat, welches eine Mehrzahl von Vertiefungen  hat, zu transportieren, wobei die Verwendung der Halteeinrichtung  weiterhin das Transportieren von jeweils einer Perle zu jeder Vertiefung  aufweist.

   Weiterhin stellt die vorliegende Erfindung die Verwendung  einer elektrostatischen Halteeinrichtung bereit, die ein Vorspannpotenzial  für das Anziehen einer Perle an ein Substrat hat, wobei vorzugsweise  das Vorspannpotenzial grösser als etwa 200 Volt ist und noch bevorzugter  grösser als etwa 1000 Volt.    Kurze Beschreibung der Figuren       Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht einer schematischen  Wiedergabe einer Vakuum-Halteeinrichtung für das Positionieren von  Gegenständen gemäss der vorliegenden Erfindung.     Fig. 2 ist  eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit Leitungspfaden gemäss der vorliegenden Erfindung.     Fig. 3 ist ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit Leitungspfaden gemäss der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe  einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit Öffnungen in der oberen  Elektrode für das Positionieren von Gegenständen gemäss der vorliegenden  Erfindung.     Fig. 5 ist ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen  Halteeinrichtung, wie in Fig. 4 dargestellt.     Fig. 6 ist eine  Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit fingerartig ineinander greifenden Elektroden  gemäss der vorliegenden Erfindung.     Fig. 7 ist eine Ansicht  von oben auf eine schematische Wiedergabe der fingerartig ineinander  greifenden Elektroden nach Fig. 6.

       Fig. 8A und 8B sind Schaltkreisdiagramme  einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die zwei Elektroden hat,  Fig. 8A zeigt die Halteeinrichtung ohne eine untere leitfähige Schicht  und Fig. 8B zeigt die Halteeinrichtung mit einer unteren elektrisch  leitfähigen Schicht.     Fig. 9A ist eine Ansicht von oben einer  schematischen Wiedergabe der Einzelelektrode nach Fig. 9B.      Fig. 9B ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe  einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode  auf der oberen leitfähigen Schicht, welche von der dielektrischen  Schicht vorsteht, gemäss der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 9C  ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe einer  elektrostatischen Halteeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung  mit einer einzelnen Elektrode auf der oberen leitfähigen Schicht,  die in die dielektrische Schicht hinein zurückversetzt bzw. eingedrückt  ist.     Fig. 10 ist eine schematische Querschnittsansicht einer  elektrostatischen Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden auf der  oberen leitfähigen Schicht für eine Ladungsabbildung.       Fig.  11 ist eine Ansicht von oben auf eine erdfreie Elektrode nach Fig.  10.     Fig. 12 ist ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit einer erdfreien Elekt-rode auf der oberen leitfähigen  Schicht.     Fig. 13 ist eine schematische Querschnittsansicht  einer Abfühlelektrode.

       Fig. 14 ist eine schematische Ansicht  von oben auf eine Abfühlelektrode, wobei die Position der Abfühlelektrode  ausserhalb des Abscheidungsbereiches liegt.     Fig. 15A ist eine  schematische Ansicht von oben auf eine Abfühlelektrode, wobei die  Position der Abfühlelektrode innerhalb der Fläche bzw. des Bereiches  der Abscheidung liegt.     Fig. 15B ist eine Ansicht von oben einer  schematischen Wiedergabe einer Abfühlelektrode, wobei die Position  der Abfühlelektrode, die in Form einer Tablette vorliegt, innerhalb  des Bereiches der Abscheidung liegt.     Fig. 16 ist ein Schaltkreisdiagramm  einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit einer Abfühlelektrode.     Fig. 17 ist eine schematische Querschnittsansicht einer akustischen  Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 18  ist eine schematische Querschnittsansicht der Membran einer akustischen  Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung.     Fig. 19  ist eine schematische Querschnittsansicht eines Siebes für das Abtrennen  von Gegenständen innerhalb einer akustischen Abgabeeinrichtung gemäss  der vorliegenden Erfindung, um Gegenstände, die kleiner als etwa  10 Mikrometer sind, abzugeben.     Fig. 20 ist ein Schaltkreisdiagramm  einer akustischen Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung.     Fig. 21 ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe  einer akustischen Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 22A ist eine Querschnittsansicht einer schematischen Wiedergabe  einer Siebmembran einer akustischen Abgabeeinrichtung gemäss der  vorliegenden Erfindung, für das Abgeben von Gegenständen, die im  Durchmesser grösser als etwa 10 Mikrometer sind.     Fig. 22B ist  eine schematische Ansicht von oben auf eine Siebmembran einer akustischen  Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung für das Abgeben  von Gegenständen, die grösser als etwa 10 Mikrometer im Durchmesser  sind.     Fig. 22C ist eine schematische Ansicht von oben einer  Massivmembran mit darin   vorgesehenen Löchern für eine akustische  Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung, um Gegenstände  abzugeben, die grösser als etwa 10 Mikrometer im Durchmesser sind.

       Fig. 23A ist eine Fotografie einer Ansicht von oben auf eine  erdfreie Elektrode nach einer Pulverabscheidung, in einer Halteeinrichtung  ohne die untere leitfähige Schicht, wobei die gedruckte Schaltkreisplatine  angebracht ist. Die Fotografie wurde mit etwa 50facher Vergrösserung  aufgenommen, daher entspricht die Linie neben der Fotografie einer  Länge von etwa 0,5 mm.     Fig. 23B ist eine Fotografie einer Ansicht  von oben auf eine erdfreie Elektrode nach der Pulverabscheidung in  einer Halteeinrichtung mit der unteren leitfähigen Schicht, wobei  die gedruckte Schaltkreisplatine angebracht ist. Die Fotografie wurde  mit etwa 50facher Vergrösserung aufgenommen, daher gibt die Linie  neben der Fotografie eine Länge von etwa 0,5 mm wieder.     Fig.

    24A ist eine Fotografie einer Ansicht von oben auf eine erdfreie  Elektrode nach der Pulverabscheidung, und zwar in einer Halteeinrichtung  ohne die untere leitfähige Schicht, wobei die gedruckte Schaltkreisplatine  entfernt ist. Die Fotografie wurde mit etwa 50facher Vergrösserung  aufgenommen; daher entspricht die Linie neben der Fotografie einer  Länge von etwa 5 mm.     Fig. 24B ist eine Fotografie einer Ansicht  von oben auf eine erdfreie Elektrode nach der Pulverabscheidung,  und zwar in einer Halteeinrichtung mit der unteren leitfähigen Schicht,  wobei die gedruckte Schaltkreisplatine entfernt ist. Die Fotografie  wurde mit etwa 50facher Vergrösserung aufgenommen; daher entspricht  die Linie neben der Fotografie einer Länge von etwa 0,5 mm.

       Fig. 25A-C sind grafische Wiedergaben der Erfassung von Pulver,  welches unter Verwendung einer Abfühlelektrode mit einer elektrostatischen  Halteeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung abgeschieden wurde.  Die x-Achse gibt die Zeit in Minuten wieder und die y-Achse gibt  die Ladung in Mikrocoulomb wieder. Dq/dt entspricht der Abscheidungsrate  bzw. -geschwindigkeit.     Fig. 26 ist ein schematisches Diagramm  einer elektrostatischen Halteeinrichtung gemäss der vorliegenden  Erfindung, um Mehrfachdosierungseinheiten zu erzeugen.       Fig.  27A-C stellen drei Fotografien einer elektrostatischen Halteeinrichtung  gemäss der vorliegenden Erfindung bereit. Fig. 27A zeigt den Schaltkreis  der elektrostatischen Halteeinrichtung, Fig. 27B zeigt eine Fenstermaske  für die Halteeinrichtung, und Fig. 27C zeigt den Halteeinrichtungsaufbau  mit einer Anordnung von Tabletten.

     Definitionen  



   Die folgenden Begriffe sollen für die Zwecke der vorliegenden Erfindung  die nachstehend wiedergegebene Bedeutung haben. Insbesondere sollte  für die Interpretation der Ansprüche die Definition der Begriffe  auf der Basis des nachfolgend niedergeschriebenen Textes gegenüber  irgendeiner Zuordnung einer gegenteiligen Bedeutung vorgehen: -  Akustische Abgabeeinrichtung: eine Vorrichtung für das Abgeben von  Teilchen, welche Vibrationen verwendet mit einer Frequenz im akustischen  (hörbaren) Bereich. - Halteeinrichtung: eine "Klammer" für das  Halten eines Gegenstandes oder von Gegenständen. - Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen: eine Halteeinrichtung, die  eine Ausgestaltung hat, die verwendet werden kann, um Gegenstände  an der Halteeinrichtung im Wesentlichen in einem ausgewählten Muster  anzuordnen. - Elektrostatische Halteeinrichtung:

   eine "Klammer"  bzw. Halterung für das Halten eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände  unter Verwendung elektrostatischer Kraft. - Elektrostatische Halteeinrichtung  mit Leitungspfaden: eine elektrostatische Halteeinrichtung für das  Positionieren von Gegenständen, wobei die Halteeinrichtung eine Schicht  hat, welche die Positionierung der Gegenstände festlegt und wobei  die Schicht Pfade hat, die ein elektrisch leitfähiges Material enthalten.  - Mechanische Halteeinrichtung: eine Halteeinrichtung, die Kompression  bzw. Druck verwendet, um einen Gegenstand zu halten. - Nichtmechanische  Halteeinrichtung: eine Halteeinrichtung, die keinen Druck bzw.

   Kompression  verwendet, um einen Gegenstand zu halten, einschliesslich einer Halteeinrichtung,  die elektrostatische oder Vakuumeinrichtungen (d.h. negativen Druck)  für ein solches Halten verwendet, ohne jedoch hierauf beschränkt  zu sein. - Gegenstand: ein materieller Gegenstand bzw. Objekt.  - Teilchen: ein Gegenstand, der in Breite oder Durchmesser kleiner  oder gleich 1 mm ist. - Pitch: Wiederholungsabstand zwischen dem  Rand bzw. der Kante einer Vertiefung zu der entsprechenden Kante  bzw. dem Rand der benachbarten Vertiefungen, beispielsweise in einer  Mikrotiterplatte. 



     - Aufnahmesubstrat: ein Substrat für die Aufnahme von Gegenständen,  die von einer Halteeinrichtung freigegeben werden. - Substrat:  eine Oberfläche oder Schicht. - Obere leitfähige Schicht: die leitfähige  Schicht einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die Gegenstände  an die Halteeinrichtung anzieht bzw. an welcher diese Gegenstände  haften. - Vakuum-Halteeinrichtung: eine "Klemme" bzw. Halterung  für das Halten eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände unter  Verwendung von negativem Druck. - Pfad: ein Durchgangsweg.   Genaue Beschreibung der Erfindung  



   Die vorliegende Erfindung richtet sich teilweise auf Halteeinrichtungen  und Verfahren zum Positionieren mehrerer Gegenstände und wahlweise  auch für den Transport derartiger Gegenstände auf ein Aufnahmesubstrat.  "Halteeinrichtungen" sind oben definiert als Klemmen oder Halterungen  für das Halten eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände. Statt  der Verwendung üblicher Klemmen, die eine mechanische oder Druckkraft  verwenden, ist die vorliegende Erfindung auf die Verwendung negativen  Druckes auf einer Halteeinrichtung auf Vakuumbasis oder von statischer  Elektrizität in einer elektrostatischen Halteeinrichtung als Mittel  gerichtet, die in Bezug auf die Halteeinrichtung die Gegenstände  halten. Die Gegenstände können wahlweise positioniert, transportiert  und abgeschieden bzw. abgelegt werden.

   Vorzugsweise verwenden die  Halteeinrichtungen eine Kraft, die sich von positivem bzw. aktivem  Druck für das Halten von Gegenständen unterscheidet. 



   Gemäss einem Aspekt ist die vorliegende Erfindung auf eine "Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen" gerichtet, die als eine Halteeinrichtung  definiert ist, welche eine Ausgestaltung für das Anordnen von Gegenständen  auf der Halteeinrichtung in einem ausgewählten Muster hat. Halteeinrichtungen  für das Positionieren von Gegenständen können verwendet werden, um  eine Mehrzahl von Gegenständen, wie zum Beispiel Perlen, in einer  ausgewählten Konfiguration auf ein Aufnahmesubstrat zu transportieren.  Jeder Gegenstand hat vorzugsweise eine durchschnittliche Breite oder  einen durchschnittlichen Durchmesser, der weniger als etwa 1 mm beträgt  oder gleich 1 mm ist, und jeder Gegenstand hat vorzugsweise eine  Dicke von weniger als etwa 3 mm. 



   Die Halteeinrichtung für das Positionieren von Gegenständen in einer  ausgewählten Konfiguration weist auf: eine Halteeinrichtung mit einer  Schicht für das Halten von    Gegenständen, wobei die Schicht eine  Konfiguration bzw. Ausgestaltung hat, die der ausgewählten Konfiguration  bzw. Ausgestaltung im Wesentlichen entspricht, wobei die Halteeinrichtung  eine nichtmechanische Halteeinrichtung wie zum Beispiel eine Vakuum-Halteeinrichtung  oder eine elektrostatische Halteeinrichtung ist. Wenn die Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen für den Transport der Gegenstände  auf ein Aufnahmesubstrat verwendet wird, so entspricht die Ausgestaltung  der Schicht der Halteeinrichtung im Wesentlichen der Ausgestaltung  des Aufnahmesubstrats. 



   Zusätzlich zu Halteeinrichtungen ist die vorliegende Erfindung auch  auf Verfahren gerichtet, die die Verwendung von Halteeinrichtungen  beinhalten. Beispielsweise ist die vorliegende Erfindung auf ein  Verfahren für das Positionieren und wahlweise das Transportieren  mehrerer Gegenstände gerichtet, die vorzugsweise einen Durchmesser  haben, der weniger als etwa 1 mm beträgt und die vorzugsweise eine  Dicke von weniger als etwa 3 mm haben, wie zum Beispiel Perlen, und  zwar in einer ausgewählten Konfiguration. Diese Verfahren weisen  auf: (a) Bereitstellen einer Halteeinrichtung, die eine Schicht  für das Halten der Gegenstände hat, wobei die Schicht eine Konfiguration  bzw.

   Ausgestaltung hat, die im Wesentlichen der ausgewählten Konfiguration  entspricht, und (b) Aufbringen der Gegenstände auf die Halteeinrichtung,  wie zum Beispiel auf eine Halteeinrichtung auf Vakuumbasis oder eine  elektrostatische Halteeinrichtung, wobei die Gegenstände an der Halteeinrichtung  durch eine nichtmechanische, nichtdruckausübende Kraft anhaften.  Bei Verfahren zum Transportieren von Gegenständen entspricht die  Konfiguration bzw. Ausgestaltung der Schicht der Halteeinrichtung  im Wesentlichen der Konfiguration bzw. Ausgestaltung des Aufnahmesubstrats  und das Verfahren umfasst weiterhin (c) das Transportieren der Gegenstände  zu dem Aufnahmesubstrat.

   Dieses Verfahren umfasst vorzugsweise auch  das Ausrichten der Halteeinrichtung und des Aufnahmesubstrates vor  dem Transport der Gegenstände und das Freigeben der Gegenstände durch  Lösen oder Umkehren der nichtmechanischen Kraft. 



   Gemäss einem Aspekt der Erfindung ist eine Vakuum- oder elektrostatische  Halteeinrichtung die Halteeinrichtung, die für das Positionieren  von Gegenständen verwendet wird, welche in einer chemischen Untersuchung  oder Herstellung von Chemikalien oder Pharmazeutika verwendet wird.  In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen sind die Gegenstände  Perlen, die mehr als einen Typ von Perlen umfassen können, und die  Ausgestaltung der Halteeinrichtung wird verwendet, um die Perlen  auf der Halteeinrichtung zu positionieren und anschliessend die Perlen  auf die entsprechenden Positionen eines Feldes mit vielen Vertiefungen,  wie zum Beispiel einer Mikrotiterplatte, zu positionieren, einschliesslich  der    Mikrotiterplatten, die in der Anmeldung mit dem Titel "Platte  für Reaktionssysteme" beschrieben sind.

   Wenn die Gegenstände auf  ein Aufnahmesubstrat transportiert werden, welches ein Feld bzw.  eine Anordnung von vielen Vertiefungen hat, wird vorzugsweise etwa  ein Gegenstand in jede Vertiefung der Anordnung freigegeben. 



   In bestimmten Ausführungsformen sieht die vorliegende Erfindung also  die Verwendung einer Halteeinrichtung für das Positionieren und wahlweise  Übertragen mehrerer Gegenstände vor. In bevorzugten Ausführungsformen  sind die Gegenstände kugelförmig und vorzugsweise sind die Gegenstände  Perlen, die verwendet werden können, um eine chemische Synthese zu  unterstützen, beispielsweise in der kombinatorischen Chemie oder  in einer Untersuchung, bei der beispielsweise die PCR (Polymerase  Kettenreaktion) verwendet wird. 



   Die Halteeinrichtungen für das Positionieren von Gegenständen können  beispielsweise auch verwendet werden, um Gegenstände, wie zum Beispiel  Perlen, von einem Teil eines Feldes zu einem anderen Teil desselben  Feldes zu überführen. Beispielsweise können die Vertiefungen einer  einzelnen Anordnung bzw. eines einzelnen Feldes aufgeteilt werden,  sodass die Hälfte der Anordnung für eine Synthese verwendet wird.  Nach der Synthese werden die Perlen in die andere Hälfte der Anordnung  überführt, die beispielsweise für eine Untersuchung oder mehrere  Untersuchungen verwendet werden. Alternativ können beispielsweise  die Halteeinrichtungen für das Positionieren von Gegenständen verwendet  werden, um Gegenstände, wie zum Beispiel Perlen, von einer Anordnung  zu einer getrennten Anordnung zu überführen. 



   In bevorzugten Ausführungsformen enthält eine Vakuum-Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen (a) ein Substrat mit mehreren  offenen Pfaden, wobei jeder Pfad einen Luftstrom ermöglicht, (b)  eine untere Schicht, die an dem Substrat angebracht ist, (c) einen  Hohlraum zwischen der unteren Schicht und dem Substrat, wobei der  Hohlraum bzw. die Aussparung einen Luftstrom zwischen der unteren  Schicht und dem Substrat ermöglichen, und (d) einen Laufweg für die  Verbindung der Bodenschicht mit einer Vakuumquelle, wobei jeder Pfad  sich durch das Substrat in den Hohlraum erstreckt, sodass jeder Pfad  einem negativen Druck ausgesetzt ist, wenn an dem Durchgangsweg eine  Vakuumquelle angelegt wird.

   Die untere Schicht hat einen Durchgangsweg,  wie zum Beispiel eine Öffnung, für das Anlegen negativen Druckes  von einer Vakuumquelle durch den Hohlraum zu den Pfaden, welche Gegenstände  durch negativen Druck anzieht. 



   Der Begriff "Pfad" ist, so wie er hier verwendet wird, als ein Durchgangsweg  definiert, und der Durchgangsweg erstreckt sich vorzugsweise von  der oberen Fläche des Substrates zu der    unteren Fläche des Substrates.  Gemäss Fig. 1 hat beispielsweise die obere Schicht des Substrates  110 mehrere offene Pfade 120, die mit einem Hohlraum 130 in der unteren  Schicht 140 verbunden sind. Die untere Schicht des Substrates hat  eine Öffnung 150 für die Verbindung der unteren Schicht mit einer  Vakuumquelle 160. Die Perlen 170 werden von der Halteeinrichtung  180 unter Verwendung negativen Druckes gehalten, der durch die Vakuumquelle  160 aufgebracht wird. 



   Die Gegenstände können an eine elektrostatische oder Vakuum-Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen zum Beispiel dadurch aufgebracht  werden, dass sie auf die Oberseite der Halteeinrichtung gegossen  werden. Alternativ können die Gegenstände beispielsweise aufgebracht  werden unter Verwendung einer akustischen Abgabeeinrichtung, die  im Folgenden noch beschrieben wird. Überschüssige Gegenstände werden  vorzugsweise entfernt, sobald in etwa ein Gegenstand an jedem Pfad  angebracht ist. Wenn die Vakuum-Halteeinrichtung verwendet wird,  wird der negative Druck abgeschaltet bzw. weggenommen, um die Gegenstände  freizugeben. Alternativ wird beispielsweise positiver Druck angelegt,  um die Gegenstände von der Vakuum-Halteeinrichtung abzustossen.

   Die  Gegenstände können in ein Substrat, wie zum Beispiel eine Mikrotiterplatte,  freigegeben werden, zum Beispiel nachdem die Pfade der Halteeinrichtung  so ausgerichtet worden sind, dass sie den Vertiefungen in der Platte  entsprechen. 



   Vorzugsweise ist der Durchmesser der Pfade in der Vakuum-Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen kleiner als der Durchmesser  der Gegenstände, die von der Halteeinrichtung gehalten werden sollen.  In bevorzugten Ausführungsformen, in welchen die Halteeinrichtung  verwendet wird, um eine Perle oder ein Kügelchen zu halten, das einen  durchschnittlichen Durchmesser von etwa 150 Mikrometern hat, ist  der Durchmesser der Pfade bzw. Durchgänge etwa 50 bis etwa 75 Mikrometer.                                                      



   Wenn eine Halteeinrichtung für das Positionieren von Gegenständen  verwendet wird, um mehrere Gegenstände zu einem Feld zu transportieren,  welches mehrere Vertiefungen hat, so hat die Halteeinrichtung vorzugsweise  jeweils einen entsprechenden Pfad bzw. Durchgang für jede Vertiefung  des Feldes. Zusätzlich haben in den bevorzugten Ausführungsformen  die Durchgänge der Halteeinrichtung einen Wiederholabstand (Pitch),  der im Wesentlichen derselbe ist wie der Wiederholabstand der entsprechenden  Vertiefungen in dem Feld. Der "Wiederholabstand" bzw. "Pitch" ist  oben definiert als der sich wiederholende Abstand zwischen dem Rand  einer Vertiefung zu dem entsprechenden Rand der benachbarten Vertiefung.

    Dementsprechend bewirkt die Konfiguration der Halteeinrichtung, welche  mit der Konfiguration des    aufnehmenden Feldes zusammenpasst, dass  die Perlen sich derart ausrichten, dass man im Allgemeinen eine Perle  pro Vertiefung hat, wenn die Perlen zu dem Feld überführt werden.  Damit können die Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung  verwendet werden, um Gegenstände zu positionieren und wahlweise anschliessend  die Gegenstände auf ein aufnehmendes Substrat zu überführen. Vorzugsweise  sind die Halteeinrichtung und das aufnehmende Substrat für die Ausrichtung  mit Markierungen versehen, entweder mechanischen oder optischen (Markierungen).  Siehe beispielsweise die Anmeldung mit dem Titel "Platte für Reaktionssysteme".                                                



   Beispielsweise beinhaltet das Substrat der Halteeinrichtung, wenn  diese verwendet wird, um mehrere Gegenstände anzuziehen, um diese  auf ein Feld, wie zum Beispiel eine Mikrotiterplatte, zu transportieren,  die 100 Vertiefungen hat in einer Reihe von 10 Vertiefungen und Spalten  von 10 Vertiefungen, vorzugsweise ein Feld von Durchgängen oder Öffnungen,  das (ebenfalls) Reihen mit 10 Durchgängen in Spalten mit 10 Durchgängen  hat. In anderen Ausführungsformen hat die Mikrotiterplatte 10 000  Vertiefungen und das Feld von Durchgängen in der Halteeinrichtung  hat eine Reihe von 100 Durchgängen multipliziert mit Spalten à etwa  100 Durchgänge. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen ist die  Gesamtzahl von Durchgängen auf dem Substrat der Halteeinrichtung  etwa 96 entsprechend einer Mikrotiterplatte mit 96 Vertiefungen. 



