CH639778A5 - Verfahren und einrichtung zur gewinnung von gegeneinander phasenverschobenen steuersignalen fuer einen vor-rueckwaertszaehler. - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Gewinnung von gegeneinander phasenverschobenen, ein elektrisches Drehfeld

2

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

3

639 778

bildenden Steuersignalen für einen Vor-/Rückwärtszähler unter Verwendung einer Messeinrichtung mit wenigstens einer ein Objekt abbildenden Optik, mit mindestens einer Rasterstruktur, mit einem Antrieb zur Erzeugung einer periodischen Relativbewegung zwischen dem von der abbildenden Optik 5 erzeugten Bild und der Rasterstruktur, sowie mit einem der Rasterstruktur zugeordneten fotoelektrischen Empfängersystem zur Erfassung der Bewegung des abgebildeten Objektes in einer von zwei zueinander entgegengesetzten, zur genannten Relativbewegung wenigstens angenähert parallelen Richtun- io gen.

Optische Korrelatoren zur Messung der Relativbewegung eines Objektes ohne spezielle Markierungen sind beispielsweise durch die DT-OS 2144487 bekannt. Aus dieser Schrift ist es aber auch bekannt, die Rasterstruktur des Korrelators 15 quer zur optischen Achse des abbildenden Systems des Korrelators zu bewegen, aus dieser Bewegung ein Referenzsignal abzuleiten und mit seiner Hilfe unter Anwendung einer phasenempfindlichen Gleichrichtung die Bewegungsrichtung des Objektes zu bestimmen. Es fallen Signale an, die durch ihre 20 Frequenz die Richtung der Relativbewegung des Objektes signalisieren. Sie sind lediglich zur Steuerung eines Indikators geeignet. Oder man kann mit ihnen zwei getrennte, je einer Bewegungsrichtung zugeordnete Zähler steuern. Dann muss jedoch durch eine Differenzbildung der jeweiligen Zähler- 25 stände die augenblickliche Relativlage des Objektes bestimmt werden.

Dieses Verfahren ist umständlich und sehr aufwendig. Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde, ein neues Verfahren sowie Einrichtungen zu seiner Durchführung zu schaffen, 30 welches es ermöglicht, insbesondere mit einem optischen Kor-relator einen Vor-/Rückwärtszähler anzusteuern. Dabei soll der zwischen Korrelator und Zähler zu treibende gerätemäs-sige Aufwand möglicht gering und die dazu verwendeten Baugruppen sollen möglichst einfach sein. 35

Die Lösung dieser Aufgabe bringt ein Verfahren der eingangs genannten Art, wie es im Anspruch 1 festgelegt ist.

Dabei kann mit Vorteil als ungeradzahlige Oberwelle die erste Oberwelle gewählt sein.

Bei Nutzung der Grundwelle und der ersten Oberwelle ist 40 mit Vorteil die Weite der periodischen Bewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur gleich der halben Teilungsperiode der Rasterstruktur bemessen.

Die bewegten Teile des Antriebs zusammen mit den von letzterem bewegten Teilen bilden vorteilhaft eine in Eigenreso- 45 nanz schwingende Einheit.

Wie sich gezeigt hat, bringt das Verfahren eine im Aufwand einfache Lösung der gestellten Aufgabe. Es hat sich aber auch gezeigt, dass dieses Verfahren auch bei sehr langsamen Relativbewegungen eines Objektes ohne spezielle Markierun- 50 gen sicher funktioniert.

Die Erfindung ist nachfolgend anhand der schematischen Zeichnungen in beispielhafter Weise für einige Ausführungsformen beschrieben. Es zeigen:

Figur 1 das Blockschaltbild einer Einrichtung zur Durch- 55 führung des Verfahrens nach Anspruch 2,

Figur 2 die unterschiedlichen anfallenden Signale zum Blockschaltbild nach Figur 1,

Figur 3 ein Ausführungsbeispiel für einen fotoelektrischen Schrittgeber. 60

Figur 1 zeigt das Blockschaltbild einer Einrichtung, welche zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist, wenn die Grundwelle und die erste Oberwelle der Ausgangssignale des fotoelektrischen Empfängersystems eines optischen Korrelators zur Bildung der Steuersignale für den Vor-/Rückwärts- 65 Zähler herangezogen werden.

