JP2002006155A - 光合分波器及び光導波路を有する光システム - Google Patents
光合分波器及び光導波路を有する光システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低価格にて、光伝達特性を有する光システム
を構築する。 【解決手段】 合分波部をマルチモード干渉型導波路と
し、入射側光導波路と反射側光導波路がマルチモード干
渉型導波路との結合部において所定の間隔を有する構造
とする。そして、マルチモード干渉型光導波路に光学フ
ィルタを設け且つマルチモード干渉の設定によって、射
出側光導波路、および反射側光導波路の入り口近傍の光
の強度分布の山となるようにする。
を構築する。 【解決手段】 合分波部をマルチモード干渉型導波路と
し、入射側光導波路と反射側光導波路がマルチモード干
渉型導波路との結合部において所定の間隔を有する構造
とする。そして、マルチモード干渉型光導波路に光学フ
ィルタを設け且つマルチモード干渉の設定によって、射
出側光導波路、および反射側光導波路の入り口近傍の光
の強度分布の山となるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、光導波路を有す
る光システム、わけても、いわゆるマルチモード干渉
（ ＭＭＩ：Ｍｕｌｔｉ−Ｍｏｄｅ Ｉｎｔｅｆｅｒｅｎ
ｃｅ）型光導波路を有する光システムに関するものであ
る。本願発明によれば、極めて良好な光合分波器を提供
することが出来る。
る光システム、わけても、いわゆるマルチモード干渉
（ ＭＭＩ：Ｍｕｌｔｉ−Ｍｏｄｅ Ｉｎｔｅｆｅｒｅｎ
ｃｅ）型光導波路を有する光システムに関するものであ
る。本願発明によれば、極めて良好な光合分波器を提供
することが出来る。
【０００２】
【従来の技術】最近のインターネットを始めとするマル
チメディア通信の発展に伴い、高速・大容量通信に向け
た光波長多重（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiple
xing）技術の研究が盛んになっている。ＷＤＭ通信シス
テムを構築する上で重要となる光部品の１つに、複数の
波長を有する光を合波もしくは分波する光合分波器があ
る。その中でも低コスト化・小型化かつ高機能化の観点
から、基板上に石英（ガラス）やポリマ等から成る光導
波路及び光合分波器を形成し光送受信器等を実装するこ
とで集積化を図る方法が注目されている。
チメディア通信の発展に伴い、高速・大容量通信に向け
た光波長多重（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiple
xing）技術の研究が盛んになっている。ＷＤＭ通信シス
テムを構築する上で重要となる光部品の１つに、複数の
波長を有する光を合波もしくは分波する光合分波器があ
る。その中でも低コスト化・小型化かつ高機能化の観点
から、基板上に石英（ガラス）やポリマ等から成る光導
波路及び光合分波器を形成し光送受信器等を実装するこ
とで集積化を図る方法が注目されている。
【０００３】光合分波器としてはフィルタ型、方向性結
合器型あるいはマッハツェンダー干渉器型等が知られて
いる。更に、モジュールの小型化に有利なフィルタの型
については、例えば、日本国公開特許公報、特開平８-
１９００２６号（記事１）に記載された技術が知られて
いる。
合器型あるいはマッハツェンダー干渉器型等が知られて
いる。更に、モジュールの小型化に有利なフィルタの型
については、例えば、日本国公開特許公報、特開平８-
１９００２６号（記事１）に記載された技術が知られて
いる。
【０００４】図１は上記記事１に示されたフィルタ型光
合分波器である。この光合分波器は直線光導波路、１及
び２を交差させ、その交差部に光学フィルタ４を設けて
いる。この例では、光学フィルタ４の波長に対する透過
および反射特性を利用してＷＤＭ信号を反射光と透過光
に合分波する。即ち、本構造は、２θの角度で交差する
２つの光導波路１と２の光軸の交点３が光学フィルタ４
の等価的な反射中心面５上に合うように設計する必要が
ある。尚、図１において、光導波路１、２、および３の
中心軸が各々符号６、７、及び８として示されている。
合分波器である。この光合分波器は直線光導波路、１及
び２を交差させ、その交差部に光学フィルタ４を設けて
いる。この例では、光学フィルタ４の波長に対する透過
および反射特性を利用してＷＤＭ信号を反射光と透過光
に合分波する。即ち、本構造は、２θの角度で交差する
２つの光導波路１と２の光軸の交点３が光学フィルタ４
の等価的な反射中心面５上に合うように設計する必要が
ある。尚、図１において、光導波路１、２、および３の
中心軸が各々符号６、７、及び８として示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本願発明が解決すべき
課題の第１は、マルチモード干渉型光導波路内に反射手
段、例えば代表的には光学フィルタを設置し、その反射
光を利用する光システムにおける、前記反射手段の設置
位置のずれに対するトレランスを小さくすることであ
る。即ち、反射手段の設置位置のずれに基づく、当該マ
ルチモード干渉型光導波路の光の伝達特性の変化を極力
小さなものとすることである。反射手段による反射光を
用いる場合、反射手段の位置のずれは、少なくとも入射
光の当該反射手段までの距離の２倍の光路となる。この
為、十分な伝搬特性を確保するに、この反射手段の設置
位置のずれに対するトレランスを小さくすることが重要
である。
課題の第１は、マルチモード干渉型光導波路内に反射手
段、例えば代表的には光学フィルタを設置し、その反射
光を利用する光システムにおける、前記反射手段の設置
位置のずれに対するトレランスを小さくすることであ
る。即ち、反射手段の設置位置のずれに基づく、当該マ
ルチモード干渉型光導波路の光の伝達特性の変化を極力
小さなものとすることである。反射手段による反射光を
用いる場合、反射手段の位置のずれは、少なくとも入射
光の当該反射手段までの距離の２倍の光路となる。この
為、十分な伝搬特性を確保するに、この反射手段の設置
位置のずれに対するトレランスを小さくすることが重要
である。
【０００６】本願発明が解決すべき課題の第２は、マル
チモード干渉型光導波路の相対する端面に設けた光導波
路相互での光の漏れ光を防止することである。
チモード干渉型光導波路の相対する端面に設けた光導波
路相互での光の漏れ光を防止することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願発明の第１の課題を
解決する代表的な形態は、例えば、平面基板上に形成さ
れた複数の波長を有する信号光を合波または分波する光
合分波器に供することが出来る。そして、本願発明によ
れば、前記第１および第２の課題を合わせて解決するこ
とを可能とする。
解決する代表的な形態は、例えば、平面基板上に形成さ
れた複数の波長を有する信号光を合波または分波する光
合分波器に供することが出来る。そして、本願発明によ
れば、前記第１および第２の課題を合わせて解決するこ
とを可能とする。
【０００８】本願発明の代表的な形態は、第１、第２、
及び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝搬が可
能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内の光の進
行方向に交差して設けられた光学フィルタとを少なくと
も有し、前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第
１の端面に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が
前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の
端面の所定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路
の第１の端面および第２の端面は各々当該第４の光導波
路内の光の進行方向と交差する端面であり、前記第４の
光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいずれか
の光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の光導
波路内の光の伝搬によって、前記光学フィルタを透過し
た上で前記第１の光導波路内に前記第１の波長の光入力
に対応する光の伝搬を可能となし、且つ前記第２および
第３の光導波路のいずれかの光導波路からの第２の波長
の光入力が前記光学フィルタでの反射を介して、前記第
２および第３の光導波路の内の光入力のない光導波路内
に前記第２の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能と
なす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光導波路であ
る光導波路を有する光システムである。
及び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝搬が可
能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内の光の進
行方向に交差して設けられた光学フィルタとを少なくと
も有し、前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第
１の端面に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が
前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の
端面の所定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路
の第１の端面および第２の端面は各々当該第４の光導波
路内の光の進行方向と交差する端面であり、前記第４の
光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいずれか
の光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の光導
波路内の光の伝搬によって、前記光学フィルタを透過し
た上で前記第１の光導波路内に前記第１の波長の光入力
に対応する光の伝搬を可能となし、且つ前記第２および
第３の光導波路のいずれかの光導波路からの第２の波長
の光入力が前記光学フィルタでの反射を介して、前記第
２および第３の光導波路の内の光入力のない光導波路内
に前記第２の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能と
なす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光導波路であ
る光導波路を有する光システムである。
【０００９】以下に本願発明の原理を説明する。図７は
マルチモード干渉型導波路における光の伝搬の状態を模
式的に示したものである。マルチモード干渉型導波路１
０では、例えば第２の光導波路１２から入射した信号光
は前記マルチモード干渉型光導波路１０において多モー
ド光に分解される。図７には０次、１次及び２次のモー
ドのみが示されて、より高次のモードは図示が省略され
ている。さらに励起された高次モード光はモード間で干
渉し、前記マルチモード干渉型光導波路内に強度分布
（干渉縞）を生じる。本願発明は、この現象を利用し、
第２の光導波路１２よりの入射光に対して、第１の光導
波路１１の入り口近傍での光の強度分布が山となるよう
にする。この構成によって、第２の光導波路１２からの
入射光に対してほとんど損失を生じずに再び光導波路１
１を導波させることができる。
マルチモード干渉型導波路における光の伝搬の状態を模
式的に示したものである。マルチモード干渉型導波路１
０では、例えば第２の光導波路１２から入射した信号光
は前記マルチモード干渉型光導波路１０において多モー
ド光に分解される。図７には０次、１次及び２次のモー
ドのみが示されて、より高次のモードは図示が省略され
ている。さらに励起された高次モード光はモード間で干
渉し、前記マルチモード干渉型光導波路内に強度分布
（干渉縞）を生じる。本願発明は、この現象を利用し、
第２の光導波路１２よりの入射光に対して、第１の光導
波路１１の入り口近傍での光の強度分布が山となるよう
にする。この構成によって、第２の光導波路１２からの
入射光に対してほとんど損失を生じずに再び光導波路１
１を導波させることができる。
【００１０】フィルタに関しての鏡像を考えれば、光学
フィルタ１５により反射した光についても、前述の構造
と同様となり、同じ原理で信号光の伝播の様子が説明さ
れる。即ち、光導波路１２からの入射光があった場合、
マルチモード干渉型光導波路の設定によって、第１の光
導波路１３の入り口近傍の光の強度分布の山となるよう
にすれば、光導波路１２からの入射光に対してほとんど
損失を生じずに再び光導波路１１を導波させることがで
きる。
フィルタ１５により反射した光についても、前述の構造
と同様となり、同じ原理で信号光の伝播の様子が説明さ
れる。即ち、光導波路１２からの入射光があった場合、
マルチモード干渉型光導波路の設定によって、第１の光
導波路１３の入り口近傍の光の強度分布の山となるよう
にすれば、光導波路１２からの入射光に対してほとんど
損失を生じずに再び光導波路１１を導波させることがで
きる。
【００１１】なお、この場合２つの光導波路１２と１３
は間隔を有しており、反射戻り光は十分に小さくでき
る。
は間隔を有しており、反射戻り光は十分に小さくでき
る。
【００１２】本例のように、本発明の光合分波器もしく
は光導波路素子は、前記第１から第３のうちいずれか１
つ以上の光導波路から入射した信号光が、それぞれ前記
マルチモード干渉型光導波路でマルチモード光として伝
播した後、所定の波長を有する信号光が前記第１から第
３のうちいずれか１つ以上の光導波路と結合するよう
に、前記マルチモード干渉型光導波路の長さ及び幅と、
前記マルチモード干渉型光導波路と前記第１から第３の
光導波路の接続部を調整する。
は光導波路素子は、前記第１から第３のうちいずれか１
つ以上の光導波路から入射した信号光が、それぞれ前記
マルチモード干渉型光導波路でマルチモード光として伝
播した後、所定の波長を有する信号光が前記第１から第
３のうちいずれか１つ以上の光導波路と結合するよう
に、前記マルチモード干渉型光導波路の長さ及び幅と、
前記マルチモード干渉型光導波路と前記第１から第３の
光導波路の接続部を調整する。
【００１３】本発明の光合分波器もしくは光導波路素子
は、前記マルチモード干渉型光導波路の長さＬが１ｍｍ
ないし５ｍｍ、幅Ｗが２５μｍないし７０μｍの範囲が
好ましい。
は、前記マルチモード干渉型光導波路の長さＬが１ｍｍ
ないし５ｍｍ、幅Ｗが２５μｍないし７０μｍの範囲が
好ましい。
【００１４】また、本願発明の光合分波器もしくは光導
波路素子は、第４の光導波路が前記マルチモード干渉型
導波路と前記第１の光導波路側で接続する、もしくは前
記第１から第４の光導波路以外に複数の光導波路が前記
マルチモード干渉型導波路と接続してもよい。
波路素子は、第４の光導波路が前記マルチモード干渉型
導波路と前記第１の光導波路側で接続する、もしくは前
記第１から第４の光導波路以外に複数の光導波路が前記
マルチモード干渉型導波路と接続してもよい。
【００１５】あるいは、前記光合分波器もしくは光導波
路素子において、前記第１から第４の光導波路の全ても
しくは一部の端面に、それぞれ発光素子もしくは受光素
子もしくは光ファイバもしくは光ファイバとの接続手段
を設けることを特徴とする、光送信モジュールもしくは
光受信モジュールもしくは光送受信モジュールもしくは
光合分波モジュールとしてもよい。
路素子において、前記第１から第４の光導波路の全ても
しくは一部の端面に、それぞれ発光素子もしくは受光素
子もしくは光ファイバもしくは光ファイバとの接続手段
を設けることを特徴とする、光送信モジュールもしくは
光受信モジュールもしくは光送受信モジュールもしくは
光合分波モジュールとしてもよい。
【００１６】更に、前記第２の課題である光クロストー
クの問題を解決するため、次の方策を加味することが有
用である。
クの問題を解決するため、次の方策を加味することが有
用である。
