BE1008381A3

BE1008381A3 - Radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte.

Info

Publication number: BE1008381A3
Application number: BE9400497A
Authority: BE
Original assignee: Verhaert Paul
Priority date: 1994-01-05
Filing date: 1994-05-16
Publication date: 1996-04-02

Abstract

Radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte, daardoor gekenmerkt dat zij bestaat uit tegels (2) met een modulair karakter, waarbij deze tegels (2) voorzien zijn van een aktief gedeelte dat de regeling van de radiatorwerking toelaat.

Description

Radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte. Deze uitvinding heeft betrekking op een radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte.

Meer speciaal heeft de uitvinding betrekking op radiatorinrichtingen die gebruikt worden in ruimtetuigen voor de dissipatie van warmte die hierin vrijkomt door energieverbruik, enerzijds, en door eenzijdige opwarming door de zon of andere hemellichamen, anderzijds.

De afwezigheid van de aardse zwaartekracht en het vacuüm laat geen konvektie toe. De regeling van de temperatuur van het ruimtetuig dient dan ook te gebeuren door de modulatie van de effektieve emissiekapaciteit van radiatoren.

Bij de meeste bekende radiatoren van deze soort wordt zulke regeling bekomen door een groot aantal relatief grote kleppen, die boven het radiatoroppervlak zijn aangebracht, beurtelings geheel of gedeeltelijk te openen of te sluiten om oververhitting of onderkoeling tegen te gaan.

Andere radiatoren van deze soort zijn uitgerust met een reflektief rolgordijn wat aangebracht is boven de radiator, en wat geheel of gedeeltelijk het radiatief oppervlak kan afdekken of vrijmaken met hetzelfde doel.

Bij nog andere radiatoren wordt de verbinding tussen de radiator en het onderdeel van het ruimtetuig waarvan de temperatuur moet worden geregeld tot stand gebracht door warmtepompen met een regelbare flux.

Bij de voornoemde radiatorinrichtingen is de goede werking van de temperatuurregeling afhankelijk van relatief grote

kwetsbare mechanische systemen, welke bovendien geval per geval moeten worden ontworpen, gefabriceerd, getest en geattesteerd voor hun vluchtwaardigheid.

De uitvinding heeft tot doel aan deze nadelen te verhelpen.

Hiertoe heeft de uitvinding een radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte als voorwerp, die bestaat uit tegels met een modulair karakter, waarbij deze tegels voorzien zijn van een aktief gedeelte dat de regeling van de radiatorwerking toelaat.

Op deze manier wordt een standaardradiatorinrichting bekomen waarvan de vluchtwaardigheid kan worden aangetoond door konformiteit met een eenmalig geattesteerd model.

De aktieve gedeelten bestaan bij voorkeur uit bewegingsmechanismen op mikroschaal. Deze bewegingsmechanismen worden bij voorkeur vervaardigd met behulp van halfgeleiderfabrikagetechnieken en bestaan uit halfgeleidermikroschakelaars, zodat grote komplexe mechanische aandrijvingen uitgesloten worden.

Volgens de voorkeurdragende uitvoeringsvormen worden de bewegingsmechanismen elektrostatisch bevolen, wat een eenvoudige bediening toelaat.

Volgens een eerste mogelijkheid wordt gebruik gemaakt van beweegbare afdekklepjes die op mikromechanische schaal in de tegels ingebouwd zijn.

Volgens een tweede mogelijkheid, welke de meeste voorkeur geniet, wordt gebruik gemaakt van warmtegeleidende delen die door onderlinge aantrekking al dan niet tegen elkaar

kunnen worden gebracht en al dan niet warmteoverdracht toelaten.

