WO2025258670A1

WO2025258670A1 - 粉体供給装置及び粉体供給方法

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Publication number: WO2025258670A1
Application number: PCT/JP2025/021360
Authority: WO
Inventors: 貴行栗田; 諭上野; 奈那子櫻井; 傳奇馬
Original assignee: Resonac Corp
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 2024-06-14
Filing date: 2025-06-12
Publication date: 2025-12-18
Anticipated expiration: 2026-12-14

Abstract

粉体供給装置は、粉体を供給する粉体供給装置であって、線状部材と、線状部材が挿通された挿通穴を有する擦り落とし部材と、備える。粉体供給方法は、上記の粉体供給装置を用いて粉体を供給する粉体供給方法であって、線状部材の先端部に粉体を付着させ、先端部を供給先の上方に配置させ、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす。

Description

粉体供給装置及び粉体供給方法

　本開示は、粉体供給装置及び粉体供給方法に関する。

　特許文献１には、所定量の粉体を正確に付与する粉体用ピペットが記載されている。この粉体用ピペットは、フィルタを内部に有し、フィルタと先端との間に所定量の容積を有するチップと、チップを着脱自在に保持するノズルと、ノズルに振動を付与する振動器と、ノズルに負圧又は正圧を付与する吸引排出機構と、を備えている。この粉体用ピペットでは、吸引排出機構によりノズルに負圧を付与することで、チップのフィルタとチップとの間に粉体を吸入し、振動器がノズルに振動を付与することで、チップのフィルタとチップとの間に吸入された粉体の嵩密度を一定にする。これにより、所定量の粉体を正確に分与するものとしている。

特開２０１８－１５８２９３号公報

　近年、μｇオーダーの粉体を秤量することが求められている。μｇオーダーの粉体を秤量するためには、秤量するためのカップに、微小量の粉体を数回に分けて供給することが考えられる。微小量とは、例えば、５～５００μｇ程度をいう。しかしながら、特許文献１に記載された粉体用ピペットは、チップの先端とフィルタとの間の全領域に粉体が充填されるように粉体を吸引するものであるため、微小量の粉体の吸着に適したものではない。また、特許文献１に記載された粉体用ピペットは、チップの先端からフィルタまでの距離が長いため、粉体をフィルタに吸着させるためには、ノズルに強い負圧を付与する必要がある。しかも、粉体を吸着するフィルタの吸着面の周囲がチップで覆われているため、ノズルに強い負圧を付与してフィルタに粉体を吸着させようとすると、大量の粉体がフィルタの吸着面に吸着される。このため、微小量の粉体を吸着して供給することが難しい。また、粉体は、静電気力等によりチップの内周面に付着するため、ノズルに正圧を付与しても粉体が落下せずにノズルに残留してしまい、粉体の供給量のばらつきが大きくなる。特に微小量の粉体を供給する場合、粉体の供給量のばらつきが顕著となる。

　そこで、本開示は、微小量の粉体を供給することができる粉体供給装置及び粉体供給方法を提供することを目的とする。

［１］　本開示に係る粉体供給装置は、粉体を供給する粉体供給装置であって、線状部材と、線状部材が挿通された挿通穴を有する擦り落とし部材と、備える。

　この粉体供給装置では、擦り落とし部材の挿通穴に線状部材が挿通されているため、先端部に粉体を付着させ、擦り落とし部材に対して、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させると、先端部が擦り落とし部材に擦れて（扱かれて）、先端部から粉体が擦り落とされる。ここで、先端部への粉体の付着は、先端部の静電気、先端部の表面構造、先端部の表面の水分等により行われるが、このような先端部への粉体の付着は多くない。このため、先端部を引抜方向に移動させて擦り落とし部材により先端部から粉体を擦り落とすことで、微小量の粉体を供給することができる。なお、この粉体供給装置は、微小量の粉体の供給を可能とするものであるが、供給する粉体は必ずしも微小量である必要はない。

［２］　［１］に記載の粉体供給装置において、挿通穴は、水平方向に対して交差する方向に延びていてもよい。この粉体供給装置では、挿通穴が水平方向に対して交差する方向に延びているため、線状部材の先端部から擦り落とされた粉体が下方に落下しやすくなる。

［３］　［１］又は［２］に記載の粉体供給装置において、擦り落とし部材は、挿通穴の開口に向かって膨出して挿通穴とのなす角が鋭角となる凸部を有してもよい。この粉体供給装置では、擦り落とし部材が、挿通穴の開口に向かって膨出して挿通穴とのなす角が鋭角となる凸部を有するため、線状部材を引抜方向に移動させた際に、線状部材の先端部から粉体が擦り落とされやすくなる。

［４］　［１］～［３］の何れかに記載の粉体供給装置において、線状部材は、粉体を付着させる先端部を有しており、先端部の線径は、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下であってもよい。この粉体供給装置では、先端部の線径が、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下であるため、先端部の製造容易性が低下するのを抑制しつつ、粉体が付着する面積を低減させて微小量の粉体を先端部に付着させることができる。

［５］　［１］～［４］の何れかに記載の粉体供給装置において、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間の隙間は、０ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であってもよい。この粉体供給装置では、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間の隙間が、０ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であるため、先端部に残留する粉体を低減して粉体の供給量のばらつきを抑制することができる。なお、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間の隙間が０ｍｍとは、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間に隙間がないことをいう。

［６］　［１］～［４］の何れかに記載の粉体供給装置において、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間の隙間は、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であってもよい。この粉体供給装置では、挿通穴における線状部材と擦り落とし部材との間の隙間が、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であるため、線状部材又は擦り落とし部材が削られることによるコンタミネーションを抑制し、かつ、挿通穴に粉体が入り込むのを抑制することができる。

［７］　［１］～［６］の何れかに記載の粉体供給装置において、線状部材は、挿通穴に挿通されて線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、第一線状部は、金属棒であってもよい。この粉体供給装置では、第一線状部が金属棒であるため、挿通穴に対する線状部材の挿抜方向に線状部材を容易に移動させることができる。

［８］　［１］～［６］の何れかに記載の粉体供給装置において、線状部材は、挿通穴に挿通されて線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、第一線状部は、樹脂棒であってもよい。この粉体供給装置では、第一線状部が樹脂棒であるため、挿通穴に対する線状部材の挿抜方向に線状部材を容易に移動させることができる。

［９］　［１］～［６］の何れかに記載の粉体供給装置において、線状部材は、挿通穴に挿通されて線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、第一線状部は、糸であってもよい。この粉体供給装置では、第一線状部が糸であるため、線状部材の配置自由度が向上する。

［１０］　［１］～［９］の何れかに記載の粉体供給装置において、先端部を帯電させる帯電装置を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、先端部を帯電させる帯電装置を備えるため、静電気力により先端部に粉体を付着させることができる。

［１１］　［１０］に記載の粉体供給装置において、帯電装置は、線状部材の先端部を帯電させ、挿通穴は、樹脂により形成されていてもよい。この粉体供給装置では、挿通穴が樹脂により形成されているため、帯電装置が先端部を帯電した際に、電荷が擦り落とし部材をこえて先端部とは反対側に移動し難くなるため、先端部に電荷を集めやすくなる。

［１２］　［１０］に記載の粉体供給装置において、線状部材は、挿通穴に挿通されて先端部を有する第一線状部を有し、帯電装置は、第一線状部の全体を帯電させ、挿通穴は、金属により形成されていてもよい。この粉体供給装置では、挿通穴が金属により形成されているため、帯電装置が第一線状部の全体を帯電させた際に、擦り落とし部材をこえて電荷が先端部に移動しやすくなるため、先端部に電荷を集めやすくなる。

［１３］　［１０］～［１２］の何れかに記載の粉体供給装置において、先端部を除電する除電装置を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、先端部を除電する除電装置を備えるため、静電気力により粉体が先端部に付着していても、除電装置により先端部を除電することで、先端部から粉体を容易に擦り落とすことができる。

［１４］　［１］～［１３］の何れかに記載の粉体供給装置において、少なくとも粉体の供給元、線状部材の先端部、及び粉体の供給先を除電する除電装置を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、除電装置が少なくとも粉体の供給元、線状部材の先端部、及び粉体の供給先を除電するため、不要な静電気力で線状部材の先端部に粉体が付着したり線状部材の先端部から粉体が擦り落とされずに残留したりすることを抑制することができる。これにより、粉体の供給量のばらつきを更に低減することができる。

［１５］　［１］～［１４］の何れかに記載の粉体供給装置において、挿通穴に対する線状部材の挿抜方向に線状部材を移動させる挿抜移動機構を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、挿通穴に対する線状部材の挿抜方向に線状部材を移動させる挿抜移動機構を備えるため、挿通穴に線状部材を押し込む押込方向に線状部材を移動させて、線状部材の先端部に粉体を付着させることができるとともに、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させて、線状部材の先端部から粉体を擦り落とすことができる。なお、押込方向は、挿抜方向における一方の方向であり、引抜方向は、挿抜方向における他方の方向である。

［１６］　［１５］に記載の粉体供給装置において、線状部材及び擦り落とし部材を水平方向に移動させる水平移動機構を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、線状部材及び擦り落とし部材を水平方向に移動させる水平移動機構を備えるため、線状部材の先端部に粉体を付着させた後、この粉体を供給先に供給することができる。

［１７］　［１５］に記載の粉体供給装置において、粉体の供給元及び粉体の供給先を水平方向に移動させる水平移動機構を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、粉体の供給元及び粉体の供給先を水平方向に移動させる水平移動機構を備えるため、線状部材を水平方向に移動させることなく、供給元の粉体を先端部に付着させることができるとともに、先端部に付着させた粉体を供給先に供給することができる。これにより、線状部材に生じる振動を抑制することができるため、擦り落とし部材により先端部から粉体を擦り落とす前に、線状部材の振動により先端部から粉体が落下するのを抑制することができる。これにより、粉体の供給量のばらつきを更に低減することができる。

