CH418770A - Verfahren zum Aufbringen dünner Schichten durch thermisches Verdampfen - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen dünner Schichten durch thermisches Verdampfen

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CH418770A
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evaporation
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Herwig Dr Horn
Aldrian Adolf
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Herwig Dr Horn
Aldrian Adolf
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    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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