WO2025150249A1

WO2025150249A1 - 吸着パッド用マグネットダンパ

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Publication number: WO2025150249A1
Application number: PCT/JP2024/038262
Authority: WO
Inventors: 河野義和
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2024-01-09
Filing date: 2024-10-28
Publication date: 2025-07-17
Anticipated expiration: 2026-07-09
Also published as: JP2025107789A

Abstract

ボデイ（１２）に取り付けられた固定マグネット（１８）の外周面（１８ａ）および内周面（１８ｂ）は、一様な径を有する円筒面からなり、可動部（２２）を構成する可動マグネット（３４）の外周面（３４ａ）は、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの内周面（３４ｂ）は、円錐状の曲面からなる。固定マグネットおよび可動マグネットは、軸方向に着磁され、固定マグネットの軸方向の極性は、可動マグネットの軸方向の極性と同じである。

Description

吸着パッド用マグネットダンパ

　本発明は、吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する吸着パッド用マグネットダンパに関する。

　一般に、ワークを吸着する工程において、吸着パッドをワークに押し付ける動作が必要である。このときワークに加わる圧力を緩和するため、マグネットダンパを備えた吸着装置が従来から知られている。

　例えば、特開２００２－５４６７１号公報には、円筒状の固定軸と、固定軸の内部に挿入された円柱状の可動軸とを備え、可動軸の外周面および固定軸の内周面にマグネットが配置された吸着パッドホルダが記載されている。可動軸のマグネットおよび固定軸のマグネットは、それぞれ周方向に分割され、異なる磁極同士が向かい合うように配置されている。

　特開２００２－５４６７１号公報によれば、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットが軸方向にずれた場合、両マグネットの軸方向重なり部分で生じる磁力線は、軸方向に力を及ぼさず、両マグネットの端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力のみが軸方向に力を及ぼす。このため、吸着パッドをワークに押し付けるときのストロークにバラつきが生じても、一定の力で押し付けることができるとされている。

　しかしながら、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットの端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力がほぼ一定であるとみなせるのは、きわめて限定されたストローク範囲と考えられる。

　特開２００２－５４６７１号公報の吸着パッドホルダのように、周方向に分割されたマグネットを用いれば、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットとの回転方向のずれを抑制することができる。過大な力が作用しても回転することを阻止するためには、機械的な回り止め機構を設ける必要がある。特開２００２－５４６７１号公報の吸着パッドホルダに機械的な回り止め機構を設けた場合は、回転方向に接触圧が加わった状態で可動軸が軸方向に移動するため、大きな摺動抵抗が発生するおそれがある。

　本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。

　本発明に係る吸着パッド用マグネットダンパは、筒状のボデイと、ボデイの軸方向に変位可能にボデイに支持される可動部とを含み、ボデイに取り付けられた筒状の固定マグネットと可動部を構成する筒状の可動マグネットとの間で作用する磁力によって吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する。固定マグネットの外周面および内周面は、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの外周面は、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの内周面は、円錐状の曲面からなる。固定マグネットおよび可動マグネットは、軸方向に着磁され、固定マグネットの軸方向の極性は、可動マグネットの軸方向の極性と同じである。

　上記吸着パッド用マグネットダンパによれば、外周面および内周面が一様な径を有する円筒面からなり、かつ、軸方向に着磁された固定マグネットと、外周面が一様な径を有する円筒面からなり、内周面が円錐状の曲面からなり、かつ、軸方向に着磁された可動マグネットとが組み合わされる。このため、可動部の変位量にかかわらず、固定マグネットと可動マグネットとの間で作用する軸方向の磁力を一定の値にすることができる。しかも、固定マグネットと可動マグネットとの間で周方向の磁力は作用しないので、可動部の摺動抵抗を増加させることなく、ボデイと可動部との間に機械的回り止め機構を設けることができる。

図１は、本発明の第１実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。図２は、図１の吸着パッド用マグネットダンパの部品展開図である。図３は、可動部が上方に変位したときの図１の吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。図４は、図１の吸着パッド用マグネットダンパの固定マグネットと可動マグネットとの間で軸方向に作用する磁力について、可動マグネットが円筒状に構成される場合と比較して示すグラフである。図５は、本発明の第２実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。図６は、図５の吸着パッド用マグネットダンパの部品展開図である。図７は、可動部が上方に変位したときの図５の吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。図８は、本発明の第３実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。図９は、図８の吸着パッド用マグネットダンパの部品展開図である。図１０は、可動部が上方に変位したときの図８の吸着パッド用マグネットダンパの断面図である。

