CH685516A5 - Mikrowellen-Vakuum-Trocknungsvorrichtung mit integrierter Flüssigkeitskondensation sowie Trocknungsverfahren. - Google Patents

Mikrowellen-Vakuum-Trocknungsvorrichtung mit integrierter Flüssigkeitskondensation sowie Trocknungsverfahren. Download PDF

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CH685516A5
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Rainer Schoen
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Description

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Beschreibung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Trocknen von Produkten einer beliebigen Geometrie, insbesondere von elektrisch nichtleitenden Produkten, in einer gasdicht verschliessbaren Kammer und einer in dieser angeordneten, inneren Kammer, welche der Aufnahme der zu trocknenden Produkte dient, wobei mittels eines Unterdrucksystems und der von einem Mikrowellengenerator ausgesandten Mikrowellenstrahlung die den Produkten anhaftenden, flüchtigen Bestandteile verdampft werden, sodass diese an einer Kühlfläche kondensiert werden können.
In der Halbleiter-, Optik- sowie Glasindustrie werden üblicherweise grosse Mengen von fluorierten und/oder chlorierten Kohlenwasserstoffen, sogenannten Freonen, verwendet, um mit Ölspuren oder anderen Verbindungen verschmutzte Teile zu reinigen. Bei diesen Reinigungsvorgängen gehen jeweils grosse Mengen von leicht verdampfenden Reinigungsmitteln verloren. Seit der negative Ein-fluss der fluorierten und oder chlorierten Kohlenwasserstoffe auf die Ozonschicht nachgewiesen ist, wird versucht, auf den Einsatz von fluorierten und/ oder chlorierten Kohlenwasserstoffen vollständig zu verzichten. Zu reinigende Bauteile werden daher vermehrt in einem Ultraschallbad mittels deionisiertem Wasser gereinigt. Allderdings stellt sich dabei sehr oft das Problem, die Teile nachträglich von der ihnen anhaftenden Feuchtigkeit zu befreien.
Um die Feuchtigkeit schonend zu entfernen, können die Teile gemäss Stand der Technik z.B. in einer Vakuumtrocknungsanlage getrocknet werden. Dabei werden die zu trocknenden Teile mit einer Strahlungsheizung soweit erwärmt, bis die zu entfernenden, flüchtigen Bestandteile verdampfen. Diese energieintensive Trocknungsart hat allerdings den Nachteil, dass bei der Trocknung die sehr oft temperaturempfindlichen Teile erwärmt werden, sodass die Gefahr einer Beschädigung besteht.
Eine Vorrichtung, speziell zum Trocknen von pul-ver- oder partikelförmigen Produkten, mit einer zylinderförmigen Kammer, einem drehbaren Produktbehälter, Mittel zum Übertragen von Mikrowellen in die Kammer, einer Vakuumpumpe, einem Rührwerk mit Schaufeln zum Bewegen des Produkts im Produktbehälter und einer Einrichtung zum Überwachen des Trocknungsprozesses wird in der US 4 882 851 offenbart. Die zylinderförmige Kammer ist liegend angeordnet, wobei der Kammerkopf zum Beladen des Produktbehälters seitlich weggefahren werden kann. Zu diesem Zweck ist der Kammerkopf an einen Schlitten befestigt, welcher auf einer Schiene in der Längsachse der Trocknungskammer verschiebbar ist. Der Produktbehälter ist mit dem Kammerkopf fest verbunden, sodass dieser beim Wegschieben des Kammerkopfes aus der Kammer gefahren wird. Auf dem Schlitten ist weiters ein Elektromotor vorgesehen, um eine in der Längsachse der Kammer und durch den Kammerkopf in den Produktbehälter sich erstreckende Achse anzutreiben. An der Achse sind Schaufeln angeordnet, welche für eine Durchmischung des zu trocknenden Pulvers oder Granulates sorgen.