   In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen sind die Durchgänge mit  einem Laser gebohrt, wobei zum Beispiel ein Excimer-Laser verwendet  wird. Die Durchgänge können beispielsweise unter Verwendung einer  Maske gebohrt sein, um das Muster für ein Laserätzen bereitzustellen.  Alternativ können die Löcher unter Verwendung eines Domes gebohrt  werden mit einer Form, um die Anordnung der Durchgänge zu bestimmen.                                                           



   Die Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung können verwendet  werden, um mehr als eine Art von Gegenständen anzuziehen. In bestimmten  Ausführungsformen wird die Halteeinrichtung mit Perlen verwendet,  die einen Durchmesser von mehr als 100 Mikrometern haben und besonders  bevorzugt einen Durchmesser von etwa 100 bis etwa 500 Mikrometern,  und in bestimmten Ausführungsformen einen Durchmesser von etwa 150  Mikrometern. Die Perlen können aus einem Polymer hergestellt sein,  wie zum Beispiel einem Divinylbenzen Kopolymer, Polystyren oder Polyethylenglycol.  Die Perlen können entweder trocken oder nass bzw. feucht sein, wenn  sie eine wässrige Lösung absorbiert haben.

   Beispiele von Lieferanten  für Perlen schliessen PerSeptive Biosystems (Framingham, MA), PEG-PS,  welches ein Polyethylenglycol-Grafpolytyren ist, und das Tenta Gel  von Rapp Plymer GmbH, welches ein    vernetztes Polyethylenglycolharz  ist. 



   In bevorzugten Ausführungsformen sind die Materialien, die für die  Ausbildung der Halteeinrichtungen auf Vakuumbasis zum Positionieren  von Gegenständen verwendet werden, die folgenden. Die Halteeinrichtung  auf Vakuumbasis und in gewissen Ausführungsformen auch die elektrostatische  Halteeinrichtung für das Positionieren von Gegenständen haben vorzugsweise  ein Substrat, welches aus Glas hergestellt ist, und in einigen Ausführungsformen  hat das Glas eine Dicke von etwa 10 bis etwa 20 mil (10-20 Tausendstel  Zoll = 0,25-0,5 mm). Beispielsweise kann das Coming Pyrex 7740 Glas  (Corning Ine, Corning, NY) verwendet werden. 



   Der Vakuumkopf für die Verwendung mit der Halteeinrichtung auf Vakuumbasis  gemäss der vorliegenden Erfindung ist vorzugsweise ein stiftartiger  Zylinder mit einem inneren Kanal, der mit einer Vakuumquelle verbunden  ist. Es gibt eine kleine Vakuumöffnung, die, wenn sie mit einem Finger  abgedeckt wird, das Vakuum an die Spitze oder Stirnseite des Kopfes  überträgt. Es gibt ein sekundäres Auslassloch in der Nähe Spitze,  um eine Freigabe sicherzustellen, wenn die Vakuumöffnung nicht abgedeckt  ist. Den Vakuumkopf kann man beispielsweise von H-Square Corp. (Sunnyvale,  CA) erhalten. 



   Gemäss einem Aspekt ist die vorliegende Erfindung auf Verfahren für  das gleichzeitige Haftenlassen von mehreren Gegenständen an einer  Halteeinrichtung auf Vakuumbasis gerichtet. Diese Verfahren schliessen  ein (a) Bereitstellen einer Halteeinrichtung auf Vakuumbasis, (b)  Anlegen eines Vakuums an der Halteeinrichtung, und (c) Aufbringen  der Gegenstände auf der Halteeinrichtung, wobei die Gegenstände auf  Grund von negativem Druck des Vakuums an der Halteeinrichtung haften.  In bevorzugten Ausführungsformen weist das Verfahren weiterhin auf  (d) Transportieren der Gegenstände zu einem Aufnahmesubstrat durch  Wenden der Halteeinrichtung über dem Substrat und Aufheben des Vakuums.  Die Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung sind vorzugsweise  wiederverwendbar.

   Daher wird in bevorzugten Ausführungsformen der  Vorgang wiederholt, wobei die Halteeinrichtung mehr als einmal verwendet  wird. 



   Zusätzlich zu Halteeinrichtungen auf Vakuumbasis sieht die vorliegende  Erfindung auch elektrostatische Halteeinrichtungen für das elektrostatische  Anziehen eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände vor. Ohne auf  irgendeine bestimmte Theorie beschränkt zu sein, wird angenommen,  dass dann, wenn ein elektrisches Potenzial an den elektrostatischen  Halteeinrichtungen der Erfindung angelegt wird, Kondensatoren zwischen  den Elektroden der Halteeinrichtung gebildet werden und die Gegenstände  durch die elektrostatische Kraft    gehalten werden. Einer der Vorteile  der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung in der chemischen  oder pharmazeutischen Industrie liegt darin, dass, im Gegensatz zur  Plasmaladung, das elektrostatische Laden (was man auch als Reibungsladung  bezeichnet) im Allgemeinen Chemikalien nicht negativ beeinflusst.

    Weiterhin liefert die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung  die Fähigkeit, beispielsweise ein pharmazeutisches Substrat zu halten,  ohne dass mechanische Kraft erforderlich ist, welche das Substrat  zerstören könnte. 



   Wenn eine elektrostatische Halteeinrichtung verwendet wird, so beträgt  die Temperatur vorzugsweise zwischen -50  DEG C und etwa 200  DEG  C und vorzugsweise zwischen etwa 22  DEG C und etwa 60  DEG C. Die  Feuchtigkeit liegt vorzugsweise zwischen 0 und 100%, wobei die Feuchtigkeit  keine Kondensation verursacht, bevorzugter beträgt die Feuchtigkeit  etwa 30%. 



   Die vorliegende Erfindung stellt elektrostatische Halteeinrichtungen  bereit, um einen kleinen Gegenstand, wie zum Beispiel ein Teilchen,  das kleiner oder gleich 1 mm gross ist, und wahlweise auch mehrere  kleine Objekte zu halten, die vorzugsweise eine Grösse von etwa 5  Mikrometern bis etwa 500 Mikrometern haben, und vorzugsweise für  die Verwendung in der chemischen oder pharmazeutischen Industrie.  Die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung in der chemischen  und pharmazeutischen Industrie ist eine der Neuheiten der vorliegenden  Erfindung. 



   Gemäss einem Aspekt sieht die vorliegende Erfindung die Verwendung  einer elektrostatischen Halteeinrichtung vor, die ein Vorspannpotenzial  für das Anziehen eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände an  ein Substrat hat. Vorzugsweise ist das Vorspannpotenzial grösser  als etwa 1000 Volt. Die Verwendung der Halteeinrichtung gemäss der  vorliegenden Erfindung liefert die Möglichkeit eines Vorspannpotenzials,  da ein Vorspannpotenzial nicht notwendigerweise die Beschädigung  beispielsweise eines pharmazeutischen Substrates bewirkt, im Gegensatz  zu einem Wafer in der Halbleiterindustrie, der spannungsempfindlich  ist. 



   In bestimmten Ausführungsformen weist die elektrostatische Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen ein dielektrisches Substrat  auf, welches Leitungspfade bzw. Leitungsdurchgänge hat (eine "elektrostatische  Halteeinrichtung mit Leitungswegen"). Vorzugsweise hat die elektrostatische  Halteeinrichtung mit Leitungswegen (a) ein Substrat mit einer Oberseite  und einer Unterseite, (b) Durchgänge, die sich von der Oberseite  zur Unterseite des Substrates erstrecken, wobei die Durchgänge ein  leitfähiges Material aufweisen, (c) eine dielektrische Schicht jeweils  auf der Oberseite und der Unterseite des Substrates, und (d) eine  leitfähige Schicht auf der Aussenseite einer der dielektrischen Schichten.                                                     



     In bevorzugten Ausführungsformen hat die elektrostatische Halteeinrichtung  mit Leitungspfaden zwei dielektrische Schichten, die aus einem dielektrischen  Material bestehen, das derart klassifiziert ist, dass es etwa 2000  Volt aushält,m und welche jeweils vorzugsweise weniger als etwa 50  Mikrometer dick sind. Im Zentrum dieser beiden dielektrischen Schichten  befindet sich ein dickeres dielektrisches Sub-strat, welches beispielsweise  aus Glas hergestellt sein kann. In bevorzugten Ausführungsformen  hat das dielektrische Substrat eine gute mechanische Festigkeit ebenso  wie eine hohe dielektrische Festigkeit. Beispiele von dielektrischen  Materialien, die verwendet werden können, schliessen Keramik, Siliziumdioxid,  Tonerde, Polyimid, Aluminiumoxid, Titanoxid sowie Titanate von Kalzium  und Magnesium ein, ohne jedoch hierauf beschränkt zu sein.

   Ein Typ  von Glas, welcher für das dielektrische Substrat mit den Durchgängen  verwendet werden kann, ist Pyrex 7740 Glas und in einer Ausführungsform  hat das Glas eine Dicke von etwa 20 mil oder weniger, oder etwa 10  mil bis etwa 20 mil (0,25 bis 0,5 mm). 



   In bevorzugten Ausführungsformen der elektrostatischen Halteeinrichtung  mit Leitungswegen hat das dielektrische Substrat Durchgangswege,  die durch das Substrat hindurch gebohrt sind und welche sich vorzugsweise  nicht in die dielektrischen Schichten auf jede der Seiten des Substrates  erstrecken. Die Durchgangswege sind vorzugsweise mit einem leitfähigen  Material gefüllt. In bevorzugten Ausführungsformen erstreckt das  leitfähige Material in den Durchgangswegen sich nicht über die Oberfläche  des Substrates hinaus, sodass das leitfähige Material hierdurch mit  der Oberfläche bündig gemacht wird.

   In bevorzugten Ausführungsformen  weist das leitfähige Material in den Durchgängen ein leitfähiges  Material, wie zum Beispiel ein Metall auf, beispielsweise ein kugelförmiges  Goldpulver, welches in einem Träger, wie zum Beispiel einer flüssigen  Suspension aus Harzen, Lösungsmitteln und Glas suspendiert ist und  so eine leitfähige Tinte bildet. Die leitfähige Tinte wird vorzugsweise  getrocknet und ausgebrannt, nachdem die Durchgänge gefüllt worden  sind, und hinterlassen so einen massiven Stopfen aus einem leitfähigen  Material in jedem Durchgang. 



   Vorzugsweise ist der Durchmesser der Durchgänge kleiner als der Durchmesser  der Gegenstände, die aufgebracht werden sollen, wie zum Beispiel  der Perlen. Ohne Beschränkung auf eine bestimmte Theorie wird angenommen,  dass die Verwendung eines kleineren Durchmessers dazu führt, dass  man das Anziehen einer zweiten Perle an demselben Durchgang im Wesentlichen  vermeidet. Vorzugsweise liegen die Durchgänge weit genug auseinander,  sodass die Anziehung eines Gegenstandes zu einem Durchgang die Anziehung  eines Gegenstandes an dem benachbarten Durchgang nicht stört. Noch  bevorzugter ist es, wenn der Abstand zwischen den Durchgängen etwa  das Zweifache des Durchmessers der Perle beträgt. 



     Vorzugsweise gibt es eine untere leitfähige Schicht auf der Bodenseite  der elektrostatischen Halteeinrichtung mit Durchgangswegen, und zwar  auf der Aussenseite einer der beiden dielektrischen Schichten. Das  leitfähige Material kann auf das dielektrische Material aufgeschichtet  werden, indem beispielsweise ein Standardverfahren wie zum Beispiel  eine dünne Filmbeschichtung oder Vakuumbeschichtung verwendet wird.  Vorzugsweise hat die leitfähige Schicht auf dem Dielektrikum etwa  1000  DEG Angström bis etwa 10 Mikrometer Dicke und noch bevorzugter  etwa 500 nm Dicke. In bevorzugten Ausführungsformen weist die leitfähige  Schicht ein Metall auf, und sie besteht vorzugszweise aus Indiumzinnoxid,  Messing oder Kupfer. 



   Gemäss Fig. 2 ist beispielsweise eine unter leitfähige Schicht 210  in der elektrostatischen Halteeinrichtung mit leitfähigen Wegen vorgesehen.  Oben auf dieser Schicht befindet sich eine dielektrische Schicht  220. Auf der dielektrischen Schicht befindet sich ein dielektrisches  Substrat 230, welches Durchgangslöcher 240 hat, die sich durch das  Substrat erstrecken. Die Durchgangslöcher 240 sind mit leitfähiger  Tinte bzw. Flüssigkeit gefüllt. Oben auf dem Substrat befindet sich  eine zweite dielektrische Schicht 250. Perlen 260 werden an die Positionen  angezogen, die den Durchgängen entsprechen, und sie werden in Kontakt  mit der dielektrischen Schicht gehalten. 



   Andere Aspekte von bevorzugten Ausführungsformen einer elektrostatischen  Halteeinrichtung weisen einen isolierenden Halter in Kontakt mit  der leitfähigen Schicht auf, wobei der isolierende Halter einen elektrische  Kontakt hat, wie zum Beispiel ein Metall, das mit einer Stromquelle  verbunden ist. Alternativ kann die leitfähige Schicht beispielsweise  durch Plasmalden geladen werden. Während des Betriebs der elektrostatischen  Halteeinrichtung wird eine ausgewählte Spannung an die leitfähige  Schicht angelegt. Vorzugsweise wird eine Spannung in entgegengesetzter  Polarität zu der Ladung auf den Gegenständen angelegt, die an der  Halteeinrichtung angebracht werden sollen.

   Ohne Beschränkung auf  eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass das Anlegen der Spannung  eine Oberflächenladung auf der leitfähigen Schicht auf einer Seite  des leitfähigen Durchganges induziert. Auf der anderen Seite des  Durchganges wird eine Ladung mit gleicher, jedoch entgegengesetzter  Polarität, induziert. Es wird angenommen, dass die Dicke des Substrats  und damit die Länge der Durchgänge die Trennung der Ladung auf einer  Seite des Durchganges von der Ladung auf der anderen Seite des Durchganges  induziert. Der elektrostatisch geladene Gegenstand wird an die Oberseite  des Durchganges angezogen, jedoch verteilt sich die Ladung nicht  auf Grund der vorhandenen dielektrischen Schicht zwischen dem Durchgang  und dem Gegenstand.

   Weiterhin wird, da der Durchmesser der Durchgänge  kleiner ist als der Durchmesser der Gegenstände, die Ladung    jedes  Durchganges abgeschirmt, sobald ein Gegenstand an den Durchgang angezogen  ist und ein zweites Objekt wird damit weniger wahrscheinlich an den  Durchgang angezogen, was zu einem Gegenstand pro Durchgang führt.                                                              



   Ein Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung  mit Durchgangswegen ist in Fig. 3 vorgesehen, wobei C 1  ein Kondensator  ist, der zwischen der unteren leitfähigen Schicht und einem leitfähigen  Durchgang gebildet wird, C 2  ein Kondensator ist, der zwischen einem  leitfähigen Durchgang und einem geladenen Gegenstand gebildet wird,  wie zum Beispiel einer Perle, und q die Ladung des geladenen Gegenstandes  ist. 



   In bevorzugten Ausführungsformen hat die elektrostatische Halteeinrichtung  für das Positionieren von Gegenständen eine noch einfachere Ausgestaltung  als die elektostatische Halteeinrichtung mit leitfähigen Durchgängen.  Beispielsweise kann eine elektrostatische Halteeinrichtung für das  Positionieren von Gegenständen eine dielektrische Schicht zwischen  einer oberen leitfähigen Schicht und einer unteren leitfähigen Schicht  haben, wobei jede leitfähige Schicht als eine Elektrode wirkt. 



   Die obere leitfähige Schicht hat Öffnungen, welche die dielektrische  Schicht darunter freigeben. Die Öffnungen sind vorzugsweise kleiner  als die Gegenstände, die an die Halteeinrichtung angezogen werden  sollen. Ebenso wie die elektrostatische Halteeinrichtung mit leitfähigen  Durchgängen sind die Öffnungen vorzugsweise in derselben räumlichen  Konfiguration angeordnet, wie das Aufnahmesubstrat, wie zum Beispiel  die Vertiefungen in einer Mikrotiterplatte, auf welche die Gegenstände  transportiert werden. Vorzugsweise sind die Öffnungen mechanisch  hergestellt, wie zum Beispiel durch Verwendung eines nadelartigen  Gegenstandes, beispielsweise eines Laserbohrers. Diese Öffnungen  können beispielsweise durch Verwendung einer Maske mit einem positiven  Photoresist räumlich festgelegt werden. 



   Gemäss Fig. 4 hat die elektrostatische Halteeinrichtung für das Positionieren  von Gegenständen beispielsweise eine untere leitfähige Schicht 410  mit einer dielektrischen Schicht 420 darauf. Die dielektrische Schicht  420 hat eine dünne leitfähige Schicht 430 darauf, und diese leitfähige  Schicht hat Öffnungen 440 darin. Die Perlen 450 werden an die Öffnungen  an der oberen leitfähigen Schicht angezogen, wenn eine Spannung,  wie zum Beispiel eine ausgewählte Spannung, an der unteren leitfähigen  Schicht 410 angelegt wird.

   Die Perlen 450 können dann beispielsweise  zu einer Mikrotiterplatte transportiert werden (nicht dargestellt)  und die Perlen 450 werden freigegeben, wenn die untere leitfähige  Schicht 440 nach aussen kurzgeschlossen wird oder wenn ein entgegengesetzter  Strom bzw. eine entgegengesetzte Spannung an die    untere leitfähige  Schicht 410 angelegt wird, um die Perlen 450 abzustossen. 



   Fig. 5 zeigt ein Schaltkreisdiagramm der elektrostatischen Halteeinrichtung,  die in Fig. 4 dargestellt ist. C ist der Kondensator, der zwischen  den oberen und unteren leitfähigen Schichten gebildet wird. C b   ist der Kondensator, der zwischen der Perle und der unteren leitfähigen  Schicht gebildet wird. 



   Vorzugsweise hat die untere leitfähige Schicht der elektrostatischen  Halteeinrichtung, die in Fig. 4 dargestellt und oben beschrieben  ist, eine Dicke von etwa 10 Mikrometern. Vorzugsweise hat die di-elektrische  Schicht eine Dicke von etwa 10 bis etwa 100 Mikrometern, noch bevorzugter  weniger als etwa 50 Mikrometer. Vorzugsweise ist die obere leitfähige  Schicht weniger als etwa 0,5 Mikrometer dick. Noch bevorzugter ist  sie zwischen etwa 0,05 Mikrometern und 0,5 Mikrometern dick. Vorzugsweise  haben beispielsweise die Öffnungen in der oberen leitfähigen Schicht  einen Durchmesser, der geringer ist als die Durchmesser der Gegenstände,  wie zum Beispiel einen Durchmesser von etwa einem Drittel der Grösse  des Durchmessers der Gegenstände, die an die Öffnungen angezogen  werden sollen.

   Beispielsweise hat eine elektrostatische Halteeinrichtung,  die dafür ausgelegt ist, 300 Mikrometer grosse Perlen anzuziehen,  vorzugsweise Öffnungen mit einem Durchmesser von etwa 100 Mikrometern.  Vorzugsweise ist das dielektrische Material, welches die mittlere  Schicht bildet, so klassifiziert, dass es mindestens etwa 500 Volt  und vorzugsweise 3000 Volt widersteht. 



   In bevorzugten Ausführungsformen ist die dielektrische Schicht aus  einem Material hergestellt, welches gute mechanische Eigenschaft  ebenso wie eine hohe dielektrische Festigkeit hat, wie zum Beispiel  Siliziumdioxid, Tonerde und Polyimid. Vorzugsweise sind die leitfähigen  Schichten aus einem guten Leiter hergestellt, wie zum Beispiel einem  Metall, beispielsweise Indiumzinnoxid, Messing und vorzugsweise Silber.                                                        



   Wie die elektrostatische Halteeinrichtung mit leitfähigen Durchgängen  sind die Öffnungen in der oberen leitfähigen Schicht der oben beschriebenen  Halteeinrichtung vorzugsweise kleiner als der Durchmesser der Gegenstände,  die von der Halteeinrichtung gehalten werden sollen. Da also der  Durchmesser der Öffnungen kleiner als der Durchmesser der Gegenstände  ist, wird die Ladung jeder Öffnung abgeschirmt, sobald ein Gegenstand  an die Öffnung angezogen wird, und ein zweiter Gegenstand wird weniger  wahrscheinlich an die Öffnung angezogen, was dementsprechend zu etwa  einem Gegenstand pro Öffnung führt. 



   Ohne dass eine Beschränkung auf einen bestimmte Theorie vorgenommen  werden soll, können    die folgenden mathematischen Formeln verwendet  werden, um näherungsweise die Haltekraft der beispielsweise in Fig.  4 dargestellten Halteeinrichtung zu bestimmen. 



   Wenn eine Perle auf einer Öffnung oder einem Durchgangsweg der elektrostatischen  Halteeinrichtung landet und unter der Annahme, dass die Perle eine  positive Ladung q trägt, so kann die Kapazität C c  der elektrostatischen  Halteeinrichtung näherungsweise bestimmt werden als die Kapazität  eines Parallelplattenkondensators und ist gegeben durch: 



   
EMI20.1
 



   wobei d die Dicke der dielektrischen Schicht ist,  epsilon  r  die  relative dielektrische Festigkeit oder dielektrische Konstante der  dielektrischen Schicht ist,  epsilon  o  die dielektrische Konstante  im Vakuum ist und A die Oberfläche der Oberseite der elektrostatischen  Halteeinrichtung ist. Die Kapazitätsdichte (pro Einheitsfläche) ist  daher: 



   
EMI20.2
 



   da für einen Kondensator gilt Q=CV, wobei V das Potenzial ist, was  am Kondensator anliegt, und Q die Ladung der elektrostatischen Halteeinrichtung  entsprechend der Fläche unterhalb der Öffnung ist. Die Ladungsdichte  ist Q/A und steht gemäss der folgenden Gleichung zu C c  in Beziehung:                                                         



   
EMI20.3
 



   Man kann annehmen, dass die Ladungen der Perle in einem Bereich konzentriert  oder über die Perle hinweg verteilt sind. In der Realität liegt die  Situation wahrscheinlich irgendwo in der Mitte zwischen diesen beiden  Möglichkeiten und man kann sie als Mischung bzw. Hybriden dieser  beiden Situationen darstellen, wobei die Haltekraft der Perle irgendwo  zwischen der    Haltkraft einer Perle liegt, bei welcher die Ladungen  in einem Flächenbereich konzentriert sind, und der Haltekraft einer  Perle, bei welcher die Ladungen über die gesamte Perle verteilt sind.                                                          



   Wenn alle Ladungen auf der Perle in einem kleinen Bereiche konzentriert  sind, so werden die Ladungen auf der Perle durch die Ladungen der  elektrostatischen Halteeinrichtung angezogen und sie sind daher für  die anderen Perlen nicht sichtbar. Die abstossende Kraft zwischen  einer Perle und einer weiteren Perle ist daher minimal. Wenn die  Haltekraft F, die von der elektrostatischen Halteeinrichtung auf  die Perle ausgeübt wird, auf der Basis von Punktladungen, die in  schmalen Bereichen konzentriert sind, angenähert wird, so ergibt  sich: 



   
EMI21.1
 



   wobei D der Durchmesser der Öffnung in der oberen leitfähigen Schicht  der Halteeinrichtung und A' die Fläche der Öffnung ist. 



