AT388884B - Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung - Google Patents
Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladungInfo
- Publication number
- AT388884B AT388884B AT23088A AT23088A AT388884B AT 388884 B AT388884 B AT 388884B AT 23088 A AT23088 A AT 23088A AT 23088 A AT23088 A AT 23088A AT 388884 B AT388884 B AT 388884B
- Authority
- AT
- Austria
- Prior art keywords
- cleaning
- gas discharge
- different material
- parts made
- surface parts
- Prior art date
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 title 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/048—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using irradiation by energy or particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
- C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G5/00—Cleaning or de-greasing metallic material by other methods; Apparatus for cleaning or de-greasing metallic material with organic solvents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT23088A AT388884B (de) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung |
| DE19893902418 DE3902418A1 (de) | 1988-02-05 | 1989-01-27 | Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung |
| ES8900399A ES2010857A6 (es) | 1988-02-05 | 1989-02-03 | Procedimiento para limpiar una pieza de trabajo metalica con partes superficiales de material diferente mediante bombardeo de iones de una descarga gaseosa. |
| BR898900523A BR8900523A (pt) | 1988-02-05 | 1989-02-03 | Processo para limpeza de peca de trabalho metalica,processo para limpeza de mancal deslizante e mancal deslizante de colar |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| AT23088A AT388884B (de) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ATA23088A ATA23088A (de) | 1989-02-15 |
| AT388884B true AT388884B (de) | 1989-09-11 |
Family
ID=3485008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| AT23088A AT388884B (de) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| AT (1) | AT388884B (enrdf_load_stackoverflow) |
| BR (1) | BR8900523A (enrdf_load_stackoverflow) |
| DE (1) | DE3902418A1 (enrdf_load_stackoverflow) |
| ES (1) | ES2010857A6 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2141005C1 (ru) * | 1997-03-28 | 1999-11-10 | Баранов Александр Михайлович | Способ уменьшения шероховатости поверхности и устройство для его осуществления |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3508004A1 (de) * | 1984-03-06 | 1986-07-10 | ASM-Fico Tooling B.V., Herwen | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von formen |
| US4668366A (en) * | 1984-08-02 | 1987-05-26 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical figuring by plasma assisted chemical transport and etching apparatus therefor |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0058214B1 (en) * | 1981-02-16 | 1985-06-19 | International Business Machines Corporation | Method for increasing the resistance of a solid material surface against etching |
| JPS62240776A (ja) * | 1986-04-11 | 1987-10-21 | Canon Inc | エツチングマスクパタ−ンの作製方法 |
-
1988
- 1988-02-05 AT AT23088A patent/AT388884B/de not_active IP Right Cessation
-
1989
- 1989-01-27 DE DE19893902418 patent/DE3902418A1/de active Granted
- 1989-02-03 BR BR898900523A patent/BR8900523A/pt not_active Application Discontinuation
- 1989-02-03 ES ES8900399A patent/ES2010857A6/es not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3508004A1 (de) * | 1984-03-06 | 1986-07-10 | ASM-Fico Tooling B.V., Herwen | Verfahren und vorrichtung zum reinigen von formen |
| US4668366A (en) * | 1984-08-02 | 1987-05-26 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical figuring by plasma assisted chemical transport and etching apparatus therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2010857A6 (es) | 1989-12-01 |
| ATA23088A (de) | 1989-02-15 |
| DE3902418C2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1990-11-22 |
| DE3902418A1 (de) | 1989-08-17 |
| BR8900523A (pt) | 1989-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3483823D1 (de) | Verfahren zum steuern eines industriellen roboters entlang einem bogen. | |
| DE3787595D1 (de) | Verfahren zum entfernen von unerwuenschten teilchen von der oberflaeche eines substrats. | |
| DE69218133D1 (de) | Verfahren zum Reinigen eines schädlichen Gases | |
| DE58909875D1 (de) | Verfahren zum Montieren eines oberflächenmontierbaren Opto-Bauelements | |
| DE69402864D1 (de) | Verfahren zum schneiden eines materials nach vorbestimmten schnittbahnen | |
| DE4491316T1 (de) | Verfahren zum Steuern der Zufuhr eines Konditioniermittels zu einem elektrostatischen Abscheider | |
| DE69702452D1 (de) | Verfahren zum behandeln eines scheibens mit einem plasmastrahl | |
| DE69005592D1 (de) | Verfahren zum verhindern einer falschen projektion eines laserstrahles in einem laserroboter. | |
| DE69220617D1 (de) | Verfahren zur Rückgewinnung eines Platingruppenmetalls | |
| DE59308916D1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines hochtemperatur-festen Bauteils aus zwei unterschiedlichen Werkstoffen | |
| DE59304702D1 (de) | Verfahren zum beloten einer metallischen struktur, insbesondere von teilbereichen eines wabenkörpers | |
| DE3681077D1 (de) | Verfahren zum reinigen eines werkstuecks nach maschineller bearbeitung mit einem schneidenden instrument. | |
| DE3484059D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum beschichten eines substrats. | |
| DE69313590D1 (de) | Verfahren zum Steuern des Betriebs eines Roboterarms | |
| ATA67494A (de) | Verfahren zum beschichten von werkstücken aus einem kunststoffmaterial | |
| DE68927628D1 (de) | Methode zur Reduktion der Oberflächenreflektivität einer Metallschicht während der Bearbeitung eines Halbleiterbauteils | |
| DE69131889D1 (de) | Elektrochemisches Verfahren zum Abziehen einer Metallbeschichtung von einem Metallsubstrat auf Titanbasis | |
| AT381121B (de) | Verfahren zum entzundern eines metallgegenstandes | |
| DE69423945D1 (de) | Verfahren zum Reinigen eines Substrates | |
| AT388884B (de) | Verfahren zum reinigen eines metallischen werkstueckes mit oberflaechenteilen aus verschiedenem werkstoff durch ionenbeschuss aus einer gasentladung | |
| DE69109039D1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Abziehen eines Blattes oder einer Schicht von einem Werkstück. | |
| DE59305462D1 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Trocknen eines nach einer Bearbeitung mit einer Reinigungsflüssigkeit gereinigten Werkstücks | |
| DE69207018D1 (de) | Verfahren zur Führung eines Roboterarmes durch definieren von Ersatzstrecken | |
| DE4397508T1 (de) | Verfahren zum Bearbeiten eines Schraubgetriebes durch Schleifen | |
| DE59307376D1 (de) | Verfahren zum Reinigen eines Rauchgasstromes mit Hilfe einer Waschflüssigkeit |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| REN | Ceased due to non-payment of the annual fee |