　以下、本発明に係る吸着パッド用マグネットダンパについて、複数の好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。以下の説明において、上下の方向に関する言葉を用いたときは、便宜上、図面における方向をいうものであり、部材等の実際の配置を限定するものではない。

（第１実施形態）
　本発明の第１実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパ１０について、図１～図４を参照しながら説明する。

　図１および図２に示されるように、吸着パッド用マグネットダンパ１０は、筒状のボデイ１２と、ボデイ１２の軸方向に変位可能にボデイ１２に支持される可動部２２とを含む。ボデイ１２は、図示しないロボットアームまたは搬送装置に支持される。可動部２２は、ピストン２４と、可動マグネット３４と、パッドアダプタ３６と、ピストンチューブ３８とを含む。

　ピストン２４は、アルミ合金等の常磁性体からなり、ボデイ１２の内部に摺動可能に配置される。ピストン２４は、ピストン２４の中央を軸方向に貫通する孔部２６を有する。ピストン２４は、径方向外方に突出するフランジ部２８と、フランジ部２８から下方に延びる軸部３０とを有する。ピストン２４のフランジ部２８をピストン２４の軸心に垂直な面で切断したときの外形は、各辺が内側に湾曲する六角形状である。本実施形態のフランジ部２８の断面は、六角形状であるが、多角形状であればよい。ピストン２４のフランジ部２８は、後述する機械的回り止め機構の一部を構成する。

　可動マグネット３４は、ピストン２４の下方に配置され、ピストンチューブ３８を介してピストン２４に連結される。可動マグネット３４は、長さＬ１の筒状に構成される。可動マグネット３４は、軸方向（上下方向）に着磁されている。可動マグネット３４の外周面３４ａは、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネット３４の内周面３４ｂは、上方から下方に向かうにつれて徐々に径が大きくなる円錐状の曲面からなる。可動マグネット３４の肉厚は、上方から下方に向かうにつれて徐々に薄くなる。

　パッドアダプタ３６は、アルミ合金等の常磁性体から筒状に構成される。パッドアダプタ３６は、可動マグネット３４の下端に接して配置され、可動マグネット３４とともにピストンチューブ３８を介してピストン２４に連結される。パッドアダプタ３６は、ボデイ１２から下方に突出する。パッドアダプタ３６の突出量は、可動部２２の変位に応じて変化する。パッドアダプタ３６の下端に図示しない吸着パッドが取り付けられる。

　ピストンチューブ３８は、オーステナイト系ステンレスの非磁性体から薄肉円筒状に構成される。ピストン２４の軸部３０は、ピストンチューブ３８の上部内側に圧入され、可動マグネット３４は、可動マグネット３４の全長に亘ってピストンチューブ３８の内側に圧入され、パッドアダプタ３６の上部は、ピストンチューブ３８の下部内側に圧入される。これにより、真空圧を発生させるための真空通路４０が可動部２２の内側に形成される。

　ボデイ１２の上部内面は、ピストン２４のフランジ部２８を案内するピストンガイド面１４を有する。ピストンガイド面１４は、フランジ部２８の多角形状断面の各頂点に対応する凸部２８ａを受け容れる凹部１４ａを有し、フランジ部２８とともに機械的回り止め機構を構成する。ピストン２４のフランジ部２８およびボデイ１２のピストンガイド面１４から構成される機械的回り止め機構は、可動部２２がボデイ１２の軸心回りに回動するのを抑制する。

　ボデイ１２の下部内面にブッシュ１６を介して固定マグネット１８が取り付けられる。固定マグネット１８は、長さＬ２の筒状に構成される。固定マグネット１８の外周面１８ａおよび内周面１８ｂは、いずれも、一様な径を有する円筒面からなる。固定マグネット１８は、軸方向（上下方向）に着磁されている。固定マグネット１８の軸方向の極性は、可動マグネット３４の軸方向の極性と同じである。本実施形態では、固定マグネット１８の上部および可動マグネット３４の上部はＮ極であり、固定マグネット１８の下部および可動マグネット３４の下部はＳ極である。固定マグネット１８の長さＬ２は、可動マグネット３４の長さＬ１とほぼ同じである。