Über diesem Blockschaltbild ist ein beispielsweiser Aufbau eines optischen Korrelators dargestellt. Ein zwar optische

Strukturen, aber keine speziellen Markierungen aufweisendes Objekt 1, dessen Relativbewegung in Richtung des Doppelpfeiles 2 gemessen werden soll, wird mittels einer Optik auf eine Rasterstruktur 5 abgebildet, die sich mindestens in der Nähe der Bildebene der Optik 4 befindet und deren Teilungsintervalle an die Strukturen des Objektes angepasst sind, so dass die Rasterstruktur als Ortsfrequenzfilter wirkt. Der Rasterstruktur 5 ist ein fotoelektrisches Empfängersystem 10 nachgeordnet, welches im einfachsten Fall aus einem einzigen fotoelektrischen Empfänger bestehen kann. Arbeitet der Korrelator mit Gegentaktsignalbildung, so beinhaltet das fotoelektrische Empfängersystem mindestens zwei fotoelektrische, im Gegentakt zueinander befindliche elektrische Signale erzeugende Empfänger. Diese elektrischen Signale werden zwecks Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnisses einem Gegen-taktverstärker zugeführt, dessen Ausgangssignal dann das gewünschte Messsignal ist. In diesem Fall umfasst das fotoelektrische Empfängersystem also zwei fotoelektrische Empfänger sowie den mit ihnen gespeisten Gegentaktverstärker. Es bleibt zu erwähnen, dass zur entsprechenden Ansteuerung der elektrische Gegentaktsignale liefernden Empfänger im optischen Teil des Korrelators die dazu notwendigen Voraussetzungen geschaffen werden müssen. Eine Möglichkeit dazu ist in der eingangs genannten Schrift beschrieben.

An das fotoelektrische Empfängersystem des soweit beschriebenen optischen Korrelators schliess sich eine Schaltung gemäss dem Blockschaltbild an. Wie dargestellt, werden die Ausgangssignale des Empfängersystems 10 zwei phasenempfindlichen Gleichrichtern 20,21 zugeführt. Vom Antrieb 15 abgeleitete Referenzsignale werden in einer Signalverformerstufe 16 vorzugsweise in eine Rechteckspannung umgeformt. Letztere wird einmal dem phasenempfindlichen Gleichrichter 20 direkt, dem phasenempfindlichen Gleichrichter 21 dagegen nach Durchlaufen eines Frequenzvervielfachers 17 als Steuerspannung zugeführt. Den phasenempfindlichen Gleichrichtern 20, 21 ist je ein auf die Frequenz des Messsignals abgestimmtes Tiefpassfilter 22 bzw. 23 nachgeschaltet, deren Ausgänge mit den Eingängen eines zu steuernden Vor-/Rückwärtszählers 24 elektrisch verbunden sind. Wie ersichtlich, ist in dem Leitungspfad zwischen Signalverformerstufe 16 und phasenempfindlichen Gleichrichter 21 ein Phasenschieber 19 eingefügt. Er dient zur Optimierung der Phasenbeziehung zwischen dem Referenzsignal und dem ihm entsprechenden Messsignalanteil. Näheres dazu ergibt sich aus den nachfolgenden Erläuterungen zur Wirkungsweise der soweit beschriebenen Einrichtung.

Diese Wirkungsweise wird anhand der Figur 2 beschrieben. Der Einfachheit halber sei dazu angenommen, dass die Schwingungsamplitude der Rasterstruktur gleich der Hälfte des Teilungsintervalls dieser Struktur bemessen ist und ein einzelner Objektpunkt betrachtet wird. Ausserdem sei ein optischer Korrelator verwendet, dessen Empfänger im Gegentakt befindliche elektrische Signale an einen Gegentaktverstärker liefern und mit diesem zusammen das fotoelektrische Empfängersystem bilden.

Befindet sich dieser Objektpunkt mittig zur Schwingungsamplitude der Rasterstruktur, so gibt das fotoelektrische Empfängersystem praktisch eine Spannung ab, wie sie in Zeile a) gestrichelt dargestellt ist. Sie hat die doppelte Schwingfrequenz.

