JP2003114336A - 光フィルタモジュールおよびその製造方法 - Google Patents

光フィルタモジュールおよびその製造方法

Info

Publication number
JP2003114336A
JP2003114336A JP2001308311A JP2001308311A JP2003114336A JP 2003114336 A JP2003114336 A JP 2003114336A JP 2001308311 A JP2001308311 A JP 2001308311A JP 2001308311 A JP2001308311 A JP 2001308311A JP 2003114336 A JP2003114336 A JP 2003114336A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
optical
insertion groove
cover
flat substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001308311A
Other languages
English (en)
Inventor
Naoki Tachihata
直樹 立畠
Kazunari Nishihara
和成 西原
Tetsuo Shimamura
徹郎 島村
Kazuo Fujiwara
和男 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001308311A priority Critical patent/JP2003114336A/ja
Priority to EP02800732A priority patent/EP1435531A4/en
Priority to TW091122721A priority patent/TWI255927B/zh
Priority to CNB028031024A priority patent/CN1206547C/zh
Priority to PCT/JP2002/010263 priority patent/WO2003032031A1/ja
Priority to US10/471,419 priority patent/US7039279B2/en
Publication of JP2003114336A publication Critical patent/JP2003114336A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
    • G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
    • G02B6/29368—Light guide comprising the filter, e.g. filter deposited on a fibre end
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/264—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting
    • G02B6/266—Optical coupling means with optical elements between opposed fibre ends which perform a function other than beam splitting the optical element being an attenuator
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29379—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means characterised by the function or use of the complete device
    • G02B6/29389—Bandpass filtering, e.g. 1x1 device rejecting or passing certain wavelengths
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
    • G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y10T156/1002—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with permanent bending or reshaping or surface deformation of self sustaining lamina

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光導波路の経路に多層膜フィルタを挿入実装
した光フィルタモジュールに関して、入出力光ファイバ
間の光軸調整を低減し、挿入する多層膜フィルタの位置
ずれの少ない高精度な実装方法を提供することを目的と
する。 【解決手段】 光通路５を有する平面基板７と、この平
面基板７に形成した上記光通路５と交叉するフィルタ挿
入溝１と、このフィルタ挿入溝１の一方の壁面に端面を
一致させて平面基板７に結合された一方のカバー３と、
上記フィルタ挿入溝１に挿入された多層膜フィルタ２
と、上記平面基板７上を移動してフィルタ挿入溝１から
突出する多層膜フィルタ２の上部を上記一方のカバー３
の端面に押し付けて多層膜フィルタ２を固定して平面基
板７に固着される他方のカバー４とからなる光フィルタ
モジュールである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種多層膜フィルタ
を光ファイバおよび光導波路に組み込み一体化させた光
通信用の光フィルタモジュールおよびその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種多層膜フィルタを光ファイバ
および光導波路に組み込み一体化させたモジュールを作
製する場合、図９のようになっていた。すなわち、多層
膜フィルタ２２を光ファイバ２０間に実装、一体化させ
たモジュールを作製する場合、金属筐体２３へ光ファイ
バ２０を仮固定し、次に光ファイバ２０から拡散する光
を集光するための集光用レンズ２１、多層膜フィルタ２
２を実装する。その後、入射側の光ファイバ２０から光
信号を入射し、出射側の光ファイバ２０からの光信号を
パワーメータ等で測定し、光信号が最大となるように光
軸を調整し、集光レンズ２１、多層膜フィルタ２２を金
属筐体２３にかしめて固定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図９に示したように、
従来の多層膜フィルタ２２を光通路に一体化させたモジ
