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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen einer Röntgenröhrenanode mit einem Graphitring, einem Targetsubstrat und einer Brennspur.
Röntgenstrahlen werden erzeugt, wenn Elektronen in einem Vakuum im Inneren einer Röntgenröhre freigesetzt, beschleunigt und dann abrupt abgebremst werden. Die Elektronen werden von einem beheizten Glühfaden aus freigesetzt. Eine Hochspannung zwischen einer Anode und einer Kathode beschleunigt die Elektronen und bewirkt, dass sie auf der Anode auftreffen. Die Anode, üblicherweise auch als das Target bezeichnet, kann eine rotierende Scheibe sein, so dass der Elektronenstrahl fortlaufend auf einen anderen Punkt der Targetoberfläche auftrifft. Typischerweise besteht ein rotierendes Target aus einer Brennspur, die mit einem Metallsubstrat entlang einer Schnittstelle verbunden ist. Das Substrat ist mit einem Graphitring verbunden. Das Auftreffen von hochenergetischen Elektronen erzeugt grosse Mengen an Wärme.
Wenn die Warme nicht rasch abgeführt wird, kann sie die Brennspur zerstören. Das Metallsubstrat führt die Wärme von der Brennspur ab und zu dem Graphitring, welcher als Wärmesenke wirkt. Die Wärme wird von dem Graphitring an die Umgebung abgegeben.
Die Anodenanordnung der Röntgenröhre enthält das rotierende Scheibentarget und einen Rotor, welcher ein Teil einer Motoranordnung ist, die das Target in Drehung versetzt. Ein Stator ist ausserhalb der Röntgenröhrenvakuumeinhüllung vorgesehen und überlappt den Rotor um etwa zwei Drittel. Die Röntgenröhre ist in einem Schutzgehäuse eingeschlossen, das ein Fenster für die erzeugten Röntgenstrahlen aufweist, damit diese die Röhre verlassen können. Das Gehäuse ist mit Öl gefüllt, um die von den Röntgenstrahlen erzeugte Wärme zu absorbieren.
Typischerweise ist das Substrat ein hitzebeständiges Metall und die Targetbrennspur ist ein Metall, das Röntgenstrahlen emittiert. Wolfram alleine oder Wolfram legiert mit anderen Metallen wird bei Röntgenröhrentargets häufig verwendet. Metalle, die manchmal in kleinen Mengen mit dem Wolfram legiert werden, sind z. B. Rhenium, Osmium, Iridium, Platin, Technetium, Ruthenium, Rhodium und Palladium. Röntgenröhrentargets, die zur Gänze aus Wolfram oder Wolframlegierungen gebildet sind, bei denen Wolfram das vorherrschende Metall ist, zeichnen sich durch hohe Dichte und hohes Gewicht aus. Zusätzlich ist Wolfram kerbemfindlich und extrem spröde und unterliegt daher der Gefahr eines Totalausfalles.
Wegen dieser Nachteile weisen Röntgenröhrentargets typischerweise eine Targetbrennspur aus Wolfram oder einer Wolframlegierung und ein Targetsubstrat aus einem anderen Metall oder einer anderen Legierung auf. Typischerweise werden Molybdän und Molybdänlegierungen für das Targetsubstrat verwendet.
Die Targetbrennspur und das Targetsubstrat können unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten ("WAK") haben. Beispielsweise kann ein Substrat aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung einen höheren Wärmeausdehnungskoeffizienten haben sowohl als die Brennspur als auch der Graphitträger. Das Molybdän- oder Molybdänlegierungssubstrat dehnt sich stärker aus als Wolfram oder Graphit, wenn es einem Erhitzungszyklus unterworfen wird. Somit werden im Betrieb der Röhre hohe Beanspruchungen an der Brennspur/Substrat-Schnittstelle und an der Substrat/Graphit-Schnittstelle erzeugt. Die ungleiche Wärmedehnung der Targetbrennspur, des Targetsubstrates und des Graphiträgers, verbunden mit der im Betrieb erzeugten Zentrifugalkraft, übt ein Biegemoment auf das Substrat aus, welches das Bestreben hat, die Aussenkante des Substrates vom Graphitring wegzubewegen.
