ATE361427T1 - Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht

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ATE361427T1
ATE361427T1 AT04738869T AT04738869T ATE361427T1 AT E361427 T1 ATE361427 T1 AT E361427T1 AT 04738869 T AT04738869 T AT 04738869T AT 04738869 T AT04738869 T AT 04738869T AT E361427 T1 ATE361427 T1 AT E361427T1
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etch stop
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Matthias Fuertsch
Hubert Benzel
Stefan Finkbeiner
Stefan Pinter
Frank Fischer
Heiko Stahl
Tjalf Pirk
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Bosch Gmbh Robert
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7620717B2 (en) * 2003-09-12 2009-11-17 Ricoh Co., Ltd. Method and system for remote diagnostic, control and information collection based on various communication modes for sending messages to a resource manager
DE102005042648B4 (de) * 2005-09-08 2007-06-21 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von kommunizierenden Hohlräumen
DE112007000722B4 (de) * 2006-03-29 2013-07-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Mikropumpe
US8051905B2 (en) * 2006-08-15 2011-11-08 General Electric Company Cooling systems employing fluidic jets, methods for their use and methods for cooling
DE102006040343A1 (de) * 2006-08-29 2008-03-06 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von Bauteilen zur Steuerung eines Fluidflusses sowie Bauteile, hergestellt nach diesem Verfahren
DE602006009405D1 (de) * 2006-10-28 2009-11-05 Sensirion Holding Ag Mehrzellenpumpe
DE102007035721B4 (de) 2007-07-30 2019-02-07 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils sowie Mikropumpe
DE102007045637A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Mikrodosiervorrichtung zum Dosieren von Kleinstmengen eines Mediums
DE102008003792A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe sowie Mikropumpe
DE102008041178B4 (de) 2008-08-12 2018-11-15 Robert Bosch Gmbh Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102008042054A1 (de) 2008-09-12 2010-03-18 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Mikropumpe sowie Herstellungsverfahren
FR2952628A1 (fr) * 2009-11-13 2011-05-20 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'au moins une micropompe a membrane deformable et micropompe a membrane deformable
DE102010038733A1 (de) 2010-07-30 2012-02-02 Robert Bosch Gmbh Modulare Mikronadel-Transportvorrichtung
FR2974598B1 (fr) * 2011-04-28 2013-06-07 Commissariat Energie Atomique Micropompe a debitmetre et son procede de realisation
US10950497B2 (en) * 2018-11-26 2021-03-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Electrical connection for semiconductor devices
US10743442B2 (en) * 2018-12-11 2020-08-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling devices including jet cooling with an intermediate mesh and methods for using the same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5096388A (en) 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
DE4035852A1 (de) 1990-11-10 1992-05-14 Bosch Gmbh Robert Mikroventil in mehrschichtenaufbau
DE19511198A1 (de) * 1995-03-27 1996-10-02 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Strukturen, insbesondere für ein Mikrodosiersystem
CA2301878A1 (en) * 1997-08-20 1999-02-25 Westonbridge International Limited Micro pump comprising an inlet control member for its self-priming
US7005078B2 (en) * 2000-05-25 2006-02-28 Debiotech Sa Micromachined fluidic device and method for making same
CA2311622A1 (en) * 2000-06-15 2001-12-15 Moussa Hoummady Sub-nanoliter liquid drop dispensing system and method therefor
US6572218B2 (en) * 2001-01-24 2003-06-03 Xerox Corporation Electrostatically-actuated device having a corrugated multi-layer membrane structure

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