Ventilvorrichtung für die Hochvakuumtechnik. In der 1-loehvaktiumteclinik, insbesondere zum Evakuieren von elektrischen Entladungs gefässen, benutzt man Vakuumpumpen, die entweder ein Vor- oder ein Hochvakuum erzeugen. Im allgemeinen sind je eine Vor- und eine Hochvakuumpumpe über einen Drei weghahn an den Pumpstand, auf dem sich das zu evakuierende Gefäss, beispielsweise eine Elektrodenröhre, befindet, angeschlossen. Mit Hilfe des Dreiweghahnes wird zuerst die Vor vakuumpumpe und dann die Hochvakuum pumpe eingeschaltet.
Die Verwendung eines Dreiweghahnes für den angegebenen Zweck bat verschiedene Nachteile. Aus vakuumtech nischen Gründen bestehen die hier verwende ten Dreiweghähne aus Glas, wodurch die Be messung derartiger Hähne nach oben begrenzt ist, das heisst es ist nicht möglich, solche Hähne über eine bestimmte Grösse hinaus zu bauen. Grosse Metallhähne haben sich eben falls nicht bewährt. Es sind auch Ventile bekannt geworden, die allerdings nur für kleine Durchflussquerschnitte zu verwenden sind und nur eine Durehlassriehtung haben; ein Ersatz der üblichen Dreiweghähne ist damit also nicht möglich.
Die Erfindung betrifft eine Ventilvorrich tung für die Hochvakuumtechnik, die zwei Ventilkörper aufweist, die durch eine gemein same Ventilspindel nacheinander so gesteuert werden, dass zuerst der eine Ventilkörper die Vorvakuumpumpe und sodann der andere Ventilkörper die Hochvakuumpumpe an das leer zu pumpende Gefäss anschliesst, wobei ein Ventilkörper immer nur betätigt werden 1:ann, wenn der andere geschlossen ist.
Eine solche Ventilvorrichtung hat den Vorteil, dass es in beliebiger Grösse aus geführt werden kann, so dass man immer mit der grösstmöglichen Förderleistung der Vakuumpumpen arbeiten kann, ohne dass die gegebenen Möglichkeiten durch kleine Durch- flussquersehnitte begrenzt sind. Sofern die Dichtung durch ölbeständige Gummiringe auf Metall erfolgt, wird erreicht, dass das Hoch vakuum nicht mit gefetteten Dichtungs- flächen, die stets gewisse Gasmengen abgeben, in Berührung kommt.
Auf diese Weise kann ferner erreicht werden, dass die Dichtungen durch möglicherweise von der Vorvakuum- pumpe einströmende Öldämpfe nicht ange griffen werden.
Die Zeichnung zeigt ein Ausführungsbei spiel der Ventilvorrichtung für die Hoch vakuumtechnik. Fig. 1 ist ein Längsschnitt der Ventilvorrichtung, während Fig. 2 die Ventilvorrichtung an einer Diffusionspumpe montiert zeigt.
Das Ventilgehäuse weist drei Räume auf: Raum 1 ist über den Rohrstutzen 2 an der nicht dargestellten Vorvakummpumpe ange schlossen, Raum 3 ist über Rohrstutzen 4, der eventuell mit einem Kegelschliff versehen sein kann, an dem auf Hochvakuum leer zu pumpenden Gefäss und Raum 5 über den Rohrstutzen 6, der innen mit einem Kegel schliff versehen ist, an der Hochvakuum pumpe angeschlossen: Zwischen den Räumen 1 und 3 befindet sich der Ventilkörper 7 und zwischen den Räumen 3 und 5 der Ventil körper 8; die Gummidichtungen 9 der beiden Ventilkörper liegen auf polierte Sitze 10 auf. Die Mutter 12 der Spindel 11 ist mit dem Ventilkörper 7 fest geschraubt.
An ihrem untern Ende weist die Spindel 11 ein Kugel gelenk 13 auf, das im Ventilkörper 8 beweg lich gelagert ist. Der polierte Schaft der Ventilspindel läuft in Dichtungsringen 14 und 15, zum Beispiel in unter der Marke Simmerring bekannten Ringen; dabei kann der Ring 15 mit Spezialöl überdeckt sein.
Im Ruhezustand presst die Feder 16 den Ventilkörper 7 und über die Mutter 12 die Spindel 11 und das Kugelgelenk 13 den Ventilkörper 8 auf ihre Sitze. Durch Drehung der Spindel 11 im Uhrzeigersinn hebt ihr Gewinde über die Mutter 12 den Ventilkörper 7 gegen den Druck der Feder 16, die gleich zeitig die Mutter 12 und somit auch den Ventilkörper 7 am Drehen hindert, an. Die Spindel bewegt sich hierbei nicht in Längs richtung; Ventilkörper 8 wird als 'Viderlager fest gegen seinen Sitz gepresst und schliesst den Raum 5 gegen den Raum 3 hermetisch ab. Der Ventilkörper 7 nimmt dann die in der Fig. 1 gestrichelt angegebene Stellung ein.
In diesem Zustand wird das leer zu pumpende Gefäss bis auf Vorvakuumdruck leergepumpt.
