JP5859793B2 - 光出力信号の安定化判定方法、及びレーザ周波数安定化装置 - Google Patents
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Description
レーザ周波数安定化装置100は、図4に示すように、レーザ発生部10と、レーザ光検出部20と、駆動制御部30とを備える。
レーザ発生部10は、波長808nmのレーザ光L1を放出する励起用半導体レーザ11と、レーザ光L1を入力し、波長532nmのレーザ光L2を出力する共振波生成部12とを備える。
共振波生成部12は、誘導輻射から波長1064nmの光を発光するNd:YVO4結晶121、波長1064nmの光の一部を波長532nmの光とするKTP結晶(非線形光学結晶)122、レーザ光の特定周波数のみを透過させるエタロン123、波長1064nmの光を反射させ波長532nmの光を透過させる反射鏡124等の光学素子が共振器筐体125に収納された構成を有する。
そして、共振器筐体125内部にエタロン123を配設することで、シングルモードのレーザ光L2が得られる。
また、共振器筐体125内部には、電圧の印加により反射鏡124の位置を変更(共振器長を変更)するピエゾ素子等のアクチュエータ126が配設されている。
また、レーザ光検出部20は、レーザ光L4を、第2偏光ビームスプリッタ23、λ/4板24、及びヨウ素セル(吸収セル)25を透過させた後、反射鏡26にてヨウ素セル25に向けて反射させる。
そして、レーザ光検出部20は、レーザ光L4を、再度、ヨウ素セル25及びλ/4板24を通過させた後、第2偏光ビームスプリッタ23にて変換装置としての光検出器27に向けて反射させ、光検出器27にて光電変換することで光出力信号S1を出力する。
なお、図5(A)は、各信号S1,S2の出力値を縦軸とし、アクチュエータ126への出力電圧Vを横軸とし、出力電圧Vを変化させた場合(共振器長を変化させた場合)での各信号S1,S2の波形をそれぞれ示す図である。図5(B)は、図5(A)の領域Arの2次微分信号S2を拡大した図である。
図5(A)に示すように、出力電圧Vを幅広く走査すると、吸収線M1〜M4が周期的に繰り返して観測されることがわかる。なお、吸収線M1と吸収線M3とは同一の吸収線であり、吸収線M2と吸収線M4とは同一の吸収線である。
ここで、吸収線M1〜M4は、飽和吸収線群が束となったものである。例えば、吸収線M2は、図5(B)に示すように、出力電圧Vの低い側から順に、飽和吸収線群N1(飽和吸収線a1)と、飽和吸収線群N2(飽和吸収線a2〜a5)と、飽和吸収線群N3(飽和吸収線a6〜a9)と、飽和吸収線群N4(飽和吸収線a10)と、飽和吸収線群N5(飽和吸収線a11〜a14)と、飽和吸収線群N6(飽和吸収線a15)とで構成されている。
具体的に、駆動制御部30では、自動ロック装置31の制御信号により、アクチュエータ制御部32がアクチュエータ駆動回路33を制御する(アクチュエータ駆動回路33に出力する電圧値Vcを調整する)ことで、アクチュエータ126への出力電圧Vを変更する。
なお、駆動制御部30は、上述した構成31〜33の他、周波数1f,2f,3fHzの信号を出力する変復調信号発生器34と、アクチュエータ駆動回路33にて周波数1fHzの信号に基づき変調されたレーザ光L2の励起により得られる光出力信号S1を周波数2f,3fHzでそれぞれ変調し、2次,3次微分信号S2,S3をそれぞれ出力する2次,3次微分用ロックインアンプ35,36を備える。
なお、自動ロック装置31は、探索処理及び周波数固定処理において、出力電圧Vを変更しながら、2次微分信号S2の出力値が所定の電圧値Vth(図5(B))以上となった場合に、当該信号を飽和吸収線と認定している。
なお、図6は、光出力信号S1の出力値を縦軸とし、電源投入してからの経過時間を横軸とし、共振器長を所定値に設定した状態での光出力信号S1の出力値の時間変化を示す図である。
ところで、光出力信号S1は、図6に示すように、レーザ周波数安定化装置100の電源投入時から暫くの間(図6では、2700秒程度)、不安定な状態が続き、その後、安定化するものである。言い換えれば、光出力信号S1を周波数2fHzで変調した2次微分信号S2も同様に、電源投入時から暫くの間、不安定な状態が続き、その後、安定化するものである。
すなわち、電源投入直後には、2次微分信号S2が不安定な状態であるため、探索処理及び周波数固定処理を実施しても飽和吸収線を精度良く測定できない。
このため、従来では、作業者は、電源投入時から一定時間が経過した後、すなわち、光出力信号S1(2次微分信号)が安定化するまで待った後、レーザ周波数安定化装置100の使用(探索処理及び周波数固定処理)を開始していた。
