JP2002255585A - Glass substrate for information recording disk and information recording disk using the glass substrate - Google Patents

Glass substrate for information recording disk and information recording disk using the glass substrate

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JP2002255585A
JP2002255585A JP2001056748A JP2001056748A JP2002255585A JP 2002255585 A JP2002255585 A JP 2002255585A JP 2001056748 A JP2001056748 A JP 2001056748A JP 2001056748 A JP2001056748 A JP 2001056748A JP 2002255585 A JP2002255585 A JP 2002255585A
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/095Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing rare earths

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate for information recording disks optimized in the thermal expansion coefficient. SOLUTION: The glass substrate is composed of >=50 to <=70 wt.% SiO2 , >=10 to <=25 wt.% Al2 O3 , 0 to <5 wt.% B2 O3 , >13 to <18 wt.% R2 O (R is an alkali metal) and >=1 to <=8 wt.% Ln2 O3 (Ln represents Pr, Nd, Sm or Eu), wherein the difference between the thermal expansion coefficient of the glass substrate and that of a supporting spindle supporting by fitting to a throughhole 3 is reduced, so as to eliminate a track shifting by keeping the thermal expansion coefficient of the glass substrate in a proper range.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録ディスク
用のガラス基板に係り、特に、磁性ディスクなどに好適
なガラス基板に関する。
The present invention relates to a glass substrate for an information recording disk, and more particularly to a glass substrate suitable for a magnetic disk and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】現在、汎用大型コンピュータやパーソナ
ルコンピュータ用の情報記録媒体として、さらにはデジ
タル信号で配信される映像を一時的に保管する家庭用の
サーバーとして磁気ディスク装置や、携帯性のある情報
記録媒体として光磁気ディスクや光ディスクなどが用い
られている。
2. Description of the Related Art At present, magnetic disk devices and portable information are used as information recording media for general-purpose large-sized computers and personal computers, and as home servers for temporarily storing images distributed by digital signals. Magneto-optical disks and optical disks are used as recording media.

【0003】例えば、磁気ディスク装置では、従来、基
板として汎用向けやデスクトップ型のパーソナルコンピ
ューター用途には3.5インチサイズのアルミニウム基
板が、また持ち運び可能なノート型のパーソナルコンピ
ューター用には主に2.5インチサイズのガラス基板が
用いられてきた。このガラス基板は、アルミニウム基板
に比べ硬くて変形し難く、かつ表面平滑度が優れてい
る。このため、汎用型の3.5インチサイズや3インチ
サイズの基板にもアルミニウム基板に代えてガラス基板
が適用されるようになってきている。また、1.8イン
チサイズや1インチサイズといった小型携帯端末用の情
報記録装置にもガラス基板が適用されようとしている。
For example, in a magnetic disk drive, a 3.5-inch aluminum substrate has conventionally been used as a substrate for general-purpose or desktop personal computers, and mainly a portable notebook-type personal computer has been mainly used. A glass substrate with a size of 0.5 inches has been used. This glass substrate is harder and harder to deform than the aluminum substrate, and has excellent surface smoothness. For this reason, glass substrates have come to be applied to general-purpose 3.5-inch and 3-inch substrates instead of aluminum substrates. Also, glass substrates are being applied to information recording devices for small portable terminals such as 1.8-inch size and 1-inch size.

【0004】さらに、情報記録装置や情報記録媒体に対
する大容量化の要請が強まっており、近年では年率10
0%の割合でその記憶容量が増大している。このような
記憶容量の増大に対応するには、ディスクに記録する情
報の高密度化に伴い記録部のヘッドの浮上量をより低く
する必要がある。したがって、ディスクの記録面がより
平滑な情報記録ディスクの開発が必要であることから
も、情報記録ディスクの基板へのガラス基板の適用が拡
大している。
[0004] Further, demands for increasing the capacity of information recording devices and information recording media have been increasing, and in recent years, the annual rate of 10
The storage capacity is increasing at a rate of 0%. In order to cope with such an increase in the storage capacity, it is necessary to lower the flying height of the head of the recording unit with the increase in the density of information recorded on the disk. Therefore, the application of a glass substrate to the substrate of the information recording disk is expanding because the development of an information recording disk having a smoother recording surface is required.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のガラス
基板では、熱膨張係数の適正化が考慮されているとは言
い難い。そのため、従来のガラス基板を用いる情報記録
ディスクとこの情報記録ディスクを支えるスピンドルな
どとの間の熱膨張係数の不整合から、情報記録ディスク
への情報の記録や読み出しなどにおいてトラックずれが
生じることが懸念される。これは今後の大容量化に伴う
トラックの高密度化から、より重大な課題になると考え
られる。したがって、ガラス基板やスピンドルが熱膨張
したときにトラックずれなどを生じないように、ガラス
基板の熱膨張係数を適正化することが望まれている。
However, it is difficult to say that a conventional glass substrate takes into account the optimization of the coefficient of thermal expansion. For this reason, track misalignment may occur when recording or reading information on an information recording disk due to a mismatch in the coefficient of thermal expansion between a conventional information recording disk using a glass substrate and a spindle supporting the information recording disk. I am concerned. This is considered to be a more serious problem due to the increase in track density due to the increase in capacity in the future. Therefore, it is desired to optimize the thermal expansion coefficient of the glass substrate so that a track shift or the like does not occur when the glass substrate or the spindle thermally expands.

【0006】本発明の課題は、情報記録ディスク用ガラ
ス基板の熱膨張係数を適正化することにある。
An object of the present invention is to optimize the thermal expansion coefficient of a glass substrate for an information recording disk.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の情報記録ディス
ク用ガラス基板は、重量百分率で、50%以上70%以
下のSiO2と、10%以上25%以下のAl23と、
0%以上5%未満のB23と、13%を超え18%未満
のR2O(Rはアルカリ金属元素を表す)とを含む構成
とすることにより上記課題を解決する。
According to the present invention, there is provided a glass substrate for an information recording disk according to the present invention, comprising, by weight percentage, 50% or more and 70% or less of SiO 2 and 10% or more and 25% or less of Al 2 O 3 ;
The above object is achieved by employing a structure containing 0% or more and less than 5% of B 2 O 3 and more than 13% and less than 18% of R 2 O (R represents an alkali metal element).

【0008】このような構成とすれば、0%以上5%未
満のB23と、13%を超え18%未満のR2O(Rは
アルカリ金属元素を表す)とすることにより、ガラス基
板やスピンドルが熱膨張したときにトラックずれなどを
生じないように、情報記録ディスク用ガラス基板の熱膨
張係数を適正化できる。
[0008] With such a structure, the glass is made of B 2 O 3 of 0% or more and less than 5% and R 2 O (R represents an alkali metal element) of more than 13% and less than 18%. The thermal expansion coefficient of the glass substrate for an information recording disk can be optimized so that a track shift or the like does not occur when the substrate or the spindle thermally expands.

【0009】さらに、重量百分率で10%以下のZnO
を含む構成、重量百分率で12%以下のReO(Reはア
ルカリ土類金属元素を表す)を含む構成、そして重量百
分率で7%以下のLa23を含む構成とすれば、情報記
録ディスク用ガラス基板の熱膨張係数を上昇させること
により情報記録ディスク用ガラス基板の熱膨張係数を適
正化できるので好ましい。
Further, ZnO of not more than 10% by weight is used.
, A composition containing 12% or less by weight of ReO (Re represents an alkaline earth metal element), and a composition containing 7% or less by weight of La 2 O 3 . It is preferable to increase the coefficient of thermal expansion of the glass substrate because the coefficient of thermal expansion of the glass substrate for an information recording disk can be optimized.

【0010】ところで、ガラス基板は、ガラス本来の性
質である割れ易さ、かけ易さ、そしてクラックの入り易
さなどの問題を有している。このようなガラスの割れ易
さなどの問題を解決するため、ガラス基板に化学強化
や、結晶化などを行っている。しかし、化学強化された
非晶質のガラス基板では、化学強化の工程におけるアル
カリイオンの置換によってガラス基板の表面が荒れてし
まうため、平滑性が失われ、将来のヘッド浮上量の低化
に対応することが難しい。さらに、化学強化されたガラ
ス基板の表面は、置換されたイオン半径の大きいアルカ
リイオンが化学的に不安定であるため、生産工程中のガ
ラス基板の洗浄工程や、ガラス基板表面への成膜工程な
どにおける加熱処理などにおいてアルカリイオンが基板
表面に移動して析出し、ガラス基板表面などに形成され
た膜または層の剥がれや粘着などの不良や、ガラス基板
表面などに形成された磁性膜などの磁気特性の劣化など
を生ずることが懸念される。加えて、情報記録ディスク
の長期間の使用や、高温多湿環境のもとでの保存などに
おいても、膜または層の剥がれや粘着などの不良を生ず
ることや、アルカリイオンがガラス基板表面に移動して
析出し、磁性膜などの磁気特性が劣化することが懸念さ
れる。
Incidentally, the glass substrate has problems such as easiness of breaking, easy breaking, and easy cracking, which are inherent properties of glass. In order to solve such problems as the easiness of breaking glass, chemical strengthening and crystallization are performed on glass substrates. However, with the chemically strengthened amorphous glass substrate, the surface of the glass substrate is roughened by the replacement of alkali ions in the chemical strengthening process, so the smoothness is lost, and the head flying height will be reduced in the future Difficult to do. Further, on the surface of the chemically strengthened glass substrate, the substituted alkali ions having a large ionic radius are chemically unstable, so that the glass substrate cleaning process and the film forming process on the glass substrate surface during the production process are performed. Alkali ions move to the surface of the substrate and precipitate during heat treatment, etc., and defects such as peeling or adhesion of the film or layer formed on the surface of the glass substrate and magnetic films formed on the surface of the glass substrate etc. There is a concern that the magnetic properties may deteriorate. In addition, even when the information recording disk is used for a long time or stored in a high-temperature and high-humidity environment, defects such as peeling or adhesion of the film or layer may occur, and alkali ions may migrate to the glass substrate surface. It is feared that the magnetic properties of the magnetic film and the like are deteriorated.

【0011】一方、結晶化ガラス基板は、非晶質なガラ
スの中に結晶質の微粒子が生成している状態になってお
り、この非晶質部分と結晶部分との硬度差により研磨速
度が異なるため、情報記録ディスクに求められている高
密度化に対応できるような十分な平滑性を持った記録面
を作り難いという問題があった。
On the other hand, the crystallized glass substrate is in a state in which crystalline fine particles are generated in the amorphous glass, and the polishing rate is reduced by the difference in hardness between the amorphous portion and the crystalline portion. Due to the difference, there has been a problem that it is difficult to create a recording surface having sufficient smoothness so as to be able to cope with a high density required for an information recording disk.

【0012】このような化学強化や結晶化したガラス基
板の問題を解決するため、発明者らは、特開平10−0
83531号公報などに、ガラス基板に希土類イオンを
含有させることにより機械的強度を向上することを提案
している。これにより、化学強化や結晶化しなくても十
分な強度のガラス基板が得られるため、ガラス基板や、
このガラス基板を用いた情報記録ディスクの製造または
加工工程におけるガラス基板表面の荒れや、情報記録デ
ィスクの長時間の使用や保存などによるガラス基板表面
の荒れなどが起こらず、ガラス基板表面の十分な平滑性
を保つことができる。すなわち、情報記録ディスクに求
められている高密度化に対応できるような十分な平滑性
を持った記録面を有するガラス基板を作ることができ
る。
In order to solve the problems of such chemically strengthened and crystallized glass substrates, the inventors disclosed in Japanese Patent Laid-Open No.
No. 83531 proposes improving the mechanical strength by incorporating rare earth ions into a glass substrate. As a result, a glass substrate with sufficient strength can be obtained without chemical strengthening or crystallization,
The glass substrate surface is not roughened during the manufacturing or processing process of the information recording disk using the glass substrate, and the glass substrate surface is not roughened due to prolonged use or storage of the information recording disk. Smoothness can be maintained. That is, it is possible to produce a glass substrate having a recording surface with sufficient smoothness so as to be able to cope with the high density required for information recording disks.