Befindet sich dagegen der Objektpunkt an einem Umkehrpunkt der Schwingbewegung, so ergibt sich ein elektrisches Ausgangssignal, wie es in Zeile a) durchgezeichnet dargestellt ist. Seine Frequenz stimmt mit der Schwingfrequenz überein.

Wie oben dargelegt, werden von der Schwingbewegung selbst Referenzsignale abgeleitet, die nach Umformung in Rechteckspannungen zur Steuerung der phasenempfindlichen

639 778

4

Gleichrichter 20,21 dienen sollen. Dazu aber ist es notwendig, das eine Referenzsignal in seiner Phasenlage an die Phasenlage des höherfrequenten Messsignalanteils anzugleichen. Der Phasenschieber 19 schiebt beim vorliegenden Beispiel die Phase um 45° (Zeile e). Diese Bemessung ergibt sich aus der Tatsache, dass Extremwerte der beiden in Zeile a) gezeigten Signale zeitlich zusammenfallen. Das Steuersignal zum in Zeile a) ausgezogen dargestellten Signal ist in Zeile b) gezeigt. In Zeile c) ist das Ausgangssignal des phasenempfindlichen Gleichrichters 20 dargestellt, während Zeile f) das Ausgangssignal des phasenempfindlichen Gleichrichters 21 zeigt, wenn das Ausgangssignal des fotoelektrischen Empfängersystems ausschliesslich den Signalanteil enthält, wie er in Zeile a) ausgezogen dargestellt ist. Im Gegensatz dazu zeigen die Zeilen d) und g) den Fall, dass am fotoelektrischen Empfängersystem ausschliesslich Signalanteile anfallen, wie sie in Zeile a) gestrichelt dargestellt sind. Wie ersichtlich, haben die in den Zeilen d) und 0 dargestellten Signale jeweils den Mittelwert Null. Das heisst aber, dass für den in Zeile a) ausgezogen dargestellten Anteil des Messsignals am Filter 23, für den andern, in gleicher Zeile gestrichelt dargestellten Messsignalanteil am Filter 22 keine Ausgangssignale anfallen, so dass diesbezüglich eine Filterung der Signale vor den phasenempfindlichen Gleichrichtern überflüssig ist, was sicherlich ein weiterer Vorteil des neuen Verfahrens ist.

Aus dem oben Gesagten ergibt sich, dass durch die Ausgangssignale die augenblickliche Relativlage des Objektpunktes exakt definiert ist. Wenngleich die obigen Ausführungen auf Extremlagen dieses Objektpunktes gerichtet sind, so gelten diese Überlegungen auch für andere Ortslagen des Objektpunktes, welche dieser beispielsweise bei einer Relativbewegung des Objektes durchläuft.

Die an den Filtern 22,23 anstehenden Ausgangssignale sind stets gegeneinander um 90° phasenverschoben und daher zur Steuerung des Vor-/Rückwärtszählers 24 geeignet. Sie eignen sich darüber hinaus zur Speisung eines Interpolators, wie er beispielsweise Gegenstand des DBP 1498137 ist, und erlauben damit zusätzlich eine Verfeinerung des Messergebnisses.

Wird entgegen der obigen Annahme die Schwingamplitude der Rasterstruktur grösser als die Hälfte des Teilungsintervalls dieser Struktur gewählt, so treten weitere, höherfrequente Messsignalanteile auf, die ebenfalls bei entsprechender Auswahl zur Durchführung des neuen Verfahrens verwendet werden können.

Selbstverständlich sind Modifikationen des Dargestellten und bisher Beschriebenen möglich. Dies gilt einmal bezüglich der Ausgestaltung des optischen Korrelators, der anstelle des der Funktionsdarstellung zugrunde gelegten fotoelektrischen Empfängersystems auch ein solches mit nur einem fotoelektrischen Empfänger enthalten kann, wenn das Objekt entsprechend stark differenzierte Strukturen aufweist. In diesem Fall sind auch die mit der Lichtaufspaltung in Zusammenhang stehenden Teile des optischen Korrelators entbehrlich. Andererseits kann natürlich der Phasenschieber 19 im Leitungszug dem Frequenzvervielfacher 17 nachgeschaltet sein.