【００１７】第１に、本願発明の光合分波器もしくは光
導波路素子は、前記第２及び第３の光導波路の光軸の延
長線が前記マルチモード干渉型光導波路の外に交点を持
つ、もしくは互いに平行であることを特徴とする。この
ような光合分波器もしくは光導波路素子を用いた光送受
信モジュールは、前記光合分波器もしくは光導波路素子
と、前記第１もしくは第４の光導波路の両方もしくは片
方の端面に受光手段として設けた受光素子もしくは光フ
ァイバもしくは光ファイバの接続手段と、前記第２もし
くは第３の光導波路の両方もしくは片方の端面に送信手
段として設けた発光素子もしくは光ファイバもしくは光
ファイバとの接続手段で構成される。本光送受信モジュ
ールにおいて、光学フィルタは前記第２及び第３の光導
波路を導波する入射角度が０度に近い送信信号を反射す
るように調整する為、前記漏れ光の入射角は遮断され
る。
導波路素子は、前記第２及び第３の光導波路の光軸の延
長線が前記マルチモード干渉型光導波路の外に交点を持
つ、もしくは互いに平行であることを特徴とする。この
ような光合分波器もしくは光導波路素子を用いた光送受
信モジュールは、前記光合分波器もしくは光導波路素子
と、前記第１もしくは第４の光導波路の両方もしくは片
方の端面に受光手段として設けた受光素子もしくは光フ
ァイバもしくは光ファイバの接続手段と、前記第２もし
くは第３の光導波路の両方もしくは片方の端面に送信手
段として設けた発光素子もしくは光ファイバもしくは光
ファイバとの接続手段で構成される。本光送受信モジュ
ールにおいて、光学フィルタは前記第２及び第３の光導
波路を導波する入射角度が０度に近い送信信号を反射す
るように調整する為、前記漏れ光の入射角は遮断され
る。
【００１８】第２に、漏れ光は送信手段の端面と垂直な
方向を中心とした分布を有するが、本発明では各光導波
路を任意の方向に曲げていることが出来るので、第１も
しくは第４の光導波路の両方もしくは片方を前記漏れ光
の分布中心方向から離れた方向へ曲げることにより漏れ
光の影響を小さくすることが出来る。
方向を中心とした分布を有するが、本発明では各光導波
路を任意の方向に曲げていることが出来るので、第１も
しくは第４の光導波路の両方もしくは片方を前記漏れ光
の分布中心方向から離れた方向へ曲げることにより漏れ
光の影響を小さくすることが出来る。
【００１９】さらには、前記光合分波器もしくは光導波
路素子に、発光素子もしくは受光素子もしくは光スイッ
チもしくは光学フィルタもしくは光増幅器もしくは光変
調器等の光素子を組み合わせた、光導波路モジュールと
してもよい。
路素子に、発光素子もしくは受光素子もしくは光スイッ
チもしくは光学フィルタもしくは光増幅器もしくは光変
調器等の光素子を組み合わせた、光導波路モジュールと
してもよい。
【００２０】あるいは、本発明の光導波路モジュール
は、前記光合分波器もしくは光導波路素子を複数用い
て、発光素子もしくは受光素子もしくは光スイッチもし
くは光フィルタもしくは光増幅器もしくは光変調器等の
複数の光素子と組み合わせ、複数の信号を同時に処理す
るもしくは複数の波長を有する信号光を多段階で処理し
てもよい。
は、前記光合分波器もしくは光導波路素子を複数用い
て、発光素子もしくは受光素子もしくは光スイッチもし
くは光フィルタもしくは光増幅器もしくは光変調器等の
複数の光素子と組み合わせ、複数の信号を同時に処理す
るもしくは複数の波長を有する信号光を多段階で処理し
てもよい。
【００２１】あるいは、これらの光モジュールに、集積
回路もしくはプリアンプ等の電気信号処理手段を組み合
わせた、光通信モジュールとしてもよい。
回路もしくはプリアンプ等の電気信号処理手段を組み合
わせた、光通信モジュールとしてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】本願発明の具体的実施例を示すに
先だって、以下に本願発明と従来技術の比較を略述す
る。本願発明の優位が十分理解されるであろう。次い
で、本願発明の主な諸形態を以下に列挙する。
先だって、以下に本願発明と従来技術の比較を略述す
る。本願発明の優位が十分理解されるであろう。次い
で、本願発明の主な諸形態を以下に列挙する。
【００２３】従来技術と本願発明 本願発明は、これまで述べてきような幾何学的に反射を
利用する光システムの構造が有する、反射手段の作製誤
差に基づく反射光の損失の発生という難点を改善するも
のである。
利用する光システムの構造が有する、反射手段の作製誤
差に基づく反射光の損失の発生という難点を改善するも
のである。
【００２４】以下、図２を用いて、反射光での損失増加
について詳細を説明する。図２は従来構造の光システム
を示す図である。基本構造は図１のものと同様である。
光導波路、１及び２を交差させ、その交差部に光学フィ
ルタ４を設けている。本構造は、２θの角度で交差する
２つの光導波路１と２の光軸の交点３が光学フィルタ４
の等価的な反射中心面５上に合うように設計する必要が
ある。尚、図２において、光導波路１、２、および３の
中心軸が各々符号６、７、及び８として示されている。
について詳細を説明する。図２は従来構造の光システム
を示す図である。基本構造は図１のものと同様である。
光導波路、１及び２を交差させ、その交差部に光学フィ
ルタ４を設けている。本構造は、２θの角度で交差する
２つの光導波路１と２の光軸の交点３が光学フィルタ４
の等価的な反射中心面５上に合うように設計する必要が
ある。尚、図２において、光導波路１、２、および３の
中心軸が各々符号６、７、及び８として示されている。
【００２５】今、光導波路の入射・反射角をθとする。
光学フィルタ４がその法線方向にａ移動すると、反射光
の光軸は反射側の光導波路の軸７から２｜ａ｜sinθだ
けずれて７′となる。位置５は正しく設置された場合の
光学フィルタの位置、位置５′はずれて設置された場合
の光学フィルタの位置である。その結果、反射光は、光
学フィルタの位置ずれに相当する光導波路３０の一部を
伝搬し、この為、反射側の位置７′にある光導波路３１
とうまく結合しない。従って、反射光は、散乱されて大
きな損失が生じる。
光学フィルタ４がその法線方向にａ移動すると、反射光
の光軸は反射側の光導波路の軸７から２｜ａ｜sinθだ
けずれて７′となる。位置５は正しく設置された場合の
光学フィルタの位置、位置５′はずれて設置された場合
の光学フィルタの位置である。その結果、反射光は、光
学フィルタの位置ずれに相当する光導波路３０の一部を
伝搬し、この為、反射側の位置７′にある光導波路３１
とうまく結合しない。従って、反射光は、散乱されて大
きな損失が生じる。
【００２６】光学フィルタの位置ずれに対する反射光の
損失増加の計算例を図３に示す。横軸がフィルタの所定
位置からのずれ、縦軸は損失の増加分を示している。こ
の結果によれば、光学フィルタ位置ずれのトレランス
は、例えば０.２ ｄＢの損失増加に抑えるには±２μｍ
と非常に小さいことがわかる。
損失増加の計算例を図３に示す。横軸がフィルタの所定
位置からのずれ、縦軸は損失の増加分を示している。こ
の結果によれば、光学フィルタ位置ずれのトレランス
は、例えば０.２ ｄＢの損失増加に抑えるには±２μｍ
と非常に小さいことがわかる。
【００２７】ところが、光学フィルタの設置には溝入れ
もしくは切断等の機械的加工を用いる為に、加工精度の
向上が困難で、光導波路径に比べて光学フィルタの作製
誤差は無視できない程の大きさとなるのが実状である。
この実際上の困難性が低損失な光合分波器の製造歩留り
を低下させる要因となっている。そこで、光学フィルタ
付光導波路を用いた光合分波器の製造歩留りの向上に
は、フィルタ位置ずれのトレランスを増加させるような
光合分波器の構造が求められるのである。
もしくは切断等の機械的加工を用いる為に、加工精度の
向上が困難で、光導波路径に比べて光学フィルタの作製
誤差は無視できない程の大きさとなるのが実状である。
この実際上の困難性が低損失な光合分波器の製造歩留り
を低下させる要因となっている。そこで、光学フィルタ
付光導波路を用いた光合分波器の製造歩留りの向上に
は、フィルタ位置ずれのトレランスを増加させるような
光合分波器の構造が求められるのである。
【００２８】次に、光のクロストークの問題について言
及する。図４はこうした例を示す光送受信モジュールの
平面配置図である。図１に示した光合分波器１６にフォ
トダイオード５０とレーザーダイオード（ＬＤ）５１を
設置した構成を有する。光学フィルタ１５は送信信号が
有する波長の光を反射し、送信信号波長よりも長い受信
信号が有する波長の光を透過するものを用いている。光
送受信モジュールとする場合、ＬＤ等送信部で発生した
漏れ光９が受信信号に影響を及ぼす光クロストークとい
う問題が生じる。
及する。図４はこうした例を示す光送受信モジュールの
平面配置図である。図１に示した光合分波器１６にフォ
トダイオード５０とレーザーダイオード（ＬＤ）５１を
設置した構成を有する。光学フィルタ１５は送信信号が
有する波長の光を反射し、送信信号波長よりも長い受信
信号が有する波長の光を透過するものを用いている。光
送受信モジュールとする場合、ＬＤ等送信部で発生した
漏れ光９が受信信号に影響を及ぼす光クロストークとい
う問題が生じる。
【００２９】ＬＤ ５１で発生した光は全てが導波路を
伝播するわけではなく、ＬＤ−導波路結合損失が生じて
ＬＤが出す光のうち一部は導波路と結合せすに導波路の
外に散乱される。またＬＤ−光合分波器間の曲がり導波
路においても導波光の一部が放射光１９として導波路外
を伝播する。これらが漏れ光９となるが、その多くは光
学フィルタ１５に達し、また光学フィルタへの入射角度
はθとは異なる。
伝播するわけではなく、ＬＤ−導波路結合損失が生じて
ＬＤが出す光のうち一部は導波路と結合せすに導波路の
外に散乱される。またＬＤ−光合分波器間の曲がり導波
路においても導波光の一部が放射光１９として導波路外
を伝播する。これらが漏れ光９となるが、その多くは光
学フィルタ１５に達し、また光学フィルタへの入射角度
はθとは異なる。
【００３０】図５に光学フィルタの透過特性の例を、そ
の入射角度θが０の場合と、０より大きい場合を例示し
た。図５の特性において、透過損失の大きい領域が、反
射に用いられる領域に対応する。一般に光学フィルタ
は、図５の例に見られるように、入射光の入射角度が異
なると反射帯域が変化しまたアイソレーションも劣化す
る。前記図４の例では、本来導波路を導波する光を反射
させる為に入射角θの光を反射するように設計した光学
フィルタを用いる。従って、前記漏れ光の多くは入射角
が前記のフィルタへの入射角θと異なる為に、これらの
漏れ光の内、光学フィルタで遮断されずに透過する光も
発生する。この透過した漏れ光がＰＤ５０に届くと、本
来の受光信号にとっての雑音となって受信特性を劣化さ
せる。
の入射角度θが０の場合と、０より大きい場合を例示し
た。図５の特性において、透過損失の大きい領域が、反
射に用いられる領域に対応する。一般に光学フィルタ
は、図５の例に見られるように、入射光の入射角度が異
なると反射帯域が変化しまたアイソレーションも劣化す
る。前記図４の例では、本来導波路を導波する光を反射
させる為に入射角θの光を反射するように設計した光学
フィルタを用いる。従って、前記漏れ光の多くは入射角
が前記のフィルタへの入射角θと異なる為に、これらの
漏れ光の内、光学フィルタで遮断されずに透過する光も
発生する。この透過した漏れ光がＰＤ５０に届くと、本
来の受光信号にとっての雑音となって受信特性を劣化さ
せる。
【００３１】この対策としてフィルタへの入射角θを０
度に近づけることが考えられる。この対策は、フィルタ
の位置ずれによる反射光の光軸と導波路軸のずれも０に
近いと、それに基づく損失増加は低減できる。また、逆
に、漏れ光の入射角がθ程度となりフィルタで遮断でき
る。
度に近づけることが考えられる。この対策は、フィルタ
の位置ずれによる反射光の光軸と導波路軸のずれも０に
近いと、それに基づく損失増加は低減できる。また、逆
に、漏れ光の入射角がθ程度となりフィルタで遮断でき
る。
【００３２】しかし、この対策を図１の光合分波器に適
用すると、反射光が入射側の光導波路に戻るやすくなる
という、いわゆる反射戻り光の問題が新たに生じる。図
６はこの問題を示す説明図である。 前記の対策の実施
は、２つの光導波路１と２が重なる部分１７を増加させ
る。この為、入射角θの低減には限界がある。従って、
入射角の低減の方策は、有効な実際的な解決策とはなり
得なかった。
用すると、反射光が入射側の光導波路に戻るやすくなる
という、いわゆる反射戻り光の問題が新たに生じる。図
６はこの問題を示す説明図である。 前記の対策の実施
は、２つの光導波路１と２が重なる部分１７を増加させ
る。この為、入射角θの低減には限界がある。従って、
入射角の低減の方策は、有効な実際的な解決策とはなり
得なかった。
【００３３】本願発明はこうした諸問題を解決する。、
前述したように、本願発明のマルチモード干渉型光導波
路は、入射側の光導波路より入射光があった場合、出射
側の光導波路の入り口近傍の光の強度分布の山となる
為、前記入射光に対してほとんど損失を生じない。
前述したように、本願発明のマルチモード干渉型光導波
路は、入射側の光導波路より入射光があった場合、出射
側の光導波路の入り口近傍の光の強度分布の山となる
為、前記入射光に対してほとんど損失を生じない。
【００３４】また、マルチモード干渉型光導波路に並置
して設けられる入射側、及び反射光を射出側に導波する
光導波路は、所定の個別位置に設置されるので、透過す
べき光のフィルタでの反射戻り光が、射出側に導波する
光導波路に混入し雑音となる問題は避けることが出来
る。
して設けられる入射側、及び反射光を射出側に導波する
光導波路は、所定の個別位置に設置されるので、透過す
べき光のフィルタでの反射戻り光が、射出側に導波する
光導波路に混入し雑音となる問題は避けることが出来
る。
【００３５】更に、後述するように、光学フィルタが、
マルチモード干渉型光導波路に並置して設けられる光導
波路を導波する入射角が０度に近い光信号を反射するよ
うになされるので、本構造において、更に漏れ光として
発生する光の入射角は、透過を許さない角度となり、漏
れ光のフィルタを通しての透過は阻止される。
マルチモード干渉型光導波路に並置して設けられる光導
波路を導波する入射角が０度に近い光信号を反射するよ
うになされるので、本構造において、更に漏れ光として
発生する光の入射角は、透過を許さない角度となり、漏
れ光のフィルタを通しての透過は阻止される。
【００３６】以下に本願発明の主な発明の形態を列挙す
る。
る。
【００３７】光学フィルタを有する本願発明の諸形態 本願の第１の形態は、第１、第２、及び第３の光導波路
と、マルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路
と、前記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設
けられた光学フィルタとを少なくとも有し、前記第４の
光導波路の第１の端面に前記第１の光導波路が接続さ
れ、前記第４の光導波路の第２の端面の所定の個別位置
に前記第２及び第３の各光導波路が接続され、前記第４
の光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいずれ
かの光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の光
導波路内の光の伝搬によって、前記第１の光導波路内に
前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能とな
し、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれかの光
導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィルタで
の反射を介して、前記第２および第３の光導波路の内の
光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に対
応する光の伝搬を可能となすマルチモードでの光の伝搬
が可能である光導波路であることを特徴とする光導波路
を有する光システムである。
と、マルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路