【0013】しかし、特開平10−083531号公報
などに提案した希土類イオンを含むガラス基板では、ガ
ラス基板や情報記録ディスクの生産時における不良品発
生の抑制、不良品の発見、さらに、化学的耐久性や、磁
気ディスク装置や光磁気ディスクなどに加工した場合に
必要な磁気特性などが十分に考慮されているとは言い難
く、これらの観点からの情報記録ディスク用ガラス基板
としての品質の向上が求められている。
However, in the glass substrate containing rare earth ions proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-083531, the occurrence of defective products during the production of glass substrates and information recording disks, the detection of defective products, and the chemical durability It is difficult to say that the magnetic properties required for processing into a magnetic disk device or a magneto-optical disk are sufficiently considered, and from these viewpoints the quality of the glass substrate for information recording disks has been improved. It has been demanded.

【0014】これに対し、重量百分率で、50%以上7
0%以下のSiO2と、10%以上25%以下のAl2
3と、0%以上5%未満のB23と、 13%を超え18
%未満のR2O(Rはアルカリ金属元素を表す)と、1
%以上8%以下のLn23(LnはPr、Nd、Sm、
またはEuを表す)とを含む構成とする。
On the other hand, the weight percentage is 50% or more and 7% or more.
0% or less of SiO 2 and 10% or more and 25% or less of Al 2 O
3, and B 2 O 3 of 5% or more and less than 0%, greater than 13% 18
% Of R 2 O (R represents an alkali metal element);
% To 8% Ln 2 O 3 (Ln is Pr, Nd, Sm,
Or Eu).

【0015】このような構成にすれば、1%以上8%以
下のLn23(LnはPr、Nd、Sm、またはEuを
表す)により、ガラス基板を適度に着色し、かつ適度な
透過率にできるため、ガラス基板中の気泡やその他の混
入物を目視により発見し易くなる。さらに、ガラス基板
の加工や洗浄工程、そして情報記録ディスクの加工工程
などにおいてガラス基板が視認し易いため、ガラス基板
に傷をつけるなどの加工不良などを抑制できる。加え
て、ガラス基板を磁気ディスク装置や光磁気ディスクな
どに用いる場合には、ガラス基板の磁化量を低減し、磁
気特性のばらつきを低減することができる。したがっ
て、ガラス基板や情報記録ディスクの生産時における不
良の発生などを抑制でき、さらに磁気特性のばらつきを
低減することができるため、情報記録ディスク用ガラス
基板の品質を向上できる。すなわち、情報記録ディスク
用ガラス基板の熱膨張係数を適正化でき、かつ情報記録
ディスク用ガラス基板の品質を向上できる。
According to this structure, the glass substrate is appropriately colored by Ln 2 O 3 of 1% or more and 8% or less (Ln represents Pr, Nd, Sm, or Eu) and has an appropriate transmission. This makes it easier to visually detect bubbles and other contaminants in the glass substrate. Further, since the glass substrate is easily visible in the processing and cleaning steps of the glass substrate, the processing step of the information recording disk, and the like, processing defects such as damaging the glass substrate can be suppressed. In addition, when the glass substrate is used for a magnetic disk device, a magneto-optical disk, or the like, the amount of magnetization of the glass substrate can be reduced, and variations in magnetic characteristics can be reduced. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of defects during the production of the glass substrate and the information recording disk, and furthermore, it is possible to reduce the variation in the magnetic characteristics, so that the quality of the information recording disk glass substrate can be improved. That is, the thermal expansion coefficient of the information recording disk glass substrate can be optimized, and the quality of the information recording disk glass substrate can be improved.

【0016】また、Ln23を構成するLnがPrであ
る構成とすれば、情報記録ディスク用ガラス基板の品質
をさらに向上できるので好ましい。
It is preferable that Ln constituting Ln 2 O 3 be Pr, because the quality of the glass substrate for the information recording disk can be further improved.

【0017】さらに、30℃〜100℃の温度範囲で測
定される熱膨張係数が73×10 /℃以上86×1
−7/℃以下であり、波長300nm〜700nmの
可視光における透過率が50%以上85%以下であり、
1kOeの磁界を印加したときの磁化が3×10−3
mu/cc以下である情報記録ディスク用ガラス基板と
する。このような情報記録ディスク用ガラス基板とすれ
ば、ガラス基板の熱膨張係数を適正化でき、かつガラス
基板の品質を向上できる。
Furthermore, the thermal expansion coefficient, measured at a temperature range of 30 ° C. to 100 ° C. is 73 × 10 - 7 / ℃ least 86 × 1
0 −7 / ° C. or less, and transmittance of visible light having a wavelength of 300 nm to 700 nm is 50% or more and 85% or less,
The magnetization when a magnetic field of 1 kOe is applied is 3 × 10 −3 e
A glass substrate for an information recording disk having a value of mu / cc or less. With such an information recording disk glass substrate, the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized, and the quality of the glass substrate can be improved.

【0018】また、上記のいずれかに記載の情報記録デ
ィスク用ガラス基板と、このガラス基板の表面上に直接
または他の層を介して形成される情報記録層とを有する
情報記録ディスクとすれば、ガラス基板の熱膨張係数を
適正化できることにより、情報記録ディスクとしての信
頼性を向上できる。
Further, an information recording disk having the glass substrate for an information recording disk described in any of the above and an information recording layer formed directly or via another layer on the surface of the glass substrate is provided. In addition, since the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized, the reliability as an information recording disk can be improved.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用してなる情報
記録ディスク用ガラス基板の一実施形態について図1乃
至図3を参照して説明する。図1は、本発明を適用して
なる情報記録ディスク用ガラス基板の概略構成を示す平
面図である。図2は、本発明を適用してなるガラス基板
を用いた磁気ディスクの概略構成を示す断面図である。
図3は、本発明を適用してなるガラス基板を用いた磁気
ディスクを備えた磁気ディスク装置の概略構成を示す斜
視図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied. FIG. 2 is a sectional view showing a schematic configuration of a magnetic disk using a glass substrate to which the present invention is applied.
FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of a magnetic disk drive provided with a magnetic disk using a glass substrate to which the present invention is applied.

【0020】本実施形態の情報記録ディスク用ガラス基
板1は、図1に示すように、直径65mmφ、厚さ0.
635mmの2.5インチ型の円板状のディスクであ
り、中央部には、情報記録ディスクとして用いるときに
記録や、読み出しまたは再生などを行う装置のモーター
などに連結されたスピンドルなどにディスクを内周チャ
ックなどにより固定するための直径20mmφの円形の
貫通穴3が形成されている。また、この内周面及び外周
面の両縁角部は、削り取られて45度の面取りがなされ
ており、チャンファー部5となっている。
As shown in FIG. 1, the glass substrate 1 for an information recording disk of this embodiment has a diameter of 65 mm and a thickness of 0.1 mm.
This is a 635-mm 2.5-inch disk-shaped disk. In the center, when used as an information recording disk, the disk is mounted on a spindle or the like connected to a motor of a device that performs recording, reading, or reproducing. A circular through hole 3 having a diameter of 20 mmφ for fixing by an inner peripheral chuck or the like is formed. The corners of the inner peripheral surface and the outer peripheral surface are cut off and chamfered at 45 degrees to form a chamfer portion 5.

【0021】このようなガラス基板1の作製は、以下の
ように行う。目的のガラス組成になるように定められた
量の原料粉末を秤量して混合し、白金製の坩堝に入れ
て、電気炉中で1600℃で溶解する。原料が十分に溶
解した後、攪拌羽を坩堝内のガラス融液に挿入し、約4
時間攪拌する。その後、攪拌羽を取り出し、30分間静
置した後、鋳型にガラス融液を流し込むことによって直
径約70mmφ、厚さ約1mmのガラスブロックを得
た。得られたガラスブロックは、このガラスのガラス転
移点付近まで再加熱され、徐冷されることで歪み取りが
行われる。
The production of such a glass substrate 1 is performed as follows. A raw material powder in an amount determined to have a desired glass composition is weighed and mixed, put in a platinum crucible, and melted at 1600 ° C. in an electric furnace. After the raw materials are sufficiently dissolved, the stirring blade is inserted into the glass melt in the crucible, and the
Stir for hours. Thereafter, the stirring blade was taken out and allowed to stand for 30 minutes, and then a glass melt was poured into a mold to obtain a glass block having a diameter of about 70 mmφ and a thickness of about 1 mm. The obtained glass block is reheated to the vicinity of the glass transition point of the glass, and is gradually cooled to remove a strain.

【0022】歪み取りされたガラスブロックを内周と外
周とが同心円となるようにコアドリルを用いて切り出
す。さらに、内周面と外周面の両縁角部をダイヤモンド
砥石により面取り加工し、チャンファー部5を形成す
る。これにより、穴3を有するディスク状のガラス基板
1の概形が形成される。その後、ガラス基板1の両面
は、粗研磨され、次いでポリッシングが行われる。ポリ
ッシング後、ガラス基板1は、洗浄剤、純水で洗浄さ
れ、情報記録ディスク用ガラス基板1となる。以上のよ
うに本発明の情報記録ディスク用ガラス基板1では、化
学強化や結晶化処理のような強化処理を施していない。
The glass block from which the distortion has been removed is cut out using a core drill so that the inner periphery and the outer periphery are concentric. Further, the chamfered portion 5 is formed by chamfering both corners of the inner peripheral surface and the outer peripheral surface with a diamond grindstone. As a result, a disk-shaped glass substrate 1 having the holes 3 is formed. Thereafter, both surfaces of the glass substrate 1 are roughly polished and then polished. After the polishing, the glass substrate 1 is washed with a cleaning agent and pure water to form the glass substrate 1 for an information recording disk. As described above, the glass substrate 1 for an information recording disk of the present invention has not been subjected to a strengthening process such as a chemical strengthening process or a crystallization process.

【0023】このような情報記録用ディスク用ガラス基
板1を用いて形成される情報記録ディスクの1例とし
て、磁気ディスクの作成について説明する。磁気ディス
ク7は、図2に示すように、本実施形態のガラス基板1
の表面つまり記録面上に順次形成された粒径制御層9、
配向制御層11、磁性膜13、保護膜15、そして潤滑
膜17などで構成されている。粒径制御層9は、磁性膜
13の粒径を制御し、配向制御層11は、磁性膜13の
配向を制御する。本例では、粒径制御層9は、NiAl
系の合金膜を20nmの膜厚で成膜している。配向制御層
11は、CrMo系の合金膜を10nmの膜厚で成膜して
いる。情報記録層となる磁性膜13は、CoCrPrB
系の磁性膜を20nmの膜厚で成膜している。保護膜15
は、Cを4nmの膜厚で成膜している。これらの層または
膜は、すべてスパッタリング法を用いて成膜した。また
潤滑膜17は、スパッタ終了後、塗布法によって形成し
た。
As an example of an information recording disk formed by using such an information recording disk glass substrate 1, a magnetic disk will be described. The magnetic disk 7 is, as shown in FIG.
A particle size control layer 9 sequentially formed on the surface of the
It is composed of an orientation control layer 11, a magnetic film 13, a protective film 15, a lubricating film 17, and the like. The grain size control layer 9 controls the grain size of the magnetic film 13, and the orientation control layer 11 controls the orientation of the magnetic film 13. In this example, the particle size control layer 9 is made of NiAl
A 20-nm thick alloy film is formed. The orientation control layer 11 is formed of a CrMo-based alloy film with a thickness of 10 nm. The magnetic film 13 serving as the information recording layer is made of CoCrPrB.
A system magnetic film is formed with a thickness of 20 nm. Protective film 15
Has a film thickness of C of 4 nm. All of these layers or films were formed by a sputtering method. The lubricating film 17 was formed by a coating method after the end of the sputtering.