Zum Trocknen eines Produkts wird die Kammer durch die Vakuumpumpe evakuiert, welche über eine Vakuumleitung mit der Kammer verbunden ist. Wärmeenergie in Form von Mikrowellenstrahlung zum Verdampfen der Lösungsmittel wird gegenüber dem bewegbaren Kammerkopf durch einen Hohlleiter in die Trocknungskammer geleitet. Die Mikrowellen werden dabei an der inneren Schale der Kammer reflektiert und vom zu entfernenden Lösungsmittel, respektive dem zu trocknenden Produkt absorbiert. Der Produktbehälter ist aus einem für Mikrowellen transparenten Material gefertigt. Um das Entweichen von Mikrowellenstrahlung in den umliegenden Raum zu vermeiden, muss z.B. die Dichtung zwischen dem Kammerkopf und der Kammer aus einem leitenden Material bestehen.
Die Kammer dieser Vorrichtung besteht aus zwei Schalen. Im Zwischenraum zwischen den beiden Schalen kann warmes Wasser zirkulieren, um die Kondensation von Wasserdampf oder Lösungsmitteldämpfen aus dem Trocknungsprozess zu verhindern. Die verdampften Lösungsmittelrückstände werden durch einen in der Vakuumleitung angeordneten Kondensator verflüssigt und in ein Reservoir abgeleitet.
Nachteilig bei dieser Mikrowellen-Trocknungsvorrichtung ist die sehr aufwendige Konstruktion einer doppelschaligen Kammer, welche zur Verhinderung der Kondensation von Wasser oder Lösungsmittelrückständen in der Kammer erforderlich ist. Als besonders problematisch, vom sicherheitstechnischen Aspekt her gesehen, erscheinen die vielen Anschlussstellen an der Trocknungskammer und die damit verbundene Gefahr des Entweichens von Mikrowellenstrahlung in die Umgebung. So ist z.B. am Kammerkopf der Einsatz eines leitenden O-Ringes vorgesehen und das Schauglas muss mit einer mikrowellenundurchlässigen Metallschicht bedampft sein, um das Austreten von Mikrowellenstrahlung zu verhindern. Diese konstruktiven Details verteuern die Vorrichtung. Des weiteren erzeugt die seitliche Einspeisung der Mikrowellen in die Trocknungskammer eine inhomogene Strahlungsverteilung, sodass das zu trocknende Produkt im Produktbehälter bei nicht ausreichender Durchmischung entweder teilweise stark erwärmt werden kann oder dass das Lösungsmittel nur teilweise entfernt wird.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine kompakte Vorrichtung zum Trocknen von Teilen, Pulvern, Granulaten und dergleichen, insbesondere von elektrisch nichtleitenden Produkten, bereitzustellen, die die erwähnten Nachteile mindestens teilweise vermeidet. Die Vorrichtung soll konstruktiv einfach, kostengünstig und für den Bediener sicher sein und sich insbesondere für die Reinigung von Teilen in der Halbleiter-, Optik- sowie Glasindustrie eignen. Die flüchtigen Bestandteile sollten möglichst schonend und vollständig von den Teilen entfernt und innerhalb der Vorrichtung wieder aufgefangen werden können, sodass diese nicht an die Umgebung entweichen.
Erfindungsgemäss wird dies dadurch erreicht, dass die innere Kammer aus einem leitenden, mi-krowellen-undurchlässigen Material besteht, sodass diese als Faraday'scher Käfig mit umgekehrtem
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Wirkungsprinzip oder Hohlraumresonator wirkt. Des weiteren steht die innere Kammer durch eine Vielzahl von Öffnungen mit der äusseren Kammer in Verbindung, sodass die flüchtigen Bestandteile aus der inneren Kammer entweichen können. Die innere Kammer, bzw. der Faraday'sche Käfig, besitzen für Gas also vorteilhafterweise einen hohen Leitwert. Diese Anordnung zeichnet sich durch eine einfache, kompakte Bauweise aus. Dadurch, dass die Mikrowellen ausschliesslich in die innere Kammer eingestrahlt werden und aus dieser nicht entweichen können, brauchen keine aufwendigen Massnahmen ergriffen werden, um das Entweichen der Mikrowellen in die Umgebung zu verhindern, da die äussere Kammer ebenfalls vorzugsweise aus einem mikrowellen-undurchlässigen Material besteht. Das Bedienungspersonal ist somit vor schädlicher Mikrowellenstrahlung bestens geschützt. Auf der anderen Seite können die flüchtigen Bestandteile praktisch ungehindert durch die Öffnungen der inneren Kammer dringen und anschliessend abgepumpt und/oder kondensiert werden.