ュールを作製する場合、入射側の光ファイバ２０と集光
用レンズ２１との光軸調整、集光用レンズ２１と多層膜
フィルタ２２との光軸調整、多層膜フィルタ２２と集光
用レンズ２１との光軸調整、集光用レンズと出射側の光
ファイバ２０との光軸調整という多くの光軸調整が必要
になり、作業性が悪いという問題があった。
【０００４】そこで本発明は、これらの光軸調整を少な
くし、作業性を高めることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために、本発明の請求項１に記載の発明は、光通路を
有する平面板と、この平面基板に形成した上記光通路と
交叉するフィルタ挿入溝と、このフィルタ挿入溝の一方
の壁面に端面を一致させて平面基板に結合された一方の
カバーと、上記フィルタ挿入溝に挿入された多層膜フィ
ルタと、上記平面基板上を移動してフィルタ挿入溝から
突出する多層膜フィルタの上部を上記一方のカバーの端
面に押し付けて多層膜フィルタを固定して平面基板に固
着される他方のカバーとからなる光フィルタモジュール
であって、光通路とフィルタ挿入溝とカバーを有する基
板に多層膜フィルタを挿入し、他方のカバーで多層膜フ
ィルタを固定するようにしたものであれば、光軸調整が
廃止でき、その結果として、作業性の高いものとなる作
用を有すると同時に、多層膜フィルタの反りに依存せず
に多層膜フィルタを確実に固着、実装できる作用を有す
るものである。
【０００６】また、請求項２に記載の発明は、光通路が
光ファイバで構成した請求項１に記載の光フィルタモジ
ュールであり、請求項１と同等の作用を有するものであ
る。
【０００７】また、請求項３に記載の発明は、光ファイ
バがコア径拡大ファイバである請求項２に記載の光フィ
ルタモジュールであり、請求項２と同等の作用を有する
ものである。
【０００８】また、請求項４に記載の発明は、フィルタ
挿入溝の壁面に面した光ファイバの端面がコア径拡大部
である請求項３に記載の光フィルタモジュールであり、
請求項３と同等の作用を有すると同時に、スポットサイ
ズを拡大し光損失を低減できる効果を有するものであ
る。
【０００９】また、請求項５に記載の発明は、フィルタ
挿入溝の底部としてあらかじめ平面基板に結合される一
方のカバー側が深く、他方のカバー側が浅いテーパ面を
もった構成として請求項１に記載の光フィルタモジュー
ルであり、請求項１と同等の作用を有すると同時に、テ
ーパ面がガイドの役目を果たすことによって多層膜フィ
ルタの位置あわせを容易にするという作用を有するもの
である。
【００１０】また、請求項６に記載の発明は、平面基板
に形成された光通路と交叉するようにフィルタ挿入溝を
形成し、このフィルタ挿入溝の一方の壁面に端面が一致
するように一方のカバーを平面基板に固着した後このフ
ィルタ挿入溝に多層膜フィルタを挿入し、上記平面基板
上に配置した他方のカバーを移動させてフィルタ挿入溝
から突出する多層膜フィルタの上部を上記一方のカバー
の端面に押し付けた後この他方のカバーを平面基板に固
着する光フィルタモジュールの製造方法であり、請求項
１と同等の作用を有すると同時に、実装に要する時間を
短縮化する作用を有するものである。
【００１１】また、請求項７に記載の発明は、平面基板
の上面にＶ溝を形成し、このＶ溝に光ファイバを配置し
た後一方のカバーを平面基板に固着し、この一方のカバ
ーの端面に沿って平面基板にフィルタ挿入溝を形成し、
このフィルタ挿入溝に多層膜フィルタを挿入した後上記
平面基板上に配置した他方のカバーを移動させてフィル
タ挿入溝より突出する多層膜フィルタの上部を一方のカ
バーの端面に押し付け、この状態で他方のカバーを平面
基板に固着する光フィルタモジュールの製造方法であ
り、請求項１と同等の作用を有すると同時に、実装に要
する時間を短縮化する作用を有するものである。
【００１２】また、請求項８に記載の発明は、光ファイ
バがコア径拡大ファイバである請求項６または７に記載
の光フィルタモジュールの製造方法であり、請求項６ま
たは７と同等の作用を有するものである。
【００１３】また、請求項９に記載の発明は、フィルタ
挿入溝として一方のカバー側が深く他方のカバー側が浅
くなるように形成する請求項６または７に記載の光フィ
ルタモジュールの製造方法であり、請求項６または７と
同等の作用を有すると同時に、テーパ面がガイドの役目
を果たすことによって多層膜フィルタの位置あわせを容
易にするという作用を有するものである。
【００１４】また、請求項１０に記載の発明は、平面基
板に対して両カバーを光硬化性硬化性接着剤または熱硬
化性接着剤を用いて固着する請求項６または７に記載の
光フィルタモジュールの製造方法であり、固着の作業を
効率的に行える作用を有するものである。
【００１５】また、請求項１１に記載の発明は、フィル
タ挿入溝を形成するとき光ファイバも同時に切断する請
求項６に記載の光フィルタモジュールの製造方法であ
り、請求項６と同等の作用を有すると同時に、モジュー
ルの組み立て実装時間を短縮できる作用を有するもので
ある。
【００１６】また、請求項１２に記載の発明は、光ファ
イバの切断位置がコア径拡大部である請求項８に記載の
光フィルタモジュールの製造方法であり、請求項８と同
等の作用を有すると同時に、スポットサイズを拡大し光
損失を低減できる効果を有するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下に本発明に
よる光フィルタモジュールの実施の形態１を図１（ａ）
〜（ｃ）および図２（ａ）〜（ｄ）を用いて説明する。
【００１８】図１（ａ）は本発明による２心光フィルタ
モジュールの上面図を示しており、（ｂ）はその側面
図、（ｃ）はその断面図を示している。ここで、１は多
層膜フィルタのフィルタ挿入溝、２は多層膜フィルタ、
３は平面基板に結合させたカバー、４は多層膜フィルタ
２を押さえつけるためのカバー、５は光通路、６は光学
接着剤、７は平面基板をそれぞれ示している。
【００１９】多層膜フィルタ２は、例えばガラスやポリ
イミドなどの樹脂基板上にＳｉＯ2やＴａＯ2Ｏ5などの
誘電体薄膜を多数積層したものである。カバー３、カバ
ー４および平面基板７は例えばガラスやシリコンなどで
あり、光通路５と線膨張係数は近い方が望ましいが、そ
の固定に樹脂系の接着剤を用いる場合、接着剤の弾性で
線膨張係数差による応力を緩和することは可能である。
また、接着剤に光硬化性のものを用いる場合は光を通過
させる材料が望ましい。
【００２０】光学接着剤６は、光通路端面からの光の分
散を防止するため、光通路５に用いる材料と同等の屈折
率を有するものを選択するほうがよい。例えば光通路５
に石英ガラス系材料を用いる場合は、光学接着剤の屈折
率も石英ガラスの屈折率１．４５にできる限り近いもの
を選択するほうがよい。光通路５は例えば光ファイバで
あり、平面基板７には光ファイバを実装、固定するため
のＶ溝１０が形成されている。Ｖ溝１０の深さおよび角
度を所定の値に加工することにより上下に配置したカバ