【0024】このような方法により作製した様々な組成
の情報記録ディスク用ガラス基板1と、ガラス基板1に
磁性膜13などを形成した磁気ディスク7の特性、生産
性などを評価し、ガラス基板1の品質を向上するための
ガラス組成の検討を行った。
The characteristics, productivity, etc. of the glass substrate 1 for information recording disks of various compositions produced by such a method and the magnetic disk 7 in which the magnetic film 13 and the like are formed on the glass substrate 1 were evaluated. The glass composition for improving the quality of glass was studied.

【0025】まず、添加する希土類元素の種類に着目
し、色々な組成のガラスを作製した。表1に、ガラスの
組成と、それらのガラスの組成に対するガラス基板及び
磁気ディスクの特性を示す。
First, attention was paid to the types of rare earth elements to be added, and glasses having various compositions were produced. Table 1 shows the glass compositions and the characteristics of the glass substrate and the magnetic disk with respect to those glass compositions.

【0026】[0026]

【表1】 表1において、希土類元素の種類以外は、同一組成で同
一量のアルミノホウケイ酸ガラスとした。含有させる希
土類酸化物の量はいずれも2.8重量%と一定にした。
ガラス基板の特性として、マイクロビッカース硬さ、可
視光の透過率、着色性、及びガラス基板の歩留まりを評
価した。マイクロビッカース硬さは、荷重500g、荷
重印加時間15秒の条件でガラス基板に荷重を印加し、
10点の平均値として求めた。可視光の透過率は、分光
光度計を用いて300nmから700nmまでの波長の
分光透過率曲線より透過率スペクトルを測定し、この波
長範囲の光の全透過率の積分値として求めた。着色性は
目視により着色の程度を評価し、無色のものは×、着色
しているものは○とした。歩留まりの評価は、ガラス基
板をレーザー光照射による散乱光により異物数を検査す
る装置により評価し、気泡、研磨傷、かけ、表面異物な
どの不良がディスク片面当たり20個以上のものを不良
としてカウントし、不良でないものの割合で評価した。
[Table 1] In Table 1, aluminoborosilicate glass having the same composition and the same amount except for the type of the rare earth element was used. The amount of the rare earth oxide to be contained was kept constant at 2.8% by weight.
As characteristics of the glass substrate, micro Vickers hardness, transmittance of visible light, coloring property, and yield of the glass substrate were evaluated. The micro-Vickers hardness was applied to a glass substrate under the conditions of a load of 500 g and a load application time of 15 seconds,
An average value of 10 points was obtained. The transmittance of visible light was obtained by measuring a transmittance spectrum from a spectral transmittance curve of a wavelength from 300 nm to 700 nm using a spectrophotometer, and calculating the integrated value of the total transmittance of light in this wavelength range. The degree of coloring was visually evaluated to determine the degree of coloring. Colorless ones were evaluated as x, and colored ones were evaluated as ○. Yield is evaluated by using a device that inspects the glass substrate for the number of foreign substances using scattered light from laser light irradiation. Then, evaluation was made based on the ratio of non-defective products.

【0027】また、磁気ディスクの特性として磁化、磁
化の標準偏差、記録再生特性、及び磁気ディスクの歩留
まりを評価した。さらに、ガラス基板への加工前のガラ
スブロックの作製から磁気ディスクの作製に至るまでの
総合歩留まりを評価した。磁化及び磁化の標準偏差は、
B−H曲線を振動試料型磁力計(VSM)によって測定
し、磁性膜のヒステリシスループのバックグラウンド成
分をガラス基板からの磁性とし、そのバックグラウンド
成分の大きさを評価した。なお、磁化及び磁化の標準偏
差は、磁界として1kOe印加したときの磁化の大きさ
である。
Further, as characteristics of the magnetic disk, magnetization, standard deviation of magnetization, recording / reproducing characteristics, and yield of the magnetic disk were evaluated. Further, the overall yield from the production of a glass block before processing to a glass substrate to the production of a magnetic disk was evaluated. The magnetization and the standard deviation of the magnetization are
The BH curve was measured by a vibrating sample magnetometer (VSM), and the background component of the hysteresis loop of the magnetic film was regarded as magnetism from the glass substrate, and the magnitude of the background component was evaluated. The magnetization and the standard deviation of the magnetization are the magnitude of the magnetization when 1 kOe is applied as a magnetic field.

【0028】加えて、磁気ディスクの記録再生特性を評
価した。記録再生特性評価に用いた磁気ディスク装置1
8は、図3に示すように、磁気ディスク7、スピンドル
19、図示していないスピンドルモーター、磁気ヘッド
21、磁気ヘッドのアーム23、ヘッドを駆動するため
のボイスコイルモーター25、筐体27などで構成され
ている。筐体27には、図示していないスピンドルモー
ターとボイスコイルモーター25などが固定されてい
る。図示していないスピンドルモーターには、スピンド
ル19が連結されており、スピンドル19には磁気ディ
スク7が固定されている。磁気ディスク7は、図示して
いないスピンドルモーターの駆動によるスピンドル19
の回転によって、全体が回転する。一方、ボイスコイル
モーター25には、アーム23が取りつけられており、
アーム23の先端部には、磁気ヘッド21が取りつけら
れている。磁気ヘッド21は、ボイスコイルモーター2
5の駆動によるアーム23の移動によって、所定の浮上
量で磁気ディスク7の記録面上を移動する。
In addition, the recording and reproducing characteristics of the magnetic disk were evaluated. Magnetic disk drive 1 used for evaluation of recording and reproduction characteristics
Reference numeral 8 denotes a magnetic disk 7, a spindle 19, a spindle motor (not shown), a magnetic head 21, an arm 23 of the magnetic head, a voice coil motor 25 for driving the head, a housing 27, etc., as shown in FIG. It is configured. A spindle motor (not shown), a voice coil motor 25, and the like are fixed to the housing 27. A spindle 19 is connected to a spindle motor (not shown), and the magnetic disk 7 is fixed to the spindle 19. The magnetic disk 7 has a spindle 19 driven by a spindle motor (not shown).
By the rotation of, the whole is rotated. On the other hand, the arm 23 is attached to the voice coil motor 25,
The magnetic head 21 is attached to the tip of the arm 23. The magnetic head 21 is a voice coil motor 2
The arm 23 is moved by driving the magnetic disk 5 to move on the recording surface of the magnetic disk 7 by a predetermined flying height.

【0029】このような磁気ディスク装置18に、様々
な組成のガラス基板を用いて形成した磁気ディスクを搭
載し、20Gb/in2に相当する磁気信号を記録して
磁気記録再生特性を評価した。この評価を150枚の磁
気ディスクに対して行い、十分な記録再生特性が得られ
たものの割合を磁気ディスク歩留まりとした。さらに、
ガラス基板の歩留まりと磁気ディスクの歩留まりとから
総合歩留まりを評価した。総合での歩留まりが80%未
満のものを×、80%以上90%未満のものを○、90
%以上のものを◎とした。
A magnetic disk formed using glass substrates of various compositions was mounted on such a magnetic disk device 18, and a magnetic signal corresponding to 20 Gb / in 2 was recorded to evaluate magnetic recording / reproducing characteristics. This evaluation was performed on 150 magnetic disks, and the ratio of magnetic disks having sufficient recording / reproducing characteristics was determined as the magnetic disk yield. further,
The overall yield was evaluated from the yield of the glass substrate and the yield of the magnetic disk. ×, if the overall yield is less than 80%, ○, 90 if the yield is 80% or more and less than 90%
% Or more was evaluated as ◎.

【0030】表1に示すように、ガラス基板の特性にお
いて、マイクロビッカース硬さは、いずれの希土類元素
を含むガラス基板でも約650以上が得られており、良
好であることが分かった。また、可視光の透過率は、い
ずれの希土類元素を含むガラス基板でも80%以上であ
った。希土類元素のうちNd、Pr、Sm、Eu、H
o、Erのいずれか1つを含むガラス基板は、可視光域
に希土類のf−f遷移に起因するシャープな吸収が見ら
れた。このため、他の希土類元素を含むガラス基板に比
べて透過率は、若干低い。しかし、Nd、Pr、Sm、
Eu、Ho、Erの鋭い吸収のため、希土類元素のうち
Nd、Pr、Sm、Eu、Ho、Erのいずれか1つを
含むガラス基板では、明確な着色が見られた。白熱灯下
での目視観察による評価では、Prは黄緑、Ndは紫
色、Sm、Euは非常に淡いがそれぞれ黄色と桃色に着
色しているのが見られた。また、Er、Hoも桃色に着
色していた。他の希土類元素を含むガラス基板は、無色
であり、着色は見られなかった。
As shown in Table 1, in the characteristics of the glass substrate, the micro Vickers hardness of about 650 or more was obtained with any of the glass substrates containing a rare earth element. The transmittance of visible light was 80% or more in any of the glass substrates containing a rare earth element. Nd, Pr, Sm, Eu, H among rare earth elements
In the glass substrate containing any one of o and Er, sharp absorption due to the ff transition of rare earth was observed in the visible light region. Therefore, the transmittance is slightly lower than that of a glass substrate containing another rare earth element. However, Nd, Pr, Sm,
Because of the sharp absorption of Eu, Ho, and Er, clear coloring was observed on the glass substrate containing any one of Nd, Pr, Sm, Eu, Ho, and Er among the rare earth elements. In the evaluation by visual observation under an incandescent lamp, it was found that Pr was yellowish-green, Nd was purple, and Sm and Eu were very pale but yellow and pink, respectively. Er and Ho were also colored pink. The glass substrate containing another rare earth element was colorless and no coloring was observed.

【0031】これらの基板に対するガラス基板の歩留ま
りを評価すると、明瞭な着色の見られたPr、Nd、H
o、Erでは加工や洗浄時などに起こる不良、つまり傷
などの損傷による不良が着色していないものに比べて少
なく、歩留まりが95%以上となった。これは、着色し
たガラス基板は、加工工程や洗浄工程などにおいて透明
なガラス基板よりも目視確認し易いため、取扱いが容易
なことからガラス基板に処理作業中に誤って傷をつける
などガラス基板の損傷の発生を抑制できることにより、
歩留まりが向上したと考えられる。
When the yield of the glass substrates with respect to these substrates was evaluated, Pr, Nd, H
In the cases of o and Er, defects occurring during processing or cleaning, that is, defects due to damage such as scratches were smaller than those not colored, and the yield was 95% or more. This is because the colored glass substrate is easier to check visually than the transparent glass substrate in the processing step and the cleaning step, and is easy to handle. By suppressing the occurrence of damage,
It is considered that the yield has improved.