Das Targetsubstrat kann springen oder auf andere Weise geschwächt werden und sich vom Graphitring lösen. Somit besteht ein Bedarf für ein Röntgentarget, das einer Ablösung an der Targetsubstrat/Targetgraphitring-Schnittstelle widersteht.
Die Erfindung zielt darauf ab, ein Verfahren zum Herstellen einer Röntgenröhrenanode zu schaffen, welches zur Folge hat, dass ein Ablösen zwischen Targetsubstrat und Graphitring im Betrieb verhindert wird. Die Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen einer Röntgenröhrenanode mit einem Graphitring, einem Targetsubstrat und einer Brennspur, bei welchem ein Ab- schnitt des Targetsubstrates auf dem Graphitring ausgebildet wird ;
Bildung einer Einsatzschicht eine Aufschlämmung aus einem Lösungsmittel und einem Bindemittel mit einem Material gebildet wird, das einen Wärmeausdehnungskoeffizienten hat, der gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der Brennspur ist oder zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten eines Materials des Targetsubstrates und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der Brennspur liegt, wobei ein gleichmässiger Film der Aufschlämmung auf eine Oberfläche gegossen und das Lösungsmittel aus der Aufschlämmung verdampft wird, um die Einsatzschicht zu bilden, worauf die Einsatzschicht von der Oberfläche entfernt und auf den Abschnitt des Targetsubstrates
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aufgebracht wird,
ein weiterer Abschnitt des Targetsubstrates auf die Einsatzschicht aufgebracht wird und die Brennspur auf die genannten Substratabschnitte aufgebracht wird, um die Röntgenröhrenanode herzustellen.
Es sei erwähnt, dass die US 3 969 131 A bereits ein Verfahren offenbart, bei dem ein Graphitkörper in einer Halogenatmosphäre wärmebehandelt, zu einer vordefinierten Form und Oberfläche spanabhebend bearbeitet, ultraschallgereinigt und abschliessend eine Metallkarbidschicht aufgedampft wird. Es wird jedoch keine Einsatzschicht vorgesehen. Ferner beschreibt die US 4 641 334 A ein Verfahren, bei dem mehrere Schichten im Vakuum unter Anwendung von Druck metallurgisch zu einem Laminat verbunden werden, welches zwischen einem Graphitkörper und einer metallischen Oberfläche angeordnet und mit diesen im gleichen Verfahrensschritt ebenfalls metallurgisch verbunden wird. Es werden bei diesem Verfahren jedoch mehrere Einsatzschichten aus unterschiedlichen Materialien vorgesehen.
Nach einem anderen Verfahrensmerkmal der Erfindung umfasst der Schritt des Aufbringens der Brennspur das Giessen einer Aufschlämmung eines Metallpulvers in einem Lösungsmittel, welches ein Bindemittel enthält, auf eine Giessoberfläche; das Verdampfen des Lösungsmittels aus der Aufschlämmung, um ein flexibles Band zu erzeugen, das entfernbar an der Giessoberfläche anhaf- tet ; das Verdichten des Bandes, um seine Grünfestigkeit zu erhöhen ; dasAblösen des verdichteten Bandes von der Giessoberfläche; das Aufbringen des verdichteten Bandes auf die genannten Röntgentargetsubstratabschnitte ; und das Verdampfen des Bindemittels aus dem Band bei einer Temperatur, die kleiner ist als die Schmelztemperatur des Metalls und des Targetsubstrates, um die Brennspur zu bilden.
Vorzugsweise wird im Rahmen der Erfindung ein Pack aus dem Brennspurmetall gebildet, das auf das hitzebeständige Metalltargetsubstrat bildende Material aufgebracht wird, und das Pack gesintert, um die Röntgenröhrenanode herzustellen.
Gemäss einer weiteren Ausführungsform wird als Material des genannten Targetsubstrates, wie an sich bekannt, eine Titan-Zirkonium-Molybdän-Legierung verwendet. Ferner kann das Material der Brennspur, wie an sich bekannt, Wolfram oder eine Wolframlegierung aufweisen.
Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Herstellen einer Röntgenröhre, bei welchem eine Röntgenröhrenanode hergestellt wird und die Röntgenröhrenanode an einer Anordnung aus einem Rotor, einer Achse und einer Nabe montiert wird.
