CH414303A - Verfahren und Vorrichtung zum Ueberziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Ueberziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten

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CH414303A
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CH436763A
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Anderson Martin
Leland Shrader Robert
Eugene Tyler Maurice
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Temescal Metallurgical Corp
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    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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CH436763A 1962-04-13 1963-04-05 Verfahren und Vorrichtung zum Ueberziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten CH414303A (de)

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