In der Hochvakuumtechnik, insbesondere zum Evakuieren von elektrischen
Entladungsgefäßen, benutzt man Vakuumpumpen, die entweder ein Vor- oder ein Hochvakuum
erzeugen. Im allgemeinen sind je eine Vor- und Hochvakuumpumpe über einen Dreiwegehahn
an den Pumpstand, auf dein sich das zu -evaluierende Gut; beispielsweise eine Elektronenröhre,
befindet, angeschlossen. Mit Hilfe des Dreiw.egehä!!hn,es wird zuerst die Vorvakuumpumpe
und dann die Hochvakuumpumpe a .ngeschaltet. Die Verwendung eines Dreiwegehahnes
für den angegebenen Zweck hat verschiedene Nachteile. Aus vakuumtechnischen Gründen
bestehen die hier verwendeten Dreiwegehähne aus Glas, wodurch die Bemessung derartiger
Hähne nach oben begrenzt ist, d. h. es ist nicht möglich, solche Hähne über eine
bestimmte Größe- hinaus zu bauen.. Große Metallhähne haben sich ebenfalls nicht
bewährt. Es sind auch Hochvakuumventile bekanntgeworden, die allerdings nur für
kleine Leitungsquerschnitte zu verwenden sind und nur .eine Durchlaßrichtung haben;
ein Ersatz der üblichen Dreiwege ähne ist damit also nicht möglich.In high vacuum technology, especially for evacuating electrical
Discharge vessels, one uses vacuum pumps, which either have a pre-vacuum or a high vacuum
produce. In general there is a backing pump and a high vacuum pump via a three-way valve
to the pumping station, to your goods to be evaluated; for example an electron tube,
is connected. With the help of the triangle, it becomes the backing pump first
and then the high vacuum pump switched on. The use of a three-way cock
for the stated purpose has several disadvantages. For reasons of vacuum technology
The three-way cocks used here are made of glass, which makes the dimensioning of such
Taps is limited at the top, d. H. it is not possible to have such taps over one
certain size to build out .. Large metal faucets also do not have
proven. There are also high vacuum valves known, but only for
small cable cross-sections are to be used and only have one conduction direction;
a replacement of the usual three-way ancestors is therefore not possible.
Die Erfindung betrifft ein Hochvakuumventil, das zwei Ventilglatten
besitzt, die durch eine gemeinsame Ventilspindel nacheinander so gesteuert werden,
daß die eine Ventilplatte zum Anschluß der Vorvakuumpumpe und die andere Ventilplatte
zum Anschluß der Hochvakuumpumpe dient, wobei jede der beiden Ventilplatten immer
nur betätigt werden kann, wenn die andere geschlossen ist.The invention relates to a high vacuum valve that has two valve slats
which are controlled one after the other by a common valve spindle in such a way that
that one valve plate for connecting the backing pump and the other valve plate
is used to connect the high vacuum pump, with each of the two valve plates always
can only be operated when the other is closed.
Ein solches Hochvakuumventil hat .den Vorteil, daß es in beliebiger
Größe ausgeführt werden kann; so daß man immer mit der größtmöglichen Sauggeschwindigkeit
der Vakuumpumpen arbeiten kann, ohne däß die gegebenen Möglichkeiten durch kleine
Leitungsquerschnitte begrenzt sind. Als weiterer Vorteil ist zu nennen, daß die
Dichtung durch ölbeständige Gummiringe auf Metall erfolgt. Hierdurch wird erreicht,
@daß das Hochvakuum nicht mit gefetteten Dichtungsflächen, die stets gewisse Gasmengen
abgeben, in Berührung kommt, andererseits werden die Dichtungen durch möglicherweise
von der Vorvaküumpumpe einströmende (Öldämpfe nicht angegriffen.Such a high vacuum valve has the advantage that it can be used in any
Size can be run; so that you always have the highest possible suction speed
the vacuum pumps can work without the given possibilities by small
Cable cross-sections are limited. Another advantage is that the
Seal is made by oil-resistant rubber rings on metal. This achieves
@ that the high vacuum does not have greased sealing surfaces that always contain certain amounts of gas
release, comes into contact, on the other hand the seals through possibly
Oil vapors flowing in from the backing pump (not attacked.
Die Abbildung zeigt ein Ausführungsbeispiel des neuen Hochvakuum -
Doppelventils in z. T. schematischer Ansicht im Schnitt.The illustration shows an embodiment of the new high vacuum
Double valve in z. T. schematic view in section.