Met het inzicht de kenmerken van de uitvinding beter aan te tonen zijn hierna, als voorbeelden zonder enig beperkend karakter, enkele voorkeurdragende uitvoeringsvormen beschreven, met verwijzing naar de bijgaande tekeningen waarin : figuur 1 in perspektief een gedeelte van een radiatorinrichting volgens de uitvinding weergeeft ; figuur 2 op sterk vergrote schaal het gedeelte weergeeft dat in figuur 1 met F2 is aangeduid ; figuur 3 een doorsnede weergeeft volgens lijn III-III in figuur 2 ; figuur 4 zeer schematisch een variante van een radiatorinrichting volgens de uitvinding weergeeft ; figuur 5 de radiatorinrichting volgens figuur 4 in een andere stand weergeeft ;

figuur 6 in doorsnede een praktische uitvoeringsvorm weergeeft van de radiatorinrichting volgens figuur 4 ; figuur 7 op kleinere schaal een zieht weergeeft volgens pijl F7 in figuur 6 ; figuur 8 op kleinere schaal een doorsnede weergeeft volgens lijn VIII-VIII in figuur 6 ; figuur 9 een variante weergeeft van de uitvoering die in figuur 6 is weergegeven ; figuur 10 schematisch weergeeft op welke wijze een aantal elementen zoals afgebeeld in figuur 6 uit een siliciumschijf kunnen vervaardigd worden ; figuur 11 schematisch weergeeft op welke wijze verschillende elementen uit figuur 10 naast elkaar kunnen worden gemonteerd ;

figuur 12 op kleinere schaal een doorsnede weergeeft volgens lijn XII-XII in figuur 6 ;

figuren 13 en 14 gelijkaardige zichten weergeven als deze volgens figuur 12, doch voor twee uitvoeringsvarianten ; figuur 15 nog een zicht weergeeft dat gelijkaardig is aan dat van figuur 12, doch voor een variante waarbij meerdere tegels bij elkaar zijn gevoegd ; figuur 16 schematisch een uitvoeringsvorm weergeeft van een ophanging tussen twee delen die zoals uiteengezet in de inleiding met elkaar kunnen kontakt maken ; figuur 17 de ophanging uit figuur 16 in een andere stand weergeeft ; figuur 18 een zicht weergeeft volgens pijl F18 in figuur 16, doch voor een aanzienlijk groter oppervlak ; figuur 19 in perspektief en op grotere schaal het gedeelte weergeeft dat in figuur 18 met F19 is aangeduid ;

figuur 20 een variante weergeeft van de ophanging volgens figuur 16 ; figuur 21 nog een uitvoeringsvorm van de uitvinding weergeeft ; figuur 22 een zicht toont van het gedeelte dat in figuur 21 is weergegeven, doch in een andere stand ; figuur 23 zeer schematisch nog een uitvoeringsvorm van de uitvinding weergeeft ; figuur 24 de verdeling van de elektrische lading bij het bekrachtigen van de uitvoeringsvorm van figuur 23 weergeeft.

Zoals weergegeven in figuur 1 heeft de uitvinding betrekking op een radiatorinrichting 1 voor warmteoverdracht in de ruimte, die bestaat uit tegels 2 met een modulair karakter, waarbij de tegels 2 zoals uiteengezet in de inleiding voorzien zijn van een aktief gedeelte dat de regeling van de radiatorwerking toelaat en

dat bij voorkeur gevormd is uit een elektrostatisch bedienbaar bewegingsmechanisme op mikroschaal.

De tegels 2 worden hierbij konduktief verbonden met een dragende struktuur 3 die deel uitmaakt van het ruimtetuig waarvan de temperatuur moet worden gekontroleerd.

Volgens een eerste mogelijkheid, die is afgebeeld in de figuren 1 tot 3 wordt gebruik gemaakt van zieh op een afstand boven de tegelbasis 4 bevindende afdekklepjes 5 die, afhankelijk of zij geopend zijn, en dus de tegelbasis 4 aan de omgeving blootstellen, of zij gesloten zijn, en dus de tegelbasis 4 afdekken, warmteoverdracht al dan niet toelaten. De afdekklepjes 5 werken hierbij bij voorkeur samen met kaviteiten 6 die door middel van lithografische technieken, galvanisatie of etsen zijn verwezenlijkt.