Dann wird durch Linksdrehung der Spin del 11 der Ventilkörper 7 wieder gegen seinen Sitz gedrückt, bis er den Raum 1 hermetisch gegen den Raum 3 abschliesst. Durch weiteres Linksdrehen beginnt die Spindel 11 in der nun feststehenden Mutter 12 in die Höhe zu laufen. Hierbei hebt sie den Ventilkörper 8 von seinem Sitz ab und gibt den Weg zum Saugstutzen der Hochvakuumpumpe frei. (Gestrichelte Stellung von Ventilkörper 8.) Zwischen Raum 1 und Raum 3 besteht nur eine geringe Druckdifferenz, so dass die Dichtung des Ventilkörpers 7 nur schwach beansprucht wird. Etwa durch den Dich tungsring 14 eindringende Aussenluft wird durch die Vorvakuumpumpe abgesaugt.
Fig. 2 zeigt die auf eine Diffusionspumpe 17 montierte Ventilvorrichtung 18. Die Schlauchleitung 19 führt. zur Vorvakuum- pumpe. Der Abscheider 20 verhindert das Eindringen von Quecksilberdämpfen aus der Diffusionspumpe in die Verteilgabel 21, auf die die zu evakuierenden. Gefässe aufgesetzt werden.
Valve device for high vacuum technology. In the 1-loehvaktiumteclinik, especially for evacuating electrical discharge vessels, vacuum pumps are used that generate either a pre-vacuum or a high vacuum. In general, one fore and one high vacuum pump are connected via a three-way valve to the pumping station on which the vessel to be evacuated, for example an electrode tube, is located. With the help of the three-way cock, the pre-vacuum pump and then the high vacuum pump are switched on first.
The use of a three-way stopcock for the stated purpose had several disadvantages. For vacuum-technical reasons, the three-way taps used here are made of glass, which means that the measurement of such taps is limited upwards, which means that it is not possible to build such taps beyond a certain size. Large metal taps have also not proven themselves. Valves have also become known which, however, can only be used for small flow cross-sections and only have one through-flow device; it is therefore not possible to replace the usual three-way taps.
The invention relates to a Ventilvorrich device for high vacuum technology, which has two valve bodies that are controlled by a common valve spindle in succession so that first the valve body connects the backing pump and then the other valve body connects the high vacuum pump to the vessel to be pumped empty, with a The valve body can only be operated 1: ann when the other is closed.
Such a valve device has the advantage that it can be made in any size, so that you can always work with the highest possible delivery rate of the vacuum pumps without the given possibilities being limited by small flow cross sections. If the seal is made by means of oil-resistant rubber rings on metal, it is achieved that the high vacuum does not come into contact with greased sealing surfaces, which always release certain amounts of gas.
In this way it can also be achieved that the seals are not attacked by oil vapors possibly flowing in from the fore-vacuum pump.
The drawing shows a Ausführungsbei game of the valve device for high vacuum technology. Fig. 1 is a longitudinal section of the valve device, while Fig. 2 shows the valve device mounted on a diffusion pump.
The valve housing has three rooms: Room 1 is connected to the backing pump, not shown, via the pipe socket 2, room 3 is via pipe socket 4, which may be provided with a conical ground joint, on the vessel to be pumped empty to a high vacuum and room 5 via the pipe socket 6, which is grounded inside with a cone, connected to the high vacuum pump: between the spaces 1 and 3 is the valve body 7 and between the spaces 3 and 5 of the valve body 8; the rubber seals 9 of the two valve bodies rest on polished seats 10. The nut 12 of the spindle 11 is firmly screwed to the valve body 7.
At its lower end, the spindle 11 has a ball joint 13 which is mounted in the valve body 8 movable Lich. The polished shaft of the valve spindle runs in sealing rings 14 and 15, for example in rings known under the brand Simmerring; the ring 15 can be covered with special oil.
In the rest state, the spring 16 presses the valve body 7 and, via the nut 12, the spindle 11 and the ball joint 13 press the valve body 8 onto their seats. By turning the spindle 11 clockwise, its thread lifts the valve body 7 via the nut 12 against the pressure of the spring 16, which at the same time prevents the nut 12 and thus also the valve body 7 from rotating. The spindle does not move in the longitudinal direction; Valve body 8 is pressed firmly against its seat as a 'Viderlager' and hermetically closes space 5 from space 3. The valve body 7 then assumes the position indicated by dashed lines in FIG.
In this state, the container to be pumped empty is pumped empty down to the fore-vacuum pressure.
Then, by turning the spin del 11 to the left, the valve body 7 is pressed against its seat again until it hermetically seals the space 1 from the space 3. By turning it further to the left, the spindle 11 begins to run upwards in the now fixed nut 12. Here it lifts the valve body 8 from its seat and opens the way to the suction port of the high vacuum pump. (The dashed position of valve body 8.) There is only a slight pressure difference between space 1 and space 3, so that the seal of valve body 7 is only slightly stressed. Any outside air penetrating through the sealing ring 14 is sucked out by the backing pump.
2 shows the valve device 18 mounted on a diffusion pump 17. The hose line 19 leads. to the backing pump. The separator 20 prevents the penetration of mercury vapors from the diffusion pump into the distribution fork 21 on which the to be evacuated. Vessels are put on.