【0032】また、表には示していないが比較例として
Niを含有する着色性の高いガラス基板について評価し
たところ、このNiを含有する基板は、透過率が47%
と低く、ガラス中に存在する気泡、またはガラス基板の
原料の熔融時に坩堝を構成する成分つまり炉材のガラス
中への溶損などを発見することが難しく、ガラス基板の
表面に気泡や炉材などが残存することにより歩留まりが
低かった。
Further, although not shown in the table, a glass substrate having high coloring properties containing Ni was evaluated as a comparative example, and the substrate containing Ni had a transmittance of 47%.
It is difficult to find bubbles existing in the glass, or the components that make up the crucible when melting the raw materials of the glass substrate, that is, erosion of the furnace material into the glass. Yield was low due to the remaining.

【0033】このように、透過率とガラス基板及び磁気
ディスクの歩留まりとの間に明瞭な相関関係が見られ
る。透過率が50%未満となると、ガラス基板中に残存
する気泡や炉材の混入が発見し難く、歩留まり低下の要
因となる。また、ガラス基板の透過率が85%を越える
と、ガラス基板が視認し難くなるため、加工や洗浄作業
においてガラス基板の取扱いが難しくなり、誤って傷を
付けてしまうなどの加工不良が増加する。したがって、
ガラス基板の透過率は、視認するのに十分に着色され、
かつガラス基板中に残存する気泡や炉材の混入を発見し
易い、つまり不良を発見しやすいガラス基板を得る上
で、50%以上85%以下とする必要がある。さらに、
このような光学的な特性を達成するためにガラス基板に
添加する希土類元素は、Pr、Nd、Sm、Eu、E
r、またはHoが好ましいことが分かった。このうち、
Pr、Nd、Er、またはHoであれば着色が顕著であ
るためより好ましい。
Thus, there is a clear correlation between the transmittance and the yield of the glass substrate and the magnetic disk. If the transmittance is less than 50%, bubbles remaining in the glass substrate and mixing of furnace materials are hard to be found, which causes a reduction in yield. Further, when the transmittance of the glass substrate exceeds 85%, the glass substrate becomes difficult to visually recognize, so that it is difficult to handle the glass substrate in processing and cleaning work, and processing defects such as accidental scratching increase. . Therefore,
The transmittance of the glass substrate is colored enough to be seen,
In addition, in order to obtain a glass substrate in which bubbles and furnace materials remaining in the glass substrate can be easily found, that is, defects can be easily found, the content needs to be 50% or more and 85% or less. further,
Rare earth elements added to the glass substrate to achieve such optical characteristics include Pr, Nd, Sm, Eu, and E.
r or Ho was found to be preferred. this house,
Pr, Nd, Er or Ho is more preferable because coloring is remarkable.

【0034】一方、表1に示すように、磁気ディスクの
特性において、磁化の特性は、希土類元素のうちSc、
Y、Laのいずれか1つを含むガラス基板を用いて形成
した磁気ディスクでは、ガラス基板の磁化の大きさが1
−4emu/ccのオーダーであり、他の希土類元素
を含むガラス基板を用いて形成した磁気ディスクに比べ
て、極めて小さい磁化量であった。希土類元素としてS
mを含むガラス基板を用いて形成した磁気ディスクで
は、磁化は反磁性的な挙動を示しており、−4×10
−4emu/ccとなった。希土類元素としてPr、N
d、Euのいずれか1つを含むガラス基板を用いて形成
した磁気ディスクでは、1.0〜3.0×10 −3emu
/ccのオーダーであった。
On the other hand, as shown in Table 1,
In the characteristics, the magnetization characteristics are Sc, of the rare earth elements,
Formed using a glass substrate containing any one of Y and La
In the magnetic disk, the magnitude of magnetization of the glass substrate is 1
0-4on the order of emu / cc and other rare earth elements
Compared to magnetic disks formed using glass substrates containing
Thus, the amount of magnetization was extremely small. S as rare earth element
With a magnetic disk formed using a glass substrate containing m
Indicates that the magnetization shows a diamagnetic behavior, and -4 × 10
-4emu / cc. Pr, N as rare earth elements
Formed using a glass substrate containing either d or Eu
1.0 to 3.0 × 10 -3emu
/ Cc.

【0035】希土類元素としてGd、Tb、Dy、H
o、Er、Tm、Ybのいずれか1つを含むガラス基板
を用いて形成した磁気ディスクでは、5×10−3〜2
×10 −2emu/ccと、磁化の値が他の希土類元素
を含む場合に比べて大きくなっていた。磁化の固体差を
示す磁化の標準偏差を評価したところ、磁化の大きさの
大きいものほど磁化の標準偏差が大きくなっていた。こ
れは、磁化の大きさの大きいものほどガラス基板による
磁化のばらつきが大きくなっていることを示す。特に、
磁化の大きさが3×10−3emu/ccを超えるG
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Ybのいずれか1
つを希土類元素として含むガラス基板を用いた磁気ディ
スクでは、磁化の標準偏差が1×10−3emu/cc
以上となり、ガラス基板による磁気特性のばらつきが大
きくなった。
Gd, Tb, Dy, H as rare earth elements
Glass substrate containing any one of o, Er, Tm, and Yb
In a magnetic disk formed by using-3~ 2
× 10 -2emu / cc and the value of magnetization is other rare earth element
Was larger than the case where The difference in magnetization
When the standard deviation of the magnetization shown was evaluated, the magnitude of the magnetization
The larger the value, the larger the standard deviation of magnetization. This
This is because the larger the magnetization, the more the glass substrate
This indicates that the variation in magnetization is large. In particular,
Magnetization size is 3 × 10-3G exceeding emu / cc
Any one of d, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, and Yb
Magnetic disk using a glass substrate containing
In the disk, the standard deviation of magnetization is 1 × 10-3emu / cc
As described above, the variation in the magnetic characteristics due to the glass substrate is large.
I got it.

【0036】磁気記録再生特性による磁気ディスクの歩
留まりを見ると、磁化が3×10 emu/cc以下
で、磁化の標準偏差が1×10−3emu/cc未満の
磁気ディスクでは、十分な磁気特性の得られる磁気ディ
スクが90%以上と良好であった。しかし、磁化が3×
10−3emu/ccを超え、かつ磁化の標準偏差が1
×10−3emu/cc以上となる磁気ディスクでは、
歩留まりが80%以下と低下していることが分かった。
これは、ガラス基板に含有される希土類元素の僅かな固
体差によってガラス基板の磁気特性が変化し、これによ
り標準偏差が大きくなったため、一定の磁界で記録した
際の記録にばらつきが生じたものと考えられる。
[0036] Looking at the yield of the magnetic disk by the magnetic recording and reproducing characteristics, the magnetization is 3 × 10 - with 3 emu / cc or less, the magnetic disk of a standard deviation of less than 1 × 10 -3 emu / cc in magnetization, sufficient The magnetic disk from which magnetic properties were obtained was as good as 90% or more. However, the magnetization is 3 ×
Exceeds 10 −3 emu / cc and the standard deviation of magnetization is 1
For a magnetic disk having a capacity of × 10 −3 emu / cc or more,
It was found that the yield was reduced to 80% or less.
This is because the magnetic properties of the glass substrate changed due to a slight solid-state difference of the rare earth element contained in the glass substrate, and the standard deviation became large, resulting in variations in recording when recording with a constant magnetic field. it is conceivable that.

【0037】このように、磁化の大きさが3×10−3
emu/cc以下であれば磁気記録再生のばらつきが比
較的小さい磁気ディスクが得られた。磁化の大きさが3
×10−3emu/ccを超えると磁気記録再生特性の
ガラス基板毎のばらつきが大きくなるため、好ましくな
い。したがって、ガラス基板が磁気ディスクの磁化に与
える影響を低減する上で、磁化の大きさが3×10−3
emu/cc以下にすることが必要である。さらに、こ
のような磁気特性を得る上で、希土類元素としてSc、
Y、La、Pr、Nd、Sm、Euのいずれか1つをガ
ラス基板に含有させることが好ましい。
Thus, the magnitude of the magnetization is 3 × 10 −3.
If it is less than emu / cc, a magnetic disk having a relatively small variation in magnetic recording / reproduction was obtained. Magnitude of 3
If it exceeds × 10 −3 emu / cc, the dispersion of the magnetic recording / reproducing characteristics among the glass substrates increases, which is not preferable. Therefore, in order to reduce the influence of the glass substrate on the magnetization of the magnetic disk, the magnitude of the magnetization is 3 × 10 −3.
It is necessary to be less than emu / cc. Further, in order to obtain such magnetic characteristics, Sc, as a rare earth element,
It is preferable that any one of Y, La, Pr, Nd, Sm, and Eu is contained in the glass substrate.

【0038】ガラス基板の歩留まりに与える影響、及び
磁気特性が磁気ディスク装置の記録再生特性に及ぼす影
響を考慮して総合歩留まりを評価した。その結果、ガラ
ス基板の歩留まりに与える影響、及び磁気特性が記録再
生特性に及ぼす影響ともに十分な結果を示し、総合歩留
まりが80%以上となったPr、Nd、Sm、Euのう
ちのいずれか1つを希土類元素として含むガラス基板と
すれば、ガラス基板の品質を向上できる。さらに、総合
歩留まりが90%となるPrを希土類元素として含むガ
ラス基板とすれば、ガラス基板の品質をより向上するこ
とができる。
The total yield was evaluated in consideration of the effect on the yield of the glass substrate and the effect of the magnetic characteristics on the recording and reproducing characteristics of the magnetic disk drive. As a result, both the effect on the yield of the glass substrate and the effect of the magnetic characteristics on the recording / reproducing characteristics showed satisfactory results, and any one of Pr, Nd, Sm, and Eu having an overall yield of 80% or more was obtained. If the glass substrate contains one as a rare earth element, the quality of the glass substrate can be improved. Furthermore, if a glass substrate containing Pr as a rare earth element that provides an overall yield of 90% is used, the quality of the glass substrate can be further improved.

【0039】さらに、希土類酸化物の種類と希土類酸化
物の添加量の関係について調べた。着色に関して、表1
で透明であった希土類元素を含むガラス基板では、希土
類元素の含有量を増減させてもガラス基板の透過率に変
化は見られなかった。このため、ガラス基板を着色させ
た希土類元素のうち、Pr、Er、Smについて、その
含有量を変化させたガラス基板を作製し、表1と同様の
検討を行った。表2に、その検討した結果を示す。
Further, the relationship between the type of rare earth oxide and the amount of rare earth oxide added was examined. For coloring, Table 1
In the glass substrate containing a rare earth element which was transparent in the above, no change was observed in the transmittance of the glass substrate even when the content of the rare earth element was increased or decreased. For this reason, among the rare earth elements that colored the glass substrate, Pr, Er, and Sm were prepared with glass substrates having different contents, and the same examination as in Table 1 was performed. Table 2 shows the results of the study.

【0040】[0040]

【表2】 Prの含有量を変化させていったところ、試料No.1
7のPrを0.7重量%含有するガラス基板で
は、マイクロビッカース硬さが低く、ガラスの機械的強
度が低いため、研磨傷やかけなどの不良が多く、ガラス
基板の歩留まりが82%と低かった。Prを1重
量%含有する試料No.16、及びPrを1.5
〜7重量%含有する試料No.18〜21では、マイク
ロビッカース硬さは高い値を示しており、着色、磁気特
性ともに十分であった。この事から、試料No.16、
及び試料No.18〜21のガラス基板は、総合歩留ま
りも90%を超えており、良好な結果となった。
[Table 2] When the content of Pr was changed, sample No. 1
The glass substrate containing 0.7% by weight of Pr 2 O 3 of No. 7 has low micro Vickers hardness and low mechanical strength of the glass, so there are many defects such as polishing scratches and spatters, and the yield of the glass substrate is 82. % Was low. Sample No. 1 containing 1% by weight of Pr 2 O 3 . 16, and Pr 2 O 3 at 1.5
No. 7% by weight. In Nos. 18 to 21, the micro Vickers hardness showed a high value, and both the coloring and the magnetic properties were sufficient. From this, the sample No. 16,
And sample no. For the glass substrates of Nos. 18 to 21, the total yield exceeded 90%, and good results were obtained.