と、前記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設
けられた光学フィルタとを少なくとも有し、前記第４の
光導波路の第１の端面に前記第１の光導波路が接続さ
れ、前記第４の光導波路の第２の端面の所定の個別位置
に前記第２及び第３の各光導波路が接続され、前記第４
の光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいずれ
かの光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の光
導波路内の光の伝搬によって、前記第１の光導波路内に
前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能とな
し、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれかの光
導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィルタで
の反射を介して、前記第２および第３の光導波路の内の
光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に対
応する光の伝搬を可能となすマルチモードでの光の伝搬
が可能である光導波路であることを特徴とする光導波路
を有する光システムである。
【００３８】前記第１、第２、及び第３の各光導波路
は、シングルモード、あるいはマルチモードでの光の伝
播が可能な光導波路を用いることが出来る。光多重通信
においては、多くはシングルモードの光を用いており、
本願発明はこの目的に供してわけても有用である。
は、シングルモード、あるいはマルチモードでの光の伝
播が可能な光導波路を用いることが出来る。光多重通信
においては、多くはシングルモードの光を用いており、
本願発明はこの目的に供してわけても有用である。
【００３９】しかし、マルチモードの光を用いる場合に
おいても、本願発明を用いることによって、好都合な光
合分波器機能を実現することが出来る。それは、本願発
明に係るマルチモード干渉型光導波路が、マルチモード
あるいはシングルモードでの光に対して同様の機能を果
たすからである。このマルチモード干渉型光導波路の機
能は、本願発明の基本的事項であり、以下、特にことわ
らない場合においても、本願明細書に示される発明の諸
形態に考慮されることである。
おいても、本願発明を用いることによって、好都合な光
合分波器機能を実現することが出来る。それは、本願発
明に係るマルチモード干渉型光導波路が、マルチモード
あるいはシングルモードでの光に対して同様の機能を果
たすからである。このマルチモード干渉型光導波路の機
能は、本願発明の基本的事項であり、以下、特にことわ
らない場合においても、本願明細書に示される発明の諸
形態に考慮されることである。
【００４０】従って、この形態を本願の第２の形態とし
て例示すれば、それは、シングルモードでの光の伝搬が
可能な第１、第２、及び第３の光導波路と、マルチモー
ドでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の
光導波路内の光の進行方向に交差して設けられた光学フ
ィルタとを少なくとも有し、前記第１の光導波路が前記
第４の光導波路の第１の端面に接続され、前記第２及び
第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前記第１の端
面に対向する第２の端面の所定の個別位置に接続され、
前記第４の光導波路の第１の端面および第２の端面は各
々当該第４の光導波路内の光の進行方向と交差する端面
であり、前記第４の光導波路は、前記第２および第３の
光導波路のいずれかの光導波路からの第１の波長の光入
力が前記第４の光導波路内の光の伝搬によって、前記光
学フィルタを透過した上で前記第１の光導波路内に前記
第１の波長の光入力に対応するシングルモードでの光の
伝搬を可能となし、且つ前記第２および第３の光導波路
のいずれかの光導波路からの第２の波長の光入力が前記
光学フィルタでの反射を介して、前記第２および第３の
光導波路の内の光入力のない光導波路内に前記第２の波
長の光入力に対応するシングルモードでの光の伝搬を可
能となす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光導波路
である光導波路を有する光システムである。
て例示すれば、それは、シングルモードでの光の伝搬が
可能な第１、第２、及び第３の光導波路と、マルチモー
ドでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の
光導波路内の光の進行方向に交差して設けられた光学フ
ィルタとを少なくとも有し、前記第１の光導波路が前記
第４の光導波路の第１の端面に接続され、前記第２及び
第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前記第１の端
面に対向する第２の端面の所定の個別位置に接続され、
前記第４の光導波路の第１の端面および第２の端面は各
々当該第４の光導波路内の光の進行方向と交差する端面
であり、前記第４の光導波路は、前記第２および第３の
光導波路のいずれかの光導波路からの第１の波長の光入
力が前記第４の光導波路内の光の伝搬によって、前記光
学フィルタを透過した上で前記第１の光導波路内に前記
第１の波長の光入力に対応するシングルモードでの光の
伝搬を可能となし、且つ前記第２および第３の光導波路
のいずれかの光導波路からの第２の波長の光入力が前記
光学フィルタでの反射を介して、前記第２および第３の
光導波路の内の光入力のない光導波路内に前記第２の波
長の光入力に対応するシングルモードでの光の伝搬を可
能となす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光導波路
である光導波路を有する光システムである。
【００４１】本願発明の第４の形態は、第１、第２、及
び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝搬が可能
な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内の光の進行
方向に交差して設けられた光学フィルタと、を少なくと
も有し、前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第
１の端面に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が
前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の
端面の所定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路
は、前記第１及び第２の端面から所定距離離れた２つの
平面における光強度分布の規格化された各形状を重ねた
場合、前記各形状が相互に前記第４の光導波路の光の進
行方向に沿う中心軸に対して線対称ないしは略線対称と
なっている光導波路である光導波路を有する光システム
である。
び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝搬が可能
な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内の光の進行
方向に交差して設けられた光学フィルタと、を少なくと
も有し、前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第
１の端面に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が
前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の
端面の所定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路
は、前記第１及び第２の端面から所定距離離れた２つの
平面における光強度分布の規格化された各形状を重ねた
場合、前記各形状が相互に前記第４の光導波路の光の進
行方向に沿う中心軸に対して線対称ないしは略線対称と
なっている光導波路である光導波路を有する光システム
である。
【００４２】本願発明の第５の形態は、第１の光導波路
が、マルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路
の第１の端面に接続され、前記第４の光導波路の前記第
１の端面に対向する第２の端面に第２、及び第３の光導
波路がその接続位置において所定間隔で接続され、前記
第４の光導波路内に光学フィルタが設置され、前記光学
フィルタの入射面は、前記第１、第２、および第３の各
光導波路の前記第４の光導波路への接続位置における当
該第１、第２、および第３の各光導波路での光の波面と
平行ないしは略平行であることを特徴とする光導波路を
有する光システムである。
が、マルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路
の第１の端面に接続され、前記第４の光導波路の前記第
１の端面に対向する第２の端面に第２、及び第３の光導
波路がその接続位置において所定間隔で接続され、前記
第４の光導波路内に光学フィルタが設置され、前記光学
フィルタの入射面は、前記第１、第２、および第３の各
光導波路の前記第４の光導波路への接続位置における当
該第１、第２、および第３の各光導波路での光の波面と
平行ないしは略平行であることを特徴とする光導波路を
有する光システムである。
【００４３】ここで、本願発明のマルチモード干渉型光
導波路が、入射側の光導波路より入射光があった場合、
出射側の光導波路の入り口近傍の光の強度分布の山とな
す構成について補足説明する。このことによって、合わ
せて、マルチモード干渉型光導波路に並置して設けられ
る入射側、及び反射光を射出側に導波する光導波路は、
所定の個別位置に設置されること、そして、このことに
よって、透過すべき光のフィルタでの反射戻り光が、射
出側に導波する光導波路に混入し雑音となる問題は避け
ることが出来る旨が十分理解できるであろう。
導波路が、入射側の光導波路より入射光があった場合、
出射側の光導波路の入り口近傍の光の強度分布の山とな
す構成について補足説明する。このことによって、合わ
せて、マルチモード干渉型光導波路に並置して設けられ
る入射側、及び反射光を射出側に導波する光導波路は、
所定の個別位置に設置されること、そして、このことに
よって、透過すべき光のフィルタでの反射戻り光が、射
出側に導波する光導波路に混入し雑音となる問題は避け
ることが出来る旨が十分理解できるであろう。
【００４４】マルチモード干渉型光導波路における光の
伝搬の状態を示す図７を参酌する。
伝搬の状態を示す図７を参酌する。
【００４５】ここで、信号光の波長をλ、 マルチモー
ド干渉型光導波路の屈折率をｎとする。前記 マルチモ
ード干渉型光導波路の長さＬ、幅Ｗ、及び接合部に設け
られる光導波路の中心軸とマルチモード干渉型光導波路
の中心軸よりの位置Ｄとの関係は次の式によって与えら
れる。尚、前記各光導波路の中心軸は光の進行方向に沿
った中心軸である。
ド干渉型光導波路の屈折率をｎとする。前記 マルチモ
ード干渉型光導波路の長さＬ、幅Ｗ、及び接合部に設け
られる光導波路の中心軸とマルチモード干渉型光導波路
の中心軸よりの位置Ｄとの関係は次の式によって与えら
れる。尚、前記各光導波路の中心軸は光の進行方向に沿
った中心軸である。
【００４６】Ｌ＝α（４ｎＷ2）／３λ 式（１） Ｄ＝βＷ／６ 式（２）αおよびβは補正
係数である。
係数である。
【００４７】これらの関係を満たすことで、第１の光導
波路１１の入り口近傍が光の強度分布の山となり、光導
波路１２からの入射光に対してほとんど損失を生じずに
再び光導波路１１を導波させることが出来る。光学フィ
ルタ１５よりの反射に関しても鏡像を考えれば前記の光
導波路１１の場合と全く同様である。
波路１１の入り口近傍が光の強度分布の山となり、光導
波路１２からの入射光に対してほとんど損失を生じずに
再び光導波路１１を導波させることが出来る。光学フィ
ルタ１５よりの反射に関しても鏡像を考えれば前記の光
導波路１１の場合と全く同様である。
【００４８】即ち、透過光（λ1）と反射光（λ2）に対
する光の進行方向に沿うマルチモード干渉型光導波路の
距離を、各々Ｌ及びＬ′とすれば、 Ｌ： Ｌ′＝１／λ1：１／λ2 式（３） の関係にある。
する光の進行方向に沿うマルチモード干渉型光導波路の
距離を、各々Ｌ及びＬ′とすれば、 Ｌ： Ｌ′＝１／λ1：１／λ2 式（３） の関係にある。
【００４９】更に、 Ｌ ＝α（４ｎＷ2）／３λ1 式（４） Ｌ′＝α（４ｎＷ2）／３λ2 式（５） の関係にあることは容易に理解されるであろう。
【００５０】尚、この場合、光導波路のコア、クラッド
の具体的材料、具体的構造の理論よりのずれ等によって
理論的な関係を補正する必要が生ずる。前記αおよびβ
がこの補正係数である。この補正係数αおよびβは、通
例、いずれも概ね、１．５倍以内である。しかし、いず
れにしても前記式（１）、式（２）を満足する光導波路
を実現することが出来る。尚、ここで、前記マルチモー
ド光導波路の実際的な長さＬが１．５ｍｍないし２．０
ｍｍの範囲、実際的な幅Ｗが３０μｍないし４０μｍの
範囲が多用される。更には、マルチモード干渉型光導波
路の実際的な長さＬが１ｍｍないし５ｍｍの範囲、実際
的な幅Ｗが２５μｍないし７０μｍの範囲から選択され
ることがより実際的であり、好ましいことは前述した通
りである。
の具体的材料、具体的構造の理論よりのずれ等によって
理論的な関係を補正する必要が生ずる。前記αおよびβ
がこの補正係数である。この補正係数αおよびβは、通
例、いずれも概ね、１．５倍以内である。しかし、いず
れにしても前記式（１）、式（２）を満足する光導波路
を実現することが出来る。尚、ここで、前記マルチモー
ド光導波路の実際的な長さＬが１．５ｍｍないし２．０
ｍｍの範囲、実際的な幅Ｗが３０μｍないし４０μｍの
範囲が多用される。更には、マルチモード干渉型光導波
路の実際的な長さＬが１ｍｍないし５ｍｍの範囲、実際
的な幅Ｗが２５μｍないし７０μｍの範囲から選択され
ることがより実際的であり、好ましいことは前述した通
りである。
【００５１】尚、このマルチモード干渉自体の理論は、
例えばＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ ＴＥ
ＣＨＮＯＬＯＨＧＹ、 Ｖｏｌ．１３、ＮＯ．４、ＡＰ
ＲＩＬ１９９５、ｐｐ．６１５−６２７を参酌すること
が出来る。本願発明はこの理論を用いて光システムを構
築したことにある。
例えばＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ ＴＥ
ＣＨＮＯＬＯＨＧＹ、 Ｖｏｌ．１３、ＮＯ．４、ＡＰ
ＲＩＬ１９９５、ｐｐ．６１５−６２７を参酌すること
が出来る。本願発明はこの理論を用いて光システムを構
築したことにある。
【００５２】本願の第６の形態は、平面基板上に形成さ
れた複数の波長を有する信号光を合波または分波する光
合分波器において、マルチモード干渉型光導波路と、前
記マルチモード干渉型光導波路の片側に接続した第１の
光導波路と、前記マルチモード干渉型光導波路の前記第
１の光導波路と反対側に接続した第２及び第３の光導波
路と、前記マルチモード干渉型光導波路内に設置される
光学フィルタで構成され、前記第２及び第３の光導波路
が前記マルチモード干渉型光導波路との結合部において
所定の間隔を有することを特徴とする、光合分波器であ
る。
れた複数の波長を有する信号光を合波または分波する光
合分波器において、マルチモード干渉型光導波路と、前
記マルチモード干渉型光導波路の片側に接続した第１の
光導波路と、前記マルチモード干渉型光導波路の前記第
１の光導波路と反対側に接続した第２及び第３の光導波
路と、前記マルチモード干渉型光導波路内に設置される
光学フィルタで構成され、前記第２及び第３の光導波路
が前記マルチモード干渉型光導波路との結合部において
所定の間隔を有することを特徴とする、光合分波器であ
る。
【００５３】本願の第７の形態は、本願発明の光合分波
器もしくは光導波路素子において、光学フィルタがマル
チモード干渉型光導波路を導波するマルチモード光の進
行方向（通称、光軸）に対して垂直あるいは略垂直に設
