CH411803A - Verfahren zur Messung des Durchmessers der schmelzflüssigen Zone beim Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Messung des Durchmessers der schmelzflüssigen Zone beim Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes und Einrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DES79197A DE1231671B (de) | 1962-04-27 | 1962-04-27 | Vorrichtung zur Steuerung des Durchmessers der Erstarrungsfront der Schmelzzone beimZonenschmelzen eines Halbleiterstabes |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH411803A true CH411803A (de) | 1966-04-30 |
Family
ID=7508016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH154063A CH411803A (de) | 1962-04-27 | 1963-02-07 | Verfahren zur Messung des Durchmessers der schmelzflüssigen Zone beim Zonenschmelzen eines Halbleiterstabes und Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3243509A (de) |
BE (1) | BE631568A (de) |
CH (1) | CH411803A (de) |
DE (1) | DE1231671B (de) |
GB (1) | GB986943A (de) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3321575A (en) * | 1964-02-11 | 1967-05-23 | Jolew Corp | Television inspection apparatus adapted for measurement and comparison purposes |
DE2012438B2 (de) * | 1969-03-17 | 1976-09-30 | Daido Seiko KX., Nagoya, Aichi (Japan) | Verfahren zur steuerung des schmelzvorgangs in einem stahl herstellenden lichtbogenofens |
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DD110182A5 (de) * | 1972-09-28 | 1974-12-12 | ||
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US6871684B2 (en) | 2002-08-13 | 2005-03-29 | The Boeing Company | System for identifying defects in a composite structure |
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US7424902B2 (en) | 2004-11-24 | 2008-09-16 | The Boeing Company | In-process vision detection of flaw and FOD characteristics |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2674915A (en) * | 1950-01-07 | 1954-04-13 | Gen Electric | Noncontacting width gauge |
AT194444B (de) * | 1953-02-26 | 1958-01-10 | Siemens Ag | Verfahren und Einrichtung zur Behandlung einer längserstreckten Halbleiterkristallanordnung |
DE1092576B (de) * | 1957-11-15 | 1960-11-10 | Siemens Ag | Stromzufuehrung fuer die bewegliche Heizspule einer tiegelfreien Zonenziehvorrichtung im Innern eines Gefaesses |
DE1094238B (de) * | 1959-03-09 | 1960-12-08 | Licentia Gmbh | Verfahren zum Konstanthalten der Breite der Schmelzzone beim tiegelfreien Zonenschmelzen |
US3021386A (en) * | 1960-03-30 | 1962-02-13 | Gen Electric | Boiler port viewing system |
-
0
- BE BE631568D patent/BE631568A/xx unknown
-
1962
- 1962-04-27 DE DES79197A patent/DE1231671B/de not_active Withdrawn
-
1963
- 1963-02-07 CH CH154063A patent/CH411803A/de unknown
- 1963-04-26 US US277665A patent/US3243509A/en not_active Expired - Lifetime
- 1963-04-29 GB GB16847/63A patent/GB986943A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3243509A (en) | 1966-03-29 |
BE631568A (de) | |
GB986943A (en) | 1965-03-24 |
DE1231671B (de) | 1967-01-05 |
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