しかしながら、作業者は、光出力信号S1が実際に安定化しているか否かを判別することが難しいものである。このため、レーザ周波数安定化装置100の使用を開始した時点で未だ光出力信号S1が不安定な状態であったり、光出力信号S1が安定化しているにも拘らずレーザ周波数安定化装置100の使用を待機したりすることとなり、レーザ周波数安定化装置100の利便性の向上が図れない、という問題がある。
このことにより、光出力信号が安定化しているか否かを自動で判定できる。
このため、制御装置は、光出力信号が安定化していると判定した後、例えば、(1)レーザ周波数安定化装置が使用可能である旨を作業者に認識させる処理(LED(Light Emitting Diode)等の点灯制御、または、音声での報知制御等)、あるいは、(2)探索処理及び周波数固定処理に自動的に移行することができる。
したがって、レーザ周波数安定化装置の使用を開始した時点で未だ光出力信号が不安定な状態であったり、光出力信号が安定化しているにも拘らずレーザ周波数安定化装置の使用を待機したりすることがなく、レーザ周波数安定化装置の利便性の向上が図れる。
そして、光出力信号を検出する際に設定された共振器長でモードホップ現象が発生している場合には、当該光出力信号は、常時、不安定な状態となる。
すなわち、信号解析ステップ及び安定化判定ステップを実行する際の共振器長でモードホップ現象が発生している場合には、本来(モードホップ現象が発生しない共振器長で)、光出力信号が安定化しているにも拘らず、いつまで経っても、光出力信号が安定化していると判定することができない。
このことにより、制御装置は、モードホップ現象が発生しているために光出力信号が安定化していると判定できない場合に、共振器長をモードホップ現象が発生しない共振器長に変化させ、再度、信号解析ステップ及び安定化判定ステップを実行できる。
したがって、モードホップ現象が発生していることで光出力信号が不安定な状態となっているにも拘らず、レーザ周波数安定化装置が故障していると制御装置が誤って判断することを防止できる。
ところで、安定化判定方法の開始時点(例えば、電源投入時点)から光出力信号が安定化するまでの時間は、レーザ周波数安定化装置の構成部材(例えば、エタロン)の劣化度合い等と関係があるものである。
本発明では、安定化判定方法は、制御装置にて実行される上述した計測ステップを備える。
このことにより、作業者は、計測ステップにて計測した時間を把握することで、レーザ周波数安定化装置の構成部材の交換時期等のメンテナンス時期を効率的に認識することができる。
本発明のレーザ周波数安定化装置は、上述した安定化判定方法を実施する装置であるため、上述した安定化判定方法と同様の作用及び効果を享受できる。
〔レーザ周波数安定化装置の構成〕
図1は、レーザ周波数安定化装置1を示すブロック図である。
レーザ周波数安定化装置1は、図1に示すように、従来のレーザ周波数安定化装置100と同様のレーザ発生部10、レーザ光検出部20、及び駆動制御部30を備える。
なお、本実施形態のレーザ周波数安定化装置1は、従来のレーザ周波数安定化装置100と比較して、探索処理及び周波数安定化処理を実施する機能の他、光出力信号S1が安定化しているか否かを判定する機能を有する制御装置37を備える点が異なる。
このため、以下では、従来のレーザ周波数安定化装置100と同様の機能及び構成については同様の符号を付して説明を省略し、本願の要部である制御装置37について詳細に説明する。
図2は、制御装置37を示すブロック図である。
制御装置37は、CPU(Central Processing Unit)や、メモリ376等を備え、メモリ376に記憶されたプログラムにしたがって、種々の処理を実行する。
この制御装置37は、図1または図2に示すように、従来のレーザ周波数安定化装置100と同様の自動ロック装置31の他、信号解析手段371と、安定化判定手段372と、実施回数判定手段373と、共振器長変更手段374と、時間計測手段375と、メモリ376等を備える。
安定化判定手段372は、信号解析手段371の解析結果に基づいて、光出力信号S1が安定化しているか否かを判定する。
実施回数判定手段373は、信号解析手段371及び安定化判定手段372による処理の実施回数、並びに、共振器長変更手段374による処理の実施回数を計測し、当該計測した各実施回数が所定の回数を超えたか否かを判定する。
時間計測手段375は、電源投入時から安定化判定手段372にて光出力信号S1が安定化していると判定されるまでの時間を計測する。
図3は、安定化判定方法を説明するフローチャートである。
次に、上述した制御装置37による安定化判定方法について説明する。
制御装置37は、レーザ周波数安定化装置1に電源が投入されると、以下に示す安定化判定方法を実施する。
先ず、共振器長変更手段374は、アクチュエータ駆動回路33の動作を制御し、共振器長を所定値に変化させる(ステップST1)。