Auch ist es möglich, die Relativbewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur 5 mittels eines oszillierend bewegten optischen Bauteils zu erzeugen. Als Beispiel hierzu kann beim Ausführungsbeispiel der Figur 1 eine im Strahlengang gestrichelt dargestellte planparallele Platte 27 vorgesehen sein, welche durch den Antrieb 15 in Schwingbewegungen um die Achse 28 versetzt wird. Die Rasterstruktur 5 ist dann ortsfest gelagert.

Ferner ist in Figur 1 als Alternative für die Gewinnung des Referenzsignals gestrichelt ein fotoelektrischer Empfänger 29 als Abnehmer dargestellt, welcher die Bewegungen der Rasterstruktur 5 bzw. deren Träger 5' abtastet.

Im Funktionsbeispiel sind die Grundwelle und die erste

Oberwelle der Schwingbewegung der Rasterstruktur zur Signalbildung herangezogen, weil sich damit zusammen mit der Schwingweitenbegrenzung besonders günstige Verhältnisse ergeben. Verzichtet man auf diese Schwingweitenbegrenzung, so können grundsätzlich auch andere Oberwellen der Schwingbewegung zur Signalbildung herangezogen werden. In diesem Fall ist auch im Leitungszug zwischen der Signalverformerstufe 16 und dem phasenempfindlichen Gleichrichter ein Frequenzvervielfacher 18 (gestrichelt gezeichnet) erforderlich. Die Ableitung der Referenzsignal von der Bewegung der Rasterstruktur ist auf unterschiedliche Weise möglich. Beispielsweise können sie durch fotoelektrische Abtastung der Rasterstruktur 5 oder ihres Trägers 5' durch synchrones Betreiben eines Referenzsignalgenerators oder durch Ableitung aus der den Antrieb speisenden Spannung gewonnen werden. Die Gewinnung des Referenzsignals für sich ist nicht neu und insofern nicht Gegenstand vorliegender Erfindung.

Bisher wurde die Erfindung in Anwendung bei einem optischen Korrelator beschrieben. Sie lässt sich aber mit gleichem Vorteil auch bei anderen Messgeräten zur Längen- und Winkelmessung anwenden, die unter dem Namen Schrittgeber an sich bekannt sind.

Oft sind derartige Schrittgeber so aufgebaut, dass auf optischem Weg über getrennte Kanäle zwei Signale erzeugt werden, die gegeneinander vorzugsweise um 90° verschoben sind und so ein Drehfeld bilden, das zur Ansteuerung eines Vor-/Rückwärtszählers verwendet werden kann. Beispiele für solche Geber sind in den britischen Patentschriften 760.321 und 877.925 beschrieben. Die in der erstgenannten Schrift beschriebenen Anordnungen haben den Nachteil, dass drei Gitter gleicher Art mit exakt gleicher Teilung verwendet werden, von denen zwei in einer bestimmten Relativlage zueinander fixiert werden müssen. Die Genauigkeit des Messergebnisses hängt direkt von der Exaktheit der Gitter und ihrer Fixierung ab.

In der zweitgenannten Schrift ist eine Anordnung beschrieben, die ein Wollastone-Prisma zur Aufspaltung des Strahlenganges und zur unterschiedlichen Polarisation der Lichtflüsse in den Teilstrahlengängen umfasst. Nachteilig bei diesen Geräten ist der Umstand, dass der Gleichanteil der fotoelektrisch gewonnenen Signale mit verarbeitet werden muss, woraus sich bei Schwankungen desselben Fehler ergeben, die direkt ins Messergebnis eingehen.

Solches wird gemäss der vorliegenden Erfindung vermieden. Figur 3 zeigt schematisch eine mögliche Ausführungsform für einen Schrittgeber zur Durchführung des erfindungs-gemässen Verfahrens.

Ein Bereich A einer Rasterstruktur 30 wird über eine Optik 31, ein Pentaprisma 32, einen ebenen Spiegel 33 sowie eine weitere Optik 34 auf einen Bereich B der gleichen Struktur 30 abgebildet. Der Spiegel 33 ist um eine Achse 35 schwenkbar gelagert. Ein Antrieb 15' erzeugt eine oszillatorische Bewegung desselben. Dem Bereich B ist ein fotoelektrischer Empfänger 10' zugeordnet. Antrieb 15' und Empfänger 10' sind an die Auswerteschaltung angeschlossen, wie dies am Beispiel der Figur 1 für die Baugruppen 15 und 10 dargestellt ist. Die Wirkungsweise der Auswerteschaltung ist oben beschrieben.

