ATA2972002A - Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann - Google Patents

Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann

Info

Publication number
ATA2972002A
ATA2972002A AT0029702A AT2972002A ATA2972002A AT A2972002 A ATA2972002 A AT A2972002A AT 0029702 A AT0029702 A AT 0029702A AT 2972002 A AT2972002 A AT 2972002A AT A2972002 A ATA2972002 A AT A2972002A
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
desired position
vertical component
pillars along
pillars
along
Prior art date
Application number
AT0029702A
Other languages
English (en)
Other versions
AT412373B (de
Original Assignee
Thallner Erich
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thallner Erich filed Critical Thallner Erich
Publication of ATA2972002A publication Critical patent/ATA2972002A/de
Application granted granted Critical
Publication of AT412373B publication Critical patent/AT412373B/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716Stages
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70758Drive means, e.g. actuators, motors for long- or short-stroke modules or fine or coarse driving
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
    • G03F7/70825Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
    • H10P72/57

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
AT0029702A 2001-06-13 2002-02-27 Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann AT412373B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10128712A DE10128712C2 (de) 2001-06-13 2001-06-13 Vorrichtung mit mindestens zwei Säulen, entlang derer ein Bauteil vertikal verfahrbar ist

Publications (2)

Publication Number Publication Date
ATA2972002A true ATA2972002A (de) 2004-06-15
AT412373B AT412373B (de) 2005-01-25

Family

ID=7688166

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT0029702A AT412373B (de) 2001-06-13 2002-02-27 Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann

Country Status (2)

Country Link
AT (1) AT412373B (de)
DE (1) DE10128712C2 (de)

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB649228A (en) * 1948-11-05 1951-01-24 Edmund Cullimore Grace Improvements in or relating to apparatus for cutting-off plastic extrusion-moulded articles
DE1923502A1 (de) * 1969-05-08 1970-11-26 Phila Studio Gmbh Briefmarkenpresse
SU963882A1 (ru) * 1981-05-04 1982-10-07 Производственное Объединение "Ново-Краматорский Машиностроительный Завод" Вертикальный гидравлический пресс
US4775281A (en) * 1986-12-02 1988-10-04 Teradyne, Inc. Apparatus and method for loading and unloading wafers
JPS63242824A (ja) * 1987-03-25 1988-10-07 Tabai Esupetsuku Kk 物品搬送コンベヤ
AT391773B (de) * 1987-10-12 1990-11-26 Thallner Erich Vorrichtung zum exponieren eines halbleitersubstrates gegen ein strahlungsmuster
JPH0555350A (ja) * 1991-08-28 1993-03-05 Murata Mach Ltd オーバーヘツド型物品搬送装置における物品をクリーンに保持する装置
JPH05136110A (ja) * 1991-11-08 1993-06-01 Nec Ibaraki Ltd 昇降機能付液槽装置の密閉構造
DE4213744C1 (de) * 1992-04-25 1993-10-14 Guenther Ehing Rollenschuh
JPH061564A (ja) * 1992-06-15 1994-01-11 Kokusai Electric Co Ltd 昇降装置
DE4227333C1 (de) * 1992-08-18 1994-01-27 Guenther Ehing Vorrichtung zur Führung verschiebbarer Einheiten an einer Rundstange
KR100280947B1 (ko) * 1993-10-04 2001-02-01 마쓰바 구니유키 판 형상체 반송장치
AT401588B (de) * 1993-12-13 1996-10-25 Thallner Erich Vorrichtung zum ausrichten von zwei ebene flächen aufweisenden gegenständen auf parallellage
DE19951200C2 (de) * 1999-10-22 2003-01-30 Ortner Cls Gmbh Cleanroom Logi Transportvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE10128712A1 (de) 2003-01-02
DE10128712C2 (de) 2003-06-18
AT412373B (de) 2005-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60035280D1 (de) Druckkopf mit zwei tröpfchengrössen
DE502004007921D1 (de) Füllelement für eine füllmaschine sowie füllmaschine mit derartigen füllelementen
EP1720498A4 (de) Verringerung des missbrauchpotentials in einer dosierform mit einer missbrauchbaren substanz
EP1729906A4 (de) Werkzeugeinsatzhalter mit zwei grössen
ATE537922T1 (de) Stranggiessanlage mit mindestens zwei multifunktions-robotern
DE60121728D1 (de) Anordnung in verbindung mit eine steuerungseinrichtung
USD525162S1 (en) Currency clip apparatus
BR0102670B1 (pt) processo para obter refrigeradores verticais providos com um gabinete estático em duas versões diferentes.
DE602004024488D1 (de) Turbomaschine mit zwei Bauteilen die durch eine Dichtung verbunden sind
IL154441A0 (en) Padlock with solenoid
USD575329S1 (en) Manufacturing and handling machine for labels
WO2006052281A3 (en) Clear view cannula
ITRM20040240A1 (it) Camptotecine coniugate in posizione 7 con antagonisti delle integrine.
ATA2972002A (de) Vorrichtung mit mindestens zwei säulen, entlang derer ein bauteil vertikal in eine gewünschte position gebracht werden kann
DE50101653D1 (de) Verschiebeeinrichtung mit einem in eine Zahnstange eingreifenden Zahnriemen
DE10244055B8 (de) Kryostatmikrotom mit einer Temperierungsvorrichtung
DE50113469D1 (de) Vorrichtung zum Befestigen von zwei Bauteilen
DE50105802D1 (de) Heizungsanlage mit mindestens zwei Heizkreisen
DE602005015852D1 (de) Mikrofluidvorrichtung mit mindestens einer haltevorrichtung
ITPI20030079A1 (it) Processo per l'estrazione in atmosfera controllata di succo
DE60205630T2 (de) Abgabeanordnung mit mindestens zwei Behältern
DK1437184T3 (da) Vaskeindretning til at vaske indersiden af en tank, især en tank i en lastbil, fremgangsmåde til fremstilling af en sådan indretning og tank udstyret med en sådan indretning
DE602005008447D1 (de) Positionierungsvorrichtung für ein mischgefäss in einem regalschrank und mit der vorrichtung ausgestattete schränke
DE502004002362D1 (de) Stanzwerkzeug mit zwei C-Profilen
ITRM20040242A1 (it) "7-t-butossiimminometilcamptotecina coniugata in posizione 20 con antagonisti delle integrine.

Legal Events

Date Code Title Description
MK07 Expiry

Effective date: 20220227