AT14814U1 - Verschlusseinrichtung, insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung - Google Patents

Abstract

Verschlusseinrichtung (1), insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung, wobei die Verschlusseinrichtung (1) ein Gehäuse (2) mit zumindest einer Öffnung (3) und zumindest einen Verschlussteller (4) zum Verschließen der Öffnung (3) aufweist und der Verschlussteller (4) von einem Verschlusstellerantrieb (5) der Verschlusseinrichtung (1) zwischen zumindest einer Öffnungsstellung, in der der Verschlussteller (4) die Öffnung (3) ganz oder teilweise freigibt, und einer Abdeckstellung, in der der Verschlussteller (4) die Öffnung (3) vollständig abdeckt, hin und her verfahrbar ist, wobei die Verschlusseinrichtung (1) zumindest eine Schiene (6, 7) aufweist, an oder auf der der Verschlussteller (4) aus dem Gehäuse (2) herausfahrbar ist.

Description

Beschreibung [0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verschlusseinrichtung, insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung, wobei die Verschlusseinrichtung ein Gehäuse mit zumindest einer Öffnung und zumindest einen Verschlussteller zum Verschließen der Öffnung aufweist und der Verschlussteller von einem Verschlusstellerantrieb der Verschlusseinrichtung zwischen zumindest einer Öffnungsstellung, in der der Verschlussteller die Öffnung ganz oder teilweise freigibt, und einer Abdeckstellung, in der der Verschlussteller die Öffnung vollständig abdeckt, hin und her verfahrbar ist. Desweiteren betrifft die Erfindung auch ein Verfahren zur Wartung oder zum Austausch des Verschlusstellers einer solchen Verschlusseinrichtung.

[0002] Verschlusseinrichtungen der genannten Art werden vor allem in der Vakuumtechnik dazu verwendet. Einführ- und/oder Entnahmeöffnungen von Prozesskammern und/oder Transferkammern zu verschließen. In den Prozesskammern werden in der Regel unter Vakuum bzw. unter Unterdrück und/oder in einer speziellen Prozessatmosphäre Herstellungs- und/oder Bearbeitungsschritte an Substraten durchgeführt. Die Substrate werden durch die Öffnungen im Gehäuse der Verschlusseinrichtungen hindurchgeführt. Durch Verschließen der Öffnungen mittels des Verschlusstellers wird dann auch die Prozesskammer bzw. die Transferkammer entsprechend abgeschlossen bzw. abgedichtet.

[0003] Aufgabe der Erfindung ist es, eine gattungsgemäße Verschlusseinrichtung dahingehend weiterzubilden, dass Wartungsarbeiten am Verschlussteller z.B. zum Ersetzen der Dichtung oder auch das Austauschen eines Verschlusstellers mit möglichst wenig Aufwand durchgeführt werden können.

[0004] Hierzu sieht die Erfindung bei einer Verschlusseinrichtung der oben genannten Art vor, dass die Verschlusseinrichtung zumindest eine Schiene aufweist, an oder auf der der Verschlussteller aus dem Gehäuse herausfahrbar ist.

[0005] Hierzu gibt es verschiedene Möglichkeiten. So kann z.B. vorgesehen sein, dass der Verschlussteller an der Schiene hängend aus dem Gehäuse herausfahrbar ist. Genauso gut kann vorgesehen sein, dass der Verschlussteller auf der Schiene stehend aus dem Gehäuse herausfahrbar ist. Die Schiene steht in der Regel außen über das Gehäuse über, sodass sie auch außerhalb des Gehäuses den Verschlussteller tragen oder zumindest stützen kann.

[0006] Die Abdeckstellung des Verschlusstellers ist die Stellung, in der der Verschlussteller die Öffnung oder eine der Öffnungen des Gehäuses vollständig abdeckt. Die Abdeckstellung kann bereits die Schließstellung sein, wenn der Verschlussteller in der Abdeckstellung die Öffnung bereits abdichtend verschließt. In diesem Zusammenhang ist es z.B. möglich, eine Dichtung am Verschlussteller und/oder am die Öffnung umgebenden Sitz des Gehäuses so anzubringen, dass der Verschlussteller die Dichtung bereits dann abdichtend komprimiert, wenn er vom Verschlusstellerantrieb aus der Öffnungsstellung in die Abdeckstellung bzw. dann eben gleichzeitig die Schließstellung gefahren wird. Geeignete Dichtungen sind hierfür grundsätzlich bekannt.