In de geopende toestand A zorgt een radiatieve deklaag 7 in het infrarode golflengtegebied voor een goede emissiviteit, terwijl een wit oppervlak 8 aan de bovenzijde van de afdekklepjes 5 de radiatie in gesloten toestand B verhindert.

De afdekklepjes 5 kunnen elektrostatisch geopend en gesloten worden door elektrostatische krachten tussen, enerzijds, deze afdekklepjes 5, en anderzijds, elektrisch geleidende banen 9 en 10. Zoals weergegeven in figuur 3 vertonen de afdekklepjes 5 hiertoe bij voorkeur hefboomsuiteinden 11 die ofwel door de baan 9 of 10 worden aangetrokken.

In de uitvoeringsvorm van de figuren 1 tot 3 is een tegel 2 bij voorkeur van de orde van grootte van 10 bij 10 cm.

In een bij voorkeur toegepaste uitvoeringsvorm bevat iedere tegel 2 eigen temperatuursensoren 12 en 13 voor de opper-

vlaktetemperatuur en voor de temperatuur van de dragende struktuur 3, zodat een individuele sturing aan iedere tegel mogelijk is.

In de meest voorkeurdragende uitvoeringsvorm wordt evenwel gebruik gemaakt van een statische uitvoering, waarmee bedoeld wordt dat, zoals schematisch in de figuren 4 en 5 is weergegeven, twee delen, in dit geval een bodemdeel 14 en een bovendeel 15 met twee zijden, respektievelijk 16 en 17, tegen elkaar kunnen worden gebracht wanneer warmteoverdracht dient plaats te vinden, zonder dat hierbij scharnieren en dergelijke noodzakelijk zijn.

Het bodemdeel 14 is met zijn zijde 18, die zich tegenover de zijde 16 bevindt, konduktief verbonden met een niet weergegeven dragende struktuur 3 waarvan de temperatuur dient geregeld te worden, terwijl het bovendeel 15 met zijn zijde 19, die zieh tegenover de zijde 17 bevindt, aan de omgeving is blootgesteld. Het bodemdeel 14 vormt dus een basis terwijl het bovendeel 15 als radiatorplaat funktioneert.

Zoals schematisch in de figuren 4 en 5 is weergegeven wordt het kontakt tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 bij voorkeur gerealiseerd door middel van elektrostatische aantrekkingskrachten, die in deze delen 14 en 15 kunnen worden gekreeërd door het aanleggen van een geschikte spanning V tussen daartoe voorziene elektrische aansluitingen 20 en 21.

In de figuren 6 tot 8 is een praktische uitvoeringsvorm weergegeven.

Het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 zijn hierbij vervaardigd uit halfgeleidermateriaal, zoals silicium of

dergelijke en zijn in rusttoestand door middel van een of meerdere steunen 22 warmteisolerend en elektrisch van elkaar gescheiden, bijvoorbeeld door gebruik te maken van steunen 22 die bestaan uit kunststof, bij voorkeur polyimide.

Om het warmteisolerend effekt nog te verbeteren kan in het bovendeel 15 een vernauwing 23 zijn aangebracht die zieh langs de volledige omtrek van de tegel 2 uitstrekt, waardoor de overdracht van warmte van het centraal gedeelte 24 van het bovendeel 15 naar de rand 25 en dus via de steunen 22 naar het bodemdeel 14 sterk bemoeilijkt wordt.

De vernauwing 23 vormt tevens een dun flexibel gedeelte wat een gemakkelijke verbuiging toelaat, zodat het centraal gedeelte 24 tegen het bodemdeel 14 kan worden aangetrokken, zoals in figuur 6 in streeplijn is aangeduid. De vernauwing 23 funktioneert als een elastisch membraan. Het is echter duidelijk dat ook andere vormen van elastische ophanging kunnen worden voorzien.

De rand 25 daarentegen is bij voorkeur dikker dan de rest van het bovendeel 15, wat de stevigheid van de tegel 2 verzekert.