Die Erfindung wird nun an einem Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Fig. 1 ist ein Querschnitt einer Röntgenröhrentarget- und -schaftanordnung und Fig. 2 eine Draufsicht der Anordnung nach Fig. 1, welche das Targetsubstrat und die Brennspur zeigt ; Fig. 3 ist eine schematische Darstellung eines Verfahrens zum Herstellen eines Röntgentargets ; Fig. 4 ist eine Darstellung der Verschiebung eines Targets und Graphitringes ohne eine zusätzliche Targeteinsatzschicht, wobei diese Darstellung durch Computersimulation einer Target- reaktion auf einen Röntgenröhrenbetrieb erzeugt wurde ;
Fig. 5 ist eine Darstellung der Ver- schiebung eines Targets und eines Graphitringes mit einer zusätzlichen Targeteinsatzschicht gemäss der Erfindung, welche Darstellung durch Computersimulation der Targetreaktion auf einen Röntgenröhrenbetrieb erzeugt wurde.
Der Wärmeausdehnungskoeffizient, im weiteren WAK genannt, für ein Röntgentargetbrennspursubstrat unterscheidet sich von dem WAK sowohl der Brennspur als auch des Graphitträgers.
Der Unterschied erzeugt einen Biegemoment auf dem Substrat, welches das Bestreben hat, die Aussenkante des Substrates vom Röntgentargetgraphitring wegzubewegen. Das Biegemoment bewirkt ein Ablösen an der Substrat/Graphitring-Schnittstelle. Gemäss der Erfindung wird zumindest eine Schicht aus einem anderen Material als Teil des Targetsubstrats vorgesehen. Die Materialschicht ist durch einen WAK gekennzeichnet, der gleich dem WAK der Targetbrennspur ist oder zwischen dem WAK der Targetbrennspur und dem WAK des Substrates liegt. Bevorzugt ist die Schicht dasselbe Material wie die Targetbrennspur. Die eingefügte WAK-Schicht wirkt der grossen Expansion des Substrates während des Röhrenbetriebes entgegen. Die geringere Substratexpansion führt zu geringeren Beanspruchungspegeln an der Substrat/Graphit-Schnittstelle.
Das erzielte Röntgentarget hat eine verbesserte Widerstandsfähigkeit gegenüber einem Ablösen an der Target/ Graphitring-Schnittstelle.
Gemäss dem Verfahren wird das Röntgentarget gebildet, indem zunächst eine Aufschlämmung eines Pulvers in einem organischen Lösungsmittel, das ein Bindemittel enthält, auf eine Giessober-
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fläche gegossen wird. Das organische Lösungsmittel wird aus der Aufschlämmung verdampft, um eine flexible Schicht zu erzeugen, die entfernbar an der Giessoberfläche anhaftet. Die Schicht wird verdichtet, um ihre Grünfestigkeit zu erhöhen, und dann von der Giessoberfläche abgelöst. Die verdichtete Schicht wird auf eine Oberfläche eines Röntgentargetsubstrates aufgebracht und das Bindemittel wird aus der Schicht bei einer Temperatur verdampft, die geringer ist als die Schmelztemperatur des Metalles und des Substrates, um das Röntgentarget zu bilden.
Die Fig. 1 und 2 sind schematische Ansichten einer Darstellung einer Röntgenröhre 10, welche eine rotierende Anodenanordnung 12 und einen Schaft 14 enthält. Die Anodenanordnung 12 enthält ein Targetsubstrat 16, typischerweise aus der Molybdänlegierung TZM, und eine Targetbrennspur 18, die typischerweise aus einer Wolfram-Rheniumlegierung gefertigt ist. Das Substrat 16 wird an seiner Rückseite von einem Graphitring 20 abgestützt, der mit dem Targetsubstrat 16 hartverlötet ist. Von einer (nicht gezeigten) Kathode erzeugte Elektronen treffen auf der Brennspur 18 auf, welche Röntgenstrahlen emittiert.
