CH669663A5 - - Google Patents

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CH669663A5
CH669663A5 CH536385A CH536385A CH669663A5 CH 669663 A5 CH669663 A5 CH 669663A5 CH 536385 A CH536385 A CH 536385A CH 536385 A CH536385 A CH 536385A CH 669663 A5 CH669663 A5 CH 669663A5
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CH
Switzerland
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light beam
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reflected
light beams
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CH536385A
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Inventor
Wilfried Schoeps
Original Assignee
Schweiz Eidgenossenschaft Sin
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002095379A3 (de) * 2001-05-18 2003-10-16 Willing Gmbh Dr Ing Leuchte zur abmusterung von flächen

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2626383B1 (fr) * 1988-01-27 1991-10-25 Commissariat Energie Atomique Procede de microscopie optique confocale a balayage et en profondeur de champ etendue et dispositifs pour la mise en oeuvre du procede
JP2741416B2 (ja) * 1988-10-31 1998-04-15 シュヴァイツァリッシェ アイトゲノッセンシャフト ピー エス アイ パウル シェラー インスティチュート 試験体の多点を同時に無接触試験する装置およびその使用
JPH03503472A (ja) * 1989-01-19 1991-08-01 テスラー，ウラジミール　エフィモビチ テレビジョン方式

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1534762A (fr) * 1967-05-18 1968-08-02 Cilas Procédé et dispositif de palpage optique
US3736065A (en) * 1972-05-09 1973-05-29 Philco Ford Corp Radiation sensitive means for detecting optical flaws in glass
CA1089551A (en) * 1978-06-27 1980-11-11 John M. Lucas Graininess sensor
DE3037622C2 (de) * 1980-10-04 1987-02-26 Theodor Prof. Dr.-Ing. 1000 Berlin Gast Einrichtung zur Bestimmung der Oberflächengüte
DE3428435A1 (de) * 1984-08-01 1986-02-06 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Rauheitssonde

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002095379A3 (de) * 2001-05-18 2003-10-16 Willing Gmbh Dr Ing Leuchte zur abmusterung von flächen

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EP0250490A1 (de) 1988-01-07
WO1987003957A1 (en) 1987-07-02
AU6726987A (en) 1987-07-15

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