AT247097B - Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Überziehen eines Substrats mit einer Vielzahl von Schichten

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Robert Leland Shrader
Maurice Eugene Tyler
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Temescal Metallurgical Corp
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3506671A1 (de) * 1985-02-05 1986-08-07 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Dampfquelle fuer vakuumbeschichtungsanlagen

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3277865A (en) * 1963-04-01 1966-10-11 United States Steel Corp Metal-vapor source with heated reflecting shield
US3467057A (en) * 1966-07-27 1969-09-16 Hitachi Ltd Electron beam evaporator
CA997228A (en) * 1972-06-27 1976-09-21 Hans-Juergen C. Blume Deposition of films
DE2917841A1 (de) * 1979-05-03 1980-11-13 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verdampfer fuer vakuumaufdampfanlagen
DE3200848C2 (de) * 1982-01-14 1984-09-27 GfO Gesellschaft für Oberflächentechnik mbH, 7070 Schwäbisch Gmünd Vorrichtung zum Beschicken von Verdampfern in Aufdampfanlagen
DE3316554C1 (de) * 1983-05-06 1984-07-12 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verdampfervorrichtung mit Strahlheizung zum Aufdampfen mehrerer Materialien
GB8726639D0 (en) * 1987-11-13 1987-12-16 Vg Instr Groups Ltd Vacuum evaporation & deposition
DE102004006849B4 (de) * 2004-02-12 2011-06-01 Ald Vacuum Technologies Ag Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
DE102010017896A1 (de) * 2010-04-21 2011-10-27 Ald Vacuum Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten nach dem EB/PVD-Verfahren
EP2868768B1 (en) 2013-10-29 2021-06-16 Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon Shutter system

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE895086C (de) * 1942-04-15 1953-10-29 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung metallischer Niederschlaege durch thermische Verdampfung
DE882174C (de) * 1942-10-07 1953-07-06 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Verdampfen von Stoffen im Vakuum mittels Elektronenstrahlen
US2482329A (en) * 1946-05-27 1949-09-20 Rca Corp Apparatus for selective vapor coating
GB754102A (en) * 1951-06-22 1956-08-01 Edwards & Co London Ltd W Improvements in or relating to a method and apparatus for vapourising materials, forexample, metal in vacuum
CH311812A (de) * 1951-11-05 1955-12-15 Zeiss Carl Fa Aufdampfeinrichtung.
BE514927A (US07714131-20100511-C00038.png) * 1952-01-22
DE1072451B (de) * 1955-07-06 1960-06-02 English Electric Valve Company Limited, London Vorrichtung zur Herstellung von Überzügen durch Vakuumaufdampfen
US2932588A (en) * 1955-07-06 1960-04-12 English Electric Valve Co Ltd Methods of manufacturing thin films of refractory dielectric materials
DE1054802B (de) * 1956-03-05 1959-04-09 Westinghouse Electric Corp Verfahren zur Verdampfung von Stoffen, insbesondere zur Erzeugung der UEbergangszonen (junctions) von Transistoren
US3046936A (en) * 1958-06-04 1962-07-31 Nat Res Corp Improvement in vacuum coating apparatus comprising an ion trap for the electron gun thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3506671A1 (de) * 1985-02-05 1986-08-07 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden Dampfquelle fuer vakuumbeschichtungsanlagen

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Publication number Publication date
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DE1298833B (de) 1969-07-03
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CH414303A (de) 1966-05-31
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