【0041】一方、試料No.22のようにPr
含有量が7重量%を超えるものでは、着色に関しては問
題無いものの、磁気ディスクの磁化が3×10−3em
u/ccを超える値となった。このため、磁化のばらつ
きが大きくなり、磁気ディスクの歩留まりが80%を下
回り十分な結果が得られなかった。さらに、試料No.
23のようにPr含有量が10.5重量%のガラ
ス基板では、ガラス中の希土類元素が均一にガラス中に
溶解せず、不良品数が増大し、歩留まりが15%と低い
ため、ガラス基板としては好ましくなかった。
On the other hand, as shown in sample No. 22, Pr 2 O 3
When the content exceeds 7% by weight, there is no problem with regard to coloring, but the magnetization of the magnetic disk is 3 × 10 −3 em.
The value exceeded u / cc. For this reason, the variation in magnetization became large, and the yield of the magnetic disk was less than 80%, and a sufficient result was not obtained. Further, the sample No.
In a glass substrate having a Pr 2 O 3 content of 10.5% by weight, such as 23, rare earth elements in the glass are not uniformly dissolved in the glass, the number of defective products increases, and the yield is as low as 15%. It was not preferable as a glass substrate.

【0042】希土類元素としてErを含有させたガラス
基板では、Er含有量が0.5重量%の試料N
o.25では、マイクロビッカース硬さが小さいため、
十分な強度のガラス基板が得られず、ガラス基板の歩留
まりが悪かった。このとき、磁気ディスクの磁化の値が
3.1×10−3emu/ccと高く、磁気ディスクと
しての歩留まりも低下していた。Er含有量を1
重量%から増加させていくと、マイクロビッカース硬さ
も高くなると共に、透過率が低くなるため、ガラス基板
の歩留まりは上昇するものの、磁化が依然として3×1
−3emu/ccを超えるため、磁気ディスクの歩留
まりが悪かった。このように、希土類元素としてErを
用いた場合では、ガラス基板としての硬さや光学特性、
磁気ディスクとしての磁気特性の両方を同時に満たす組
成範囲が存在しないことが分かった。
On a glass substrate containing Er as a rare earth element, sample N having an Er 2 O 3 content of 0.5% by weight was used.
o. In 25, the micro Vickers hardness is small,
A glass substrate with sufficient strength could not be obtained, and the yield of the glass substrate was poor. At this time, the magnetization value of the magnetic disk was as high as 3.1 × 10 −3 emu / cc, and the yield as the magnetic disk was also low. Er 2 O 3 content of 1
When the weight percentage is increased, the micro Vickers hardness increases and the transmittance decreases, so that the yield of the glass substrate increases, but the magnetization is still 3 × 1.
Since more than 0 -3 emu / cc, yield of the magnetic disk was bad. As described above, when Er is used as the rare earth element, the hardness and optical characteristics of the glass substrate,
It has been found that there is no composition range that simultaneously satisfies both magnetic properties as a magnetic disk.

【0043】希土類元素としてSmを含有させたガラス
基板では、ガラス基板の光学的特性については、Sm
含有量が2.5重量%以上であると透過率が85%
以下で適正な範囲となった。磁気ディスクとしての磁気
特性は、Smを10重量%含有させても適正であ
ったが、Smの含有量が10重量%を超えるとP
rの場合と同様にガラス中に残存原料が残るため好まし
くなかった。
In a glass substrate containing Sm as a rare earth element, the optical characteristics of the glass substrate are as follows: Sm 2
When the O 3 content is 2.5% by weight or more, the transmittance is 85%.
Below is the appropriate range. Magnetic properties of a magnetic disk, which was also a fair the Sm 2 O 3 is contained 10% by weight, the content of Sm 2 O 3 exceeds 10 wt% P
As in the case of r, the residual raw material remains in the glass, which is not preferable.

【0044】同様に、希土類元素としてNd,Eu,H
oを含有させたガラス基板について検討を行ったとこ
ろ、Nd、Euについては、Smと同様の結果が得られ
たが、NdまたはEuの含有量が8重量%を越えると磁
気ディスクとしての磁気特性が低下し好ましくなかっ
た。Hoについては、希土類元素としてErを含むガラ
ス基板と同じく、ガラス基板の光学的特性と磁気ディス
クとしての磁気特性の両者を同時に満たす組成範囲が存
在しなかったたため、好ましい結果が得られなかった。
Similarly, rare earth elements such as Nd, Eu, H
When a glass substrate containing o was examined, the same results were obtained for Nd and Eu as for Sm, but when the content of Nd or Eu exceeded 8% by weight, the magnetic properties as a magnetic disk were Decreased, which was not preferable. Regarding Ho, as in the case of the glass substrate containing Er as a rare earth element, there was no composition range that satisfied both the optical characteristics of the glass substrate and the magnetic characteristics of the magnetic disk at the same time, so that a favorable result was not obtained.

【0045】このように、希土類元素としてPr、N
d、Sm、Euを含有させ、含有させる希土類酸化物の
濃度を1重量%以上8重量%以下にすることにより、ガ
ラス基板の光学的特性において、ガラス基板の視認性を
向上してガラス基板の加工時などに生じる傷やかけなど
の不良の発生を低減し、また、品質検査などにおけるガ
ラス基板中の気泡、脈理、異物、傷、かけなどの不良の
発見を容易にできる。さらに、磁気ディスクや光磁気デ
ィスクとした場合の磁気特性において、ガラス基板の磁
化を低減できるため、磁気ディスクや光磁気ディスクに
加工された場合の磁化特性に与えるガラス基板の影響を
低減できる。したがって、ガラス基板の品質を向上でき
る。
As described above, Pr and N are rare earth elements.
By containing d, Sm, and Eu, and making the concentration of the rare earth oxide contained 1% by weight or more and 8% by weight or less, the optical characteristics of the glass substrate improve the visibility of the glass substrate and improve the visibility of the glass substrate. It is possible to reduce the occurrence of defects such as scratches and chips generated during processing, and to easily find defects such as bubbles, striae, foreign matter, scratches and chips in the glass substrate in quality inspection and the like. Furthermore, since the magnetization of the glass substrate can be reduced in the magnetic characteristics of a magnetic disk or a magneto-optical disk, the influence of the glass substrate on the magnetic characteristics of the magnetic disk or magneto-optical disk can be reduced. Therefore, the quality of the glass substrate can be improved.

【0046】さらに、希土類元素としてPrを含ませ、
その希土類酸化物の濃度を1.5重量%以上5.2重量%
以下とすれば、総合歩留まりが90%以上となり、ガラ
ス基板の品質を一層向上できる。
Further, Pr is contained as a rare earth element,
The concentration of the rare earth oxide is 1.5% by weight to 5.2% by weight.
If it is below, the total yield is 90% or more, and the quality of the glass substrate can be further improved.

【0047】また、希土類元素としてPr、Ndのいず
れか1つを含ませる場合以外の場合で、希土類元素とし
てSmを含ませる場合には、その希土類酸化物の濃度が
2.5重量%以上9重量%以下、希土類元素としてEu
を含ませる場合には、その希土類酸化物の濃度が2.5
重量%以上8重量%以下とすることもできる。
In the case other than the case where any one of Pr and Nd is contained as the rare earth element, and when the Sm is contained as the rare earth element, the concentration of the rare earth oxide is not less than 2.5% by weight and 9%. Wt% or less, Eu as a rare earth element
Is contained, the concentration of the rare earth oxide is 2.5.
It may be not less than 8% by weight and not more than 8% by weight.

【0048】なお、希土類元素であるPr、Nd、S
m、Euの含有量が1重量%よりも少ないと、ガラス基
板のマイクロビッカース硬さなどで示される機械的強度
が低下したり、透過率が高くなり過ぎ、ガラス基板の歩
留まりが低下する。すなわち、ガラス基板の傷やかけな
どによる不良が増大することとなり、ガラス基板の品質
の低下を招く結果となった。一方、希土類元素の含有量
が8重量%よりも多いと、ガラス基板の磁化の値が増大
し、磁気ディスクや光磁気ディスクに加工された場合に
磁気ディスクや光磁気ディスクの磁化特性のばらつきを
増大させてしまい、ガラス基板とこのガラス基板を用い
た磁気ディスクや光磁気ディスクの品質を低下させてし
まうため好ましくない。さらに、希土類元素の含有量が
8重量%よりも多いと、ガラス中に原料が残存するばあ
いがあるため、ガラス基板の品質が低下し好ましくな
い。
The rare earth elements Pr, Nd, S
If the content of m and Eu is less than 1% by weight, the mechanical strength of the glass substrate, such as the micro-Vickers hardness, decreases, or the transmittance becomes too high, and the yield of the glass substrate decreases. That is, defects due to scratches, sprinkling, etc. of the glass substrate are increased, and the quality of the glass substrate is reduced. On the other hand, when the content of the rare earth element is more than 8% by weight, the magnetization value of the glass substrate increases, and when processed into a magnetic disk or a magneto-optical disk, the variation in the magnetization characteristics of the magnetic disk or the magneto-optical disk is reduced. This is not preferable because it increases the quality of the glass substrate and the quality of a magnetic disk or a magneto-optical disk using the glass substrate. Further, when the content of the rare earth element is more than 8% by weight, the quality of the glass substrate is deteriorated because the raw material may remain in the glass, which is not preferable.

【0049】次に、情報記録ディスク用ガラス基板とし
て適切なガラス組成について検討するため、ガラスの安
定性、熱膨張係数、ガラス基板表面のマイクロビッカー
ス硬度、円環強度、熱サイクル試験について検討した結
果を表3に示す。表3に示す各試料において、添加する
希土類元素としてPrを用いた。なお、表3のガラス組
成の中で、ROとはLiO、NaO、そしてK
Oを合わせた全アルカリ金属酸化物の含有量を示す。
Next, in order to examine a glass composition suitable for a glass substrate for an information recording disk, the results of an examination of glass stability, a coefficient of thermal expansion, micro Vickers hardness of the glass substrate surface, ring strength, and a heat cycle test were conducted. Are shown in Table 3. In each sample shown in Table 3, Pr was used as a rare earth element to be added. In the glass compositions in Table 3, R 2 O is Li 2 O, Na 2 O, and K 2
Shows the content of all alkali metal oxides including O.