   Wen man F mit einer Schwerkraft in mg vergleicht, so ist das Verhältnis  zwischen F und der Kraft N das folgende: 



   
EMI21.2
 



   wobei N das Verhältnis der anziehenden Kraft zu der Schwerkraft ist;  wenn daher N grösser als etwa 1 ist, so wird die Kraft den Gegenstand  gegen die Schwerkraft halten. Der Term m kann ersetzt werden, da  m=4 eta  pi  theta D'<3>/3, wobei  theta  und D' die Dichte bzw.  der Durchmesser der Perle sind. Unter der Annahme, dass die Flächenladungsdichte  sigma  eine Materialkonstante der Perlen ist, so ist Q= sigma  pi  D'<2> und q/m=3 sigma/4  theta D'. Gleichung 5 kann folgendermassen  umgeschrieben werden. 



   
EMI21.3
 



   Wenn eine zweite Perle an derselben Öffnung oder demselben Durchgang  angebracht wird, so beträgt der Abstand der zweiten Perle zu der  abgeschirmten Ladung von der unteren leitfähigen Schicht zumindest  D'/2 mehr als d. Die anziehende Kraft ist dann um zumindest einen  Faktor von (D'/2d+1)<<2>> kleiner. Zusätzlich ist die effektive Ladung,  welche die zweite Perle sieht, q kleiner. Die anziehende Kraft ist  daher um einen weiteren Faktor 1-4Aq/Q  pi  D'<<2>> kleiner. Damit  ist die anziehende Kraft F' für die zweite Perle folgendermassen:  



   



   
EMI22.1
 



   Man beachte, dass F immer grösser als F' ist unter der Annahme, dass  q/m für die zweite Perle dasselbe ist, so ergibt sich N' für die  zweite Perle folgendermassen: 



   
EMI22.2
 



   Wenn nur eine einzige Perle von der Öffnung oder dem Durchgang aufzunehmen  ist, so muss die Haltekraft für die zweite Perle kleiner als die  Schwerkraft sein. D.h. N' muss kleiner oder gleich 1 sein oder äquivalent:                                                     



   
EMI22.3
 



   Man beachte, dass Q von V abhängt. Um also festzustellen, ob die  elektrostatische Halteeinrichtung nur eine Perle per Loch oder Durchgang  anziehen kann, muss Gleichung 9 eine Lösung haben. Berechnungen mit  konkreten Zahlen haben ergeben, dass die Haltekraft in    einfacher  Weise im Übermass vom Tausendfachen der Schwerkraft erhalten werden  kann, und diese Berechnungen werden im Folgenden geliefert. 



   Wenn andererseits die Ladungen über die Perle gleichförmig verteilt  sind, so sehen bzw. spüren die Ladungen jeder Perle einander oder  sie kommen sogar in Kontakt miteinander. Die abstossende Kraft zwischen  den Perlen ist maximal. In der Praxis können zwei Perlen nicht näher  als 2 mm entfernt voneinander sein, wenn es nicht eine stärkere elektrostatische  Kraft gibt, die sie zusammenhält. Die Grösse bzw. der Wert von D'  ist jedoch immer grösser als D, sodass es keine stärkere Kraft als  die abstossende Kraft gibt. Damit kann in diesem Fall keine zweite  Perle an dem Durchgang anhaften bzw. angebracht werden. 



   Unter Verwendung des Zentrums der Perle als Ursprungsort und des  Vektors<r> als ein Punkt auf der Oberfläche der Perle, wobei der  Vektor<r'> auf die Oberfläche der unteren leitfähigen Schicht unter  der Öffnung oder dem Durchgang zeigt, und wobei  sigma  und  sigma  die Ladungsdichte auf der Perle bzw. der unteren leitfähigen Schicht  sind, so gelten die folgenden Gleichungen: 



   
EMI23.1
 



   
EMI23.2
 



   
EMI23.3
 



   
EMI23.4
 



   Damit ist die Haltekraft F der Perle: 



   
EMI23.5
 



   
EMI23.6
 



   



   Durch Einsetzen von Polarkoordinaten in die Gleichungen erhält man:                                                            



   
EMI24.1
 



   Nach einigen Näherungsschritten unter der Annahme, dass die ungünstigsten  möglichen Werte die niedrigste Haltekraft ergeben bzw. annehmen und  indem man D'/D=3 setzt, so wird die Gleichung 12 folgendermassen  vereinfacht: 



   
EMI24.2
 



   Unter Annahme, dass  sigma  und  sigma  Werte von 17 nC/4 mm<<2>>  haben, was in der Praxis einfach erreichbar ist, so wäre die Haltekraft  etwa 2900-mal stärker als die Schwerkraft für eine Perle mit 300  mu m Durchmesser. Eine kleinere Perle hat eine stärkere Haltekraft.  Damit ist die Haltekraft auch stark genug für eine kleinere Perle  mit einem Durchmesser von weniger als 300 mu m. 



   Die folgenden Berechnungen veranschaulichen die Verwendung praktischer  Zahlen in den mathematischen Ableitungen. 



   Wenn die Perle eine positive Ladung q trägt, so ist die Kapazität  C c der Halteeinrichtung folgendermassen: 



   
EMI24.3
 



   wobei d die Dicke der isolierenden dielektrischen Schicht ist und  er die relative dielektrische Stärke oder dielektrische Konstante  ist. Die Kapazitätsoberflächendichte ist: 



   
EMI25.1
 



   wobei Q=CV (V ist die Spannung über der dielektrischen Schicht). 



   Die Ladungsdichte ist: 



   
EMI25.2
 



   Wenn die Haltekraft (F) der Perle so abgeschätzt wird, als beruhte  sie auf Punktladungen, so gilt die folgende Gleichung: 



   
EMI25.3
 



   Ein Vergleich dieser Kraft mit der folgenden Schwerkraft: 



   
EMI25.4
 



   Und wenn d=2 mil = 50 mu m = 5 x 10<-<5>> m und 



   D = 100 mm = 1 x 10<-4>m, so ergibt sich 



   
EMI25.5
 



   und 



   
EMI26.1
 



   was in etwa gleich 2 Volt für d = 50  mu  ist. V kann bis zu 8000  Volt betragen und das maximale Verhältnis zur Schwerkraft ist 16 000,  dass die Van-der-Waals-Kraft viel kleiner als die elektrostatische  Kraft für einen Gegenstand ist, der grösser als 10  mu m ist. Eine  Umkehr der Spannung stösst die Perle definitiv ab und liefert dadurch  einen Freigabemechanismus. 



   Wenn sich eine zweite Perle derselben Öffnung annähert, so ist ihr  Abstand zumindest 50 x 2 <3/2> mu m entfernt. 



   Die anziehende Kraft beträgt zumindest 



   
EMI26.2
 



   was für die zweite Perle ungefähr 6-mal schwächer ist. Die Ladung  q der ersten Perle schirmt jedoch die entgegengesetzte Ladung auf  der unteren leitfähigen Schicht ab. 



   Es gibt deshalb einen weiteren Faktor, auf Grund dessen die an eine  Öffnung angezogene, vorhandene Perle die Ladung auf der Halteeinrichtung  an der Öffnung durch einen Ladungsreduktionsfaktor von 



   
EMI26.3
 



   reduziert. Daher beträgt die neue Kraft Fn für das Halten einer zweiten  Perle: 



   
EMI27.1
 



   mal kleiner als F. Daher gilt 



   
EMI27.2
 



   
EMI27.3
 



   
EMI27.4
 



   
EMI27.5
 



   
EMI28.1
 



   Dann ist: 



   
EMI28.2
 



   und V ist näherungsweise gleich 13,3 kV, welches die angelegte Spannung  wäre, die notwendig wäre, um eine zweite Perle zu halten. Die Verwendung  einer angelegten Spannung von weniger als 1,3, kV bewirkt daher,  dass näherungsweise eine Perle an jeder Öffnung angezogen wird. Damit  ist in dem obigen Beispiel die Haltekraft um etwa 2600 mal stärker  als die Schwerkraft. 



   Unter der Annahme, dass die Ladungen über die gesamten Perlen gleichmässig  verteilt sind, kann die Kraft, welche die Perle an der elektrostatischen  Halteeinrichtung hält, folgendermassen abgeschätzt werden. Wenn das  Zentrum der Perle der Ursprung ist und D der Durchmesser der Perle  ist, D' der Durchmesser der Öffnung der Halteeinrichtung ist, an  welcher die Perle haftet,  sigma  die Ladungsdichte der Oberfläche  der Perle ist, der Vektor <<r>> vom Ursprung im Zentrum der Perle  ausgeht und in Richtung der Oberfläche der Perle zeigt und der Vektor  <<r>'> vom Ursprung im Zentrum der Perle ausgeht und in Richtung  der Oberfläche der Halteeinrichtung zeigt, so gilt die folgende Gleichung:                                                     



   
EMI28.3
 



   wobei B = O für die erste Perle und B = D/2 für eine zweite Perle.                                                             



   
EMI28.4
 



   
EMI28.5
 



   
EMI29.1
 



   
EMI29.2
 



   Daher kann die Haltekraft F auf der Grundlage der folgenden Gleichung  berechnet werden: 



   
EMI29.3
 



   woraus folgendermassen integriert werden kann: 



   
EMI29.4
 



   
EMI29.5
 



   Daher gelten die folgenden Gleichungen: 



   
EMI30.1
 



   
EMI30.2
 



   
EMI30.3
 



   
EMI30.4
 



   
EMI30.5
 



   
EMI31.1
 



   
EMI31.2
 



   
EMI31.3
 



   
EMI31.4
 



   
EMI31.5
 



   
EMI31.6
 



   
EMI31.7
 



   
EMI31.8
 



   Eine der leitfähigen Schichten, wie zum Beispiel die untere leitfähige  Schicht der elektrostatischen Halteeinrichtung, kann x-adressierbar  oder x-y-adressierbar sein, sodass die Stelle bzw. Position der an  die Halteeinrichtung angezogenen Gegenstände ausgewählt werden kann.  Beispielsweise hat in einer x-adressierbaren Halteeinrichtung die  untere leitfähige Schicht Reihen von Öffnungen, von welchen eine  einzelne Reihe zu einem Zeitpunkt aktiviert werden kann. Daher kann  man die Platzierung von Gegenständen nur an einer bestimmten Reihe  von Öffnungen der elektrostatischen Halteeinrichtung anstatt an jeder  Öffnung oder Reihe der Halteeinrichtung auswählen.

   Bei einer x-y-adressierbaren  Halteeinrichtung kann die Fläche der unteren leitfähigen Schicht,  welcher jeder Öffnung oder jedem Durchgang entspricht, von dem übrigen  Teil der unteren leitfähigen Schicht, welcher irgendeiner der anderen  Öffnungen entspricht, unabhängig gemacht werden. Man kann also beispielsweise  die Anordnung von Gegenständen nur an bestimmten Öffnungen der Halteeinrichtung  anstatt an jeder Öffnung der Halteeinrichtung auswählen. 



   In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen werden die an der Halteeinrichtung  anzubringenden Gegenstände vor ihrer Aufbringung geladen. Die Ladung  kann beispielsweise entweder eine Plasmaladung oder eine elektrostatische  Ladung sein, was von der Natur des Gegenstandes abhängt, der auf  der Halteeinrichtung aufgebracht werden soll. Wenn beispielsweise  Perlen verwendet werden, so kann entweder eine Plasma- oder elektrostatische  Ladung verwendet werden, da keine von beiden eine Beschädigung der  Perlen bewirkt. Für andere Gegenstände, die durch Plasmaladen beschädigt  werden könnten, wird vorzugsweise eine elektrostatische Ladung verwendet.

    Beispiele von Materialien, die für Reibungsladung verwendet werden  können, umfassen Teflon und Polymere von Chlorotrifluoethylen, Chloridpropylen,  Vinylchlorid, chlorinierter Ether, 4-Chlorostyren, 4-Chloro-4-Methoxystyren,  Sulfate, Epichlorhydrin, Styren, Ethylen, Karbonate, Ethylvinylacetat,  Methylmethacrylat, Vinylacetat, Vinybutyral, 2-Vinylpyridinstyren,  Nylon und Ehylenoxide. Siehe beispielsweise "Reibungselektrifizierung  von Polymeren" in K .C. Frisch und A. Patsis, Electrical Properties  of Polymers (Technomic Publications, Westport, CT), wobei dieser  Artikel hier durch die Bezugnahme in seiner Gesamtheit aufgenommen  wird. 



   Vorzugsweise werden überschüssige Gegenstände, die nicht elektrostatisch  an der Halteeinrichtung haften, vor der Überführung der Gegenstände  an ein Substrat entfernt. Um die Gegenstände freizugeben, kann das  Anlegen der Spannung beendet werden oder die Spannung kann für eine  grössere Entfernungskraft bzw. Abstossungskraft umgekehrt werden.                                                              



   Zusätzlich zu der Bereitstellung der Halteeinrichtungen selbst stellt  die vorliegende Erfindung    Verfahren zur Verwendung der Halteeinrichtungen  bereit. Beispielsweise sieht die vorliegende Erfindung gemäss einem  Aspekt Verfahren für das elektrostatische Halten eines Gegenstandes  oder mehrerer Gegenstände vor, mit (a) Bereitstellen einer elektrostatischen  Halteeinrichtung; (b) Anlegen einer Spannungsquelle an der Halteeinrichtung  und (c) Aufbringen von Gegenständen auf die Halteeinrichtung, um  dadurch die Gegenstände an die Halteeinrichtung anzuziehen.

   In bestimmten  Ausführungsformen weist der Schritt (b) auf: (i) Anlegen einer Spannung  mit einer Polarität an eine erste leitfähige Schicht der Halteeinrichtung,  wobei die erste leitfähige Schicht oben auf Durchgängen angeordnet  ist, die sich durch eine Schicht der Halteeinrichtung erstrecken,  und (ii) Anlegen einer Spannung entgegengesetzter Polarität an einer  zweiten leitfähigen Schicht der Halteeinrichtung unter den Durchgängen,  und dadurch Induzieren einer Ladung einer Polarität am Grund der  Durchgänge und einer Ladung entgegengesetzter Polarität an der Oberseite  der Durchgänge, wobei die Polarität auf der Oberseite des Durchganges  entgegengesetzt zu der Polarität der Ladung der meisten der an die  Halteeinrichtung angezogenen Gegenstände ist. In bevorzugten Ausführungsformen  sind die leitfähigen Schichten aus Metall hergestellt. 



   In bevorzugten Ausführungsformen schliessen die Verfahren das elektrostatische  Laden des Gegenstandes vor seiner Aufbringung auf die Halteeinrichtung  ein. Dies kann beispielsweise durch Reibung bewirkt werden, durch  mechanisches Schütteln einer Mischung aus Perlen und einem Pulver,  vorzugsweise für etwa 30 Minuten und vorzugsweise mit einer Menge  an Perlen und Pulver, sodass die Oberfläche der Perlen der Oberfläche  des Pulvers entspricht, wobei die Oberfläche bestimmt werden kann  durch Berechnen mit dem Faktor 4 pi <2>. Beispielsweise können etwa  15 g Perlen verwenden werden für etwa 450 mg Pulver, unter der Annahme,  dass die Dichte etwa 1 g/cm<3> beträgt. Die Perlen bestehen vorzugsweise  aus einem leitfähigen Material, wie zum Beispiel Stahl, welcher mit  einem Dielektrikum beschichtet ist, wie zum Beispiel Teflon oder  Kynar (Polytetrafluoroethylen-Harz).

   Teflonbeschichtete Perlen kann  man beispielsweise von Nu-Kote (Derry, PA) erhalten und Kynar beschichtete  Perlen kann man beispielsweise von Vertex Image Products (Yokom,  PA) erhalten. 



   Zusätzlich zu der Verwendung für die Positionierung von Gegenständen  können die Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung,  einschliesslich der Halteeinrichtungen, die für die Positionierung  von Gegenständen ausgelegt sind, verwendet werden, um einfach einen  Gegenstand zu erhalten. Weiterhin können die Halteeinrichtungen der  vorliegenden Erfindung zusätzlich zu Perlen auch für Pulver und Tabletten  verwendet werden, wie unten beschrieben wird.

   Zusätzlich können die  Halteeinrichtungen der vorliegenden Erfindung für zahlreiche andere  Typen von Gegenständen verwendet werden, was, ohne darauf beschränkt    zu sein, ein dünnes leitfähiges Substrat, wie zum Beispiel ein  essbares Polymersubstrat, einschliesst, welches als ein Substrat  für die Abscheidung eines pharmazeutisch wirksamen Pulvers verwendet  werden kann, und das Substrat kann anschliessend beispielsweise verwendet  werden, um eine Tablette zu erzeugen oder zu beschichten. 



   Die Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung können verwendet  werden, um einen Gegenstand oder mehrere Gegenstände während einer  chemischen oder pharmazeutischen Verarbeitung gegen Schwerkräfte  zu halten. Zusätzlich liefert die vorliegende Erfindung Verfahren  der chemischen Herstellung unter Verwendung einer Halteeinrichtung  für das Anziehen eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände an  ein Substrat, wobei die Gegenstände bei der chemischen Herstellung  verwendet werden. Gemäss einem anderen Aspekt stellt die vorliegende  Erfindung Verfahren zum Herstellen einer pharmazeutischen Zusammensetzung  unter Verwendung einer Halteeinrichtung bereit, um einen Gegenstand  oder mehrere Gegenstände an ein Substrat anzuziehen, wobei die Gegenstände  verwendet werden, um die pharmazeutische Zusammensetzung herzustellen.

    Die Halteeinrichtung kann so hergestellt werden, dass sie vergrösserte  Abmessungen hat, um einen Gegenstand, der einen vergrösserten Oberflächenbereich  hat, anzuziehen. 



   Vorzugsweise beträgt die Dicke eines Gegenstandes, der von einer  elektrostatischen Halteeinrichtung der vorliegenden Erfindung gehalten  wird, weniger als etwa 300 mm und bevorzugter weniger als 100 mm  und noch bevorzugter weniger als 50 mm, noch bevorzugter weniger  als 25 mm, noch bevorzugter weniger als 10 mm, noch bevorzugter weniger  als 5 m und am meisten bevorzugt weniger als 3 mm. 



   In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen sind die von einer Halteeinrichtung  gehaltenen Gegenstände pharmazeutische Substrate, und die Gegenstände  sind rund, wie zum Beispiel Tabletten. Alternativ können die Gegenstände  länglich sein, und sie können beispielsweise Kapseln oder Hülsen  sein. Wenn der Gegenstand eine Tablette ist, so hat diese vorzugsweise  eine Dicke von nicht mehr als etwa 3 mm. Die vorliegende Erfindung  stellt zusätzlich die Verwendung einer Halteeinrichtung für das Halten  eines Gegenstandes oder mehrerer Gegenstände bereit, welche in einigen  Ausführungsformen mit Teilchen beschichtet werden, während sie gehalten  werden. In bevorzugten Ausführungsformen befinden sich die Teilchen  in einem Pulver, welches eine pharmazeutisch wirksame Verbindung  enthält. 



   Zusätzlich zu den Perlen können also die Halteeinrichtungen gemäss  der vorliegenden Erfindung verwendet werden, um ein Substrat für  die Aufbringung eines pharmazeutisch wirksamen    Bestandteiles.  Solche Substrate schliessen beispielsweise ein Suppositorium oder  ein essbares Substrat, wie zum Beispiel eine pharmazeutische Tablette,  eine Kapsel oder Hülse oder einen wasserlöslichen Film ein, wie zum  Beispiel Hadrosypropylmethylzelluloseharz. Andere Substrate schliessen  Aufbereitungen, Bandagen und Auflagen ein, ebenso wie beispielsweise  einen Behälter für eine Inhalationsvorrichtung bzw. ein Inhaliermittel.  Beispielsweise kann die Inhalationsvorrichtung eine flache, keramische  Scheibe sein, auf welche eine Mehrzahl von Medikamentendosierungen  angeordnet werden. Siehe beispielsweise US-Serien-Nr. 08/471 889,  die hier durch die Bezugnahme aufgenommen wird. 



   Weiterhin stellt die vorliegende Erfindung eine elektrostatische  Halteeinrichtung bereit mit einer Ausgestaltung für das Abscheiden  einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen auf einem Aufnahmesubstrat.  Vorzugsweise sind die Gegenstände weniger als etwa 3 mm dick und  die Ausgestaltung der Halteeinrichtung weist vorzugsweise eine leitfähige  Schicht auf, die eine x- oder y-adressierbare Fläche für das Abscheiden  einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen auf einem Aufnahmesubstrat  hat. Vorzugsweise hat die Halteeinrichtung mehrere Flächen, die x-  oder y-adressierbar sind, wobei jede Fläche vorzugsweise einem getrennten  Substrat, wie zum Beispiel einem pharmazeutischen Träger, entspricht.  In bevorzugten Ausführungsformen sind die Substrate angeschlossen  bzw. verbunden.

   Beispielsweise können die Substrate ein pharmazeutischer  Träger sein und die Gegenstände können beispielsweise Teilchen in  einem Pulver, Mikrokügelchen oder Liposome sein, die einen pharmazeutisch  wirksamen Bestandteil enthalten, und gemeinsam erzeugen sie eine  pharmazeutische Dosier- bzw. Darreichungsform. Wenn die Substrate  miteinander verbunden sind, so kann eine Mehrfachdosierungspackung  gebildet werden, in der beispielsweise die Dosierung von einer Einheit  zu der nächsten abnimmt, wie zum Beispiel bei einer Mehrfachdosierungspackung  zur Geburtenkontrolle. Die Dosierung kann bestimmt werden durch die  Anzahl von Gegenständen, die auf bzw. in jedem pharmazeutischen Träger  angeordnet werden unter Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung.

    Die vorliegende Erfindung stellt also eine Mehrfachdosierungsform  bereit, die Einheiten hat, bei welchen jede Einheit eine Dosierung  hat, zumindest zwei Einheiten unterschiedliche Dosierungen haben,  die Dosierungen durch die Anzahl von Mikrokügelchen in der Einheit  bestimmt werden. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen haben  die Mikrokügelchen eine Grösse von etwa 1 bis etwa 5 Mikrometern,  in einigen Fällen vorzugsweise etwa 100 bis 500 Mikrometern, und  in anderen Fällen vorzugsweise etwa 50 Mikrometer. 



   Die Mikrokügelchen weisen vorzugsweise ein pharmazeutisch annehmbares  bzw. verträgliches Polyalkylen auf, wie zum Beispiel Polyethylenglycol,  welches vorzugsweise in einer    Konzentration von zumindest etwa  90% und noch bevorzugter von etwa 95% Polyethylenglycol vorliegt.  Die unten beschriebenen Halteeinrichtungen, wie zum Beispiel für  das Anziehen von Tabletten und für das Erzeugen von Ladungsabbildern  mit einer weiteren dielektrischen Schicht, können verwendet werden,  um die oben beschriebenen Mehrfachdosierungsformen bzw. Darreichungsformen  zu erhalten. Siehe beispielsweise Fig. 26. 