[0007] In anderen alternativen Ausgestaltungsformen ist es aber genauso gut denkbar, dass die Abdeckstellung noch nicht der Schließstellung entspricht. In diesen Ausgestaltungsformen wird der Verschlussteller aus der Abdeckstellung heraus durch einen gesonderten Hub gegen den die Öffnung umgebenden Sitz des Gehäuses gedrückt, in der Regel unter Komprimierung einer dazwischen angeordneten Dichtung. Dieser Schließhub erfolgt günstigerweise in einer Richtung orthogonal zur Bewegungsrichtung des Verschlusstellers zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung. Hierfür sind beim Stand der Technik auch unterschiedlichste Hubantriebe bekannt. So kann der Verschlussteller z.B. von einem pneumatischen oder hydraulischen oder auch elektrischen Hubantrieb gegen den die Öffnung umgebenden Sitz des Gehäuses gedrückt werden. Rückwärtig kann der Hubantrieb, z.B. mittels eines Gegentellers, an einem Gegensitz des Gehäuses abgestützt werden. Erst wenn dieser zusätzliche Schließhub erfolgt ist, befindet sich der Verschlussteller in diesen Ausgestaltungsformen dann in der

Schließstellung, in der er die Öffnung nicht mehr nur abdeckt sondern auch abdichtet.

[0008] Besonders bevorzugte Ausgestaltungsformen der Erfindung sehen vor, dass der Verschlussteller in der Betriebsstellung der Verschlusseinrichtung gesehen an der Schiene seitlich aus dem Gehäuse herausfahrbar ist. In besonders bevorzugten Ausgestaltungsformen ist vorgesehen, dass die Bewegungsrichtungen des Verschlusstellers zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung parallel zu zur Herausfahrrichtung angeordnet sind, in welcher der Verschlussteller an der Schiene aus dem Gehäuse herausfahrbar ist.

[0009] Bevorzugte Ausgestaltungsformen erfindungsgemäßer Verschlusseinrichtungen sehen vor, dass die Öffnungen im Gehäuse, in der Betriebsstellung der Verschlusseinrichtung gesehen, in einer oder parallel zu einer Ebene angeordnet sind, welche mit einer Horizontalebene einen Winkel von 90° +/- 30° einschließt. In anderen Worten steht die Öffnung, welche vom Verschlussteller verschlossen werden kann, in der Betriebsstellung der Verschlusseinrichtung besonders bevorzugt vertikal, wobei aber auch Abweichungen von + oder - 30° ebenfalls noch bevorzugte Ausgestaltungsformen der Erfindung umfasst. Die Erfindung kann besonders gut bei Verschlusseinrichtungen eingesetzt werden, bei denen die im Gehäuse angeordnete Öffnung länglich erstreckt ist. Besonders bevorzugt ist in diesem Zusammenhang vorgesehen, dass die Öffnung, in der Betriebsstellung der Verschlusseinrichtung gesehen, zumindest doppelt so hoch wie breit ist. Das gleiche gilt dann natürlich auch für die Fläche des Verschlusstellers mit der er in der Abdeckstellung und/oder in der Schließstellung die Öffnung vollständig abdeckt.

[0010] Wie bereits oben ausgeführt, kann der Verschlussteller beim Herausfahren aus dem Gehäuse auf der Schiene abgestützt sein. In diesem Sinne sehen bevorzugte Ausgestaltungsformen der Erfindung vor, dass die Schiene eine Tragschiene zum Tragen des Gewichts des aus dem Gehäuse herausgefahrenen Verschlusstellers ist. Je nachdem auf welcher Seite der Verschlussteller aus dem Gehäuse herausgefahren wird, kann auch vorgesehen sein, dass der Verschlusstellerantrieb samt eines Gehäusewandbereichs mit dem Verschlussteller zusammen aus dem Gehäuse herausgefahren wird. In diesen Ausgestaltungsformen ist dann bevorzugt vorgesehen, dass die Tragschiene zusätzlich zum Gewicht des Verschlusstellers auch das Gewicht des Verschlusstellerantriebs und/oder des Gehäusewandbereichs tragen kann. Bevorzugte Varianten sehen hierbei vor, dass der aus dem Gehäuse herausgefahrene Verschlussteller auf der als Tragschiene ausgebildeten Schiene stehend abgestützt ist. Alternativ kann der Verschlussteller aber auch an der Tragschiene hängen.

[0011] Bei erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtungen können aber nicht nur eine sondern auch mehrere Schienen, an oder auf denen der Verschlussteller aus dem Gehäuse herausfahrbar ist, vorgesehen sein. Eine dieser Schienen kann dann z.B. die oben genannte Tragschiene sein. Insbesondere in diesen Fällen kann vorgesehen sein, dass die Verschlusseinrichtung zusätzlich zur Schiene, vorzugsweise Tragschiene, noch zumindest eine Zusatzschiene als Verkippsicherung für den aus dem Gehäuse herausgefahrenen Verschlussteller aufweist. Besonders bevorzugte Ausgestaltungsformen sehen vor, dass der aus dem Gehäuse herausgefahrene Verschlussteller zwischen der Schiene und der Zusatzschiene gehalten ist.