［１８］　［１］～［１７］の何れかに記載の粉体供給装置において、擦り落とし部材は、挿通穴の開口に向かって線状部材に沿って筒状に延びるノズル部を有してもよい。この粉体供給装置では、擦り落とし部材が、線状部材に沿って筒状に延びるノズル部を有する。このため、例えば、供給先である容器に粉体を供給する場合に、ノズル部の少なくとも一部を容器に挿入することで、ノズル部を、容器の蓋として機能させることができる。このため、線状部材に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす際に、粉体が容器の外に飛散するのを抑制することができる。

［１９］　［１］～［１８］に記載の粉体供給装置において、擦り落とし部材を上下方向に移動させる擦り落とし部材昇降機構を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、擦り落とし部材を上下方向に移動させる擦り落とし部材昇降機構を備えるため、供給先を上下方向に移動させなくても、擦り落とし部材と供給先との距離を短くすることができる。これにより、擦り落とし部材により線状部材から擦り落とされた粉体が飛散するのを抑制することができる。例えば、擦り落とし部材が挿通穴の開口に向かって線状部材に沿って筒状に延びるノズル部を有し、供給先が容器である場合は、擦り落とし部材昇降機構により擦り落とし部材を上下方向に移動させることで、容器を上下方向に移動させなくても、ノズル部の少なくとも一部を容器に対して挿入及び抜去することができる。

［２０］　［１］～［１９］の何れかに記載の粉体供給装置において、線状部材に振動を付与する線状部材振動付与装置を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、線状部材に振動を付与する線状部材振動付与装置を備えるため、線状部材に振動を付与して線状部材から粉体を振り落とすことができる。このため、例えば、擦り落とし部材により線状部材から粉体を擦り落とす際に、線状部材に振動を付与して線状部材から粉体を振り落とすことで、線状部材に粉体が残留するのを抑制することができる。

［２１］　［２０］に記載の粉体供給装置において、線状部材振動付与装置は、線状部材に取り付けられた振動子を有してもよい。この粉体供給装置では、線状部材振動付与装置の振動子が線状部材に取り付けられているため、直接的に線状部材に振動を付与することができる。これにより、より確実に線状部材から粉体を振り落とすことができる。

［２２］　［２０］に記載の粉体供給装置において、線状部材振動付与装置は、擦り落とし部材に取り付けられた振動子を有してもよい。この粉体供給装置では、線状部材振動付与装置の振動子が擦り落とし部材に取り付けられているため、擦り落とし部材を介して、間接的に線状部材に振動を付与することができる。このため、例えば、線状部材に振動子を取り付けることができない場合にも、線状部材に振動を付与することができる。

［２３］　［１］～［２２］の何れかに記載の粉体供給装置において、粉体の供給元に振動を付与する供給元振動付与装置を更に備えてもよい。この粉体供給装置では、粉体の供給元に振動を付与する供給元振動付与装置を備えるため、供給元における粉体の表面に窪みが生じていても、供給元に振動を付与して供給元における粉体の表面を均すことができる。このため、例えば、複数回にわたって供給元にある粉体を線状部材に付着させる際にも、線状部材に適量の粉体を付着させることができる。

［２４］　［２３］に記載の粉体供給装置において、供給元を載置するステージを更に備え、供給元振動付与装置は、ステージに取り付けられた振動子を有してもよい。この粉体供給装置では、供給元振動付与装置の振動子が供給元を載置するステージに取り付けられているため、ステージを介して、間接的に供給元に振動を付与することができる。このため、例えば、供給元に振動子を取り付けられない場合にも、供給元に振動を付与することができる。

［２５］　［１］～［２４］の何れかに記載の粉体供給装置において、粉体の供給元を上下方向に移動させる供給元ステージを更に備えてもよい。この粉体供給装置では、供給元ステージにより粉体の供給元を上下方向に移動させることができるため、線状部材を挿抜方向に移動させなくても、線状部材に粉体を付着させることができる。これにより、線状部材に生じる振動を抑制することができるため、擦り落とし部材により線状部材から粉体を擦り落とす前に、線状部材の振動により線状部材から粉体が落下するのを抑制することができる。これにより、粉体の供給量のばらつきを更に低減することができる。

［２６］　［１］～［２５］の何れかに記載の粉体供給装置において、粉体の供給先を上下方向に移動させる供給先ステージを更に備えてもよい。この粉体供給装置では、供給先ステージにより供給先を上下方向に移動させることができるため、線状部材を必要以上に挿抜方向に移動させなくても、線状部材の先端部を供給先に近づけることができる。これにより、線状部材に生じる振動を抑制することができるとともに、供給先の近傍において線状部材から粉体を擦り落とすことができるため、粉体が供給先の外に飛散するのを抑制することができる。

［２７］　本開示に係る粉体供給方法は、［１］～［２６］の何れかに記載の粉体供給装置を用いて粉体を供給する粉体供給方法であって、線状部材の先端部に粉体を付着させ、先端部を供給先の上方に配置させ、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす。

　この粉体供給方法では、上述した粉体供給装置を用い、線状部材の先端部に粉体を付着させ、先端部を供給先の上方に配置させ、引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とすため、微小量の粉体を供給することができる。

［２８］　［２７］に記載の粉体供給方法において、先端部に粉体を付着させる前に先端部を帯電させ、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす際に先端部を除電してもよい。この粉体供給方法では、先端部に粉体を付着させる前に先端部を帯電させ、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす際に先端部を除電するため、先端部に粉体を付着させやすくすることができるとともに、挿通穴から引き抜く方向に線状部材を移動させることで、先端部に付着している粉体を容易に擦り落とすことができる。

［２９］　［２７］又は［２８］に記載の粉体供給方法において、供給先は容器であり、先端部を容器の上方に配置させた後、先端部及び擦り落とし部材の一部を容器に挿入してから、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落としてもよい。この粉体供給方法では、線状部材の先端部及び擦り落とし部材の一部を容器に挿入するため、擦り落とし部材を、容器の蓋として機能させることができる。このため、挿通穴から引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落とす際に、粉体が容器の外に飛散するのを抑制することができる。

［３０］　本開示に係る粉体供給方法は、［１］～［２６］の何れかに記載の粉体供給装置を用いて所定量の粉体を供給先に供給する粉体供給方法であって、線状部材の先端部に所定量よりも少ない量の粉体を付着させ、先端部を供給先の上方に配置させ、挿通穴から線状部材を引き抜く引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落として供給先に供給する粉体供給サイクルを、複数回繰り返す。

　この粉体供給方法では、上述した粉体供給装置を用い、線状部材の先端部に所定量よりも少ない量の粉体を付着させ、先端部を供給先の上方に配置させ、引抜方向に線状部材を移動させて、先端部に付着している粉体を擦り落とし部材で擦り落として供給先に供給する粉体供給サイクルを複数回繰り返すため、１回で所定量の粉体を供給する場合に比べて、供給する粉体を所定量に近づけやすくなる。

　本開示によれば、微小量の粉体を供給することができる。

図１は、第一実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図２は、図１に示す粉体供給装置を上方から見た模式図である。図３は、擦り落とし部材の模式的な断面図である。図４は、第一実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図５は、第一実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図６は、第一実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図７は、第一実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図８は、第一実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図９は、第二実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図１０は、第二実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１１は、第二実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１２は、第二実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１３は、第二実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１４は、第二実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１５は、第三実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図１６は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１７は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１８は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図１９は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図２０は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図２１は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。図２２は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２３は、図２２に示す粉体供給装置における擦り落とし部材の模式的な断面図である。図２４は、線状部材の先端部に付着している粉体を擦り落とし部材により擦り落とすときの状態を示す模式的な断面図である。図２５は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２６は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２７は、変形例の粉体供給装置を上方から見た模式図である。図２８は、変形例の粉体供給装置を上方から見た模式図である。図２９は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図３０は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。

　以下、図面を参照しながら、本開示に係る粉体供給装置及び粉体供給方法の実施形態について詳細に説明する。なお、図面中、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

（第一実施形態）
　図１は、第一実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図２は、図１に示す粉体供給装置を上方から見た模式図である。図１及び図２に示すように、本実施形態に係る粉体供給装置１は、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給（搬送）するための装置である。粉体保持部材Ａは、粉体Ｂの供給元であり、粉体Ｂを保持している。粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａとしては、例えば、粉体Ｂが収容されている容器、粉体Ｂが載せられているろ紙を用いることができる。容器Ｃは、粉体の供給先である。粉体の供給先である容器Ｃとしては、例えば、秤量を行うためのサンプルカップを用いることができる。なお、容器Ｃは、電子天秤等に載置されたものであってもよい。容器Ｃのサイズ、形状等は、特に限定されるものではなく、例えば、内径（直径）が４ｍｍ、高さが８ｍｍのカップ形の容器とすることができる。粉体供給装置１は、線状部材２と、擦り落とし部材３と、架台５と、制御装置６と、を備える。

　線状部材２は、微小量の粉体を付着させるために線状に形成された部材である。線状部材２は、線状に形成されていれば、材料、形状、構造、強度、柔軟性などは特に限定されるものではない。線状部材２は、粉体を付着させる先端部２１を含む第一線状部２２と、第一線状部２２に接続されて第一線状部２２から先端部２１とは反対側に延びる第二線状部２３と、第一線状部２２と第二線状部２３とを接続する継手２４と、有する。