   Zusätzlich zu pharmazeutischen Gegenständen oder Teilchen können  die elektrostatischen Halteeinrichtungen der vorliegenden Erfindung  verwendet werden, um irgendein anderes Teilchen anzuziehen, was man  an der elektrostatischen Halteeinrichtung haften lassen kann. Zusätzlich  können die Halteeinrichtungen beispielsweise verwendet werden, um  Liposome anzuziehen und in Kosmetikkapseln abzulegen. 



   Weiterhin können die elektrostatischen Halteeinrichtungen im Massstab  vergrössert werden für eine kontinuierliche Herstellung in grossem  Massstab, wie zum Beispiel unter Verwendung einer Bahn aus einem  essbaren Substrat, zum Beispiel für die Verwendung mit Tabletten  oder einer Bahn aus einem Inhaliersubstrat. 



   Zusätzlich zu den Halteeinrichtungen stellt die vorliegende Erfindung  auch Verfahren für das Abscheiden einer ausgewählten Anzahl von Gegenständen  bereit mit: (a) Bereitstellen einer elektrostatischen Halteeinrichtung,  die eine Fläche hat, die x- oder y-adressierbar ist, (b) Kontaktieren  der Halteeinrichtung mit Gegenständen, wobei die Gegenstände an der  Halteeinrichtung im Wesentlichen in den Bereichen haften, die x-  oder y-adressierbar sind, und (c) Freigeben der Gegenstände auf  einem Aufnahmesubstrat, welches mit den Flächen der Halteeinrichtung,  auf welchen die Gegenstände haften, ausgerichtet ist: Die vorliegende  Erfindung stellt auch Verfahren zur Herstellung einer Dosierungs-  bzw.

   Darreichungsform bereit, mit: (a) Bereitstellen einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit einer Fläche, die x- oder y- adressierbar ist,  (b) Kontaktieren der Halteeinrichtung mit Teilchen, die einen pharmazeutisch  wirksamen Bestandteil enthalten, wobei die Teilchen an der Halteeinrichtung  im Wesentlichen in den Bereichen haften, die x- und y-adressierbar  sind, und (c) Freilassen der Gegenstände auf einen pharmazeutischen  Träger, der mit den Flächen der Halteeinrichtung, auf welchen die  Teilchen haften, ausgerichtet wird. 



     Weiterhin kann ein pharmazeutisches oder sonstiges Substrat, welches  beispielsweise durch eine elektrostatische Halteeinrichtung gehalten  wird, mit einem Pulver beschichtet werden, wie zum Beispiel einem  Pulver, das einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthält. Vorzugsweise  liegt das Pulver in trockener, mikrozerkleinerter Form vor, wofür  beispielsweise ein Luftstrahlmahlverfahren verwendet wir,d und die  Teilchen haben zumindest etwa 1 Mikrometer Durchmesser und vorzugsweise  zwischen 1 und, 10 Mikrometer Durchmesser und noch bevorzugter etwa  4 bis 8 Mikrometer Durchmesser. Vorzugsweise wird das Pulver vor  der Aufbringung auf die Halteeinrichtung elektrostatisch geladen,  beispielsweise durch Mischung mit Perlen, wie zum Beispiel durch  mechanisches Schütteln.

   Die Schüttelzeit beträgt vorzugsweise etwa  30 Minuten, und die Menge an verwendeten Perlen wird vorzugsweise  so berechnet, dass die Oberfläche der Perlen proportional zu der  Oberfläche der Teilchen des Pulvers ist. Beispielsweise können 15  g Perlen mit 450 mg Pulver verwendet werden. 



   Ohne Beschränkungsabsicht auf eine bestimmte Theorie wird angenommen,  dass das elektrische Potenzial, welches von den elektrostatischen  Halteeinrichtungen gemäss der vorliegenden Erfindung erzeugt wird,  sowohl für das Halten eines leitfähigen Objektes an seinem Platz,  wie zum Beispiel einer Tablette, als auch für das Anziehen eines  geladenen Gegenstandes wie zum Beispiel Teilchen in einem Pulver  auf ein Aufnahmesubstrat dient. 



   Wenn eine Halteeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung verwendet  wird, um ein Aufnahmesubstrat zu halten, wie zum Beispiel eine Tablette,  und zwar während der Abscheidung von Teilchen, wie zum Beispiel einem  Pulver, das einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthält, so  sind die Tabletten vorzugsweise dicht gepackt auf der Halteeinrichtung,  sodass nur die Tabletten das Pulver aufnehmen und die Halteeinrichtung  selbst nicht mit dem Pulver beschichtet wird. Beispielsweise können  die elektrostatischen Halteeinrichtungen gemäss der Erfindung verwendet  werden, um etwa 81 Tabletten in einer Reihe von 9 Tabletten und in  Spalten von 9 Tabletten zu halten. 



   Die Grösse der Halteeinrichtung hängt von der Anzahl und Grösse der  Gegenstände ab, die unter Verwendung der Halteeinrichtung angezogen  werden sollen. Beispielsweise kann eine Halteeinrichtung mit den  Massen 2 Zoll mal 2 Zoll etwa 100 Tabletten halten, wobei jede Tablette  einen Durchmesser von etwa 5,6 mm hat. Vorzugsweise ist die Halteeinrichtung  wiederverwendbar und kann zwischen den Benutzungen abgewaschen werden.  Vorteile der vorliegenden Erfindung umfassen die Fähigkeit, ein pharmazeutisches  Substrat ohne Verwendung einer mechanischen Einrichtung zu erhalten.  Die vorliegende Erfindung stellt daher beispielsweise einen elektrostatischen  Mechanismus für das Halten einer Tablette bereit, die    nur lose  zusammengedrückt ist und die zerbrechen würde, wenn sie durch eine  mechanische Einrichtung oder eine Vakuum-Halteeinrichtung gehalten  würde.

   Zusätzlich wird beispielsweise angenommen, ohne damit an eine  bestimmte Theorie gebunden zu sein, dass beispielsweise pharmazeutisch  annehmbare bzw. verträgliche Träger in Tabletten häufig leitfähige  sind und ihre Ladung innerhalb von weniger als einer Millisekunde  abgeben. Eine elektrostatische Halteeinrichtung liefert einen Vorteil  dadurch, dass sie die Ladung eines pharmazeutischen Substrates aufrechterhält,  welches anderenfalls seine Ladung verlieren würde. 



   Vorzugsweise beinhalten die Tabletten eine beträchtliche Menge an  Zellulose, vorzugsweise mehr als etwa 50% Zellulose, noch bevorzugter  mehr als 60% Zellulose, noch bevorzugter mehr als 75% Zellulose,  sogar noch bevorzugter mehr als 90% Zellulose und am meisten bevorzugt  etwa 95% Zellulose. In anderen Ausführungsformen beinhalten die Tabletten  etwa 65% Laktose und etwa 43% Zellulose. In bestimmten Ausführungsformen  beinhalten die Tabletten etwa 80% Laktose. Vorzugsweise haben die  Tabletten keinen Bestandteil, der bewirken würde, dass sie von ihrer  Eigenschaft abweichen, entweder ein guter Leiter oder ein gutes Dielektrikum  zu sein. Beispielsweise beinhaltet bei einer Tablette, wie zum Beispiel  einer, die im Wesentlichen aus Zellulose hergestellt ist, diese Tablette  keine dielektrischen Metalloxide, wie zum Beispiel zwei- oder dreiwertiges  Eisen oder Titanoxid.

   Vorzugweise beträgt die Menge an Eisenoxid,  falls es vorhanden ist, weniger als etwa 1%. Ausserdem enthält die  Tablette vorzugsweise keinerlei Feuchtigkeit und beinhaltet vorzugsweise  keine beträchtliche Menge an Salz, wie zum Beispiel Natriumbikarbonat,  welches mit grosser Feuchtigkeit leitfähig wird und welches dadurch  die wirksamste Betriebsweise der elektrostatischen Halteeinrichtung  auf Grund von Feuchtigkeit beeinflussen bzw. beeinflussbar machen  würde. 



   Die Tabletten können wahlweise zusätzliche Bestandteile enthalten,  einschliesslich Natriumstärke, Glycolat und Magnesiumstearat, ohne  jedoch hierauf beschränkt zu sein. 



   Wenn ein essbares Substrat, auf welchem beispielsweise ein pharmazeutisch  wirksames Pulver abgeschieden ist, mit einer Tablette verschmolzen  wird, so ist das essbare Substrat vorzugsweise aus im Wesentlichen  demselben Bestandteil wie die Tablette hergestellt, wie zum Beispiel  Zellulose. Zum Beispiel kann Hydroxypropylmethylzellulose verwendet  werden, wie zum Beispiel Edisol M Film M-900 oder EM 1100, welches  von Polymer Films Inc. (RockvilIe, CT) erhältlich ist. 



   Vorzugsweise ist die Dichte der Tablette derart, dass, falls sie  einen Durchmesser von etwa 5,6    mm hat, die Tablette nicht mehr  als etwa 100 mg wiegt. Wenn der Durchmesser der Tablette zweimal  so gross ist, so kann das Gewicht proportional zum Quadrat des Durchmessers  sein. 



   Die Leitfähigkeit einer Tablette kann bestimmt werden durch Messen  des Gleichstromwiderstandes, indem die Tablette in einen elektrischen  Schaltkreis zwischen eine Spannungsquelle und ein Pikoamperemeter  platziert wird. Die Kapazität der Tablette kann gemessen werden,  indem die Tablettenprobe parallel zu einem Hewlett Packard 4192 A  Niederfrequenzimpedanz-Analysator angeordnet wird, welcher auf 1  kHz eingestellt ist. Die Tabletten sind vorzugsweise auf beiden Seiten  mit einer dünnen Schicht aus leitfähiger Silberfarbe bestrichen,  um einen guten elektrischen Kontakt sicherzustellen. Es sind verschiedene  Zusammensetzungen getestet worden, und es wurden Leitfähigkeiten  zwischen 2,4  x  10<9> LAMBDA  6,3  x  10<9> LAMBDA  gefunden. Der  Bereich der Impedanz lag zwischen etwa 2 x 10<9> LAMBDA  bis 23 x  10<10> LAMBDA .

   Die Kapazität wurde mit 0,3 pF bis 0,5 pF bestimmt,  welches einer Ladungshaltezeit von 100  mu sek bis 1  mu sek entspricht.                                                       



   Zusätzlich zu den oben beschriebenen Halteeinrichtungen, um insbesondere  mehrere Gegenstände zu positionieren für die Überführung auf ein  Aufnahmesubstrat, sieht die vorliegende Erfindung auch elekt-rostatische  Halteeinrichtungen vor, die verwendet werden, um einen Gegenstand  oder mehrere Gegenstände während der Verarbeitung in der chemischen  oder pharmazeutischen Industrie zu halten. Eine solche Verarbeitung  beinhaltet das Abscheiden von Teilchen auf den Gegenständen, wie  zum Beispiel die Abscheidung eines pharmazeutisch wirksamen Pulvers  auf Tabletten. Dieses ist beispielsweise besonders zweckmässig, wenn  der aktive Bestandteil mit dem übrigen Teil der Tablette inkompatibel  bzw. unverträglich ist. Weiterhin können mehr als eine Art von Bestandteil  auf einen Gegenstand aufgeschichtet werden, wie zum Beispiel eine  Tablette.

   Die Tablette kann weiter verarbeitet werden, nachdem die  Teilchen auf ihr abgeschieden worden sind. Beispielsweise kann die  Tablette nach der Abscheidung beschichtet werden. 



   Gemäss einem Aspekt stellt die vorliegende Erfindung eine elektrostatische  Halteeinrichtung bereit mit einer leitfähigen Schicht, die zumindest  eine Elektrode für das elektrostatische Anziehen mehrerer Gegenstände  bildet. In anderen bevorzugten Ausführungsformen weist die Halteeinrichtung  eine leitfähige Schicht auf, die zwei Elektroden bildet, die in bestimmten  Ausführungsformen schlangenlinienförmig oder fingerartig ineinander  greifend ausgebildet sind, um eine höhere Wahrscheinlichkeit zu liefern,  dass die Fläche der beiden Elektroden, die von demselben Gegenstand  bedeckt werden, dieselben sind, sodass Gegenstände an verschiedenen  Stellen der Halteeinrichtung auf demselben Potenzial gehalten werden.  Zusätzlich ist die    Oberfläche in günstiger Weise umgekehrt proportional  zu dem von der Halteeinrichtung zu haltenden Gegenstand.

   Beispielsweise  hat in bevorzugten Ausführungsformen die Elekt-rode eine grösser  Oberfläche für das elektrostatische Halten eines kleineren Gegenstandes.  Die leitfähige Schicht, welche Gegenstände an die Halteeinrichtung  anzieht oder an dieser haften lässt, wird "obere leitfähige Schicht"  genannt und diese Schicht ist nicht notwendigerweise die am weitesten  aussen liegende Schicht der Halteeinrichtung. Beispielsweise kann  die obere leitfähige Schicht eine dünne dielektrische Schicht darauf  haben, zwischen der leitfähigen Schicht und den Gegenständen. Weiterhin  kann die Halteeinrichtung mehr als eine leitfähige Schicht haben,  die eine Elektrode bildet, auch wenn nur die leitfähige Schicht,  welche Gegenstände an die Halteeinrichtung anzieht oder an dieser  haften lässt, als "obere leitfähige Schicht" bezeichnet wird. 



   In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen sind die Halteeinrichtungen  aus Festkörpermaterialien wie zum Beispiel Glas oder Siliziumdioxid  oder anderen Keramiken hergestellt, die eine gute dielektrische Festigkeit  und daher eine bessere Anziehung von Gegenständen beinhalten. Die  bessere dielektrische Festigkeit gewährleistet auch eine dünnere  Schicht und eine niedrigere Spannung, was die Sicherheit erhöht.  Weiterhin sind die Materialien wohl charakterisiert, haltbar, mechanisch  fest und leicht verfügbar. 



   In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen weist die Halteeinrichtung  vier Schichten auf. Die untere leitfähige Schicht ist wahlweise vorhanden,  und sie ist in bevorzugten Ausführungsformen vorhanden. Vorzugsweise  ist die untere leitfähige Schicht elektrisch erdfrei. Die untere  leitfähige Schicht kann beispielsweise aus Metall, wie zum Beispiel  aus aluminisierten Polypropylen, hergestellt sein, und sie hat vorzugsweise  eine Dicke von etwa 5000 nm. Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich  einer bestimmten Theorie wird angenommen, dass die untere leitfähige  Schicht das Randfeld auf der Oberseite der elektrostatischen Halteeinrichtung  verstärkt und dadurch eine Ladungsumverteilung auf dem an die Halteeinrichtung  angezogenen Gegenstand bewirkt, was eine stärke elektrostatische  Anziehung eines Gegenstandes an die Halteeinrichtung gewährleistet.

                                                              



   Die zweite Schicht, die sich auf der unteren leitfähigen Schicht  befindet, ist eine dielektrische Schicht, wie zum Beispiel Polypropylen,  oder eine Halbleiterschicht, wie zum Beispiel eine Keramik, beispielsweise  SiO 2 . Die dritte Schicht ist eine obere leitfähige Schicht auf  der dielektrischen Schicht, und diese obere leitfähige Schicht hat  zumindest eine Elektrode, wie zum Beispiel zwei fingerartig ineinander  greifende Elektroden, die vorzugsweise aus einem Metall, wie zum  Beispiel Silber, hergestellt sind. Vorzugsweise ist die obere leitfähige  Schicht    aus einem Material hergestellt, welche pharmazeutisch  wirksame Materialien nicht in negativer Weise beeinflusst. 



   Die vierte Schicht, die sich auf der oberen leitfähigen Schicht befindet,  ist eine wahlweise vorhandene, dünne dielektrische Schicht, die vorzugsweise  aus Polyimid oder einem anderen Material hoher di-elektrischer Festigkeit  hergestellt ist und vorzugsweise eine Dicke von etwa 10 Mikrometer  bis etwa 50 Mikrometer hat. 



   Gemäss Fig. 6 ist die untere leitfähige Schicht 610 der Halteeinrichtung  620 mit einer dielektrischen Schicht 630 beschichtet. Oben auf der  dielektrischen Schicht befindet sich eine obere leitfähige Schicht  640, die eine fingerartig ineinander greifende Elektrode mit einer  ersten Elektrode 650 und einer zweiten Elektrode 660 bildet. Eine  zweite dielektrische Schicht 670 ist oben auf der oberen leitfähigen  Schicht 640 angeordnet. Fig. 7 zeigt eine Ansicht von oben auf die  beiden fingerartig ineinander greifenden Elektroden 650 und 660.  Diese Halteeinrichtung 620 kann verwendet werden, um, wie dargestellt,  einen Gegenstand 680 anzuziehen. 



   Während der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit  einer oberen leitfähigen Schicht mit zwei fingerartig ineinander  greifenden Elektroden wird Spannung an den beiden Elektroden der  Halteeinrichtung angelegt, vorzugsweise etwa 200 bis etwa 2000 Volt.  Siehe beispielsweise das Beispiel 4 unten. Die an eine elektrostatische  Halteeinrichtung angelegte Spannung kann eine Gleichspannung (DC)  oder eine Wechselspannung (AC) sein, vorausgesetzt, dass derselbe  Betrag an Spannung angelegt wird. 



   Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich einer bestimmten Theorie ergibt  sich unter Annahme eines Kontaktbereiches von 1 mm für die Tablette                                                            



   
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   Für den Kondensator ergibt sich, dass unter der Annahme, dass X die  Dicke der dielektrischen Schicht ist, für eine 60-mg-Tablette die  Schwerkraft 60  x  10<-<6>> kg  x  9,8 N/kg = 600  pi N und die elektrostatische  Kraft ist deshalb etwa 70-mal stärker als die Schwerkraft. 



   Ohne Beschränkung auf irgendeine bestimmte Theorie wird angenommen,  dass der Gegenstand nicht notwendigerweise einen direkten körperlichen  Kontakt mit einer Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht haben  muss, um von der Halteeinrichtung elektrostatisch gehalten zu werden.  Wenn die Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen Schicht mit  den fingerartig ineinander greifenden Elektroden verwendet wird,  um ein geladenes Pulver beispielsweise auf einer Tablette aufzubringen,  so nimmt die elektrostatische Kraft, welche die Tablette hält, zu,  wenn das geladene Pulver auf der Tablette abgeschieden wird, und  stellt dadurch einen zusätzlichen Vorteil bezüglich einer stärkeren  Haltekraft bereit.

   Es gibt eine begrenzte Menge an geladenem Pulver,  welches unter Verwendung der Halteeinrichtung mit fingerartigem Ineinandergreifen  abgeschieden werden kann, die auf einem Vorspannpotenzial beruht.  Diese Halteeinrichtung liefert damit den Vorteil der Fähigkeit, die  Menge an auf einem Substrat abgeschiedenem Pulver zu bestimmen, indem  die verbleibende Ladungsmenge gemessen wird. Die Ladung kann beispielsweise  unter Verwendung eines Elektrometers oder eines Pikoammeters gemessen  werden. Der Wert der Ladung kann verwendet werden, um die Masse des  abgeschiedenen Pulvers zu bestimmen. Die Ausgestaltung dieser Halteeinrichtung  stellt ihre Fähigkeit bereit, praktisch jeden Gegenstand, der im  Vergleich zu der stark dielektrischen Schicht auf der Oberseite der  Halteeinrichtung leitfähig ist, elektrostatisch zu halten. 



   Ohne sich auf eine bestimmte Theorie beschränken zu wollen, können  die folgenden mathematischen Formeln verwendet werden, um die Haltekraft  der in den Schaltkreisdiagrammen, wie sie in den Fig. 8A und 8B gezeigt  sind, dargestellten Halteeinrichtung zu berechnen. Fig. 8A gibt ein  Schaltkreisdiagramm einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit  einer oberen leitfähigen Schicht wieder, die zwei Elektroden hat,  wobei an jede der Elektroden ein Gegenstand angezogen ist und wobei  die untere leitfähige Schicht fehlt. Fig. 8B gibt ein Schaltkreisdiagramm  einer Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen Schicht mit zwei  Elektroden wieder, wobei an jede Elektrode derselbe Gegenstand angezogen  ist und wobei die untere leitfähige Schicht vorhanden ist.

   Cp 1   ist die Kapazität des zwischen einem Gegenstand,    wie zum Beispiel  einer Tablette, und der ersten Elektrode gebildeten Kondensators;  Cp 2  ist die Kapazität des zwischen einem Gegenstand, wie zum Beispiel  einer Tablette und der zweiten Elektrode gebildeten Kondensators;  Rp ist der Widerstand auf Grund des Gegenstandes; und V gibt das  Haltepotenzial wieder, welches zu der Kraft, die den Gegenstand an  der Halteeinrichtung hält, in Beziehung steht. Gemäss Fig. 8B ist  Ce 1  die Kapazität des zwischen der unteren leitfähigen Schicht  und der ersten Elektrode gebildeten Kondensators; Ce 2  ist die Kapazität  des zwischen der unteren leitfähigen Schicht und der ersten Elektrode  gebildeten Kondensators; und V i  gibt das Vorspannpotenzial wieder.                                                           



   Ein leitfähiger Gegenstand und die Elektrode der oberen leitfähigen  Schicht bilden einen Kondensator mit einer Kapazität, die näherungsweise  gleich 



   
EMI43.1
 



   ist, wobei  epsilon  o  die Dielektrische Konstante im Vakuum und  epsilon  r  die relative Dielektrizitätskonstante der dielektrischen  Schicht oben auf den Elektroden in der oberen leitfähigen Schicht  ist; A ist die Kontaktfläche und d ist die Dicke der dielektrischen  Schicht. Die Kraft, welche den leitfähigen Gegenstand und die Elektrode  in der oberen leitfähigen Schicht hält bzw. zusammenhält, ist gegeben  durch: 



   
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  * wobei V die Spannung über der dielektrischen Schicht ist. Unter der  Annahme  epsilon  3  = 3 für ein Polymer, V = 350 Volt, d = 10  mu  m und A = 15 mm<<2>>, beträgt die elektrostatische Kraft 0,24 N.  Wenn das Material eine Masse von 60 mg hat, so ist die Schwerkraft  0,59  mu N. Die elektrostatische Kraft ist über 400-mal stärker als  die Schwerkraft 



   In den in den Fig. 8A und 8B dargestellten Schaltkreisdiagrammen  ist V ad  = V. Vorausgesetzt, dass nach dem Anlegen der Spannung  V genügend Ladezeit verstrichen ist, so ist V bc  = 0. Wenn geladene  Pulver auf R p  landen, so stellt sich die Spannung über den beiden    Kondensatoren neu ein. Die Stromversorgung hält jedoch den gesamten  Spannungsabfall V ad  konstant. In einer praktischen Auslegung ist  C p1  ist näherungsweise dieselbe wie C p2  und V ab  =  V cd  =  V/2. Die gesamte Anziehungskraft ist proportional zu (V ab <2>+V  cd <2>)  =  V<2>/2. Wenn die Spannung am Punkt b (oder c) auf Grund  des Auftreffens der Pulverladungen bei V' geändert wird, so ist die  neue Anziehungskraft proportional zu V2/2 + 2 V'<2>. Als Ergebnis  der Hinzufügung geladenen Pulvers nimmt die Anziehungskraft zu.