[0012] Für die Befestigung der Schiene bzw. der Schienen, also insbesondere der Trag-und/oder Zusatzschienen gibt es verschiedene Möglichkeiten. Z.B. ist es möglich, diese Schienen permanent bzw. fix außen am Gehäuse anzuordnen. Um zu vermeiden, dass die Schienen stören, wenn keine Wartungs- oder Austauscharbeiten am Verschlussteller vorgenommen werden müssen, sehen bevorzugte Ausgestaltungsformen der Erfindung aber vor, dass die Schiene oder die Schienen im oder an dem Gehäuse abnehmbar befestigbar sind. Eine dritte Variante sieht vor, dass die Schiene oder die Schienen im Gehäuse und aus dem Gehäuse, vorzugsweise teleskopartig, ausfahrbar gelagert sind. Auch Mischformen der drei genannten Varianten sind denkbar und möglich.

[0013] Wie oben bereits angedeutet, kann der Verschlussteller an oder auf der Schiene bzw. den Schienen aus dem Gehäuse herausgefahren werden. Eine erste Variante hiervon sieht z.B. vor, dass der Verschlussteller auf einer Seite, auf der der Verschlusstellerantrieb angeordnet ist. zusammen mit dem Verschlusstellerantrieb und gegebenenfalls einem Gehäusewandbereich aus dem Gehäuse herausfahrbar ist. Eine andere Variante sieht vor, dass der Verschlussteller auf einer dem Verschlusstellerantrieb gegenüber liegenden Seite aus dem Gehäuse herausfahrbar ist. Bei dieser letztgenannten Variante kann vorgesehen sein, dass der Verschlussteller vom Verschlusstellerantrieb aus dem Gehäuse herausgefahren wird. Es kann aber genauso gut vorgesehen sein, dass der Verschlussteller in einem vom Verschlusstellerantrieb abgekoppelten Zustand aus dem Gehäuse herausgefahren wird. Dieses Herausfahren kann dann z.B. von Hand oder mittels eines gesonderten Antriebs erfolgen.

[0014] Neben der Verschlusseinrichtung an sich betrifft die Erfindung, wie oben bereits angedeutet, auch ein Verfahren zur Wartung oder zum Austausch des Verschlusstellers einer erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung. Bei diesem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorgesehen, dass der Verschlussteller vor Durchführung der Wartung oder des Austauschs an oder auf der Schiene aus dem Gehäuse herausgefahren wird. Aus den oben geschilderten Merkmalen bevorzugter Ausgestaltungsformen der erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung ergeben sich, soweit anwendbar, auch entsprechend bevorzugte Merkmale des erfindungsgemäßen Verfahrens, ohne dass diese hier noch einmal wiederholt werden müssen.

[0015] Grundsätzlich wird noch darauf hingewiesen, dass eine erfindungsgemäße Verschlusseinrichtung auch als Ventil und insbesondere als Vakuumventil bezeichnet werden könnte. Entsprechend könnte man dann von dem die Öffnung umgebenden Sitz am Gehäuse, gegen den der Verschlussteller gedrückt wird, auch vom Ventilsitz und beim Verschlussteller vom Ventilteller sprechen.

[0016] Besonders bevorzugt werden erfindungsgemäße Verschlusseinrichtungen jedenfalls in der Vakuumtechnik eingesetzt. Von Vakuumtechnik spricht man in diesem Zusammenhang insbesondere, wenn Betriebszustände mit Drücken kleiner oder gleich 0,001 mbar (Millibar) bzw. 0,1 Pa (Pascal) erreicht werden. Vakuumverschlusseinrichtungen bzw. Vakuumventile sind Ventile bzw. Verschlusseinrichtungen, die für diese Druckbereiche und entsprechende Differenzdrücke zur Umgebung ausgelegt sind.

[0017] Nachfolgend werden bevorzugte Merkmale und Eigenschaften verschiedener Ausgestaltungsformen der Erfindung beispielhaft erläutert. Es zeigen: [0018] Fig. 1 bis 5 Darstellungen zu einem ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbei spiel einer Verschlusseinrichtung; [0019] Fig. 6 bis 9 Darstellungen zu einer zweiten erfindungsgemäßen Ausgestaltungs form einer Verschlusseinrichtung; [0020] Fig. 10 bis 14 Darstellungen zu einer dritten erfindungsgemäßen Ausgestaltungsform einer Verschlusseinrichtung und [0021] Fig. 15 bis 18 Darstellungen zu einer vierten erfindungsgemäßen Ausgestaltungs form einer Verschlusseinrichtung.