【0050】[0050]

【表3】 ここで、ガラスの安定性では、ガラス溶解後に気泡、脈
理、異物などが顕著に見られたものは×とし、気泡、脈
理、異物などが見られず、清澄で均質なガラスが得られ
た場合は○とした。熱膨張係数は、各試料の組成に対応
するガラスブロックを作製し、4mm×4mm×15m
mの熱膨張測定用試験片を切り出し、熱膨張測定装置を
用いて測定した。このとき、測定温度範囲は、30℃〜
100℃とした。円環強度は、試料となる2.5″のガ
ラス基板の上面側に、外径22mmφの円環状の部材を
載せ、ガラス基板の下面側に内径63mmφ、外径65
mmφの円環状の部材を設置した後、これらの円環状の
部材に荷重をかけてガラス基板の破壊強度を測定した。
[Table 3] Here, with respect to the stability of the glass, those in which bubbles, striae, foreign matter, etc. were remarkably observed after melting the glass were evaluated as x, and clear, homogeneous glass was obtained without bubbles, striae, foreign matter, etc. When it was, it was marked as ○. The coefficient of thermal expansion is such that a glass block corresponding to the composition of each sample is prepared and 4 mm × 4 mm × 15 m
The test piece for measuring thermal expansion of m was cut out and measured using a thermal expansion measuring device. At this time, the measurement temperature range is 30 ° C.
100 ° C. The ring strength is determined by placing an annular member having an outer diameter of 22 mmφ on the upper surface side of a 2.5 ″ glass substrate serving as a sample, and 63 mmφ inner diameter and 65 mm outer diameter on the lower surface side of the glass substrate.
After installing the annular members of mmφ, a load was applied to these annular members, and the breaking strength of the glass substrate was measured.

【0051】熱サイクル試験では、得られたガラス基板
を用いて前述と同様に磁気ディスクを作製し、作製した
磁気ディスクを図3に示すような磁気ディスク装置に搭
載して実施した。熱サイクル試験の結果は、トラックず
れによる読み取りエラーなどの問題が生じる割合が1%
以下の場合は○を、1%以上の場合は×として示した。
このとき、熱サイクルは、0℃で4時間保持した後、昇
温して65℃で4時間保持した。さらにこの後、0℃に
降温して4時間保持した。このサイクルを10回繰り返
し、その間でエラーが生じるか否かを判定した。
In the thermal cycle test, a magnetic disk was manufactured using the obtained glass substrate in the same manner as described above, and the manufactured magnetic disk was mounted on a magnetic disk device as shown in FIG. According to the results of the thermal cycle test, the rate of problems such as reading errors due to track deviation is 1%
In the following cases, ○ was shown, and in the case of 1% or more, ×.
At this time, the heat cycle was maintained at 0 ° C. for 4 hours, and then the temperature was raised and maintained at 65 ° C. for 4 hours. Thereafter, the temperature was lowered to 0 ° C. and maintained for 4 hours. This cycle was repeated 10 times, and it was determined whether or not an error occurred during the cycle.

【0052】SiO2の含有量について表3に示す試料
No.50〜55などのガラス基板により検討した。S
iO2の含有量が49.5重量%のNo.52ガラス基板
では、マイクロビッカース硬度、円環強度が十分でな
く、情報記録ディスク用ガラス基板として十分な品質で
はなかった。しかし、試料No.51に示すようにSi
2の含有量がが50重量%であれば、マイクロビッカ
ース硬さが650を超えるため、ガラス基板として適切
であった。また、試料No.55のようにSiO 2の含
有量が70重量%を超えると、ガラス溶解時に気泡など
の発生が顕著になるので好ましくなかった。一方、試料
No.54のようにSiO2の含有量が70重量%で
は、気泡、脈理などの発生がなく、十分な耐水性と機械
的強度を有するガラス基板が得られた。
SiOTwoSamples shown in Table 3 for the content of
No. The study was conducted using glass substrates such as 50 to 55. S
iOTwoHaving a content of 49.5% by weight. 52 glass substrate
Does not have sufficient micro Vickers hardness and ring strength
With sufficient quality as a glass substrate for information recording discs
There was no. However, the sample No. As shown in FIG.
OTwoIf the content of
Suitable as a glass substrate because its hardness exceeds 650
Met. In addition, the sample No. SiO like 55 TwoIncluding
If the content exceeds 70% by weight, bubbles and the like will be generated when the glass is melted.
This was not preferable because the occurrence of blemishes became remarkable. On the other hand, the sample
No. SiO as in 54TwoContent of 70% by weight
Is free from bubbles, striae, etc.
Thus, a glass substrate having an appropriate strength was obtained.

【0053】このように、SiO2の含有量は50重量
%以上70重量%以下とすれば、情報記録ディスク用ガ
ラス基板として十分な耐水性と機械的強度を有するガラ
ス基板を得ることができる。なお、SiO2の含有量が
50重量%未満では、マイクロビッカース強度などの機
械的強度が低下するため好ましくない。また、SiO 2
の含有量が70重量%を超えると気泡、脈理などが発生
し、清澄で均質なガラスを得難いので好ましくない。
As described above, SiO 2TwoContent is 50 weight
% Or more and 70% by weight or less,
Glass with sufficient water resistance and mechanical strength as a glass substrate
Substrate can be obtained. Note that SiOTwoContent of
If it is less than 50% by weight, it may be difficult to use micro-Vickers strength
It is not preferable because mechanical strength is reduced. In addition, SiO Two
If the content exceeds 70% by weight, bubbles and striae are generated.
However, it is difficult to obtain a clear and homogeneous glass, which is not preferable.

【0054】Al2の含有量について試料No.5
6〜59などのガラス基板により検討した。試料No.
57のAl2の含有量が26重量%であるガラス基
板では、ガラスの熔融温度が高くなりすぎ、1600℃
の熔融ではガラスの原料が残存したため好ましくなかっ
た。しかし、試料No.56のAl2の含有量が2
5重量%のガラスでは、清澄なガラスを得ることができ
た。このとき、マイクロビッカース硬度、円環強度とも
ガラス基板として十分な値を示した。一方、Al2
の含有量が10重量%の試料No.58のガラス基板で
も、マイクロビッカース硬度、円環強度共にガラス基板
として十分な値を示し、かつ清澄なガラス基板が得られ
た。しかし、Al2の含有量が9.5重量%のNo.
59のガラス基板では、ガラス中に脈理などの不均質が
生じ、清澄なガラスを得ることができなかった。
With respect to the content of Al 2 O 3 , 5
The study was conducted using glass substrates such as 6 to 59. Sample No.
In a glass substrate having an Al 2 O 3 content of 26% by weight, the melting temperature of the glass is too high,
The melting was not preferable because the glass raw material remained. However, the sample No. 56 having an Al 2 O 3 content of 2
With 5% by weight of glass, clear glass could be obtained. At this time, both the micro Vickers hardness and the ring strength showed sufficient values for a glass substrate. On the other hand, Al 2 O 3
No. 10 content of 10% by weight. Even with the glass substrate No. 58, both the micro Vickers hardness and the ring strength showed sufficient values as a glass substrate, and a clear glass substrate was obtained. However, when the content of Al 2 O 3 was 9.5 wt%,
With the 59 glass substrate, inhomogeneity such as striae occurred in the glass, and clear glass could not be obtained.

【0055】このように、Al2の含有量が10重
量%以上25重量%以下とすれば、情報記録ディスク用
ガラス基板として十分な機械的強度を有し、かつ十分な
安定性を有するガラス基板、つまり清澄で均質なガラス
基板が得られた。なお、Al 2の含有量が10重量
%未満であると、清澄で均質なガラス基板が得られなか
った。一方、Al2の含有量が25重量%を超えた
ときも、ガラス中に原料成分が残存し、清澄なガラスを
得ることができなかった。
As described above, AlTwoO3Content of 10
If the amount is from 25% by weight to 25% by weight,
Having sufficient mechanical strength as a glass substrate
A stable glass substrate, that is, a clear and homogeneous glass
A substrate was obtained. In addition, Al TwoO3Content of 10 weight
%, A clear and homogeneous glass substrate cannot be obtained
Was. On the other hand, AlTwoO3Content exceeded 25% by weight
Sometimes, raw materials remain in the glass and clear glass
I couldn't get it.

【0056】LiO、NaO、KOを合わせた全
アルカリ酸化物の含有量(表中のR O)とガラス基板
の熱膨張係数の変化について試料No.42〜49など
により検討した。試料No.44、45のガラス基板よ
うにアルカリ金属酸化物の含有量が少ないガラスでは、
熱サイクル試験においてトラックずれによるエラーが確
認された。試料No.48、49のようにアルカリ金属
酸化物の含有量が多い場合にも同様にトラックずれによ
るエラーが生じる磁気ディスク装置が確認された。
Li2O, Na2O, K2All with O
Content of alkali oxide (R in the table) 2O) and glass substrate
The change in the coefficient of thermal expansion of Sample No. 42-49 etc.
It was examined by. Sample No. 44, 45 glass substrates
In glass with a low alkali metal oxide content,
Errors due to track deviation are confirmed in the thermal cycle test.
It has been certified. Sample No. Alkali metal like 48, 49
Similarly, when the oxide content is large,
A magnetic disk drive that caused an error was identified.

【0057】これらのガラス基板の熱膨張係数を見る
と、試料No.44、45のガラス基板では、各々7
1.0×10−7/℃、58.3×10−7/℃となって
おり、一般的にスピンドルの材料として用いられるステ
ンレス鋼などの熱膨張係数である80×10−7/℃に
比較して小さくなっている。また試料No.48、49
のガラス基板では、各々87.4×10−7/℃、95.
1×10−7/℃となっており、スピンドルを形成する
材料の熱膨張係数に比べて大きくなっていた。したがっ
て、このようなガラス基板の熱膨張係数とスピンドルの
熱膨張係数との差が、熱サイクルによるガラス基板の熱
膨張とスピンドルの熱膨張との差となり、図1に示すよ
うな情報記録ディスク1の貫通穴3の熱膨張が図3に示
すような磁気ディスク装置18のスピンドル19の熱膨
張よりも大きくなって、貫通穴3とスピンドル19との
間の嵌合状態に不具合が生じ、トラックずれが生じたも
のと考えられる。
Looking at the thermal expansion coefficients of these glass substrates, Sample No. For the glass substrates 44 and 45, 7
Has a 1.0 × 10 -7 /℃,58.3×10 -7 / ℃ , the generally 80 × 10 -7 / ℃ a thermal expansion coefficient such as stainless steel used as the material of the spindle It is smaller than that. Sample No. 48, 49
Of glass substrates of 87.4 × 10 −7 / ° C. and 95.
It was 1 × 10 −7 / ° C., which was larger than the coefficient of thermal expansion of the material forming the spindle. Therefore, such a difference between the thermal expansion coefficient of the glass substrate and the thermal expansion coefficient of the spindle becomes a difference between the thermal expansion of the glass substrate and the thermal expansion of the spindle due to thermal cycling, and as shown in FIG. The thermal expansion of the through hole 3 becomes larger than the thermal expansion of the spindle 19 of the magnetic disk device 18 as shown in FIG. Is considered to have occurred.