   Ausserdem  wird von der Stromversorgung ein normaler Leckstrom durch die beiden  Kondensatoren mit begrenztem Widerstand ebenso zugeführt. 



   Das angelegte Potenzial V kann auf einer getrennten Spannungsdifferenz  V t  bezüglich Masse gehalten werden. Das Potenzial des leitfähigen  Materials (in dieser Anmeldung ist das leitfähige Material eine Tablette)  ist V f +V/2. Wenn die Tablette einer Wolke geladenen Pulvers ausgesetzt  ist, so erfährt das Pulver das Feld auf Grund des Potenzials V f  +V/2 und wird entsprechend dem Vorzeichen der Ladung auf dem Pulver  angezogen oder abgestossen. Wenn die resultierende Kraft anziehen  ist, so wird das Pulver auf der Tablette abgeschieden. Da sowohl  V f  als auch V in ihrer Grösse ebenso wie hinsichtlich ihres Vorzeichens  kontrolliert (bwz. gesteuert oder eingestellt) werden können, kann  die resultierende Kraft so kontrolliert werden, dass sie für eine  Abscheidung anziehend ist. 



   Ohne Beschränkungsabsicht bezüglich einer bestimmten Theorie wird  angenommen, dass, bevor irgendwelches leitfähiges Material an der  Halteeinrichtung, welche in Fig. 6 und dem Schaltkreisdiagramm in  Fig. 8 dargestellt ist, angebracht wird, die Ladungen sich an den  Rändern der Elektroden konzentrieren. Es gibt ein relativ schwaches  elektrisches Randfeld an der Oberseite der elektrostatischen Halteeinrichtung.  Dieses Feld ist möglicherweise nicht stark genug, um eine Ladungsumverteilung  in der Tablette zu bewirken, um die Tablette an der Halteeinrichtung  anzubringen. Diese Einschränkung wird beseitigt durch die Hinzufügung  einer unteren leitfähigen Schicht unter der Halteeinrichtung, die  auch als rückwärtige- bzw. Stützebene bekannt ist.

   Diese leitfähige  Schicht bewirkt, dass die Ladungen auf den Elektroden sich gleichmässiger  über die Elektroden verteilen bzw. umverteilen. Im Ergebnis werden  ein höheres elektrisches Randfeld auf der Oberseite der Halteeinrichtung  und eine bessere anfängliche Anziehung zwischen der Tablette und  der Halteeinrichtung ausgebildet. Der neue äquivalente Schaltkreis  ist in Fig. 8B dargestellt. 



   In anderen bevorzugten Ausführungsformen weist die Halteeinrichtung  eine obere leitfähige Schicht mit einer einzelnen Elektrode auf.  Vorzugsweise umfasst die Halteeinrichtung drei Schichten. Die untere  Schicht ist vorzugsweise eine untere leitfähige Schicht, die    beispielsweise  aus Metall, wie zum Beispiel Aluminium, hergestellt ist. Alternativ  kann die Bodenschicht beispielsweise auch halbleitend sein, wie zum  Beispiel ein Siliziumwafer. Die mittlere Schicht ist eine dielektrische  Schicht, die vorzugsweise eine hohe dielektrische Festigkeit hat,  wie zum Beispiel thermisch gewachsenes Siliziumdioxid.

   Die obere  Schicht ist eine obere leitfähige Schicht, welche die Elektrode bildet,  die sich von der Oberseite der di-elektrischen Schicht nach aussen  erstrecken kann oder die zurückversetzt sein kann, wodurch sie sich  innerhalb (der Ebene) der dielektrischen Schicht erstreckt. Die obere  leitfähige Schicht ist aus einem leitfähigen Material hergestellt,  wie zum Beispiel einem Metall, zum Beispiel aus Kupferdrähten, oder  einem Halbleiter, zum Beispiel polykristallinem Silizium. Vorzugsweise  hat die obere leitfähige Schicht keinen nennenswert negativen Effekt  auf eine pharmazeutisch wirksame Verwendung. In bevorzugten Ausführungsformen  liegt die Dicke der oberen leitfähigen Schicht zwischen etwa 100  nm und etwa 500 nm.

   Vorzugsweise weist die obere leitfähige Schicht  leitfähige Streifen auf und wenn sie für das Anziehen mehrerer Gegenstände  verwendet wird, so ist die Breite der Fläche zwischen den Streifen  vorzugsweise in etwa gleich dem durchschnittlichen Durchmesser der  Gegenstände, wodurch eine vollständige Abdeckung der Elektrode gewährleistet  wird, wenn die maximale Anzahl von Gegenständen von der Halteeinrichtung  gehalten werden. Wenn also die Halteeinrichtung verwendet wird, um  Gegenstände zu halten, während Teilchen auf den Gegenständen abgeschieden  werden, so gewährleistet diese Ausgestaltung im Wesentlichen das  Beseitigen der Abscheidung auf die Halteeinrichtung selbst. Siehe  beispielsweise Fig. 27. 



   Gemäss Fig. 9B hat die elektrostatische Halteeinrichtung 910 beispielsweise  eine untere leitfähige Schicht 920 mit einer dielektrischen Schicht  930 darauf. Die obere leitfähige Schicht 940 steht entweder nach  aussen von der dielektrischen Schicht 930 vor, wie in Fig. 9B dargestellt,  oder sie ist in die dielektrische Schicht 930 hinein rückversetzt,  wie in Fig. 9C dargestellt. Eine Ansicht von oben auf die Striationen  in der oberen leitfähigen Schicht 940 ist in Fig. 9A dargestellt.  Während der Verwendung der elektrostatischen Halteeinrichtung 910  wird ein Vorspannpotenzial zwischen der oberen leitfähigen Schicht  940 und der unteren leitfähigen Schicht 920 angelegt. 



   Ohne auf eine bestimmte Theorie beschränkt sein zu wollen, wird angenommen,  dass dann, wenn zum Beispiel die oben beschriebene Halteeinrichtung  mit einer einzelnen Elektrode der oberen leitfähigen Schicht verwendet  wird, um Tabletten elektrostatisch zu halten, während ein geladenes  Pulver an den Tabletten angelegt wird, dass es dann keine Ladungsumverteilung  in der Tablette gibt, sondern stattdessen die Tablette unmittelbar  durch den Kontakt mit der Elektrode geladen wird. Daher kann eine  unbegrenzte Menge an geladenem Pulver auf den    Tabletten abgeschieden  werden. 



   In weiteren bevorzugten Ausführungsformen sind elektrostatische Halteeinrichtungen  gemäss der Erfindung für die Ladungsabbildung vorgesehen. Beispielsweise  kann eine Halteeinrichtung verwendet werden für das Ladungsabbilden  auf einem Substrat, um die Abscheidung von Teilchen in einem bestimmten  Muster auf dem Substrat festzulegen. In bestimmten Ausführungsformen  werden Teilchen eines Pulvers, das einen pharmazeutisch wirksamen  Bestandteil hat, in einem ausgewählten Muster auf einem pharmazeutischen  Substrat abgeschieden. Vorzugsweise ist das Substrat ein dünnes dielektrisches  Material, wie zum Beispiel Polypropylen oder ein anderes dünnes,  essbares Substrat, wie zum Beispiel Hydroxypropylmethylzellulose,  welches vorzugsweise eine Dicke von etwa 25 Mikrometern hat.

   Beispielsweise  kann auch ein Kunststoffsubstrat für die Verwendung mit einer Inhalationsvorrichtung  verwendet werden. Zusätzlich zu der Verwendung eines dünnen Substrates,  welches mechanisch an der elektrostatischen Halteeinrichtung angebracht  ist, kann ein Substrat als Aufnahme für das Teilchen verwendet werden,  selbst wenn das Substrat nicht an der elektrostatischen Halteeinrichtung  anbringbar ist, da das Substrat beispielsweise durch eine Vakuum-Halteeinrichtung  gehalten werden kann, die sich hinter der elektrostatischen Halteeinrichtung  befindet. 



   Die elektrostatischen Halteeinrichtungen gemäss der Erfindung können  auch verwendet werden, um Gegenstände zum Beispiel für die Aufbringung  eines Designs, wie zum Beispiel einer Zuckerbeschichtung auf einem  essbaren Substrat, zu halten. Alternativ können die elektrostatischen  Halteeinrichtungen beispielsweise verwendet werden für das Halten  von Gegenständen für die Aufbringung einer trockenen Pulverbeschichtung  bzw. -bemalung. 



   In bevorzugten Ausführungsformen für die Ladungsabbildung weist die  elektrostatische Halteeinrichtung eine erdfreie Elektrode auf, die  verwendet wird, um gezielt Teilchen an ein Substrat in Kontakt mit  den erdfreien Elektroden anzuziehen. Vorzugsweise hat das Substrat  einen körperlichen Kontakt mit den erdfreien Elektroden. Ohne auf  eine bestimmte Theorie beschränkt sein zu wollen, wird angenommen,  dass die Verwendung von erdfreien Elektroden an der elektrostatischen  Halteeinrichtung ein Ladungsabbild durch kapazitives Koppeln erzeugt.  Jede erdfreie Elektrode hat eine Ladung, die verschoben wird, wenn  geladene Teilchen in Kontakt mit der Elektrode kommen.

   Der Vorgang  der Abscheidung von geladenen Teilchen auf der erdfreien Elektrode  setzt sich fort, bis die erdfreie Elektrode kein Potenzial mehr verschieben  kann, und zwar an dem Punkt, an welchem sie dasselbe Potenzial hat  wie die Abschirmelektrode, was im Folgenden beschrieben wird. 



     Die elektrostatische Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden  hat vorzugsweise drei Schichten, die untere Schicht bzw. Bodenschicht  ist eine untere leitfähige Schicht, z.B. aus Silber oder Kupfer.  Alternativ kann die untere Schicht beispielsweise aus einem halbleitenden  Material, wie z.B. einen Siliciumwaver, hergestellt sein. Die untere  leitfähige Schicht ist wahlweise vorhanden, jedoch bevorzugt. Ohne  Bindung an eine bestimmte Theorie wird angenommen, dass die Verwendung  einer unteren leitfähigen Schicht verhindert, dass geladene Teilchen  sich fortgesetzt und undefiniert auf dem Substrat bzw. den Substraten,  die von der Halteeinrichtung gehalten werden, abscheiden, und durch  die Begrenzung der Menge an abgeschiedenen Teilchen eine bessere  Gleichförmigkeit der Abscheidung gewährleisten kann. 



   Die mittlere Schicht ist eine dieleketrische Schicht, wie z.B. thermisch  gewachsenes Siliciumdioxid oder Polyimid, und sie ist vorzugsweise  etwa 0,5 bis etwa 2 mil (Tausendstel Zoll) dick. Die obere Schicht  ist eine diskontinuierliche Elektrodenschicht mit erdfreien und abschirmenden  Elektroden, die elektrisch angeschlossen sind, zwischen denen sich  jedoch ein Spalt bzw. eine Lücke befindet. Die obere leitfähige Schicht  kann beispielsweise aus einer dünnen Goldfilmbeschichtung hergestellt  sein und vorzugsweise haben die erdfreien und die abschirmenden Elektroden  dieselbe Dicke, die vorzugsweise etwa 500 nm beträgt. In bevorzugten  Ausführungsformen ist die Lücke bzw. der Spalt zwischen der erdfreien  Elektrode und der Abschirmelektrode zwischen etwa 25  mu m und etwa  500  mu m.

   Die Form der Abschirmelektrode kann variiert werden und  sie kann unregelmässig sein, solange nur die Lücke bzw. der Spalt  zwischen der erdfreien Elektrode und der Abschirmelektrode im Wesentlichen  konstant bleibt. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen ist  die erdfreie Elektrode rund und bildet einen Punkt, der verwendet  werden kann, um ein ausgewähltes Muster zu erzeugen. In bestimmten  bevorzugten Ausführungsformen ist die Abschirmelektrode geerdet.  Die Abschirmelektrode ist bezüglich der unteren leitfähigen Schicht  vorgespannt. Die Polarität der Vorspannung ist vorzugsweise derjenigen  des Pulvers, welches auf dem Substrat abgeschieden werden soll, entgegengesetzt.                                               



   Gemäss Fig. 10 hat die Halteeinrichtung 1110 beispielsweise eine  untere leitfähige Schicht 1120 mit einer dieleketrischen Schicht  1130 darauf. Die dielektrische Schicht hat eine obere leitfähige  Schicht 1140 darauf. Die obere leitfähige Schicht 1140 ist elektrisch  angeschlossen, jedoch mit einem Spalt 1150 zwischen einer Abschirmelektrode  1160 und einer erdfreien Elektrode 1170. Eine Ansicht von oben auf  die obere leitfähige Schicht 1140 ist in Fig. 11 dargestellt, wobei  sich die erdfreie Elektrode 1170 im Zentrum befindet, mit einem Spalt  1150 zwischen der erdfreien Elektrode und der umgebenden Abschirmelektrode  1160.

   Die Fläche der unteren leitfähigen Schicht 1120, die jeder  erdfreien Elektrode entspricht, kann in Reihen    adressierbar gemacht  werden, wie das oben beschriebene x-adressierbare Haltesystem, und  sie kann individuell adressierbar sein, wie das oben beschriebene  x-y-adressierbare Haltesystem. 



   Während des Gebrauchs wird zwischen der Abschirmelektrode und der  unteren leitfähigen Schicht ein Vorspannpotenzial angelegt. Wenn  die abzuscheidenden Teilchen positiv geladen sind, so ist das Vorspannpotenzial  negativ, und wenn die abzuscheidenden Teilchen negativ geladen sind,  so ist das Vorspannpotenzial positiv. Vorzugsweise ist die Abschirmelektrode  mit Masse verbunden. Während der Abscheidung von Teilchen wird die  Zeitdauer der Abscheidung vorzugsweise so lange fortgesetzt, bis  tatsächlich jede einzelne erdfreie Elektrode ihren Grenzwert erreicht  hat, in welchem das Potenzial der erdfreien Elektrode mit dem Potenzial  der Abschirmelektrode zusammenpasst. 



   Bei der Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung mit erdfreien  Elektroden für das Abscheiden von Pulver auf einem Substrat wird  die Menge des auf dem Substrat abgeschiedenen Pulvers durch die Ladung  oder das Vorspannpotenzial der Halteeinrichtung bestimmt, und es  kann nur eine begrenzte Menge an Pulver abgeschieden werden. Ohne  Beschränkungsabsicht hinsichtlich einer bestimmten Theo-rie wird  angenommen, dass die Abscheidung von Pulver dann aufhört, wenn die  Ladungen auf der erdfreien Elektrode nicht mehr umverteilt werden  können, was dann auftritt, wenn die Abschirmelektrode und die erdfreie  Elektrode im Wesentlichen dasselbe Potenzial haben. Vorzugsweise  befinden sich sowohl die erdfreien als auch die Abschirmelektroden  auf Massepotenzial, wenn die Abscheidung vollständig bzw. vollendet  ist.

   Die Menge an abzuscheidendem Pulver kann daher durch die Kontrolle  des Vorspannpotenzials gesteuert bzw. eingestellt werden, und sie  steht in keiner Beziehung zu der Dauer der Abscheidung, sobald der  Grenzwert erreicht worden ist. Weiterhin wird das Muster der Abscheidung  festgelegt durch das Muster der erdfreien Elektroden, wodurch ein  Ladungsabbild erzeugt wird. 



   Ohne eine Beschränkung auf eine bestimmte Theorie vorzunehmen, können  die folgenden mathematischen Formeln für die Berechnung der Pulvermenge  verwendet werden, welche durch die elektrostatische Halteeinrichtung  mit erdfreier Elektrode gehalten werden kann, die in dem Schaltkreisdiagramm  dargestellt ist, welches in Fig. 12 bereitgestellt wird. Gemäss Fig.  12 ist C die Kapazität des Kondensators, der zwischen der unteren  leitfähigen Schicht e f  und der erdfreien Elektrode, gebildet wird.  Cs ist die Streukapazität des Kondensators, die zwischen Erde und  der unteren leitfähigen Schicht e f  gebildet wird. C' ist die Kapazität  des Kondensators, der zwischen der erdfreien Elektrode bzw. der unteren  leitfähigen Schicht e f  und    der virtuellen Elektrode e v  gebildet  wird, die durch die abgeschiedenen, geladenen Pulver gebildet wird.

    Das Potenzial der erdfreien Elektrode kann nur irgendeinen Wert zwischen  denen der Abschirmelektrode e s  und der unteren leitfähigen Schicht  e f  haben, wobei die Abschirmelektrode e s  in dem in Fig. 12 dargestellten  Schaltkreisdiagramm geerdet ist. 



   Die maximale Ladung, welche die erdfreie Elektrode halten kann, hängt  von dem Vorspannpotenzial und dem Kondensator C ab, und zwar gemäss  der Gleichung O max  = CV. Wenn das Randfeld vernachlässigt wird,  um die maximale Ladung zu berechnen, so gilt die folgende Gleichung:                                                           



   
EMI49.1
 



   wobei A der Oberflächenbereich der erdfreien Elektrode und d die  Dicke der dielektrischen Schicht zwischen der erdfreien Elektrode  und der Abschirmelektrode ist. 



   Da C s  sehr klein im Vergleich zu C ist, ist die abgeschiedene Ladung  Q' näherungsweise gleich Q. Die Masse M des abgeschiedenen Pulvers  ist dann die Folgende: 



   
EMI49.2
 



   wobei  mu  das Ladung-zu-Masse-Verhältnis des geladenen Pulvers ist.  Beispielsweise ist, wenn  epsilon  r  = 2, d = 50  mu m, der Durchmesser  der erdfreien Elektrode = 4 mm,  mu  = 50  mu /C/g und V = 8 kV ist,  M gleich 1,2 mg. Die maximale Masse an Pulver, die man unter diesen  Bedingungen für die Abscheidung erwarten kann, beträgt also 1,2 mg.                                                            



   



   Da C s < < C, ist Q' = C'V' = Q. 



   



   Daher wird die maximale Menge an geladenem Pulver geliefert durch  die folgende Gleichung: 



   
EMI50.1
 

 Zusätzlich zu der Bereitstellung elektrostatischer Halteeinrichtungen  sieht die vorliegende Erfindung auch Verfahren zur Ladungsabbildung  oder Abscheidung von Teilchen auf ausgewählten Bereichen eines Substrates  vor, wobei das Verfahren die Verwendung einer elektrostatischen Halteeinrichtung  mit erdfreien Elektroden in den Bereichen der Halteeinrichtung, einschliesst,  welche den ausgewählten Bereichen bzw. Flächen auf dem Substrat entsprechen.  Weiterhin sieht die vorliegende Erfindung auch einen Gegenstand mit  ausgewählten Flächen vor, auf welchen Teilchen auf dem Gegenstand  über elekt-rostatische Einrichtungen aufgebracht werden. In bevorzugten  Ausführungsformen weisen die Teilchen einen pharmazeutisch wirksamen  Bestandteil auf. Vorzugsweise ist der Gegenstand für den menschlichen  Konsum geeignet.

   In bestimmten Ausführungsformen weist der Gegenstand  ein pharmazeutisches Substrat, wie zum Beispiel ein Inhaliersubstrat,  eine Tablette, ein Suppositorium, ein Aufbereitungsmittel, eine Bandage  oder eine Auflage auf. Vorzugsweise wird die Menge an Teilchen, welche  auf dem Gegenstand aufgebracht werden, unter Verwendung einer Sensorelektrode  in einer elektrostatischen Halteeinrichtung bestimmt. 



   Vorteile des Gebrauchs einer elektrostatischen Halteeinrichtung für  die Abscheidung von Teilchen und für die Ladungsabbildung schliessen  die Fähigkeit ein, ein Substrat genauer und gleichmässiger zu beschichten,  was besondere wichtig ist, wenn die Dosierung des wirksamen Bestandteiles  niedrig ist, wie zum Beispiel im Bereich von 1  mu g bis 1 mg. Andere  Niedrigdosierungsbereiche schliessen beispielsweise den Bereich von  1  mu g bis etwa 500  mu g und von etwa 10  mu g bis etwa 250  mu  g und von etwa 20  mu g bis etwa 100  mu g ein, wie zum Beispiel  etwa 25  mu g.

   Weiterhin liefert die Verwendung einer elektrostatischen  Halteeinrichtung für das Abscheiden von Teilchen und für die Ladungsabbildung  beispielsweise den Vorteil eines Mechanismus für das Aufbringen eines  aktiven Bestandteils auf einen pharmazeutischen Träger, welcher möglicherweise  nicht vermischbar oder auf andere Weise inkompatibel bzw. unverträglich  mit diesem wirksamen Bestandteil ist. 



   Zusätzlich zu der Bereitstellung von elektrostatischen Halteeinrichtungen  mit erdfreien Elektroden für die Ladungsabbildung stellt die vorliegende  Erfindung Halteeinrichtungen mit Sensorelektroden für das Abfühlen  der auf einem Substrat abgeschiedenen Ladungsmenge bereit. Weiterhin  kann eine einzelne Halteeinrichtung sowohl erdfreie als auch Sensorelek   troden haben. Gemäss gewissen Aspekten der vorliegenden Erfindung  ist die Ladungsmenge, die auf der Halteeinrichtung abgeschieden werden  kann, auf eine endliche Zahl bzw. Grösse beschränkt und diese Einschränkung  liefert einen Mechanismus für das exakte Bestimmen der Pulvermenge,  die auf dem von der Halteeinrichtung gehaltenen Substrat abgeschieden  wird.

   Gemäss einem weiteren Aspekt sieht die vorliegende Erfindung  eine elektrostatische Halteeinrichtung vor, die eine Sensorelektrode  für das Abfüllen der Anzahl von Teilchen hat, welche an die Halteeinrichtung  angezogen worden sind, insbesondere wenn die Halteeinrichtung bezüglich  der Menge geladener Teilchen, die auf einem von der Halteeinrichtung  gehaltenen Substrat abgeschieden werden können, sich nicht automatisch  selbst begrenzt.

   Diese Sensorelektrode kann beispielsweise verwendet  werden, um die Menge an auf einer Tablette abgeschiedenem Pulver  zu bestimmen, wobei das Pulver einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil  enthält, dementsprechend stellt die vorliegende Erfindung einen genaueren  und gleichförmigeren Weg der Abgabe einer ausgewählten Menge eines  pharmazeutisch wirksamen Bestandteils auf ein Substrat bereit, insbesondere  wenn der wirksame Bestandteil in kleinen Dosierungen vorliegt. 



   Die Sensorelektrode hat vorzugsweise zwei Schichten. Die Bodenschicht  ist eine untere leitfähige Schicht, die eine aus Metall, wie z.B.  Aluminium, hergestellte Elektrode bildet. Die obere Schicht, die  den Teilchen ausgesetzt ist, welche abgeschieden werden, ist eine  dielektrische Schicht und sie ist aus einem Material hergestellt,  welches eine hohe dielektrische Festigkeit hat, wie z.B. Aluminiumoxid.  Zusätzlich kann die Sensorelektrode beispielsweise aus einem dünnen,  aluminisierten Polypropylenblatt oder einem dünnen Polyimidblatt  mit einer rückwärtigen Kupferbeschichtung hergestellt sein. Ohne  dass eine Beschränkung auf eine bestimmte Theorie vorgenommen werden  soll, wird angenommen, dass die geladenen Teilchen auf der dielektrischen  Schicht landen und eine gleiche und entgegengesetzte Ladung auf der  leitfähigen Schicht induzieren.