Die Anodenanordnung 10 wird von einem Induktionsmotor in Drehung versetzt, der einen zylindrischen Rotor 24 aufweist, welcher um eine Achse 26 herum gebaut ist. Die Achse 26 trägt das scheibenförmige Targetsubstrat 16 mit der Brennspur 18 auf der Vorderseite und dem Graphitring 20 auf der Rückseite. Die Anodenanordnung 12 ist über einen Stiel 14 und eine Nabe 28 mit dem Rotor 24 und der Achse 26 verbunden, welche Lager zur leichteren Drehung enthält. Der Rotor 24 der Drehanodenanordnung 10 wird von einem Stator-Induktionsmotor angetrieben und befindet sich auf anodischem Potential, wogegen der Stator elektrisch geerdet ist.
In einer typischen Röntgenröhre sind die Anoden- und Kathodenanordnung in einem Vakuumrahmen versiegelt und in einem wärmeleitendem Metallgehäuse montiert. Ein Isolationsmaterial ist zwischen dem Stator und dem Glasrahmen und Rotor vorgesehen.
Gemäss der Erfindung wird die Targetbrennspur 18 auf dem Targetsubstrat 16 durch ein Bandgiessverfahren hergestellt. Fig. 3 zeigt schematisch ein Verfahren zum Herstellen eines Röntgentargets mit einem ersten Schritt 32, in welchem metallische Legierungspulver mit einem inerten Lösungs- und Bindemittel aufgeschlämmt werden, wie einem Polyethylenoxid oder einem vollständig gesättigten Aliphaten wie Hexan, Heptan oder einer organischen oder wasserbasierenden Mischung wie Polyethylenoxid/Wasser oder Toluol/Polyvinylbutyral od. dgl., welche zwischen etwa Zimmertemperatur und etwa 200 C verdampft. Das Lösungsmittel enthält ein Bindemittel, welches das Metallpulver zusammenhält und ohne Rückstand sauber ausbrennt.
Das Metallpulver ist bevorzugt Wolfram oder ein Wolframlegierungspulver wie Wolfram/ Rhenium (W-Re). Andere geeignete Metalle und Legierungen wie Rhenium, Rodium, Molybdän oder andere Schwermetalle können jedoch ebenfalls verwendet werden. Die Metalle und Legierungen werden hauptsächlich wegen ihrer hohen Schmelzpunkte ausgewählt (>1500 C). Das W-Re wird mit Hilfe herkömmlicher Pulververarbeitungstechniken zubereitet. Die Teilchengrösse des Pulvers sollte kleiner als 15 Mikrometer im Durchmesser betragen.
Das Metallpulver kann zwischen etwa 50 und etwa 98 Gew.-%, wünschenswerterweise zwischen etwa 84 oder etwa 96 Gew.-%, und bevorzugt zwischen etwa 87 und etwa 94 Gew.-% der Aufschlämmung betragen. Das Bindemittel kann zwischen etwa 5 und etwa 20 Gew.-%, wünschenswerterweise zwischen etwa 7 und etwa 16 Gew.-%, und bevorzugt zwischen etwa 8 und etwa 13 Gew. -% der Aufschlämmung betragen. Verschiedene bekannte Aufschlämmungsmodifikatoren können verwendet werden, um die Viskosität und andere Eigenschaften zu steuern, solange sie sauber und ohne Rückstand während des Sinterns ausbrennen. Der viskose Charakter des organischen Trägers und die feine Teilchengrösse wirken zusammen, um verhältnismässig stabile Aufschlämmungen zu bilden, die einem allzu raschen Absetzen widerstehen.
Destilliertes Wasser kann bei wasserbasierenden Systemen der Aufschlämmung hinzugefügt werden, um die Viskosität einzustellen, damit eine glatte Konsistenz geschaffen wird, die für das Giessen geeignet ist. Das destillierte Wasser kann langsam hinzugegeben werden, während die Konsistenz der Aufschlämmung beobachtet wird, bis die Aufschlämmung fliessen kann, wenn sie um einen Winkel von 45 gegenüber der Vertikalen gekippt wird. Die Aufschlämmung kann entlüftet werden. Das Entlüften kann während des anfänglichen Mischens der Aufschlämmung in einer Vakuummischvorrichtung durchgeführt werden. Der Vakuumpegel kann weniger als eine Atmosphäre betragen, typischerweise weniger als etwa 1,0 x 10-2 Torr.
