WO2024142277A1 - 基板支持部材用アタッチメントおよび基板支持部材用アタッチメントの組付治具 - Google Patents

Abstract

基板支持部材用アタッチメントは、基板を支持する基板支持部材を搬送治具に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントであって、基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、基板支持部材の一辺に対向する他辺側に取り付けられる第２支持部材と、第１支持部材と第２支持部材とを両者の間隔を調整可能に連結する連結部と、搬送治具により保持される被保持部と、を備える。

Description

基板支持部材用アタッチメントおよび基板支持部材用アタッチメントの組付治具

　本明細書は、基板支持部材用アタッチメントおよび基板支持部材用アタッチメントの組付治具について開示する。

　従来、基板にはんだを印刷する印刷装置に用いられ、基板を下方から支持する基板支持部材を、搬送治具で保持した状態で、印刷機と収納棚との間で移動させるものが開示されている（例えば、特許文献１）。

国際公開第２０１６／１９９２０７号

　ところで、基板支持部材は、基板支持部材用アタッチメントを介して搬送治具に保持される場合がある。基板の幅は、基板の種類によって様々である。そのため、基板支持部材用アタッチメントを介して基板支持部材を搬送治具に取り付ける場合には、基板の幅に応じた基板支持部材用アタッチメントを用意する必要があった。

　本開示は、基板の幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメントを介して基板支持部材を搬送部材に取り付けられるようにすることを主目的とする。

　本開示は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

　本開示の第１の基板支持部材用アタッチメントは、
　基板を支持する基板支持部材を搬送治具に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントであって、
　前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、
　前記基板支持部材の前記一辺に対向する他辺側に取り付けられる第２支持部材と、
　前記第１支持部材と前記第２支持部材とを両者の間隔を調整可能に連結する連結部と、
　前記搬送治具により保持される被保持部と、
　備えることを要旨とする。

　この第１の基板支持部材用アタッチメントでは、第１支持部材と第２支持部材とを両者の幅を変更可能に連結する。したがって、基板の幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメントを介して基板支持部材を搬送部材に取り付けることができる。

　本開示の組付治具は、
　基板を支持する基板支持部材を搬送治具の対向する一対の保持部に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントにおいて、前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、前記基板支持部材の前記一辺側に対向する他辺側に取り付けられる第２支持部材と、前記第１支持部材の一端部と前記第２支持部材の一端部とを連結すると共に前記搬送治具の前記一対の保持部のうち一方の保持部に保持される第１被保持部が形成される第１連結部材と、前記第１支持部材の他端部と前記第２支持部材の他端部とを連結すると共に前記搬送治具の前記一対の保持部のうち他方の保持部に保持される第２被保持部が形成される第２連結部材と、を備える基板支持部材用アタッチメントの組付治具であって、
　前記第１被保持部を前記一方の保持部に保持される第１位置に位置決めするように前記第１連結部材を着脱可能に保持する第１位置決め部材と、
　前記第２被保持部を前記他方の保持部に保持される第２位置に位置決めするように前記第２連結部材を着脱可能に保持する第２位置決め部材と、
　前記第１位置および前記第２位置を通る中心線に平行になるように前記第１支持部材を支持すると共に前記中心線に直交する直交方向に移動可能な第１移動部と、
　前記中心線に対して前記第１移動部とは反対側に前記中心線に平行になるように前記第２支持部材を支持すると共に前記中心線に直交する直交方向に移動可能な第２移動部と、
　備えることを要旨とする。

　この組付治具では、以下のようにして基板支持部材用アタッチメントを組み付ける。すなわち、まず、中心線から第１移動部までの距離と、中心線から第２移動部までの距離とを、直交方向における基板支持部材の幅に応じた幅に設定する。その状態で、第１および第２支持部材を組付治具に保持する。そして、第１および第２被保持部を第１および第２位置決め部材に保持させて、第１および第２支持部材の一端部同士を第１連結部材で連結すると共に第１および第２支持部材の他端部同士を第２連結部材で連結する。これにより、直交方向における被保持部の中心位置と基板支持部材の中心位置とを一致させることができる。したがって、安定した状態で基板支持部材を搬送治具で保持することができる。

