CH418481A - Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon - Google Patents

Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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CH418481A
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CH
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electron microscope
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pole shoe
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CH9864A
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Schmidt Horst
Schomburg Willi
Kempien Hans-Joachim
Karl-Heinz Dr Herrmann
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Siemens Ag
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components

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CH9864A 1963-02-15 1964-01-07 Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon CH418481A (de)

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DES83762A DE1192760B (de) 1963-02-15 1963-02-15 Anordnung in Korpuskularstrahlgeraeten, insbesondere Elektronenmikroskopen, zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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CH418481A true CH418481A (de) 1966-08-15

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CH9864A CH418481A (de) 1963-02-15 1964-01-07 Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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US3445652A (en) * 1965-09-28 1969-05-20 Nippon Electron Optics Lab Beam deflecting apparatus with deflection coils located within an electron microscope specimen chamber
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DE1614123B1 (de) * 1967-02-24 1970-07-02 Max Planck Gesellschaft Korpuskularstrahlgeraet,insbesondere Elektronenmikroskop

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GB1023104A (en) 1966-03-16
DE1192760B (de) 1965-05-13
US3316402A (en) 1967-04-25

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