　先端部２１の線径（直径）は、線状部材２の製造容易性が低下するのを抑制する観点から、例えば、０．０５ｍｍ以上とすることができる。また、先端部２１の線径は、粉体が付着する面積を低減させて微小量の粉体を先端部２１に付着させる観点から、例えば、２ｍｍ以下、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ以下とすることができる。また、先端部２１の線径は、これらの観点から、例えば、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下、好ましくは０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下、より好ましくは０．０５ｍｍ以上０．１ｍｍ以下とすることができる。５～５００μｇの粉体Ｂを供給する場合は、先端部２１の線径は、例えば、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下とすることができる。５～２００μｇの粉体Ｂを供給する場合は、先端部２１の線径は、例えば、０．０５ｍｍ以上１ｍｍ以下とすることができる。５～１０μｇの粉体Ｂを供給する場合は、先端部２１の線径は、例えば、０．０５ｍｍ以上０．１ｍｍ以下とすることができる。なお、第一線状部２２の先端部２１以外の部分の線径は、先端部２１と同じとすることができる。

　第一線状部２２としては、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミ合金、銅等の金属を材料とした金属棒、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）等の樹脂を材料とした樹脂棒、セラミックス棒、又は天然素材、合成素材等を材料とした糸とすることができる。本実施形態では、第一線状部２２は、直線状に延びるステンレス鋼製の金属棒であるものとして説明する。第二線状部２３としては、炭素鋼、ステンレス鋼、焼き入れ鋼等の金属を材料とした金属棒とすることができる。第一線状部２２は、弾性体であってもよく、非弾性体であってもよい。

　先端部２１への粉体Ｂの付着は、先端部２１の静電気、先端部２１の表面構造、先端部２１の表面の水分等により行われる。例えば、先端部２１が帯電されて静電気を帯びている場合、この静電気力により、先端部２１に粉体Ｂが付着される。また、先端部２１の表面に多数の繊維が延びている場合、この繊維の間に粉体Ｂが入り込むことで、先端部２１に粉体Ｂが付着される。また、先端部２１の表面に水蒸気等の水分が存在している場合、この水分の表面張力、粘着力等により、先端部２１に粉体Ｂが付着される。

　図３は、擦り落とし部材の模式的な断面図である。図１及び図３に示すように、擦り落とし部材３は、先端部２１に付着している粉体Ｂを線状部材２から擦り落とすための部材である。擦り落とし部材３は、線状部材２が挿通された挿通穴３１を有する。つまり、線状部材２は、擦り落とし部材３の挿通穴３１に挿通されている。本実施形態では、線状部材２の第一線状部２２が、擦り落とし部材３の挿通穴３１に挿通されて、挿通穴３１において摺動可能となっているものとして説明する。

　挿通穴３１は、水平方向に対して交差する方向に延びている。つまり、挿通穴３１は、上方から下方に向かうように、水平方向に対して傾いた方向に延びている。本実施形態では、挿通穴３１は、鉛直方向に延びており、線状部材２は、挿通穴３１に挿通されて鉛直方向に延びているものとして説明する。

　ここで、挿通穴３１に対して線状部材２を挿入及び抜去する方向を、挿通穴３１に対する線状部材２の挿抜方向Ｄという。挿抜方向Ｄは、挿通穴３１の延びる方向でもある。本実施形態では、挿通穴３１は、鉛直方向に延びているため、挿抜方向Ｄは鉛直方向となる。挿抜方向Ｄにおける一方の方向を、押込方向Ｄ１といい、挿抜方向Ｄにおける他方の方向を、引抜方向Ｄ２という。押込方向Ｄ１は、挿通穴３１に線状部材２を押し込む方向であり、挿通穴３１から線状部材２を先端部２１側に押し出す方向である。本実施形態では、押込方向Ｄ１は、鉛直方向における下方向である。引抜方向Ｄ２は、挿通穴３１から線状部材２を引き抜く方向であり、先端部２１を挿通穴３１に引き込む方向である。本実施形態では、引抜方向Ｄ２は、鉛直方向における上方向である。

　擦り落とし部材３は、挿通穴３１を有していれば、材料、形状、構造、強度、柔軟性などは特に限定されるものではない。

　擦り落とし部材３は、挿通穴３１の開口に向かって膨出して挿通穴３１とのなす角が鋭角となる凸部３２を有する。凸部３２は、例えば、挿通穴３１の開口を頂点とした円錐状に形成されている。凸部３２は、挿通穴３１の一対の開口のうち、粉体Ｂが擦り落とされる側（押込方向Ｄ１側）の開口に向かって膨出している。

　挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間には、隙間Ｇが形成されていなくてもよく、隙間Ｇが形成されていてもよい。

　先端部２１に残留する粉体Ｂを低減して粉体Ｂの供給量のばらつきを抑制する観点から、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇは、例えば、０ｍｍ以上０．２ｍｍ以下、好ましくは０ｍｍ以上０．１ｍｍ以下、より好ましくは０ｍｍ以上０．０１ｍｍ以下とすることができる。隙間Ｇが０ｍｍであるとは、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間に隙間Ｇが形成されていないことをいう。第一線状部２２及び後述する擦り落とし部材３の内筒３３の少なくとも一方が、粉体Ｂに影響しない弾性体である場合は、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇを０ｍｍにしやすくなり、隙間Ｇを０ｍｍにできなくても、隙間Ｇを０ｍｍに近づけやすくなる。また、第一線状部２２及び後述する擦り落とし部材３の内筒３３の少なくとも一方が、粉体Ｂに含まれておらず、秤量した粉体Ｂのガスクロマトグラフィー－質量分析（ＧＣ－ＭＳ）等の評価に影響を与えない材料であれば、コンタミネーションによる影響を抑制しつつ、隙間Ｇを０ｍｍにし、又は隙間Ｇを０ｍｍに近づけることができる。

　線状部材２又は擦り落とし部材３が削られることによるコンタミネーションを抑制する観点から、隙間Ｇは、例えば、０．２ｍｍ以上、好ましくは０．２５ｍｍ以上、より好ましくは０．３ｍｍ以上とすることができる。挿通穴３１に粉体Ｂが入り込むのを抑制する観点から、隙間Ｇは、０．５ｍｍ以下、好ましくは０．４５ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下とすることができる。線状部材２又は擦り落とし部材３が削られることによるコンタミネーションを抑制し、かつ、挿通穴３１に粉体Ｂが入り込むのを抑制する観点から、隙間Ｇは、例えば、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．４５ｍｍ以下、より好ましくは０．３ｍｍ以上０．４ｍｍ以下とすることができる。

　擦り落とし部材３は、例えば、内筒３３及び外筒３４の二重筒構造となっている。内筒３３は、挿通穴３１及び凸部３２が形成された部材である。外筒３４は、内筒３３の外周側に配置されて内筒３３を保持する部材である。内筒３３は、例えば、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ等の樹脂又はステンレス鋼等の金属により形成されている。内筒３３は、弾性体であってもよく、非弾性体であってもよい。外筒３４は、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。内筒３３と線状部材２との間の絶縁性及び摺動性を向上させる観点から、挿通穴３１を形成する内筒３３の内周面には、ＰＴＦＥ等のコート層が形成されていてもよい。

　図１及び図２に示すように、架台５は、固定架台５１と、水平移動機構５２と、挿抜移動機構５３と、を備える。

　固定架台５１は、線状部材２及び擦り落とし部材３を支持するための架台である。固定架台５１は、土台５１ａと、土台５１ａから垂直方向上方に延びる支柱５１ｂと、を有している。

　水平移動機構５２は、線状部材２及び擦り落とし部材３を水平方向に移動させるための移動機構である。本実施形態では、水平移動機構５２は、支柱５１ｂの周りに線状部材２及び擦り落とし部材３を回動させることで、線状部材２及び擦り落とし部材３を水平方向に移動させる。水平移動機構５２は、支柱５１ｂに、支柱５１ｂの周りに回動可能に取り付けられた回動部５２ａと、支柱５１ｂに対して回動部５２ａを回動させる第一駆動部５２ｂと、を有する。回動部５２ａには、回動部５２ａから水平方向に延びる上段アーム部５２ｃと、上段アーム部５２ｃの先端部に設けられて線状部材２の第二線状部２３を保持する上段保持部５２ｄと、上段アーム部５２ｃの下方において回動部５２ａから水平方向に延びる中段アーム部５２ｅと、中段アーム部５２ｅの先端部に設けられて線状部材２を摺動可能に支持する中段支持部５２ｆと、中段アーム部５２ｅの下方において回動部５２ａから水平方向に延びて擦り落とし部材３を保持する下段アーム部５２ｇと、が設けられている。

　下段アーム部５２ｇは、挿通穴３１が鉛直方向に延びるように擦り落とし部材３を保持している。上段アーム部５２ｃ、上段保持部５２ｄ、中段アーム部５２ｅ、及び中段支持部５２ｆは、挿通穴３１に挿通された線状部材２が鉛直方向（挿抜方向Ｄ）に延びるように線状部材２を保持している。第一駆動部５２ｂとしては、例えば、サーボモータを用いることができる。中段支持部５２ｆとしては、例えば、滑りブッシュを用いることができる。

　挿抜移動機構５３は、擦り落とし部材３に対して線状部材２を挿抜方向Ｄに移動させる移動機構である。本実施形態では、挿抜移動機構５３は、上段保持部５２ｄに対して線状部材２を挿抜方向Ｄに移動させることで、擦り落とし部材３に対して線状部材２を挿抜方向Ｄに移動させる。挿抜移動機構５３は、上段保持部５２ｄに挿抜方向Ｄに移動可能に取り付けられた移動部５３ａと、上段保持部５２ｄに対して移動部５３ａを挿抜方向Ｄに移動させる第二駆動部５３ｂと、を有する。移動部５３ａは、例えば、ボールねじにより上段保持部５２ｄに取り付けられていることで、上段保持部５２ｄに対して挿抜方向Ｄに移動可能となっている。第二駆動部５３ｂとしては、例えば、サーボモータを用いることができる。