　ピストンチューブ３８は、固定マグネット１８の内側に挿通される。ボデイ１２の軸方向中央の内面に溝を介してリング状のストッパ２０が装着される。ピストン２４のフランジ部２８がストッパ２０に当接することにより、可動部２２の下方への変位が規制される。ピストン２４のフランジ部２８がストッパ２０に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最大になる。このとき、固定マグネット１８および可動マグネット３４が軸方向に相互に重なる長さは最小である。

　ボデイ１２の上部に配管アダプタ４２が取り付けられる。配管アダプタ４２は、本体部４４と、本体部４４から下方に延びる細長いチューブ状の真空導入部４６とを備える。図示しない真空発生装置から延びる図示しない配管が配管アダプタ４２の本体部４４に接続される。配管アダプタ４２の真空導入部４６は、ピストン２４の孔部２６に挿通される。ピストン２４の孔部２６に装着されたＯリング３２が配管アダプタ４２の真空導入部４６に摺接する。真空圧は、配管アダプタ４２を通じて可動部２２の真空通路４０に導入され、パッドアダプタ３６に取り付けられた吸着パッドによってワークを吸着することが可能になる。

　図３に示されるように、ピストン２４のフランジ部２８が配管アダプタ４２の本体部４４に当接することにより、可動部２２の上方への変位が規制される。ピストン２４のフランジ部２８が配管アダプタ４２に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最小になる。このとき、固定マグネット１８および可動マグネット３４が軸方向に相互に重なる長さは最大である。可動部２２は、ピストン２４のフランジ部２８がストッパ２０に当接する位置と、ピストン２４のフランジ部２８が配管アダプタ４２に当接する位置との間で、変位することができる。

　配管アダプタ４２の本体部４４の側面は、圧力を逃がすための溝部４４ａを有する。ボデイ１２と配管アダプタ４２とピストン２４のフランジ部２８とで区画される背圧室４８の圧力は、配管アダプタ４２の溝部４４ａの作用により、常に大気圧に保たれる。このため、可動部２２が変位しても、背圧室４８の圧力が可動部２２の動きに影響を及ぼすことがない。

　可動部２２の真空通路４０に真空圧が導入されると、可動部２２に作用する大気圧による上下方向の力の釣り合いが崩れ、可動部２２が、意図せず、上方に変位するおそれがある。この問題に対処するため、配管アダプタ４２の真空導入部４６の外径は、ある程度小さい値に設定される。本実施形態では、真空導入部４６の外径は、ボデイ１２の外径の約５分の１である。

　可動マグネット３４は、固定マグネット１８との間で軸方向に作用する磁力によって、下方に付勢される。パッドアダプタ３６に外力が作用しないとき、ピストン２４はストッパ２０に当接する。固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力は、可動マグネット３４の上端を固定マグネット１８の上端から離間させようとする力、および、可動マグネット３４の上端を固定マグネット１８の下端に接近させようとする力となって現れる。

　前述した形状の固定マグネット１８と可動マグネット３４とを組み合わせることにより、可動部２２の変位量に関わらず、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力を一定の値にすることができる。この一定の値は、ワークを傷つけることがない大きさに設定される。また、磁力が一定であるため、ワークに加わる負荷が変動しない。

　図４は、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力について、可動マグネット３４が円筒状に構成される場合と比較して示すグラフである。横軸は、可動部２２の変位量を表わす。具体的には、パッドアダプタ３６の突出量が最大であるときの可動部２２の位置を基準位置として、可動部２２が基準位置から上方に変位した量を表わす。縦軸は、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力を表わす。実線は、本実施形態における磁力を示し、点線は、可動マグネット３４が円筒状に構成される場合の磁力を示す。

　図４から理解されるように、可動マグネット３４が円筒状に構成される場合は、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力は、一定ではなく、特に、可動部２２の変位が大きい領域において、可動部２２の変位量が増大するにつれて増大する傾向がある。このため、可動部２２の変位が大きくなると、可動マグネット３４が下方に付勢される力が大きくなる。これに対して、本実施形態では、可動部２２の全ての変位領域において、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で軸方向に作用する磁力は、一定の値である。