Het bodemdeel 14 is bij voorkeur planparallel. Tegen de onderzijde hiervan kan een laag 26 worden aangebracht die een vlotte bevestiging, bijvoorbeeld door solderen, en/of een vlotte elektrische aansluiting, toelaat. Deze laag 26 kan hiertoe bestaan uit koper. Zij laat ook een goede warmteoverdracht toe.

De zijde 16 die grenst aan de ingesloten ruimte 27 is bekleed met een materiaallaag 28 die een lage

emissiviteitsfaktor biedt. Deze laag 28 kan bestaan uit goud.

De zijde 17 van het bovendeel 15 is bij voorkeur voorzien van een materiaallaag 29 met een lage emissiviteitsfaktor, bijvoorbeeld ook uit goud. Hierover is een zeer dunne elektrisch isolerende laag 30 aangebracht, bij voorkeur uit een diëlektricum, bijvoorbeeld SiN2. Deze laag 30 is bijvoorbeeld 2000 Angström dik en kan eventueel ook op de laag 28 aangebracht worden. Zij verhindert dat de elektrische ladingen elkaar opheffen en voorziet tevens in een droge smering die het ontstaan van een koude las uitsluit.

De zijde 19 van het bovendeel 15, m. a. w. de bovenzijde, is bekleed met een materiaallaag 31 die een hoge emissiviteitsfaktor, doch een lage zonabsorptiecoëfficiënt bezit. Hiertoe kan gebruik worden gemaakt van witte verf.

De elektrische aansluitingen 20 en 21 worden gerealiseerd door kontaktpunten, enerzijds, aan de materiaallaag 26 en, anderzijds, via aansluitklemmen 32 op het bovendeel 15.

Om eventuele warmteoverdracht van het centraal gedeelte 24 naar het bodemdeel 14 verder uit te sluiten, kan zoals weergegeven in figuur 9 een strook isolatiemateriaal 33 langs de omtrek, ter plaatse van de vernauwing 23 worden aangebracht.

Opgemerkt wordt dat de verhoudingen en afmetingen in de figuren 6 en 9 niet met de realiteit overeenstemmen. In werkelijkheid bijvoorbeeld geniet het de voorkeur dat de tegels 2 een oppervlak vertonen van 37 bij 37 mm. De totale dikte bedraagt ongeveer 2 mm. De dikte van de bovendeel 15 ter plaatse van de vernauwing 23 bedraagt bij voorkeur

ongeveer 50 mikrometer. De hoogte van de vrije ruimte 27 bedraagt normaal 10 ä 100 mikrometer. De steunen 22 zijn ook ongeveer 10 ä 100 mikrometer dik.

De tegels 2 volgens figuur 6 hoeven niet noodzakelijk afzonderlijk te bestaan. Meerdere tegels 2 kunnen immers zoals weergegeven in figuur 10 een samengestelde tegel 34 vormen, welke bijvoorbeeld vervaardigd is uit éénzelfde siliciumschijf 35 of zogenaamde "wafer".

In figuur 10 is uitsluitend het bovendeel van de samengestelde tegel 34 weergegeven, doch het is duidelijk dat op analoge wijze een gelijkvormig bodemdeel tot stand kan worden gebracht en aan het bovendeel worden bevestigd.

De samengestelde tegels 34 zijn bij voorkeur kruisvormig, zodanig dat zij zoals weergegeven in figuur 11 passend tegen elkaar kunnen worden gemonteerd.

De voornoemde steunen 22, welke tevens in de nodige isolatie vormen, kunnen van verschillende aard zijn. Zoals weergegeven in figuur 12 wordt bij voorkeur gebruik gemaakt van langs de omtrek verspreide isolatiepunten 36, met tussenin vrije openingen, daar dit een goed kompromis biedt tussen de eisen die gesteld zijn qua thermische isolatie en de eisen die gesteld zijn qua mechanische weerstand. In de meest voorkeurdragende. uitvoeringsvorm worden, zoals afgebeeld in figuur 12, zestien isolatiepunten 36 gevormd.