　制御装置６は、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給するために、水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂ及び挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを駆動制御する。制御装置６は、例えば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）等を有する電子制御ユニットである。制御装置６では、例えば、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＣＰＵで実行することで、各種の制御を実行する。

　次に、図４～図８を参照して、本実施形態に係る粉体供給方法について説明する。図４～図７は、本実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。なお、図４～図８では、制御装置６の図示を省略している。本実施形態に係る粉体供給方法は、上述した粉体供給装置１を用いて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する方法である。

　まず、図４に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂ及び水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させるなどして、線状部材２の先端部２１を粉体保持部材Ａの上方に配置する。

　次に、図５に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を押込方向Ｄ１に移動させる。すると、挿通穴３１から線状部材２が先端部２１側に押し出されて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂのうちの一部の粉体Ｂが、先端部２１に付着する。このとき、例えば、微小量の粉体Ｂが先端部２１に付着するように、線状部材２を下降させる。なお、先端部２１に粉体Ｂを付着させることができれば、先端部２１が粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２を移動させてもよく、先端部２１が粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２を移動させなくてもよい。

　次に、図６に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１が挿通穴３１に入り込まないように、線状部材２を移動させる。これにより、先端部２１に付着した粉体Ｂが引抜方向Ｄ２に搬送される。

　次に、図７及び図２に示すように、水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させて、粉体Ｂが付着している先端部２１が容器Ｃの上方に配置されるまで線状部材２及び擦り落とし部材３を水平移動させる。これにより、先端部２１に付着した粉体Ｂが容器Ｃの上方まで搬送される。

　次に、図８に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１の少なくとも一部が挿通穴３１に入り込むまで線状部材２を移動させる。図８では、粉体Ｂが付着している先端部２１の全部が挿通穴３１に入り込むまで線状部材２を移動させた状態を示している。これにより、先端部２１に付着している粉体Ｂの少なくとも一部が、擦り落とし部材３により擦り落とされて、容器Ｃに供給される。

　これにより、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する一連の処理が終了する。このように粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する一連の処理を、粉体供給サイクルという。その後、容器Ｃに所定量の粉体Ｂが供給されるまで、上記の一連の処理（粉体供給サイクル）を繰り返す。

　つまり、粉体供給装置１を用いて所定量の粉体Ｂを供給元である粉体保持部材Ａから供給先である容器Ｃに供給する場合、線状部材２の先端部２１に所定量よりも少ない量の粉体Ｂを付着させ、先端部２１を容器Ｃの上方に配置させ、引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させて、先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３で擦り落として容器Ｃに供給する粉体供給サイクルを、複数回繰り返す。所定量としては、例えば、５０μｇ±２０μｇ、つまり、３０～７０μｇとすることができる。一回の粉体供給サイクルで供給する粉体の量としては、例えば、１～２０μｇとすることができる。

　なお、一回の一連の処理（粉体供給サイクル）で容器Ｃに所定量の粉体Ｂが供給される場合は、上記の一連の処理（粉体供給サイクル）を繰り返す必要はない。

　以上説明したように、本実施形態に係る粉体供給装置１では、擦り落とし部材３の挿通穴３１に線状部材２が挿通されているため、先端部２１に粉体Ｂを付着させ、擦り落とし部材３に対して、引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させると、先端部２１が擦り落とし部材３に擦れて（扱かれて）、先端部２１から粉体Ｂが擦り落とされる。ここで、先端部２１への粉体Ｂの付着は、先端部２１の静電気、先端部２１の表面構造、先端部２１の表面の水分等により行われるが、このような先端部２１への粉体Ｂの付着は多くない。このため、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させて擦り落とし部材３により先端部２１から粉体Ｂを擦り落とすことで、微小量の粉体Ｂを供給することができる。

　また、この粉体供給装置１では、挿通穴３１が水平方向に対して交差する方向に延びているため、先端部２１から擦り落とされた粉体Ｂが下方に落下しやすくなる。

　また、この粉体供給装置１では、擦り落とし部材３が、挿通穴３１の開口に向かって膨出して挿通穴３１とのなす角が鋭角となる凸部３２を有するため、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させた際に、先端部２１から粉体Ｂが擦り落とされやすくなる。

　また、この粉体供給装置１では、先端部２１の線径が、２ｍｍ以下、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ以下であることで、粉体Ｂが付着する面積を低減させて微小量の粉体Ｂを線状部材２に付着させることができる。一方、先端部２１の線径が、０．０５ｍｍ以上であることで、先端部２１の製造容易性が低下するのを抑制することができる。

　また、この粉体供給装置１では、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇが、０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下、好ましくは０ｍｍ以上０．２ｍｍ以下、より好ましくは０ｍｍ以上０．０１ｍｍ以下であることで、先端部２１に残留する粉体Ｂを低減して粉体Ｂの供給量のばらつきを抑制することができる。

　また、この粉体供給装置１では、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇが、０．２ｍｍ以上、好ましくは０．２５ｍｍ以上、より好ましくは０．３ｍｍ以上であることで、線状部材２又は擦り落とし部材３が削られることによるコンタミネーションを抑制することができる。一方、挿通穴３１における線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇが、０．５ｍｍ以下、好ましくは０．４５ｍｍ以下、より好ましくは０．４ｍｍ以下であることで、挿通穴３１に粉体Ｂが入り込むのを抑制することができる。

　また、この粉体供給装置１では、第一線状部２２が、金属棒又は樹脂棒であることで、挿通穴３１に対する線状部材２の挿抜方向Ｄに線状部材２を容易に移動させることができる。

　また、この粉体供給装置１では、第一線状部２２が糸であることで、線状部材２の配置自由度が向上する。

　また、この粉体供給装置１では、挿抜方向Ｄに線状部材２を移動させる挿抜移動機構５３を備えるため、押込方向Ｄ１に線状部材２を移動させて、先端部２１に粉体Ｂを付着させることができるとともに、引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させて、先端部２１から粉体Ｂを擦り落とすことができる。

　また、この粉体供給装置１では、線状部材２及び擦り落とし部材３を水平方向に移動させる水平移動機構５２を備えるため、先端部２１に粉体Ｂを付着させた後、この粉体Ｂを容器Ｃに供給することができる。

　本実施形態に係る粉体供給方法では、上述した粉体供給装置１を用い、線状部材２の先端部２１に粉体Ｂを付着させ、先端部２１を容器Ｃの上方に配置させ、引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させて、先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３で擦り落とすため、微小量の粉体Ｂを供給することができる。

　また、本実施形態に係る粉体供給方法では、上述した粉体供給装置１を用い、線状部材２の先端部２１に所定量よりも少ない量の粉体Ｂを付着させ、先端部２１を容器Ｃの上方に配置させ、引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させて、先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３で擦り落として容器Ｃに供給する粉体供給サイクルを複数回繰り返すため、１回で所定量の粉体Ｂを供給する場合に比べて、供給する粉体Ｂを所定量に近づけやすくなる。

（第二実施形態）
　次に、第二実施形態に係る粉体供給装置及び粉体供給方法について説明する。第二実施形態は、基本的に第一実施形態と同様であり、帯電／除電装置を更に備え、線状部材の先端部を帯電させて線状部材の先端部に粉体を付着させ、線状部材の先端部を除電して線状部材の先端部から粉体を擦り落とす点において、第一実施形態と相違する。このため、以下では、第一実施形態と相違する事項のみ説明し、第一実施形態と同様の事項の説明を省略する。

　図９は、第二実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図９に示すように、本実施形態に係る粉体供給装置１Ａは、第一実施形態の線状部材２に対応する線状部材２Ａと、擦り落とし部材３と、架台５と、制御装置６と、帯電／除電装置７Ａと、を備える。

　線状部材２Ａは、第一線状部２２Ａと、第二線状部２３Ａと、継手２４Ａと、を有する。第一線状部２２Ａは、擦り落とし部材３の挿通穴３１に挿通されて、帯電／除電装置７Ａにより帯電及び除電される部材である。粉体Ｂは、第一線状部２２Ａの先端部２１Ａに付着される。第二線状部２３Ａは、第一線状部２２Ａから先端部２１Ａとは反対側に延びている。第二線状部２３Ａは、架台５の上段保持部５２ｄに保持されて、挿抜移動機構５３により挿抜方向Ｄに移動させられる部材である。継手２４Ａは、第二線状部２３Ａと第一線状部２２Ａとを挿抜方向Ｄに連結する部材である。継手２４Ａは、例えば、中段支持部５２ｆと擦り落とし部材３との間に配置されている。

　第一線状部２２Ａは、例えば、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂、ステンレス鋼等の金属、又はセラミックスにより形成されている。第二線状部２３Ａは、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。継手２４Ａは、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂により形成されている。

　帯電／除電装置７Ａは、先端部２１Ａを帯電させる帯電装置としての機能と、先端部２１Ａを除電する除電装置としての機能と、を備えている。帯電／除電装置７Ａは、帯電装置として機能する場合、先端部２１Ａに負又は正の電荷を照射することで、先端部２１Ａを帯電させる。ここで、擦り落とし部材３の内筒３３が樹脂により形成されていると、先端部２１Ａに照射された電荷が内筒３３をこえて第二線状部２３Ａ側に移動し難くなるため、先端部２１Ａに電荷を集めやすくなる。一方、帯電／除電装置７Ａは、除電装置として機能する場合、先端部２１Ａに逆電荷を照射することで、帯電されている先端部２１Ａを除電する。なお、帯電／除電装置７Ａは、制御装置６により駆動制御される。

　後述するように、帯電／除電装置７Ａは、先端部２１Ａが粉体保持部材Ａの上方に配置されているときに、先端部２１Ａを帯電させ、先端部２１Ａが容器Ｃの上方に配置されているときに、先端部２１Ａを除電する。このため、帯電／除電装置７Ａは、これらの位置で先端部２１Ａを帯電又は除電することができる位置に配置されている。例えば、帯電／除電装置７Ａは、架台５の回動部５２ａにより保持されていてもよく、架台５とは別の部材により保持されていてもよい。