ー３および平面基板７により挟持し、光ファイバの位置
ずれなしに実装が可能である。
【００２１】なお、このＶ溝１０はカバー３および４に
おいても形成されていてもよい。例えば、Ｖ溝１０の先
端角をα、実装する光ファイバの半径をｒ、Ｖ溝１０の
深さをｄとすると、 ｄ＝ｒ／ｓｉｎ（α／２） に設定することにより光ファイバの中心がカバー３およ
び平面基板７のちょうど表面に位置することになる。通
常、ガラス系光ファイバの光通路であるクラッド径が１
２５μｍであるからＶ溝１０の先端角度を９０度とする
とＶ溝１０の深さを約１８０μｍにすることによりカバ
ー３，４および平面基板７に挟持することにより光ファ
イバを確実に固定することが可能である。
【００２２】また、カバー３，４および平面基板７に形
成されたＶ溝１０の深さや角度は必ずしも同一形状であ
る必要は無く、一方の平面基板７のＶ溝１０に光ファイ
バを実装したときの光ファイバの主面からの突出量以上
に挟持する一方の平面基板７に形成するＶ溝の角度およ
び深さを設定することにより確実にカバー３，４および
平面基板７により光ファイバを実装、固定が可能とな
る。また、平面基板７に形成されたフィルタ挿入溝１は
光ファイバからなる光通路５に対し所定の角度Θをもっ
て形成されている。これは多層膜フィルタ２へ光通路５
から入射する光の反射を防止する必要がある場合に形成
するものであり、例えば多層膜フィルタ２がバンドパス
フィルタや、光アンプに用いられるゲイン平坦化フィル
タなどの場合に形成する。このとき、導波させる光の波
長に依存するがシングルモードファイバ（ＳＭＦ）で波
長１．４８μｍの光を導波させる場合、傾斜角Θは５〜
１０度程度が望ましい。
【００２３】また、光ファイバの光を閉じ込め導波させ
るコア部を一部拡大させたコア径拡大ファイバを用いる
ことにより、光ファイバと多層膜フィルタ２との結合損
失をさらに低減することも可能である。本発明での光フ
ィルタモジュールは光通路５に交叉するようにフィルタ
挿入溝１を形成し、多層膜フィルタ２を挿入する構造と
なる。そのため光ファイバの経路がフィルタ挿入溝１で
分断されることになり、多層膜フィルタ２を介して光フ
ァイバの端面間にフィルタ挿入溝１の幅のギャップＧが
存在することになる。光ファイバの端面での光のスポッ
トサイズｗが同一の場合、ギャップ長Ｇを介した光ファ
イバ端面間の光電場の電力透過係数Ｔｇは、多層膜フィ
ルタ２の屈折率をｎとすると、 Ｔｇ＝｛１＋（λ×Ｇ／（２×π×ｎ×ｗ2））2｝-1 で表される。λは波長を示している。
【００２４】この式より、透過損失は波長あるいはギャ
ップ長Ｇの増加に比例して増加すること、またスポット
サイズの２乗の逆数に比例して透過損失は急激に減少す
ることがわかる。このことからフィルタ挿入溝１の壁面
に露出している光ファイバ端面のスポットサイズは大き
いほど透過損失の低減には有利となる。コア径拡大ファ
イバとしては各種の方式が提案されているが、その代表
的なものにＴＥＣ（Ｔｈｅｒｍａｌｌｙ Ｅｘｐａｎｄ
ｅｄ Ｃｏｒｅ）ファイバがある。このファイバはクラ
ッド部分の一部を加熱することによりコア部の屈折率を
制御するＧｅＯ 2などのドープ元素をクラッドの一部ま
で拡散させることにより実質的にコア径を拡大させた特
殊なファイバである。このファイバを用いることにより
ファイバ端面からの光のスポットサイズを大きくするこ
とが可能である。このコア径拡大ファイバを本発明の光
フィルタモジュールに用いる場合、光通路５においてコ
ア径拡大部分の最大部分を交叉するようにフィルタ挿入
溝１を加工、形成すべきである。
【００２５】フィルタ挿入溝１の形状は図２（ｂ），
（ｃ），（ｄ）に示すいろいろな形状が考えられる。い
ずれの場合もフィルタ挿入溝１の底部において一方の溝
壁側が浅く、他方の溝壁側が深くなる形状としている。
図２（ｂ）はフィルタ挿入溝１の一方の角度Θ１をもっ
て傾斜した溝壁側に対して底部から他方の溝壁側が下部
平面基板の主面まで一定の角度Θ２をもっている場合で
あり、図２（ｃ）はフィルタ挿入溝１の底部に一部平坦
部を形成したものである。また、図２（ｄ）はフィルタ
挿入溝１の底部の一部に平坦部を形成し、かつ一方の溝
壁側の一部が浅い角度Θ４をもつように形成したもので
ある。
【００２６】これらのフィルタ挿入溝１は、例えば予め
溝形状にその先端を成形したダイヤモンド砥石を用いて
形成する。すなわちダイヤモンド砥石の先端形状を溝形
状に転写することにより形成するため、加工後の溝形状
はダイヤモンド砥石の成形精度に大きく依存することに
なる。砥石幅が０．１ｍｍ以下となる場合、使用できる
ダイヤモンド粒子径の制約上加工が難しくなるが、砥石
幅が０．１ｍｍを超える場合は比較的形状加工が容易で
ある。
【００２７】フィルタ挿入溝１を図２に示すように一方
の壁側面に対し他方の壁側面の傾斜を浅く異形に加工す
る理由は、多層膜フィルタ２を挿入したのち多層膜フィ
ルタ２の傾斜を防止するためであり、また以下に説明す
る製造方法において先に実装したカバー３の端面を基準
面としてフィルタ挿入溝１を形成する場合、加工用のダ
イヤモンド砥石を基準面である平面基板７側に加工途中
で押し付ける方向に力が働くため、ダイヤモンド砥石の
蛇行によるフィルタ挿入溝１の加工精度劣化を防止する
ためである。以上は光ファイバが２心の場合の一例であ
るが、これがさらに複数の多心アレイになっても同様で
ある。
【００２８】以上は、光通路５が光ファイバの場合を例
にしたが、各種光導波路などの他の光通路においても同
様である。
【００２９】また、本発明では主にバンドパスフィルタ
や光アンプのゲイン平坦化フィルタを例に出したが、波
長合分波器などの他のモジュールとしても適用可能であ
る。
【００３０】さらに、多層膜フィルタ２は、ガラスやポ
リイミドなどの樹脂基板上にＳｉＯ 2やＴａ2Ｏ5などの
誘電体薄膜を多数積層したものを例にしたが、それぞれ
の材料はこれに限定されるものではない。
【００３１】（実施の形態２）次に図３および図４を用
いて本発明による光フィルタモジュールの製造方法の実
施の形態２を説明する。
【００３２】図３において、１はフィルタ挿入溝、２は
多層膜フィルタ、３は平面基板に結合させたカバー、４
は多層膜フィルタ２を押さえつけるためのカバー、５は
光通路としての光ファイバ、６は光学接着剤、７は平面
基板、１０は平面基板７の主面に形成した精密Ｖ溝、１
１は紫外線などの光源あるいは熱源を示している。
【００３３】本発明の光フィルタモジュールの製造方法
は、第一の工程として図３（ａ）に示すようにその主面
に精密なＶ溝１０を形成した平面基板７を用意する。
【００３４】次に第２の工程として図３（ｂ）に示すよ
うに平面基板７に光ファイバ５を実装、固定する。光フ
ァイバ５の実装部分は実装精度を考慮して被覆を除去し
たクラッド部にすることがより望ましい。また、実装固
定した光ファイバ５が平面基板７の主面より突出するよ
うにＶ溝１０の角度や深さを設定する。こうすることに
