CH418481A - Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon - Google Patents

Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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CH418481A
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CH
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arrangement
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electron microscope
beam device
pole shoe
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CH9864A
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Schmidt Horst
Schomburg Willi
Kempien Hans-Joachim
Karl-Heinz Dr Herrmann
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Siemens Ag
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/15—External mechanical adjustment of electron or ion optical components

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CH9864A 1963-02-15 1964-01-07 Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon CH418481A (de)

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DES83762A DE1192760B (de) 1963-02-15 1963-02-15 Anordnung in Korpuskularstrahlgeraeten, insbesondere Elektronenmikroskopen, zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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CH418481A true CH418481A (de) 1966-08-15

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CH9864A CH418481A (de) 1963-02-15 1964-01-07 Korpuskularstrahlgerät, insbesondere Elektronenmikroskop mit einer Anordnung zum Entfernen und Einsetzen von Polschuhsystemen oder Teilen davon

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DE1614122B1 (de) * 1967-02-24 1970-06-25 Max Planck Gesellschaft Magnetische,insbesondere elektromagnetische,Polschuhlinse fuer Korpuskularstrahlgeraete,insbesondere fuer Elektronenmikroskope und Verfahren zu ihrer Justierung

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