置されている形態である。
器もしくは光導波路素子において、光学フィルタがマル
チモード干渉型光導波路を導波するマルチモード光の進
行方向（通称、光軸）に対して垂直あるいは略垂直に設
置されている形態である。
【００５４】本願発明においては、マルチモード干渉型
光導波路の一方の端面に複数の光導波路、例えば、図７
の光導波路１２および１３、が所定の個別位置に設置さ
れている。従って、光学フィルタがマルチモード干渉型
光導波路を導波するマルチモード光の進行方向に対して
垂直あるいは略垂直に設置されている為、一方の光導波
路、例えば、前記光導波路１３から入射された光が前記
光学フィルタに達しても、不必要な漏れ光として雑音を
構成することはない。
光導波路の一方の端面に複数の光導波路、例えば、図７
の光導波路１２および１３、が所定の個別位置に設置さ
れている。従って、光学フィルタがマルチモード干渉型
光導波路を導波するマルチモード光の進行方向に対して
垂直あるいは略垂直に設置されている為、一方の光導波
路、例えば、前記光導波路１３から入射された光が前記
光学フィルタに達しても、不必要な漏れ光として雑音を
構成することはない。
【００５５】本願発明は、マルチモード干渉型光導波路
に接続する複数の光導波路において、少なくとも前記第
１から第３のうちいずれか１つ以上の光導波路から入射
した信号光が、それぞれ前記マルチモード干渉型光導波
路でマルチモード光として伝播した後、所定の波長を有
する信号光が前記第１から第３のうちいずれか１つ以上
の光導波路と結合するように、前記マルチモード干渉型
光導波路の長さ及び幅と、前記マルチモード干渉型光導
波路と前記第１から第３の光導波路の接続部が調整され
ていると言うことが出来る。
に接続する複数の光導波路において、少なくとも前記第
１から第３のうちいずれか１つ以上の光導波路から入射
した信号光が、それぞれ前記マルチモード干渉型光導波
路でマルチモード光として伝播した後、所定の波長を有
する信号光が前記第１から第３のうちいずれか１つ以上
の光導波路と結合するように、前記マルチモード干渉型
光導波路の長さ及び幅と、前記マルチモード干渉型光導
波路と前記第１から第３の光導波路の接続部が調整され
ていると言うことが出来る。
【００５６】本願の別な形態によれば、前記第２及び第
３の光導波路の光軸、例えば、図７の光導波路１２およ
び１３における光軸の延長線が前記マルチモード干渉型
光導波路の外に交点を持つ、もしくは互いに平行あるい
は略平行であることが、実用上、極めて好都合である。
こうして、一方の光導波路、例えば、前記光導波路１３
から入射された光が前記光学フィルタに達しても、不必
要な漏れ光として雑音を構成することはない。更に、各
光導波路は任意の方向に曲げて用いることが出来る。こ
れにより、各光導波路を漏れ光の分布する領域から反し
て、雑音の発生を抑制することが可能である。この利点
は、より大きな光システムの構築の設計を容易にする。
３の光導波路の光軸、例えば、図７の光導波路１２およ
び１３における光軸の延長線が前記マルチモード干渉型
光導波路の外に交点を持つ、もしくは互いに平行あるい
は略平行であることが、実用上、極めて好都合である。
こうして、一方の光導波路、例えば、前記光導波路１３
から入射された光が前記光学フィルタに達しても、不必
要な漏れ光として雑音を構成することはない。更に、各
光導波路は任意の方向に曲げて用いることが出来る。こ
れにより、各光導波路を漏れ光の分布する領域から反し
て、雑音の発生を抑制することが可能である。この利点
は、より大きな光システムの構築の設計を容易にする。
【００５７】本願発明の別な形態によれば、前記第４の
光導波路が前記マルチモード干渉型導波路と前記第１の
光導波路側で接続する、もしくは前記第１から第４の光
導波路以外に複数の光導波路が前記マルチモード干渉型
導波路と接続するなど、具体的な用途の目的に応じて種
々応用形態を考えることが出来る。
光導波路が前記マルチモード干渉型導波路と前記第１の
光導波路側で接続する、もしくは前記第１から第４の光
導波路以外に複数の光導波路が前記マルチモード干渉型
導波路と接続するなど、具体的な用途の目的に応じて種
々応用形態を考えることが出来る。
【００５８】更に、本願発明の別な形態によれば、前記
第１から第４の光導波路の全てもしくは一部の端面に、
それぞれ発光素子もしくは受光素子もしくは光ファイバ
もしくは光ファイバとの接続手段を設けることが出来
る。こうして、所望の光送信モジュールもしくは光受信
モジュール、光送受信モジュールもしくは光合分波モジ
ュールを得ることが出来る。こうした、光受信モジュー
ル、光送受信モジュールもしくは光合分波モジュールの
具体例は後述される。又、こうした発光素子や受光素子
は、前記第１から第４の各光導波路に代えて、直接マル
チモード干渉型導波路に接続することが出来る。この方
法は介在する光導波路による光の吸収を避ける点で好ま
しい。勿論、マルチモード干渉型導波路と、別異の光導
波路を介してこれらの発光、受光素子とを接続すること
が出来る。
第１から第４の光導波路の全てもしくは一部の端面に、
それぞれ発光素子もしくは受光素子もしくは光ファイバ
もしくは光ファイバとの接続手段を設けることが出来
る。こうして、所望の光送信モジュールもしくは光受信
モジュール、光送受信モジュールもしくは光合分波モジ
ュールを得ることが出来る。こうした、光受信モジュー
ル、光送受信モジュールもしくは光合分波モジュールの
具体例は後述される。又、こうした発光素子や受光素子
は、前記第１から第４の各光導波路に代えて、直接マル
チモード干渉型導波路に接続することが出来る。この方
法は介在する光導波路による光の吸収を避ける点で好ま
しい。勿論、マルチモード干渉型導波路と、別異の光導
波路を介してこれらの発光、受光素子とを接続すること
が出来る。
【００５９】本例の代表的な例を示せば、それは、第
１、第２、及び第３の光導波路と、マルチモードでの光
の伝搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路
内の光の進行方向に交差して設けられた光学フィルタと
を少なくとも有し、前記第１の光導波路が前記第４の光
導波路の第１の端面に接続され、前記第２及び第３の各
光導波路が前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向
する第２の端面の所定の個別位置に接続され、前記第４
の光導波路の第１の端面および第２の端面は各々当該第
４の光導波路内の光の進行方向と交差する端面であり、
前記第４の光導波路は、前記第２および第３の光導波路
のいずれかの光導波路からの第１の波長の光入力が前記
第４の光導波路内の光の伝搬によって、前記光学フィル
タを透過した上で前記第１の光導波路内に前記第１の波
長の光入力に対応する光の伝搬を可能となし、且つ前記
第２および第３の光導波路のいずれかの光導波路からの
第２の波長の光入力が前記光学フィルタでの反射を介し
て、前記第２および第３の光導波路の内の光入力のない
光導波路内に前記第２の波長の光入力に対応する光の伝
搬を可能となす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光
導波路であり、且つ前記第１より第３の光導波路の少な
くとも一つに接続する発光部あるいは受光部の設置し
た、あるいは前記第１より第３の光導波路の少なくとも
一つに代えて発光部あるいは受光部を設置したことを特
徴とする光導波路を有する光システムであると言うこと
が出来る。
１、第２、及び第３の光導波路と、マルチモードでの光
の伝搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路
内の光の進行方向に交差して設けられた光学フィルタと
を少なくとも有し、前記第１の光導波路が前記第４の光
導波路の第１の端面に接続され、前記第２及び第３の各
光導波路が前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向
する第２の端面の所定の個別位置に接続され、前記第４
の光導波路の第１の端面および第２の端面は各々当該第
４の光導波路内の光の進行方向と交差する端面であり、
前記第４の光導波路は、前記第２および第３の光導波路
のいずれかの光導波路からの第１の波長の光入力が前記
第４の光導波路内の光の伝搬によって、前記光学フィル
タを透過した上で前記第１の光導波路内に前記第１の波
長の光入力に対応する光の伝搬を可能となし、且つ前記
第２および第３の光導波路のいずれかの光導波路からの
第２の波長の光入力が前記光学フィルタでの反射を介し
て、前記第２および第３の光導波路の内の光入力のない
光導波路内に前記第２の波長の光入力に対応する光の伝
搬を可能となす、マルチモードでの光の伝搬が可能な光
導波路であり、且つ前記第１より第３の光導波路の少な
くとも一つに接続する発光部あるいは受光部の設置し
た、あるいは前記第１より第３の光導波路の少なくとも
一つに代えて発光部あるいは受光部を設置したことを特
徴とする光導波路を有する光システムであると言うこと
が出来る。
【００６０】こうした光合分波器もしくは光導波路素子
を用いた光送受信モジュールの場合にも、次の構成によ
って、漏れ光の遮断を行うことが出来る。即ち、前記送
信手段で作られ送信信号の一部で前記送信手段と接続し
た光導波路の外部を伝播する漏れ光の波面が前記光学フ
ィルタの作る平面と平行あるいは略平行であることによ
り、前記漏れ光が遮断される。
を用いた光送受信モジュールの場合にも、次の構成によ
って、漏れ光の遮断を行うことが出来る。即ち、前記送
信手段で作られ送信信号の一部で前記送信手段と接続し
た光導波路の外部を伝播する漏れ光の波面が前記光学フ
ィルタの作る平面と平行あるいは略平行であることによ
り、前記漏れ光が遮断される。
【００６１】従って、このような例の代表な形態は、光
合分波器もしくは光導波路素子と、前記第１もしくは第
４の光導波路の両方もしくは片方の端面に受光手段とし
て設けた受光素子もしくは光ファイバもしくは光ファイ
バの接続手段と、前記第２もしくは第３の光導波路の両
方もしくは片方の端面に送信手段として設けた発光素子
もしくは光ファイバもしくは光ファイバとの接続手段で
構成され、前記送信手段で作られ送信信号の一部で前記
送信手段と接続した光導波路の外部を伝播する漏れ光の
波面が前記光学フィルタの作る平面と平行あるいは略平
行であることにより、前記漏れ光が遮断されることを特
徴とする光送受信モジュールであると言うことが出来
る。
合分波器もしくは光導波路素子と、前記第１もしくは第
４の光導波路の両方もしくは片方の端面に受光手段とし
て設けた受光素子もしくは光ファイバもしくは光ファイ
バの接続手段と、前記第２もしくは第３の光導波路の両
方もしくは片方の端面に送信手段として設けた発光素子
もしくは光ファイバもしくは光ファイバとの接続手段で
構成され、前記送信手段で作られ送信信号の一部で前記
送信手段と接続した光導波路の外部を伝播する漏れ光の
波面が前記光学フィルタの作る平面と平行あるいは略平
行であることにより、前記漏れ光が遮断されることを特
徴とする光送受信モジュールであると言うことが出来
る。
【００６２】更に、本願発明の別な形態によれば、次の
ような光送信モジュール、光受信モジュール、光送受信
モジュールもしくは光合分波モジュールを実現すること
が出来る。即ち、これらの光送信モジュール、光受信モ
ジュール、光送受信モジュールもしくは光合分波モジュ
ールに、前記漏れ光を遮断する為に、前記光学フィルタ
以外に１個以上の光学フィルタを設ける、もしくは前記
第１から第４の光導波路及び前記複数の導波路以外に１
個以上の導波路もしくは導波路層もしくはクラッドと屈
折率の異なる部材を設けることがより有用である。
ような光送信モジュール、光受信モジュール、光送受信
モジュールもしくは光合分波モジュールを実現すること
が出来る。即ち、これらの光送信モジュール、光受信モ
ジュール、光送受信モジュールもしくは光合分波モジュ
ールに、前記漏れ光を遮断する為に、前記光学フィルタ
以外に１個以上の光学フィルタを設ける、もしくは前記
第１から第４の光導波路及び前記複数の導波路以外に１
個以上の導波路もしくは導波路層もしくはクラッドと屈
折率の異なる部材を設けることがより有用である。
【００６３】更に、本願発明の係る諸光合分波器もしく
は諸光導波路素子に、発光素子もしくは受光素子もしく
は光スイッチもしくは光学フィルタもしくは光増幅器も
しくは光変調器等の光素子を組み合わせて用いることが
出来る。
は諸光導波路素子に、発光素子もしくは受光素子もしく
は光スイッチもしくは光学フィルタもしくは光増幅器も
しくは光変調器等の光素子を組み合わせて用いることが
出来る。
【００６４】更には、本願発明に係る諸光合分波器もし
くは諸光導波路素子を複数用いて、発光素子もしくは受
光素子もしくは光スイッチもしくは光学フィルタもしく
は光増幅器もしくは光変調器等の複数の光素子と組み合
わせ、複数の信号を同時に処理するもしくは複数の波長
を有する信号光を多段階で処理することが可能である。
くは諸光導波路素子を複数用いて、発光素子もしくは受
光素子もしくは光スイッチもしくは光学フィルタもしく
は光増幅器もしくは光変調器等の複数の光素子と組み合
わせ、複数の信号を同時に処理するもしくは複数の波長
を有する信号光を多段階で処理することが可能である。
【００６５】更には、本願発明に係る諸光モジュール
に、集積回路もしくはプリアンプ等の電気信号処理手段
を組み合わせ光通信モジュール、あるいは光通信装置に
供することが出来る。
に、集積回路もしくはプリアンプ等の電気信号処理手段
を組み合わせ光通信モジュール、あるいは光通信装置に
供することが出来る。
【００６６】光学フィルタを有さない本願発明の諸形態 次に、本願の別な形態として、これまで説明してきた光
導波路を有する光システムにおいて、前記光学フィルタ
を設置する前の構成体も重要な形態である。勿論、光導
波路を有する光システムを光合分波器あるいは光送信モ
ジュール、光受信モジュール、光送受信モジュールとし
て用いる為には、所定の特性の光学フィルタを設置する
必要があることは言うまでもない。しかし、本願に係る
光導波路を有する光システムを、実際に用いるに当って
は、頭初、光学フィルタを設けない形態でまず、準備
し、それから光学フィルタを挿入設置することも実際的
である。図２０は、基板２０に光学フィルタ１５が設置
された状態をしめす拡大断面図である。図２０の例は、
基板２０上に第１及び第２のクラッド層２１、２３が形
成され、フィルタ挿入用の溝２４が設けられている。フ
ィルタ１５は接着層９５で固定される。尚、この断面図
はコア領域を含まない部分の断面図である。
導波路を有する光システムにおいて、前記光学フィルタ
を設置する前の構成体も重要な形態である。勿論、光導
波路を有する光システムを光合分波器あるいは光送信モ
ジュール、光受信モジュール、光送受信モジュールとし
て用いる為には、所定の特性の光学フィルタを設置する
必要があることは言うまでもない。しかし、本願に係る
光導波路を有する光システムを、実際に用いるに当って
は、頭初、光学フィルタを設けない形態でまず、準備
し、それから光学フィルタを挿入設置することも実際的
である。図２０は、基板２０に光学フィルタ１５が設置
された状態をしめす拡大断面図である。図２０の例は、
基板２０上に第１及び第２のクラッド層２１、２３が形
成され、フィルタ挿入用の溝２４が設けられている。フ
ィルタ１５は接着層９５で固定される。尚、この断面図
はコア領域を含まない部分の断面図である。
【００６７】従って、本形態の代表的な形態は、第１、
第２、及び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝
搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内に
光学フィルタを当該第４の光導波路内の光の進行方向に
交差して設置する為の手段とを少なくとも有し、前記第
４の光導波路の第１の端面に前記第１の光導波路が接続
され、前記第４の光導波路の第２の端面の所定の個別位
置に前記第２及び第３の各光導波路が接続され、前記第
４の光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいず
れかの光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の
