CH286901A - Vorrichtung zum Absaugen von Dämpfen im Hockvakuum. - Google Patents

Description

  <B>Vorrichtung zum</B>     Absaugen   <B>von Dämpfen im Hochvakuum.</B>    Die Schwierigkeit beim Absaugen von  Dämpfen im Gebiet. bis zu einem     Vakuum    von  etwa 10-1     Torr    ist bekannt, da beim Absau  gen dieser Dämpfe aus dem Vakuum mit ro  tierenden Ölluftpumpen beim Kompressions  vorgang in der Pumpe der Dampf     niederge-          sehlagen    wird und er damit. den     Pumpvorgang     beeinträchtigt. Diese     Sehwierigkeit    wird     dureh     die     Gasballastpumpen    gemäss     DRP    Nr. 702480  gelöst.

   Will man bei     niedrigeren    Drucken als  0,1     Torr    mit hohen     Sauggeschwindigkeiten     Dämpfe aus dem Hochvakuum     absaugen,    so  muss man eine Kombination aus einer Treib  mittelpumpe - beispielsweise einer Diffu  sionspumpe - und einer mechanischen Vor  pumpe verwenden. Die von der Treibmittel  pumpe aus dem     Hochvakuum    geförderten  Dämpfe, beispielsweise beim Evakuieren von  Behältern mit hohem     Luftfeuehtigkeitsgehalt,     müssen dann von der mechanischen Vorpumpe  beim     Vorvakuumdruck    der     Treibmittelpumpe     angesaugt. und gegen die Atmosphäre geför  dert werden.

   Da\ jedoch --     abgesehen    von den       Gasballastpumpen    - die mechanischen Pum  pen aus den oben dargelegten Gründen hierzu  nicht. in     der    Lage sind, verwendet man in be  kannter Weise zwischen Vorpumpe und Diffu  sionspumpe Kühlfallen mit Kältemitteln oder  Gefässe mit. Absorptionsmitteln für die  Dämpfe, wobei es bekannt: ist,     da.ss    man in  Verbindung mit     Öldiffusionspumpen,    welche  nur gegen einen niedrigen     Vorvakuum-          druck    arbeiten, als Vorpumpen zweckmässig    zweistufige rotierende Ölluftpumpen wegen  ihrer höheren Sauggeschwindigkeit bei niedri  gen Drucken verwendet.  



  Will man bei der Verwendung von     Öldiffu-          sionspumpen    zum Absaugen der von diesen  geförderten Dämpfe aus dem     Vorvakuum-          raum        Gasballastpumpen    verwenden, so haben  einstufige     Gasballastpunipen    den Nachteil,  dass sie bei dem zum     Absaugen    von Dämpfen  erforderlichen Gasballast nur mit Sicherheit  ein Endvakuum von 1     Torr    erreichen, wäh  rend das erforderliche     Vorv        akuum    für     Öl-          diffusionspumpen    niedriger,

   im allgemeinen  bei einigen     Zehntel-Torr    liegt, so dass also ein  stufige     Gasballastpumpen    als Vorpumpen un  geeignet sind. Verwendet man daher Treib  mittelpumpen, die einen hohen     Vorvakuum-          druek    zulassen, so kommt man mit dem     Vor-          vakunindruck    in das Gebiet. einiger     Torr    und  damit. in die Nähe des Kondensationspunktes  für viele abgesaugte Dämpfe, zum Beispiel. des  Kondensationspunktes für Wasserdampf bei  Zimmertemperatur.

   Es besteht also die Ge  fahr,     da.ss    der Dampf in der     Vorvakuumlei-          tung        mvisehen    Diffusionspumpe und Vor  pumpe kondensiert und daher durch beson  dere     Massnahmen    laufend entfernt werden  muss.  