　本開示の第２の基板支持部材用アタッチメントは、
　基板を支持する基板支持部材を搬送治具の対向する一対の保持部に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントであって、
　前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、
　前記基板支持部材の前記一辺に対向する他辺に取り付けられる第２支持部材と、
　前記第１支持部材と前記第２支持部材との間に取り付けられ、前記第１支持部材と前記第２支持部材の延在方向に沿って延在する第３支持部材と、
　前記第３支持部材の延在方向の両端部に設けられ、前記搬送治具の一対の保持部によって保持される一対の被保持部と、
　を備えることを要旨とする。

　この第２の基板支持部材用アタッチメントでは、基板支持部材に対して、基板部材の幅に応じた位置に第１～第３支持部材を取り付けることができる。したがって、基板の幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメントを介して基板支持部材を搬送部材に取り付けることができる。

作業装置１０の概略構成図である。 作業装置１０の内部構成を示す斜視図である。 作業装置１０の内部構成を示す側面図である。 搬送治具７０の斜視図である。 狭い幅の基板支持部材８０に基板支持部材用アタッチメント９０を取り付けた状態を示す斜視図である。 広い幅の基板支持部材８０に基板支持部材用アタッチメント９０を取り付けた状態を示す斜視図である。 基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられた基板支持部材８０を下面側から見た際の斜視図である。 第１係合部材７４および第２係合部材７６が第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａを正しい向きに係合した状態を示す底面図である。 第１係合部材７４および第２係合部材７６が第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａを正しい向きに係合した状態を示す側面図である。 第１係合部材７４および第２係合部材７６が第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａを誤った向きに係合した状態を示す底面図である。 第１係合部材７４および第２係合部材７６が第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａを誤った向きに係合した状態を示す側面図である。 組付治具１１０の概略構成を示す斜視図である。 第１位置決め部材１１２の斜視図である。 第２位置決め部材１１３の斜視図である。 基板支持部材用アタッチメント取付手順の一例を示すフローチャートである。 組付治具１１０の載置台１１１に基板支持部材８０を載置した状態を示す説明図である。 基板支持部材８０に第１連結部材９３および第２連結部材９４を載置した状態を示す説明図である。 基板支持部材８０に第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを載置した状態を示す説明図である。 第１連結部材９３で第１レール部材９１ｂ，９２ｂ同士を連結すると共に第２連結部材９４で第２レール部材９１ｃ，９２ｃ同士を連結した状態を示す説明図である。 基板支持部材用アタッチメント１９０が取り付けられた基板支持部材８０を上面側から見た際の斜視図である。 基板支持部材用アタッチメント１９０が取り付けられた基板支持部材８０を下面側から見た際の斜視図である。 変形例の基板支持部材用アタッチメント取付手順を示すフローチャートである。 第１連結部材９３で第１レール部材９１ｂ，９２ｂ同士を連結すると共に第２連結部材９４で第２レール部材９１ｃ，９２ｃ同士を連結した状態の変形例を示す説明図である。 第２連結部材９４を取り外した状態の被取付部９１ｆ，９２ｆの拡大図である。

　次に、本開示を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。

　図１は、作業装置１０の概略構成図である。図２は、作業装置１０の内部構成を示す斜視図である。図３は、作業装置１０の内部構成を示す側面図である。図４は、搬送治具７０の斜視図である。各図において、左右方向をＸ軸とし、前後方向をＹ軸とし、上下方向をＺ軸とする。

　作業装置１０は、基板支持部材８０に支持された基板Ｓに対して所定の作業を行なうものである。本実施形態では、作業装置１０は、所定の作業として、スキージ２２を用いてスクリーンマスクＭ上のはんだペーストをスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔Ｐ１，Ｐ２に押し込むことにより当該パターン孔Ｐ１，Ｐ２を介して下方の基板Ｓにはんだペーストを塗布（印刷）する印刷装置として構成される。作業装置１０は、はんだが印刷された基板Ｓに電子部品を実装する実装装置と組み合わされて部品実装システムを構成する。更に、作業装置１０は、印刷対象を異なる種類の基板Ｓに変更する段取り替えを行なう場合に、スクリーンマスクＭの自動交換や、基板支持部材８０の搬送治具７０を用いた自動交換が可能である。