Der besondere Vorteil des Gezeigten liegt darin, dass man - wegen der trägerfrequenten Signalgewinnung - nur einen Empfangskanal benötigt, der aber die beiden um 90° phasenverschobenen Signale liefert. Ausserdem ist man nicht mehr von der mittleren Durchlässigkeit der Rasterstruktur, d.h. dem Strich-/Lücken-Verhältnis der letzteren und seinen Schwankungen abhängig, weil der Signalgleichspannungsanteil eliminiert wird. Man erhält vielmehr ein elektrisches Drehfeld mit idealer Lage der Achsen. Durchlässigkeitsschwankungen der Rasterstruktur bedingen lediglich eine Variation des Durchmessers des Drehfeldes, seine Mittelpunktslage bleibt stabil.

5

10

15

20

25

30

35

40

45

50

55

60

65

G

2 Blatt Zeichnungen

Claims (12)

639 778 PATENTANSPRÜCHE

1. Verfahren zur Gewinnung von gegeneinander phasenverschobenen, ein elektrisches Drehfeld bildenden Steuersignalen für einen Vor-/Rückwärtszähler unter Verwendung einer Messeinrichtung mit wenigstens einer ein Objekt abbildenden Optik, mit mindestens einer Rasterstruktur, mit einem Antrieb zur Erzeugung einer periodischen Relativbewegung zwischen dem von der abbildenden Optik erzeugten Bild und der Rasterstruktur, sowie mit einem der Rasterstruktur zugeordneten fotoelektrischen Empfängersystem zur Erfassung der Bewegung des abgebildeten Objektes in einer von zwei zueinander entgegengesetzten, zur genannten Relativbewegung wenigstens angenähert parallelen Richtungen,

dadurch gekennzeichnet, dass eine ungeradzahlige Oberwelle und entweder die Grundwelle oder eine geradzahlige Oberwelle der Ausgangssignale des fotoelektrischen Empfängersystems phasenempfindlich gleichgerichtet werden, wobei die phansenempfindlichen Gleichrichter mittels Referenzsignalen gesteuert werden, welche aus der periodischen Bewegung der Rasterstruktur abgeleitet werden und je in ihrer Frequenz der ungeradzahligen Oberwelle, der Grundwelle oder der geradzahligen Oberwelle entsprechen, dass mindestens ein einer Oberwelle entsprechendes Referenzsignal in seiner Phasenlage verschoben wird und dass die aus der phasenempfindlichen Gleichrichtung resultierenden Signale nach einer Filterung als gegeneinander phasenverschobene Steuersignale dem Vor-/Rückwärtszähler zugeführt werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als ungeradzahlige Oberwelle die erste Oberwelle gewählt ist.

3. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit wenigstens einer ein Objekt abbildenden Optik, mit mindestens einer Rasterstruktur, mit einem Antrieb zur Erzeugung einer periodischen Relativbewegung zwischen dem von der abbildenden Optik erzeugten Bild des Objektes ohne Markierungen und der Rasterstruktur, sowie mit einem der Rasterstruktur zugeordneten fotoelektrischen Empfängersystem zur Erfassung einer Bewegung des Objektes in einer von zwei zueinander entgegengesetzten, zur genannten Relativbewegung wenigstens angenähert parallelen Richtungen, dadurch gekennzeichnet, dass die abbildende Optik (4), die Rasterstruktur (5) und das nachgeordnete fotoelektrische Empfängersystem (10) Bestandteil eines eine beliebig langsame Bewegung eines keine spezielle Markierungen aufweisenden Objektes erfassenden optischen Korrelators sind, dass eine Signalverformerstufe (16) vorgesehen ist, der ein vom Antrieb des Trägers der Rasterstruktur (5) bzw. deren Träger (5') zugeordneten Abnehmer (29) als Signalquelle erzeugtes Referenzsignal zugeführt wird, dass dieser Stufe (16) ein erster Frequenzvervielfacher (17) nachgeschaltet ist, dass diesem Frequenzvervielfacher ein erster phasenempfindlicher Gleichrichter (21) mit nachfolgendem Tiefpassfilter (23) nachgeschaltet ist, dass der Signalverformerstufe (16) ein zweiter phasenempfindlicher Gleichrichter (20) mit nachfolgendem Tiefpassfilter (22) nachgeordnet ist, wobei die Referenzsignale den Steuereingängen der phasenempfindlichen Gleichrichter (20, 21) zugeführt werden, dass in mindestens einem der Leitungszüge zwischen der Signalverformerstufe (16) und den phasenempfindlichen Gleichrichtern (20, 21) ein Phasenschieber (19) vorhanden ist, dass die phasenempfindlichen Gleichrichter eingangsseitig ausserdem an das fotoelektrische Empfängersystem (10) des optischen Korrelators angeschlossen sind und dass die Ausgänge der Tiefpassfilter (22,23) mit den Eingängen des zu steuernden Vor-/Rückwärtszählers (24) verbunden sind.