Vorteilhaft wird ein Verteilungsmechanismus für die Mikrowellenstrahlung vorgesehen. Dies erlaubt eine weitgehend homogene Verteilung der Mikrowellenstrahlung in der inneren Kammer.
Vorteilhaft sind innerhalb der äusseren Kammer Kühlflächen zur Kondensation der verdampften Bestandteile vorgesehen. Dadurch können die verdampften Bestandteile nach ihrem Durchtritt durch die Öffnungen der inneren Kammer wirkungsvoll abgeschieden werden. Im Gegensatz zum Stand der Technik wird die Saugleistung der Unterdruckquelle durch den Einbau eines Kondensators in der Saugleitung nicht beeinflusst.
Zweckmässigerweise sind an den Innenwänden der äusseren Kammer Rohrleitungen zur Zirkulation eines Wärmeübertragungsmittels angeordnet. Das Wärmeübertragungsmittel kann, je nach Betriebsweise der Trocknungsvorrichtung, die äussere Kammer entweder kühlen oder erwärmen. Die gleiche Wirkung kann aber auch erzielt werden, wenn die Rohrleitungen an den Aussenwänden angeordnet sind oder die Aussenwandung doppelschalig ist, sodass diese von dem Wärmeübertragungsmittel durchströmt werden kann. Falls zur Kondensation der flüchtigen Bestandteile eine tiefe Temperatur nötig ist, wird vorteilhaft in der äusseren Kammer wenigsten eine von einem Kühlmittel durchflossene Kühlfläche vorgesehen. Durch grossflächige Kühlflächen wird eine raschere Kondensation der flüchtigen Bestandteile bewirkt als bei der Verwendung eines Kondensators in der Saugleitung.
Eine besonders einfache und kostengünstige Konstruktion ergibt sich dann, wenn die innere Kammer aus einem gelochten Metallblech besteht. Um zu vermeiden, dass es an den Wänden der inneren Kammer zu Kondensationen kommt, kann die innere Kammer elektrisch heizbar sein. Vorteilhaft kann in der inneren Kammer auch eine Strahlungsheizung vorgesehen sein. Diese kann die innere Kammer als auch die zu trocknenden Produkte erwärmen.
Vorteilhaft ist der Verteilungsmechanismus an der äusseren Kammer angeordnet, wobei die Mikrowellenstrahlung durch eine mikrowellendurchlässige Wand der äusseren Kammer direkt in die innere Kammer dringen kann. Der Verteilungsmechanismus kann z.B. rotierend oder stationär ausgebildet sein. Der Mechanismus sorgt für eine weitgehend homogene Verteilung der Mikrowellen, sodass sich diese gleichmässig über die zu trocknenden Produkte verteilen. Die Anordnung des Mikrowellenverteilungsmechanismus ausserhalb der äusseren Kammer ergibt eine kompakte Bauweise. Der Verteilungsmechanismus des Mikrowellengenerators kann aber auch vorteilhaft deckenseitig oder seitlich an der inneren Kammer angeordnet werden. Die Mikrowellen werden in diesem Fall durch einen entsprechenden Hohlleiter durch die äussere Kammerwand zum Verteilungsmechanismus an der inneren Kammer geleitet.
Zweckmässigerweise ist die innere Kammer drehbar. Diese kann dann z.B. mit einem stationären Mikrowellen-Verteilungsmechanismus zusammenwirken. Um Pulver oder Granulate zu trocknen, kann auch ein Rührmechanismus gemäss bekanntem Stand der Technik vorgesehen werden.