　作業装置１０は、図１～図３に示すように、作業装置本体１１と交換装置５０と収容ラック６０と制御装置１００とを備える。作業装置本体１１は、ヘッド２１を含むヘッド装置２０と、スクリーンマスクＭや搬送治具７０を支持する支持レール２９と、デュアルレーンにより基板Ｓを搬送・支持する第１および第２基板搬送支持装置３０，４０と、を有する。また、作業装置１０は、当該作業装置本体１１の正面に設置され、各種情報を表示すると共に作業者による各種入力操作が可能な操作パネルも備える。

　ヘッド装置２０は、作業装置本体１１の上段に設置される。ヘッド装置２０は、図１に示すように、ヘッド２１と、ヘッド２１を印刷方向である前後方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動装置２６と、を備える。ヘッド移動装置２６は、前後方向に延在するガイドレール２８に沿って移動するＹ軸スライダ２７と、Ｙ軸スライダ２７を駆動するモータと、を有する。ヘッド２１は、スキージ２２と、例えばエアシリンダによりスキージ２２を昇降させるスキージ昇降装置と、プッシャ２４と、例えばエアシリンダによりプッシャ２４を昇降させるプッシャ昇降装置と、を有する。スキージ２２は、印刷方向に直交する左右方向（Ｘ軸方向）に延びる板状部材である。プッシャ２４は、プッシャ昇降装置２５により下降して下方に突出した状態でヘッド移動装置２６により前後に移動することで、支持レール２９上のスクリーンマスクＭや搬送治具７０を前後に押して搬送するものである。また、プッシャ２４は、搬送治具７０を用いて基板支持部材８０を交換する場合に、テーブル３６，４６上の基板支持部材８０を支持レール２９上に搬入した搬送治具７０に回収したり、基板支持部材８０を保持した状態で支持レール２９上に搬入した搬送治具７０から基板支持部材８０を取り出してテーブル３６，４６上に載置したりするのにも用いられる。

　スクリーンマスクＭは、金属製の薄板であり、矩形状の枠体Ｆに所定のテンションで固定されている。スクリーンマスクＭには、第１および第２基板搬送支持装置３０，４０により搬送・支持された基板Ｓにそれぞれはんだを印刷するためのパターン孔Ｐ１，Ｐ２が形成されている。

　支持レール２９は、図３に示すように、前後方向（Ｙ軸方向）に延びる左右一対のレールであり、ヘッド装置２０と第１および第２基板搬送支持装置３０，４０との間に設置される。支持レール２９は、スクリーンマスクＭや搬送治具７０を水平姿勢で支持すると共に、プッシャ２４により押されたスクリーンマスクＭや搬送治具７０が前後方向に沿って移動するようにガイドする。

　第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、基板Ｓを搬入して支持すると共に、支持した基板Ｓを支持レール２９上のスクリーンマスクＭに接触・離間させるものである。第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、図２，図３に示すように、コンベア装置３１，４１とコンベア間隔変更装置とコンベア昇降装置３５，４５とテーブル３６，４６と支持部材昇降装置３７，４７とを備える。コンベア装置３１，４１は、前後一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓにそれぞれ設けられたコンベアベルトと、コンベアベルトを周回駆動するモータと、を有する。一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓは、ベースフレーム３３ｂ，４３ｂに立設され、一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓの上端部には、基板ガイド３２，４２が設けられている。コンベア間隔変更装置３４，４４は、一対のサイドフレーム３３ｓ，４３ｓの一方または双方を近接・離間させることにより、コンベアベルトの間隔を変更（調整）するものである。これにより、第１および第２基板搬送支持装置３０，４０は、異なるサイズの基板Ｓを搬送・支持することができる。コンベア昇降装置３５，４５は、ベースフレーム３３ｂ，４３ｂを支持する支柱を昇降させることでコンベア装置３１，４１（コンベアベルト）を昇降させるものである。テーブル３６，４６は、基板支持部材８０を設置可能な設置面を上面に有する支持台である。支持部材昇降装置３７，４７は、テーブル３６，４６を支持する支柱を昇降させることでテーブル３６，４６に設置された基板支持部材８０を昇降させるものである。