光導波路内の光の伝搬によって、前記第１の光導波路内
に前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能と
なし、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれかの
光導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィルタ
での反射を介して、前記第２および第３の光導波路の内
の光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に
対応する光の伝搬を可能となすマルチモードでの光の伝
搬が可能である光導波路であることを特徴とする光導波
路を有する光システムであると言うことが出来る。
第２、及び第３の光導波路と、マルチモードでの光の伝
搬が可能な第４の光導波路と、前記第４の光導波路内に
光学フィルタを当該第４の光導波路内の光の進行方向に
交差して設置する為の手段とを少なくとも有し、前記第
４の光導波路の第１の端面に前記第１の光導波路が接続
され、前記第４の光導波路の第２の端面の所定の個別位
置に前記第２及び第３の各光導波路が接続され、前記第
４の光導波路は、前記第２および第３の光導波路のいず
れかの光導波路からの第１の波長の光入力が前記第４の
光導波路内の光の伝搬によって、前記第１の光導波路内
に前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能と
なし、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれかの
光導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィルタ
での反射を介して、前記第２および第３の光導波路の内
の光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に
対応する光の伝搬を可能となすマルチモードでの光の伝
搬が可能である光導波路であることを特徴とする光導波
路を有する光システムであると言うことが出来る。
【００６８】本願のこの光学フィルタを設置する以前の
諸形態は、光学フィルタを設置した前記した全ての諸形
態に考えることが可能である。従って、更なる説明およ
び諸形態の列挙は省略する。
諸形態は、光学フィルタを設置した前記した全ての諸形
態に考えることが可能である。従って、更なる説明およ
び諸形態の列挙は省略する。
【００６９】発明の実施の諸形態 次に、本願発明の具体的な実施の諸形態する。
【００７０】図８は本発明の第１の実施例である光合分
波器の実施形態を示す斜視図である。図９はその合分波
部の拡大平面図である。
波器の実施形態を示す斜視図である。図９はその合分波
部の拡大平面図である。
【００７１】所定の基板、例えばシリコン（Ｓｉ）基板
２０上に、屈折率の異なる２種類のフッ素化ポリイミド
樹脂を用いて光導波路を形成する。この光導波路は、少
なくとも、第１のクラッド層２１、コア領域２２、そし
て第２のクラッド層２３を有して構成される。ここで、
２４はフィルタ挿入用の溝である。このとき、各層の厚
さの例を示せば、下部クラッド層２１の厚さは５μｍ、
コア２２の厚さは６.５μｍ、上部クラッド層２３の厚
さは１５μｍである。コアとクラッドとの屈折率比は
０.３％とした。合分波部は、少なくともマルチモード
干渉型導波路１０と第１の光導波路１１、第２の光導波
路１２、及び第３の光導波路１３を有する。マルチモー
ド干渉型導波路の幅Ｗは２５μｍ、長さＬは１２００μ
ｍ、光導波路の間隔Ｄは５μｍである。又、３つの光導
波路の幅は６.５μｍとした。
２０上に、屈折率の異なる２種類のフッ素化ポリイミド
樹脂を用いて光導波路を形成する。この光導波路は、少
なくとも、第１のクラッド層２１、コア領域２２、そし
て第２のクラッド層２３を有して構成される。ここで、
２４はフィルタ挿入用の溝である。このとき、各層の厚
さの例を示せば、下部クラッド層２１の厚さは５μｍ、
コア２２の厚さは６.５μｍ、上部クラッド層２３の厚
さは１５μｍである。コアとクラッドとの屈折率比は
０.３％とした。合分波部は、少なくともマルチモード
干渉型導波路１０と第１の光導波路１１、第２の光導波
路１２、及び第３の光導波路１３を有する。マルチモー
ド干渉型導波路の幅Ｗは２５μｍ、長さＬは１２００μ
ｍ、光導波路の間隔Ｄは５μｍである。又、３つの光導
波路の幅は６.５μｍとした。
【００７２】光学フィルタ１５は入射角０度の光に対し
て波長１.３μｍの光を反射し、且つ波長１.５μｍの光
を透過する誘電体多層膜フィルタ１５が用いられた。そ
の厚さは１５μｍである。この誘電体多層膜フィルタ自
体を通例のものを用いて十分である。そして、マルチモ
ード干渉型導波路の中央部に、幅１５μｍの溝２４に挿
入し、ＵＶ（Ｕｌｔｒａ―Ｖｉｏｌｅｔ）硬化材９５を
用いて固定した。この溝２４は、例えばダイシングソー
によって形成することが出来る。第２及び第３の光導波
路１２、１３はマルチモード干渉型導波路との接続部３
２及び３３において互いに平行あるいは略平行となって
いる。
て波長１.３μｍの光を反射し、且つ波長１.５μｍの光
を透過する誘電体多層膜フィルタ１５が用いられた。そ
の厚さは１５μｍである。この誘電体多層膜フィルタ自
体を通例のものを用いて十分である。そして、マルチモ
ード干渉型導波路の中央部に、幅１５μｍの溝２４に挿
入し、ＵＶ（Ｕｌｔｒａ―Ｖｉｏｌｅｔ）硬化材９５を
用いて固定した。この溝２４は、例えばダイシングソー
によって形成することが出来る。第２及び第３の光導波
路１２、１３はマルチモード干渉型導波路との接続部３
２及び３３において互いに平行あるいは略平行となって
いる。
【００７３】図１９に光学フィルタ１５が基板２０に装
着された状態の断面図を示す。符号２４はこの反射手段
を設置する為の溝である。符号２１、２３は各々当該光
導波路のクラッド層を示している。反射手段１５の固定
には接着剤９５が用いられた。
着された状態の断面図を示す。符号２４はこの反射手段
を設置する為の溝である。符号２１、２３は各々当該光
導波路のクラッド層を示している。反射手段１５の固定
には接着剤９５が用いられた。
【００７４】尚、図１０、図１４、及び図１５に図８と
類似の光導波路の構成が示される。そして、この構造は
図８と類似の積層構造を有する。しかし、こうした光導
波路の構成自体は通例のもので十分である。従って、以
下の図面は、個別の積層を詳細な図示を省略する。
類似の光導波路の構成が示される。そして、この構造は
図８と類似の積層構造を有する。しかし、こうした光導
波路の構成自体は通例のもので十分である。従って、以
下の図面は、個別の積層を詳細な図示を省略する。
【００７５】第２及び第３の光導波路１２、１３が接続
部３２、３３で平行となることによって、マルチモード
干渉型導波路内に励起されたマルチモード光の光軸が前
記光学フィルタに対して垂直となる。その結果、フィル
タ１５に位置ずれが生じても、このフィルタ１５の反射
光の光軸と導波路軸のずれは全く生じない。
部３２、３３で平行となることによって、マルチモード
干渉型導波路内に励起されたマルチモード光の光軸が前
記光学フィルタに対して垂直となる。その結果、フィル
タ１５に位置ずれが生じても、このフィルタ１５の反射
光の光軸と導波路軸のずれは全く生じない。
【００７６】ここで、前記光学フィルタは誘電体多層膜
フィルタとは限らず、例えばダイシング溝２４等の光学
フィルタ設置手段のみを備えた図１０のような光導波路
素子であってもよい。図１０では他の部材は図８と同様
なので、詳細説明は省略する。
フィルタとは限らず、例えばダイシング溝２４等の光学
フィルタ設置手段のみを備えた図１０のような光導波路
素子であってもよい。図１０では他の部材は図８と同様
なので、詳細説明は省略する。
【００７７】本願発明の係る光導波路を有する光システ
ムは、光合分波器への入力する複数の光導波路、及び光
合分波器より出力される複数の光導波路をそれぞれ有す
る形態も取ることが出来る。上記複数の光導波路がいず
れもシングル・モードの光導波路、又、光合分波器がマ
ルチモード干渉型光導波路を有する光合分波器であるこ
とは言うまでもない。
ムは、光合分波器への入力する複数の光導波路、及び光
合分波器より出力される複数の光導波路をそれぞれ有す
る形態も取ることが出来る。上記複数の光導波路がいず
れもシングル・モードの光導波路、又、光合分波器がマ
ルチモード干渉型光導波路を有する光合分波器であるこ
とは言うまでもない。
【００７８】図１１はこうした一例を示す光合分波器部
分の平面図である。この例はマルチモード干渉型導波路
１０の入射側に複数、具体的には２つの光導波路１２、
１３が設けられている。一方、マルチモード干渉型導波
路１０の出射側に複数、具体的には２つの光導波路１
１、１４が設けられている。図１１は第４の光導波路１
４が符号３４の位置に設けられている外は、図９と同等
であるので、同じ部位、部材は同じ符号を用いている。
分の平面図である。この例はマルチモード干渉型導波路
１０の入射側に複数、具体的には２つの光導波路１２、
１３が設けられている。一方、マルチモード干渉型導波
路１０の出射側に複数、具体的には２つの光導波路１
１、１４が設けられている。図１１は第４の光導波路１
４が符号３４の位置に設けられている外は、図９と同等
であるので、同じ部位、部材は同じ符号を用いている。
【００７９】もちろん、さらに複数の光導波路がマルチ
モード干渉型導波路と接続して、複数の光合分波器であ
ってもよいことは言うまでもない。
モード干渉型導波路と接続して、複数の光合分波器であ
ってもよいことは言うまでもない。
【００８０】本願発明に係わる構造と図１に示す従来構
造の光合分波器について、フィルタ部に関する製造トレ
ランスを比較した。
造の光合分波器について、フィルタ部に関する製造トレ
ランスを比較した。
【００８１】図１２はフィルタの位置ずれによる反射光
の損失増加量を示す。横軸はフィルタの位置ずれの距
離、縦軸は反射光の損失増加量の例を示す。曲線３５は
本実施例の場合また曲線３６は従来構造の場合の特性を
表す。設計上許容される損失として例えば０.２ｄＢ程
度とすると、トレランスは従来構造が１μｍであるのに
対し本実施例では１０μｍ程度となる。このように、従
来構造に比較して、充分大きな製造トレランスを実現す
ることが出来る。
の損失増加量を示す。横軸はフィルタの位置ずれの距
離、縦軸は反射光の損失増加量の例を示す。曲線３５は
本実施例の場合また曲線３６は従来構造の場合の特性を
表す。設計上許容される損失として例えば０.２ｄＢ程
度とすると、トレランスは従来構造が１μｍであるのに
対し本実施例では１０μｍ程度となる。このように、従
来構造に比較して、充分大きな製造トレランスを実現す
ることが出来る。
【００８２】更に、ここで、本例におけるフィルタの位
置ずれに対する損失増加は、反射光の光軸と導波路軸の
ずれによるのではなく、マルチモード干渉型導波路内で
のマルチモード光の干渉による強度分布に起因すること
を指摘しておかなければならない。
置ずれに対する損失増加は、反射光の光軸と導波路軸の
ずれによるのではなく、マルチモード干渉型導波路内で
のマルチモード光の干渉による強度分布に起因すること
を指摘しておかなければならない。
【００８３】図１３は、マルチモード干渉型導波路の長
さＬを変化させたときの強度（損失）変化を示す。横軸
はマルチモード干渉型導波路の長さＬ、縦軸は損失を示
している。ここで、曲線３７と曲線３８はそれぞれ図７
において第２の光導波路１２から入射させたシングルモ
ード光の第１の光導波路１１及び第４の光導波路１４と
マルチモード干渉型導波路１０との接合部３１及び３４
における損失量を表す。両者の強度のピークが２４００
μｍ程度で周期的に現れることがわかる。
さＬを変化させたときの強度（損失）変化を示す。横軸
はマルチモード干渉型導波路の長さＬ、縦軸は損失を示
している。ここで、曲線３７と曲線３８はそれぞれ図７
において第２の光導波路１２から入射させたシングルモ
ード光の第１の光導波路１１及び第４の光導波路１４と
マルチモード干渉型導波路１０との接合部３１及び３４
における損失量を表す。両者の強度のピークが２４００
μｍ程度で周期的に現れることがわかる。
【００８４】従って、前述の図１２をもって示したフィ
ルタの位置ずれに対する損失増加に対して、図１３に例
示したマルチモード干渉型導波路内でのマルチモード光
の干渉による強度分布に起因する損失が含まれることと
なる。その損失の周期によって、フィルタの位置ずれに
対する損失増加に対する、マルチモード光の干渉による
強度分布に起因する損失の割合が高くなる。わけても、
本願発明の例では、反射光に基づく損失が基本的にな
く、フィルタの位置ずれに対する損失増加は、このマル
チモード光の干渉による強度分布に起因する損失による
ものである。
ルタの位置ずれに対する損失増加に対して、図１３に例
示したマルチモード干渉型導波路内でのマルチモード光
の干渉による強度分布に起因する損失が含まれることと
なる。その損失の周期によって、フィルタの位置ずれに
対する損失増加に対する、マルチモード光の干渉による
強度分布に起因する損失の割合が高くなる。わけても、
本願発明の例では、反射光に基づく損失が基本的にな
く、フィルタの位置ずれに対する損失増加は、このマル
チモード光の干渉による強度分布に起因する損失による
ものである。
【００８５】次に、波長多重通信への、本願発明の光導
波路を有する光システムの適用例を例示する。
波路を有する光システムの適用例を例示する。
【００８６】図１４は本発明の第２の実施例である光合
分波モジュールの実施形態を示す斜視図である。第１の
実施例として例示した光合分波器に対して、その３つの
光導波路の端面に光ファイバを設置するためのＶ溝４
１、４２、４３を形成した。このＶ溝４１、４２、４３
は、シリコン基板２０に、通例の結晶面に対する異方性
食刻の技術を用いて容易に形成することが出来る。そし
て、この溝は光ファイバの位置設定に極めて実用的であ
る。
分波モジュールの実施形態を示す斜視図である。第１の
実施例として例示した光合分波器に対して、その３つの
光導波路の端面に光ファイバを設置するためのＶ溝４
１、４２、４３を形成した。このＶ溝４１、４２、４３
は、シリコン基板２０に、通例の結晶面に対する異方性
食刻の技術を用いて容易に形成することが出来る。そし
て、この溝は光ファイバの位置設定に極めて実用的であ
る。
【００８７】本実施例は、例えば、次のように用いるこ
とが出来る。例えば、光学フィルタ１５として、波長
１.３μｍの光を透過し波長１.５μｍの光を反射する光
学フィルタを用いた場合を検討する。光ファイバ４６か
ら波長１.３μｍと１.５μｍの波長多重光を入射する。
この波長多重光は、光学フィルタ１５で波長１.３μｍ
の光が透過され、一方１.５μｍの光は反射される。従
って、波長１.３μｍ の光は光ファイバ４４に入射す
る。他方、１.５μｍの反射光は光ファイバ４５に入射
する。こうして、一つの波長多重光から、１.３μｍも
しくは１.５μｍの各波長を有する信号光をそれぞれ光
ファイバ４４と４５に分波することがと出来る。
とが出来る。例えば、光学フィルタ１５として、波長
１.３μｍの光を透過し波長１.５μｍの光を反射する光
学フィルタを用いた場合を検討する。光ファイバ４６か
ら波長１.３μｍと１.５μｍの波長多重光を入射する。
この波長多重光は、光学フィルタ１５で波長１.３μｍ
の光が透過され、一方１.５μｍの光は反射される。従
って、波長１.３μｍ の光は光ファイバ４４に入射す
る。他方、１.５μｍの反射光は光ファイバ４５に入射
する。こうして、一つの波長多重光から、１.３μｍも
しくは１.５μｍの各波長を有する信号光をそれぞれ光
ファイバ４４と４５に分波することがと出来る。
【００８８】また、出入射を逆転すれば合波器としても
機能することは言うまでもない。
機能することは言うまでもない。
【００８９】尚、光ファイバ接続はＶ溝に限らず、導波
路基板に接続用の台を設けて光ファイバと接着剤により
接着する等他の手段によるものであってもよい。
路基板に接続用の台を設けて光ファイバと接着剤により
接着する等他の手段によるものであってもよい。
【００９０】図１５は本発明の第３の実施例である光送
受信モジュールの実施形態を示す斜視図である。即ち、
本例は、本願の光導波路を有する光システムが、光の発
光素子及び受光素子を一つの基板に搭載して設けた例を