Das Ventilgehäuse enthält drei Räume: Raum i ist über den Stutzen
2 mit der Vorpumpe verbunden, Raum 3 steht über Stutzen q., der auch als Schliff
ausgebildet sein kann; mit dem Rezipienten und Raum 5 über :den Schliff 6 mit der
Hochvakuumpumpe in Verbindung. Zwischen den Räumen i und 3 befindet sich die Ventilplatte
7 und zwischen den Räumen 3 und 5 die Ventilplatte 8; die Gummidichtungen 9 sitzen
auf polierten Sitzen i o. Die Spindel ii läuft mit ihrem Gewindeteil in dem Mutternschloß
I2 der Ventilplatte 7, unten endet sie mit einem Kugelgelenk 13
in Ventilplatte
B. Der polierte Schaft der Ventilspindel läuft in Dichtungsringen 14 und 15; dabei
kann der Ring 15 mit Spezialöl überschichtet sein.The valve housing contains three spaces: space i is connected to the backing pump via the connection 2, space 3 is above connection q., Which can also be designed as a ground joint; with the recipient and space 5 via: the joint 6 in connection with the high vacuum pump. The valve plate 7 is located between the spaces i and 3 and the valve plate 8 between the spaces 3 and 5; the rubber seals 9 sit on polished seats i o. The threaded part of the spindle ii runs in the nut lock I2 of the valve plate 7, at the bottom it ends with a ball joint 13 in valve plate B. The polished shaft of the valve spindle runs in sealing rings 14 and 15; the ring 15 can be covered with a special oil.
Im Ruhezustand preßt die Feder 16 die Ventilplatte 7 und über das
Schloß 12, die Spindel i i und das Kugelgelenk 13 die Ventilplatte B auf ihre Sitze.
Durch Rechtsdrehung der Spindel i i hebt ihr Gewinde über das Schloß 12, die Ventilplatte
7 gegen den Druck der Feder 16, die gleichzeitig die Ventilplatte 7 am Drehen hindert,
an. Die Spindel bewegt sich nicht in) ihrer Längsrichtung; Ventilplatte 8 wird als
Widerlager fest .gegen ihren Sitz gepreßt und verschließt den Raum 5 gegen Raum
3 (gestrichelte Stellung von Ventilplatte 7). In diesem Zustand wird der Rezipient
bis auf Vörvaküumdruck leergepumpt: Dann wird durch Linksdrehung der Spindel i i
die Ventilplatte 7 wieder gesenkt, bis das Ventil geschlossen ist. Durch weiteres
Linksdrehen beginnt die Spindel i i in dem nun feststehenden Schlöß i2 in die Höhe
zu laufen. Hierbei hebt sie die Ventilplatte 8 von ihrem Sitz- und gibt. den Weg
zum Saugstutzen der Hochvakuumpumpe frei (gestrichelte Stellung von Ventilplatte
8).In the rest state, the spring 16 presses the valve plate 7 and over the
Locked 12, the spindle i i and the ball joint 13, the valve plate B on their seats.
By turning the spindle i i clockwise, its thread is lifted over the lock 12, the valve plate
7 against the pressure of the spring 16, which at the same time prevents the valve plate 7 from rotating,
at. The spindle does not move in) its longitudinal direction; Valve plate 8 is called
Abutment firmly. Pressed against their seat and closes the room 5 against the room
3 (dashed position of valve plate 7). In this state becomes the recipient
pumped empty down to the pre-vacuum pressure: Then by turning the spindle i i
the valve plate 7 is lowered again until the valve is closed. By further
Turning to the left begins the spindle i i in the now fixed lock i2 upwards
to run. Here she lifts the valve plate 8 from her seat and gives. the way
to the suction port of the high vacuum pump free (dashed position of valve plate
8th).
Zwischen Räum i und Raum 3 besteht nur eine geringe Druckdifferenz,
so daß die Dichtung der Ventilplatte 7 nur schwach beansprucht- wird. Etwa durch
den Dichtungsring 14 eindringende Außenluft wird durch die Vorpumpe abgesaugt.There is only a small pressure difference between room i and room 3,
so that the seal of the valve plate 7 is only slightly stressed. About through
Outside air penetrating the sealing ring 14 is sucked off by the backing pump.