CH541230A - Verfahren zum Entfernen von Vorsprüngen an Epitaxie-Schichten - Google Patents

Verfahren zum Entfernen von Vorsprüngen an Epitaxie-Schichten

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CH541230A
CH541230A CH762572A CH762572A CH541230A CH 541230 A CH541230 A CH 541230A CH 762572 A CH762572 A CH 762572A CH 762572 A CH762572 A CH 762572A CH 541230 A CH541230 A CH 541230A
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CH
Switzerland
Prior art keywords
epitaxial layers
removing protrusions
protrusions
epitaxial
layers
Prior art date
Application number
CH762572A
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German (de)
English (en)
Inventor
Charles Erdman William
Miller Paul
Original Assignee
Western Electric Co
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Publication date
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    • H10P50/644—
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    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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CH762572A 1971-05-28 1972-05-24 Verfahren zum Entfernen von Vorsprüngen an Epitaxie-Schichten CH541230A (de)

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IT958953B (it) 1973-10-30
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