[0022] Zur Beschreibung des ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung 1 wird auf die hier beigelegten Fig. 1 bis 5 verwiesen. Fig. 1 zeigt eine Frontalansicht auf die Verschlusseinrichtung 1, Fig. 2 einen Vertikalschnitt durch das Gehäuse 2 dieser Verschlusseinrichtung 1, Fig. 3 und 4 zeigen wie der Verschlussteller 4 erfindungsgemäß an bzw. auf den Schienen 6 und 7 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren ist. In der in den Fig. 3 und 4 gezeigten Stellung können die Wartungsarbeiten wie z.B. ein Austausch der Dichtung am Verschlussteller 4 vorgenommen werden. Alternativ kann auch der gesamte Verschlussteller 4 ausgetauscht werden. Fig. 5 zeigt einen Vertikalschnitt durch das Gehäuse 3 in der Stellung gemäß Fig. 3 im oberen Bereich des Gehäuses 3.

[0023] Bei der nachfolgenden Schilderung dieses ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung 1 werden zahlreiche Merkmale dieser Ausführungsvariante geschildert, die in dieser Form auch bei den nachfolgend geschilderten Ausführungsbeispielen und auch bei anderen, hier nicht gezeigten Ausführungsbeispielen, einzeln, in Kombina- tion oder auch in anderer Kombination reaiisiert werden können.

[0024] Zunächst wird darauf hingewiesen, dass das Gehäuse 2 der Verschlusseinrichtung 1 übiicherweise außen an einer Prozesskammer oder einer Transferkammer oder zwischen zwei soicher Kammern in der Art und Weise angeordnet wird, dass die Öffnung 3 bzw. die Öffnungen 3 im Gehäuse 2 der Verschiusseinrichtung 1 mit entsprechenden, hier nicht dargestellten Öffnungen in den Wandungen der entsprechenden Prozess- bzw. Transferkammern fluchten. Dies hat zur Foige, dass, wenn der Verschiussteiier 4 in seiner Öffnungsstellung gemäß Fig. 2 ist, die zu bearbeitenden bzw. herzusteiienden Substrate durch die Öffnung 3 bzw. Öffnungen 3 der Verschiusseinrichtung 1 in die jeweiiige Prozess- bzw. Transferkammer hineingebracht und aus dieser wieder herausgehoit werden können. Die hier reaiisierten, in Vertikalrichtung längserstreckten Öffnungen 3 haben den Vorteil, dass die Substrate auch hängend durch sie hindurch gefördert werden können, in den hier reaiisierten Ausgestaitungsformen umschließt das Gehäuse 2 einen innenraum, in dem der Verschiussteiier in den Bewegungsrichtungen 18 zwischen der Öffnungssteiiung gemäß Fig. 2 und der hier nicht dargestellten Abdeckstellung, in der er die Öffnung 3 abdeckt, in den Bewegungsrichtungen 18 hin und her fahrbar ist. In den gezeigten Ausführungsbeispieien ist die Bewegungsrichtung 18 horizontal ausgerichtet, wie dies in Fig. 2 eingezeichnet ist. im hier reaiisierten Gehäuse sind zwei Öffnungen 3 realisiert, welche miteinander fluchten. Eine der Öffnungen 3 wird vom Verschiussteiier 4 abgedeckt bzw. verschlossen. Die zweite dahinterliegende Öffnung 3, wie sie insbesondere in Fig. 4 gut erkennbar ist, wird in den hier realisierten Ausgestaltungsformen mit einem Gegenteller 13 verschlossen. Am Verschiussteiier 4 und/oder an dem Sitz des Gehäuses 2, welcher die diesem Verschlussteller 4 zugeordnete Öffnung 3 umgibt, ist zumindest eine, hier nicht gesondert dargestellte, Dichtung angeordnet, sodass der Verschiussteiier 4 die Öffnung 3 in der Schließstellung abdichtend verschließt. Die Dichtungen können hierbei wie beim Stand der Technik ausgeführt sein und müssen nicht näher erläutert werden. Der Gegenteller 13 stützt sich rückwärtig an einem die zweite bzw. hintere Öffnung 3 umgebenden Sitz des Gehäuses 2 ab. Auch der Gegenteller 13 kann mit einer entsprechenden Dichtung abdichtend gegen diesen Sitz gedrückt werden. Der Gegenteller 13 kann aber auch als reine Abstützung ohne dichtenden Verschluss ausgeführt sein. Anstelle des Gegentellers 13 gibt es auch zahlreiche andere Möglichkeiten, den Verschiussteiier 4 rückwärtig am Gehäuse 2 abzustützen. Jedenfalls ist in den hier gezeigten Ausführungsbeispielen vorgesehen, dass der Verschiussteiier 4, wenn er sich in der Abdeckstellung befindet, in der er die Öffnung 3 vollständig abdeckt, zum Erreichen der Schließstellung, in der er abdichtend am Sitz des Gehäuses 2 anliegt, in einer Schließhubrichtung bewegt werden muss.