Ausführungsbeispiele der erfindungsgemässen Vorrichtung sollen nun unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben werden. Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer Vakuum-Mikrowellen-Trocknungsvorrichtung im Schnitt
Fig. 2a) eine perspektivische Ansicht einer inneren Kammer (äussere Kammer nur angedeutet),
Fig. 2b) eine perspektivische Ansicht einer äusseren Kammer mit schlangenförmigen Leitungen und inneren Kühlflächen,
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer zylinderförmigen Kammer.
Das Kernstück der Vorrichtung 11 gemäss Fig. 1 sind die äussere, gasdicht verschliessbare Kammer 13 und die in dieser angeordneten, innere Kammer 15. In der äusseren Kammer 13 kann durch ein Unterdrucksystem 17 ein Unterdruck erzeugt werden. An den Innenwänden 19 der äusseren Kammer 13 sind zweckmässigerweise Leitungen 21 angeordnet (s. Fig. 2b), die von einem Wärmeübertragungsmittel durchströmt werden können. Die Leitungen 21 verteilen sich vorzugsweise gleichmässig über die Innenwände 19, sodass diese überall ungefähr die gleiche Temperatur aufweisen. An den Anschlussstutzen 23, 23' kann z.B. ein thermostatisierbares Wasserbad oder ein Kühlgerät 25 angeschlossen sein.
In der äusseren Kammer 13 können separate Kühlflächen 29 vorgesehen werden. Die Kühlflächen 29 werden vorteilhaft dann eingesetzt, wenn zur Kondensation der flüchtigen Bestandteile eine tiefe Temperatur nötig ist. Durch die grossflächigen Kühlflächen 29 und die damit verbundene Pumpwirkung wird eine besonders rasche Kondensation der flüchtigen Bestandteile erreicht.
Der Boden 31 kann zweckmässigerweise eine Trichterform aufweisen, sodass die kondensierten, flüchtigen Bestandteile im Trichter gesammelt und über das Ventil 33 in den Kondensatbehälter 35 abgelassen werden können. Das gesammelte Kon-
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densat kann sodann über das Ventil 37 dem Kondensatbehälter 35 entnommen werden.
Das Unterdrucksystem 17 umfasst eine Unterdruckquelle 39, mehrere in der Saugleitung 38 angeordnete Ventile 41, 43, 45, 47, einen Drucksensor 49, sowie ein Partikelfilter 51. Mit der Bezugsziffer 47 ist ein Belüftungsventil bezeichnet, dessen Gasdurchfluss vorzugsweise einstellbar ist. Die Belüftung kann aber auch durch mehrere, zueinander parallel angeordnete Ventile mit unterschiedlichen Leitwerten erfolgen.
Die Ventile 43 und 45 sind zwei Ventile mit unterschiedlichem Leitwert, sodass die Saugleistung der Unterdruckquelle 39 variiert werden kann. Die Ventile 43 und 45 können jedoch auch eine ferngesteuerte, parallelgeschaltete Ventilgruppe mit unterschiedlichen Leitwerten sein oder durch ein Regelventil, z.B. ein Membranventil, ersetzt werden. Dadurch kann z.B. bei feuchten, pulverisierten Produkten verhindert werden, dass beim anfänglichen Evakuieren der Kammer 13 das Produkt verwirbelt wird und in die Saugleitung 38 gelangen kann. Ausserdem ermöglichen die genannten Ventile die Einhaltung eines gewünschten Druckverlaufes während des Trocknungsprozesses.
Die Anschlussstelle 52 der Saugleitung 38 befindet sich vorteilhaft in Abstand zur Kühlfläche 29, sodass die im angesaugten Gas vorhandenen, kondensierbaren Bestandteile auf den Kühloberflächen 29 kondensieren. Es ist jedoch denkbar, in der Saugleitung 38 einen Kondensator vorzusehen, damit unter Umständen noch vorhandene Reste der verdampften Bestandteile kondensiert und zurückgewonnen oder entsorgt werden können.
