CH367269A - Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents

Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens

Info

Publication number
CH367269A
CH367269A CH7164159A CH7164159A CH367269A CH 367269 A CH367269 A CH 367269A CH 7164159 A CH7164159 A CH 7164159A CH 7164159 A CH7164159 A CH 7164159A CH 367269 A CH367269 A CH 367269A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
recipient
vacuum
space
moisture content
blown
Prior art date
Application number
CH7164159A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Thaddaeus Dr Kraus
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum filed Critical Balzers Hochvakuum
Priority to CH7164159A priority Critical patent/CH367269A/de
Priority to GB11186/60A priority patent/GB883376A/en
Priority to NL250178A priority patent/NL105775C/xx
Priority to US20790A priority patent/US3088219A/en
Publication of CH367269A publication Critical patent/CH367269A/de
Priority to CH261164A priority patent/CH430025A/de
Priority to NL6405217A priority patent/NL6405217A/xx

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps
    • F04F9/04—Diffusion pumps in combination with fore pumps, e.g. use of isolating valves

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)
CH7164159A 1959-04-07 1959-04-07 Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens CH367269A (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH7164159A CH367269A (de) 1959-04-07 1959-04-07 Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens
GB11186/60A GB883376A (en) 1959-04-07 1960-03-30 Improvements in and relating to high vacuum plants
NL250178A NL105775C (un) 1959-04-07 1960-04-05
US20790A US3088219A (en) 1959-04-07 1960-04-07 High-vacuum plants
CH261164A CH430025A (de) 1959-04-07 1964-03-02 Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen und Vakuumanlage zur Durchführung des Verfahrens
NL6405217A NL6405217A (un) 1959-04-07 1964-05-11

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH7164159A CH367269A (de) 1959-04-07 1959-04-07 Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH367269A true CH367269A (de) 1963-02-15

Family

ID=4531152

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH7164159A CH367269A (de) 1959-04-07 1959-04-07 Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3088219A (un)
CH (1) CH367269A (un)
GB (1) GB883376A (un)
NL (1) NL105775C (un)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3253351A (en) * 1963-02-05 1966-05-31 Bettanin Giuseppe Vacuum-drying apparatus
US3293773A (en) * 1964-08-24 1966-12-27 Vir Tis Company Inc Freeze drying apparatus
US3932944A (en) * 1974-09-12 1976-01-20 Mitsumasa Chiba Method and apparatus for preventing waterdrops inside a sealed instrument

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1580957A (en) * 1921-10-27 1926-04-13 Gen Motors Corp Coating and baking apparatus for automobile parts and the like
US1799248A (en) * 1924-11-10 1931-04-07 Willard Storage Battery Co Method of drying articles
US1866346A (en) * 1929-03-05 1932-07-05 Gen Electric Drying treatment
US2307802A (en) * 1941-06-24 1943-01-12 Reichel Lab High vacuum, low temperature drying apparatus
US2465963A (en) * 1945-06-02 1949-03-29 Borden Co Removing ultimate moisture from powdered products
US2858795A (en) * 1954-05-24 1958-11-04 British Insulated Callenders Apparatus for drying and impregnating small articles
US2890878A (en) * 1956-12-28 1959-06-16 Nat Res Corp Apparatus for annealing in a high vacuum

Also Published As

Publication number Publication date
GB883376A (en) 1961-11-29
US3088219A (en) 1963-05-07
NL105775C (un) 1963-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69508692T2 (de) Plasmaunterstützte Vakuumtrocknung
DE2454544A1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage
WO2009092518A1 (de) Vorrichtung zum trocknen von gegenständen, insbesondere von lackierten fahrzeugkarosserien
DE2155994A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Pumpen von Gas
EP2083235A1 (de) Vorrichtung zum Trocknen von Gegenständen, insbesondere von lackierten Fahrzeugkarosserien
DE102017107299B4 (de) Filmbildungsvorrichtung und Filmbildungsverfahren
DE20321795U1 (de) Vorrichtung zum Reinigen wenigsten einer Prozesskammer zum Beschichten wenigstens eines Substrats
CH367269A (de) Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens
DE3423597A1 (de) Anlage zur metallpulver-herstellung durch edelgas- oder stickstoffverduesung
DE102013109210A1 (de) Evakuierbare Kammer, insbesondere mit einem Spülgas spülbare Beladeschleuse
AT215713B (de) Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegenstände geöffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchführung dieses Verfahrens
DE19513909C1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Schädlingsbekämpfung
DE1293390B (de) Vorrichtung zur Abdichtung eines zum Verdichten eines aetzenden, schaedlichen und/oder wertvollen Gases dienenden Kreiselkompressors
DE1100864B (de) Verfahren zum Betrieb von Hochvakuum-anlagen, deren Rezipient zwecks Beschickung und Entnahme der im Vakuum zu behandelnden Gegen-staende geoeffnet werden kann, und Vakuumanlage zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
DE69624903T2 (de) Metalldampflaservorrichtung
DE19804202A1 (de) Vorrichtung für die Bestrahlung von Gegenständen unter Schutzgas
DE2519170C2 (de) Verfahren zur Erzeugung von Vakuum in einem Rezipienten und Vakuumpumpe zur Durchführung dieses Verfahrens
CH621366A5 (un)
DE3851030T2 (de) Herstellungsverfahren für Entladungslampen mit verdampftem Metall und Gerät dafür.
EP0087055A1 (de) Verfahren für die Lösungsmittelbehandlung von insbesondere metallischem Behandlungsgut
DE4419001A1 (de) Verfahren zum Entsorgen des Gases Ethylenoxid nach erfolgter Begasung von zu sterilisierendem Gut und Vorrichtung hierzu
DE2620303A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aushaerten von sandformen oder sandkernen
DE3844630C2 (un)
CH430025A (de) Verfahren zum Betrieb von Hochvakuumanlagen und Vakuumanlage zur Durchführung des Verfahrens
DE2305359A1 (de) Anordnung zur aufdampfung duenner schichten unter gleichzeitiger einwirkung eines ionisierten gases