より、突出した光ファイバ５をガイドレールとしてカバ
ー３の位置決めが容易となる。また、光ファイバ５をコ
ア径拡大ファイバを使用することにより、光ファイバ５
の端面のスポットサイズを拡大し、光ファイバ５間の透
過損失や結合損失を低減することができる。
【００３５】次に第３の工程として図３（ｃ）に示すよ
うに、光ファイバ５が実装固定された平面基板７の主面
に光ファイバ５を交叉するようにフィルタ挿入溝１を形
成する。なお、光ファイバ５にコア径拡大ファイバを用
いる場合、フィルム挿入溝１はコア径拡大部の最大部を
交叉するように形成すべきである。フィルタ挿入溝１は
例えば溝形状に成形したｃＢＮやダイヤモンドを砥粒と
した砥石を用いて研削加工により形成したり、あるいは
ブラストなどの粉体加工を用いたり、平面基板の材料が
シリコンを用いた場合、ウエットエッチングやドライエ
ッチングを用いるものも有効である。実施の形態１で説
明したように、フィルタ挿入溝１の断面形状を異形に加
工する場合、砥石を成形するほうが形状の自由度が高く
有利である。さらに、フィルタ挿入溝１の形成と光ファ
イバ５の分割を同時に行うため、切断、分割された光フ
ァイバ５の端面の表面粗さを向上するため、機械加工で
形成する場合、使用砥粒は可能な限り小さいものが望ま
しい。本発明ではダイヤモンド砥石を使用し、フィルタ
挿入溝１を形成したが、ダイヤモンド砥粒の番手を＃３
０００以上を選択することによりほぼ鏡面に近い光ファ
イバ５の端面を得た。
【００３６】上記の工程は、平面基板７に光ファイバ５
を実装、固定した後、光ファイバ５の切断と同時にフィ
ルム挿入溝１を形成するため、入射光用の光ファイバと
出射光用の光ファイバとの光軸調整が廃止され、さらに
フィルタ挿入溝１の形成と光ファイバ５の切断を同時に
行うため製造時間が短縮できる。
【００３７】また、例えば多層膜フィルタ２がバンドパ
スフィルタや、光アンプに用いるゲイン平坦化フィルタ
などのように多層膜フィルタ２の表面での光の反射を防
止する必要がある場合は、光ファイバ５とフィルタ挿入
溝１とは一定の角度を持って交叉するように形成する。
使用する光の波長に依存するが、この交叉角度は５〜１
０度の範囲が一般的である。
【００３８】次に第４の工程として図３（ｄ）に示すよ
うに、平面基板７の主面に光学接着剤６を一面に塗布
し、さらにカバー３をフィルタ挿入溝１の端面にあわせ
て取付ける。このとき、前工程で形成したフィルタ挿入
溝１の内部にも光学接着剤６が充填されるようにする。
光学接着剤６は、使用する光ファイバ５のコア材料の屈
折率と同等のものを用いることによりファイバ間の結合
損失を低減可能である。
【００３９】次に第５の工程として図３（ｅ）に示すよ
うに、光学接着剤６が充填されたフィルタ挿入溝１に多
層膜フィルタ２を挿入する。このとき、一方のカバー３
の側面をフィルタ挿入溝１の側面に沿って実装すること
により、挿入する多層膜フィルタ２をフィルタ挿入溝１
の一方の側面に沿わせて実装固定することが可能であ
る。また、必ず挿入した多層膜フィルタ２の上部が平面
基板７の主面より突出するように多層膜フィルタ２の大
きさを設定する。多層膜フィルタ２の突出量は少なくと
もカバー３の厚みの１／２以上が望ましい。
【００４０】次に第６の工程として図３（ｆ）に示すよ
うに、フィルタ挿入溝１から突出した多層膜フィルタ２
の片側からカバー４を移動させ、フィルタ挿入溝１に挿
入された多層膜フィルタ２を挟持し固定する。多層膜フ
ィルタ２の片面が、カバー３およびフィルタ挿入溝１の
側面に沿っていれば、もう一方のカバー４で挟持して固
定する場合の多層膜フィルタ２の割れ防止に有利であ
る。挟持する部分は多層膜フィルタ２の突出部分となる
が、多層膜フィルタ２に反りが生じている場合、突出量
を長くし、カバー３，４で挟持する面積を広くすること
により反りの矯正も可能となる。また、多層膜フィルタ
２の形成基板にガラス等を用いれば弾性係数が大きいた
め応力による割れなどの防止に効果的である。なお、カ
バー３，４の主面にＶ溝が形成されていてもよい。これ
らのＶ溝の角度および深さは、多層膜フィルタ２の突出
量により適宜設定する。カバー３，４の主面にＶ溝を形
成した場合、光ファイバ５をガイドレールとしてカバー
３，４を取付けるのが容易となる効果がある。
【００４１】最後に第７の工程として図３（ｇ）に示す
ように、カバー３，４および平面基板７の片側あるいは
両側より紫外線などの光１１を照射、あるいは熱１１を
加え、光学接着剤６を硬化させて完成する。このとき、
製造時間の短縮化には光を用いる方法が有利であり、目
的に応じた光学接着剤を用いる。
【００４２】カバー３，４および平面基板７の材料とし
ては後の工程で実装、固定する光ファイバ５と同等の線
膨張係数を有する材料が望ましく、さらにカバー３，４
および平面基板７の固着に光硬化性接着剤を用いること
を考慮して光透過性を有することが望ましい。
【００４３】以上は、光通過５が光ファイバの場合を例
にしたが、各種光導波路などの他の光通路においても同
様であり、光通路５が光導波路の場合の製造方法を図４
に示している。
【００４４】図４（ａ）〜（ｆ）の工程は、図３に示す
工程において光ファイバを光導波路に置き換えたものと
同じであるためここでは具体的な説明を省略する。光導
波路１２の切断と同時にフィルタ挿入溝１を形成するた
め、入射光用の光導波路と出射光用の光導波路との光軸
調整が廃止され、さらにフィルタ挿入溝１の形成と光導
波路１２の切断を同時に行うため製造時間が短縮でき
る。
【００４５】なお、図３または図４において多層膜フィ
ルタ２としてはバンドパスフィルタや光アンプのゲイン
平坦化フィルタがあるが、各種の光学フィルタが適用可
能である。
【００４６】さらに、多層膜フィルタ２は、例えばガラ
スやポリイミドなどの樹脂基板上にＳｉＯ2やＴａ2Ｏ5
などの誘電体薄膜を多数積層したものがあるが、それぞ
れの材料はこれに限定されるものではない。
【００４７】（実施の形態３）次に図５〜図８を用いて
本発明による光フィルタモジュールの製造方法の実施の
形態３を説明する。
【００４８】図５（ａ）〜（ｇ）において、１はフィル
タ挿入溝、２は多層膜フィルタ、３は平面基板に結合さ
せたカバー、４は多層膜フィルタ２を押さえつけるため
のカバー、５は光通路としての光ファイバ、６は光学接
着剤、７は平面基板、１０は平面基板７の主面に形成し
た精密なＶ溝、１１は紫外線などの光源あるいは熱源を
示している。
【００４９】本発明による光フィルタモジュールの製造
方法は、第１の工程として図５（ａ）に示すように、そ
の主面に精密なＶ溝１０を形成した平面基板７を準備す
る。このとき、平面基板７の材料としては後の工程で実
装、固定する光ファイバ５と同等の線膨張係数を有する
材料が望ましい。
【００５０】次に第２の工程として図５（ｂ）に示すよ
うに、フィルタ挿入溝１を設け、平面基板７の主面に形
成した精密なＶ溝１０に光ファイバ５を実装、固定す
る。このとき、光ファイバ５を先に実装し、その後フィ