Die innere Kammer 15 besteht zweckmässigerweise aus einem Lochbiech. Der Lochdurchmesser kann z.B. 1.5 mm betragen. Dies stellt sicher, dass die in die innere Kammer 15 geleiteten Mikrowellen von z.B. einer Frequenz von 2.45 GHz nicht durch die Wände der inneren Kammer in die äussere Kammer 13 entweichen können. Andererseits können die flüchtigen Bestandteile durch die Löcher praktisch ungehindert in die äussere Kammer entweichen, wo diese kondensiert werden können.
Die innere Kammer 15 ist durch eine Türe 55 von aussen zugänglich. Zu diesem Zweck weist die äussere Kammer 13 an der selben Seitenwand ebenfalls eine Türe auf (nicht eingezeichnet), die zweckmässig etwas grösser als die Türe der inneren Kammer 15 ist. Durch die genannten Türen kann die innere Kammer 15 be- und entladen werden. Bei der Verwendung der erfindungsgemässen Vorrichtung in einem automatisierten Trocknungs-prozess können die Türen miteinander verbunden sein, sodass sich diese durch einen Roboterarm gleichzeitig öffnen lassen.
Zur Gewährleistung einer hohen Sicherheit für das bedienende Personal, sind an den Türen Näherungsschalter 53, 54 angeordnet. Diese unterbrechen die Stromzufuhr zum Mikrowellengenerator 56 automatisch, wenn eine Person eine der Türen öffnen möchte.
Es ist denkbar, die innere Kammer 15 auf Teleskopschienen anzuordnen, sodass diese zum Be-
und Entladen aus der äusseren Kammer 13 herausgezogen werden kann.
Deckenseitig an der inneren Kammer 15 ist ein Mikrowellen-Verteilungsmechanismus 57 angeordnet, welcher für eine möglichst homogene Verteilung der abgestrahlten Mikrowellenstrahlung sorgt. Die Mikrowellenstrahlung wird mittels eines entsprechenden Hohlleiters durch die Wand der äusseren Kammer 13 zur deckenseitigen Öffnung der inneren Kammer 15 geleitet, wo ein stationärer oder rotierender Verteilungsmechanismus 57 ein weitgehend homogenes Feld erzeugt. Der Mikrowellengenerator 56 kann dabei in Abstand zur äusseren Kammer angeordnet sein. Es ist denkbar, dass die innere Kammer 15 zusätzlich drehbar ist.
In einem anderen Ausführungsbeispiel kann der Mikrowellen-Verteilungsmechanismus 57 aussen an der äusseren Kammer 13 angeordnet sein. Die äussere Kammerwand ist dabei z.B. gleichzeitig die deckenseite Begrenzung der inneren Kammer 15 und an dieser Stelle teilweise aus einem mikrowellendurchlässigen Material, z.B. Glas, gefertigt. Die Mikrowellen können dadurch direkt von aussen in die innere Kammer 15 geleitet werden. Es ist genauso denkbar, den Mikrowellenverteilungsmechanismus seitlich an der inneren Kammer 15 anzuordnen und die Türen oben zu positionieren, um die innere Kammer von oben be- und entladen zu können.
In den Wänden der Kammer 15 sind Anschlussstellen für verschiedene Sensoren vorgesehen. So erweist es sich als zweckmässig, einen Sensor 61 zur Messung der Mikrowellenfeldstärke in der Kammer 15 vorzusehen. Dadurch kann die Leistung je nach zu trocknendem Produkt angepasst werden. Des weiteren ist ein Temperatursensor 63 zur Messung der Produkttemperatur vorgesehen.
In Fig. 2 ist die Anordnung der äusseren und der inneren Kammer 13, 15 näher dargestellt. Die Leitungen 21 sind an den Innenwänden der äusseren Kammer 13 schlangenförmig (Fig. 2b) angeordnet. Innerhalb der Kammer 13 sind in Abstand zu zwei gegenüberliegenden Seiten zwei Kühlflächen 29 vorgesehen. Die beiden Kühlflächen 29 sind durch eine Leitung 65 miteinander verbunden sein, sodass lediglich zwei Durchführungen durch die Kammer 13 zum Anschluss an ein externes Kühlgerät nötig sind.