Volgens de variante die in figuur 13 is weergegeven wordt gebruik gemaakt van een minimum aantal isolatiepunten 36, in dit geval vier isolatiepunten 36, die op de hoeken van de tegel 2 zijn aangebracht.

Volgens de variante die in figuur 14 is weergegeven wordt voor de steun 22 gebruik gemaakt van een isolatiestrook die zieh langs de volledige omtrek uitstrekt.

In het geval van samengestelde tegels 34 kunnen, zoals weergegeven in figuur 15, een aantal gemeenschappelijke steunen 22 worden aangewend, welke in dit geval de isolatiepunten 37 vormen.

In figuur 16 is een variante weergegeven waarbij de als afstandhouders funktionerende steunen 22 aangebracht zijn tussen elastisch vervormbare delen 38 en 39 welke respektievelijk geintegreerd zijn in het bodemdeel 14 en het bovendeel 15. De elastisch vervormbare delen 38 en 39 laten toe dat het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 met elkaar in kontakt kunnen komen, zoals afgebeeld in figuur 17, bijvoorbeeld door middel van elektrostatische aantrekkingskrachten.

Het gebruik van vervormbare delen 38 en 39 zoals afgebeeld in de figuren 16 en 17 laat toe dat meerdere steunen 22 verspreid over het oppervlak van een tegel 2 kunnen worden aangebracht, bijvoorbeeld zoals is afgebeeld in figuur 18.

In een praktische uitvoering zullen de delen 38 zoals afgebeeld in figuur 19 gevormd worden door membranen. Deze bestaan bij voorkeur uit hetzelfde materiaal als het basismateriaal van het bodemdeel 14 en de bovendeel 15, met andere woorden uit halfgeleidermateriaal, bij voorkeur silicium.

De elasticiteit wordt hierbij verkregen door ter plaatse van de delen 38 verzwakkingen te vormen door materiaal weg te halen zodat een zeer dun laagje overblijft. Hetzelfde geldt voor de delen 39.

Het is duidelijk dat het beoogde effekt ook kan verwezenlijkt worden door slechts aan één van beide delen 14 of 15 elastische delen 38 of 39 aan te brengen.

In figuur 20 is een variante weergegeven waarbij het elastisch materiaal van de delen 38 vervangen is door samendrukbare veertjes 40.

Duidelijkheidshalve zijn in de figuren 16 tot 20 geen bekledingslagen weergegeven.

De werking van de in figuur 6 weergegeven tegel 2, alsmede van de varianten die in de figuren 7 tot 20 zijn beschreven, is hoofdzakelijk als volgt.

In de uitgeschakelde toestand wordt geen spanning aangelegd tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15. De met goud beklede zijden 16 en 17 en de hiertussen aanwezige ruimte 27 funktioneren als een goede stralingsisolator. De warmtelekken doorheen de steunen 22 worden door het gebruik van polyimide optimaal geminimaliseerd.

In de ingeschakelde toestand wordt een elektrische spanning aangelegd tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15, welke enkele duizend volt kan bedragen. Deze spanning genereert een elektrostatische kracht die het bovendeel 15 krachtig tegen het bodemdeel 14 aantrekt. Dankzij de extreme vlakheid van de beide zijden 16 en 17 wordt een optimale warmtegeleiding tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 mogelijk gemaakt zodat een optimale warmteoverdracht en-uitwisseling kan worden gerealiseerd.

De hitte wordt tenslotte afgevoerd via de wit geschilderde zijde 19.

In de uitvoeringen van de figuren 6 tot 20 wordt de vorm van de siliciumplaten van het bodemdeel 14 en/of het bovendeel 15 bij voorkeur verwezenlijkt door uit te gaan van een siliciumschijf met een dikte D, waarbij alle uitsparingen door middel van een etstechniek tot stand worden gebracht.

De uitvinding is niet beperkt tot uitvoeringen waarbij de warmteoverdracht gebeurt door een rechtstreeks kontakt tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15. Volgens een variante kan de warmteoverdracht ook onrechtsreeks geschieden.

