CH475366A - Verfahren zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung für metallurgische Verfahren - Google Patents

Verfahren zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung für metallurgische Verfahren

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CH475366A
CH475366A CH1493967A CH1493967A CH475366A CH 475366 A CH475366 A CH 475366A CH 1493967 A CH1493967 A CH 1493967A CH 1493967 A CH1493967 A CH 1493967A CH 475366 A CH475366 A CH 475366A
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CH
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electrical behavior
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current glow
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Application number
CH1493967A
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Anton Spescha Gelli
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Berghaus Elektrophysik Anst
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
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CH1493967A 1966-11-09 1967-10-25 Verfahren zur Überwachung des elektrischen Verhaltens einer stromstarken Glimmentladung für metallurgische Verfahren CH475366A (de)

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