[0025] Diese Schließhubrichtung ist im gezeigten Ausführungsbeispiel orthogonal zu den Bewegungsrichtungen 18 und horizontal ausgerichtet. In den Fig. 1 und 2 steht diese Schließhubrichtung des Schließhubes somit normal auf der Zeichenblattebene. Um den Verschlussteller 4 aus der Abdeckstellung in die Schließstellung zu bringen, werden in den hier gezeigten Ausführungsbeispielen der Verschiussteiier 4 und der Gegenteller 13 durch einen geeigneten, hier nicht dargestellten Hubantrieb in Schließhubrichtung auseinandergedrückt. Solche Hubantriebe können pneumatische, hydraulische oder elektrische Druckkissen oder sonstige Aktuatoren sein. Es ist auch, wie an sich beim Stand der Technik bekannt, denkbar, Schrägflächen einzusetzen, um Verschiussteiier 4 und Gegenteller 13 auseinanderzudrücken. Darüber hinaus können auch alle anderen beim Stand der Technik an sich bekannten, für diesen Einsatzzweck geeigneten Antriebe zum Auseinanderdrücken von Verschiussteiier 4 und Gegenteller 13 eingesetzt werden. Das gleiche gilt dann auch für den Öffnungshub, also die Bewegung des Verschlusstellers 4 von der Schließstellung in die Abdeckstellung.

[0026] Zum Hin- und Herbewegen des Verschlusstellers 4 zwischen der Öffnungsstellung gemäß Fig. 2 und der Abdeckstellung in den Bewegungsrichtungen 18 ist der hier gut sichtbare Verschlusstellerantrieb 5 vorgesehen. Auch hier kann es sich um einen elektrischen, hydraulischen, pneumatischen oder sonstigen geeigneten Antrieb handeln. In den gezeigten Ausführungsbeispielen ist dies jedenfalls ein Linearantrieb, der eine lineare Bewegung des Verschlusstellers 4 zwischen der Öffnungsstellung und der Abdeckstellung in den Bewegungsrich- tungen 18 hin und her ermöglicht. In den konkret gezeigten Varianten ist der Verschlussteller 4 und hier auch der Gegenteller 13 mittels der Antriebsstange 12 mit dem Verschlusstellerantrieb 5 verbunden. Zum Verschieben des Verschlusstellers 4 samt Gegenteller 13 zwischen Öffnungsstellung und Abdeckstellung sind innerhalb des Gehäuses 2 interne Schienen 17 vorgesehen, welche den Verschlussteller 4 samt Gegenteller 13 bei den genannten Bewegungen tragen und führen. Konkret befinden sich am Verschlussteller 4 und am Gegenteller 13 Führungskörper 14 und 15, welche mit den internen Schienen 17 entsprechend Zusammenwirken, um die gewünschte Führung innerhalb des Gehäuses 2 zu erreichen. Im Normalbetrieb werden der Verschlussteller 4 und der Gegenteller 13 von den genannten Antrieben zwischen der Öffnungsstellung gemäß Fig. 2, der Abdeckstellung und der Schließstellung hin und her bewegt.

[0027] Sollen nun am Verschlussteller 4 und gegebenenfalls auch am Gegenteller 13 Wartungsarbeiten durchgeführt werden oder ist ein Austausch einer dieser Teller 4 oder 13 notwendig oder muss der Schließhubantrieb gewartet werden, so ist es erfindungsgemäß in allen Ausführungsbeispielen möglich, den Verschlussteller 4 an oder auf einer Schiene 6, 7 aus dem Gehäuse 2 herauszufahren, wie dies für das erste Ausführungsbeispiel in den Fig. 3, 4 und 5 dargestellt ist. In der dort gezeigten herausgefahrenen Stellung können dann die gewünschten Wartungs- und/oder Austauscharbeiten unproblematisch durchgeführt werden. In den gezeigten Ausführungsbeispielen ist der Verschlussteller 4 jeweils zusammen mit dem Gegenteller 13 über seine Führungskörper 14 und 15 zwischen den Schienen 6 und 7 gehalten. Bei der unteren Schiene 6 handelt es sich in den hier gezeigten Ausführungsbeispielen jeweils um eine Tragschiene, welche das Gewicht des Verschlusstellers 4 und der jeweils daran befestigten Teile trägt. Die obere Schiene 7 ist in den gezeigten Ausführungsbeispielen als Zusatzschiene ausgeführt, welche als Verkippsicherung für den aus dem Gehäuse 2 herausgefahrenen Verschlussteller 4 dient.