【0058】このようにガラス基板の熱膨張係数は、含
有するアルカリ金属酸化物に大きく依存するが、表3に
示す結果から、アルカリ金属酸化物の含有量が13.0
重量%以下となると、ガラス基板の熱膨張係数がスピン
ドルを形成する材料の熱膨張係数より小さくなり過ぎ、
熱サイクル試験においてトラックずれが生じるため好ま
しくなかった。また、18.0重量%以上になると、ガ
ラス基板の熱膨張係数がスピンドルを形成する材料の熱
膨張係数より大きくなり過ぎ、やはり熱サイクル試験に
おいてトラックずれが生じるため好ましくなかった。一
方、アルカリ金属酸化物の含有量が13.0重量%を超
え18.0重量%未満であれば、熱サイクル試験におい
てトラックずれなどの問題はほとんど生じなかった。ま
た、試料No.43のガラス基板のように熱膨張係数が
73.0×10−7/℃以上であり、試料No.47の
ガラス基板のように熱膨張係数が86.0×10−7
℃以下であれば、熱サイクル試験でトラックずれなどの
問題はほとんど生じない磁気ディスク装置が得られた。
As described above, the coefficient of thermal expansion of the glass substrate greatly depends on the contained alkali metal oxide. From the results shown in Table 3, the content of the alkali metal oxide is 13.0.
If the weight percent or less, the thermal expansion coefficient of the glass substrate is too small than the thermal expansion coefficient of the material forming the spindle,
This is not preferable because track deviation occurs in the heat cycle test. On the other hand, if it is 18.0% by weight or more, the coefficient of thermal expansion of the glass substrate becomes too large than the coefficient of thermal expansion of the material forming the spindle, which is also not preferable because a track shift occurs in the thermal cycle test. On the other hand, when the content of the alkali metal oxide is more than 13.0% by weight and less than 18.0% by weight, problems such as track deviation in the heat cycle test hardly occur. In addition, the sample No. Sample No. 43 has a coefficient of thermal expansion of 73.0 × 10 −7 / ° C. or more like the glass substrate No. 43. Like the glass substrate of No. 47, the coefficient of thermal expansion is 86.0 × 10 −7 /
When the temperature is lower than or equal to ° C., a magnetic disk device which hardly causes a problem such as track deviation in the thermal cycle test was obtained.

【0059】したがって、アルカリ金属酸化物の含有量
が13.0重量%を超え18.0重量%未満であれば、ガ
ラス基板の熱膨張係数がトラックずれなどの問題を生じ
ない適正範囲、すなわち73.0×10−7/℃以上8
6.0×10−7/℃以下となり、ガラス基板の熱膨張
係数を適正化できる。
Therefore, when the content of the alkali metal oxide is more than 13.0% by weight and less than 18.0% by weight, the coefficient of thermal expansion of the glass substrate is in an appropriate range which does not cause a problem such as track deviation, that is, 73%. 0.0 × 10 −7 / ℃ or higher 8
6.0 × 10 −7 / ° C. or less, and the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized.

【0060】Bの含有量について試料No.60
〜63などのガラス基板より検討した。Bを含有
していないか、Bの含有量が3重量%以下である
試料No.60〜62のガラス基板は、気泡や脈理など
が少なく十分に均質であり、かつ熱膨張係数、ビッカー
ス硬度や円環強度などの機械的強度も適正な値を示し
た。一方、Bの含有量が5重量%である試料N
o.63のガラス基板は、熱膨張係数が小さくなって適
正範囲からはずれ、熱サイクル試験においてトラックず
れを生じる磁気ディスク装置が見られた。
Regarding the content of B 2 O 3 , sample No. 60
It examined from glass substrates, such as -63. Or do not contain B 2 O 3, samples the content of B 2 O 3 is 3 wt% or less No. The glass substrates of 60 to 62 were sufficiently homogeneous with few bubbles and striae, and also exhibited appropriate values of mechanical strength such as thermal expansion coefficient, Vickers hardness and ring strength. On the other hand, sample N having a B 2 O 3 content of 5% by weight
o. In the glass substrate of No. 63, the coefficient of thermal expansion was small and deviated from an appropriate range, and a magnetic disk device which caused track deviation in a thermal cycle test was observed.

【0061】このように、Bの含有量は、0重量
%以上5重量%未満であればガラス基板の熱膨張係数を
適正化でき、熱サイクル試験においてトラックずれが生
じない。なお、表3には示していないが、Bの含
有量が5重量%以上であると、熱膨張係数が適正範囲外
となるため好ましくなかった。
As described above, if the content of B 2 O 3 is 0% by weight or more and less than 5% by weight, the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized, and no track shift occurs in the thermal cycle test. Although not shown in Table 3, when the content of B 2 O 3 is 5% by weight or more, the thermal expansion coefficient is out of an appropriate range, which is not preferable.

【0062】ここで、試料No.63〜72のガラス基
板などのように、これまでに述べたガラス基板の組成に
MgO、CaOなどのアルカリ土類金属、またはZnO
を含有させると、いずれもガラス基板の熱膨張係数を上
昇させる効果があり、ガラス基板の熱膨張係数を適正化
する上で好ましい。MgO、CaOなどのアルカリ土類
金属では、表3には示していないが、ガラス基板への含
有量が12重量%を超えるとクラックが発生することに
より、マイクロビッカース硬度が適正な範囲にあるにも
かかわらず円環強度が低減した。したがって、アルカリ
土類金属酸化物は、含有させるとガラス基板の熱膨張係
数を上昇させる効果があるが、12重量%を超えるとガ
ラス基板の機械的強度が低下してしまう。このため、ア
ルカリ土類金属酸化物であるMgOとCaOの含有量
は、0重量%以上12重量%以下であれば、十分なビッ
カース硬度や円環強度、つまり機械的強度を有し、ガラ
ス基板の熱膨張係数を適正化したガラス基板を得ること
ができる。
Here, like the glass substrates of Sample Nos. 63 to 72, etc., the composition of the glass substrate described so far includes an alkaline earth metal such as MgO, CaO, or ZnO.
Is effective in increasing the coefficient of thermal expansion of the glass substrate, which is preferable in optimizing the coefficient of thermal expansion of the glass substrate. Alkaline earth metals such as MgO and CaO are not shown in Table 3, but when the content in the glass substrate exceeds 12% by weight, cracks occur, and the micro Vickers hardness is in an appropriate range. Nevertheless, the ring strength decreased. Therefore, when the alkaline earth metal oxide is contained, it has the effect of increasing the coefficient of thermal expansion of the glass substrate, but when it exceeds 12% by weight, the mechanical strength of the glass substrate is reduced. Therefore, if the content of the alkaline earth metal oxides MgO and CaO is 0% by weight or more and 12% by weight or less, the glass substrate has sufficient Vickers hardness and ring strength, that is, mechanical strength. A glass substrate having an optimized thermal expansion coefficient can be obtained.

【0063】試料No.73、74のガラス基板は、ア
ルカリ土類金属酸化物としてMgO、CaO、そしてB
aOを2種類同時に含有させたものである。表3には示
していないが、この例のように2種類以上のアルカリ土
類金属を同時にガラス基板に含有させることにより、ア
ルカリ金属元素やアルカリ土類元素のガラス基板からの
析出または溶出が抑制できる。これにより、ガラス基板
の表面に形成した磁性膜などの情報記録層の剥離などを
抑制でき、化学的な安定性を向上することができる。な
お、2種類のアルカリ土類金属をガラス基板に含有させ
る場合でも、クラックの発生を抑制する上で、含有量は
12重量%以下とする必要がある。
Sample No. The glass substrates 73 and 74 are made of MgO, CaO, and B as alkaline earth metal oxides.
It contains two types of aO at the same time. Although not shown in Table 3, the precipitation or elution of the alkali metal element or alkaline earth element from the glass substrate is suppressed by simultaneously containing two or more kinds of alkaline earth metals in the glass substrate as in this example. it can. Thereby, the separation of the information recording layer such as the magnetic film formed on the surface of the glass substrate can be suppressed, and the chemical stability can be improved. Even when two kinds of alkaline earth metals are contained in the glass substrate, the content needs to be 12% by weight or less in order to suppress the occurrence of cracks.

【0064】一方、ZnOでは、試料No.72のガラ
ス基板などに示されるように、含有量が10重量%を超
えるとガラス基板中に結晶の析出が著しくなるため好ま
しくない。ZnOの含有量が10重量%では、このよう
な結晶の析出は認められなかった。したがって、ZnO
の含有量は、0重量%以上10重量%以下であることが
好ましかった。
On the other hand, for ZnO, sample No. As shown in the glass substrate No. 72, etc., when the content exceeds 10% by weight, crystals are remarkably precipitated in the glass substrate, which is not preferable. At a ZnO content of 10% by weight, no such crystals were precipitated. Therefore, ZnO
Is preferably 0% by weight or more and 10% by weight or less.

【0065】これまでに述べたガラス基板の組成に希土
類元素であるLaを含有させることでも、ガラス基板の
熱膨張係数を上昇させる効果があり、ガラス基板の熱膨
張係数を適正化する上で好ましい。試料No.75〜7
7のガラス基板ようにLaの含有量が7重量%以
下の場合にはガラスの脈理や気泡の発生が見られず、良
好なガラスが得られた。一方、試料No.78のガラス
基板では、熱膨張係数、マイクロビッカース硬さなどで
は十分な特性が得られたものの、ガラス基板中に脈理の
発生が見られ、十分なガラスの安定性が得られ難かっ
た。
The inclusion of La, which is a rare earth element, in the composition of the glass substrate described above also has the effect of increasing the coefficient of thermal expansion of the glass substrate, which is preferable for optimizing the coefficient of thermal expansion of the glass substrate. . Sample No. 75-7
When the content of La 2 O 3 was 7% by weight or less as in the glass substrate No. 7, no striae or bubbles were generated in the glass, and good glass was obtained. On the other hand, sample No. With the glass substrate No. 78, although sufficient properties were obtained in terms of the coefficient of thermal expansion, micro Vickers hardness, etc., striae were observed in the glass substrate, and it was difficult to obtain sufficient glass stability.

【0066】このように、7重量%以下のLa
ガラス基板に含有させると機械的強度を損なうことなく
ガラス基板の熱膨張係数を上昇させて、ガラス基板の熱
膨張係数を適正化できる。しかし、7重量%を超えてL
をガラス基板に含有させると十分なガラスの安
定性が得られ難いため好ましくない。
As described above, when La 2 O 3 of 7% by weight or less is contained in the glass substrate, the thermal expansion coefficient of the glass substrate is increased without impairing the mechanical strength, and the thermal expansion coefficient of the glass substrate is optimized. it can. However, L exceeds 7% by weight.
When a 2 O 3 is contained in a glass substrate, it is difficult to obtain sufficient glass stability, which is not preferable.

【0067】以上説明したように、50重量%以上70
重量%以下のSiO2と、10重量%以上25重量%以
下のAl23と、0重量%以上5重量%未満のB2
3と、13重量%を超え18重量%未満のR2O(Rはア
ルカリ金属元素を表す)とを含む構成の情報記録ディス
ク用ガラス基板とする。これにより、情報記録ディスク
用ガラス基板の熱膨張係数と情報記録ディスクの貫通穴
に嵌合されて情報記録ディスクを支持するスピンドルの
熱膨張係数との間の差が低減し、情報記録ディスク用ガ
ラス基板の熱膨張係数がトラックずれなどの問題を生じ
ない適正範囲、すなわち73.0×10−7/℃以上8
6.0×10−7/℃以下となるため、ガラス基板の熱
膨張係数を適正化できる。
As described above, 50% by weight or more and 70% by weight or more
% By weight of SiO 2 , 10% by weight to 25% by weight of Al 2 O 3 , and 0% by weight to less than 5% by weight of B 2 O
3 and a glass substrate for an information recording disk having a configuration containing more than 13% by weight and less than 18% by weight of R 2 O (R represents an alkali metal element). This reduces the difference between the coefficient of thermal expansion of the information recording disk glass substrate and the coefficient of thermal expansion of the spindle that supports the information recording disk fitted into the through hole of the information recording disk. An appropriate range in which the coefficient of thermal expansion of the substrate does not cause a problem such as track deviation, that is, 73.0 × 10 −7 / ° C. or more 8
Since the temperature is not more than 6.0 × 10 −7 / ° C., the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized.

