DE502004003703D1 - Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht

Info

Publication number
DE502004003703D1
DE502004003703D1 DE502004003703T DE502004003703T DE502004003703D1 DE 502004003703 D1 DE502004003703 D1 DE 502004003703D1 DE 502004003703 T DE502004003703 T DE 502004003703T DE 502004003703 T DE502004003703 T DE 502004003703T DE 502004003703 D1 DE502004003703 D1 DE 502004003703D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
etch stop
producing
functional
stop layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE502004003703T
Other languages
English (en)
Inventor
Matthias Fuertsch
Hubert Benzel
Stefan Finkbeiner
Stefan Pinter
Frank Fischer
Heiko Stahl
Tjalf Pirk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=34088871&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE502004003703(D1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of DE502004003703D1 publication Critical patent/DE502004003703D1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
DE502004003703T 2003-07-28 2004-07-07 Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht Expired - Lifetime DE502004003703D1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10334240A DE10334240A1 (de) 2003-07-28 2003-07-28 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht
PCT/DE2004/001447 WO2005015021A1 (de) 2003-07-28 2004-07-07 Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmembran aus einer polysiliciumschicht

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE502004003703D1 true DE502004003703D1 (de) 2007-06-14

Family

ID=34088871

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10334240A Withdrawn DE10334240A1 (de) 2003-07-28 2003-07-28 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht
DE502004003703T Expired - Lifetime DE502004003703D1 (de) 2003-07-28 2004-07-07 Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10334240A Withdrawn DE10334240A1 (de) 2003-07-28 2003-07-28 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauteils vorzugsweise für fluidische Anwendungen und Mikropumpe mit einer Pumpmembran aus einer Polysiliciumschicht

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7740459B2 (de)
EP (1) EP1651867B1 (de)
AT (1) ATE361427T1 (de)
DE (2) DE10334240A1 (de)
WO (1) WO2005015021A1 (de)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7620717B2 (en) * 2003-09-12 2009-11-17 Ricoh Co., Ltd. Method and system for remote diagnostic, control and information collection based on various communication modes for sending messages to a resource manager
DE102005042648B4 (de) * 2005-09-08 2007-06-21 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von kommunizierenden Hohlräumen
WO2007111049A1 (ja) * 2006-03-29 2007-10-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. マイクロポンプ
US8051905B2 (en) * 2006-08-15 2011-11-08 General Electric Company Cooling systems employing fluidic jets, methods for their use and methods for cooling
DE102006040343A1 (de) * 2006-08-29 2008-03-06 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung von Bauteilen zur Steuerung eines Fluidflusses sowie Bauteile, hergestellt nach diesem Verfahren
EP1916420B1 (de) 2006-10-28 2009-09-23 Sensirion Holding AG Mehrzellenpumpe
DE102007035721B4 (de) 2007-07-30 2019-02-07 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils sowie Mikropumpe
DE102007045637A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Mikrodosiervorrichtung zum Dosieren von Kleinstmengen eines Mediums
DE102008003792A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe sowie Mikropumpe
DE102008041178B4 (de) * 2008-08-12 2018-11-15 Robert Bosch Gmbh Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102008042054A1 (de) 2008-09-12 2010-03-18 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Mikropumpe sowie Herstellungsverfahren
FR2952628A1 (fr) * 2009-11-13 2011-05-20 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'au moins une micropompe a membrane deformable et micropompe a membrane deformable
DE102010038733A1 (de) 2010-07-30 2012-02-02 Robert Bosch Gmbh Modulare Mikronadel-Transportvorrichtung
FR2974598B1 (fr) * 2011-04-28 2013-06-07 Commissariat Energie Atomique Micropompe a debitmetre et son procede de realisation
US10950497B2 (en) * 2018-11-26 2021-03-16 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Electrical connection for semiconductor devices
US10743442B2 (en) * 2018-12-11 2020-08-11 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling devices including jet cooling with an intermediate mesh and methods for using the same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5096388A (en) * 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
DE4035852A1 (de) * 1990-11-10 1992-05-14 Bosch Gmbh Robert Mikroventil in mehrschichtenaufbau
DE19511198A1 (de) 1995-03-27 1996-10-02 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Strukturen, insbesondere für ein Mikrodosiersystem
JP2001515183A (ja) * 1997-08-20 2001-09-18 ウエストンブリッジ インターナショナル リミティド 自給を可能にする入口制御部材を具備するマイクロポンプ
EP1283957B1 (de) * 2000-05-25 2005-10-26 Debiotech S.A. Microbearbeitete fluidische vorrichtung und herstellungsverfahren
CA2311622A1 (en) * 2000-06-15 2001-12-15 Moussa Hoummady Sub-nanoliter liquid drop dispensing system and method therefor
US6572218B2 (en) 2001-01-24 2003-06-03 Xerox Corporation Electrostatically-actuated device having a corrugated multi-layer membrane structure