　次に、図１０～図１４を参照して、本実施形態に係る粉体供給方法について説明する。図１０～図１４は、本実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。なお、図１０～図１４では、制御装置６の図示を省略している。本実施形態に係る粉体供給方法は、上述した粉体供給装置１Ａを用いて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する方法である。

　まず、図１０に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂ及び水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させるなどして、先端部２１Ａを粉体保持部材Ａの上方に配置する。そして、帯電／除電装置７Ａから先端部２１Ａに負又は正の電荷を照射することで、先端部２１Ａを帯電させる。

　次に、図１１に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、第二線状部２３Ａを押込方向Ｄ１に移動させる。すると、挿通穴３１から第一線状部２２Ａが先端部２１Ａ側に押し出されて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂの一部が、第一線状部２２Ａの先端部２１Ａに付着する。このとき、先端部２１Ａは帯電された状態となっているため、静電気力により粉体Ｂが先端部２１Ａに付着する。なお、この静電気力により先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させることができれば、先端部２１Ａが粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２Ａを移動させてもよく、先端部２１Ａが粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２Ａを移動させなくてもよい。

　次に、図１２に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、第二線状部２３Ａを引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している第一線状部２２Ａの先端部２１Ａが挿通穴３１に入り込まないように、第二線状部２３Ａを移動させる。これにより、第一線状部２２Ａの先端部２１Ａに付着した粉体Ｂが引抜方向Ｄ２に搬送される。

　次に、図１３及び図２に示すように、水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させて、粉体Ｂが付着している先端部２１Ａが容器Ｃの上方に配置されるまで線状部材２Ａ及び擦り落とし部材３を水平移動させる。これにより、先端部２１Ａに付着した粉体Ｂが容器Ｃの上方まで搬送される。

　次に、図１３及び図１４に示すように、帯電／除電装置７Ａから先端部２１Ａに逆電荷を照射することで、先端部２１Ａを除電する。そして、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、第二線状部２３Ａを引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１Ａの少なくとも一部が挿通穴３１に入り込むまで第二線状部２３Ａを移動させる。図１４では、粉体Ｂが付着している先端部２１Ａの全部が挿通穴３１に入り込むまで第二線状部２３Ａを移動させた状態を示している。なお、先端部２１Ａの除電と、第二線状部２３Ａの引抜方向Ｄ２への移動とは、同時に行ってもよい。つまり、先端部２１Ａを除電しながら、第二線状部２３Ａを引抜方向Ｄ２に移動させてもよい。これにより、先端部２１Ａに付着している粉体Ｂの少なくとも一部が、擦り落とし部材３により擦り落とされて、容器Ｃに供給される。

　これにより、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する一連の処理（粉体供給サイクル）が終了する。その後、容器Ｃに所定量の粉体Ｂが供給されるまで、上記の一連の処理（粉体供給サイクル）を繰り返す。なお、一回の一連の処理（粉体供給サイクル）で容器Ｃに所定量の粉体Ｂが供給される場合は、上記の一連の処理（粉体供給サイクル）を繰り返す必要はない。

　以上説明したように、本実施形態に係る粉体供給装置１Ａでは、先端部２１Ａを帯電させる帯電／除電装置７Ａを備えるため、静電気力により先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させることができる。

　また、この粉体供給装置１Ａでは、先端部２１Ａを除電する帯電／除電装置７Ａを備えるため、静電気力により粉体Ｂが先端部２１Ａに付着していても、帯電／除電装置７Ａにより先端部２１Ａを除電することで、先端部２１Ａから粉体Ｂを容易に擦り落とすことができる。

　本実施形態に係る粉体供給方法では、上述した粉体供給装置１Ａを用い、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させる前に先端部２１Ａを帯電させ、先端部２１Ａに付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３で擦り落とす際に先端部２１Ａを除電するため、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させやすくすることができるとともに、引抜方向Ｄ２に第二線状部２３Ａを移動させることで、先端部２１Ａに付着している粉体Ｂを容易に擦り落とすことができる。

（第三実施形態）
　次に、第三実施形態に係る粉体供給装置及び粉体供給方法について説明する。第三実施形態は、基本的に第一実施形態と同様であり、線状部材に振動を付与する線状部材振動付与装置と、供給元に振動を付与する供給元振動付与装置と、を更に備え、線状部材に振動を付与することで線状部材から粉体を振り落とすとともに、供給元に振動を付与することで供給元における粉体の表面を均す点において、第一実施形態と相違する。このため、以下では、第一実施形態と相違する事項のみ説明し、第一実施形態と同様の事項の説明を省略する。

　図１５は、第三実施形態に係る粉体供給装置の模式図である。図１５に示すように、本実施形態に係る粉体供給装置１Ｂは、線状部材２と、擦り落とし部材３と、架台５と、制御装置６と、ステージ１１Ｂと、線状部材振動付与装置１２Ｂと、供給元振動付与装置１３Ｂと、を備える。

　ステージ１１Ｂは、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａを載置する台である。ステージ１１Ｂは、例えば、単に粉体保持部材Ａを載置するだけのものであってもよく、窪みに粉体保持部材Ａを嵌め込むことで粉体保持部材Ａを載置するものであってもよく、粉体保持部材Ａを挟み込むことで粉体保持部材Ａを載置するものであってもよい。

　線状部材振動付与装置１２Ｂは、線状部材２に振動を付与する装置である。線状部材振動付与装置１２Ｂは、振動源となる振動子１２１Ｂを有する。振動子１２１Ｂは、制御装置６等による駆動制御により振動する。振動子１２１Ｂは、例えば、モータの回転軸に偏心した重りを取り付けたバイブレータにより構成することができる。振動子１２１Ｂは、線状部材２に振動を付与することができる位置に取り付けられている。振動子１２１Ｂは、例えば、線状部材２、擦り落とし部材３、又は架台５に取り付けられる。本実施形態では、振動子１２１Ｂが線状部材２に取り付けられているものとして説明する。

　ここで、線状部材２の先端部２１に付着している粉体Ｂは、擦り落とし部材３により擦り落とされるが、線状部材２と擦り落とし部材３との間の隙間Ｇ（図３参照）が形成されている等すると、擦り落とし部材３により粉体Ｂを擦り落としても先端部２１に粉体Ｂが残留することがある。そこで、本実施形態では、線状部材振動付与装置１２Ｂにより線状部材２に振動を付与することで、擦り落とし部材３による擦り落としに加え、線状部材２の振動により粉体Ｂを振り落とすことを可能としている。

　供給元振動付与装置１３Ｂは、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａに振動を付与する装置である。供給元振動付与装置１３Ｂは、振動源となる振動子１３１Ｂを有する。振動子１３１Ｂは、例えば、モータの回転軸に偏心した重りを取り付けたバイブレータにより構成することができる。振動子１３１Ｂは、制御装置６等による駆動制御により振動する。振動子１３１Ｂは、粉体保持部材Ａに振動を付与することができる位置に取り付けられている。振動子１３１Ｂは、例えば、ステージ１１Ｂ又は粉体保持部材Ａに取り付けられている。本実施形態では、振動子１３１Ｂがステージ１１Ｂに取り付けられているものとして説明する。

　ここで、粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２の先端部２１に付着させると、粉体保持部材Ａから粉体Ｂの一部が取り除かれるため、粉体保持部材Ａにおける粉体Ｂの表面に窪みが生じる。そこで、本実施形態では、供給元振動付与装置１３Ｂの振動子１３１Ｂを振動させて、粉体保持部材Ａに振動を付与することで、粉体保持部材Ａにおける粉体Ｂの表面を均すことを可能としている。供給元振動付与装置１３Ｂの振動子１３１Ｂを振動させて、粉体保持部材Ａに振動を付与するタイミングは、粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２の先端部２１に付着させてから、次回の粉体供給サイクルにおいて粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２の先端部２１に付着させるまでの間の任意のタイミングとすることができる。例えば、供給元振動付与装置１３Ｂの振動子１３１Ｂを振動させて粉体保持部材Ａに振動を付与するタイミングは、粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２の先端部２１に付着させる直前、又は、粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２の先端部２１に付着させた直後とすることができる。

　次に、図１５～図２０を参照して、本実施形態に係る粉体供給方法について説明する。図１６～図２０は、第三実施形態に係る粉体供給方法を説明するための模式図である。なお、図１６～図２０では、制御装置６の図示を省略している。本実施形態に係る粉体供給方法は、上述した粉体供給装置１Ｂを用いて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する方法である。

　まず、図１５に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂ及び水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させるなどして、先端部２１を粉体保持部材Ａの上方に配置する。

　次に、図１６に示すように、供給元振動付与装置１３Ｂの振動子１３１Ｂを振動させて、粉体保持部材Ａに振動を付与する。これにより、粉体保持部材Ａにおける粉体Ｂの表面が均される。

　次に、図１７に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を押込方向Ｄ１に移動させる。すると、挿通穴３１から線状部材２が先端部２１側に押し出されて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂのうちの一部の粉体Ｂが、先端部２１に付着する。このとき、例えば、微小量の粉体Ｂが先端部２１に付着するように、線状部材２を下降させる。なお、先端部２１に粉体Ｂを付着させることができれば、先端部２１が粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２を移動させてもよく、先端部２１が粉体保持部材Ａにある粉体Ｂに当接する位置まで線状部材２を移動させなくてもよい。

　次に、図１８に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１が挿通穴３１に入り込まないように、線状部材２を移動させる。これにより、先端部２１に付着した粉体Ｂが引抜方向Ｄ２に搬送される。