　次に、吸着パッド用マグネットダンパ１０によってワークを吸着する際の作用について説明する。ワークを吸着する指令が出されると、ロボットアームまたは搬送装置が駆動され、吸着パッドが取り付けられた吸着パッド用マグネットダンパ１０がワークに接近する。

　吸着パッド用マグネットダンパ１０が目標位置に到達するように、ロボットアームまたは搬送装置が駆動制御される。この場合、吸着パッドがワークに接触しつつ、パッドアダプタ３６の突出量が最大値と最小値の中間の大きさになるように吸着パッド用マグネットダンパ１０の目標位置が設定される。吸着パッドがワークに接触し、吸着パッド用マグネットダンパ１０が目標位置まで変位した後、真空圧が真空通路４０に導入される。これにより、ワークを押し付ける力を前述した一定の値とすることができる。真空通路４０に導入された真空圧がワークに作用してワークの吸着保持状態が確保された後、ワークを押し付ける力が解除され、ワークを吸着保持した吸着パッド用マグネットダンパ１０が所定の場所まで移動する。

　吸着パッド用マグネットダンパ１０を目標位置に到達させる制御の精度が低くても、また、ワークの大きさにバラつきがあっても、ワークを押し付ける力の大きさに変動はなく、ワークを安定した力で押し付けることができる。

　本実施形態では、ピストン２４のフランジ部２８およびボデイ１２のピストンガイド面１４によって機械的回り止め機構が構成され、ピストンガイド面１４は、フランジ部２８の多角形状断面の各頂点に対応する凸部２８ａを受け容れる凹部１４ａを有する。しかしながら、機械的回り止め機構は、このような構成に限定されない。

　本実施形態によれば、可動部２２の変位量にかかわらず、固定マグネット１８と可動マグネット３４との間で作用する軸方向の磁力を一定の値にすることができる。しかも、可動部２２の摺動抵抗を増加させることなく、ボデイ１２と可動部２２との間に機械的回り止め機構を設けることができる。

（第２実施形態）
　本発明の第２実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパ５０について、図５～図７を参照しながら説明する。なお、第１実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパ１０と同一または同等の構成要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する場合がある。

　図５および図６に示されるように、吸着パッド用マグネットダンパ５０は、筒状のボデイ１２と、ボデイ１２の軸方向に変位可能にボデイ１２に支持される可動部２２とを含む。可動部２２は、ピストン５４と、可動マグネット３４と、パッドアダプタ３６と、ピストンチューブ３８とを含む。

　可動マグネット３４は、軸方向に着磁されている。可動マグネット３４の外周面３４ａは、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネット３４の内周面３４ｂは、上方から下方に向かうにつれて徐々に径が大きくなる円錐状の曲面からなる。ボデイ１２に取り付けられた固定マグネット１８は、軸方向に着磁されている。固定マグネット１８の外周面１８ａおよび内周面１８ｂは、いずれも、一様な径を有する円筒面からなる。固定マグネット１８の軸方向の極性は、可動マグネット３４の軸方向の極性と同じである。

　ピストン５４は、ピストン５４の中央を軸方向に貫通する孔部５６を有する。ピストン５４は、径方向外方に突出するフランジ部５８と、フランジ部５８から下方に延びる下側軸部６０と、フランジ部５８から上方に延びる上側軸部６２とを有する。ピストン５４のフランジ部５８をピストン５４の軸心に垂直な面で切断したときの外形は、各辺が内側に湾曲する六角形状である。ボデイ１２の上部内面は、ピストン５４のフランジ部５８を案内するピストンガイド面１４を有する。ピストンガイド面１４は、フランジ部５８の多角形状断面の各頂点に対応する凸部５８ａを受け容れる凹部１４ａを有し、フランジ部５８とともに機械的回り止め機構を構成する。

　ボデイ１２の上端には、リング状のガイドブッシュ６４が取り付けられる。ピストン５４の上側軸部６２は、ガイドブッシュ６４に挿通され、上側軸部６２の一部は、ガイドブッシュ６４から上方に突出する。図示しない真空発生装置から延びる図示しない配管がピストン５４の上側軸部６２に接続される。ピストン５４の上側軸部６２の突出量は、可動部２２の変位に応じて変化する。配管は、可動部２２と一体となって変位する。