Also Published As

Publication number Publication date
EP1651867B1 (de) 2007-05-02
WO2005015021A1 (de) 2005-02-17
US20060186085A1 (en) 2006-08-24
ATE361427T1 (de) 2007-05-15
DE10334240A1 (de) 2005-02-24
US7740459B2 (en) 2010-06-22
EP1651867A1 (de) 2006-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE502004003703D1 (de) Verfahren zur herstellung eines mikromechanischen bauteils, vorzugsweise für fluidische anwendungen und mikropumpe mit einer pumpmemembran aus einer polysiliciumschicht
ATE350333T1 (de) Verfahren zur herstellung aufgehängter poröser siliziummikrostrukturen und anwendung in gassensoren
ATE509355T1 (de) Verfahren zur herstellung einer nanolücke für variable kapazitive elemente
KR101299133B1 (ko) 나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법
TW200744940A (en) Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
ATE544093T1 (de) Imprintmethode zur herstellung einer reliefschicht und deren nutzung als ätzmaske
EP1547968A3 (de) Verfahren zur Herstellung einer beweglichen Struktur und Ätzmittel für Siliziumoxidfilm
Gorissen et al. SU8 etch mask for patterning PDMS and its application to flexible fluidic microactuators
ATE376881T1 (de) Herstellung von intergrierten fluidischen vorrichtungen
WO2008156977A3 (en) Methods of fabricating nanostructures by use of thin films of self-assembling of diblock copolymers, and devices resulting from those methods
DE60230680D1 (de) Verfahren zum herstellen einer struktur für eine einrichtung für mikroelektromechanische systeme (mems)
ATE505813T1 (de) Herstellung von luftspalten um eine verbindungsleitung herum
TW200744939A (en) Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
DE60306336D1 (de) Mikrofluider antimikrobieller filter
EP1752415A3 (de) Herstellungsverfahren einer hängenden MEMS Struktur
DE60202145D1 (de) Verfahren zur bereitstellung einer hydrophoben schicht und kondesatormikrofon mit einer solchen schicht
WO2009085598A3 (en) Photoresist double patterning
TW200623474A (en) Method for manufacturing a small pin on integrated circuits or other devices
DE602005027601D1 (de) Verfahren zur herstellung einer mikroelektromechanischen einrichtung mit piezoelektrischen blöcken
AT11920U2 (de) Verfahren zur herstellung einer mems-vorrichtung mit hohem aspektverhältnis, sowie wandler und kondensator
Van Mullem et al. Large deflection performance of surface micromachined corrugated diaphragms
Phi et al. 3D passive microfluidic valves in silicon and glass using grayscale lithography and reactive ion etching transfer
WO2009002389A3 (en) Method for selectively forming symmetrical or asymmetrical features using a symmetrical photomask during fabrication of a semiconductor device and electronic systems including the semiconductor device
Balakrisnan et al. Challenges in the microfabrication of dielectric elastomer actuators
CN107265394B (zh) 一种悬空微结构的正面释放技术

Legal Events

Date Code Title Description
8363 Opposition against the patent