CH412124A - Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbündels von Ionen oder Elektronen mit wenigstens zwei gleichartigen Ionen- bzw. Elektronenquellen in Kaskadenschaltung und Verfahren zum Betrieb dieser Vorrichtung - Google Patents
Vorrichtung zur Erzeugung eines Strahlenbündels von Ionen oder Elektronen mit wenigstens zwei gleichartigen Ionen- bzw. Elektronenquellen in Kaskadenschaltung und Verfahren zum Betrieb dieser VorrichtungInfo
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