Die Aufschlämmung kann dann auf eine Giessoberfläche gegossen werden (34), welche bevor-
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zugt ein Polytetrafluorethylen (Teflon), ein Glycol, Terephthalsäurepolyester (Mylar, ein Cello- phan oder ein Celluloseacetat ist. Jegliche Verteilvorrichtung für das Regeln der Menge an viskosem Material, das auf einer Oberfläche abgelagert wird, kann dazu verwendet werden, um die Aufschlämmung zu giessen. Beispielsweise eignet sich eine Abziehklinge mit einer Walzvorrichtung. Eine geeignete Abziehklingenausrüstung (Rakelvorrichtung) wird von HED International, ProCast Division, und anderen Herstellern zur Verfügung gestellt. Die Aufschlämmung kann auf eine Oberfläche gegossen werden und die Klinge bzw.
Rakel wird dann durch die Aufschlämmung hindurchgeführt, um die Aufschlämmung zu nivellieren, oder die Aufschlämmung kann in eine Abziehklingenvorrichtung eingebracht und unter der Kante der Abziehklinge aufgetragen werden, um ein flaches Band mit einer Breitenabmessung zu schaffen, die grösser ist als der gewünschte Durchmesser der Brennspur.
Das Verfahren kann weitere Schritte wie Mahlen und Filtern umfassen, falls notwenig oder gewünscht. Zusätzlich können andere Verfahren zum Ausbilden eines Grünlingsbandes verwendet werden, z.B. ein Walzenkompaktieren, Schlickergiessen, Aufschlämmungssprühen, thermisches Sprühen und Wasserfallgiessen.
Das Lösungsmittel wird aus der gegossenen Aufschlämmung verdampft (36), um ein flexibles Band zu erzeugen, das entfernbar an der Giessoberfläche anhaftet. Die Verdampfungsrate kann gesteuert werden, indem die Feuchtigkeit kontrolliert wird, um die Ausbildung von Sprüngen zu vermeiden. Beispielsweise kann die Feuchtigkeit auf etwa 85% bis etwa 95% bei Raumtemperatur gesteuert werden, indem das trocknende Band in einer Umhüllung eingeschlossen wird, um eine höhere Feuchtigkeit zu erreichen, oder indem ein Gegenstrom aus Luft, begrenzt auf einen kleinen Bereich, verwendet wird, um eine geringere Feuchtigkeit zu erreichen. Eine langsame Verdampfungsrate wird bevorzugt. Wenn die Aufschlämmung mit entionisiertem Wasser zubereitet ist, kann die Verdampfung bei einer Temperatur von weniger als etwa 93 C durchgeführt werden.
Bevorzugt wird die Verdampfung bei etwa Raumtemperatur (26 C) ausgeführt. Nach der Verdampfung wird eine fehlerfreie flache Schicht erhalten.
Die Oberfläche und die gegossene Schicht sind ausreichend flexibel, so dass sie als eine Einheit gehandhabt oder aufbewahrt oder unmittelbar durch Beschneiden geformt werden können (38). Bevorzugt wird das Band zu einer Kreisform zugerichtet, um Schichten für das direkte Pressen als Targetbrennspur zu schaffen. In einem Aspekt können Ringe geeigneter Grösse mit Hilfe einer Gesenkpresse od. dgl. aus dem Band ausgestanzt werden. Nach dem Formen wird das Band von der Giessoberfläche abgelöst und zu einer Brennspur auf einem Targetsubstrat geformt. Bevorzugt wird das Band in einer Ringform in eine Gesenkpresse eingesetzt, z.B. eine übliche hydraulische Gesenkpresse, die einen Druck von bis zu 1500 Tonnen aufbringen kann. Ein Metallpulver zur Bildung des Targetsubstrats kann auf die Oberseite des ringförmigen Bandes aufgebracht und gepresst werden (40), um ein Pack zu bilden.
Molybdänlegierungen wie Titanium-ZirkoniumMolybdän (TZM) sind geeignete Metalle, um das Targetsubstrat zu bilden. Das Pack kann in der Pressform durch Aufbringen einer Kompressionskraft von typischerweise zwischen etwa 32 t/cm2 und etwa 226 t/cm2, wünschenswerterweise zwischen etwa 65 t/cm2 und etwa 194 t/cm2, bevorzugt zwischen etwa 97 t/cm2 und etwa 162 t/cm2, komprimiert werden.