示す。この例は光の送受信器の実際的な形態として用い
易く有用である。
受信モジュールの実施形態を示す斜視図である。即ち、
本例は、本願の光導波路を有する光システムが、光の発
光素子及び受光素子を一つの基板に搭載して設けた例を
示す。この例は光の送受信器の実際的な形態として用い
易く有用である。
【００９１】第１の実施例として例示した光合分波器の
シリコン基板２０に、受光素子であるフォトダイオード
５１及び発光素子であるレーザーダイオード５２を設置
した。即ち、シリコン基板２０上にこれまでの例と同様
に、光導波路の為のポリマーの多層膜を形成する。そし
て、その所定部分のポリマを除去してＳｉ基板２０を露
出させる。このポリマーの除去は通例のドライエッチン
グを用いて十分である。このシリコン基板上の所定位置
に当該発光、受光素子の各々の第１の電極、５２、及び
５３を形成する。そして、第１の光導波路の端面にフォ
トダイオード５１を搭載し、第３の光導波路の端面にレ
ーザーダイオード５２を搭載した。前記電極と発光、受
光の各素子の相互の間は半田によって接続した。尚、図
において、発光、受光の各素子の各第２の電極は省略さ
れている。その他の構成は前記の第１の実施例と同様で
ある。従って、同一部分、部材は同一符号をもって示さ
れている。
シリコン基板２０に、受光素子であるフォトダイオード
５１及び発光素子であるレーザーダイオード５２を設置
した。即ち、シリコン基板２０上にこれまでの例と同様
に、光導波路の為のポリマーの多層膜を形成する。そし
て、その所定部分のポリマを除去してＳｉ基板２０を露
出させる。このポリマーの除去は通例のドライエッチン
グを用いて十分である。このシリコン基板上の所定位置
に当該発光、受光素子の各々の第１の電極、５２、及び
５３を形成する。そして、第１の光導波路の端面にフォ
トダイオード５１を搭載し、第３の光導波路の端面にレ
ーザーダイオード５２を搭載した。前記電極と発光、受
光の各素子の相互の間は半田によって接続した。尚、図
において、発光、受光の各素子の各第２の電極は省略さ
れている。その他の構成は前記の第１の実施例と同様で
ある。従って、同一部分、部材は同一符号をもって示さ
れている。
【００９２】図１６は、本発明の第４の実施例である光
送受信モジュールの実施形態を示す斜視図である。本例
は前記第３の実施例において、フォトダイオード５１及
び５３をマルチモード導波路１０に関して光導波路１２
側へ移動させ、更に光導波路１１の曲がり方向を変更し
た例を示す。本変更によりレーザダイオード５２で発生
した光のうち光導波路１３と結合出来なかった漏れ光の
分布中心から、受信部が離れることにより漏れ光の影響
を小さくすることが出来る。
送受信モジュールの実施形態を示す斜視図である。本例
は前記第３の実施例において、フォトダイオード５１及
び５３をマルチモード導波路１０に関して光導波路１２
側へ移動させ、更に光導波路１１の曲がり方向を変更し
た例を示す。本変更によりレーザダイオード５２で発生
した光のうち光導波路１３と結合出来なかった漏れ光の
分布中心から、受信部が離れることにより漏れ光の影響
を小さくすることが出来る。
【００９３】尚、フォトダイオード及びレーザーダイオ
ードの設置の方法は本実施例の組み合わせは限定されな
い。勿論、発光、受光の各素子のいずれか一方だけを、
前記シリコン基板に搭載した形態も、勿論目的によって
用いることが出来ることは言うまでもない。更に、必要
に応じて、３個以上の発光、受光の各素子を搭載した形
態も取り得ることは言うまでもない。
ードの設置の方法は本実施例の組み合わせは限定されな
い。勿論、発光、受光の各素子のいずれか一方だけを、
前記シリコン基板に搭載した形態も、勿論目的によって
用いることが出来ることは言うまでもない。更に、必要
に応じて、３個以上の発光、受光の各素子を搭載した形
態も取り得ることは言うまでもない。
【００９４】次に、本願の光導波路を有する光システム
が、光増幅器に用いられた例を示す。
が、光増幅器に用いられた例を示す。
【００９５】図１７は本発明の第４の実施例である光増
幅器の実施形態を示す平面構成図である。２つのＳｉ基
板、８０、８１上に光合分波器５５を１つずつ形成し
た。そして、片方のシリコン基板８０にはポンプ用レー
ザーダイオード５６を設置した。尚、前記光合分波器５
５は、例えば前記実施例１に示した構成を用いて十分で
ある。また２つの基板間は、例えば長さ１ｍ程度のエル
ビウムドープファイバ（一般にファイバ増幅器とも称す
る）５７でつないだ。
幅器の実施形態を示す平面構成図である。２つのＳｉ基
板、８０、８１上に光合分波器５５を１つずつ形成し
た。そして、片方のシリコン基板８０にはポンプ用レー
ザーダイオード５６を設置した。尚、前記光合分波器５
５は、例えば前記実施例１に示した構成を用いて十分で
ある。また２つの基板間は、例えば長さ１ｍ程度のエル
ビウムドープファイバ（一般にファイバ増幅器とも称す
る）５７でつないだ。
【００９６】光ファイバ５８から入射した光は、波長の
異なるレーザーダイオード５６からの光と合波し、エル
ビウムドープファイバ５７で増幅される。そして、この
増幅された光は、再び、異なる波長成分に分波され、所
望波長の光が光ファイバ５９より出射する。こうして、
ファイバー５８より入射した光が増幅され、増幅された
所望の波長の光を、ファイバ５９より得ることが出来
る。
異なるレーザーダイオード５６からの光と合波し、エル
ビウムドープファイバ５７で増幅される。そして、この
増幅された光は、再び、異なる波長成分に分波され、所
望波長の光が光ファイバ５９より出射する。こうして、
ファイバー５８より入射した光が増幅され、増幅された
所望の波長の光を、ファイバ５９より得ることが出来
る。
【００９７】更に、本願の光導波路を有する光システム
が、光受信モジュールに用いられた例を示す。
が、光受信モジュールに用いられた例を示す。
【００９８】図１８は本発明の第５の実施例である光受
信モジュールの実施形態を示す基本的な平面構成図であ
る。本例は、本願発明を光受信モジュールに適用した例
である。この光受信モジュールは、波長多重信号光を各
波長毎に分波し、これらをおのおのその波長に適した受
光素子で受光するものである。
信モジュールの実施形態を示す基本的な平面構成図であ
る。本例は、本願発明を光受信モジュールに適用した例
である。この光受信モジュールは、波長多重信号光を各
波長毎に分波し、これらをおのおのその波長に適した受
光素子で受光するものである。
【００９９】本例の基本構成は次の通りである。光ファ
イバー６５からの光信号を２つのフィルタ６３、６４に
よって所望の波長に光を選択する。そして、この選択さ
れた波長の光は、そのフィルタの透過側に設けられた光
受光素子６２−１、６２−２、６２−３、６２−４、６
２−５、６２−６によって検知される。
イバー６５からの光信号を２つのフィルタ６３、６４に
よって所望の波長に光を選択する。そして、この選択さ
れた波長の光は、そのフィルタの透過側に設けられた光
受光素子６２−１、６２−２、６２−３、６２−４、６
２−５、６２−６によって検知される。
【０１００】図１８を参酌すれば、これまでの諸例と同
様に、Ｓｉ基板上に光合分波器６０とそれらを結ぶ光導
波路６１を複数形成する。そして、各合分波器の透過側
端面に複数のフォトダイオード６２−１、６２−２、６
２−３、６２−４、６２−５、６２−６を配置した。光
導波路６１の一方の端面、即ち入射光導波路は光導波路
６５に接続され、この光導波路６５、例えば光ファイバ
ーは当該光受信モジュールへの光入力を導波する。前記
光合分波器６０は、例えば前記実施例１に示した構造を
用いて十分である。この例では、マルチモード干渉型光
導波路９０に一方の端面に直接受光素子６２−１が設け
られている例である。マルチモード干渉型光導波路９０
とこの内部に設けた光学フィルタ６３、マルチモード干
渉型光導波路９０の一方の端面に配置された光導波路９
１、９２によって本願発明に係わる光システムの基本形
態が構成される。従って、図１７に示された例は、６つ
の本願発明に係わる光システムが縦に接続された形態で
ある。尚、図１７では、説明の都合上、光導波路９１、
９２のみ個別の符号を付し、その他は符号６１を付した
が基本的に同様の光導波路である。
様に、Ｓｉ基板上に光合分波器６０とそれらを結ぶ光導
波路６１を複数形成する。そして、各合分波器の透過側
端面に複数のフォトダイオード６２−１、６２−２、６
２−３、６２−４、６２−５、６２−６を配置した。光
導波路６１の一方の端面、即ち入射光導波路は光導波路
６５に接続され、この光導波路６５、例えば光ファイバ
ーは当該光受信モジュールへの光入力を導波する。前記
光合分波器６０は、例えば前記実施例１に示した構造を
用いて十分である。この例では、マルチモード干渉型光
導波路９０に一方の端面に直接受光素子６２−１が設け
られている例である。マルチモード干渉型光導波路９０
とこの内部に設けた光学フィルタ６３、マルチモード干
渉型光導波路９０の一方の端面に配置された光導波路９
１、９２によって本願発明に係わる光システムの基本形
態が構成される。従って、図１７に示された例は、６つ
の本願発明に係わる光システムが縦に接続された形態で
ある。尚、図１７では、説明の都合上、光導波路９１、
９２のみ個別の符号を付し、その他は符号６１を付した
が基本的に同様の光導波路である。
【０１０１】尚、光学フィルタ６３、おるいは６４は複
数の光システムに共通する物理的形態をもって構成され
ている。しかし、光学フィルタ６３、６４は位置によっ
て反射・透過の波長特性が変化するものを用いる。この
光学フィルタ６３、６４は、その光合分波器６０に対応
する位置の反射・透過特性が当該光システムでの所望の
波長を透過するように設計されている。反射・透過特性
が変化する光学フィルタの具体的な例はフィルタの入
射、透過の面を構成する２つの面の間隔を変化させたも
のである。あるいは、所定の位置のフィルタ材料を別異
の材料を用いることも可能である。尚、本例では、透過
・反射特性が場所によって変化する光学フィルタを２枚
用いるが、これら所望場所に対応する各特性を有する光
フィルタを複数個用いることも当然可能である。この場
合、光学フィルタの特性はその厚さを変化させることに
よっても達成することが出来る。
数の光システムに共通する物理的形態をもって構成され
ている。しかし、光学フィルタ６３、６４は位置によっ
て反射・透過の波長特性が変化するものを用いる。この
光学フィルタ６３、６４は、その光合分波器６０に対応
する位置の反射・透過特性が当該光システムでの所望の
波長を透過するように設計されている。反射・透過特性
が変化する光学フィルタの具体的な例はフィルタの入
射、透過の面を構成する２つの面の間隔を変化させたも
のである。あるいは、所定の位置のフィルタ材料を別異
の材料を用いることも可能である。尚、本例では、透過
・反射特性が場所によって変化する光学フィルタを２枚
用いるが、これら所望場所に対応する各特性を有する光
フィルタを複数個用いることも当然可能である。この場
合、光学フィルタの特性はその厚さを変化させることに
よっても達成することが出来る。
【０１０２】本モジュールは、光ファイバから入射した
波長多重信号光を各合分波器で１波長ずつ順に分波し、
各フォトダイオードで受光することができる。
波長多重信号光を各合分波器で１波長ずつ順に分波し、
各フォトダイオードで受光することができる。
【０１０３】第６の実施例は、本願発明の光の送受信が
可能な光通信モジュールへの適用例である。
可能な光通信モジュールへの適用例である。
【０１０４】図１９は本発明の第６の実施例である光通
信モジュールの概略を示す平面配置図である。尚、図は
主要部材の基本配置を示す。光送受信モジュール６６に
は前記第３の実施例に示した構造を用いた。本光通信モ
ジュールは、送信用ＩＣ６７や受信用ＩＣ６８、また温
度を制御する為のペルチェ素子６９を組み合わせて用い
られた。本モジュールにより、光ファイバ７０より受信
した光信号をデジタル電気信号に変換し、また反対に生
成した電気信号を同じ光ファイバより光信号として送信
することができる。本実施例は送信用と受信用のＩＣを
別体としたが、一体としてもよいし逆に増幅器やＡＰＣ
等を分けて設置してもよいことは言うまでもない。
信モジュールの概略を示す平面配置図である。尚、図は
主要部材の基本配置を示す。光送受信モジュール６６に
は前記第３の実施例に示した構造を用いた。本光通信モ
ジュールは、送信用ＩＣ６７や受信用ＩＣ６８、また温
度を制御する為のペルチェ素子６９を組み合わせて用い
られた。本モジュールにより、光ファイバ７０より受信
した光信号をデジタル電気信号に変換し、また反対に生
成した電気信号を同じ光ファイバより光信号として送信
することができる。本実施例は送信用と受信用のＩＣを
別体としたが、一体としてもよいし逆に増幅器やＡＰＣ
等を分けて設置してもよいことは言うまでもない。
【０１０５】本発明の実施例は特に、Ｓｉ基板上にフッ
素化ポリイミドを用いて合分波器もしくは合分波器を含
むモジュールを作製することについて述べたが、当然の
ことながら、基板はＳｉではなく石英等他の材料であっ
てもよいし、光導波路はフッ素化ポリイミドではなく他
のポリマーや石英等の材料であってもよいことは言うま
でもない。
素化ポリイミドを用いて合分波器もしくは合分波器を含
むモジュールを作製することについて述べたが、当然の
ことながら、基板はＳｉではなく石英等他の材料であっ
てもよいし、光導波路はフッ素化ポリイミドではなく他
のポリマーや石英等の材料であってもよいことは言うま
でもない。
【０１０６】本発明の実施例は特に、波長１.３μｍの
光を透過し波長１.５μｍの光を反射する光学フィルタ
を用いた合分波器もしくは合分波器を含むモジュールを
作製することについて述べたが、光学フィルタは波長特
性の異なるものでもよく、その場合他の波長を有する波
長多重光を合分波することも可能であることは言うまで
もない。
光を透過し波長１.５μｍの光を反射する光学フィルタ
を用いた合分波器もしくは合分波器を含むモジュールを
作製することについて述べたが、光学フィルタは波長特
性の異なるものでもよく、その場合他の波長を有する波
長多重光を合分波することも可能であることは言うまで
もない。
【０１０７】以上、本願発明を詳細に説明したが、本発
明はマルチモード干渉型導波路を反射構造に用いた光合
分波器もしくはそれらを用いた光送受信モジュールに関
するものであり、光合分波器の入射・反射導波路はマル
チモード干渉型導波路との接続部において平行であるこ
とを特徴としている。
明はマルチモード干渉型導波路を反射構造に用いた光合
分波器もしくはそれらを用いた光送受信モジュールに関
するものであり、光合分波器の入射・反射導波路はマル
チモード干渉型導波路との接続部において平行であるこ
とを特徴としている。
【０１０８】その結果、フィルタの位置ずれによる損失
増加はマルチモード干渉型導波路における干渉の周期の
みに起因し、フィルタ部の製造トレランスが大きくな
る。従って歩留りが向上しコストを低減できる。また、
反射角０度のフィルタを使用できることから漏れ光が充
分に遮断され、光クロストークの問題が解決される。従
って受光素子の受信感度等の損失設計に余裕が生まれ
る。
増加はマルチモード干渉型導波路における干渉の周期の
みに起因し、フィルタ部の製造トレランスが大きくな
る。従って歩留りが向上しコストを低減できる。また、
反射角０度のフィルタを使用できることから漏れ光が充
分に遮断され、光クロストークの問題が解決される。従
って受光素子の受信感度等の損失設計に余裕が生まれ
る。
【０１０９】
【発明の効果】本願発明によれば、安価に光導波路を有
する光システムに十分安定した光伝達特性を与えること
が出来る。
する光システムに十分安定した光伝達特性を与えること
が出来る。
【０１１０】本願発明によれば、製造歩留の高い光導波
路を有する光システムを提供することが出来る。
路を有する光システムを提供することが出来る。
【０１１１】本願発明は、マルチモード干渉型光導波路
の相対する端面に設けた光導波路相互での光の漏れ光を
防止することが出来る。
の相対する端面に設けた光導波路相互での光の漏れ光を
防止することが出来る。
【図１】図１は従来の技術による光合波器部分の概略平
面図である。
面図である。
【図２】図２は光学フィルタのずれた状態を説明する光
合波器部分の概略平面図である。
合波器部分の概略平面図である。
【図３】図３は従来構造における、光学フィルタの位置