　ピストン５４の下側軸部６０は、ピストンチューブ３８の上部内側に圧入され、可動マグネット３４は、可動マグネット３４の全長に亘ってピストンチューブ３８の内側に圧入され、パッドアダプタ３６の上部は、ピストンチューブ３８の下部内側に圧入される。これにより、真空圧を発生させるための真空通路６６が可動部２２の内側に形成される。図示しない真空発生装置からの真空圧は、可動部２２の真空通路６６に導入される。

　図５に示されるように、ピストン５４のフランジ部５８がストッパ２０に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最大になる。図７に示されるように、ピストン５４のフランジ部５８がガイドブッシュ６４に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最小になる。

（第３実施形態）
　本発明の第３実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパ７０について、図８～図１０を参照しながら説明する。なお、第１実施形態に係る吸着パッド用マグネットダンパ１０と同一または同等の構成要素には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する場合がある。

　図８および図９に示されるように、吸着パッド用マグネットダンパ７０は、筒状のボデイ７２と、ボデイ７２の軸方向に変位可能にボデイ７２に支持される可動部２２とを含む。可動部２２は、ピストン７８と、可動マグネット３４と、パッドアダプタ３６と、ピストンチューブ３８とを含む。

　ボデイ７２は、第１溝部７２ａと、一対の第２溝部７２ｂ、７２ｃと、第３溝部７２ｄとを有する。第１溝部７２ａ、一対の第２溝部７２ｂ、７２ｃおよび第３溝部７２ｄは、ボデイ７２の外周面を囲む。一方の第２溝部７２ｂは、第１溝部７２ａの上方に形成され、他方の第２溝部７２ｃは、第１溝部７２ａの下方に形成される。第３溝部７２ｄは、他方の第２溝部７２ｃの下方に形成される。ボデイ７２は、ボデイ７２の内周面から第１溝部７２ａの底面まで延びる一対の真空導入孔７４を有する。

　図示しない真空発生装置から延びる図示しない配管が真空導入孔７４に接続される。第２溝部７２ｂ、７２ｃには、シールリング９４が装着される。シールリング９４は、真空発生装置から真空導入孔７４に真空圧が供給される際に、真空圧が低下することを防止する。ボデイ７２は、第３溝部７２ｄに係止する止めねじ（図示せず）を用いて、図示しないロボットアームまたは搬送装置に支持される。

　可動マグネット３４は、軸方向に着磁されている。可動マグネット３４の外周面３４ａは、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネット３４の内周面３４ｂは、上方から下方に向かうにつれて徐々に径が大きくなる円錐状の曲面からなる。ボデイ７２に取り付けられた固定マグネット１８は、軸方向に着磁されている。固定マグネット１８の外周面１８ａおよび内周面１８ｂは、いずれも、一様な径を有する円筒面からなる。固定マグネット１８の軸方向の極性は、可動マグネット３４の軸方向の極性と同じである。

　ピストン７８は、径方向外方に突出するフランジ部８０と、フランジ部８０から下方に延びる下側軸部８２と、フランジ部８０から上方に延びる上側軸部８４とを有する。ピストン７８のフランジ部８０をピストン７８の軸心に垂直な面で切断したときの外形は、各辺が内側に湾曲する六角形状である。ボデイ７２の内面は、ピストン７８のフランジ部８０を案内するピストンガイド面７６を有する。ピストンガイド面７６は、フランジ部８０の多角形状断面の各頂点に対応する凸部８０ａを受け容れる凹部７６ａを有し、フランジ部８０とともに機械的回り止め機構を構成する。

　ピストン７８は、ピストン７８の下面に開口する有底状の縦孔８６と、ピストン７８のフランジ部８０の側面に開口する一対の横孔８８とを有する。ピストン７８の縦孔８６は、ピストン７８の横孔８８に接続される。ピストン７８の横孔８８は、ボデイ７２とピストン７８との間の隙間を介して、ボデイ７２の真空導入孔７４に連通する。ボデイ７２の上端には、リング状のガイドブッシュ９０が取り付けられる。ピストン７８の上側軸部８４は、ガイドブッシュ９０に挿通され、上側軸部８４の一部は、ガイドブッシュ９０から上方に突出する。