Fig. 3 zeigt ein anderes zweckmässiges Ausführungsbeispiel, bei welchem die innere Kammer 15 zylinderförmig ist.
Die Arbeitsweise der Vorrichtung soll nachfolgend beispielhaft dargestellt werden: Die zu trocknenden Teile werden zunächst in die innere Kammer 15 eingebracht. Im Falle eines Pulvers oder Granulats wird dieses z.B. in eine mikrowellendurchlässige Kunststoffschale gegeben und diese sodann in die Kammer 15 gestellt. Nach dem Verschliessen der Türen der beiden Kammern 13, 15 wird das Unterdrucksystem 17 eingeschaltet und die Kühl- respektive Heizkreisläufe in Gang gesetzt. Das Belüftungsventil 47 wird geschlossen und die Luft wird zunächst bei geschlossenem Ventil 43 und offenem Ventil 45, d.h. bei reduziertem Saugvermögen, angesaugt, falls die Gefahr einer Verwirbelung der zu
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trocknenden Produkte besteht. Das kleine Ventil 45 wirkt dabei als Drossel.
Sobald der Druck im Inneren der Kammer 13 einen bestimmten Wert unterschritten hat, wird das Ventil 45 geschlossen und das Ventil 43 geöffnet. Dadurch wird die Saugleistung erhöht und der Druck sinkt weiter ab. Gleichzeitig kann der Mikrowellengenerator 56 eingeschaltet werden. Bei Erreichen eines bestimmten Druckes wird das Ventil 43 wiederum geschlossen und das Ventil 43 geöffnet, um den erreichten Drucksollwert zu halten. Die flüchtigen Bestandteile kondensieren, je nach Betriebsweise entweder auf den Kühlflächen 29 oder den Wänden 19, und das Kondensat wird im trichterförmigen Boden 31 der äusseren Kammer 13 gesammelt.
Der Trocknungsvorgang kann z.B. beendet werden, wenn eine zuvor eingegebene Zeit abgelaufen ist, wenn ein bestimmter Enddruck odel eine bestimmte Temperatur erreicht ist. Es ist jedoch auch möglich, den Trocknungsprozess zu stoppen, wenn bei gegebener Mikrowellenfeldstärke der Temperaturanstieg pro Zeiteinheit einen bestimmten Wert übersteigt. Dies ist dann der Fall, wenn die mikrowellenabsorbierenden, flüchtigen Bestandteile verdampft sind. Es ist aber auch möglich, die gemessenen Prozessparamter wie Druck, Temperatur, Mikrowellenfeldstärke und Zeit in anderer Weise zu kombinieren, um den optimalen Endpunkt des Trocknungsprozesses zu bestimmen.
Nach der Beendigung des Trocknungsprozesses werden die Ventile 43 und 45 geschlossen und das Belüftungsventil 47 geöffnet, wobei zunächst nur wenig Luft eingelassen wird. Durch entsprechende Regelung des Ventils 47 oder durch den Einsatz von mehreren Belüftungsventilen mit unterschiedlichen Leitwerten kann der Druck in der Kammer 13 rampenförmig bis zum Umgebungsdruck erhöht werden. Dies ist besonders wichtig z.B. bei gewissen gepressten oder spröden Produkten, die bei einem raschen Druckänderungen zu bersten drohen. Sobald der Druck in der Kammer 13 ausgeglichen ist, kann das im trichterförmigen Boden gesammelte Kondensat über das Ventil 33 in den Kondensatbehälter 35 abgelassen werden.

