ATE468005T1 - Verfahren zur plasmaerzeugung durch kapazitive gleichmässige entladungen und implementierungsvorrichtung dafür - Google Patents

Verfahren zur plasmaerzeugung durch kapazitive gleichmässige entladungen und implementierungsvorrichtung dafür

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ATE468005T1
ATE468005T1 AT00420211T AT00420211T ATE468005T1 AT E468005 T1 ATE468005 T1 AT E468005T1 AT 00420211 T AT00420211 T AT 00420211T AT 00420211 T AT00420211 T AT 00420211T AT E468005 T1 ATE468005 T1 AT E468005T1
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generating plasma
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Thierry Lagarde
Jacques Pelletier
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St Plasmas
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