　次に、図１９及び図２に示すように、水平移動機構５２の第一駆動部５２ｂを作動させて、粉体Ｂが付着している先端部２１が容器Ｃの上方に配置されるまで線状部材２及び擦り落とし部材３を水平移動させる。これにより、先端部２１に付着した粉体Ｂが容器Ｃの上方まで搬送される。

　次に、図２０に示すように、挿抜移動機構５３の第二駆動部５３ｂを作動させて、線状部材２を押込方向Ｄ１に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１が容器Ｃに入り込むまで線状部材２を移動させる。

　次に、図２１に示すように、線状部材振動付与装置１２Ｂの振動子１２１Ｂを振動させて、線状部材２に振動を付与しながら、線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させる。このとき、粉体Ｂが付着している先端部２１の少なくとも一部が挿通穴３１に入り込むまで線状部材２を移動させる。これにより、先端部２１に付着している粉体Ｂの少なくとも一部が、擦り落とし部材３により擦り落とされるとともに、線状部材２から振り落とされて、容器Ｃに供給される。

　以上説明したように、本実施形態に係る粉体供給装置１Ｂでは、線状部材２に振動を付与する線状部材振動付与装置１２Ｂを備えるため、線状部材２に振動を付与して線状部材２から粉体Ｂを振り落とすことができる。このため、例えば、擦り落とし部材３により線状部材２から粉体Ｂを擦り落とす際に、線状部材２に振動を付与して線状部材２から粉体を振り落とすことで、線状部材２に粉体Ｂが残留するのを抑制することができる。

　また、この粉体供給装置１Ｂでは、線状部材振動付与装置１２Ｂの振動子１２１Ｂが線状部材２に取り付けられていることで、直接的に線状部材２に振動を付与することができる。これにより、より確実に線状部材２から粉体Ｂを振り落とすことができる。

　また、この粉体供給装置１Ｂでは、線状部材振動付与装置１２Ｂの振動子１２１Ｂが擦り落とし部材３に取り付けられていることで、擦り落とし部材３を介して、間接的に線状部材２に振動を付与することができる。このため、例えば、線状部材２に振動子１２１Ｂを取り付けることができない場合にも、線状部材２に振動を付与することができる。

　また、この粉体供給装置１Ｂでは、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａに振動を付与する供給元振動付与装置１３Ｂを備えるため、粉体保持部材Ａにおける粉体Ｂの表面に窪みが生じていても、粉体保持部材Ａに振動を付与して粉体保持部材Ａにおける粉体Ｂの表面を均すことができる。このため、例えば、粉体供給サイクルを複数回行う場合のように、複数回にわたって粉体保持部材Ａに保持されている粉体Ｂを線状部材２に付着させる際にも、線状部材２に適量の粉体を付着させることができる。

　また、この粉体供給装置１Ｂでは、供給元振動付与装置１３Ｂの振動子１３１Ｂが粉体保持部材Ａを載置するステージ１１Ｂに取り付けられているため、ステージ１１Ｂを介して、間接的に粉体保持部材Ａに振動を付与することができる。このため、例えば、粉体保持部材Ａに振動子１３１Ｂを取り付けられない場合にも、粉体保持部材Ａに振動を付与することができる。

　本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない限り適宜変更が可能である。

　例えば、図２２に示す変形例の粉体供給装置１Ｃのように、擦り落とし部材は、挿通穴の開口に向かって線状部材に沿って筒状に延びるノズル部を有してもよい。また、図２２に示す変形例の粉体供給装置１Ｃのように、擦り落とし部材を上下方向に移動させる擦り落とし部材昇降機構を備えてもよい。

　図２２は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２２に示す変形例の粉体供給装置１Ｃは、基本的に上記実施形態の粉体供給装置１と同様であり、擦り落とし部材を上下方向に移動させる擦り落とし部材昇降機構を備えるとともに、擦り落とし部材の構造が異なる点で、上記実施形態の粉体供給装置１と相違する。図２２に示すように、変形例の粉体供給装置１Ｃは、擦り落とし部材昇降機構１６と、上記実施形態の擦り落とし部材３に対応する擦り落とし部材３Ｃと、を備える。

　擦り落とし部材昇降機構１６は、擦り落とし部材３Ｃを上下方向ＵＤに移動させるための機構である。擦り落とし部材昇降機構１６は、例えば、水平移動機構５２の回動部５２ａに取り付けられることで、擦り落とし部材３Ｃを水平方向に移動可能としつつ、上下方向ＵＤに移動可能としている。擦り落とし部材昇降機構１６は、例えば、水平移動機構５２の回動部５２ａに固定される固定部１６ａと、固定部１６ａに対して上下方向ＵＤにスライド可能に取り付けられた可動部１６ｂと、固定部１６ａに対して可動部１６ｂを上下方向ＵＤにスライドさせる駆動部１６ｃと、を備える。可動部１６ｂには、上段アーム部５２ｃ、中段アーム部５２ｅ、及び下段アーム部５２ｇが接続されている。つまり、上段アーム部５２ｃ、中段アーム部５２ｅ、及び下段アーム部５２ｇは、擦り落とし部材昇降機構１６の固定部１６ａ及び可動部１６ｂを介して、回動部５２ａに取り付けられている。このため、固定部１６ａに対して可動部１６ｂが上下方向ＵＤにスライドすることで、上段アーム部５２ｃ、中段アーム部５２ｅ、及び下段アーム部５２ｇに保持されている上段保持部５２ｄ、中段支持部５２ｆ、及び擦り落とし部材３を上下方向ＵＤにスライドさせることが可能となっている。固定部１６ａ及び可動部１６ｂとしては、例えば、リニアガイドを用いることができる。駆動部１６ｃとしては、例えば、サーボモータを用いることができる。

　図２３は、図２２に示す粉体供給装置における擦り落とし部材の模式的な断面図である。図２２及び図２３に示すように、擦り落とし部材３Ｃは、基本的に上記実施形態の擦り落とし部材３と同様であるが、凸部３２の代わりにノズル部３５Ｃが設けられている点で、上記実施形態の擦り落とし部材３と相違する。ノズル部３５Ｃは、挿通穴３１の開口に向かって線状部材２に沿って筒状に延びている。ノズル部３５Ｃは、挿通穴３１の一対の開口のうち、粉体Ｂが擦り落とされる側（押込方向Ｄ１側）の開口に向かって筒状に延びている。なお、第一実施形態の凸部３２がノズル部３５Ｃの先端に形成されていてもよい。

　図２４は、線状部材の先端部に付着している粉体を擦り落とし部材により擦り落とすときの状態を示す模式的な断面図である。図２４に示すように、線状部材２の先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３Ｃにより擦り落とす際は、例えば、ノズル部３５Ｃの少なくとも一部を容器Ｃに挿入する。そして、この状態で線状部材２を引抜方向Ｄ２に移動させることで、線状部材２の先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３Ｃにより擦り落とす。

　このように、粉体供給装置１Ｃでは、擦り落とし部材３Ｃが、線状部材２に沿って筒状に延びるノズル部３５Ｃを有するため、線状部材２に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３Ｃで擦り落として容器Ｃに供給する際に、ノズル部３５Ｃの少なくとも一部を容器Ｃに挿入することで、ノズル部３５Ｃを、容器Ｃの蓋として機能させることができる。このため、線状部材２に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３Ｃで擦り落とす際に、粉体Ｂが容器Ｃの外に飛散するのを抑制することができる。なお、第三実施形態のように、線状部材２に振動を付与して線状部材２から粉体Ｂを振り落とす場合は、粉体Ｂが飛散しやすくなる。しかしながら、ノズル部３５Ｃを容器Ｃの蓋として機能させることで、このような場合でも粉体Ｂが容器Ｃの外に飛散するのを抑制することができる。

　また、粉体供給装置１Ｃでは、擦り落とし部材３Ｃを上下方向ＵＤに移動させる擦り落とし部材昇降機構１６を備えるため、容器Ｃを上下方向ＵＤに移動させなくても、擦り落とし部材３Ｃと容器Ｃとの距離を短くすることができる。これにより、擦り落とし部材３Ｃにより線状部材２から擦り落とされた粉体Ｂが飛散するのを抑制することができる。しかも、擦り落とし部材昇降機構１６により擦り落とし部材３Ｃを上下方向ＵＤに移動させることで、容器Ｃを上下方向ＵＤに移動させなくても、ノズル部３５Ｃの少なくとも一部を容器Ｃに対して挿入及び抜去することができる。

　また、粉体供給装置１Ｃを用いた粉体供給方法では、線状部材２の先端部２１及びノズル部３５Ｃの一部を容器Ｃに挿入するため、ノズル部３５Ｃを、容器Ｃの蓋として機能させることができる。このため、挿通穴３１から引抜方向Ｄ２に線状部材２を移動させて、先端部２１に付着している粉体Ｂを擦り落とし部材３Ｃで擦り落とす際に、粉体Ｂが容器Ｃの外に飛散するのを抑制することができる。

　また、上記実施形態では、水平移動機構及び挿抜移動機構を備えるものとして説明したが、水平移動機構及び挿抜移動機構の少なくとも一方を備えないものであってもよい。水平移動機構及び挿抜移動機構を備えなくても、線状部材の先端部に粉体を付着させ、擦り落とし部材に対して引抜方向に線状部材を移動させることで、微小量の粉体を供給することができる。

　また、上記実施形態では、水平移動機構は、支柱の周りにノズルを回動させることで、ノズルを水平方向に移動させるものとして説明したが、水平移動機構は、ノズルを水平方向に移動させることができれば、如何なる軌道でノズルを水平方向に移動するものであってもよい。

　また、上記第二実施形態では、帯電／除電装置により帯電装置及び除電装置の機能を実現するものとして説明したが、帯電装置と除電装置とは別の装置であってもよい。

　また、上記第二実施形態では、帯電装置は、第一線状部の先端部を帯電させるものとして説明したが、図２５に示す粉体供給装置１Ｄのように、帯電装置は、第一線状部の全体を帯電させるものとしてもよい。

