AT275617B - Verfahren und Anordnung zur Justierung des Elektronenstrahles in einem Elektronenmikroskop - Google Patents

Verfahren und Anordnung zur Justierung des Elektronenstrahles in einem Elektronenmikroskop

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AT275617B AT173768A AT173768A AT275617B AT 275617 B AT275617 B AT 275617B AT 173768 A AT173768 A AT 173768A AT 173768 A AT173768 A AT 173768A AT 275617 B AT275617 B AT 275617B
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
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