ATE60057T1 - Verfahren zur herstellung von hexamethylcyclotrisilazan. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von hexamethylcyclotrisilazan.

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ATE60057T1
ATE60057T1 AT86102688T AT86102688T ATE60057T1 AT E60057 T1 ATE60057 T1 AT E60057T1 AT 86102688 T AT86102688 T AT 86102688T AT 86102688 T AT86102688 T AT 86102688T AT E60057 T1 ATE60057 T1 AT E60057T1
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Austria
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hexamethylcyclotrisilazan
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sflazane
cyclotrisilazanes
cyclotetrasilazanes
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Application number
AT86102688T
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English (en)
Inventor
Barry C Arkles
Burrell N Hamon
Original Assignee
Huels America Inc A Delaware C
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