ルタ挿入溝１を形成してもよい。また、フィルタ挿入溝
１を形成しながら光ファイバ５を切断してもよい。ま
た、光ファイバ５の切断面は鏡面処理を行うことにより
光ファイバ５間の結合損失の低減に有効である。切断面
はそのままで使用する場合、その切断条件には留意が必
要である。ダイアモンド砥石などを用いて切断する場
合、切断後の光ファイバ５の端面を可能な限り鏡面に近
づけるため、使用する砥粒径は小さいものを選択するべ
きである。本発明ではダイヤモンド砥石を使用し、フィ
ルタ挿入溝１を形成したが、ダイヤモンド砥粒の番手を
＃３０００以上を選択することによりほぼ鏡面に近い光
ファイバ５の端面を得た。なお、実装固定する光ファイ
バ５はその実装精度を考慮して樹脂などの被覆を除去し
た後のクラッド部であることが望ましい。
【００５１】また、光ファイバ５をコア径拡大ファイバ
を使用することにより、光ファイバ５の端面のスポット
サイズを拡大し、光ファイバ５間の透過損失や結合損失
を低減することができる。また、フィルタ挿入溝１は例
えば溝形状に成形したｃＢＮやダイヤモンドを砥粒とし
た砥石を用いて研削加工により形成したり、あるいはブ
ラストなどの粉体加工を用いたり、平面基板７の材料が
シリコンを用いた場合、ウエットエッチングやドライエ
ッチングを用いるものも有効である。実施の形態１で説
明したフィルタ挿入溝１の断面形状を異形に加工する場
合、砥石を成形するほうが形状の自由度が高く有利であ
る。
【００５２】次に第３の工程として図５（ｃ）に示すよ
うに、平面基板７の主面に光学接着剤６を一面に塗布
し、さらにカバー３をフィルタ挿入溝１の端面にあわせ
て取付ける。このとき、前工程で形成したフィルタ挿入
溝１の内部にも光学接着剤６が充填されるようにする。
光学接着剤６は、使用する光ファイバ５のコア材料の屈
折率と同等のものを用いることによりファイバ間の結合
損失が低減可能である。なお、カバー３にはＶ溝が形成
してあってもよい。また、実装固定した光ファイバ５が
平面基板７の主面より突出するようにＶ溝１０の角度や
深さを設定する。こうすることにより、突出した光ファ
イバ５をガイドレールとしてカバー３の位置決めが容易
となる。また、カバー３の側面をフィルタ挿入溝１の側
面に沿って形成することにより、次工程で挿入する多層
膜フィルタ２をフィルタ挿入溝１の一方の側面に沿わせ
て実装固定することが可能であり、もう一方のカバー４
で固定する場合の多層膜フィルタ２の割れ防止に有利で
ある。
【００５３】次に第４の工程として図５（ｄ）に示すよ
うに、光学接着剤６が充填されたフィルタ挿入溝１に多
層膜フィルタ２を挿入する。このとき、必ず挿入した多
層膜フィルタ２の上部が平面基板７の主面より突出する
ように多層膜フィルタ２の大きさを設定する。多層膜フ
ィルタ２の突出量は少なくともカバー３の厚みの１／２
以上が望ましい。
【００５４】次に第５の工程として図５（ｅ）に示すよ
うに、平面基板７の主面に形成した精密なＶ溝１０をガ
イドレールとして沿わせるようにして光ファイバ５を設
ける。このとき、挿入した多層膜フィルタ２の主面に光
ファイバ５の端面を当接することが可能であるため光フ
ァイバ５間の透過損失や結合損失をさらに低減すること
ができる。
【００５５】次に第６の工程として図５（ｆ）に示すよ
うに、カバー３の向かい側からカバー４を移動させ、フ
ィルタ挿入溝１に挿入された多層膜フィルタ２を押し付
けて固定する。なお、押し付けて固定する部分は多層膜
フィルタ２の突出部分となるが、多層膜フィルタ２に反
りが生じている場合、突出量を長くし、カバー３，４で
挟持する面積を広くすることにより反りの矯正も可能と
なる。また、多層膜フィルタ２の形成基板にガラス等を
用いれば弾性係数が大きいため応力による割れなどの防
止に効果的である。また、カバー３，４の主面にＶ溝を
形成してもよい。その場合の角度および深さは、光ファ
イバ５の突出量により適宜設定する。
【００５６】最後に第７の工程として図５（ｇ）に示す
ように、カバー３，４および平面基板７の片側あるいは
両側より紫外線などの光を照射、あるいは熱を加え硬化
させて完成する。平面基板７およびカバー３，４は、固
着に光硬化性接着剤を用いることを考慮して光透過性を
有することが望ましい。
【００５７】上記のように本発明の製造方法では、あら
かじめ光ファイバ５を実装したカバー３を準備しておく
ことにより、光学接着剤６を塗布、多層膜フィルタ２の
挿入、カバー３による多層膜フィルタ２の固定の工程を
分離することなく進めることができ、製造管理が容易で
ある。
【００５８】また、図６に示す製造方法は、第１の工程
として図６（ａ）に示すように、その主面に精密なＶ溝
１０を形成した平面基板７を準備する。このとき、平面
基板７の材料としては後の工程で実装、固定する光ファ
イバ５と同等の線膨張係数を有する材料が望ましい。
【００５９】次に第２の工程として図６（ｂ）に示すよ
うに平面基板７に光ファイバ５を実装、固定し、カバー
３を取付ける。光ファイバ５の実装部分は実装精度を考
慮して被覆を除去したクラッド部にすることがより望ま
しい。また、実装固定した光ファイバ５が平面基板７の
主面より突出するようにＶ溝１０の角度や深さを設定す
る。こうすることにより、突出した光ファイバ５をガイ
ドレールとしてカバー３の位置決めが容易となる。ま
た、光ファイバ５をコア形拡大ファイバを使用すること
により、光ファイバ５の端面のスポットサイズを拡大
し、光ファイバ５間の透過損失や結合損失を低減するこ
とができる。なお、光学接着剤を利用することにより、
カバー３および平面基板７の片側あるいは両側より紫外
線などの光を照射、あるいは熱を加え硬化させてカバー
３を固定してもよい。平面基板７およびカバー３は、固
着に光硬化性接着剤を用いることを考慮して光透過性を
有することが望ましい。
【００６０】次に第３の工程として図６（ｃ）に示すよ
うに、光ファイバ５が実装固定された平面基板７の主面
に光ファイバ５を交叉するようにフィルタ挿入溝１を形
成する。なお、光ファイバ５にコア径拡大ファイバを用
いる場合、フィルタ挿入溝１はコア径拡大部の最大部を
交叉するように形成すべきである。フィルタ挿入溝１は
例えば溝形状に成形したｃＢＮやダイヤモンドを砥粒と
した砥石を用いて研削加工により形成したり、あるいは
ブラストなどの粉体加工を用いたり、平面基板の材料が
シリコンを用いた場合、ウエットエッチングやドライエ
ッチングを用いるのも有効である。
【００６１】実施の形態１で説明したように、フィルタ
挿入溝１の断面形状を異形に加工する場合、砥石を成形
するほうが形状の自由度が高く有利である。さらに、フ
ィルタ挿入溝１の形成と光ファイバ５の分割を同時に行
うため、切断、分割された光ファイバ５の端面の表面粗
さを向上するため、機械加工で形成する場合、使用砥粒
は可能な限り小さいものが望ましい。本発明ではダイヤ
モンド砥石を使用し、フィルタ挿入溝１を形成したが、
ダイヤモンド砥粒の番手を＃３０００以上を選択するこ
とによりほぼ鏡面に近い光ファイバ５の端面を得た。な