Claims (19)

Patentansprüche
1. Vorrichtung zum Trocknen von Produkten einer beliebigen Geometrie insbesondere von elektrisch nichtleitenden Produkten, in einer gasdicht verschliessbaren Kammer (13) und einer in dieser angeordneten, inneren Kammer (15), welche der Aufnahme der zu trocknenden Produkte dient, wobei mittels eines Unterdrucksystems (17) und der von einem Mikrowellengenerator (56) ausgesandten Mikrowellenstrahlung die den Produkten anhaftenden, flüchtigen Bestandteile verdampft werden, sodass diese an einer Kühlfläche kondensiert werden können, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Kammer (15) aus einem leitenden, mikrowel-len-undurchlässigen Material besteht, sodass die Kammer (15) als Faraday'scher Käfig wirkt, und dass die innere Kammer (15) durch eine Vielzahl von Öffnungen mit der äusseren Kammer (13) in
Verbindung steht, sodass die zu verdampfenden Bestandteile aus der inneren Kammer entweichen können.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Verteilungsmechanismus (57) für die Mikrowellenstrahlung vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich der äusseren Kammer Kühlflächen zur Kondensation der verdampften Bestandteile vorgesehen sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass an den Innenwänden der äusseren Kammer (13) Rohrleitungen (21) zur Zirkulation eines Wärmeübertragungsmittels angeordnet sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in der Kammer (13) wenigsten eine von einem Kühlmittel durchflossene Kühlfläche (29) vorgesehen ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
5, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Kammer (15) aus einem gelochten Metallblech besteht.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
6, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Kammer (15) elektrisch heizbar ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
7, dadurch gekennzeichnet, dass der Verteilungsmechanismus (57) aussen an der äusseren Kammer (13) angeordnet ist und die Mikrowellenstrahlung durch eine mikrowellendurchlässige Wand der äusseren Kammer (13) in die innere Kammer (15) dringen kann.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
8, dadurch gekennzeichnet, dass der Verteilungsmechanismus (57) des Mikrowellengenerators (56) an der inneren Kammer (15) angeordnet ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
9, dadurch gekennzeichnet, dass die innere Kammer drehbar ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
10, dadurch gekennzeichnet, dass das Unterdrucksystem (17) eine Unterdruckquelle (39), eine Saugleitung (38) und Mittel zum Regeln der Saugleistung der Unterdruckquelle (39) enthält.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der Saugleitung (38) zwei parallel geschaltete Ventile (43, 45) mit unterschiedlichen Leitwerten vorgesehen sind.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der Saugleitung (38) ein Regelventil vorgesehen ist.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
13, dadurch gekennzeichnet, dass ein regelbares Belüftungsventil (47) oder mehrere zueinander parallel angeordnete Belüftungsventile mit unterschiedlichen Leitwerten vorgesehen sind, um den Druckanstieg in der Kammer (13) in einer zeitabhängigen Rampenfunktion zu ermöglichen.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis
14, dadurch gekennzeichnet, dass in den Kammern (13, 15) und/oder im Unterdrucksystem (17) Sensoren (49, 61, 63) zur Messung der Prozessparamter vorgesehen sind.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass Sensoren zur Messung des To-
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taldrucks (49), der Temperatur (63) und der Mikrowellenfeldstärke (61) vorgesehen sind.
17. Verfahren zum Betrieb einer Vorrichtung gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikrowellen ausschliesslich in die innere Kammer (15) eingestrahlt werden, wo diese quasi in einem Faraday'schen Käfig gefangen bleiben, und dass die verdampften Bestandteile durch Öffnungen der inneren Kammer (15) in die äussere Kammer entweichen.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die verdampften Bestandteile in der äusseren Kammer kondensiert werden.
19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass zu Beginn des Trocknungsprozesses, bei Gefahr der Verwirbelung der noch feuchten Produkte, der Druck in der äusseren Kammer durch Drosselung des Saugvermögens langsam abgesenkt wird, dass anschliessend das Saugvermögen der Unterdruckquelle (39) in Stufen oder kontinuierlich erhöht wird, bis ein bestimmter Druck in der äusseren Kammer (13) erreicht wird, dass während eines bestimmten Zeitintervalls ein bestimmter Druckverlauf durch Drosselung des Saugvermögens erzeugt wird und dass nach Ab-schluss des Trocknungsprozesses der Druck langsam, z.B. rampenförmig, durch Einlassen von getrockneter Luft oder Gas auf Umgebungsdruck erhöht wird.
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