AT14677U1 - Verschlusseinrichtung - Google Patents

Abstract

Verschlusseinrichtung (1), insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung, wobei die Verschlusseinrichtung (1) ein Verschlussorgan (2) zum Verschließen einer länglich erstreckten Öffnung (3) aufweist, wobei das Verschlussorgan (2) in einer Abdeckstellung eine Öffnungsfläche (6) der Öffnung (3) vollständig abdeckt und in einer Freigabestellung die Öffnung (3) zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, freigibt, wobei die die Öffnung (3) in der Abdeckstellung abdeckende Fläche (4) des Verschlussorgans (2) zumindest doppelt so lang wie breit ist, wobei die Verschlusseinrichtung (1) zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung um eine Schwenkachse (5) der Verschlusseinrichtung (1) schwenkbar gelagert ist und die Schwenkachse (5) parallel zu einer Flächennormalen (7) auf die Öffnungsfläche (6) angeordnet ist.

Description

Beschreibung [0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verschlusseinrichtung, insbesondere Vakuumver¬schlusseinrichtung, wobei die Verschlusseinrichtung ein Verschlussorgan zum Verschließeneiner länglich erstreckten Öffnung aufweist, wobei das Verschlussorgan in einer Abdeckstellungeine Öffnungsfläche der Öffnung vollständig abdeckt und in einer Freigabestellung die Öffnungzumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, freigibt, wobei die die Öffnung in der Abdeckstel¬lung abdeckende Fläche des Verschlussorgans zumindest doppelt so lang wie breit ist.

[0002] Verschlusseinrichtungen bzw. Ventile, welche dazu vorgesehen sind, Öffnungen zuverschließen, welche deutlich länger als breit ausgebildet sind, werden heutzutage beim Standder Technik als sogenannte L-Ventile ausgeführt. Beispiele hierfür finden sich in derUS 2014/0021396 A1 und in der US 6,899,316 B2. Gemeinsam ist allen diesen beim Stand derTechnik bekannten gattungsgemäßen Verschlusseinrichtungen, dass das meist plattenförmigeVerschlussorgan zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung linear bewegt wird.

[0003] Aufgabe der Erfindung ist es, eine alternative Verschlusseinrichtung der oben genanntenArt zur Verfügung zu stellen, mit der möglichst schnelle Öffnungs- und Schließvorgänge, alsogeringe Verschlusszeiten realisierbar sind.

[0004] Um dies zu erreichen, sieht die Erfindung vor, dass die Verschlusseinrichtung zwischender Öffnungsstellung und der Abdeckstellung um eine Schwenkachse der Verschlusseinrich¬tung schwenkbar gelagert ist und die Schwenkachse parallel zu einer Flächennormale auf dieÖffnungsfläche angeordnet ist. Im Unterschied zum Stand der Technik wird die Verschlussein¬richtung also zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung nicht linear bewegt son¬dern um eine Schwenkachse verschwenkt. Hierdurch werden sehr kurze Verschlusszeiten, alsoein schnelles Schließen und Öffnen möglich. Die Schwenkachse liegt dabei parallel zu einerFlächennormale auf die Öffnungsfläche. Die Flächennormale steht orthogonal auf einer Ebene,in welcher die Fläche der Öffnung, also die Öffnungsfläche liegt. In anderen Worten schließt dieFlächennormale also mit jeder sie schneidenden und in der Ebene der Öffnungsfläche verlau¬fenden Gerade einen senkrechten Winkel ein. Zum Betrieb einer erfindungsgemäßen Ver¬schlusseinrichtung sieht ein Verfahren vor, dass die Verschlusseinrichtung zwischen der Öff¬nungsstellung und der Abdeckstellung um eine Schwenkachse der Verschlusseinrichtung ge¬schwenkt wird, wobei die Schwenkachse parallel zu der Flächennormale auf die Öffnungsflächeangeordnet ist.

[0005] Erfindungsgemäße Verschlusseinrichtungen können auch als Ventil bezeichnet werden.Bei Vakuumverschlusseinrichtungen kann man dann entsprechend auch von einem Vakuum¬ventil sprechen. Das Verschlussorgan der erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung ist günsti¬gerweise plattenförmig ausgebildet. Es wird in der Regel in einer Verschlussstellung unterZwischenschaltung zumindest einer Dichtung gegen einen Sitz bzw. Ventilsitz gedrückt. DieDichtung kann dabei sowohl am Sitz als auch am Verschlussorgan befestigt sein. Die die Öff¬nung in der Abdeckstellung abdeckende Fläche des Verschlussorgans ist die Fläche des Ver¬schlussorgans, mit der die Öffnung in der Abdeckstellung abgedeckt wird. Sie entspricht in ihrerGröße der Öffnungsfläche, also der Fläche der Öffnung.

[0006] In der Abdeckstellung ist die Öffnungsfläche der Öffnung mittels des Verschlussorgansvollständig abgedeckt. Das Verschlussorgan liegt also vollständig in Deckung mit der Öffnungs¬fläche. Dabei muss aber nicht zwingend vorgesehen sein, dass das Verschlussorgan in derAbdeckstellung die Öffnung schon tatsächlich dichtend verschließt. Es kann sich bei der Ab¬deckstellung auch um eine Zwischenstellung handeln, bei der das Verschlussorgan sozusagenschon vollständig vor die Öffnung gefahren ist, sodass das Verschlussorgan die Öffnungsflächeder Öffnung vollständig verdeckt, wobei in dieser Zwischenstellung das Verschlussorgan dieÖffnung aber noch nicht abdichtend verschließt. Es kann somit vorgesehen sein, dass dasVerschlussorgan in der Abdeckstellung von einem um die Öffnung umlaufenden Sitz abgeho¬ben ist und erst in einer Verschlussstellung an den Sitz angedrückt ist, wobei die Bewegungs¬richtungen des Verschlussorgans zwischen der Abdeckstellung und der Verschlussstellung parallel zur Schwenkachse angeordnet sind. Für die Bewegung des Verschlussorgans zwi¬schen der Abdeckstellung und der Verschlussstellung können entsprechende, gegebenenfallszusätzliche, Antriebe vorgesehen sein. Diese können z.B. direkt am Verschlussorgan angeord¬net sein.

