CH423405A - Verfahren zum Aufdampfen eines scharf begrenzten Musters geringer Abmessungen auf eine als Träger dienende Unterlage durch Aufdampfen von Material im Vakuum - Google Patents

Verfahren zum Aufdampfen eines scharf begrenzten Musters geringer Abmessungen auf eine als Träger dienende Unterlage durch Aufdampfen von Material im Vakuum

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CH423405A
CH423405A CH1253862A CH1253862A CH423405A CH 423405 A CH423405 A CH 423405A CH 1253862 A CH1253862 A CH 1253862A CH 1253862 A CH1253862 A CH 1253862A CH 423405 A CH423405 A CH 423405A
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CH1253862A
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
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WO1989005361A1 (en) * 1987-12-04 1989-06-15 National Research Development Corporation Deposition of materials in a desired pattern on to substrates

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