   Wegen des Vorhandenseins der dielektrischen  Schicht ist die Möglichkeit einer Ladungsneutralisierung beträchtlich  vermindert. 



   Gemäss Fig. 13 ist die Sensorelektrode 1310 beispielsweise aus einer  unteren leitfähigen Schicht 1320 und einer oberen dielektrischen  Schicht 1330 aufgebaut. Wie in Fig. 14 dargestellt, kann die Sensorelektrode  1310 beispielsweise in einem Bereich ausserhalb des Substrates 1410  angeordnet werden, welches die Abscheidung der Teilchen aufnimmt.  In dieser Figur hat die Sensorelektrode 1310 die Form eines Ringes  und andere Formen können ebenso verwendet werden. Die Sensorelektrode  kann beispielsweise auch innerhalb des Bereiches des Substrates 1410  angeordnet werden, welcher die Abscheidung der Teilchen aufnimmt,  wie es in Fig. 15A dargestellt ist, wo es ein einzelnes Substrat  1410 gibt, welches    die Abscheidung aufnimmt.

   Alternativ kann beispielsweise,  wenn es mehrere Substrate 1410 gibt, die Sensorelektrode 1310 innerhalb  des Abscheidungsbereiches angeordnet werden, vorzugsweise in Form  eines der Substrate 1410, welche eine Abscheidung aufnehmen, wie  z.B. einer Tablette. Gemäss Fig. 15B ahmt beispielsweise die Form  der Sensorelektrode 1310 die Form eines der Substrate 1410 nach. 



   Die Sensorelektrode ist vorzugsweise in einem Bereich angeordnet,  der eine Menge an auf der Sensorelektrode abzuscheidenden Teilchen  in unmittelbarem Verhältnis zu der Menge an Abscheidung auf dem Substrat  gewährleistet. Für ein einzelnes Substrat können mehr als eine Sensorelektroden  verwendet werden. Beispielsweise kann das Vorhandensein von zwei  Sensorelektroden bei der Abscheidung auf einem einzelnen Substrat  verwendet werden, um die Beziehung zwischen der Abscheidungsmenge,  die auf dem Substrat und in den Bereichen ausserhalb des Substrates  auftritt, zu bestimmen. Die Masse der auf dem Substrat (den Substraten)  abgeschiedenen Teilchen wird bestimmt, sobald die Ladung der Sensorelektrode  gemessen wird. 



   Um die abgeschiedene Menge an Ladung zu messen, wird die Sensorelektrode  mit einem Kondensator bekannten Wertes in Reihe geschaltet. Beispielsweise  induziert ein Kondensator von 1 nF eine Spannung von 1 Volt, wenn  eine Ladung von 1 nC aufgesammelt worden ist. Der andere Pol des  bekannten Kondensators wird mit Masse verbunden und das Potenzial  an dem Kondensator wird gemessen. Ein veranschaulichendes Schaltkreisdiagramm  ist in Fig. 11 wiedergegeben. Gemäss Fig. 11 ist V m  ein Voltmeter  oder ein Elektrometer mit hoher Impedanz, C ist die Kapazität eines  Kondensators bekannter Grösse, wie zum Beispiel 1  mu F, C' ist die  Kapazität des zwischen der Sensorelektrode e s  und der abgeschiedenen  Ladung e p , welche aus der Abscheidung geladener Teilchen resultiert,  gebildeten Kondensators. 



   Ohne auf eine bestimmte Theorie beschränkt sein zu wollen, können  die folgenden mathematischen Formeln verwendet werden, um die Messung  der abgeschiedenen Ladungen durch die Sensorelektrode entsprechend  dem obigen Schaltkreisdiagramm auszuwerten. 



   C' bezieht sich auf den Kondensator, der von der Sensorelektrode  und den geladenen Teilchen gebildet wird. C ist ein Kondensator bekannten  Wertes, C hat eine Anfangsladung von null. Wenn geladene Teilchen  auf der Sensorelektrode landen, so bewirken sie, dass eine gleich  grosse Menge entgegengesetzter Ladung auf der Elektrode induziert  wird, die in der Folge eine entsprechende Menge an entgegengesetzter  Ladung auf C induziert. Der Gesamteffekt führt dazu, dass eine gleiche  Menge an Ladung gleichen Vorzeichens auf C induziert wird, was durch    ein Elektrometer gemessen werden kann. Weiterhin wird das dominierende  elektrische Rauschen, welches mit einer aktiven Stromquelle verbunden  ist, beseitigt. Die aufgesammelte Ladung Q' ist gleich C mal V. 



   Mit diesem Überwachungsverfahren unter Verwendung der Sensorelektrode  müssen zwei Parameter bestimmt werden, um die Menge an tatsächlicher  Abscheidung zu überwachen. Diese beiden Parameter sind das q/m (Ladung-zu-Masse)-Verhältnis  des geladenen Pulvers und der Verhältnisfaktor k zwischen der überwachten  Ladung Q' und der abgeschiedenen Ladung Q auf dem interessierenden  Abscheidungsbereich (d.h. k = Q/Q'). Dementsprechend wird die abgeschiedene  Masse M bestimmt durch die Gleichung: 



   
EMI53.1
 



   Die Zuverlässigkeit der Sensorelektrode erfordert, dass die Variable  k während der gesamten Abscheidung im Wesentlichen konstant ist. 



   Die Verwendung der Sensorelektrode ist bevorzugt mit dem Gebrauch  eines Amperemeters oder eines Voltmeters innerhalb des Schaltkreises,  da die Sensorelektrode beispielsweise die Vorteile liefert, dass  eine Ansammlung von Ladungen aus der umgebenden Atmosphäre und anderen  Leckpfaden, welche durch die Haltevorrichtung induziert werden, korrigiert  wird. 



   Gemäss einem anderen Aspekt stellt die vorliegende Erfindung also  ein Verfahren zum Anziehen einer ausgewählten Anzahl mehrfacher Teilchen  auf ein Substrat vor, mit (a) Bereitstellen einer elektrostatischen  Halteeinrichtung mit einer Sensorelektrode, (b) Aufbringen einer  Mehrzahl von elektrostatisch geladenen Teilchen auf die Halteeinrichtung,  und (c) Abfühlen der Anzahl von Teilchen, die durch die Halteeinrichtung  angezogen werden. Vorzugsweise sind die Teilchen eines trockenen  Pulvers und das Verfahren wird verwendet, um die auf einem Substrat,  welches an die Haltevorrichtung angezogen wird, abgeschiedene Pulvermenge  zu bestimmen. Die Erfindung stellt daher ein Verfahren bereit, um  die Dosierung in einer pharmazeutischen Tablette exakt zu bestimmen.                                                           



   Zusätzlich stellt die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen einer  pharmazeutischen Zusammensetzung bereit, mit (a) Bereitstellen eines  pharmazeutischen Substrates, und (b)    elektrostatisches Abscheiden  von Teilchen auf dem Substrat, wobei die Abscheidung vorzugsweise  die Verwendung einer elekt-rostatischen Halteeinrichtung aufweist.  Vorzugsweise weist die elektrostatische Halteeinrichtung eine erdfreie  Elektrode auf, und die Teilchen werden im Wesentlichen auf einem  Bereich bzw. einer Fläche des Substrates abgeschieden, welcher der  erdfreien Elektrode entspricht, und die elektrostatische Halteeinrichtung  weist vorzugsweise weiterhin eine Sensorelektrode für das Bestimmen  der Menge von auf dem Substrat abgeschiedenen Teilchen auf. 



   Die Erfindung stellt zusätzlich Gegenstände bereit, die ausgewählte  Bereiche haben, auf bzw. in welche Teilchen auf Gegenstände mittels  elektostatischer Halteeinrichtungen aufgebracht werden, wie durch  Ladungsabbilden. Die Verwendung einer elektrostatischen Einrichtung  erzeugt eine genauere Abscheidung von Teilchen nach einem ausgewählten  Bereich bzw. Muster und stellt damit eine Art von Identifikation  für einen solchen Gegenstand bereit. Die Abscheidung erfolgt auch  mit grösserer Gleichmässigkeit und gewährleistet einen geringeren  Teilchenabfall. 



   In bevorzugten Ausführungsformen weisen die Teilchen einen pharmazeutisch  wirksamen Bestandteil auf und der Gegenstand ist für den menschlichen  Konsum geeignet und er weist vorzugsweise ein pharmazeutisches Substrat  auf wie z.B. eine Tablette, Kapsel oder Hülse. In anderen bevorzugten  Ausführungsformen ist der Gegenstand ein Supositorium oder wird ausgewählt  aus der Gruppe, die aus einer Aufbereitung, einer Bandage und einer  Auflage bestehen. Vorzugsweise wird die Menge an Teilchen, welche  auf den Gegenstand aufgebracht werden, unter Verwendung einer Sensorelektrode  in der elektrostatischen Einrichtung vorbestimmt. Darüberhinaus werden  in bevorzugten Ausführungsformen die Teilchen auf den Gegenstand  unter Verwendung einer akustischen Abgabeeinrichtung, die weiter  unten beschrieben wird, aufgebracht. 



   In einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird eine  Halteeinrichtung verwendet, um einen Gegenstand oder mehrere Gegenstände  zu halten, wahlweise während Teilchen auf dem Gegenstand abgeschieden  werden. Gemäss anderen Aspekten der Erfindung wird eine Halteeinrichtung  verwendet, um mehrere Teilchen zu positionieren, wie z.B. Perlen,  und wahlweise für eine Überführung. Diese Anwendungen der Halteeinrichtungen  erfordern das Abgeben von Teilchen auf ein Substrat, welches wahlweise  die Halteeinrichtung selbst ist. Daher ist gemäss einem anderen Aspekt  der Erfindung eine akustische Abgabeeinrichtung vorgesehen, bei welcher  Teilchen auf ein Substrat aufgebracht werden unter Verwendung akustischer  Energie, um die Teilchen in Richtung des Substrates anzutreiben bzw.  zu beschleunigen. 



   Die Verwendung einer akustischen Abgabeeinrichtung liefert mehrere  Vorteile gegenüber der Verwendung von beispielsweise Luft, um ein  Pulver für die Abscheidung anzutreiben. Die Vorteile schliessen beispielsweise  die Bewegung der Teilchen in einer gerichteten Art und Weise anstatt  in zufälliger Weise ein sowie eine Verminderung bezüglich der Menge  an verlorenem Pulver. Ausserdem stellt die akustische Abgabeeinrichtung  beispielsweise die Fähigkeit bereit, eine abgeschlossene Umgebung  innerhalb der akustischen Abgabeeinrichtung für die Abscheidung von  Teilchen zu verwenden, was besonders vorteilhaft sein kann, wenn  es für Menschen gefährlich ist, wenn sie den Teilchen ausgesetzt  werden.

   Weiterhin kann beispielsweise die akustische Abgabeeinrichtung  selbst verwendet werden, um die Teilchen mit Reibungselektrizität  aufzuladen, was eine grössere Effizienz erbringt und gegenüber einer  Koronaladung vorteilhaft ist, welche möglicherweise die chemische  Natur der Teilchen verändern kann. 



   Gemäss einem Aspekt stellt die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung  für das Abscheiden von Teilchen auf einer Oberfläche bereit, mit  (a) einer Quelle akustischer Vibration, (b) einer Membran für die  Aufbringung akustischer Vibration und (c) einem Behälter für das  Halten der Teilchen. Die akustischen Abgabeeinrichtungen gemäss der  Erfindung können verwendet werden, um beispielsweise eine Pulverwolke  für die Aufbringung auf ein Substrat zu erzeugen. 



   Gemäss einem anderen Aspekt stellt die vorliegende Erfindung Verfahren  für das Abscheiden mehrerer Teilchen auf einer Oberfläche bereit,  mit (a) Bereitstellen einer Vorrichtung, die eine Membran und ein  Gefäss für das Halten der Teilchen hat, wobei die Teilchen sich auf  der Membran befinden und (b) Vibrierenlassen der Membran der Vorrichtung,  um dadurch die Teilchen weg von der Membran für eine Abscheidung  in Richtung der Oberfläche zu beschleunigen. Dieses Verfahren kann  beispielsweise verwendet werden, um einen pharmazeutisch wirksamen  Bestandteil in Form eines Pulvers genauer auf einem Substrat, wie  z.B. einer Tablette, abzuscheiden, insbesondere wenn der aktive Bestandteil  in einer niedrigen Dosierung, wie z.B. 25 mu g, vorhanden ist. 



   In bestimmten Aspekten der Erfindung sind die von der akustischen  Abgabeeinrichtung abgegebenen Teilchen Perlen, die vorzugsweise auf  eine Halteeinrichtung abgegeben werden und die beispielsweise unter  Verwendung der oben beschriebenen Halteeinrichtungen positioniert  werden können. 



     In anderen bevorzugten Ausführungsformen liegen die Teilchen in  verkleinerter (mikronisierter), trockener Pulverform vor, welches  vorzugsweise einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil enthält.  Gemäss einem Aspekt werden die akustischen Abgabeeinrichtungen der  vorliegenden Erfindung verwendet, um die Pulver auf einem pharmazeutischen  Substrat, wie z.B. einer Tablette, abzuscheiden. Eine elektrostatische  Halteeinrichtung kann beispielsweise verwendet werden, um ein Substrat  zu halten, während das Pulver auf dem pharmazeutischen Substrat abgeschieden  wird. Alternativ kann beispielsweise eine Vakuumhalteeinrichtung  verwendet werden, um das Substrat zu halten. Das Pulver kann gleichförmig  aufgebracht werden oder es kann unter Verwendung von Ladungsabbildung  aufgebracht werden, wie es oben beschrieben wurde.

   Es kann mehr als  eine Art von Pulver abgeschieden werden, was auch mehr als einen  pharmazeutisch wirksamen Bestandteil einschliesst. 



   Zusätzlich zu den Pulvern, die pharmazeutische Bestandteile enthalten,  kann die vorliegende akustische Abgabeeinrichtung gemäss der Erfindung  beispielsweise mit trockenen Vermahlungs- bzw. Beschichtungsteilchen,  Phosphorpulver und irgendwelchen anderen Teilchen verwendet werden,  die reibungselektrisch aufgeladen werden können. 



   Vorzugsweise liegt das Pulver in verkleinerter (mikronisierter) Form  vor und die Teilchen haben einen Durchmesser von zumindest etwa 1  mu m. Vorzugsweise wird das Pulver vor der Aufbringung auf die akustische  Abgabeeinrichtung elektrostatisch geladen, beispielsweise durch Mischen  mit Perlen, wie z.B. durch mechanisches Schütteln, vorzugsweise für  etwa 30 Minuten. 



   In bevorzugten Ausführungsformen werden die Teilchen vor oder während  der Abgabe der Teilchen unter Verwendung der akustischen Abgabeeinrichtung  gemäss der Erfindung elektrostatisch geladen. Alternativ kann beispielsweise  eine Koronaladung verwendet werden, wenn die Teilchen dadurch nicht  beschädigt werden, wie z.B. wenn die Teilchen Perlen sind. In gewissen  Aspekten der vorliegenden Erfindung kann die Vibration der Membran  der akustischen Abgabeeinrichtung selbst eine ausreichende Reibung  zwischen den Teilchen bereitstellen, um Reibungsladung zu verursachen,  und die Teilchen brauchen vor dem Gebrauch der akustischen Abgabeeinrichtung  nicht geladen zu werden. 



   Vorzugsweise hat ein mikronisiertes Pulver Teilchen im Bereich von  etwa 4 bis 8  mu m. Ein derart kleines Teilchen hat vorzugsweise  einen Träger, wie z.B. Perlen, um das Teilchen zu laden. Ein Teilchen,  welches grösser als etwa 50  mu m ist, kann direkt ohne die Verwendung  von Perlen geladen werden. 



     In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen umfassen die Teilchen  zwei Typen von Teilchen, wie z.B. Perlen und ein Pulver, und die  akustische Abgabeeinrichtung weist weiterhin eine Separiermembran  für das Trennen eines Typs der Teilchen von dem anderen auf. Vorzugsweise  ist die Separier- bzw. Abtrennmembran zwischen dem Gefäss und der  für die Abscheidung vorgesehenen Oberfläche angeordnet, wodurch ein  Typ der Teilchen von dem anderen auf Grund des Grössenunterschiedes  vor der Abscheidung auf der Oberfläche abgetrennt wird.

   Die akustische  Abgabeeinrichtung kann also beispielsweise verwendet werden, um ein  mit Reibung aufgeladenes Pulver abzuscheiden, welches durch Mischung  mit Perlen elektrostatisch aufgeladen worden ist, wobei die Abgabevorrichtung  eine Abtrennmembran hat, die es ermöglicht, dass das Pulver abgeschieden  wird, jedoch bewirkt, dass die Perlen innerhalb der Abgabevorrichtung  bleiben. In bestimmten bevorzugten Ausführungsformen enthält dieses  Pulver einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil und wird auf einem  Substrat, wie z.B. Tabletten, abgeschieden, die elektrostatisch durch  eine Halteeinrichtung gehalten werden. 



   Bevorzugte Materialien für die Verwendung bei der Herstellung einer  akustischen Abgabeeinrichtung gemäss der vorliegenden Erfindung sind  die folgenden. Der Behälter für das Halten der Gegenstände ist vorzugsweise  aus Glas oder Teflon oder einem anderen Dielektrikum hergestellt.  Vorzugsweise weist die Membran für die akustische Vibration eine  dielektrische Schicht auf einer leitfähigen Schicht auf. Beispielsweise  können Polyimid oder Teflon für die dielektrische Schicht verwendet  werden, und Kupfer kann für die leitfähige Schicht verwendet werden.  Wenn die dielektrische Schicht aus Teflon hergestellt ist, so hat  sie vorzugsweise eine Dicke von etwa 15 mil (Tausendstel Zoll, 15  mil = 0,38 mm). Vorzugsweise liegt die dielektrische Schicht auf  der Seite, die den in Vibration zu versetzenden Gegenständen ausgesetzt  ist.

   Die Abtrennmembran ist vorzugsweise ein Sieb der Grösse bzw.  Feinheit 270 (Newark Wire Cloth Co., Newark, NJ) für Teilchen von  etwa 4-6  mu m Durchmesser, und für Teilchen, die grösser als etwa  6  mu m sind, ein Sieb bzw. Netz der Feinheit bzw. Nr. 200 (Newark  Wire Cloth Co., Newark, NJ). 



   Ohne Beschränkung auf eine bestimmte Theorie wird es bevorzugt, ein  Vorspannpotenzial an die leitfähige Schicht auf der Membran und die  Membran für das Abtrennen der Teilchen innerhalb der akustischen  Abgabevorrichtung anzulegen, sodass ein elektrisches Feld erzeugt  wird, wodurch nur Teilchen mit der richtigen Ladung von der Abgabeeinrichtung  beschleunigt bzw. abgegeben werden. Das leitfähige Material, auf  welchem das Pulver aufgebracht wird, bietet auch die Möglichkeit,  ein elektrisches Feld bezüglich der Abgabeeinrichtung einzustellen,  um zusätzlich nicht richtig geladene Teilchen auszusondern. Beispielsweise  kann die Membran    auf 0 Volt gesetzt werden, das Sieb auf 500 Volt  und die Tablette auf -2000 Volt.

   Wenn ein positiv geladenes Teilchen  für den Austritt aus der Abgabevorrichtung ausgewählt wird, so hat  die Membran, welche die niedrigste Schicht ist, ein höheres Potenzial.  Die am weitesten oben liegende Schicht ist das leitfähige Substrat,  wie z.B. eine Tablette, auf welcher das Pulver abgeschieden wird.  Wenn ein negativ geladenes Teilchen ausgewählt wird, so hat die unterste  Schicht ein niedrigeres Potenzial. 



   Gemäss Fig. 17 hat die akustische Abgabevorrichtung 1710 beispielsweise  einen Lautsprecher 1720 innerhalb eines Behälters 1730. Auf dem Lautsprecher  1720 befindet sich eine leitfähige Schicht 1740. Auf der Oberseite  dieser Schicht 1740 befindet sich eine dielektrische Schicht 1750.  Oben auf der di-elektrischen Schicht 1750 befindet sich eine Membran  1760, die aus einer leitfähigen Schicht und einer dielektrischen  Schicht besteht, wobei die dielektrische Schicht zur Aussenseite  hin gewandt ist und in Kontakt mit den Teilchen (nicht dargestellt),  die von der Membran 1760 beschleunigt bzw. vorwärts getrieben werden.  Die Membran 1760 ist ausserdem noch in Fig. 18 dargestellt, welche  die Teilchen 1810 oben auf der Membran 1760 zeigt, die dargestellt  ist, wie sie sich durch Vibrationen vor und zurück bewegt. 



   Wiederum gemäss Fig. 17 befindet sich oberhalb der Membran 1760 für  akustische Vibration eine Abtrennmembran 1770, wie z.B. ein Sieb,  um Teilchen abzutrennen, die mehr als eine Grösse haben. Wie in Fig.  19 dargestellt, erlaubt das Sieb 1770 nur kleineren Teilchen 1910  hindurchzutreten und hält die grösseren Teilchen 1920 zurück. 



   Wiederum gemäss Fig. 17 ist das Sieb 1770 an einem Behälter 1780  für die Teilchen (nicht dargetellt) angebracht, und der Behälter  1780 hat eine Ausgestaltung, welche, wie dargestellt, die akustische  Vibration verstärkt. Oberhalb des Siebes 1770 befindet sich ein Substrat  1790 für die Aufnahme der Teilchen, die abgegeben werden. Das Substrat  1790 kann beispielsweise ein Substrat sein, welches an einer elektrostatischen  Halteeinrichtung angebracht ist. 



   Alternativ ist z.B. der Aufbau der akustischen Abgabeeinrichtung  in bevorzugten Ausführungsformen vereinfacht, wie z.B. in dem in  Fig. 21 dargestellten Diagramm, welches einen Behälter 2110 zeigt,  welcher die Teilchen 2120 hält, die von der Membran 1760 vorwärts  getrieben werden, wobei sich der Lautsprecher (nicht gezeigt) unterhalb  des Behälters 2110 befindet. 



   Ein Schaltkreisdiagramm der akustischen Abgabeeinrichtung ist in  Fig. 20 dargestellt. Gemäss Fig. 20 stellt der Oszillator O sc  eine  Oszillation mit einer einzigen Frequenz für den    Audioverstärker  A mpl  bereit, um Energie in den Lautsprecher S p  einzukoppeln.  Der Oszillator O sc  kann beispielswiese ein einzelner Tip mit Abstimmkomponenten  sein. 



   Ohne Beschränkung auf eine bestimmte Theorie können die folgenden  Formeln verwendet werden, um die Antriebskraft für die Beschleunigung  bzw. den Vortrieb der Teilchen oder anderer Gegenstände durch die  akustische Abgabevorrichtung zu berechnen: 



   Wenn die Membran bei einer hörbaren Frequenz vibriert, so kann die  Bewegung an irgendeinem Punkt der Membran unter Verwendung der folgenden  Gleichungen beschrieben werden: 



   



   Z(t)=Asin(wf) 



   
EMI59.1
 



   
EMI59.2
 



   wobei A die Amplitude der Vibration ist, Z die durchschnittliche  Verschiebung von irgendeiner Position ist, v die Geschwindigkeit  ist, a die Beschleunigung ist und  lambda  die Winkelgeschwindigkeit  der Welle ist. 