[0028] Speziell im ersten Ausführungsbeispiel ist nun vorgesehen, dass der Verschlussteller 4, hier zusammen mit dem Gegenteller 13, auf der Seite 9, auf der der Verschlussantrieb 5 angeordnet ist, zusammen mit dem Verschlussantrieb 5 und dem Gehäusewandbereich 8 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren werden kann. Die Schienen 6 und 7 dieses Ausführungsbeispiels sind im Gehäuse abnehmbar befestigbar. Fig. 5 zeigt beispielhaft anhand der Zusatzschiene 7, wie diese zur lösbaren Befestigung innen im Gehäuse 2 angeschraubt werden kann. Bei der unteren Tragschiene 6 kann dies entsprechend ausgeführt sein. Es sind auch Steck-, Klemm-, Rast- oder andere lösbare Verbindungen zur Befestigung der Schienen 6 und 7 im oder am Gehäuse 2 denkbar.

[0029] Zur Montage der Schienen 6 und 7 werden ausgehend von dem Zustand gemäß Fig. 1 zunächst die Deckel 11 vom Gehäusewandbereich 8 entfernt. Durch die hierdurch frei werdenden Durchstecköffnungen 16 werden dann die Tragschiene 6 und die Zusatzschiene 7 in das Gehäuse 2 eingeführt und dort entsprechend befestigt. Anschließend kann der Verschlussteller 4 in diesem Ausführungsbeispiel gemeinsam mit dem Gegenteller 13, dem Gehäusewandbereich 8 und dem Verschlusstellerantrieb 5 in der Herausfahrrichtung 19 aus dem Gehäuse 2 in die Stellung gemäß der Fig. 3, 4 und 5 herausgefahren werden. Die Tragschiene 6 trägt dabei das Gewicht des Verschlusstellers 4, des Gegentellers 13 und hier in diesem Ausführungsbeispiel auch das Gewicht des am Verschlussteller 4 bzw. am Gegenteller 13 abgestützten Verschlusstellerantriebs 5 und des Gehäusewandbereichs 8. Die obere Zusatzschiene 7 dient als Verkippsicherung, sodass der Verschlussteller 4 und die daran befestigten, genannten Teile auch während der Wartungs- bzw. Austauscharbeiten sicher in vertikaler Stellung gehalten sind. Sind die Wartungs- bzw. Austauscharbeiten erledigt, so können der Verschlussteller 4 mit den genannten, daran befestigten weiteren Bauteilen entgegen der Herausfahrrichtung 19 wieder in das Gehäuse 3 hineingeschoben werden. Nach anschließender Befestigung des Gehäusewandbereichs 8 am restlichen Gehäuse 2 und Verschließen der Durchstecköffnung 16 mittels der Deckel 11 kann die Verschlusseinrichtung 1 dann wieder in den Normalbetrieb übergehen, indem sie die Öffnung 3 je nach Stellung des Verschlusstellers 4 öffnet oder verschließt. In dem ersten wie auch in den anderen Ausführungsbeispielen der Erfindung ist vorgesehen, dass die Herausfahrrichtung 19 parallel zur Bewegungsrichtung 18 ist und dass der Ver-

Schlussteller 4 an den Schienen 6 und 7 seitlich aus dem Gehäuse 2 herausfahrbar ist. Dies muss natürlich nicht zwingend so sein. Auch andere Anordnungen sind denkbar und möglich.

[0030] Zu den nachfolgend geschilderten Ausführungsbeispielen der Erfindung werden nur noch die Unterschiede zum ersten Ausführungsbeispiel gemäß der Fig. 1 bis 5 dargelegt. Die restlichen Schilderungen zum ersten Ausführungsbeispiel sind entsprechend auf die nachfolgend beschriebenen Ausführungsbelspiele anwendbar.

[0031] Die Fig. 6 bis 9 zeigen Darstellungen eines zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels einer Verschlusseinrichtung 1. Dargestellt ist nur noch der Zustand, in dem der Verschlussteller 4 mit den daran befestigten weiteren Bauteilen an bzw. auf den Schienen 6 und 7 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren ist. Auch im zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der Fig. 6 bis 9 wird der Verschlussteller 4 samt Gegenteller 13, dem Gehäusewandbereich 8 und dem Verschlusstellerantrieb 5 auf der Seite 9, auf der der Verschlusstellerantrieb 5 angeordnet ist, aus dem Gehäuse 2 herausgefahren. Die Stellung im Normalbetrieb entspricht den Fig. 1 und 2 zum ersten Ausführungsbeispiel.