お、フィルタ挿入溝１はカバー３の端面にあわせて形成
してもよいが、フィルタ挿入溝１を形成しながらカバー
３の一部を切断してもよい。
【００６２】上記の工程は、平面基板７に光ファイバ５
を実装、固定した後、光ファイバ５の切断と同時にフィ
ルタ挿入溝１を形成するため、入射光用の光ファイバと
出射光用の光ファイバとの光軸調整が廃止され、さらに
フィルタ挿入溝１の形成と光ファイバ５の切断を同時に
行うため製造時間が短縮できる。さらにカバー３を同時
に切断する場合は、カバー３とフィルタ挿入溝１の端面
との位置合わせも廃止され、大幅に時間短縮が可能にな
る。
【００６３】次に第４の工程として図６（ｄ）に示すよ
うに、平面基板７の主面に光学接着剤６を一面に塗布す
る。このとき、前工程で形成したフィルタ挿入溝１の内
部にも光学接着剤６が充填されるようにする。光学接着
剤６は、使用する光ファイバ５のコア材料の屈折率と同
等のものを用いることにより光ファイバ間の結合損失が
低減可能である。以降の図６（ｅ），（ｆ）に示す工程
は図３に示す製造方法と同一であるためここでは説明を
省略する。
【００６４】以上は、光通路５が光ファイバの場合を例
にしたが、各種光導波路などの他の光通路においても同
様であり、光通路５が光導波路の場合の製造方法を図７
（ａ）〜（ｆ）に示している。図７（ａ）〜（ｆ）の工
程は、図６に示す工程において光ファイバ５を光導波路
１２に置き換えたものと同じであるためここでは説明を
省略する。
【００６５】また、図８（ａ）〜（ｇ）に示す製造方法
は、第１の工程として図８（ａ）に示すように、その主
面に精密なＶ溝１０を形成した平面基板７を準備する。
このとき、平面基板７の材料としては後の工程で実装、
固定する光ファイバ５と同等の線膨張係数を有する材料
が望ましい。
【００６６】次に第２の工程として図８（ｂ）に示すよ
うに平面基板７に光ファイバ５を実装、固定し、カバー
３を取付ける。光ファイバ５の実装部分は実装精度を考
慮して被覆を除去したクラッド部にすることがより望ま
しい。また、実装固定した光ファイバ５が平面基板７の
主面より突出するようにＶ溝１０の角度や深さを設定す
る。こうすることにより、突出した光ファイバ５をガイ
ドレールとしてカバー３の位置決めが容易となる。ま
た、光ファイバ５をコア径拡大ファイバを使用すること
により、光ファイバ５の端面のスポットサイズを拡大
し、光ファイバ５間の透過損失や結合損失を低減するこ
とができる。なお、光学接着剤を利用することにより、
カバー３および平面基板７の片側あるいは両側より紫外
線などの光を照射、あるいは熱を加え硬化させてカバー
３を固定してもよい。平面基板７およびカバー３は、固
着に光硬化性接着剤を用いることを考慮して光透過性を
有することが望ましい。
【００６７】次に第３の工程として図８（ｃ）に示すよ
うに、光ファイバ５が実装固定された平面基板７の主面
に光ファイバ５を交叉するようにフィルタ挿入溝１を形
成する。なお、光ファイバ５にコア径拡大ファイバを用
いる場合、フィルタ挿入溝１はコア径拡大部の最大部を
交叉するように形成すべきである。フィルタ挿入溝１は
例えば溝形状に成形したｃＢＮやダイヤモンドを砥粒と
した砥石を用いて研削加工により形成したり、あるいは
ブラストなどの粉体加工を用いたり、平面基板７の材料
がシリコンを用いた場合、ウエットエッチングやドライ
エッチングを用いるのも有効である。
【００６８】実施の形態１で説明したように、フィルタ
挿入溝１の断面形状を異形に加工する場合、砥石を成形
するほうが形状の自由度が高く有利である。なお、フィ
ルタ挿入溝１の形成と同時に光ファイバ５を切断しても
よい。光ファイバ５を同時に切断する場合は、光ファイ
バ５の端面とフィルタ挿入溝１との位置合わせが廃止さ
れ、製造時間の短縮が可能となる。切断された光ファイ
バ５の端面の表面粗さを向上するため、フィルタ挿入溝
１を機械加工で形成する場合、使用砥粒は可能な限り小
さいものが望ましい。本発明ではダイヤモンド砥石を使
用し、フィルタ挿入溝１を形成したが、ダイヤモンド砥
粒の番手を＃３０００以上を選択することによりほぼ鏡
面に近い光ファイバ５の端面を得た。なお、フィルタ挿
入溝１はカバー３の端面にあわせて形成してもよいが、
フィルタ挿入溝１を形成しながらカバー３の一部を切断
してもよい。カバー３を同時に切断する場合は、カバー
３とフィルタ挿入溝１の端面との位置合わせが廃止さ
れ、製造時間の短縮が可能になる。
【００６９】次に第４の工程として図８（ｄ）に示すよ
うに、平面基板７の主面に光学接着剤６を一面に塗布
し、多層膜フィルタ２を挿入する。このとき、前工程で
形成したフィルタ挿入溝１の内部にも光学接着剤６が充
填されるようにする。光学接着剤６は、使用する光ファ
イバ５のコア材料の屈折率と同等のものを用いることに
より光ファイバ間の結合損失を低減可能である。
【００７０】以降の図８（ｅ）〜（ｇ）の工程は図５に
示す製造方法と同一であるためここでは説明を省略す
る。
【００７１】
【発明の効果】以上のように本発明は、光通路とフィル
タ挿入溝とカバーを有する平面基板に多層膜フィルタを
挿入し、他方のカバーで多層膜フィルタを固定するよう
にしたものであるため、従来の光軸調整が廃止でき、そ
の結果として、作業性の高いものとなる作用を有すると
同時に、多層膜フィルタの反りに依存せずに多層膜フィ
ルタを確実に固着、実装できる光フィルタモジュールの
構造及び接着造方法を提供する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１による光フィルタ
モジュールの構造の一例を示す上面図 （ｂ）同側面図 （ｃ）同断面図
【図２】（ａ）〜（ｄ）本発明の実施の形態１による光
フィルタモジュールの構造におけるフィルタ挿入溝形状
の一例を示す説明図
【図３】（ａ）〜（ｇ）本発明の実施の形態２による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図４】（ａ）〜（ｆ）本発明の実施の形態２による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図５】（ａ）〜（ｇ）本発明の実施の形態３による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図６】（ａ）〜（ｆ）本発明の実施の形態３による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図７】（ａ）〜（ｆ）本発明の実施の形態３による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図８】（ａ）〜（ｇ）本発明の実施の形態３による光
フィルタモジュール製造方法の説明図
【図９】従来の光フィルタモジュール構造の一例を示す
断面図
【符号の説明】