[0007] Eine Variante sieht vor, dass sich zumindest ein parallel zur Schwenkachse wirkender,vorzugsweise pneumatischer oder elektrischer, Verschlussantrieb zum Andrücken des Ver¬schlussorgans in der Verschlussstellung an den Sitz an einem, dem Sitz in Richtung parallel zurSchwenkachse gegenüberliegenden, Gegensitz der Verschlusseinrichtung abstützt. Mit demVerschlussantrieb wird dann in der Regel das Verschlussorgan auch wieder vom Sitz abgeho¬ben, also in die Abdeck- bzw. Zwischenstellung gebracht. Dabei ist es z.B. möglich, dass derVerschlussantrieb sich über eine zusätzliche Abstützplatte am Gegensitz abstützt. Bei derAbstützplatte kann es sich um ein zweites Verschlussorgan handeln, welches beim Abstützenam Gegensitz dichtend gegen den Gegensitz gedrückt wird. Der Vollständigkeit halber wirdaber darauf hingewiesen, dass der Gegensitz nicht unbedingt abdichtende Funktionen habenmuss. Es kann sich auch um eine reine Abstützung handeln.

[0008] Abweichend von diesen Varianten der Erfindung, bei denen die Abdeckstellung eineZwischenstellung ist, ist es aber bei erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtungen auch möglich,dass die Abdeckstellung gleich die Verschlussstellung ist, in der die Öffnung vom Verschlussor¬gan nicht nur abgedeckt sondern auch abdichtend verschlossen ist. So ist es z.B. denkbar,dass die Verschlusseinrichtung beim Verschwenken von der Öffnungsstellung in die Ab¬deckstellung um die Schwenkachse der Verschlusseinrichtung gleich gegen einen entspre¬chenden Sitz gedrückt wird, sodass am Ende dieser Schwenkbewegung gleich eine Abdichtungund damit die Verschlussstellung erreicht wird. In diesen Varianten entspricht die Abdeckstel¬lung dann also gleich der Verschlussstellung.

[0009] In der Öffnungsstellung wird die Öffnung von der Verschlusseinrichtung jedenfalls ganzoder teilweise freigegeben. Die Freigabe der Öffnungsstellung erfolgt so weit, dass die für diejeweilige Anwendungsform benötigte Öffnungsfläche freigegeben und damit der benötigte Öff¬nungsquerschnitt zur Verfügung gestellt wird, sodass die gewünschten Gegenstände und/oderFluide durch die Öffnung hindurch geführt werden können.

[0010] Wie eingangs bereits erläutert, sind die Öffnungsfläche und damit auch die die Öffnungin der Abdeckstellung abdeckende Fläche des Verschlussorgans deutlich länger als breit. Mankann in vielen Ausführungsformen auch von einer schlitzartigen Öffnung sprechen. Gemäß derErfindung ist sie zumindest doppelt so lang wie breit. In bevorzugten Ausgestaltungsformen istdie Öffnungsfläche und damit auch die die Öffnung abdeckende Fläche des Verschlussorgansaber zumindest 3- mal oder besonders bevorzugt zumindest 10-mal so lang wie breit. Die Öff¬nungsfläche kann dabei eine rechteckige Form, gegebenenfalls mit abgerundeten Ecken, auf¬weisen.

[0011] Es sind aber auch andere, vorzugsweise polygonartige, Formen möglich, wie z.B. einelanggestreckte Trapezform, bei der die zueinander parallelen Schmalseiten unterschiedlich langsind. Bevorzugt ist das Trapez achsensymmetrisch. Besonders bevorzugt ist vorgesehen, dasseine Schmalseite der die Öffnung in der Abdeckstellung abdeckenden Fläche des Verschluss¬organs zur Schwenkachse weist, unabhängig davon, ob es sich um die genannte Trapezform,eine Rechteckform oder eine sonstige Form handelt. Die Längserstreckung der Öffnung unddamit auch der die Öffnung in der Abdeckstellung abdeckenden Fläche des Verschlussorgansist somit bevorzugt von der Schwenkachse weggerichtet.

[0012] Grundsätzlich ist darauf hinzuweisen, dass weder die Öffnung noch der um die Öffnungumlaufende Sitz, gegen den das Verschlussorgan in der Verschlussstellung gedrückt wird,zwingend Teil der Verschlusseinrichtung selbst sein müssen. Öffnung und Sitz können z.B.auch Teil einer zu verschließenden Prozesskammer oder dergleichen sein. Bevorzugte Ausfüh¬rungsformen von Verschlusseinrichtungen sehen aber vor, dass sowohl die Öffnung als auchder um sie umlaufende Sitz Teil der Verschlusseinrichtung selbst sind. Insbesondere ist dabeigünstigerweise vorgesehen, dass die Verschlusseinrichtung ein Gehäuse aufweist, welches die Öffnung und den bzw. einen um die Öffnung umlaufenden Sitz aufweist. Auch der oben bereitsgenannte Gegensitz der Verschlusseinrichtung kann Teil der Verschlusseinrichtung und insbe¬sondere ihres Gehäuses sein. Der Gegensitz kann eine zweite Öffnung umgeben, welche danngünstigerweise ebenfalls Teil der Verschlusseinrichtung bzw. Teil des Gehäuses ist. Bezeichnetman die Verschlusseinrichtung, wie oben angedeutet, als Ventil, so kann man auch den Sitz alsVentilsitz und den Gegensitz als Gegenventilsitz bezeichnen.