[0032] Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel werden im zweiten Ausführungsbeispiel die Tragschiene 6 und die Zusatzschiene 7 nicht mehr am Gehäuse 2 befestigt bzw. von diesem wieder abgenommen. Es ist in diesem zweiten Ausführungsbeispiel vielmehr vorgesehen, dass die Schienen 6 und 7 im Gehäuse 2 und aus dem Gehäuse 2 ausfahrbar gelagert sind. Die Zusatzschiene 7 ist hierzu teleskopartig ausfahrbar ausgeführt. Das gleiche gilt auch für die Tragschiene 6, wie dies gut insbesondere an den Detaildarstellungen gemäß Fig. 8 und 9 zu sehen ist. Auch hier sind die Deckel 11 vorhanden. Sind sie abgenommen, geben sie die Durchstecköffnungen 16 frei, sodass die Schienen 6 und 7 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren werden können, bevor der Verschlussteller 4 samt Gegenteller 13 und dem daran hängenden Gehäusewandbereich 8 und Verschlusstellerantrieb 5 in Herausfahrrichtung 19 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren wird.

[0033] Das dritte Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Verschlusseinrichtung 1 ist in den Fig. 10 bis 14 gezeigt. Die Fig. 10 und 11 zeigen den Normalzustand analog zu Fig. 1 und 2 des ersten Ausführungsbeispiels, in dem die Verschlusseinrichtung 1 ihren Dienst tut, indem sie mittels des Verschlusstellers 4 die Öffnung 3 verschließt oder freigibt. Die Fig. 12, 13 und 14 zeigen jeweils wieder Darstellungen, in denen der Verschlussteller 4 samt Gegenteller 13 an bzw. auf den Schienen 6 und 7 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren ist. Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel wird der Verschlussteller 4 mit den daran angeordneten Zusatzbauteilen im dritten Ausführungsbeispiel auf der dem Verschlusstellerantrieb 5 gegenüberliegenden Seite 10 aus dem Gehäuse 2 herausgefahren. Dies kann entweder vom Verschlusstellerantrieb 5 über entsprechend weites Ausfahren der Antriebsstange 12 realisiert werden. Alternativ ist es auch möglich, den Verschlussteller 4 zunächst vom Verschlusstellerantrieb 5 bzw. von der Antriebsstange 12 abzukoppeln, um dann von Hand oder mittels eines anderen Antriebs den Verschlussteller 4 samt der daran befestigten Teile entlang der Schienen 6 und 7 in Herausfahrrichtung 19 aus dem Gehäuse 2 herauszufahren. Für das genannte Abkoppeln des Verschlusstellers 4 vom Verschlusstellerantrieb 5 gibt es verschiedene Möglichkeiten. Z.B. kann der Verschlussteller 4 so vor und teilweise über die Öffnung 3 hinweggefahren werden, dass man durch die Öffnung 3 hindurch eine Verbindung, wie z.B. eine Verschraubung, zwischen dem Verschlusstellerantrieb 5 bzw. der Antriebsstange 12 einerseits und dem Verschlussteller 4 und gegebenenfalls weiteren daran befestigten Bauteilen wie z.B. dem Gegenteller 13 andererseits lösen kann.

[0034] Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel wird vor dem Herausfahren des Verschlusstellers 4 entlang der Schienen 6 und 7 der Gehäusewandbereich 8, welcher sich auf der Seite 10, also gegenüber dem Verschlusstellerantrieb 5 befindet, vom Gehäuse 2 entfernt, um so eine entsprechende seitliche Öffnung in der Gehäusewand zu schaffen.

[0035] Wie im ersten Ausführungsbeispiel ist auch im dritten Ausführungsbeispiel vorgesehen, dass die Schienen 6 und 7 entsprechend wieder lösbar am Gehäuse 2 angeordnet sind. Nach Abschluss der Wartungs- bzw. Austauscharbeiten wird der Ventilteller 4 mit dem Gegenteller 13 dann wieder in das Gehäuse 2 hineingeschoben und soweit notwendig am Verschlusstellerantrieb 5 angekoppelt. Die Schienen 6 und 7 werden entfernt. Durch Anbringen des Gehäusewandbereichs 8 wird das Gehäuse 2 wieder entsprechend geschlossen, sodass wieder die normale Betriebsstellung gemäß Fig. 10 und 11 erreicht ist.