  Bezüglich der Verwendung von zweistufi  gen     Gasballastpumpen    als Vorpumpen zu       Treibmittelpumpen,    insbesondere     Öldiffusions-          pumpen,    ist zu sagen, dass das     Endvakuum     dieser Pumpen bei Betrieb mit Gasballast so      niedrige Drucke wie 0,02     Torr    erreicht, im  allgemeinen bei etwa     5.10-2        Torr    liegt, also  kleiner ist     als    das erforderliche     Vorvakuum     von     Öldiffusionspumpen    von einigen     Zehntel-          Torr    bis 0,

  9     Torr,    so dass diese Pumpen als  Vorpumpen     ausreichen    sollten. Da aber nach  allgemeiner Erfahrung die Sauggeschwindig  keit von mechanischen Pumpen kurz vor der  Erreichung des     Endvakuums    von hohen Wer  ten steil abfällt     lind    schnell sehr klein wird,  war zu erwarten, dass eine Kombination aus       z #eistufiger        Gasballastpumpe    und     Öldiffu-          sionspumpe,    infolge der geringen Saugge  schwindigkeit der     Gasballastpumpe,    nur kleine  Sauggeschwindigkeiten der Kombination, ins  besondere bei hohen Drucken am Saugstutzen  der Diffusionspumpe und damit.

   lange Eva  kuierungszeiten ergeben würde. Durchge  führte Versuche haben jedoch gezeigt, dass  diese Erwartung bezüglich der Sauggeschwin  digkeit von zweistufigen     Gasballastpumpen    in  der Nähe ihres     Endvakuums    für das Absaugen  von Dämpfen nicht zutrifft, sondern dass die  zweistufigen     Gasballastpiunpen    beim Absaugen  von Dämpfen unter Drucken von 0,05     Torr     bis 0,1     Torr    noch etwa 70 bis 80     0lo    ihrer Saug  geschwindigkeit bei     Atmosphärendruck    haben.

    Erfindungsgemäss wird daher zum Absaugen  von Dämpfen im Hochvakuum bzw. beim Ab  saugen von Gasen mit, hohem Feuchtigkeits  gehalt eine Kombination einer Treibmittel  pumpe mit einer zweistufigen     Gasballast-          piunpe    verwendet, um hohe Sauggeschwindig  keiten, insbesondere bei hohen Drucken am  Saugstutzen der     Treibmittelpumpe,    und damit       kurze        Evakuierungszeiten    zu erhalten.  



  Als     Treibmittelpumpe    kann mit. Vorteil  eine     Öldiffusionspumpe    oder eine Öldampf  strahlpumpe     Verwendung    finden.  



  Der     Vorvakuumdr-Lick    zwischen     Treibmit.-          telpümpe    und     Gasballastpumpe    soll so niedrig  sein, dass bei Zimmertemperatur keine Kon  densation der auf den     Vorvakunmdriick    kom  primierten Dämpfe stattfindet.

   Anderseits    soll aber auch darauf geachtet werden, dass  der     Vorvakuumdruck    noch genügend gross ist,  dass die     Gasballastpumpe    bei diesem Druck  noch eine     Sauggesehwindigkeit    besitzt, die       zwischen        20        und        100        %        ihrer        maximalen        Saug-          geschwindigkeit    liegt..

   Der     Vorvakuumdruck     liegt beispielsweise zwischen 0,02 und 0,9     Torr.          Zweckmässigerweise    erstreckt. sich der Druck  bereieh von 0,05 bis 0,5     Torr.  

Claims (1)

1. PATENTANSPRUCH: Vorrichtung zum Absaugen von Dämpfen im ll:ochvalctium, dadurch gekennzeichnet, dass sie aus der Kombination einer Treibmittel pumpe mit. einer zweistufigen Gasballast pumpe als mechanische Vorpumpe besteht. UN TER.A_X SPRü CHE 1. Vorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass als Treibmittel pumpe eine Öldiffusionspuinpe benutzt, wird. 2. Vorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass als Treibmittel pumpe eine Öldampfstrahlpumpe benutzt wird. 3.

   Vorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Vorvakuum- druck zwischen Treibmittelpimipe und Gas-, ballastpumpe so niedrig gehalten wird, dass bei Zimmertemperatur keine Kondensation der auf den Vorvakuumdruek komprimierten Dämpfe stattfindet. 4.

   Vorrichtung nach Unteranspruch 3, da durch gekennzeichnet, dass der Vorvakuuni- druck so hoch gewählt wird, dass die Gas ballastpumpe bei diesem Druck noch minde- stens 20 % ihrer maximalen #qaua-gesehwindig- keit besitzt. 5. Vorrichtung nach Unteranspruch 4, da durch gekennzeichnet, dass der Vorvakuum- druck zwischen 0,02 und 0,9 Torr liegt.

   6. Vorrichtung nach Unteranspruch 5, da durch gekennzeichnet, dass der Vorvakuum- druek zwischen 0,05 und 0,5 Torr liegt.