AT11920U2 - Verfahren zur herstellung einer mems-vorrichtung mit hohem aspektverhältnis, sowie wandler und kondensator - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer mems-vorrichtung mit hohem aspektverhältnis, sowie wandler und kondensator Download PDF

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Abstract

Verfahren zur Herstellung einer MEMS-Vorrichtung mit hohem Aspektverhältnis, sowie Wandler und Kondensator.Vorgestellt wird eine Methode zur Herstellung von mikrostrukturierten Vorrichtungen in Gestalt von Mikro-Elektro-Mechanischen-Systemen (MEMS).Um die gegenwärtigen maximalen Aspektverhältnisse (=Ätztiefe/Ätzgrabenbreite) bedingt durch physikalische oder chemische Mikrostrukturierungsmethoden zu vergrößern, wird vorgeschlagen, zumindest einen von relativ zueinander beweglichen Körpern vor Inbetriebnahme der Vorrichtung von einer ersten Position (Produktionsposition, Strukturierungsposition) einem anderen Körper anzunähern und dadurch in eine zweite Position (Betriebsposition) dauerhaft, vorzugsweise irreversibel überzuführen.Die Überführung aus der ersten in die zweite Position wird entweder durch integrierte Antriebe oder aufgrund von außen zugeführten Kräften (z.B. Schwerkraft, Fliehkraft, Stoßimpuls, Schwingungsübertragung, Vibration) ermöglicht. Für die integrierten Antriebe können elektrische oder magnetische Felder dienen. Aber auch thermisch oder piezo-elektrisch bedingte Längenänderung eines Stellelementes können zur Ortsverschiebung dienen.Dieses Verfahren ermöglicht höhere Kapazitäten integrierter Kondensatoren, höhere Empfindlichkeit von Sensoren oder größere Leistung von Aktuatoren
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