In figuur 21 is hiervan een uitvoeringsvorm weergegeven, waarbij de warmteoverdracht geregeld wordt door middel van een warmtegeleidend membraan 41 dat tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 is aangebracht. Het membraan 41 is hierbij opgehangen en ingeklemd tussen warmtegeleidende ribben 42 of dergelijke aan het bodemdeel 14 en isolerende steungedeelten 43 die in een ruimte tussen het vlak gespannen membraan 41 en het bovendeel 15 zijn voorzien.

Door een elektrostatische spanning te kreëren kan het membraan 41 zoals afgebeeld in figuur 22 tegen de bovenplaat 15 worden getrokken waardoor warmteuitwisseling tussen het bodemdeel 14 en het bovendeel 15 mogelijk wordt, via de ribben 42 en het warmtegeleidend membraan 41.

Volgens een bijzondere uitvoeringsvorm worden uitsluitend elektrische verbindingen aan de onderzijde, met andere woorden aan het bodemdeel 14 gerealiseerd. Dit heeft als voordeel dat geen elektrische verbindingen dienen te worden gerealiseerd aan de buitenzijde van het ruimtetuig, of evenmin geleidingen doorheen of tussendoor de tegels 2 dienen te worden aangebracht.

Volgens de uitvoeringsvorm van de figuren 23 en 24 wordt dit gerealiseerd door middel van een bodemdeel 14 dat bestaat uit minstens twee gedeelten 44 en 45, welke aan verschillende polariteiten worden aangesloten, en een gemeenschappelijk bovendeel 15. De elektrostatische ladingen verdelen zich dan zoals afgebeeld in figuur 24, waarbij ook een aantrekkingskracht tot stand wordt gebracht.

Het is duidelijk dat in alle voornoemde uitvoeringsvormen de nodige middelen worden voorzien om de tegels 2 passend te aktiveren, respektievelijk uit te schakelen.

Volgens een variante kunnen meerdere lagen tegels op elkaar worden aangebracht om zodoende een betere isolatie te bekomen tegen de straling van de zon. Hierbij worden als het ware stapels van tegels gevormd. Eventueel kan een bovenlaag van een tegel hierbij als onderlaag van de volgende funktioneren.

De huidige uitvinding is geenszins beperkt tot de als voorbeelden beschreven en in de figuren weergegeven uitvoeringsvormen, doch dergelijke radiatorinrichting kan in verschillende vormen en afmetingen worden verwezenlijkt zonder buiten het kader van de uitvinding te treden.

Claims

Konklusies. l.-Radiatorinrichting voor warmteoverdracht in de ruimte, daardoor gekenmerkt dat zij bestaat uit tegels (2) met een modulair karakter, waarbij deze tegels (2) voorzien zijn van een aktief gedeelte dat de regeling van de radiatorwerking toelaat.

2.-Radiatorinrichting volgens konklusie 1, daardoor gekenmerkt dat het aktief gedeelte bestaat uit een bewegingsmechanisme op mikroschaal.

3.-Radiatorinrichting volgens konklusie 2, daardoor gekenmerkt dat het bewegingsmechanisme gevormd is uit halfgeleidermikroschakelaars.

4.-Radiatorinrichting volgens een der voorgaande konklusies, daardoor gekenmerkt dat het aktief gedeelte elektrostatisch aktiveerbaar is.

5.-Radiatorinrichting volgens een der voorgaande konklusies, daardoor gekenmerkt dat de tegels (2) voorzien zijn van een radiatieve deklaag (7) en hierboven aangebrachte afdekklepjes (5) die afhankelijk van hun stand de radiatieve deklaag (7) al dan niet aan de omgeving blootstellen.

6.-Radiatorinrichting volgens één der konklusies 1 tot 4, daardoor gekenmerkt dat zij bestaat uit warmtegeleidende delen die door onderlinge aantrekking tegen elkaar kunnen worden gebracht en bijgevolg al dan niet warmteoverdracht toelaten. <Desc/Clms Page number 15> 7.-Radiatorinrichting volgens konklusie 6, daardoor gekenmerkt dat zij bestaat uit minstens een bodemdeel (14) en een hiermee samenwerkend bovendeel (15), welke in rusttoestand door middel van steunen (22) op een afstand van elkaar worden gehouden en door middel van een elektrostatische lading tegen elkaar kunnen getrokken worden.

