CH621890A5 - - Google Patents

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CH621890A5
CH621890A5 CH1237176A CH1237176A CH621890A5 CH 621890 A5 CH621890 A5 CH 621890A5 CH 1237176 A CH1237176 A CH 1237176A CH 1237176 A CH1237176 A CH 1237176A CH 621890 A5 CH621890 A5 CH 621890A5
Authority
CH
Switzerland
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mask
layer
metal
gold
photoresist layer
Prior art date
Application number
CH1237176A
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German (de)
English (en)
Inventor
Robert L Seliger
Original Assignee
Hughes Aircraft Co
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Filing date
Publication date
Application filed by Hughes Aircraft Co filed Critical Hughes Aircraft Co
Publication of CH621890A5 publication Critical patent/CH621890A5/de

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
CH1237176A 1975-10-28 1976-09-30 CH621890A5 (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US62642575A 1975-10-28 1975-10-28

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CH621890A5 true CH621890A5 (nl) 1981-02-27

Family

ID=24510336

Family Applications (1)

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CH1237176A CH621890A5 (nl) 1975-10-28 1976-09-30

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US (1) US4101782A (nl)
JP (1) JPS5255382A (nl)
CH (1) CH621890A5 (nl)
DE (1) DE2643811C2 (nl)
FR (1) FR2330036A1 (nl)
GB (1) GB1554420A (nl)
NL (1) NL170189C (nl)

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FR2330036B1 (nl) 1980-05-09
NL170189C (nl) 1982-10-01
NL7611919A (nl) 1977-05-02
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GB1554420A (en) 1979-10-17
JPS5255382A (en) 1977-05-06
US4101782A (en) 1978-07-18
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