具体的に、信号解析手段371は、所定のサンプリング間隔で、光検出器27から出力される光出力信号S1の出力値を順次、メモリ376に記憶させる。
そして、信号解析手段371は、上記一定時間の経過後、メモリ376に記憶させた光出力信号S1の出力値を読み取り、標準偏差を計算する。
なお、上記一定時間としては、標準的なレーザ周波数安定化装置1において、電源投入時から光出力信号S1が安定化するまでに掛かると予想される時間(以下、予想安定時間)に対して、十分に短い時間である。
ステップST3において、安定化判定手段372にて「Y」と判定された場合には、制御装置37は、安定化判定方法の実施を終了する。
なお、上記回数mとしては、上記予想安定時間を上記一定時間で除した数に近似した回数である。
すなわち、ステップST4では、電源投入時から一般的に光出力信号S1が安定するまでに掛かる上記予想安定時間が経過するまで、信号解析ステップST2及び安定化判定ステップST3を繰り返し実施したか否かを判定するものである。
ステップST4において、実施回数判定手段373にて「N」と判定された場合には、制御装置37は、実施回数判定手段373にて「Y」と判定されるまで、信号解析ステップST2及び安定化判定ステップST3を繰り返し実施する。
ステップST5において、実施回数判定手段373にて「N」と判定された場合には、共振器長変更手段374は、アクチュエータ駆動回路33の動作を制御し、共振器長を変化させる(ステップST6:共振器長変更ステップ)。
また、制御装置37は、上記ステップST2〜ST4の処理を繰り返し実施してもなお、光出力信号S1が安定化していると判定されない場合には、再度、共振器長変更ステップST6を実施し、上記ステップST2〜ST4の処理を繰り返し実施する。
ここで、エラー処理としては、例えば、LED等の点灯制御、あるいは、音声による報知制御により、レーザ周波数安定化装置1が故障している旨を作業者に知らせる処理が挙げられる。
時間計測手段375は、電源投入時(安定化判定方法の開始時)から、ステップST1〜ST4の処理において、光出力信号S1が安定化していると判定されるまでの時間を計測する。
そして、時間計測手段375は、当該計測した時間をメモリ376に記憶させる。
なお、時間計測手段375は、上述した安定化判定方法において、ステップST5〜ST7の処理のいずれかの処理が実施された場合には、計測した時間を初期化し、メモリ376に計測時間を記憶させない。
本実施形態では、安定化判定方法は、制御装置37にて実行される信号解析ステップST2及び安定化判定ステップST3を備える。
このことにより、光出力信号S1が安定化しているか否かを自動で判定できる。
このため、制御装置37は、光出力信号S1が安定化していると判定した後、(1)レーザ周波数安定化装置1が使用可能である旨を作業者に認識させる処理(LED等の点灯制御、音声での報知制御等)、あるいは、(2)探索処理及び周波数固定処理に自動的に移行することができる。
したがって、作業者は、レーザ周波数安定化装置1の使用を開始した時点で未だ光出力信号S1が不安定な状態であったり、光出力信号S1が安定化しているにも拘らずレーザ周波数安定化装置1の使用を待機したりすることがなく、レーザ周波数安定化装置1の利便性の向上が図れる。
このことにより、制御装置37は、モードホップ現象が発生しているために光出力信号S1が安定化していると判定できない場合に、共振器長をモードホップ現象が発生しない共振器長に変化させ、再度、信号解析ステップST2及び安定化判定ステップST3を実行できる。
したがって、モードホップ現象が発生していることで光出力信号S1が不安定な状態となっているにも拘らず、レーザ周波数安定化装置1に故障が生じていると制御装置37が誤って判断することを防止できる。
このことにより、作業者は、計測ステップにてメモリ376に記憶された時間を把握することで、レーザ周波数安定化装置1の構成部材(例えば、エタロン123等)の交換時期等のメンテナンス時期を効率的に認識することができる。
前記実施形態では、信号解析ステップST2及び安定化判定ステップST3では、一定時間、検出した光出力信号S1の出力値の標準偏差に基づいて、光出力信号S1が安定化しているか否かを判定していたが、これに限らない。
例えば、光出力信号S1の出力値と所定の閾値とを比較し、当該比較結果に基づいて、光出力信号S1が安定化しているか否かを判定する方法を採用しても構わない。
すなわち、光出力信号S1を解析し、当該解析した結果に基づいて、光出力信号S1が安定化しているか否かを判定する方法であれば、いずれの方法でも構わない。
25・・・ヨウ素セル(吸収セル)
27・・・光検出器(変換装置)
37・・・制御装置
126・・・アクチュエータ
371・・・信号解析手段
372・・・安定化判定手段
S1・・・光出力信号
ST2・・・信号解析ステップ
ST3・・・安定化判定ステップ
ST6・・・共振器長変更ステップ