[0013] Besonders bevorzugte Ausgestaltungsformen der Erfindung sehen vor, dass das Ver¬schlussorgan mittels zumindest eines Hebels der Verschlusseinrichtung schwenkbar mit derSchwenkachse verbunden ist, wobei der Hebel einen, zwischen der Schwenkachse und demVerschlussorgan angeordneten, ersten Hebelabschnitt und einen auf der dem Verschlussorgangegenüberliegenden Seite der Schwenkachse angeordneten zweiten Hebelabschnitt aufweist,wobei ein Schwenkantrieb zum Verschwenken des Verschlussorgans um die Schwenkachse,vorzugsweise ausschließlich, am zweiten Hebelabschnitt angreift. Durch diese Verwendungeines sozusagen zweiseitigen Hebels können einerseits die vom Schwenkantrieb zum Ver¬schwenken des Verschlussorgans aufzubringenden Kräfte verringert werden. Andererseits istes aber auch mit dieser Hebelvariante besonders gut möglich, schnelle Verschlusszeiten alsoein relativ schnelles Öffnen und Schließen der Öffnung mittels des Verschlussorgans zu reali¬sieren.

[0014] I m Sinne einer möglichst geringen Baugröße, also eines möglichst geringen Platzbe¬darfs der Verschlusseinrichtung, sehen besonders bevorzugte Varianten vor, dass der zweiteHebelabschnitt zwischen der Schwenkachse und einem Angriffspunkt des Schwenkantriebs amzweiten Hebelabschnitt in sich gekrümmt und/oder in sich abgewinkelt ausgebildet ist. Hier¬durch kann trotz der erzielten Platzersparnis ein günstiges Hebelverhältnis sichergestellt wer¬den. Der zweite Hebelabschnitt ist dabei günstigerweise um mehr als 45°, vorzugsweise ummehr als 60°, in sich gekrümmt und/oder in sich abgewinkelt ausgebildet.

[0015] Handelt es sich bei der Verschlusseinrichtung um eine Vakuumverschlusseinrichtung,also eine Verschlusseinrichtung, die dazu vorgesehen ist, im Unterdruckbereich bzw. im soge¬nannten Vakuumbereich eingesetzt zu werden, so befindet sich der Schwenkantrieb günstiger¬weise außerhalb des Unterdrück- bzw. Vakuumbereichs der Verschlusseinrichtung. Im Unter¬drück- bzw. Vakuumbereich herrschen zumindest in gewissen Betriebszuständen Unterdrückbzw. Vakuum. Bevorzugte Ausgestaltungsformen sehen vor, dass die Verschlusseinrichtung einGehäuse aufweist, in welchem das Verschlussorgan angeordnet ist, wobei der oder ein, dasVerschlussorgan mit der Schwenkachse verbindender Hebel mittels einer schlauchförmigenoder balgförmigen Dichtung gegen das Gehäuse abgedichtet ist. Die schlauch- bzw. balgförmi¬ge Dichtung ummantelt dabei günstigerweise den Hebel zumindest bereichsweise und ist einer¬seits gegen den Hebel und andererseits gegen das Gehäuse abgedichtet. Solche schlauch-oder balgförmigen Dichtungen können aus einem geeigneten Material, z.B. ein Elastomer oderdergleichen, bestehen.

[0016] Beim Schwenkantrieb der Verschlusseinrichtung zum Verschwenken des Verschlussor¬gans um die Schwenkachse handelt es sich günstigerweise um einen Linearantrieb, z.B. umeinen elektrischen oder pneumatischen Linearantrieb.

[0017] Um den Platzbedarf der Verschlusseinrichtung trotz der länglichen Ausführung desVerschlussorgans möglichst gering zu halten, sehen besonders bevorzugte Ausgestaltungsfor¬men der Erfindung vor, dass das Verschlussorgan mittels des oben bereits genannten Hebelsoder eines sonstigen Hebels der Verschlusseinrichtung mit der Schwenkachse verbunden istund das Verschlussorgan über eine zusätzliche Schwenkachse schwenkbar am Hebel gelagertist. Die zusätzliche Schwenkachse liegt dabei günstigerweise parallel zu der oben bereits ge¬nannten Schwenkachse und/oder von dieser distanziert. Zum Schwenken des Verschlussor¬gans um die zusätzliche Schwenkachse kann grundsätzlich auch ein zusätzlicher Schwenkan¬trieb vorgesehen sein. Besonders günstige Ausgestaltungsformen der Erfindung sehen abervor, dass das Verschwenken des Verschlussorgans um die zusätzliche Schwenkachse relativzum Hebel ausschließlich schwerkraftbetätigt erfolgt.

[0018] Wie bereits eingangs erläutert, werden erfindungsgemäße Verschlusseinrichtungen bzw.Ventile besonders bevorzugt in der sogenannten Vakuumtechnik z.B. zum Verschließen vonProzesskammern oder dergleichen eingesetzt. Oft geht es in der Vakuumtechnik darum, z.Belektronische Bauteile oder dergleichen unter Reinraumbedingungen bzw. Unterdrück herzu¬stellen und/oder zu bearbeiten. Von Vakuumtechnik spricht man in diesem Zusammenhanginsbesondere, wenn Betriebszustände mit Drücken kleiner oder gleich 0,001 mbar (Millibar)bzw. 0,1 Pascal erreicht werden. Vakuumverschlusseinrichtungen bzw. Vakuumventile sindVentile, die für diese Druckbereiche und entsprechende Differenzdrücke zur Umgebung ausge¬legt sind.