4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Rasterstruktur (5) mit ihrem Träger (5') quer zur optischen Achse der Optik (4) bewegbar gelagert ist und dass der Antrieb (15) zur Erzeugung periodischer Bewegungen am Träger (5') angreift.

5. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass optische Mittel (27) zur Erzeugung der Relativbewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur (5) vorgesehen sind.

6. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Weite der periodischen Relativbewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur gleich der halben Teilungsperiode der Rasterstruktur bemessen ist.

7. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegten Teile des Antriebs zusammen mit den vom letzteren bewegten Teilen eine in Eigenresonanz schwingende Einheit bilden.

8. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Leitungszug zwischen Signalverformerstufe (16) und zweitem phasenempfindlichen Gleichrichter (20) ein Frequenzvervielfacher (18) vorgesehen ist.

9. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit wenigstens einer ein Objekt abbildenden Optik, mit mindestens einer Rasterstruktur, mit einem Antrieb zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur sowie mit einem der Rasterstruktur zugeordneten fotoelektrischen Empfängersystem zur Erfassung der Bewegung in einer von zwei zueinander entgegengesetzten, zur Relativbewegung wenigstens angenähert parallelen Richtungen, dadurch gekennzeichnet, dass vom Antrieb (15') betätigte Mittel (33) zur Erzeugung einer Relativbewegung zwischen dem von der Optik (31,34) erzeugten Bild und der Rasterstruktur (30) vorhanden sind, wobei Optik, Rasterstruktur und fotoelektrisches Empfängersystem Bestandteile eines fotoelektrischen Schrittgebers sind, dass eine Signalverformerstufe (16) vorgesehen ist, der ein von den Mitteln zur Relativbewegung zwischen Bild und Rasterstruktur oder von einem diesen Mitteln zugeordneten Abnehmer als Signalquelle erzeugtes Referenzsignal zugeführt wird, dass dieser Stufe (16) ein erster Frequenzvervielfacher (17) nachgeschaltet ist, dass diesem Frequenzvervielfacher ein erster phasenempfindlicher Gleichrichter (21) mit nachfolgendem Tiefpassfilter (23) nachgeschaltet ist, dass der Signalverformerstufe (16) ein zweiter phasenempfindlicher Gleichrichter (20) mit nachfolgendem Tiefpassfilter (22) nachgeordnet ist, wobei die Referenzsignale den Steuereingängen der phasenempfindlichen Gleichrichter (20,21) zugeführt werden, dass in mindestens einem der Leitungszüge zwischen der Signalverformerstufe (16) und den phasenempfindlichen Gleichrichtern (20,21) ein Phasenschieber (19) vorhanden ist, dass die phasenempfindlichen Gleichrichter eingangsseitig ausserdem an das fotoelektrische Empfängersystem (10') des optischen Schrittgebers angeschlossen sind und dass die Ausgänge der Tiefpassfilter (22,23) mit den Eingängen eines zu steuernden Vor-/Rückwärtszählers (24) verbunden sind.

10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Weite der periodischen Relativbewegung zwischen Objektbild und Rasterstruktur gleich der halben Teilungsperiode der Rasterstruktur bemessen ist.

11. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegten Teile des Antriebs zusammen mit den vom letzteren bewegten Teilen eine in Eigenresonanz schwingende Einheit bilden.

12. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Leitungszug zwischen Signalverformerstufe (16) und zweitem phasenempfindlichen Gleichrichter (20) ein Frequenzvervielfacher (18) vorgesehen ist.