Claims (5)
- レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき共振器長を変化させて前記レーザ光の発振周波数を特定の前記飽和吸収線に安定化させるレーザ周波数安定化装置に用いられる光出力信号の安定化判定方法であって、
前記レーザ周波数安定化装置は、
前記吸収セルを介したレーザ光を前記光出力信号に変換する変換装置と、
前記共振器長を変化させるアクチュエータと、
前記アクチュエータの動作を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置が、
前記変換装置にて変換された前記光出力信号をメモリに記憶し、当該光出力信号を解析する信号解析ステップと、
前記信号解析ステップの解析結果に基づいて、前記光出力信号が安定化しているか否かを判定する安定化判定ステップと、を実行する
ことを特徴とする安定化判定方法。 - 請求項1に記載の安定化判定方法において、
前記安定化判定ステップは、前記光出力信号の出力値と、第1閾値との比較結果に基づいて、前記光出力信号が安定化しているか否かを判定する
ことを特徴とする安定化判定方法。 - 請求項1または請求項2に記載の安定化判定方法において、
前記信号解析ステップは、所定のサンプリング間隔で前記光出力信号を複数取得する
ことを特徴とする安定化判定方法。 - 請求項3に記載の安定化判定方法において、
前記信号解析ステップは、前記サンプリング間隔で取得された複数の前記光出力信号の出力値の標準偏差を算出し、
前記安定化判定ステップは、前記標準偏差と、第2閾値との比較結果に基づいて、前記光出力信号が安定化しているか否かを判定する
ことを特徴とする安定化判定方法。 - レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき共振器長を変化させて前記レーザ光の発振周波数を特定の前記飽和吸収線に安定化させるレーザ周波数安定化装置であって、
前記吸収セルを介したレーザ光を前記光出力信号に変換する変換装置と、
前記共振器長を変化させるアクチュエータと、
前記アクチュエータの動作を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記変換装置にて変換された前記光出力信号をメモリに記憶し、当該光出力信号を解析する信号解析手段と、
前記信号解析手段の解析結果に基づいて、前記光出力信号が安定化しているか否かを判定する安定化判定手段と、を備える
ことを特徴とするレーザ周波数安定化装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011212594A JP5859793B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 光出力信号の安定化判定方法、及びレーザ周波数安定化装置 |
EP20120006047 EP2575219B1 (en) | 2011-09-28 | 2012-08-24 | Method for determining stabilization of laser output signal and laser frequency stabilizing device |
US13/611,952 US8958446B2 (en) | 2011-09-28 | 2012-09-12 | Method for determining stabilization of light output signal and laser frequency stabilizing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011212594A JP5859793B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 光出力信号の安定化判定方法、及びレーザ周波数安定化装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013074155A JP2013074155A (ja) | 2013-04-22 |
JP5859793B2 true JP5859793B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=47215309
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011212594A Expired - Fee Related JP5859793B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | 光出力信号の安定化判定方法、及びレーザ周波数安定化装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8958446B2 (ja) |