8.-Radiatorinrichting volgens konklusie 7, daardoor gekenmerkt dat de steunen (22) warmteisolerend en elektrisch isolerend zijn.

9.-Radiatorinrichting volgens konklusie 7 of 8, daardoor gekenmerkt dat de steunen (22) hoofdzakelijk bestaan uit polyimide.

10. - Radiatorinrichting volgens één der konklusies 7 tot 9, daardoor gekenmerkt dat het bovendeel (15) langs de omtrek is voorzien van een vernauwing (23), die een elastische verbuiging van het bovendeel (15) toelaat.

11.-Radiatorinrichting volgens één der konklusies 7 tot 10, daardoor gekenmerkt dat de zijde (16) van het bodemdeel (14) die naar het bovendeel (15) is gericht, bekleed is met een materiaallaag (28) die een lage emissiviteitsfaktor biedt en dat de zijde (17) van het bovendeel (15) die naar het bodemdeel (14) is gericht, voorzien is van een materiaallaag (29) met een lage emissiviteitsreflektie.

12.-Radiatorinrichting volgens konklusie 11, daardoor gekenmerkt dat de voornoemde materiaallagen (28-29) bestaan uit goud.

13.-Radiatorinrichting volgens een der konklusies 7 tot 12, daardoor gekenmerkt dat het bodemdeel (14) en het <Desc/Clms Page number 16> bovendeel (15) in aangetrokken toestand elektrisch van elkaar geisoleerd zijn door middel van een laag (30) uit SiN2.

14.-Radiatorinrichting volgens een der konklusies 7 tot 13, daardoor gekenmerkt dat de steunen (22) aan het bodemdeel (14) en/of het bovendeel (15) aangebracht zijn op elastisch vervormbare delen (38-39).

15.-Radiatorinrichting volgens konklusie 14, daardoor gekenmerkt dat de elastisch vervormbare delen (38-39) bestaan uit membranen die gevormd zijn door plaatselijke verzwakkingen in het basismateriaal van het bodemdeel (14) en/of het bovendeel (15).

16.-Radiatorinrichting volgens een der konklusies 7 tot 15, daardoor gekenmerkt dat de steunen (22) verspreid zijn over het oppervlak van een tegel (2).

17.-Radiatorinrichting volgens één der konklusies 7 tot 16, daardoor gekenmerkt dat de tegel (2) aan de bovenzijde bekleed is met een laag (31) met een hoge emissiviteitsfaktor.

18.-Radiatorinrichting volgens een der konklusies 7 tot 17, daardoor gekenmerkt dat zij is voorzien van elektrische aansluitingen (20-21) die zich respektievelijk aan het bodemdeel (14) en het bovendeel (15) bevinden.

19.-Radiatorinrichting volgens één der konklusies 7 tot 17, daardoor gekenmerkt dat zij is voorzien van elektrische aansluitingen (20-21) welke zieh uitsluitend aan het bodemdeel (14) bevinden. <Desc/Clms Page number 17> 20.-Radiatorinrichting volgens konklusie 19, daardoor gekenmerkt dat zij een bodemdeel (14) vertoont dat bestaat uit minstens twee gedeelten (44-45), welke aan verschillende polariteiten worden aangesloten, en een gemeenschappelijk bovendeel (15).

21.-Radiatorinrichting volgens een der konklusies 7 tot 20, daardoor gekenmerkt dat het basismateriaal van het bodemdeel (14) en het bovendeel (15) bestaat uit halfgeleidermateriaal.

22.-Radiatorinrichting volgens konklusie 21, daardoor gekenmerkt dat het bodemdeel (14) en het bovendeel (15) vervaardigd zijn uit silicium wafers.