ATA322587A - Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten - Google Patents
Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstratenInfo
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AT322587A AT389019B (de) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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AT322587A AT389019B (de) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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ATA322587A true ATA322587A (de) | 1989-02-15 |
AT389019B AT389019B (de) | 1989-10-10 |
Family
ID=3547312
Family Applications (1)
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AT322587A AT389019B (de) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten |
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DE2724579C3 (de) * | 1977-05-31 | 1981-01-29 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Verfahren zum Reinigen der Oberflache einer Mehrzahl von Substraten für Halbleiterbauelemente und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
DE2938863A1 (de) * | 1979-09-26 | 1981-04-09 | Agfa-Gevaert Ag, 5090 Leverkusen | Einrichtung zum kontaktlosen entfernen von staub |
DE3419028A1 (de) * | 1984-04-05 | 1985-11-21 | Kessler & Luch Gmbh, 6300 Giessen | Verfahren zum reinigen von koerpern mit luftstrahlen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
-
1987
- 1987-12-09 AT AT322587A patent/AT389019B/de not_active IP Right Cessation
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Publication number | Publication date |
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AT389019B (de) | 1989-10-10 |
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