   Beispielsweise ergibt sich bei einer Membran, wenn A = 2 mm und   lambda  = 600 ist, die Spitzengeschwindigkeit v = 1,2 ms<-1> und  a = 720 ms<-2>. Ein auf der Membran ruhendes Teilchen verlässt die  Membran bei einer Geschwindigkeit, die kleiner oder gleich der Spitzengeschwindigkeit  v ist. Bei einer Ausgangsgeschwindigkeit von 1,2 ms<-1> erreicht  das Teilchen eine Höhe von 7,35 cm, bevor es herabfällt. Wenn ein  Sieb auf dem Weg des Teilchens angeordnet ist, so trifft das Teilchen  das Sieb und erzeugt einen Impulsübertrag. Wenn das Teilchen eine  durch Reibung geladene Perle mit etwas aufgebrachtem Pulver ist,  so wird der Impuls auf das Pulver übertragen. Fig. 19 veranschaulicht  diese Wirkung schematisch. Wenn die Perle 1920 und das Pulver 1910  durch Reibung geladen sind, wird das aus dem Behälter austretende  Pulver 1910 geladen.

   Innerhalb eines Containers kann die Amplitude  der Vibration der Membran durch Betreiben des Lautsprechers bei der  Resonanzfrequenz des Behälters maximal gemacht werden. 



   Gemäss einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung weist, wenn  die akustische Abgabevorrichtung mit Teilchen verwendet wird, die  einen durchschnittlichen Durchmesser    von mehr als 10  mu m und  weniger als etwa 5 mm haben, die Membran für das Aufbringen akustischer  Vibrationen vorzugsweise drei Schichten auf. Die obere oder am weitesten  oben liegende Schicht ist eine leitfähige Schicht, die vorzugsweise  ein Sieb ist, welches eine Vielzahl von Löchern hat, die kleiner  als der durchschnittliche Durchmesser der Teilchen sind, und vorzugsweise  kleiner als der minimale Durchmesser der Teilchen. Alternativ kann  das Sieb beispielsweise gewebt sein, mit Freiräumen zwischen den  Reihen und Spalten, welche kleiner sind als der durchschnittliche  Durchmesser der Teilchen.

   Das Sieb kann beispielsweise aus einem  Metall wie z.B. aus rostfreiem Stahl, Silber oder Kupfer hergestellt  sein. Beispielsweise wird ein Sieb der Nr. 270 aus rostfreiem Stahl  von Newark Wire Cloth Co. (Newark, NJ) vorzugsweise mit einem Teilchen  verwendet, das einen durchschnittlichen Durchmesser von etwa 150  mu m hat. 



   Vorzugsweise ist die Abtrennmembran zumindest ein Zoll von der vibrierenden  Membran entfernt und sie sind vorzugsweise zwischen ein und drei  Zoll voneinander entfernt. 



   Vorzugsweise hat das Sieb, welches die Membran bildet, ein Loch im  Zentrum ohne das leitfähige Material, um dadurch einen Ring an leitfähigem  Material in der Membran zu bilden. Beispielsweise ist bei einer 5-Zoll-Membran  vorzugsweise eine kreisförmige Fläche mit einem Durchmesser von etwa  4 Zoll, auf welcher das leitfähige Material entfernt ist. Vorzugsweise  ist die Dicke des Teflon etwa 15 mil. 



   Die zweite oder mittlere Schicht ist eine dielektrische Schicht.  Die dielektrische Schicht kann aus irgendeinem dielektrischen Material  mit hoher dielektrischer Festigkeit hergestellt sein, beispielsweise  einschliesslich von Polyimid und Teflon und sie ist vorzugsweise  biegsam und gewährleistet eine gewisse Verschleissfestigkeit. Die  untere Schicht ist eine untere leitfähige Schicht, vorzugsweise ohne  Löcher, die sich da hindurch erstrecken, und sie kann beispielsweise  aus Metall, wie z.B. Silber oder Kupfer, hergestellt sein. 



   Wahlweise kann beispielsweise eine vierte Schicht der Membran hinzugefügt  werden, wie z.B. eine dünne Teflonschicht, mit der die Drähte des  Siebes beschichtet sind und die vorzugsweise sowohl über die Drähte  als auch über die Lücken bzw. Öffnungen in dem Sieb beschichtet ist.  Zusätzlich zu Teflon können andere Dielektrika verwendet werden,  wobei das Dielektrikum vorzugsweise dieselben reibungselektrischen  Eigenschaften des zu ladenden Pulvers hat. Eine Stromversorgung ist  mit der Membran verbunden und es werden während des Betriebes vorzugsweise  2000 Volt angelegt. 



     Beispielsweise ist, um eine ausreichende Anzahl von Perlen in  Richtung einer elektrostatischen Halteeinrichtung für das Anziehen  von Perlen zu beschleunigen, die Oberfläche der unteren Schicht der  Membran vorzugsweise geerdet, wobei die Oberfläche der Abtrennmembran  vorzugsweise auf 3000 Volt liegt, die Oberfläche der oberen leitfähigen  Schicht der Halteeinrichtung vorzugsweise geerdet ist und die untere  Elektrode der Halteeinrichtung vorzugsweise auf -1500 Volt liegt.                                                              



   Die bevorzugte Anzahl von Perlen, die mit der akustischen Abgabeeinrichtung  verwendet werden, bei Verwendung einer Perle mit einem Durchmesser  von 100  mu m und eine kreisförmigen Membran mit einem Durchmesser  von etwa 12,5 cm, kann folgendermassen berechnet werden, wobei die  bevorzugte Anzahl an Perlen "n" sich in einer dichten Packung befindet,  n =  pi D<2>/ pi d<2> = (D/d)<2> = (12,5/100 x 10<-4>), was näherungsweise  gleich 1,6 M ist. Unter der Annahme einer Dichte von 4 g/cm<3> kann  man die Gesamtmasse (m) der Perlen folgendermassen berechnen, m =  n  x  4/3/ pi (d/2)<3>  x   epsilon   = 1,6  x  10<6>  x   pi /3(100  x  10<-4>)<3> x  4, was näherungsweise gleich 6,5 g ist. Daher gibt  es für 20 g Perlen drei Schichten von Perlen. Vorzugsweise ist die  Menge an Perlen weniger oder gleich der Anzahl, die etwa drei bis  vier Lagen entspricht. 



   Vorzugsweise werden die Perlen verwendet, um das Pulver zu laden,  wobei der Behälter, welcher die Pulver-Perlen-Mischung hält, und  die dielektrische Beschichtung auf der Membran alle aus dem selben  Material, wie z.B. Teflon, hergestellt sind, sodass die Ladung auf  dem Pulver die gleiche bleibt. 



   Vorzugsweise wird eine magnetische Abschirmung verwendet, wenn der  Lautsprecher, der für die Vibration der Membran verwendet wird, einen  Magneten hat, oder es werden bevorzugt nichtmagnetische Perlen verwendet.                                                      



   Vorzugsweise wird das Sieb der akustischen Abgabevorrichtung zwischen  den verschiedenen Benutzungen gereinigt. 



   Ohne auf eine bestimmte Theorie festgelegt zu sein, wird angenommen,  dass die grösseren Teilchen, die durch die akustische Abgabeeinrichtung  abgeschieden werden sollen, mehr als eine Ladung auf Grund der lokalen  Ladung in bestimmten Bereichen des Teilchens tragen können. Es wird  angenommen, dass das Sieb der Membran in der akustischen Abgabevorrichtung  eine Mehrzahl von elektrischen Randfeldern an den Rändern der Löcher  des Siebes erzeugt, welches die Teilchen polarisiert und den Reibungsladungsvorgang  verstärkt. Zusätzlich bewirken die Randfelder, dass ein Teilchen,  welches eine zu der Ladung der Mehrzahl von    Teilchen entgegengesetzte  Ladung hat, eingefangen wird und im Übrigen noch korrekt geladen  wird.

   Der Aufbau der dreischichtigen Membran unter Verwendung beispielsweise  eines leitfähigen Siebes erhöht also die Reibungsladung der Teilchen  und vergrössert auch die Gleichförmigkeit der Ladung der Teilchen  durch Orientieren bzw. Ausrichten der Ladungen auf den Teilchen in  im Wesentlichen einer Richtung. 



   Gemäss Fig. 22A hat die Membran 2210 für akustische Vibrationen eine  untere leitfähige Schicht 2220 mit einer dielektrischen Schicht 2230  darauf. Oben auf der dielektrischen Schicht 2230 befindet sich eine  leitfähige Schicht 2240, die als ein Sieb dargestellt ist. Eine Ansicht  von oben auf das Sieb 2240 ist in Fig. 22B wiedergegeben. Ein alternativer  Aufbau ist in Fig. 22C dargestellt, in welcher die obere leitfähige  Schicht 2240 Löcher 2250 hat, anstatt ein Drahtnetz zu sein. 



   Das Gefäss, welches die Gegenstände hält, ist vorzugsweise aus einem  Material hergestellt, welches die Gegenstände nicht absorbiert, wie  z.B. Glas oder einem anderen Material, welches mit Reibungs-elektrizität  verträglich ist und welches das Pulver im Wesentlichen nicht entgegengesetzt  zu der Polarität der Ladung auf dem Pulver auf Grund der Perlen auflädt.  In bevorzugten Ausführungsformen hat das Gefäss der akustischen Abgabevorrichtung  eine Form, welche die Gleichförmigkeit der akustischen Vibration  verbessert bzw. verstärkt. Siehe beispielsweise Fig. 17. 



   Vorzugsweise ist die Vibrationseinrichtung in der akustischen Abgabeeinrichtung  ein Lautsprecher oder sind mehrere Lautsprecher oder bevorzugter  noch eine piezoelektrische Einrichtung. Der Lautsprecher kann irgendeine  ausgewählte Grösse haben und hat vorzugsweise etwa 20 Watt. In anderen  Ausführungsformen ist die Vibrationseinrichtung ein mechanischer  Vibrator, wie z.B. ein Kolben, wobei die Frequenz der Vibrationen  innerhalb des hörbaren (akustischen) Bereiches liegt. Alternativ  kann die Vibrationseinrichtung beispielsweise elektrische Energie  verwenden, wie z.B. einen Motor mit einer niedrigen Anzahl von Umdrehungen  pro Minute. Vorzugsweise wird die Vibrationseinrichtung bei der Resonanzfrequenz  des Gefässes, welches die Gegenstände hält, betrieben, was für eine  maximale Vibrationsamplitude der Membranen sorgt.

   Vorzugsweise ist  die akustische Frequenz während der Abscheidung stabil. 



   Vorzugsweise beträgt der Abstand zwischen der vibrierenden Membran  und einer Membran für das Abtrennen unterschiedlicher Teilchengrössen,  wie z.B. einem Sieb, zumindest etwa einen halben Zoll bis drei Zoll.  Vorzugsweise beträgt der Abstand zwischen dem Substrat für    das  Aufnehmen der vibrierenden Teilchen und der Membran für das Abtrennen  der Teilchen zumindest etwa 1 Zoll. Der Abstand zwischen dem Substrat  und der vibrierenden Membran sollte gross genug sein, um eine Gleichförmigkeit  der Pulverdichte zu gewährleisten, aber auch ausreichend nah, sodass  die kinetische Energie, die erforderlich ist, um die Gegenstände  voranzutreiben, nicht zerstreut wird. 



   Die vorliegende Erfindung wird durch die folgenden, nicht begrenzenden  Beispiele veranschaulicht. 



   Beispiel 1. Vakuumhalteeinrichtung, die für das Transportieren von  Gegenständen verwendet werden kann. 



   Eine Vakuumhalteeinrichtung ist folgendermassen aufgebaut. Unter  Verwendung von Corning Pyrex 7740-Glas etwa mit einer Fläche von  2 Zoll  x  2 Zoll (5  x  5 cm<2>) und einer Dicke von näherungsweise  20 mil (0,5 mm), werden Durchgangslöcher gebohrt, um eine Anpassung  an eine Mikrotiterplatte vorzunehmen, auf welche Perlen überführt  werden. Die ausgewählte Mikrotiterplatte ist eine, die 10 000 Vertiefungen  (wells) hat. Es wird eine Maske verwendet, um gleichzeitig 100 Durchgänge  durch Laserätzen herzustellen, und zwar in 10 Reihen  x  10 Spalten  für insgesamt 10 000 Durchgänge, wobei das Layout bzw. die Anordnung  dieser Durchgänge dem Feld bzw. der Anordnung der Mikrotiterplatte  entspricht. Der verwendete Laser ist ein Resonetics-Laser.

   Die Platte  hat einen Wiederholabstand von 965  mu m mit einer Vertiefungsgrösse  von 635  mu m mal 635  mu /m sowie eine Gesamtfläche von 3,80 Quadratzoll  (25 cm<2>). Der Durchmesser der Durchgänge beträgt etwa 50  mu m,  was kleiner ist als der Perlendurchmesser von etwa 150 mu m. 



   Eine untere Schicht aus Corning Pyrex 7740 Glas wird mit einer oberen  Schicht, welche die Durchgänge hat, verbunden (geklebt). Die untere  Schicht hat eine Aussparung, die sich zu jedem der Durchgänge erstreckt.  Diese Aussparung oder Aushöhlung ist chemisch in das Glas eingeätzt.  Die untere Glasschicht hat auch eine Öffnung für die Verbindung mit  einer Vakuumquelle. Die beiden Glasschichten sind miteinander verbunden  bzw. verklebt. 



   Für die Verwendung der Vakuumhalteeinrichtung wird ein Vakuumkopf  mit der Öffnung in der unteren Schicht der Halteeinrichtung verbunden.  Es werden Perlen auf die Durchgangslöcher der Halteeinrichtung gegossen.  Die Perlen sind aus Polyethylenglycol-Graftpolystyrol (PEG-PS) hergestellt,  welche von PerSeptive erhalten wurden und hatten im Durchschnitt  näherungsweise einen Durchmesser von 150  mu m. Ein Vakuum wird über  den Kopf auf die Halteein   richtung aufgebracht, und es werden Perlen  auf die Halteeinrichtung gegossen, bis an jedem Durchgang eine Perle  angebracht ist. 



   Um die Perlen zu der Mikrotiterplatte mit 10 000 Vertiefungen zu  transportieren, wird die Halteeinrichtung über der Platte herumgedreht,  die Durchgänge werden mit den Vertiefungen ausgerichtet und das Vakuum  wird aufgehoben. 



   Beispiel 2. Elektrostatische Halteeinrichtung mit leitfähigen Durchgängen,  die für die Positionierung und den Transport von Gegenständen verwendet  werden kann. 



   Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit leitfähigen Durchgängen  wird folgendermassen aufgebaut. Es wird ein Stück Corning Pyrex 7740  Glas verwendet mit einer Fläche von etwa 2 Zoll  x 2 Zoll und einer  Dicke von etwa 20 mil, Durchgangslöcher werden so gebohrt, dass sie  zu einer Mikrotiterplatte passen, auf welche Perlen überführt werden.  Eine Maske wird verwendet, um gleichzeitig 100 Durchgänge mithilfe  eines Lasers zu ätzen, und zwar in 10 Reihen  x  10 Spalten für eine  Gesamtzahl von 10000 Durchgängen, wobei deren Anordnung der Anordnung  bzw. dem Feld einer Mikrotiterplatte entspricht, die 10 000 Vertiefungen  hat, wie es in Beispiel 1 oben beschrieben wurde. Der verwendete  Laser ist ein Resonetics-Laser. Der Durchmesser der Durchgänge beträgt  etwa 50  mu m, was kleiner als der Perlendurchmesser von etwa 150  mu m ist.

   Die Durchgangslöcher werden dann mit einer leitfähigen  Tinte gefüllt, die aus Gold- und Glasteilchen in einem flüssigen  Medium zusammengesetzt ist. Die Tinte wird unter Verwendung einer  Gummimembran, die auf einer Seite des Glases angeordnet ist, zwangsweise  durch die Durchgangslöcher hindurchgedrückt. Die leitfähige Tinte  wird getrocknet und gebrannt. 



   Als Nächstes wird ein dielektrisches Material auf die oberen und  unteren Flächen des Glassubstrates geschichtet. Leitfähiges Material  wird als Nächstes auf einer der dielektrischen Schichten abgeschieden,  sodass eine leitfähige Schicht von näherungsweise 500 nm Dicke gebildet  wird. 



   Um die elektrostatische Halteeinrichtung zu verwenden, wird eine  Spannungsquelle an die leitfähige Schicht angeschlossen. Die Perlen  werden auf die Durchgangslöcher auf der Halteeinrichtung gegossen.  Die Perlen sind aus Polyethylenglycol-Graftpolystyrol hergestellt  (PEG-PS), welche man von PerSeptive erhält, und sie haben im Durchschnitt  einen Durchmesser von etwa 150  mu m. Es wird eine Spannung an der  Halteeinrichtung angelegt, und die Perlen werden auf die Halteeinrichtung  gegossen, bis man eine Perle an jedem Durchgang angebracht    hat.  Da die Perlen eine negative Ladung haben, wird eine positive Ladung  auf die Halteeinrichtung aufgebracht. Überschüssige Perlen werden  durch Herumdrehen der Halteeinrichtung entfernt, während die Spannung  weiterhin angelegt ist. 



   Um die Perlen zu der Mikrotiterplatte mit 10 000 Vertiefungen zu  transportieren, wird die Halteeinrichtung über der Platte herumgedreht,  die Halteeinrichtung wird mit der Platte ausgerichtet, sodass die  Durchgänge mit den Vertiefungen ausgerichtet sind, und die angelegte  Spannung wird abgeschaltet oder umgekehrt. 



   Beispiel 3. Elektrostatische Halteeinrichtung, die für das Transportieren  von Gegenständen verwendet werden kann. 



   Eine elektrostatische Halteeinrichtung ist folgendermassen aufgebaut.  Eine untere leitfähige Schicht wird aus einer Kupferschicht auf Polyimid  gebildet, welches eine mittlere Schicht der Halteeinrichtung ist  und welches ein dielektrisches Material ist. Die leitfähige Schicht  hat eine Dicke von etwa 10  mu m, und die dielektrische Schicht ist  etwa 25  mu m dick. Eine obere leitfähige Schicht wird auf der Polyimidschicht  aufgebracht, wobei ein leitfähiges Band verwendet wird. Die obere  leitfähige Schicht ist aus Kupfer hergestellt (Abschirmprodukt für  Radiofrequenzen von Minnesota Mining and Manufacturing) und hat eine  Dicke von etwa 1 mil. Vor dem Aufbringen der oberen leitfähigen Schicht  wird ein Stift verwendet, um Öffnungen in dem leitfähigen Band zu  bilden.

   Der Durchmesser der Öffnungen beträgt etwa 280  mu m, was  kleiner ist als der Perlendurchmesser von etwa 500 mu m. 



   Um die elektrostatische Halteeinrichtung zu verwenden, wird eine  Spannungsquelle mit der oberen leitfähigen Schicht verbunden, welches  die Schicht mit den Öffnungen darin ist. Die Perlen werden auf die  Halteeinrichtung abgegeben unter Verwendung einer akustischen Abgabevorrichtung  gemäss Beispiel 9. Die Perlen sind aus Polystyrol hergestellt und  wurden von Polysciences Inc. (Warrington, PA) erhalten und haben  im Durchschnitt einen Durchmesser von etwa 500  mu m. Eine Spannung  wird an der Halteeinrichtung angelegt, sodass die Halteeinrichtung  ein Potenzial von -1500 Volt hat im Vergleich zu dem 3000-Volt-Potenzial  der akustischen Abgabevorrichtung, und Perlen werden auf die Halteeinrichtung  abgegeben, bis eine Perle an jeder Öffnung angebracht ist. Da die  Perlen eine positive Ladung haben, wird auf die Halteeinrichtung  eine negative Ladung aufgebracht. 



   Um die Perlen zu einer Mikrotiterplatte zu transportieren, wird die  Halteeinrichtung über der Platte herumgedreht, die Öffnungen werden  mit den Vertiefungen ausgerichtet und die    angelegte Spannung wird  abgeschaltet oder umgekehrt. 



   Beispiel 4. Elektrostatische Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen  Schicht mit zwei fingerartig ineinander greifenden Elektroden. 



   Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer oberen leitfähigen  Schicht, die zwei fingerartig ineinander greifende Elektroden hat,  wurde folgendermassen hergestellt. Es wurde ein Glassubstrat verwendet,  welches eine ITO (Indiumzinnoxid)-Elektrode hat, die fingerartig  ineinander greift und die eine obere leitfähige Schicht mit weniger  als etwa 25 Mikrometer Dicke bildet. Oben auf der oberen leitfähigen  Schicht befand sich eine dünne Polystyrenschicht mit etwa 1 Tausendstel  Zoll (25  mu m) Dicke, indem ein Band der Marke Scotch verwendet  wurde. 



   In einem Test wurden 1000 Volt an den Elektroden angelegt und eine  Tablette mit dem Gewicht von etwa 65 mg und einem Durchmesser von  etwa 5,6 mm wurde an der Halteeinrichtung gehalten. Nachdem 1400  Volt angelegt wurden, wurde die Tablette von der Halteeinrichtung  abgestossen, möglicherweise auf Grund eines sprungartigen Spannungsanstiegs,  was zu einer Entladung auf Grund einer abstossenden Kraft führte.                                                              



   In einem zweiten Test wurde die Tablette oben auf dem Band angeordnet  und es wurde eine Gleichspannung von 500 Volt an den Elektroden angelegt.  Die Halteeinrichtung wurde auf den Kopf gestellt und die Tablette  wurde an der Halteeinrichtung an ihrem Platz gehalten. 



   In einem dritten Test wurden unter Verwendung von 500 Volt drei Tabletten  an der Halteeinrichtung angebracht und die Spannung wurde abgesenkt,  bis alle drei von der Halteeinrichtung abfielen. Die erste Tablette  fiel bei 300 Volt ab, die zweite Tablette fiel bei 200 Volt ab und  die dritte Tablette fiel bei 100 Volt ab. Die Testergebnisse zeigten,  dass die Haltekraft proportional zu V<2> ist. 



   In einem anderen Test wurden 600 Volt an einer der beiden fingerartig  ineinander greifenden Elektroden der Halteeinrichtung angelegt und  die andere Elektrode wurde geerdet. Ein Tablette wurde auf der Polystyrenseite  der Halteeinrichtung angeordnet und die Tablette blieb an der Halteeinrichtung,  nachdem sie auf den Kopf gestellt wurde und die Tablette der Schwerkraft  ausgesetzt wurde. 



   Die Halteeinrichtung wurde auch getestet für das Abscheiden von Pulver  auf eine Tablette,    während sie von der Halteeinrichtung gehalten  wurde. Unter Verwendung eines Luftantriebs für das Abscheiden eines  positiv geladenen Steroids in einer 3%igen Suspension aus Perlen  wurde festgestellt, dass zumindest etwa 47  mu g abgeschieden worden  waren. 



   Beispiel 5. Elektrostatische Halteeinrichtung mit einer einzelnen  Elektrode in der oberen leitfähigen Schicht. 



   Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer einzelnen Elektrode  in der oberen leitfähigen Schicht wurde folgendermassen ausgestaltet.  Die Bodenseite der Halteeinrichtung bestand aus einer unteren leitfähigen  Schicht, die aus Aluminium hergestellt wurde, das auf eine dielektrische  Schicht aus Polyimid aufgeschichtet wurde, welches auf Kupfer laminiert  war (Good Fellows, Berwyn, PA). Die Dicke der Polyimidschicht betrug  etwa 2 Tausendstel Zoll. Drei Kupferdrähte auf der Oberseite der  Polyimidschicht bildeten die obere leitfähige Schicht und dienten  als Elektrode. Die Dicke der Kupferschicht betrug etwa 4 Tausendstel  Zoll (0,1 mm).

   Der Abstand zwischen den Kupferdrähten betrug etwa  5,6 mm. 68 Tabletten wurden verwendet, die jeweils einen Durchmesser  von etwa 5,6 mm hatten und jeweils etwa 65 mg wogen und welche aus  95% Zellulose und etwa 3% Laktose hergestellt waren, jeweils mit  einer Dicke von etwa 2 mm. Man liess die Tabletten für etwa 5 Minuten  an der Halteeinrichtung haften, wobei 1500 Volt zwischen den oberen  und unteren leitfähigen Schichten angelegt wurden. 



   Ein medizinisches Steroidpulver wurde auf die Tabletten aufgebracht  und folgendermassen von der oben beschriebenen Halteeinrichtung gehalten.  Eine Mischung aus 3% medizinischem Wirkstoff mit Kynar beschichteten  Stahlperlen bzw. -kügelchen (Vertex Image Products, Yukom, PA), die  einen Durchmesser von etwa 100 Mikrometer hatten, wurden in einer  Teflonflasche aufgenommen. 585,0 mg eines medizinischen Pulvers wurden  in einer Kombination aus medizinischem Wirkstoff und Kügelchen, die  20,6354 g wog, für etwa 6 Minuten auf den Tabletten abgeschieden,  wobei die akustische Abgabeeinrichtung verwendet wurde, die unten  in Beispiel 8 beschrieben wurde, und zwar bei einer Frequenz von  87 Hz, was als optimale Frequenz für die Abgabeeinrichtung bestimmt  wurde. Das Sieb der akustischen Abgabeeinrichtung für das Abtrennen  des medizinischen Pulvers von den Kügelchen bzw.

   Perlen wurde in  einem Abstand von 0,5 bis 1 Zoll (1,25 bis 2,5 cm) von den Tabletten  angeordnet, die das Pulver aufnahmen. 



   Beispiel 6. Elektrostatische Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden.                                                        



     Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit erdfreien Elektroden  der folgenden Ausgestaltung wurde getestet. Die untere leitfähige  Schicht wurde aus einem Kupferband hergestellt und hatte eine Dicke  von etwa 4 mil (tausendstel Zoll), entsprechend 0,1 mm. Die nächste  Schicht war eine dielektrische Schicht, die auf einem Polystyrenband  der Marke Scotch hergestellt wurde und eine Dicke von 1 Tausendstel  Zoll hatte. Auf dieser dielektrischen Schicht befand sich eine obere  leitfähige Schicht, die aus einem standardmässigen Vielzweckbord  mit Durchgangslöchern und Wickelkontakten (Radioshack) hergestellt  wurde und etwa 0,0625 Zoll dick war (ca. 1,6 mm), und welche eine  Elektrode bildete mit einer Lücke zwischen einer Abschirmelektrode  und einer erdfreien Elektrode, die elektrisch angeschlossen waren.  Die erdfreie Elektrode war rund und hatte etwa 2,5 mm Durchmesser.

    Die Abschirmelektrode war rund und hatte etwa 2,5 mm Durchmesser.  Der Spalt zwischen der Abschirm- und der erdfreien Elektrode betrug  etwa 200 Mikrometer. Ein Substrat wurde auf der oberen leitfähigen  Schicht angeordnet, wobei das Substrat eine dielektrische Schicht  war, die aus einem Polystyrenband der Marke Scotch hergestellt wurde  und etwa 1 Tausendstel Zoll dick war (0,025 mm). 



   Um die Halteeinrichtung zu verwenden, wurden etwa -1800 Volt an der  oberen leitfähigen Schicht angelegt. Als Nächstes wurden Steroidmedikamentteilchen  unter Verwendung der im Beispiel 8 beschriebenen Abgabevorrichtung  auf die Halteeinrichtung aufgebracht. 



   Die Fig. 23A, 23B, 24A und 24B zeigen die Abscheidung des Pulvers  auf einer erdfreien Elektrode unter Verwendung eines Vorspannpotenzials  von -1800 Volt bei der oben beschriebenen Halteeinrichtung. Die untere  leitfähige Schicht, die eine gedruckte Schaltkreisplatine ist, zeigt  die Kontrolle über die Ausrichtung des Pulvers während der Abscheidung.  In den Fig. 23A und 24A wurde die untere leitfähige Schicht fortgelassen,  während sie in den Fig. 23B und 24B vorhanden war. Fig. 23A zeigt,  dass bei Abwesenheit der unteren leitfähigen Schicht die geladenen  Teilchen sich an den Rändern der erdfreien Elektrode ansammeln. Im  Gegensatz dazu zeigen die Fig. 23B und 24B, dass bei Anwesenheit  der unteren leitfähigen Schicht die geladenen Teilchen gleichmässig  über die erdfreie Elektrode verteilt sind.

   Die grösste Menge an abgeschiedenem  Pulver wurde für die in Fig. 24B vorhandenen Bedingungen festgestellt,  bei Vorhandensein der unteren leitfähigen Schicht. 



   Beispiel 7. Elektrostatische Halteeinrichtung mit Sensorelektrode.                                                             



   Eine elektrostatische Halteeinrichtung mit einer Sensorelektrode  ist folgendermassen aufgebaut. Die Sensorelektrode besteht aus einer  unteren leitfähigen Schicht, die aus Aluminium    hergestellt ist  und die auf ihrer Oberseite eine dielektrische Schicht hat, die aus  Aluminiumoxid besteht. Eine Sensorelektrode wird auf der elektrostatischen  Halteeinrichtung angeordnet, sodass sie ausserhalb des Aufnahmesubstrates  liegt, welches der Abscheidung ausgesetzt werden soll. Die Sensorelektrode  wird verwendet, um indirekt die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen  zu bestimmen, indem die Ladungsänderung vor und nach der Abscheidung  gemessen wird. 



   Eine weitere elektrostatische Halteeinrichtung ist mit einer Sensorelektrode  aufgebaut, die auf der Halteeinrichtung in dem Bereich innerhalb  des Aufnahmesubstrates angeordnet ist, und bewirkt dadurch, dass  sowohl die Sensorelektrode als auch das Aufnahmesubstrat der Abscheidung  ausgesetzt sind. In diesem Fall wird die Sensorelektrode verwendet,  um die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen durch Messen der  Änderung der Ladung vor und nach der Abscheidung direkt zu bestimmen.                                                          



   Eine dritte elektrostatische Halteeinrichtung ist mit zwei Sensorelektroden  aufgebaut, von denen eine innerhalb des Aufnahmesubstrates und die  andere ausserhalb des Aufnahmesubstrates angeordnet ist. In diesem  Fall wird die Sensorelektrode innerhalb des Aufnahmesubstrates verwendet,  um die Abscheidungsmenge der geladenen Teilchen durch Messen der  Veränderung der Ladung vor und nach der Abscheidung direkt zu bestimmen,  und sie wird auch verwendet, um die Messung der Abscheidung durch  die Sensorelektrode ausserhalb des Abscheidungsbereiches zu kalibrieren.                                                       



   Eine Sensorelektrode in einem Ringaufbau wurde unter Verwendung von  anodisiertem Aluminiumoxid hergestellt (wobei Aluminium als leitfähige  Schicht die Elektrode bildete und die Oxidschicht das Dielektrikum  bildete). 15 g Perlen bzw. Kügelchen wurden verwendet und wurden  mit einem auf Mikrometergrösse verkleinerten Steroidmedizinpulver  (Cortison, Aldrich Chemical Co., Milwaukee, Wl) für etwa 30 Minuten  geschüttelt. Zwei Pulverkonzentrationen wurden verwendet, wobei eine  450 mg Pulver pro 15 g Perlen (3%-Mischung) und die andere 900 mg  Pulver für 15 g Perlen (6%-Mischung) hatte. Es wurden an der elektrostatischen  Halteeinrichtung 1800 Volt angelegt. Akustische Energie wurde verwendet,  um das Pulver gemäss Beispiel 8 zu beschleunigen, wobei entweder  1400 (entsprechend 12 Watt), 1600 oder 1800 verwendet wurden.

   Die  während der Abscheidung auftretende Ladungsänderung wurde durch Aufzeichnen  der Spannung an dem Elektrometer alle 30 Sekunden während der ersten  2 Minuten und dann in jeder Minute danach gemessen, bis insgesamt  30 Minuten verstrichen waren. Die auf einer zuvor gewogenen Menge  an Aluminiumfolie abgeschiedene Pulvermenge wurde ebenfalls gemessen.                                                          



     Es sind mehrfache Tests vorgenommen worden, indem eine Abscheidung  auf Aluminiumfolie durchgeführt wurde, wobei die Zeit für eine vollständige  Abscheidung etwa 5 Minuten in Anspruch nahm. Die Tests zeigten, dass  bei einer Abscheidung im stationären Zustand k um bis zu 4% in jeder  Richtung variiert, k ist das Verhältnis zwischen der beobachteten  Ladung Q' und der abgeschiedenen Ladung Q und ist tatsächlich eine  Funktion aller Betriebsparameter der Halteeinrichtung und der akustischen  Abgabeeinrichtung; daher wird k experimentell bestimmt. Eine Inkonsistenz  von k über 10% hinaus ist begleitet von einer Veränderung der Eigenschaften  der Abgabeeinrichtung.

   Die in den Tests erhaltenen Daten für die  Sensorelektrode sind in den Fig. 25A-C dargestellt, die eine grafische  Wiedergabe von experimentellen Daten unter Verwendung einer Sensorelektrode  in der Überwachungsringgestaltung bereitstellen. 



   Beispiel 8. Akustische Abgabevorrichtung für Teilchen mit einem Durchmesser  von weniger als etwa 10 mu m. 



   Eine akustische Abgabevorrichtung für die Abscheidung von Teilchen  mit weniger als etwa 10  mu m im Durchmesser ist folgendermassen  aufgebaut worden. Ein Lautsprecher wurde auf einer Aluminiumplatte  montiert, die durch vier Pfostenstücke aus Aluminium von <3>/ 4   Zoll gehaltert wurde, und eine Aluminiumplatte wurde oben auf dem  Lautsprecher angeordnet. Eine Teflonplatte wurde oben auf der Aluminiumplatte  angeordnet. Eine Membran, die aus einer Teflonbahn mit 15 mil Dicke  auf einer leitfähigen Schicht hergestellt wurde, wurde auf der Teflonplatte  angeordnet. Ein Zylinder aus Corning Pyrex Glas wurde über der Membran  angeordnet und mit O-Ringen abgedichtet. In dem Glaszylinder wurde  ein Sieb über der Membran angeordnet, um Teilchen unterschiedlicher  Grössen abzutrennen. Das Sieb war ein Sieb der Nr. 270 von Newark  Wire Cloth Co. (Newark, NJ).

   Die Öffnung des Glaszylinders erlaubt  die Anordnung eines Aufnahmesubstrates auf einer elektrostatischen  Halteeinrichtung. 



   Der Lautsprecher wurde aktiviert und eine Suspension aus 15 g Perlen  und 450 mg Pulver wurde verwendet, was dazu führte, dass die Teilchen  des Pulvers in einer Wolke durch das Sieb auf das Tablettensubstrat  verteilt wurden. 



   Beispiel 9. Akustische Abgabevorrichtung für Teilchen mit mehr als  etwa 10  mu m im Durchmesser. Die Konfiguration einer akustischen  Abgabevorrichtung für die Abgabe von Teilchen, wie z.B. Perlen, mit  einem Durchmesser von mehr als etwa 10  mu m war die folgende. Ein    Radioshack-Lautsprecher Katalog Nr. 40-1354A wurde unter einer  Acrylbox mit einem über ein Scharnier angelenkten Deckel angeordnet.  Innerhalb der Acrylbox befand sich eine Membran. Über der Membran  war eine elektrostatische Halteeinrichtung für die Aufnahme der Perlen  aufgehängt. 



   Die Membran wurde unter Verwendung von Polyimid auf einem Kupfersubstrat  und einem Sieb der Nr. 270 aus rostfreiem Stahl der Newark Wire Cloth  Co. (Newark NJ) hergestellt. Polystyrolperlen (Polyscience) mit einem  Durchmesser von 500 mu m wurden für das Testen verwendet. 



   Die Abgabevorrichtung wurde aktiviert, indem die Perlen auf die Membran  aufgebracht wurden und der Lautsprecher aktiviert wurde. Die Perlen  wurden auf ein Polystyrolband der Marke Scotch mit 1 mm Dicke, welches  auf einer Metallplatte angeordnet war, aufgebracht, um das Ladung-zu-Masse-Verhältnis  der Perlen zu messen. 



   Unter Verwendung eines Vorspannpotenzials von +1300 V, welches an  das Sieb angelegt wurde, wurden auf einer erdfreien Platte 30 nC  angesammelt. 156,6 mg der Perlen wurden auf der erdfreien Platte  angesammelt. Ein q/m(Ladung zum Masseverhältnis)-Wert von 240 nC/g  wurde berechnet. Bei einer Vorspannung von -1300 V an dem Sieb wurde  1 nC angesammelt und einige wenige Perlen wurden angesammelt. Diese  Ergebnisse zeigen, dass das Sieb dazu diente, die Perlen mit positiver  Reibungsladung aufzuladen. Weiterhin kann die Verwendung einer Teflonschicht  auf dem Sieb die Leistungsfähigkeit der akustischen Abgabevorrichtung  bei -1300 V verbessern bzw. erhöhen. 



   Während die vorliegende Erfindung mit Betonung auf bevorzugten Ausführungsformen  beschrieben worden ist, ist es für die Fachleute auf diesem Gebiet  offensichtlich, dass Variationen der bevorzugten Einrichtungen und  Verfahren verwendet werden können und dass beabsichtigt ist, dass  die Erfindung in anderer Weise praktisch durchgeführt werden kann,  als sie speziell hier beschrieben worden ist. Dementsprechend umfasst  die Erfindung alle Modifikationen, die im Geist und Rahmen der Erfindung  liegen, wie sie durch die folgenden Ansprüche definiert wird.

Claims (33)

1. Vorrichtung zur Positionierung mehrerer Gegenstände (260) in einer ausgewählten Konfiguration auf zumindest einem Aufnahmesubstrat mit: einer elektrostatischen Halteeinrichtung (210, 220, 230, 240, 250), um daran Gegenstände (216) elektrostatisch in einer ausgewählten Konfiguration zu halten, Mitteln zum Ausrichten der Halteeinrichtung mit dem Aufnahmesubstrat und Mitteln für das Freigeben der Gegenstände aus der Haftung an der Halteeinrichtung auf das Aufnahmesubstrat oder die Aufnahmesubstrate.
2.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Halteeinrichtung aufweist: eine leitfähige Schicht (210), eine erste dielektrische Schicht (250) und eine dielektrische Substratschicht (230), wobei die dielektrische Substratschicht eine Mehrzahl von leitfähigen Pfaden (240) aufweist, welche sich von einer Oberseite der Substratschicht zum Boden der Substratschicht erstrecken, wobei die elektrostatische Halteeinrichtung aktiviert wird durch Anlegen einer Vorspannung an die leitfähige Schicht und wobei Punkte auf der äusseren Oberfläche, welche den Durchgängen (240) am nächsten liegen, die diskreten Positionen für das Anziehen der Gegenstände definieren.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die dielektrische Substratschicht aus Glas besteht.
4.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, wobei die erste dielektrische Schicht weniger als 50 Mikrometer dick ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die erste dielektrische Schicht einer Spannung von zumindest 2000 Volt widersteht.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, welche weiterhin eine zweite dielektrische Schicht neben der dieletktrischen Substratschicht auf der der ersten dielektrischen Schicht gegenüberliegenden Seite der dielektrischen Schicht.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei die leitfähige Schicht in getrennte Sektoren aufgeteilt ist, in welchen eine Spannung unabhängig angelegt werden kann, sodass die Gegenstände wahlweise auf einen Sektor abgelegt werden, der durch die zugehörige Spannung definiert ist.
8.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Halteeinrichtung eine dielektrische Substratschicht (420) aufweist, die auf einer ihrer Seiten eine leitfähige Schicht (430) mit darin ausgebildeten Öffnungen (440) hat, und wobei auf der anderen Seite eine weitere leitfähige Schicht (410) vorgesehen ist, wobei die Öffnungen die diskreten Positionen definieren.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, wobei die weitere leitfähige Schicht in getrennte Sektoren aufgeteilt ist und weiterhin Einrichtungen für das wahlweise Anlegen einer Spannung an jedem einzelnen Sektor, einem Teilsatz der Sektoren oder an allen Sektoren aufweist, sodass die Gegenstände an dem Sektor bzw. den Sektoren positioniert werden, an welchem bzw. welchen die Spannung angelegt worden ist.
10.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 oder 9, wobei das dielektrische Substrat eine Spannung von zumindest 500 Volt widersteht.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, wobei die diskreten Positionen einen Durchmesser haben, der geringer ist als derjenige der anzuziehenden Gegenstände.
12. Vorrichtung für die Positionierung einer Mehrzahl von Gegenständen auf einer Mehrzahl von Aufnahmesubstraten einer ausgewählten Konfiguration, mit: einer elektrostatischen Halteeinrichtung, die eine Mehrzahl von Bereichen hat, welche adressierbar sind für das elektrostatische Anziehen von Gegenständen an dem Bereich, wobei die Bereiche den Aufnahmesubstraten sprechen, mit Mitteln für das Ausrichten der Halteeinrichtung mit den Aufnahmesubstrat und mit Mitteln für das Freigeben der Gegenstände von der Halteeinrichtung auf die Aufnahmesubstrate.
13.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, mit Mitteln für die Abgabe eines Pulvers.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei die Halteeinrichtung dafür ausgelegt ist, die Gegenstände zu dem Aufnahmesubstrat bzw. den Aufnahmesubstraten zu transportieren.
15. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung gemäss Anspruch 1, zur Positionierung mehrerer Gegenstände (260) in einer ausgewählten Konfiguration auf zumindest einem Aufnahmesubstrat mit den folgenden Schritten: Ausrichten einer Halteeinrichtung (210, 220, 230, 240, 250) mit dem oder jedem Aufnahmesubstrat bezüglich der Gegenstände (260), die an der Halteeinrichtung an einer Mehrzahl diskreter Positionen (240) in der ausgewählten Konfiguration elektrostatisch angezogen sind, und Freigeben der Gegenstände von der Halteeinrichtung auf das bzw. auf jedes Aufnahmesubstrat.
16.
Verfahren nach Anspruch 15, welches weiterhin den Schritt aufweist, dass die Halteeinrichtung verwendet wird, um die Gegenstände zu dem Aufnahmesubstrat bzw. zu den Aufnahmesubstraten zu transportieren.
17. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 oder 16, welches weiterhin den Schritt aufweist, dass die Gegenstände mit einem pharmazeutischen Pulver beschichtet werden.
18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 oder 16, wobei die Gegenstände ein pharmazeutisches Pulver aufweisen bzw. beinhalten.
19. Verfahren nach Anspruch 18, wobei das Pulver elektrostatisch geladen ist.
20.
Verfahren nach Anspruch 15, wobei die Halteeinrichtung aufweist: eine leitfähige Schicht (210), eine erste dielektrische Schicht (250), und eine dielektrische Substratschicht (230), wobei die dielektrische Substratschicht eine Mehrzahl von leitfähigen Durchgängen (240) aufweist, die sich von einer Oberseite der Substratschicht zur Unterseite der Substratschicht erstrecken, wobei das Verfahren weiterhin die Schritte aufweist, dass die elektrostatische Halteeinrichtung aktiviert wird, indem eine Spannung an die leitfähige Schicht angelegt wird, wobei Punkte auf der äusseren Oberfläche, welche den leitfähigen Durchgängen (240) am nächsten liegen, die diskreten Positionen für das Anziehen der Gegenstände definieren.
21.
Verfahren nach Anspruch 15, wobei die Halteeinrichtung eine dielektrische Substratschicht (420) aufweist, welche auf einer ihrer Seiten eine leitfähige Schicht (430) mit Öffnungen (440) darin hat, und auf der anderen Seite eine weitere leitfähige Schicht (410), wobei die Öffnungen die diskreten Positionen definieren.
22. Verfahren nach Anspruch 21, wobei die weitere leitfähige Schicht (410) in getrennte Sektoren aufgeteilt ist und weiterhin das wahlweise Anlegen einer Spannung an jeden einzelnen Sektor, einen Teilsatz der Sektoren oder an alle Sektoren aufweist, sodass die Gegenstände an demjenigen Sektor bzw. denjenigen Sektoren positioniert werden, an welchen die Spannung angelegt worden ist.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 15, 20, 21 oder 22, wobei die Gegenstände pharmazeutische Substrate sind.
24.
Verfahren nach Anspruch 23, welches weiterhin das Beschichten der Gegenstände mit Teilchen aufweist, während die Gegenstände an die Halteeinrichtung angezogen sind.
25. Verfahren nach Anspruch 24, wobei die Teilchen sich in einem Pulver befinden, das eine pharmazeutisch aktive Verbindung aufweist.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 15, 20 oder 21, wobei die Gegenstände ein Pulver aufweisen, das elektrostatisch an jeder der diskreten Positionen gehalten wird.
27. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 22, wobei die diskreten Positionen einen Durchmesser haben, der geringer ist als der der Gegenstände.
28.
Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung gemass Anspruch 12 zum Positionieren einer Mehrzahl von Gegenständen auf einer Mehrzahl von Aufnahmesubstrates in einer ausgewählten Konfiguration mit den Schritten: Ausrichten einer Halteeinrichtung mit den Aufnahmesubstraten, wobei die Gegenstände auf einer Vielzahl von Flächen entsprechend den Aufnahmesubstraten elektronisch von der Halteeinrichtung angezogen werden, und Freigeben der Gegenstände von der Halteeinrichtung auf die Aufnahmesubstrate.
29. Verfahren nach Anspruch 28, wobei die Aufnahmesubstrate miteinander verbunden sind.
30. Verfahren nach einem der Ansprüche 28 oder 29, wobei die Aufnahmesubstrate Träger für pharmazeutische Substanzen sind.
31. Verfahren nach einem der Ansprüche 28 bis 30, wobei die Gegenstände einen pharmazeutisch wirksamen Bestandteil aufweisen.
32.
Verfahren nach einem der Ansprüche 28 bis 31, welches die Schritte aufweist, dass unterschiedliche Anzahlen von Gegenständen auf zumindest zwei Flächen der Halteeinrichtung angezogen werden, wodurch die entsprechenden Aufnahmesubstrate unterschiedliche Anzahlen von Gegenständen erhalten.
33. Verfahren nach einem der Ansprüche 31 oder 32, wobei die Gegenstände pharmazeutische Dosen bilden.
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