ずれと反射光の損失増加の関係を示す図である。
ずれと反射光の損失増加の関係を示す図である。
【図４】図４は従来構成になる別な光システムを示す概
略平面図である。
略平面図である。
【図５】図５は入射角の異なる光に対する光学フィルタ
の透過特性を示す図である。
の透過特性を示す図である。
【図６】図６は従来構造の光合分波器におけるθを０度
に近づけたときの構造を示す平面図である。
に近づけたときの構造を示す平面図である。
【図７】図７は本願発明の光合分波器部分のマルチモー
ド干渉を模式的に示す平面図である。
ド干渉を模式的に示す平面図である。
【図８】図８は本願発明の第１の実施例である光合分波
器部分を示す斜視図である。
器部分を示す斜視図である。
【図９】図９は本願発明の第１の実施例である光合分波
器部分の平面拡大図である。
器部分の平面拡大図である。
【図１０】図１０は光学フィルタを設置する前の光シス
テムの斜視図である。
テムの斜視図である。
【図１１】図１１は光学フィルタを設置する前の光シス
テムの拡大平面図である。
テムの拡大平面図である。
【図１２】図１２は本願発明の第１の実施例と従来構造
の光合分波器部分について、フィルタの位置ずれと反射
光損失量の関係を示す図である。
の光合分波器部分について、フィルタの位置ずれと反射
光損失量の関係を示す図である。
【図１３】図１３はマルチモード干渉型導波路の長さと
光強度の関係を示す図である。
光強度の関係を示す図である。
【図１４】図１４は本願発明の第２の実施例である光合
分波モジュールを示す斜視図である。
分波モジュールを示す斜視図である。
【図１５】図１５は本願発明の第３の実施例である光送
受信モジュールを示す斜視図である。
受信モジュールを示す斜視図である。
【図１６】図１６は本願発明の第３の実施例である光送
受信モジュールの別な例を示す斜視図である。
受信モジュールの別な例を示す斜視図である。
【図１７】図１７は本願発明の第４の実施例である光導
波路モジュールを示す概略平面図である。
波路モジュールを示す概略平面図である。
【図１８】図１８は本発明の第５の実施例である光受信
モジュールを示す概略平面図である。
モジュールを示す概略平面図である。
【図１９】図１８は本願発明の第６の実施例である光通
信モジュールの各部材の配置を示す図である。
信モジュールの各部材の配置を示す図である。
【図２０】図２０は光学フィルタの設置を説明する断面
図である。
図である。
１：光導波路（入射側光導波路）、２：光導波路（反射
側光導波路）、３：光導波路１及び２それぞれの光軸の
交点、４：光学フィルタ、５：光学フィルタの等価的反
射中心面、６：入射側光導波路の軸、７：反射側光導波
路の軸、８：フィルタ位置がずれたときの反射光の光
軸、９：漏れ光、１０：マルチモード干渉型光導波路、
１１：第１の光導波路、１２：第２の光導波路、１３：
第３の光導波路、１４：第４の光導波路、１５：光学フ
ィルタ、１６：従来構造の光合分波器、１７：光導波路
１及び２の重なり部分、１８：反射戻り光、２０：基板
（例えば、Ｓｉ基板）、２１：下部クラッド層、２２：
コア層、２３：上部クラッド層、２４：マルチモード干
渉型導波路と第１の光導波路の結合部、２５：マルチモ
ード干渉型導波路と第２の光導波路の結合部、２６：マ
ルチモード干渉型導波路と第３の光導波路の結合部、２
７：マルチモード干渉型導波路と第４の光導波路の結合
部、２８：本実施例におけるフィルタの位置ずれによる
反射光の損失増加量、２９：従来構造の光合分波器にお
けるフィルタの位置ずれによる反射光の損失増加量、３
０：第２の光導波路１２からシングルモード光を入射し
た光の接合部３１における損失、３１：第２の光導波路
１２からシングルモード光を入射した光の接合部３４に
おける損失、３２：光ファイバ設置用のＶ溝、３３：光
ファイバ設置用のＶ溝、３４：光ファイバ設置用のＶ
溝、３５：フォトダイオード、３６：レーザーダイオー
ド、３７：フォトダイオード用電極、３８：レーザーダ
イオード用電極、３９：第１の実施例である光合分波
器、４０：光合分波器間を結ぶ光導波路、４１：複数の
フォトダイオード、４２：光学フィルタ、４３：光学フ
ィルタ、４４：光ファイバ、４５：光送受信モジュー
ル、４６：送信用ＩＣ、４７：受信用ＩＣ、４８：ペル
チェ素子、４９光ファイバ。
側光導波路）、３：光導波路１及び２それぞれの光軸の
交点、４：光学フィルタ、５：光学フィルタの等価的反
射中心面、６：入射側光導波路の軸、７：反射側光導波
路の軸、８：フィルタ位置がずれたときの反射光の光
軸、９：漏れ光、１０：マルチモード干渉型光導波路、
１１：第１の光導波路、１２：第２の光導波路、１３：
第３の光導波路、１４：第４の光導波路、１５：光学フ
ィルタ、１６：従来構造の光合分波器、１７：光導波路
１及び２の重なり部分、１８：反射戻り光、２０：基板
（例えば、Ｓｉ基板）、２１：下部クラッド層、２２：
コア層、２３：上部クラッド層、２４：マルチモード干
渉型導波路と第１の光導波路の結合部、２５：マルチモ
ード干渉型導波路と第２の光導波路の結合部、２６：マ
ルチモード干渉型導波路と第３の光導波路の結合部、２
７：マルチモード干渉型導波路と第４の光導波路の結合
部、２８：本実施例におけるフィルタの位置ずれによる
反射光の損失増加量、２９：従来構造の光合分波器にお
けるフィルタの位置ずれによる反射光の損失増加量、３
０：第２の光導波路１２からシングルモード光を入射し
た光の接合部３１における損失、３１：第２の光導波路
１２からシングルモード光を入射した光の接合部３４に
おける損失、３２：光ファイバ設置用のＶ溝、３３：光
ファイバ設置用のＶ溝、３４：光ファイバ設置用のＶ
溝、３５：フォトダイオード、３６：レーザーダイオー
ド、３７：フォトダイオード用電極、３８：レーザーダ
イオード用電極、３９：第１の実施例である光合分波
器、４０：光合分波器間を結ぶ光導波路、４１：複数の
フォトダイオード、４２：光学フィルタ、４３：光学フ
ィルタ、４４：光ファイバ、４５：光送受信モジュー
ル、４６：送信用ＩＣ、４７：受信用ＩＣ、４８：ペル
チェ素子、４９光ファイバ。
Claims (10)
- 【請求項１】 第１、第２、及び第３の光導波路と、マ
ルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前
記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設けられ
た光学フィルタとを少なくとも有し、前記第１の光導波
路が前記第４の光導波路の第１の端面に接続され、前記
第２及び第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前記
第１の端面に対向する第２の端面の所定の個別位置に接
続され、前記第４の光導波路の第１の端面および第２の
端面は各々当該第４の光導波路内の光の進行方向と交差
する端面であり、前記第４の光導波路は、前記第２およ
び第３の光導波路のいずれかの光導波路からの第１の波
長の光入力が前記第４の光導波路内の光の伝搬によっ
て、前記光学フィルタを透過した上で前記第１の光導波
路内に前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可
能となし、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれ
かの光導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィ
ルタでの反射を介して、前記第２および第３の光導波路
の内の光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入
力に対応する光の伝搬を可能となす、マルチモードでの
光の伝搬が可能な光導波路であることを特徴とする光合
分波器。 - 【請求項２】 第１、第２、及び第３の光導波路と、マ
ルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前
記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設けられ
た光学フィルタと、を少なくとも有し、前記第１の光導
波路が前記第４の光導波路の第１の端面に接続され、前
記第２及び第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前
記第１の端面に対向する第２の端面の所定の個別位置に
接続され、前記第４の光導波路は、前記第１及び第２の
端面から所定距離離れた２つの平面における光強度分布
の規格化された各形状を重ねた場合、前記各形状が相互
に前記第４の光導波路の光の進行方向に沿う中心軸に対
して線対称ないしは略線対称となっている光導波路であ
ることを特徴とする光合分波器。 - 【請求項３】 第１の光導波路が、マルチモードでの光
の伝搬が可能な第４の光導波路の第１の端面に接続さ
れ、前記第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第
２の端面に第２、及び第３の光導波路がその接続位置に
おいて所定間隔で接続され、前記第４の光導波路内に光
学フィルタが設置され、前記光学フィルタの入射面は、
前記第１、第２、および第３の各光導波路の前記第４の
光導波路への接続位置における当該第１、第２、および
第３の各光導波路での光の波面と平行ないしは略平行で
あることを特徴とする光合分波器。 - 【請求項４】 前記第１、第２、及び第３の光導波路が
シングルモードでの光の伝搬が可能な光導波路であるこ
とを特徴とする請求項１より請求項３のいずれかに記載
の光合分波器。 - 【請求項５】 第１、第２、及び第３の光導波路と、マ
ルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前
記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設ける光
学フィルタを設置する為の手段と、を少なくとも有し、
前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第１の端面
に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が前記第４
の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の端面の所
定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路の第１の
端面および第２の端面は各々当該第４の光導波路内の光
の進行方向と交差する端面であり、前記第４の光導波路
は、前記第２および第３の光導波路のいずれかの光導波
路からの第１の波長の光入力が前記第４の光導波路内の
光の伝搬によって、前記第１の光導波路内に前記第１の
波長の光入力に対応する光の伝搬を可能となし、且つ前
記第２および第３の光導波路のいずれかの光導波路から
の第２の波長の光入力が前記光学フィルタ位置での反射
を介して、前記第２および第３の光導波路の内の光入力
のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に対応する
光の伝搬を可能となす、マルチモードでの光の伝搬が可
能な光導波路であることを特徴とする光導波路を有する
光システム。 - 【請求項６】 第１、第２、及び第３の光導波路と、マ
ルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前
記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設けられ
た光学フィルタを設置する為の手段と、を少なくとも有
し、前記第１の光導波路が前記第４の光導波路の第１の
端面に接続され、前記第２及び第３の各光導波路が前記
第４の光導波路の前記第１の端面に対向する第２の端面
の所定の個別位置に接続され、前記第４の光導波路は、
前記第１及び第２の端面から所定距離離れた２つの平面
における光強度分布の規格化された各形状を重ねた場
合、前記各形状が相互に前記第４の光導波路の光の進行
方向に沿う中心軸に対して線対称ないしは略線対称とな
っている光導波路であり、且つ前記第１、第２、及び第
３の各光導波路がシングルモードでの光の伝搬が可能で
あることを特徴とする光導波路を有する光システム。 - 【請求項７】 前記第４の光導波路の光の進行方向の長
さが１ｍｍより５ｍｍの範囲、幅が２５μｍより７０μ
ｍの範囲にあることを特徴とする請求項１より請求項４
のいずれかに記載の光合分波器。 - 【請求項８】第１、第２、及び第３の光導波路と、マル
チモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前記
第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設けられた
光学フィルタとを少なくとも有し、前記第１の光導波路
が前記第４の光導波路の第１の端面に接続され、前記第
２及び第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前記第
１の端面に対向する第２の端面の所定の個別位置に接続
され、前記第４の光導波路の第１の端面および第２の端
面は各々当該第４の光導波路内の光の進行方向と交差す
る端面であり、前記第４の光導波路は、前記第２および
第３の光導波路のいずれかの光導波路からの第１の波長
の光入力が前記第４の光導波路内の光の伝搬によって、
前記光学フィルタを透過した上で前記第１の光導波路内
に前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可能と
なし、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれかの
光導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィルタ
での反射を介して、前記第２および第３の光導波路の内
の光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入力に
対応する光の伝搬を可能となす、マルチモードでの光の
伝搬が可能な光導波路であり、且つ前記第２の波長の光
入力に対応する光の伝搬を可能となす第２および第３の
光導波路のいずれかに接続される光受光器が、前記光入
力を行う光素子よりの漏れ光の分布の中心位置からずれ
て設置されたことを特徴とする光合分波器。 - 【請求項９】 第１、第２、及び第３の光導波路と、マ
ルチモードでの光の伝搬が可能な第４の光導波路と、前
記第４の光導波路内の光の進行方向に交差して設けられ
た光学フィルタとを少なくとも有し、前記第１の光導波
路が前記第４の光導波路の第１の端面に接続され、前記
第２及び第３の各光導波路が前記第４の光導波路の前記
第１の端面に対向する第２の端面の所定の個別位置に接
続され、前記第４の光導波路の第１の端面および第２の
端面は各々当該第４の光導波路内の光の進行方向と交差
する端面であり、前記第４の光導波路は、前記第２およ
び第３の光導波路のいずれかの光導波路からの第１の波
長の光入力が前記第４の光導波路内の光の伝搬によっ
て、前記光学フィルタを透過した上で前記第１の光導波
路内に前記第１の波長の光入力に対応する光の伝搬を可
能となし、且つ前記第２および第３の光導波路のいずれ
かの光導波路からの第２の波長の光入力が前記光学フィ
ルタでの反射を介して、前記第２および第３の光導波路
の内の光入力のない光導波路内に前記第２の波長の光入
力に対応する光の伝搬を可能となす、マルチモードでの
光の伝搬が可能な光導波路であり、且つ前記第１より第
３の光導波路の少なくとも一つに接続する発光部あるい
は受光部の設置した、あるいは前記第１より第３の光導
波路の少なくとも一つに代えて発光部あるいは受光部を
設置した、あるいは光スイッチもしくは光学フィルタも
しくは光増幅器もしくは光変調器等の光素子を組み合わ
せたことを特徴とする光導波路モジュール。 - 【請求項１０】請求項９に記載の光導波路モジュール
に、集積回路もしくはプリアンプ等の電気信号処理手段
を組み合わせた光通信装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000187539A JP3749652B2 (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置 |