[0036] Das vierte Ausführungsbeispiel gemäß der Fig. 15 bis 18 entspricht dem dritten Ausführungsbeispiel bis auf die Tatsache, dass in diesem vierten Ausführungsbeispiel, wie im zweiten Ausführungsbeispiel bereits geschildert, die Schienen 6 und 7 im Gehäuse 2 und aus dem Gehäuse 2 teleskopartig ausfahrbar gelagert sind. Die Fig. 15 bis 18 zeigen wiederum ähnlich wie beim zweiten Ausführungsbeispiel, nur den Zustand, in dem der Verschlussteller 4 samt Gegenteller 13 an bzw. auf den Schienen 6 und 7 seitlich aus dem Gehäuse 2 herausgefahren ist. Der zusammengebaute Normalzustand entspricht den Fig. 10 und 11. LEGENDE ZU DEN HINWEISZIFFERN: 1 Verschlusseinrichtung 2 Gehäuse 3 Öffnung 4 Verschlussteller 5 Verschlusstellerantrieb 6 Schiene 7 Schiene 8 Gehäusewandbereich 9 Seite 10 Seite 11 Deckel 12 Antriebsstange 13 Gegenteller 14 Führungskörper 15 Führungskörper 16 Durchtrittsöffnung 17 interne Schiene 18 Bewegungsrichtung 19 Herausfahrrichtung

Claims (10)

1. Ansprüche

   1. Verschlusseinrichtung (1), insbesondere Vakuumverschlusseinrichtung, wobei die Ver-schiusseinrichtung (1) ein Gehäuse (2) mit zumindest einer Öffnung (3) und zumindest einen Verschiussteiier (4) zum Verschiießen der Öffnung (3) aufweist und der Verschiusstei-ier (4) von einem Verschiussteiierantrieb (5) der Verschiusseinrichtung (1) zwischen zumindest einer Öffnungssteiiung, in der der Verschiussteiier (4) die Öffnung (3) ganz oder teiiweise freigibt, und einer Abdecksteiiung, in der der Verschiussteiier (4) die Öffnung (3) voiiständig abdeckt, hin und her verfahrbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiusseinrichtung (1) zumindest eine Schiene (6, 7) aufweist, an oder auf der der Verschiussteiier (4) aus dem Gehäuse (2) herausfahrbar ist.
2. 2. Verschiusseinrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Verschiussteiier (4), in der Betriebssteiiung der Verschiusseinrichtung (1) gesehen, an der Schiene (6, 7) seitiich aus dem Gehäuse (2) herausfahrbar ist.
3. 3. Verschiusseinrichtung (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnung (3), in der Betriebssteiiung der Verschiusseinrichtung (1) gesehen, in einer Ebene angeordnet ist, weiche mit einer Horizontaiebene einen Winkei von 90°+-30° einschiießt und/oder dass die Öffnung (3), in der Betriebssteiiung der Verschiusseinrichtung (1) gesehen, zumindest doppeit so hoch wie breit ist.
4. 4. Verschiusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schiene (6) eine Tragschiene zum Tragen des Gewichts des aus dem Gehäuse (2) herausgefahrenen Verschiussteiiers (4) und gegebenenfaiis auch des vom Verschiussteiier (4) getragenen Verschiussteiierantriebs (5) und/oder Gehäusewandbereichs (8) ist.
5. 5. Verschiusseinrichtung (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der aus dem Gehäuse (2) herausgefahrene Verschiussteiier (4) auf der als Tragschiene ausgebildeten Schiene (6) stehend abgestützt ist.
6. 6. Verschiusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschlusseinrichtung (1) zusätzlich zur Schiene (6), vorzugsweise Tragschiene, noch zumindest eine Zusatzschiene (7) als Verkippsicherung für den aus dem Gehäuse (2) herausgefahrenen Verschlussteller (4) aufweist.
7. 7. Verschlusseinrichtung (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der aus dem Gehäuse (2) herausgefahrene Verschlussteller (4) zwischen der Schiene (6) und der Zusatzschiene (7) gehaiten ist.
8. 8. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Schiene (6) oder die Schienen (6, 7) am Gehäuse (2) fix angeordnet oder an oder in diesem abnehmbar befestigbar oder im Gehäuse (2) und aus dem Gehäuse (2), vorzugsweise teleskopartig, ausfahrbar gelagert sind.
9. 9. Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Verschlussteller (4) auf einer Seite (9), auf der der Verschlusstellerantrieb (5) angeordnet ist, zusammen mit dem Verschlusstellerantrieb (5) und gegebenenfalls einem Gehäusewandbereich (8) aus dem Gehäuse (2) herausfahrbar ist oder dass der Verschlussteller (4), vorzugsweise in einem vom Verschlusstellerantrieb (5) abgekoppelten Zustand, auf einer dem Verschlusstellerantrieb (5) gegenüberliegenden Seite (10) aus dem Gehäuse (2) herausfahrbar ist.
10. 10. Verfahren zur Wartung oder zum Austausch des Verschlusstellers (4) einer Verschlusseinrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei der Verschiussteiier (4) vor Durchführung der Wartung oder des Austauschs an oder auf der Schiene (6, 7) aus dem Gehäuse (2) herausgefahren wird.