EP (1) | EP2575219B1 (ja) |
JP (1) | JP5859793B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6154657B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2017-06-28 | 株式会社ミツトヨ | レーザ装置 |
JP6469472B2 (ja) | 2015-02-17 | 2019-02-13 | 株式会社ミツトヨ | レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法 |
JP6934748B2 (ja) * | 2016-06-14 | 2021-09-15 | 株式会社ミツトヨ | レーザ装置及び周波数偏移量特定方法 |
JP6836848B2 (ja) | 2016-06-22 | 2021-03-03 | 株式会社ミツトヨ | レーザ光調整方法、及びレーザ光源装置 |
CA2998026A1 (en) * | 2017-03-13 | 2018-09-13 | Picomole Inc. | Apparatus and method of optimizing laser system |
JP2019087550A (ja) | 2017-11-01 | 2019-06-06 | 株式会社ミツトヨ | レーザ装置及びレーザ安定化方法 |
JP2019149400A (ja) | 2018-02-26 | 2019-09-05 | 株式会社ミツトヨ | レーザ光源装置及びレーザ光調整方法 |
US11035789B2 (en) | 2019-04-03 | 2021-06-15 | Picomole Inc. | Cavity ring-down spectroscopy system and method of modulating a light beam therein |
CN117192815B (zh) * | 2023-09-18 | 2024-05-17 | 上海频准激光科技有限公司 | 一种基于内调制的光束相位控制系统及方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2007019361A (ja) | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Mitsutoyo Corp | 周波数安定化レーザ |
JP4897449B2 (ja) | 2006-12-04 | 2012-03-14 | 株式会社ミツトヨ | レーザ周波数安定化装置、レーザ周波数安定化方法、及びレーザ周波数安定化プログラム |
JP5042781B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2012-10-03 | 株式会社ミツトヨ | 周波数安定化レーザ装置及びレーザ周波数安定化方法 |
JP2009142864A (ja) * | 2007-12-14 | 2009-07-02 | Keyence Corp | レーザ加工装置、レーザ加工装置の設定方法及びレーザ加工装置の設定プログラム並びにコンピュータで読取可能な記録媒体 |
JP2009218488A (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Mitsutoyo Corp | レーザ周波数安定化装置、方法、及びプログラム |
-
2011
- 2011-09-28 JP JP2011212594A patent/JP5859793B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-08-24 EP EP20120006047 patent/EP2575219B1/en active Active
- 2012-09-12 US US13/611,952 patent/US8958446B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2575219A1 (en) | 2013-04-03 |
EP2575219B1 (en) | 2015-04-15 |
US20130077644A1 (en) | 2013-03-28 |
US8958446B2 (en) | 2015-02-17 |
JP2013074155A (ja) | 2013-04-22 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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