| US09/809,254 US6445849B2 (en) | 2000-06-19 | 2001-03-16 | Wavelength multiplexer and optical unit |
| US10/216,843 US6744945B2 (en) | 2000-06-19 | 2002-08-13 | Wavelength multiplexer and optical unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000187539A JP3749652B2 (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002006155A true JP2002006155A (ja) | 2002-01-09 |
| JP2002006155A5 JP2002006155A5 (ja) | 2005-02-17 |
| JP3749652B2 JP3749652B2 (ja) | 2006-03-01 |
Family
ID=18687501
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000187539A Expired - Fee Related JP3749652B2 (ja) | 2000-06-19 | 2000-06-19 | 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6445849B2 (ja) |
| JP (1) | JP3749652B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100441139B1 (ko) * | 2002-12-10 | 2004-07-21 | 학교법인 인하학원 | 쿼지상태 다중모드 간섭을 이용한 광분리기 |
| US6868210B2 (en) | 2003-03-07 | 2005-03-15 | Hitachi, Ltd. | Optical waveguide and their application of the optical communication system |
| WO2005116703A1 (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光導波路を含む光システム |
| WO2006051981A1 (ja) * | 2004-11-15 | 2006-05-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光反射器、光合分波器及び光システム |
| JP2006139269A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-06-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路を含む光システム及び光合分波器 |
| WO2007020778A1 (ja) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光反射器及び光システム |
| US7289702B2 (en) | 2002-11-29 | 2007-10-30 | Hitachi, Ltd. | Optical waveguide apparatus |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3749652B2 (ja) * | 2000-06-19 | 2006-03-01 | 株式会社日立製作所 | 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置 |
| US6580844B2 (en) * | 2001-04-24 | 2003-06-17 | Lucent Technologies Inc. | Broadband wavelength-division multiplexer/demultiplexer |
| JP2002341165A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光波長合分波器およびその使用方法 |
| JP2003114336A (ja) * | 2001-10-04 | 2003-04-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光フィルタモジュールおよびその製造方法 |
| GB0201969D0 (en) * | 2002-01-29 | 2002-03-13 | Qinetiq Ltd | Integrated optics devices |
| JP2003255195A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 波長多重コネクタ、光通信装置および光通信システム |
| US20060126306A1 (en) * | 2002-04-05 | 2006-06-15 | Blair Thomas H | Multi-power optoelectric packages |
| JP2003329986A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Fujitsu Ltd | 光変調器および光導波路デバイス |
| GB0306008D0 (en) | 2003-03-15 | 2003-04-23 | Qinetiq Ltd | Optical device |
| US20060215954A1 (en) * | 2004-03-22 | 2006-09-28 | Jenkins Richard M | Optical routing device comprising hollow waveguides and mems reflective elements |
| GB0306634D0 (en) * | 2003-03-22 | 2003-04-30 | Qinetiq Ltd | Optical wavelength division multiplexer/demultiplexer device |
| JP4123049B2 (ja) * | 2003-05-15 | 2008-07-23 | オムロン株式会社 | 光合分波器 |
| JP2005049821A (ja) * | 2003-07-11 | 2005-02-24 | Omron Corp | 光合分波器、光集積回路及びそれらを用いた光送受信器 |
| US7492992B1 (en) * | 2003-08-08 | 2009-02-17 | Neophotonics Corporation | Bi-directional PLC transceiver device |
| US20050111777A1 (en) * | 2003-10-14 | 2005-05-26 | Stenger Vincent E. | Monolithic integrated photonic interconnect device |
| DE10361879A1 (de) * | 2003-12-19 | 2005-03-10 | Infineon Technologies Ag | Optisches Bauelement mit einem MMI-Koppler |
| KR20060055606A (ko) * | 2004-11-18 | 2006-05-24 | 한국전자통신연구원 | 온도 무의존 외부 공진 레이저 |
| JP2006178252A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Yokogawa Electric Corp | 光スイッチ |
| US20090046977A1 (en) * | 2007-08-16 | 2009-02-19 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Waveguide device and optical network system |
| EP2191770B1 (en) * | 2008-05-02 | 2016-04-13 | Olympus Corporation | Optical inspection device, electromagnetic wave detection method, electromagnetic wave detection device, organism observation method, microscope, endoscope, and optical tomographic image generation device |
| US7969001B2 (en) * | 2008-06-19 | 2011-06-28 | Broadcom Corporation | Method and system for intra-chip waveguide communication |
| US8532447B1 (en) * | 2011-04-19 | 2013-09-10 | Emcore Corporation | Multi-mode interference splitter/combiner with adjustable splitting ratio |
| JP5561305B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2014-07-30 | 沖電気工業株式会社 | 光素子 |
| US9195127B1 (en) | 2012-06-18 | 2015-11-24 | Amazon Technologies, Inc. | Rear projection screen with infrared transparency |
| US9262983B1 (en) * | 2012-06-18 | 2016-02-16 | Amazon Technologies, Inc. | Rear projection system with passive display screen |
| RU2529447C2 (ru) * | 2012-12-18 | 2014-09-27 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Способ регистрации характеристик ионизирующего излучения и устройство для его осуществления |
| EP2981010B1 (en) * | 2013-06-24 | 2018-04-25 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical module and optical network system |
| CN107092056B (zh) * | 2017-06-12 | 2019-07-05 | 北京大学 | 一种波分复用/解复用器及其制作方法 |
| ES2722753A1 (es) | 2018-02-13 | 2019-08-16 | Consejo Superior Investigacion | Divisor de polarizacion integrado |
| WO2020153236A1 (ja) * | 2019-01-24 | 2020-07-30 | ソニー株式会社 | 光通信装置、光通信方法および光通信システム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3344446B2 (ja) | 1995-01-12 | 2002-11-11 | 日本電信電話株式会社 | 光送受信モジュール |
| US5889900A (en) * | 1997-05-16 | 1999-03-30 | Ramar Corporation | Integrated optic tunable filters and their methods of fabrication and use |
| US6445857B1 (en) * | 1999-09-21 | 2002-09-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical waveguide part, its manufacturing method, connection member, optical part, method for connecting optical waveguide part, and optical element |
| JP3749652B2 (ja) * | 2000-06-19 | 2006-03-01 | 株式会社日立製作所 | 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置 |
-
2000
- 2000-06-19 JP JP2000187539A patent/JP3749652B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-03-16 US US09/809,254 patent/US6445849B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-08-13 US US10/216,843 patent/US6744945B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7289702B2 (en) | 2002-11-29 | 2007-10-30 | Hitachi, Ltd. | Optical waveguide apparatus |
| KR100441139B1 (ko) * | 2002-12-10 | 2004-07-21 | 학교법인 인하학원 | 쿼지상태 다중모드 간섭을 이용한 광분리기 |
| US6868210B2 (en) | 2003-03-07 | 2005-03-15 | Hitachi, Ltd. | Optical waveguide and their application of the optical communication system |
| WO2005116703A1 (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光導波路を含む光システム |
| KR100893805B1 (ko) | 2004-05-28 | 2009-04-20 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 광도파로를 포함하는 광시스템 |
| US7574081B2 (en) | 2004-05-28 | 2009-08-11 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Optical system with optical waveguides |
| JP2006139269A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-06-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路を含む光システム及び光合分波器 |
| WO2006051981A1 (ja) * | 2004-11-15 | 2006-05-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 光反射器、光合分波器及び光システム |
| US7577328B2 (en) | 2004-11-15 | 2009-08-18 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Optical reflector, optical system and optical multiplexer/demultiplexer device |
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