[0019] Zur Erläuterung weiterer bevorzugter Merkmale und Eigenschaften verschiedener Aus¬gestaltungsformen der Erfindung werden nachfolgend drei erfindungsgemäße Ausführungsbei¬spiele von Verschlusseinrichtungen, insbesondere Vakuumverschlusseinrichtungen, erläutert.Es zeigen: [0020] Fig. 1 bis 12 ein erstes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel; [0021] Fig. 13 bis 24 ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel und [0022] Fig. 25 bis 36 ein drittes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel.

[0023] Beim ersten Ausführungsbeispiel zeigt Fig. 1 eine perspektivische Ansicht auf die Ver¬schlusseinrichtung 1. Fig. 2 und 3 zeigen Frontalansichten aus einer Richtung parallel zur Flä¬chennormale 7 auf die Öffnungsfläche 6 der Öffnung 3. Fig. 4 zeigt eine Seitenansicht aus einerRichtung orthogonal zur genannten Flächennormale 7 also parallel zur Öffnungsfläche 6. Fig. 5zeigt die Verschlusseinrichtung 1 in einem Schnitt entlang der Schnittlinie BB aus Fig. 4, die sodargestellt ist, wie das Verschlussorgan 2 in dieser Ansicht sowohl in der Abdeckstellung alsauch in der Verschlussstellung zu sehen ist. Fig. 6 zeigt den Bereich C aus Fig. 5 vergrößert,Fig. 7 und 8 zeigen Schnittdarstellungen entlang der Schnittlinie AA aus Fig. 2 in der Ab¬deckstellung, wobei Fig. 8 den Bereich D aus Fig. 7 vergrößert zeigt. Fig. 9 zeigt einen Schnittentlang der Schnittlinie AA aus Fig. 2, wobei sich das Verschlussorgan 2 in der Verschlussstel¬lung befindet. Fig. 10 zeigt den Bereich E vergrößert. Fig. 11 zeigt einen Schnitt entlang derSchnittlinie BB aus Fig. 4, wobei sich das Verschlussorgan 2 in der Öffnungsstellung befindet,in der es in diesem Ausführungsbeispiel die Öffnung 3 vollständig freigibt. Fig. 12 zeigt denBereich F aus Fig. 11 vergrößert.

[0024] In Fig. 1 ist gut zu sehen, dass dieses Ausführungsbeispiel der Verschlusseinrichtung 1ein Gehäuse 10 aufweist. In diesem Gehäuse 10 befindet sich in dieser Variante auch die mit¬tels des Verschlussorgans 2 zu verschließende Öffnung 3. Die Flächennormale 7 auf die Öff¬nungsfläche 6 der Öffnung 3 verläuft parallel zur Schwenkachse 5, um die das Verschlussorgan2 zwischen der Öffnungsstellung der Abdeckstellung schwenkbar gelagert ist. Vom Hebel 13,welcher zusammen mit dem Verschlussorgan 2 schwenkbar an der Schwenkachse 5 gelagertist, ist in den Fig. 1 bis 4 nur der zweite Hebelabschnitt 15 zu sehen. An dessen Angriffspunkt17 greift der Schwenkantrieb 16 an. Dieser ist in den hier gezeigten Ausführungsbeispielen alsein elektrischer oder pneumatischer Linearantrieb ausgebildet. Es könnte sich natürlich auchum andere Linearantriebe handeln. Fig. 2 zeigt den zweiten Hebelabschnitt 15 in der Stellung,in der sich das Verschlussorgan 2 in der Abdeckstellung bzw. in der Verschlussstellung befin¬det. Fig. 3 zeigt die Stellung des zweiten Hebelabschnitts 15, wenn sich das Verschlussorgan 2in der Öffnungsstellung gemäß Fig. 11 befindet. In der Schnittdarstellung gemäß Fig. 5 befindetsich das Verschlussorgan 2 der Verschlusseinrichtung 1 in der Abdeckstellung bzw. in derVerschlussstellung, in der es die Öffnung 3 zumindest vollständig abdeckt. Die die Öffnung 3 inder Abdeckstellung abdeckende Fläche 4 des Verschlussorgans 2 ist zumindest doppelt so langwie breit und in den Fig. 5 und 11 gestrichelt umrandet eingezeichnet. Die Form und Größedieser abdeckenden Fläche 4 entspricht der Form und Größe der Öffnungsfläche 6. In Fig. 5 istnun der gesamte Hebel 13 zu sehen. Der erste Hebelabschnitt 14 befindet sich zwischen derSchwenkachse 5 und dem Verschlussorgan 2. Der zweite Hebelabschnitt 15 des Hebels 13befindet sich zwischen der Schwenkachse 5 und dem Angriffspunkt 17 des Schwenkantriebs16. Im Sinne einer platzsparenden Bauweise ist der zweite Hebelabschnitt 15 abgewinkelt ausgebildet. Er ist hier um nicht viel weniger als 90° abgewinkelt, um einen möglichst geringenBauraum zu beanspruchen. Durch Betätigen des Schwenkantriebs 16 wird der in sich starreHebel 13 um die Schwenkachse 5 geschwenkt, womit zwangsweise auch das Verschlussorgan2 zwischen der Stellung gemäß Fig. 5, also der Abdeckstellung bzw. der Verschlussstellung,und der Öffnungsstellung gemäß Fig. 11 hin und her geschwenkt werden kann. In diesem Aus-führungsbeispiel entspricht die Abdeckstellung einer Zwischenstellung, in der die Öffnungsflä¬che 6 der Öffnung 3 vom Verschlussorgan 2 bzw. dessen abdeckender Fläche 4 zwar vollstän¬dig abgedeckt ist, das Verschlussorgan 2 aber noch nicht dichtend an den um die Öffnung 3umlaufenden Sitz 8 angedrückt ist. Zum Bewegen des Verschlussorgans 2 zwischen der Ab¬deckstellung und der Verschlussstellung ist in diesem Ausführungsbeispiel eine Vielzahl vonVerschlussantrieben 11 vorgesehen, welche parallel zur Schwenkachse 5 wirken. Mit diesenVerschlussantrieben 11 kann das Verschlussorgan 2 in der Verschlussstellung an den Sitz 8angedrückt werden. Dabei stützen sich die Verschlussantriebe 11 in diesem Ausführungsbei¬spiel über das ebenfalls plattenförmig ausgebildete Abstützorgan 22 am Gegensitz 12 ab. DerGegensitz 12 ist in diesem Ausführungsbeispiel wie auch der Sitz 8 Teil des Gehäuses 10 derVerschlusseinrichtung 1. Der Gegensitz 12 ist um eine zweite Öffnung 24 umlaufend ausgebil¬det. Die zweite Öffnung 24 befindet sich auch im Gehäuse 10 der Verschlusseinrichtung 1. Diemittels des Verschlussorgans 2 zu verschließende Öffnung 3 und die zweite Öffnung 24 liegenin Deckung zueinander. Das Verschlussorgan 2 samt Abstützorgan 24 und den Verschlussan¬trieben 11 befindet sich in der Abdeckstellung zwischen Sitz 8 und Gegensitz 12. In der Öff¬nungsstellung gemäß Fig. 11 sind diese Teile aus dem Bereich zwischen dem Sitz 8 und demGegensitz 12 herausgeschwenkt, sodass die Öffnung 3 und auch die zweite Öffnung 24 voll¬kommen freigegeben sind und Gegenstände und dergleichen durch sie hindurch transportiertwerden können.