　図２５は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２５に示す粉体供給装置１Ｄは、基本的に第二実施形態に係る粉体供給装置１Ａと同様であり、帯電装置と除電装置とが分かれており、帯電装置が第一線状部の全体を帯電させる点において、第二実施形態に係る粉体供給装置１Ａと相違する。なお、図２５では、制御装置６の図示を省略している。図２５に示すように、粉体供給装置１Ｄは、第二実施形態の帯電／除電装置７Ａに対応する帯電装置７１Ｄ及び除電装置７２Ｄを備えている。帯電装置７１Ｄは、第一線状部２２Ａの全体に負又は正の電荷を照射することで、第一線状部２２Ａの全体を帯電させる。一方、除電装置７２Ｄは、第一線状部２２Ａの先端部２１Ａに逆電荷を照射することで、帯電されている第一線状部２２Ａの先端部２１Ａを除電する。帯電装置７１Ｄ及び除電装置７２Ｄは、制御装置６により駆動制御される。

　粉体供給装置１Ｄでは、擦り落とし部材３の内筒３３及び外筒３４は、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。また、第二線状部２３Ａは、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。第一線状部２２Ａは、例えば、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂又はステンレス鋼等の金属により形成されている。継手２４Ａは、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂により形成されている。ここで、擦り落とし部材３の内筒３３が金属により形成されていると、第二線状部２３Ａ側から内筒３３をこえて電荷が先端部２１Ａに移動しやすくなるため、先端部２１Ａに電荷を集めやすくなる。

　上述した粉体供給装置１Ｄを用いて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する場合は、第一線状部２２Ａの帯電及び除電の方法を除き、第二実施形態に係る粉体供給方法と同様に行うことができる。第一線状部２２Ａの帯電は、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させる前に、帯電装置７１Ｄから第一線状部２２Ａの全体に負又は正の電荷を照射することにより行う。これにより、第一線状部２２Ａの全体が帯電される。第一線状部２２Ａの除電は、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させて、先端部２１Ａを容器Ｃの上方に配置した後に、除電装置７２Ｄから線状部材２Ａの先端部２１Ａに逆電荷を照射することにより行う。そして、第二線状部２３Ａを引抜方向Ｄ２に移動することで、先端部２１Ａに付着している粉体Ｂの少なくとも一部を、擦り落とし部材３により擦り落として、容器Ｃに供給する。

　また、上記第二実施形態では、帯電装置は、電荷を照射することで第一線状部の先端部を帯電させるものとして説明したが、図２６に示す粉体供給装置１Ｅのように、第一線状部の先端部を摩擦により帯電させるものとしてもよい。

　図２６は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２６に示す粉体供給装置１Ｅは、基本的に第二実施形態に係る粉体供給装置１Ａと同様であり、帯電装置と除電装置とが分かれており、帯電装置が第一線状部の先端部を摩擦により帯電させる点において、第二実施形態に係る粉体供給装置１Ａと相違する。なお、図２６では、制御装置６の図示を省略している。図２６に示すように、粉体供給装置１Ｅは、第二実施形態の帯電／除電装置７Ａに対応する帯電装置７１Ｅ及び除電装置７２Ｅを備えている。帯電装置７１Ｅは、第一線状部２２Ａの先端部２１Ａを摩擦により帯電させる。帯電装置７１Ｅは、例えば、ポリエチレン、ＰＭＭＡ、ポリエステル、ナイロン等の樹脂製の回転板を先端部２１Ａに当接させながら回転させることで、先端部２１Ａとの間に摩擦を生じさせ、これにより先端部２１Ａを帯電させる。なお、回転板の樹脂材料は、帯電させたい極性により適宜選択することができる。また、回転板は、金属板に樹脂を被せた構造としてもよい。一方、除電装置７２Ｅは、先端部２１Ａに逆電荷を照射することで、帯電されている先端部２１Ａを除電する。帯電装置７１Ｅ及び除電装置７２Ｅは、制御装置６により駆動制御される。

　粉体供給装置１Ｅでは、擦り落とし部材３の内筒３３は、例えば、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂又はステンレス鋼等の金属により形成されている。擦り落とし部材３の外筒３４は、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。また、第二線状部２３Ａは、例えば、ステンレス鋼等の金属により形成されている。第一線状部２２Ａは、例えば、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂又はステンレス鋼等の金属により形成されている。継手２４Ａは、アクリル、ポリアセタール樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、ポリプロピレン、ナイロン、ＰＴＦＥ、ＰＥＥＫ、ＰＭＭＡ等の樹脂により形成されている。ここで、擦り落とし部材３の内筒３３が樹脂により形成されていると、先端部２１Ａに照射された電荷が内筒３３をこえて第二線状部２３Ａ側に移動し難くなるため、先端部２１Ａに電荷を集めやすくなる。

　上述した粉体供給装置１Ｅを用いて、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂを容器Ｃに供給する場合は、先端部２１Ａの帯電及び除電の方法を除き、第二実施形態に係る粉体供給方法と同様に行うことができる。先端部２１Ａの帯電は、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させる前に、帯電装置７１Ｅにより先端部２１Ａを摩擦により帯電させることにより行う。これにより、先端部２１Ａが帯電される。先端部２１Ａの除電は、先端部２１Ａに粉体Ｂを付着させて、先端部２１Ａを容器Ｃの上方に配置した後に、除電装置７２Ｅから先端部２１Ａに逆電荷を照射することで、先端部２１Ａを除電する。そして、第二線状部２３Ａを引抜方向Ｄ２に移動することで、先端部２１Ａに付着している粉体Ｂの少なくとも一部を、擦り落とし部材３により擦り落として、容器Ｃに供給する。

　また、上記実施形態では、線状部材が、第一線状部と第二線状部とが継手により接続された構成であるものとして説明したが、線状部材は、１本の棒又はひも等の部材により構成されていてもよい。

　また、図２７に示す粉体供給装置１Ｆのように、粉体供給装置は、少なくとも供給元、線状部材の先端部、及び供給先を除電する除電装置を備えていてもよい。

　図２７は、変形例の粉体供給装置を上方から見た模式図である。図２７に示す粉体供給装置１Ｆは、線状部材２と、擦り落とし部材３と、架台５と、制御装置６と、供給元である粉体保持部材Ａと、供給先である容器Ｃと、除電装置８と、筐体９と、を備える。除電装置８は、粉体供給装置１Ｆ全体を除電するための装置である。除電装置８としては、特に限定されるものではないが、例えば、イオンを放出するイオナイザーを用いることができる。筐体９は、線状部材２、擦り落とし部材３、架台５、制御装置６、粉体保持部材Ａ、容器Ｃ、及び除電装置８を収容している。なお、筐体９は、制御装置６を収容していなくてもよい。このため、除電装置８からイオンが放出されることで、線状部材２、擦り落とし部材３、架台５、粉体保持部材Ａ、粉体保持部材Ａにある粉体Ｂ、容器Ｃ、及び容器Ｃに供給された粉体Ｂが除電される。除電装置８は、例えば、粉体Ｂを供給する動作を行う前（粉体供給サイクルを行う前）に、少なくとも粉体保持部材Ａ、線状部材２の先端部２１、及び容器Ｃを除電する。

　この粉体供給装置１Ｆでは、除電装置８が少なくとも粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａ、線状部材２の先端部２１、及び粉体Ｂの供給先である容器Ｃを除電するため、不要な静電気力で線状部材２の先端部２１に粉体Ｂが付着したり線状部材２の先端部２１から粉体Ｂが擦り落とされずに残留したりすることを抑制することができる。これにより、粉体Ｂの供給量のばらつきを更に低減することができる。

　また、この粉体供給装置１Ｆでは、線状部材２、擦り落とし部材３、架台５、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａ、粉体Ｂの供給先である容器Ｃ、及び除電装置８が筐体９に収容されているため、筐体９内の全体を除電することができる。また、微小量の粉体Ｂを供給する際の外乱の影響を小さくすることができる。

　また、上記実施形態では、粉体供給装置が水平移動機構を備え、線状部材及び擦り落とし部材を水平方向に移動させるものとして説明したが、図２８に示す粉体供給装置１Ｇのように、線状部材及び擦り落とし部材を水平方向に移動させずに、粉体の供給元及び粉体の供給先を水平方向に移動させるものとしてもよい。

　図２８は、変形例の粉体供給装置を上方から見た模式図である。図２８に示す粉体供給装置１Ｇは、線状部材２及び擦り落とし部材３を水平方向に移動させる水平移動機構の代わりに、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａ、及び粉体Ｂの供給先である容器Ｃを水平方向に移動させる水平移動機構１０を備えている。

　水平移動機構１０は、粉体保持部材Ａが線状部材２の先端部２１の下方に配置される第一位置と、容器Ｃが線状部材２の先端部２１の下方に配置される第二位置との間で、粉体保持部材Ａ及び容器Ｃを水平方向に移動させる。水平移動機構１０は、例えば、固定架台５１の支柱５１ｂを中心軸線として固定架台５１の土台５１ａの周りを回動する回動テーブルにより構成されてもよい。なお、この粉体供給装置１Ｇは、線状部材２及び擦り落とし部材３を水平方向に移動させる水平移動機構を備えないため、上記実施形態の水平移動機構５２の上段アーム部５２ｃ、中段アーム部５２ｅ、及び下段アーム部５２ｇは、固定架台５１の支柱５１ｂから延びる上段アーム部５１ｃ、中段アーム部（不図示）、及び下段アーム部（不図示）となり、上段保持部５２ｄ及び中段支持部５２ｆは、この上段アーム部５１ｃ及び中段アーム部の先端部に設けられた上段保持部５１ｄ及び中段支持部（不図示）となる。