　ピストン７８の下側軸部８２は、ピストンチューブ３８の上部内側に圧入され、可動マグネット３４は、可動マグネット３４の全長に亘ってピストンチューブ３８の内側に圧入され、パッドアダプタ３６の上部は、ピストンチューブ３８の下部内側に圧入される。ピストン７８の縦孔８６および横孔８８を含む真空通路９２が可動部２２の内側に形成される。図示しない真空発生装置からの真空圧は、ボデイ７２の真空導入孔７４を通じて、可動部２２の真空通路９２に導入される。

　図８に示されるように、ピストン７８のフランジ部８０がストッパ２０に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最大になる。図１０に示されるように、ピストン７８のフランジ部８０がガイドブッシュ９０に当接するとき、パッドアダプタ３６の突出量が最小になる。

　第３実施形態におけるボデイ７２は、ロボットアームまたは搬送装置に支持するための第３溝部７２ｄを備えているが、これと同様の溝部を第１実施形態におけるボデイ１２に形成してもよい。

　本発明に係る吸着パッド用マグネットダンパは、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得る。

Claims

　筒状のボデイ（１２、７２）と、前記ボデイの軸方向に変位可能に前記ボデイに支持される可動部（２２）とを含み、前記ボデイに取り付けられた筒状の固定マグネット（１８）と前記可動部を構成する筒状の可動マグネット（３４）との間で作用する磁力によって吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する吸着パッド用マグネットダンパ（１０、５０、７０）であって、
　前記固定マグネットの外周面（１８ａ）および内周面（１８ｂ）は、一様な径を有する円筒面からなり、前記可動マグネットの外周面（３４ａ）は、一様な径を有する円筒面からなり、前記可動マグネットの内周面（３４ｂ）は、円錐状の曲面からなり、前記固定マグネットおよび前記可動マグネットは、軸方向に着磁され、前記固定マグネットの軸方向の極性は、前記可動マグネットの軸方向の極性と同じである吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部の変位に関わらず、前記固定マグネットと前記可動マグネットとの間で軸方向に作用する磁力が一定である吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部が前記ボデイの軸心回りに回動するのを抑制する機械的回り止め機構を備える吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項３記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部は、フランジ部（２８、５８、８０）を有するピストン（２４、５４、７８）を含み、前記フランジ部の断面は多角形状であり、前記ボデイのピストンガイド面（１４、７６）は、前記フランジ部の多角形状断面の各頂点に対応する凸部（２８ａ、５８ａ、８０ａ）を受け容れる凹部（１４ａ、７６ａ）を有し、前記機械的回り止め機構は、前記フランジ部および前記ピストンガイド面から構成される吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部は、ピストン（２４、５４、７８）とパッドアダプタ（３６）とを含み、前記パッドアダプタは前記ボデイから突出し、前記パッドアダプタの突出量が増加する向きの前記可動部の変位は、前記ピストンが前記ボデイに装着されたストッパ（２０）に当接することによって規制される吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部は、ピストン（２４、５４、７８）とパッドアダプタ（３６）とピストンチューブ（３８）とを含み、前記可動マグネットおよび前記パッドアダプタは、前記ピストンチューブを介して前記ピストンに連結され、真空通路（４０、６６、９２）が前記可動部の内側に形成される吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部は、ピストン（２４）を含み、前記ボデイに配管アダプタ（４２）が取り付けられ、前記配管アダプタは、配管が取り付けられる本体部（４４）と、前記ピストンの孔部（２６）にＯリング（３２）を介して挿通される真空導入部（４６）とを備える吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項７記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記配管アダプタは、前記ボデイと前記配管アダプタと前記ピストンとで区画される背圧室（４８）の圧力を逃がす溝部（４４ａ）を有する吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部は、ピストン（５４）を含み、前記ボデイにガイドブッシュ（６４）が取り付けられ、前記ピストンは、配管が接続される軸部（６２）を備え、前記軸部は、前記ガイドブッシュに挿通される吸着パッド用マグネットダンパ。
　請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
　前記可動部はピストン（７８）を含み、前記ピストンは、有底状の縦孔（８６）と、前記ピストンの側面に開口する横孔（８８）とを有し、前記縦孔は前記横孔に接続され、前記ボデイは真空導入孔（７４）を有し、前記横孔は前記真空導入孔に連通する吸着パッド用マグネットダンパ。