１ フィルタ挿入溝 ２ 多層膜フィルタ ３ カバー ４ カバー ５ 光通路、光ファイバ ６ 光学接着剤 ７ 平面基板 １０ 精密なＶ溝 １１ 紫外線などの光源あるいは熱源 １２ 光導波路 ２０ 光ファイバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島村 徹郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 藤原 和男 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H038 AA21 BA23 BA24

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光通路を有する平面板と、この平面基板
    に形成した上記光通路と交叉するフィルタ挿入溝と、こ
    のフィルタ挿入溝の一方の壁面に端面を一致させて平面
    基板に結合された一方のカバーと、上記フィルタ挿入溝
    に挿入された多層膜フィルタと、上記平面基板上を移動
    してフィルタ挿入溝から突出する多層膜フィルタの上部
    を上記一方のカバーの端面に押し付けて多層膜フィルタ
    を固定して平面基板に固着される他方のカバーとからな
    る光フィルタモジュール。
  2. 【請求項２】 光通路が光ファイバで構成した請求項１
    に記載の光フィルタモジュール。
  3. 【請求項３】 光ファイバがコア径拡大ファイバである
    請求項２に記載の光フィルタモジュール。
  4. 【請求項４】 フィルタ挿入溝の平面に面した光ファイ
    バの端面がコア径拡大部である請求項３に記載の光フィ
    ルタモジュール。
  5. 【請求項５】 フィルタ挿入溝の底面としてあらかじめ
    平面基板に結合される一方のカバー側が深く、他方のカ
    バー側が浅いテーパ面をもった構成とした請求項１に記
    載の光フィルタモジュール。
  6. 【請求項６】 平面基板に形成された光通路と交差する
    ようにフィルタ挿入溝を形成し、このフィルタ挿入溝の
    一方の壁面に端面が一致するように一方のカバーを平面
    基板に固着した後このフィルタ挿入溝に多層膜フィルタ
    を挿入し、上記平面基板上に配置した他方のカバーを移
    動させてフィルタ挿入溝から突出する多層膜フィルタの
    上部を上記一方のカバーの端面に押し付けた後この他方
    のカバーを平面基板に固着する光フィルタモジュールの
    製造方法。
  7. 【請求項７】 平面基板の上面にＶ溝を形成し、このＶ
    溝に光ファイバを配置した後一方のカバーを平面基板に
    固着し、この一方のカバーの端面に沿って平面基板にフ
    ィルタ挿入溝を形成し、このフィルタ挿入溝に多層膜フ
    ィルタを挿入した後上記平面基板上に配置した他方のカ
    バーを移動させてフィルタ挿入溝より突出する多層膜フ
    ィルタの上部を一方のカバーの端面に押し付け、この状
    態で他方のカバーを平面基板に固着する光フィルタモジ
    ュールの製造方法。
  8. 【請求項８】 光ファイバがコア径拡大ファイバである
    請求項６または７に記載の光フィルタモジュールの製造
    方法。
  9. 【請求項９】 フィルタ挿入溝として一方のカバー側が
    深く他方のカバー側が浅くなるように形成する請求項６
    または７に記載の光フィルタモジュールの製造方法。
  10. 【請求項１０】 平面基板に対して両カバーを光硬化性
    接着剤または熱硬化性接着剤を用いて固着する請求項６
    または７に記載の光フィルタモジュールの製造方法。
  11. 【請求項１１】 フィルタ挿入溝を形成するとき光ファ
    イバも同時に切断する請求項６に記載の光フィルタモジ
    ュールの製造方法。
  12. 【請求項１２】 光ファイバの切断位置がコア径拡大部
    である請求項８に記載の光フィルタモジュールの製造方
    法。
JP2001308311A 2001-10-04 2001-10-04 光フィルタモジュールおよびその製造方法 Pending JP2003114336A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001308311A JP2003114336A (ja) 2001-10-04 2001-10-04 光フィルタモジュールおよびその製造方法
EP02800732A EP1435531A4 (en) 2001-10-04 2002-10-02 OPTICAL FILTER MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
TW091122721A TWI255927B (en) 2001-10-04 2002-10-02 Optical filter module and manufacturing method of the same
CNB028031024A CN1206547C (zh) 2001-10-04 2002-10-02 光滤波器模块及其制造方法
PCT/JP2002/010263 WO2003032031A1 (fr) 2001-10-04 2002-10-02 Module de filtre optique et son procede de fabrication
US10/471,419 US7039279B2 (en) 2001-10-04 2002-10-02 Optical filter module and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001308311A JP2003114336A (ja) 2001-10-04 2001-10-04 光フィルタモジュールおよびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003114336A true JP2003114336A (ja) 2003-04-18

Family

ID=19127644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001308311A Pending JP2003114336A (ja) 2001-10-04 2001-10-04 光フィルタモジュールおよびその製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7039279B2 (ja)
EP (1) EP1435531A4 (ja)
JP (1) JP2003114336A (ja)
CN (1) CN1206547C (ja)
TW (1) TWI255927B (ja)