【0068】さらに、10重量%以下のZnOを含む構
成や、12重量%以下のReO(Reはアルカリ土類金属
元素を表す)を含む構成、そして重量百分率で7%以下
のLa23を含む構成とすることによっても、ガラス基
板の熱膨張係数を上昇させることができるため、ガラス
基板の熱膨張係数を適正化できる。また、合計で重量百
分率で12%以下の2種類以上のReO(Reはアルカリ
土類金属元素を表す)を含む構成とすれば、ガラス基板
の化学的な安定性を向上し、かつガラス基板の熱膨張係
数を適正化できる。
Further, a composition containing 10% by weight or less of ZnO, a composition containing 12% by weight or less of ReO (Re represents an alkaline earth metal element), and a composition containing 7% or less by weight of La 2 O 3 . With such a configuration, the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be increased, so that the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized. In addition, when a composition containing two or more types of ReO (Re represents an alkaline earth metal element) of 12% or less by weight in total is used, the chemical stability of the glass substrate is improved, and The coefficient of thermal expansion can be optimized.

【0069】さらに、1重量%以上8重量%以下のLn
23(LnはPr、Nd、Sm、またはEuを表す)と
を含む構成とすれば、ガラス基板の視認性を向上してガ
ラス基板の加工時などに生じる傷やかけなどの不良の発
生を低減し、また、品質検査などにおけるガラス基板中
の気泡、脈理、異物、傷、かけなどの不良の発見を容易
にできる。さらに、磁気ディスクや光磁気ディスクに用
いる場合には、ガラス基板の磁化を低減できるため、磁
気ディスクや光磁気ディスクに加工された場合の磁化特
性に与えるガラス基板の影響を低減できる。したがっ
て、ガラス基板の品質を向上でき、かつガラス基板の熱
膨張係数を適正化できる。
Further, Ln of not less than 1% by weight and not more than 8% by weight
With a structure containing 2 O 3 (Ln represents Pr, Nd, Sm, or Eu), the visibility of the glass substrate is improved, and defects such as scratches and chips generated during processing of the glass substrate are generated. In addition, defects such as air bubbles, striae, foreign matter, scratches, sprinkles, and the like in the glass substrate in quality inspection and the like can be easily found. Further, when used for a magnetic disk or a magneto-optical disk, since the magnetization of the glass substrate can be reduced, the influence of the glass substrate on the magnetization characteristics when processed into a magnetic disk or a magneto-optical disk can be reduced. Therefore, the quality of the glass substrate can be improved, and the thermal expansion coefficient of the glass substrate can be optimized.

【0070】また、Ln23を構成するLnがPrであ
れば、不良の発生をより低減でき、不良発見をより容易
化でき、さらに、磁気ディスクや光磁気ディスクに加工
された場合の磁化特性に与える影響をより低減できるこ
とから、ガラス基板の品質をより向上することができ
る。
Further, if Ln constituting Ln 2 O 3 is Pr, the occurrence of defects can be further reduced, defects can be more easily found, and the magnetization when processed into a magnetic disk or a magneto-optical disk can be obtained. Since the influence on the characteristics can be further reduced, the quality of the glass substrate can be further improved.

【0071】ただし、La以外の希土類元素、すなわち
Pr、Nd、Sm、またはEuは、ガラス基板の熱膨張
係数の変化にあまり影響しないため、不良の発生の低
減、不良発見の容易化、さらに、磁気ディスクや光磁気
ディスクに加工された場合の磁化特性に与える影響の低
減の面におけるガラス基板の品質の向上が必要ない場合
には、希土類元素としてPr、Nd、Sm、またはEu
を含有させない構成にできる。さらに、ガラス基板の機
械的強度を化学強化や結晶化によって得る場合には、希
土類元素をガラス基板に含有させない構成にできる。
However, since rare earth elements other than La, ie, Pr, Nd, Sm, or Eu, do not significantly affect the change in the thermal expansion coefficient of the glass substrate, the occurrence of defects can be reduced, defects can be easily found, and When it is not necessary to improve the quality of the glass substrate in terms of reducing the influence on the magnetic characteristics when processed into a magnetic disk or a magneto-optical disk, Pr, Nd, Sm, or Eu may be used as a rare earth element.
Is not contained. Further, in the case where the mechanical strength of the glass substrate is obtained by chemical strengthening or crystallization, a structure in which a rare earth element is not contained in the glass substrate can be employed.

【0072】さらに、30℃〜100℃の温度範囲で測
定される熱膨張係数が73×10 /℃以上86×1
−7/℃以下であり、波長300nm〜700nmの
可視光における透過率が50%以上85%以下であり、
1kOeの磁界を印加したときの磁化が3×10−3
mu/cc以下である情報記録ディスク用ガラス基板と
する。このようなガラス基板とすることでも、ガラス基
板の品質を向上でき、かつガラス基板の熱膨張係数を適
正化できる。
[0072] Furthermore, the thermal expansion coefficient, measured at a temperature range of 30 ° C. to 100 ° C. is 73 × 10 - 7 / ℃ least 86 × 1
0 −7 / ° C. or less, and transmittance of visible light having a wavelength of 300 nm to 700 nm is 50% or more and 85% or less,
The magnetization when a magnetic field of 1 kOe is applied is 3 × 10 −3 e
A glass substrate for an information recording disk having a value of mu / cc or less. With such a glass substrate, the quality of the glass substrate can be improved and the coefficient of thermal expansion of the glass substrate can be optimized.

【0073】さらに、本発明を適用してなる情報記録デ
ィスク用ガラス基板を用いた情報記録ディスクでは、ガ
ラス基板の熱膨張係数が適正化されてトラックずれなど
が生じ難いため、情報記録ディスクとしての信頼性を向
上できる。
Further, in an information recording disk using a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied, since the coefficient of thermal expansion of the glass substrate is optimized and track deviation hardly occurs, the information recording disk is used as an information recording disk. Reliability can be improved.

【0074】[0074]

【発明の効果】本発明によれば、情報記録ディスク用ガ
ラス基板の熱膨張係数を適正化することができる。
According to the present invention, the thermal expansion coefficient of the glass substrate for an information recording disk can be optimized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用してなる情報記録ディスク用ガラ
ス基板の一実施形態の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of one embodiment of a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied.

【図2】本発明を適用してなる情報記録ディスク用ガラ
ス基板の一実施形態の断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of one embodiment of a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied.

【図3】本発明を適用してなる情報記録ディスク用ガラ
ス基板を用いた磁気ディスクを備えた磁気ディスク装置
の概略構成を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a schematic configuration of a magnetic disk device provided with a magnetic disk using a glass substrate for an information recording disk to which the present invention is applied.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 情報記録ディスク用ガラス基板 3 貫通穴 5 チャンファー部 Reference Signs List 1 glass substrate for information recording disk 3 through hole 5 chamfer part

フロントページの続き (72)発明者 内藤 孝 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 本田 光利 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Fターム(参考) 4G059 AA09 AC30 DA05 DA07 DB02 EA11 EB04 GA02 GA04 4G062 AA18 BB01 CC01 DA06 DB04 DC01 DC02 DC03 DE01 DE02 DE03 DF01 EA04 EB04 EC04 ED01 ED02 ED03 ED04 EE01 EE02 EE03 EE04 EF01 EF02 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 EG04 FA01 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FK02 FK03 FL01 GA01 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 KK02 KK04 KK05 KK07 MM27 NN29 NN40 5D006 CB04 CB07 Continued on the front page (72) Inventor Takashi Naito 7-1-1, Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Inside Hitachi Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Mitsutoshi Honda 7-1-1, Omika-cho, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. F-term in Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd. (Reference) 4G059 AA09 AC30 DA05 DA07 DB02 EA11 EB04 GA02 GA04 4G062 AA18 BB01 CC01 DA06 DB04 DC01 DC02 DC03 DE01 DE02 DE03 DF01 EA04 EB04 EC04 ED01 ED02 ED03 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EE04 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 EG04 FA01 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FK02 FK03 FL01 GA01 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 KK NN JJ01 JJ01 JJ01 JJ01 JJ01 JJ01 JJ01 JJ01 JJ01

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 重量百分率で、 50%以上70%以下のSiO2と、 10%以上25%以下のAl23と、 0%以上5%未満のB23と、 13%を超え18%未満のR2O(Rはアルカリ金属元
素を表す)とを含む情報記録ディスク用ガラス基板。
1. A weight percentage of 50% or more and 70% or less of SiO 2 , 10% or more and 25% or less of Al 2 O 3 , 0% or more and less than 5% of B 2 O 3, and more than 13% A glass substrate for an information recording disk, containing less than 18% of R 2 O (R represents an alkali metal element).
【請求項2】 重量百分率で、 50%以上70%以下のSiO2と、 10%以上25%以下のAl23と、 0%以上5%未満のB23と、 13%を超え18%未満のR2O(Rはアルカリ金属元
素を表す)と、 1%以上8%以下のLn23(LnはPr、Nd、S
m、またはEuを表す)とを含む情報記録ディスク用ガ
ラス基板。
2. A composition in which, by weight percentage, 50% or more and 70% or less of SiO 2 , 10% or more and 25% or less of Al 2 O 3 , 0% or more and less than 5% of B 2 O 3, and more than 13% Less than 18% of R 2 O (R represents an alkali metal element) and 1% or more and 8% or less of Ln 2 O 3 (Ln is Pr, Nd, S
m or Eu).
【請求項3】 重量百分率で10%以下のZnOを含む
ことを特徴とする請求項1または2に記載の情報記録デ
ィスク用ガラス基板。
3. The glass substrate for an information recording disk according to claim 1, wherein the glass substrate contains ZnO in a weight percentage of 10% or less.
【請求項4】 重量百分率で12%以下のReO(Reは
アルカリ土類金属元素を表す)を含むことを特徴とする
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の情報記録ディス
ク用ガラス基板。
4. The glass substrate for an information recording disk according to claim 1, wherein the glass substrate contains at most 12% by weight of ReO (Re represents an alkaline earth metal element). .
【請求項5】 重量百分率で7%以下のLa23を含む
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載
の情報記録ディスク用ガラス基板。
5. The glass substrate for an information recording disk according to claim 1, further comprising La 2 O 3 in a weight percentage of 7% or less.
【請求項6】 前記Ln23を構成するLnがPrであ
ることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記
載の情報記録ディスク用ガラス基板。
6. The glass substrate for an information recording disk according to claim 2, wherein Ln constituting said Ln 2 O 3 is Pr.
【請求項7】 30℃〜100℃の温度範囲で測定され
る熱膨張係数が73×10−7/℃以上86×10−7
/℃以下であり、波長300nm〜700nmの可視光
における透過率が50%以上85%以下であり、1kO
eの磁界を印加したときの磁化が3×10−3emu/
cc以下である情報記録ディスク用ガラス基板。
7. A thermal expansion coefficient measured in a temperature range of 30 ° C. to 100 ° C. is 73 × 10 −7 / ° C. or more and 86 × 10 −7.
/ ° C or lower, the transmittance of visible light having a wavelength of 300 nm to 700 nm is 50% or more and 85% or less, and 1 kO
e when the magnetic field is applied is 3 × 10 −3 emu /
A glass substrate for an information recording disk having a size of cc or less.
【請求項8】 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の
情報記録ディスク用ガラス基板と、該ガラス基板の表面
上に直接または他の層を介して形成される情報記録層と
を有する情報記録ディスク。
8. A glass substrate for an information recording disk according to claim 1, and an information recording layer formed directly or via another layer on the surface of the glass substrate. Information recording disc.
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