In einer Ausführungsform der Erfindung kann eine ringförmige Pressform verwendet werden, um einen dicken Ring aus gegossenem Metall zu begrenzen. Nach dem Nivellieren und Trocknen kann der dicke Ring entnommen und für die weitere Verarbeitung verwendet werden, um eine dicke Schicht zu schaffen, die in der Pressform für die Ausbildung von dicken Brennspuren verwendet wird, anstelle mehrerer dünner Bänder.
Als nächstes kann das komprimierte Pack gesintert werden (42), um das Bindemittel auszubrennen. Das Pack kann in einen geeigneten Ofen eingebracht werden, z.B. einen Wasserstoffoder Vakuumofen, und einer Temperatur zwischen etwa 2000 C und etwa 2200 C über eine Zeitspanne zwischen etwa 5 Stunden und etwa 10 Stunden unter einem Vakuum von etwa 10 bis etwa 20 um Quecksilbersäule unterworfen werden.
Das Pack wird dann bei 1500 C in einer Wasserstoffatmosphäre vorerhitzt und auf einer mechanischen Presse geschmiedet (44). Typischerweise wird der Schmiedeschritt in einer Presse mit einer aufgebrachten Kraft von etwa 400 t/cm2 bis etwa 800 t/cm2 durchgeführt. Das Röntgenröhrentarget wird dann vom Schmiedestempel entfernt.
Die folgenden Beispiele veranschaulichen die Erfindung.
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BEISPIEL 1
Zwei Konfigurationen wurden in ANSYS modelliert. ANSYS ist ein Computerprogramm, das zur Simulation des Verhaltens von Materialien verwendet wird, wenn diese thermomechanischen Beanspruchungen unterworfen werden, wie im Röhrenbetrieb. Verschiebungsdiagramme wurden für die beiden Konfigurationen ermittelt und sind in den Fig. 4 und 5 gezeigt. Ein Vergleich der Fig. 3 und 4 zeigt, dass das Einfügen einer Schicht mit einem geringeren WAK als dem WAK des Substrates das Ausmass an Verschiebung reduziert, welchem das Target im Röhrenbetrieb unterworfen ist. Die Ergebnisse der Modellierungsanalyse sind in der nachstehenden Tabelle angeführt.
TABELLE
EMI5.1
<tb>
<tb> Design <SEP> Minimal <SEP> Maximal <SEP> Durchschnitt
<tb> Anfänglich <SEP> (mm) <SEP> 0,215 <SEP> 0,558 <SEP> 0,3865
<tb> Rückenverstärkung <SEP> (mm)-0,145 <SEP> 0,207 <SEP> 0,031
<tb>
Die Ergebnisse zeigen klar, dass die Ausbildung gemäss der Erfindung zu einem geringeren Biegeversatz führt.
Obwohl nur bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beschrieben wurden, kann die vorliegende Erfindung variiert und modifiziert werden und ist nicht auf die genauen Details der Beispiele beschränkt. Die Erfindung umfasst alle Abänderungen und Variationen, die in den Rahmen der angeschlossenen Ansprüche fallen.
PATENTANSPRÜCHE :
1. Verfahren zum Herstellen einer Röntgenröhrenanode (12) mit einem Graphitring (20), einem Targetsubstrat (16) und einer Brennspur (18), bei welchem ein Abschnitt des Targetsubstrates (16) auf dem Graphitring (20) ausgebildet wird; zur Bildung einer Einsatzschicht (22) eine Aufschlämmung aus einem Lösungsmittel und einem Bindemittel mit einem Material gebildet wird, das einen Wärmeausdehnungskoeffi- zienten hat, der gleich dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der Brennspur (18) ist oder zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten eines Materials des Target- substrates (16) und dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der Brennspur (18) liegt, wobei ein gleichmässiger Film der Aufschlämmung auf eine Oberfläche gegossen und das Lösungsmittel aus der Aufschlämmung verdampft wird, um die Einsatzschicht (22) zu bilden,
worauf die Einsatzschicht (22) von der Oberfläche entfernt und auf den Ab- schnitt des Targetsubstrates (16) aufgebracht wird, ein weiterer Abschnitt des Targetsubstrates (16) auf die Einsatzschicht (22) aufgebracht wird und die Brennspur (18) auf die genannten Substratabschnitte aufgebracht wird, um die Rönt- genröhrenanode (12) herzustellen.