[0025] Die Verschlussantriebe 11 bewegen das Verschlussorgan 2 und das Abstützorgan 22,welches hier als zusätzliches Verschlussorgan ausgebildet ist, zwischen der Abdeckstellungund der Verschlussstellung in den Bewegungsrichtungen 9 hin und her. Sie dienen also auchdem Andrücken des Verschlussorgans 2 in der Verschlussstellung an den Sitz 8. Die Ver¬schlussantriebe 11 können in unterschiedlichster beim Stand der Technik an sich bekannterForm ausgebildet sein. Es kann sich z.B. um pneumatische oder elektrische oder elektromagne¬tische Antriebe bzw. Druckkissen handeln. Grundsätzlich sind auch hydraulische Antriebedenkbar, was in der Vakuumtechnik aber in der Regel nicht angewendet wird. Konkret könnendie Verschlussantriebe 11 z.B. wie die Antriebselemente 22 in der US 2014/0021396 A1 aus¬gebildet sein. Auf die in dieser Schrift in Fig. 4 veranschaulichte Zentrierung mittels der Nut 18und des Zapfens 17 kann entweder verzichtet werden oder es wird eine entsprechende Füh¬rung, insbesondere an der Schmalseite 19 und der dazu gegenüberliegenden, vom Hebel 13abgewandten Seite des Verschlussorgans 2 angebracht. Die Versorgungsleitungen 21 für denBetrieb der Verschlussantriebe 11 verlaufen günstigerweise, wie beispielhaft in den Fig. 5, 6dargestellt, innerhalb des Hebels 13 bzw. des ersten Hebelabschnitts 14. Es kann sich umpneumatische, elektrische oder sonstige Versorgungsleitungen handeln. Die Versorgungslei¬tungen 21 sind hier nur in den Fig. 5 und 6 dargestellt.

[0026] In den anderen Figuren, aber auch in den nachfolgend noch erläuterten Ausführungs¬beispielen können sie aber in analoger Weise ausgeführt und angeordnet sein. Die nach außenweisenden Anschlüsse an diese Versorgungsleitung 21 können z.B. in einer hier nicht konkretdargestellten aber an sich bekannten Art und Weise am zweiten Hebelabschnitt 15 ausgeführtsein.

[0027] In den Fig. 5 und 11 ist gut zu sehen, dass eine Schmalseite 19 der die Öffnung 3 in derAbdeckstellung abdeckenden Fläche 4 des Verschlussorgans 2 zur Schwenkachse 5 weist. Inanderen Worten weist die Längserstreckung des Verschlussorgans 2 somit mehr oder wenigerzur Schwenkachse 5. Die Längserstreckung des Verschlussorgans 2 ist also günstigerweisemehr oder weniger in radialer Richtung bezüglich der Schwenkachse 5 angeordnet, wobei, wieauch in diesem Ausführungsbeispiel realisiert, zwischen dem Hebel 13 bzw. dessen erstemHebelabschnitt 14 und dem Verschlussorgan 2 im Sinne einer platzsparenden Bauweise auch eine gewisse Abwinkelung vorgesehen sein kann.