WO (1) WO2003032031A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4682111B2 (ja) * 2006-09-14 2011-05-11 富士通株式会社 導波路型光デバイス及びその製造方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6434604A (en) 1987-07-24 1989-02-06 Kobe Steel Ltd Tool exchanger for shearing machine
JPS6434604U (ja) * 1987-08-25 1989-03-02
JP2730901B2 (ja) * 1988-02-20 1998-03-25 富士通株式会社 光機能デバイス
JPH0284601A (ja) * 1988-06-29 1990-03-26 Furukawa Electric Co Ltd:The 光部品とその製造方法
JPH02284103A (ja) * 1989-04-26 1990-11-21 Furukawa Electric Co Ltd:The 光部品及びその製造方法
JPH0611622A (ja) * 1992-06-24 1994-01-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ型分波合波器
JPH0634837A (ja) * 1992-07-15 1994-02-10 Sumitomo Electric Ind Ltd 光部品
JPH075346A (ja) * 1993-06-18 1995-01-10 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 光素子用光ファイバ固定具および光素子に光ファイバを接続固定する方法
CA2120792C (en) * 1993-07-16 2006-05-09 Eisuke Sasaoka Optical waveguide device
JPH07281049A (ja) * 1994-04-11 1995-10-27 Fuji Elelctrochem Co Ltd ファイバ集積型光部品の製造方法
JPH08184712A (ja) * 1995-01-06 1996-07-16 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ型光フィルタ
JPH08211228A (ja) * 1995-02-06 1996-08-20 Furukawa Electric Co Ltd:The フィルタ入り光ファイバ
JP3500765B2 (ja) * 1995-04-25 2004-02-23 住友電気工業株式会社 光フィルタの製造方法
JP3175814B2 (ja) 1995-10-09 2001-06-11 日本電信電話株式会社 導波形光素子及びその製造方法
JPH1048439A (ja) 1996-08-02 1998-02-20 Japan Aviation Electron Ind Ltd 光学フィルタ
JPH10133041A (ja) * 1996-10-29 1998-05-22 Hitachi Cable Ltd フィルタ付導波路
JPH10307221A (ja) 1997-05-09 1998-11-17 Hitachi Ltd 半導体光結合装置及びその組立方法
JP3708306B2 (ja) 1997-10-06 2005-10-19 富士通株式会社 波長分割多重光デバイス及びその製造方法
US6314228B1 (en) * 1998-02-02 2001-11-06 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical waveguide component and a method of producing the same
JP3792040B2 (ja) * 1998-03-06 2006-06-28 松下電器産業株式会社 双方向光半導体装置
JP3749652B2 (ja) * 2000-06-19 2006-03-01 株式会社日立製作所 光合分波器、光導波路モジュールおよび光通信装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1435531A4 (en) 2006-04-19
CN1476540A (zh) 2004-02-18
US7039279B2 (en) 2006-05-02
TWI255927B (en) 2006-06-01
CN1206547C (zh) 2005-06-15
WO2003032031A1 (fr) 2003-04-17
US20040120650A1 (en) 2004-06-24
EP1435531A1 (en) 2004-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6892009B2 (en) Apparatus and method for transmitting and detecting light
KR100478800B1 (ko) 광실장 기판, 및 이 광실장 기판을 이용하는 광디바이스와 광모듈
US5020879A (en) Flexible replica grating
JPH1172649A (ja) 光繊維手動整列装置及び方法
US7394955B2 (en) Optical component and method of manufacturing the same
WO2003032030A1 (fr) Module de filtre optique et son procede de fabrication
JP2003114336A (ja) 光フィルタモジュールおよびその製造方法
US7044649B2 (en) Optical filter module, and manufacturing method thereof
KR100493440B1 (ko) 고밀도 광섬유 어레이 블록 및 제작방법
US7634166B2 (en) Marker groove forming device
JPH0651155A (ja) 光ファイバと光導波路の接続方法
JPH0720358A (ja) 光ファイバ付平面導光路部品およびその製造方法
JP4161723B2 (ja) 光デバイス及びその製造方法
JP3329951B2 (ja) 光学素子と接続用光部品の接続構造
JP3430501B2 (ja) 光導波路デバイスおよびその製造方法
JP4140094B2 (ja) 光導波路素子及びその製造方法
JPH06208039A (ja) 光導波路の接続方法および接続治具
JP2000180657A (ja) 光導波路用ｖ溝付基板及びその製造方法
JP2000199826A (ja) 光導波路素子
JP2004144930A (ja) 光モジュールおよび製造方法
JP2003167174A (ja) 光実装基板、光デバイス、光モジュール及び光実装基板の成形方法
JPH10133053A (ja) 光導波路モジュール
JPH08297223A (ja) 光学素子の補強構造