　このように、粉体Ｂの供給元である粉体保持部材Ａ、及び粉体Ｂの供給先である容器Ｃを水平方向に移動させる水平移動機構１０を備えることで、線状部材２を水平方向に移動させることなく、供給元である粉体保持部材Ａの粉体Ｂを先端部２１に付着させることができるとともに、先端部２１に付着させた粉体Ｂを供給先である容器Ｃに供給することができる。これにより、線状部材２に生じる振動を抑制することができるため、擦り落とし部材３により先端部２１から粉体Ｂを擦り落とす前に、線状部材２の振動により先端部２１から粉体Ｂが落下するのを抑制することができる。これにより、粉体Ｂの供給量のばらつきを更に低減することができる。

　また、上記実施形態では、粉体保持部材及び容器は上下方向（鉛直方向）に移動しないものとして説明したが、図２９及び図３０に示す変形例の粉体供給装置のように、粉体保持部材及び容器は上下方向（鉛直方向）に移動するものとしてもよい。

　図２９及び図３０は、変形例に係る粉体供給装置の模式図である。図２９及び図３０に示す変形例の粉体供給装置１Ｈは、基本的に第一実施形態と同様であり、供給元ステージ１４Ｈ及び供給先ステージ１５Ｈを備える点で、第一実施形態と相違する。

　供給元ステージ１４Ｈは、粉体保持部材Ａを載置する台である。供給元ステージ１４Ｈは、粉体保持部材Ａを載置した状態で、上下方向ＵＤに移動可能となっている。供給元ステージ１４Ｈの上下方向ＵＤの移動は、例えば、モータ、油圧等を用いた昇降機構により行うことができる。

　供給先ステージ１５Ｈは、容器Ｃを載置する台である。供給先ステージ１５Ｈは、容器Ｃを載置した状態で、上下方向ＵＤに移動可能となっている。供給先ステージ１５Ｈの上下方向ＵＤの移動は、例えば、モータ、油圧等を用いた昇降機構により行うことができる。

　この粉体供給装置１Ｈでは、供給元ステージ１４Ｈにより粉体保持部材Ａを上下方向ＵＤに移動させることができるため、線状部材２を挿抜方向Ｄに移動させなくても、線状部材２に粉体Ｂを付着させることができる。これにより、線状部材２に生じる振動を抑制することができるため、擦り落とし部材３により先端部２１から粉体Ｂを擦り落とす前に、線状部材２の振動により先端部２１から粉体Ｂが落下するのを抑制することができる。これにより、粉体Ｂの供給量のばらつきを更に低減することができる。

　また、この粉体供給装置１Ｈでは、供給先ステージ１５Ｈにより容器Ｃを上下方向ＵＤに移動させることができるため、線状部材２を必要以上に挿抜方向Ｄに移動させなくても、線状部材２の先端部２１を容器Ｃに近づけることができる。これにより、線状部材２に生じる振動を抑制することができるとともに、容器Ｃの近傍において線状部材２から粉体Ｂを擦り落とすことができるため、粉体Ｂが容器Ｃの外に飛散するのを抑制することができる。なお、図２２に示すように、擦り落とし部材３Ｃがノズル部３５Ｃを有する場合には、供給先ステージ１５Ｈにより容器Ｃを上下方向ＵＤに移動させることで、ノズル部３５Ｃの少なくとも一部を容器Ｃに挿入することができる。

　１…粉体供給装置、１Ａ…粉体供給装置、１Ｂ…粉体供給装置、１Ｃ…粉体供給装置、１Ｄ…粉体供給装置、１Ｅ…粉体供給装置、１Ｆ…粉体供給装置、１Ｇ…粉体供給装置、１Ｈ…粉体供給装置、２…線状部材、２Ａ…線状部材、３…擦り落とし部材、３Ｃ…擦り落とし部材、５…架台、６…制御装置、７Ａ…帯電／除電装置、８…除電装置、９…筐体、１０…水平移動機構、１１Ｂ…ステージ、１２Ｂ…線状部材振動付与装置、１３Ｂ…供給元振動付与装置、１４Ｈ…供給元ステージ、１５Ｈ…供給先ステージ、２１…先端部、２１Ａ…先端部、２２…第一線状部、２２Ａ…第一線状部、２３…第二線状部、２３Ａ…第二線状部、２４…継手、２４Ａ…継手、３１…挿通穴、３２…凸部、３３…内筒、３４…外筒、３５Ｃ…ノズル部、５１…固定架台、５１ａ…土台、５１ｂ…支柱、５１ｃ…上段アーム部、５１ｄ…上段保持部、５２…水平移動機構、５２ａ…回動部、５２ｂ…第一駆動部、５２ｃ…上段アーム部、５２ｄ…上段保持部、５２ｅ…中段アーム部、５２ｆ…中段支持部、５２ｇ…下段アーム部、５３…挿抜移動機構、５３ａ…移動部、５３ｂ…第二駆動部、７１Ｄ…帯電装置、７１Ｅ…帯電装置、７２Ｄ…除電装置、７２Ｅ…除電装置、１２１Ｂ…振動子、１３１Ｂ…振動子、Ａ…粉体保持部材（供給元）、Ｂ…粉体、Ｃ…容器（供給先）、Ｄ…挿抜方向、Ｄ１…押込方向、Ｄ２…引抜方向、Ｇ…隙間、ＵＤ…上下方向（鉛直方向）。

Claims

　粉体を供給する粉体供給装置であって、
　線状部材と、
　前記線状部材が挿通された挿通穴を有する擦り落とし部材と、備える、
粉体供給装置。
　前記挿通穴は、水平方向に対して交差する方向に延びている、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記擦り落とし部材は、前記挿通穴の開口に向かって膨出して前記挿通穴とのなす角が鋭角となる凸部を有する、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材は、前記粉体を付着させる先端部を有しており、
　前記先端部の線径は、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記挿通穴における前記線状部材と前記擦り落とし部材との間の隙間は、０ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記挿通穴における前記線状部材と前記擦り落とし部材との間の隙間は、０．２ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材は、前記挿通穴に挿通されて前記線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、
　前記第一線状部は、金属棒である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材は、前記挿通穴に挿通されて前記線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、
　前記第一線状部は、樹脂棒である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材は、前記挿通穴に挿通されて前記線状部材の先端部を有する第一線状部を有し、
　前記第一線状部は、糸である、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材の先端部を帯電させる帯電装置を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記帯電装置は、前記線状部材の先端部を帯電させ、
　前記挿通穴は、樹脂により形成されている、
請求項１０に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材は、前記挿通穴に挿通されて前記先端部を有する第一線状部を有し、
　前記帯電装置は、前記第一線状部の全体を帯電させ、
　前記挿通穴は、金属により形成されている、
請求項１０に記載の粉体供給装置。
　前記先端部を除電する除電装置を更に備える、
請求項１０に記載の粉体供給装置。
　少なくとも前記粉体の供給元、前記線状部材の先端部、及び前記粉体の供給先を除電する除電装置を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記挿通穴に対する前記線状部材の挿抜方向に前記線状部材を移動させる挿抜移動機構を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材及び前記擦り落とし部材を水平方向に移動させる水平移動機構を更に備える、
請求項１５に記載の粉体供給装置。
　前記粉体の供給元及び前記粉体の供給先を水平方向に移動させる水平移動機構を更に備える、
請求項１５に記載の粉体供給装置。
　前記擦り落とし部材は、前記挿通穴の開口に向かって前記線状部材に沿って筒状に延びるノズル部を有する、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記擦り落とし部材を上下方向に移動させる擦り落とし部材昇降機構を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材に振動を付与する線状部材振動付与装置を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材振動付与装置は、前記線状部材に取り付けられた振動子を有する、
請求項２０に記載の粉体供給装置。
　前記線状部材振動付与装置は、前記擦り落とし部材に取り付けられた振動子を有する、
請求項２０に記載の粉体供給装置。
　前記粉体の供給元に振動を付与する供給元振動付与装置を更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記供給元を載置するステージを更に備え、
　前記供給元振動付与装置は、前記ステージに取り付けられた振動子を有する、
請求項２３に記載の粉体供給装置。
　前記粉体の供給元を上下方向に移動させる供給元ステージを更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　前記粉体の供給先を上下方向に移動させる供給先ステージを更に備える、
請求項１に記載の粉体供給装置。
　請求項１～２６の何れか一項に記載の粉体供給装置を用いて粉体を供給する粉体供給方法であって、
　前記線状部材の先端部に粉体を付着させ、
　前記先端部を供給先の上方に配置させ、
　挿通穴から前記線状部材を引き抜く引抜方向に前記線状部材を移動させて、前記先端部に付着している前記粉体を前記擦り落とし部材で擦り落とす、
粉体供給方法。
　前記先端部に粉体を付着させる前に前記先端部を帯電させ、
　前記先端部に付着している前記粉体を前記擦り落とし部材で擦り落とす際に前記先端部を除電する、
請求項２７に記載の粉体供給方法。
　前記供給先は容器であり、
　前記先端部を前記容器の上方に配置させた後、前記先端部及び前記擦り落とし部材の一部を前記容器に挿入してから、挿通穴から前記線状部材を引き抜く引抜方向に前記線状部材を移動させて、前記先端部に付着している前記粉体を前記擦り落とし部材で擦り落とす、
請求項２７に記載の粉体供給方法。
　請求項１～２６の何れか一項に記載の粉体供給装置を用いて所定量の粉体を供給先に供給する粉体供給方法であって、
　前記線状部材の先端部に前記所定量よりも少ない量の粉体を付着させ、前記先端部を供給先の上方に配置させ、挿通穴から前記線状部材を引き抜く引抜方向に前記線状部材を移動させて、前記先端部に付着している前記粉体を前記擦り落とし部材で擦り落として前記供給先に供給する粉体供給サイクルを、複数回繰り返す、
粉体供給方法。