[0028] Fig. 7 zeigt, wie gesagt, die Abdeckstellung in Form einer Zwischenstellung. In dieserdeckt das Verschlussorgan 2 bzw. dessen Fläche 4 die Öffnung 3 zwar vollständig ab. DasVerschlussorgan 2 wird aber noch nicht abdichtend gegen den Sitz 8 gedrückt. Insbesondereim vergrößerten Detail D gemäß Fig. 8 ist dies gut zu sehen. Sowohl das Verschlussorgan 2 alsauch das hier ebenfalls plattenförmig ausgebildete Abstützorgan 22 sind noch vom Sitz 8 bzw.vom Gegensitz 12 abgehoben. In Fig. 8 ist auch gut die in diesem Ausführungsbeispiel amVerschlussorgan 2 und am Abstützorgan 22 jeweils angeordnete Dichtung 23 zu sehen. DieDichtung 23 könnte sich natürlich alternativ oder auch zusätzlich auch am Sitz 8 oder am Ge¬gensitz 12 befinden. Die Fig. 9 und insbesondere das in Fig. 10 vergrößert dargestellte Detail Ehieraus, zeigen nun die Verschlussstellung, in der das Verschlussorgan 2 und in diesem Aus¬führungsbeispiel auch das Abstützorgan 22 mit ihren Dichtungen 23 abdichtend gegen den Sitz8 und den Gegensitz 12 gedrückt werden. In dieser Stellung ist in diesem Ausführungsbeispieldann eine gasdichte Abdichtung der Öffnung 3 und auch der zweiten Öffnung 24 erreicht, wäh¬rend in der Zwischenstellung bzw. Abdeckstellung gemäß Fig. 7 und 8 durchaus noch ein Gas¬durchtritt durch die Öffnung 3 und die zweite Öffnung 24 möglich ist. Das Verstellen von Ver¬schlussorgan 2 und Abstützorgan 22 erfolgt, wie bereits dargelegt, in den Bewegungsrichtun¬gen 9 mittels der Verschlussantriebe 11.

[0029] Beim Ausführungsbeispiel der Verschlusseinrichtung 1 im ersten aber auch in den nach¬folgend geschilderten Ausführungsbeispielen handelt es sich um eine sogenannte Vakuumver¬schlusseinrichtung, welche in der Vakuumtechnik z.B. zum Verschließen einer Prozesskammereingesetzt werden kann. Hierzu wird das Gehäuse 10 der Verschlusseinrichtung 1 so an derProzesskammer angebracht, dass die Öffnung 3 der Verschlusseinrichtung 1 mit einer entspre¬chenden Öffnung in der Prozesskammerwand fluchtet bzw. in Deckung gebracht ist. Die hiergezeigte Verschlusseinrichtung 1 kann auch zwischen zwei Prozesskammern angeordnet sein,indem dann die zweite Prozesskammer mit ihrer Prozesskammerwandöffnung mit der zweitenÖffnung 24 des Gehäuses 10 fluchtend bzw. in Deckung gebracht angeordnet wird. Insbeson¬dere in dieser Anwendung gibt es innerhalb des Gehäuses 10 Betriebszustände, in denenUnterdrück bzw. Vakuum herrscht und andere Betriebszustände, in denen Umgebungsdruckvorliegt oder auch Überdruck vorhanden sein kann. Insofern muss das Gehäuse 10 abgesehenvon den Öffnungen 3 und 24 nach außen hin abgedichtet sein. Der Innenraum des Gehäuses10 darf also nicht in druckübertragender Verbindung mit der Umgebung stehen. Hierzu ist eineabgedichtete aber dennoch bewegliche Verbindung zwischen dem Hebel 13 und dem Gehäuse10 notwendig. Dies wird hier so gelöst, dass der Hebel 13 mittels der schlauch- oder balgförmi¬gen Dichtung 18 gegen das Gehäuse 10 abgedichtet ist. Hierfür geeignete Bälge bzw. Schläu¬che sind an sich bekannt. Ihre Flexibilität ist gut am Vergleich der Fig. 6 und 12 zu erkennen.Zwischen diesen Stellungen wird die Dichtung 18 beim Hin- und Herschwenken des Hebels 13um die Schwenkachse 5 hin und her bewegt. Die Dichtung 18 umgibt den Hebel 13 hier imBereich der Schwenkachse 5 schlauchartig und ist einerseits gegen das Gehäuse 10 und ande¬rerseits gegen den Hebel 13 bzw. dessen zweiten Hebelabschnitt 15 abgedichtet.

[0030] Im ersten Ausführungsbeispiel sind die Öffnung 3 und auch das Verschlussorgan 2 inForm eines längserstreckten symmetrischen Trapezes ausgeführt, wobei die zueinander paral¬lelen Schmalseiten zum Hebel 13 und vom Hebel 13 wegweisen.

[0031] Der Unterschied des zweiten Ausführungsbeispiels gemäß den Fig. 13 bis 24 zumsoeben geschilderten ersten Ausführungsbeispiel liegt ausschließlich in der Form der Öffnung3, der die Öffnung 3 abdeckenden Fläche 4 des Verschlussorgans 2 sowie entsprechend derzweiten Öffnung 24. Ansonsten ist dieses zweite Ausführungsbeispiel genauso ausgebildet, wiedas erste Ausführungsbeispiel, sodass auf eine separate Beschreibung der Gemeinsamkeitenverzichtet werden kann. Dieselben Bezugszeichen bezeichnen jeweils dieselben Bauteile. DieFig. 19 und 21 zeigen Schnitte entlang der Schnittlinie GG aus Fig. 14. Die Fig. 17 und 23zeigen Schnitte entlang der Schnittlinie HH aus Fig. 16. Das Detail I aus Fig. 17 ist in Fig. 18,das Detail J aus Fig. 19 in Fig. 20, das Detail K aus Fig. 21 in Fig. 22 und das Detail L aus Fig.23 in Fig. 24 gezeigt. Die Öffnung 3 und damit auch die Fläche 4 des Verschlussorgans 2 und auch die zweite Öffnung 24 sind in diesem Ausführungsbeispiel in Rechteckform ausgebildet.

[0032] Das dritte Ausführungsbeispiel gemäß der Fig. 25 bis 36 ist wiederum eine Weiterbil¬dung des zweiten Ausführungsbeispiels gemäß den Fig. 13 bis 24. Auch hierfür gilt also, soweitanwendbar, das zum ersten Ausführungsbeispiel Gesagte. Auch hier wurden dieselben Be¬zugszeichen für dieselben Bauteile bzw. Merkmale verwendet. Die Fig. 31 und 33 zeigen wie¬derum Schnitte entlang der Schnittlinie MM aus Fig. 26. Die Fig. 29 und 35 zeigen Schnitteentlang der Schnittlinie NN gemäß Fig. 28. Das Detail O aus Fig. 29 ist in Fig. 30, das Detail Paus Fig. 31 in Fig. 32, das Detail Q aus Fig. 33 in Fig. 34 und das Detail R aus Fig. 35 in Fig. 36gezeigt. Der Unterschied zwischen dem zweiten und dem dritten Ausführungsbeispiel liegtdarin, dass im zweiten Ausführungsbeispiel der Hebel 13 bzw. der erste Hebelabschnitt 14 starrmit dem Verschlussorgan 2 verbunden ist, während im dritten Ausführungsbeispiel gemäß denFig. 25 bis 36 das Verschlussorgan 2 über eine parallel zur Schwenkachse 5 angeordnetezusätzliche Schwenkachse 20 schwenkbar am Hebel 13 gelagert ist. Hierdurch kann Bauraumgespart und das Gehäuse 10 kleiner ausgebildet werden. Dies ist besonders gut am Vergleichder Fig. 29 und 35 einerseits und der Fig. 17 und 23 andererseits zu sehen. Beim Verschwen-ken zwischen der in Fig. 35 dargestellten Öffnungsstellung und der in Fig. 29 dargestelltenAbdeckstellung des Hebels 13 um die Schwenkachse 5 wird das Verschlussorgan 2 zusätzlichauch um die zusätzliche Schwenkachse 20 verschwenkt. Dies erfolgt in diesem Ausführungs¬beispiel schwerkraftbetätigt, sodass das Verschlussorgan 2 immer von der zusätzlichenSchwenkachse 20 vertikal nach unten hängt. Hierdurch wird der Platzbedarf für das Verschlus¬sorgan verringert. Alternativ könnte natürlich auch ein zusätzlicher Schwenkantrieb zumSchwenken um die zusätzliche Schwenkachse 20 vorhanden sein, dies ist aber letztendlich mitzusätzlichem Aufwand verbunden und daher nur sinnvoll, soweit es in bestimmten Ausfüh¬rungsformen notwendig ist. Der Vollständigkeit halber wird darauf hingewiesen, dass die imHebel 13 verlaufenden Versorgungsleitungen 21 für die Verschlussantriebe 11 durch das diezusätzliche Schwenkachse 20 ausbildende Gelenk wie beim Stand der Technik an sich bekannthindurchgeführt werden können. Bei elektrischen Versorgungsleitungen 21 kann dies überelektrische Schleifringe erfolgen, für pneumatische oder hydraulische Versorgungsleitungen 21gibt es entsprechende Drehdurchführungen.

[0033] Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, dass die die Öffnung 3 in der Abdeckstellungabdeckende Fläche 4 des Verschlussorgans 2 und damit auch die Öffnungsfläche zumindestdoppelt so lang wie breit ist. Hierbei werden günstigerweise jeweils die maximale Breite und diemaximale Länge der die Öffnungsfläche 6 abdeckenden Fläche 4 des Verschlussorgans 2miteinander verglichen. Besonders bevorzugt werden, insbesondere bei entsprechend symmet¬rischen Ausgestaltungen der Öffnungsfläche 6 bzw. der abdeckenden Fläche 4, diese Längenund Breiten in zueinander orthogonalen Richtungen gemessen.

[0034] Zu den in den Ausführungsbeispielen gezeigten Ausführungsvarianten der Erfindunggibt es natürlich zahlreiche Abwandlungsformen im Rahmen der Erfindung. Z.B. muss dasAbstützorgan 22 nicht unbedingt als Platte und schon gar nicht als abdichtende Ventilplatteausgeführt werden. Ebenso muss der Gegensitz 12 nicht zwingend als Ventilsitz ausgebildetsein. Die rückwärtige Abstützung der Verschlussantriebe 11 kann auch anders realisiert wer¬den. Es kann auch ganz auf einen entsprechenden Gegensitz 12 und eine entsprechendeAbstützung daran verzichtet werden, wenn die Abstützung der Verschlussantriebe 11 über denHebel 13 und/oder das die Schwenkachse 5 ausbildende Gelenk realisiert wird. Es ist auchdenkbar ganz auf die Verschlussantriebe 11 zu verzichten, wenn das Verschlussorgan 2 vonder Öffnungsstellung gleich in eine als Verschlussstellung ausgebildete Abdeckstellung ver¬schwenkt wird. So ist es z.B. denkbar am Gehäuse 10 auf der vom Verschlussorgan 2 abge¬wandten Seite Keilflächen oder dergleichen vorzusehen, mit denen das Verschlussorgan 2beim Verschwenken von der Öffnungsstellung in die Abdeckstellung in Kontakt kommt und vondenen das Verschlussorgan 2 beim Verschwenken bereits gegen den Sitz 8 gedrückt wird.Weiters ist darauf hinzuweisen, dass das Verschlussorgan 2 und insbesondere die die Öffnung3 abdeckende Fläche 4 des Verschlussorgans 2 und damit auch die Öffnungsfläche 6 vieleverschiedene langgestreckte Formen aufweisen können. Besonders bevorzugt handelt es sichum eine Polygonalform, wie z.B. die gezeigte Rechteckform oder die gezeigte Trapezform. LEGENDE ZU DEN HINWEISZIFFERN: 1 Verschlusseinrichtung 2 Verschlussorgan 3 Öffnung 4 Fläche 5 Schwenkachse 6 Öffnungsfläche 7 Flächennormale 8 Sitz 9 Bewegungsrichtung 10 Gehäuse 11 Verschlussantrieb 12 Gegensitz 13 Hebel 14 erster Hebelabschnitt 15 zweiter Hebelabschnitt 16 Schwenkantrieb 17 Angriffspunkt 18 Dichtung 19 Schmalseite 20 zusätzliche Schwenkachse 21 Versorgungsleitung 22 Abstützorgan 23 Dichtung 24 zweite Öffnung

Claims (10)

1. Ansprüche 1. Verschlusseinrichtung (1), insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung, wobei die Ver¬schlusseinrichtung (1) ein Verschlussorgan (2) zum Verschließen einer länglich erstrecktenÖffnung (3) aufweist, wobei das Verschlussorgan (2) in einer Abdeckstellung eine Öff¬nungsfläche (6) der Öffnung (3) vollständig abdeckt und in einer Freigabestellung die Öff¬nung (3) zumindest teilweise, vorzugsweise vollständig, freigibt, wobei die die Öffnung (3)in der Abdeckstellung abdeckende Fläche (4) des Verschlussorgans (2) zumindest doppeltso lang wie breit ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschlusseinrichtung (1) zwi¬schen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung um eine Schwenkachse (5) der Ver¬schlusseinrichtung (1) schwenkbar gelagert ist und die Schwenkachse (5) parallel zu einerFlächennormalen (7) auf die Öffnungsfläche (6) angeordnet ist.
2. 2. Verschlusseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ver¬schlussorgan (2) in der Abdeckstellung von einem um die Öffnung umlaufenden Sitz (8)abgehoben ist und in einer Verschlussstellung an den Sitz (8) angedrückt ist, wobei dieBewegungsrichtungen (9) des Verschlussorgans (2) zwischen der Abdeckstellung und derVerschlussstellung parallel zur Schwenkachse (5) angeordnet sind.
3. 3. Verschlusseinrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass dieVerschlusseinrichtung (1) ein Gehäuse (10) aufweist, welches die Öffnung (3) und denbzw. einen um die Öffnung (3) umlaufenden Sitz (8) aufweist.
4. 4. Verschlusseinrichtung (1) nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass sichzumindest ein parallel zur Schwenkachse (5) wirkender, vorzugsweise pneumatischer oderelektrischer, Verschlussantrieb (11) zum Andrücken des Verschlussorgans (2) in der Ver¬schlussstellung an den Sitz (8) an einem, dem Sitz (8) in Richtung parallel zur Schwenk¬achse gegenüberliegenden, Gegensitz (12) der Verschlusseinrichtung (1) abstützt.
5. 5. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,dass das Verschlussorgan (2) mittels zumindest eines Hebels (13) der Verschlusseinrich¬tung (1) schwenkbar mit der Schwenkachse (5) verbunden ist, wobei der Hebel (13) einenzwischen der Schwenkachse (5) und dem Verschlussorgan (2) angeordneten ersten He¬belabschnitt (14) und einen auf der dem Verschlussorgan (2) gegenüberliegenden Seiteder Schwenkachse (5) angeordneten zweiten Hebelabschnitt (15) aufweist, wobei einSchwenkantrieb (16) zum Verschwenken des Verschlussorgans (2) um die Schwenkachse (5), vorzugsweise ausschließlich, am zweiten Hebelabschnitt (15) angreift.
6. 6. Verschlusseinrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der zweiteHebelabschnitt (15) zwischen der Schwenkachse (5) und einem Angriffspunkt (17) desSchwenkantriebs (16) am zweiten Hebelabschnitt (15) in sich gekrümmt und/oder in sichabgewinkelt ausgebildet ist.
7. 7. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet,dass die Verschlusseinrichtung (1) ein Gehäuse (10) aufweist, in welchem das Verschluss¬organ (2) angeordnet ist, wobei der oder ein, das Verschlussorgan (2) mit der Schwenk¬achse (5) verbindender Hebel (13) mittels einer schlauchförmigen oder balgförmigen Dich¬tung (18) gegen das Gehäuse (10) abgedichtet ist.
8. 8. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,dass eine Schmalseite (19) der die Öffnung (3) in der Abdeckstellung abdeckenden Fläche(4) des Verschlussorgans (2) zur Schwenkachse (5) weist.
9. 9. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,dass ein oder der Schwenkantrieb (16) der Verschlusseinrichtung (1) zum Verschwenkendes Verschlussorgans (2) um die Schwenkachse (5) ein, vorzugsweise elektrischer oderpneumatischer, Linearantrieb ist.
10. 10. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet,dass das Verschlussorgan (2) mittels des Hebels (13) oder einem Hebel (13) der Ver¬schlusseinrichtung (1) mit der Schwenkachse (5) verbunden ist und das Verschlussorgan (2) über eine, vorzugsweise parallel zur Schwenkachse (5) angeordnete, zusätzlicheSchwenkachse (20) schwenkbar am Hebel (13) gelagert ist. Hierzu 9 Blatt Zeichnungen