　交換装置５０は、スクリーンマスクＭや搬送治具７０といった交換部材を収容した収容ラック６０を受け入れ、収容ラック６０と作業装置本体１１との間で交換部材を搬送するものである。交換装置５０は、作業装置本体１１の前面における左側に設置された左側ユニット５１ａと、作業装置本体１１の前面における右側に設置された右側ユニット５１ｂと、を備える。左側ユニット５１ａおよび右側ユニット５１ｂは、収容ラック６０を受け入れてその下面を左右両側から支持するラック支持部材５２と、ラック支持部材５２を昇降させるラック昇降装置５３と、を有する。ラック昇降装置５３は、例えばボールネジ機構とモータとの組み合わせや、リニアモータにより構成される。ラック支持部材５２に支持された収容ラック６０は、ラック昇降装置５３よりラック支持部材５２と共に昇降する。更に、左側ユニット５１ａおよび右側ユニット５１ｂは、収容ラック６０内の交換部材の枠をベルトやローラ等により左右両側から前後に送る枠前後移動装置５４を有する。

　収容ラック６０は、左右一対の支持レール６１を上下に複数段有し、各支持レール６１に交換部材を収容可能な収容体である。また、収容ラック６０の作業装置本体１１と前面と背面とには開口部６２，６２が形成されている。交換部材は、前面側の開口部６２を介して作業者等により出し入れされ、背面側の開口部６２を介して枠前後移動装置５４により搬入出される。枠前後移動装置５４は、交換装置５０に収容ラック６０が受け入れられた状態で、収容ラック６０の複数段の支持レール６１のうちラック昇降装置５３により作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さに位置する支持レール６１に支持された交換部材を作業装置本体１１へ送り出す。また、枠前後移動装置５４は、作業装置本体１１の支持レール２９に支持された交換部材を当該支持レール２９と略同じ高さに位置する収容ラック６０の支持レール６１に送り入れる。なお、収容ラック６０は、作業者により交換装置５０の受け入れ位置まで搬送されてもよいし、自動搬送装置（ＡＧＶ）に搭載されて自動搬送装置によって交換装置５０の受け入れ位置まで自動搬送されてもよい。

　搬送治具７０は、基板支持部材８０の搬入出に用いられる治具であり、図４に示すように、矩形状の枠体７１と、第１アーム部材７２と、第２アーム部材７５と、を備える。第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は、互いの先端部が向かい合うように枠体７１に固定されて基板支持部材８０を両側から保持する。第１アーム部材７２は、アーム本体７３と、アーム本体７３の先端部に設けられ、基板支持部材８０に取り付けられた後述する基板支持部材用アタッチメント９０の第１ピン部材９３ａに係合する第１係合部材７４とを有する。第２アーム部材７５は、アーム本体７３と、アーム本体７３の先端部に設けられ、基板支持部材用アタッチメント９０の第２ピン部材９４ａに係合する第２係合部材７６とを有する。第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は、通常、図示しないバネにより、上方に付勢されており、互いに向かい合うように水平に維持された第１状態となっている。そして、第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は、上方から押し下げられるとバネの弾性力に抗して回動することで、下方に拡開した第２状態となる。第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は、第１状態で基板支持部材８０を保持し、第２状態で基板支持部材８０の保持を解除する。なお、第１アーム部材７２および第２アーム部材７５の押し下げはプッシャ２４によって行なわれる。本実施形態では、搬送治具７０は、基板支持部材８０を保持する一対の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５を２組有し、それぞれ第１および第２基板搬送支持装置３０，４０で用いられる基板支持部材８０を一度に搬送可能である。

　基板支持部材８０は、基板Ｓを下面側から支持するものであり、基板Ｓに応じて当該基板Ｓを支持するのに適したサイズのものに交換される。基板支持部材８０は、基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられた状態で使用される。基板支持部材用アタッチメント９０は、後述する組付治具１１０を用いて組付けられる。

　基板支持部材用アタッチメント９０は、基板支持部材８０を搬送治具７０に取り付けるためのものである。基板支持部材用アタッチメント９０は、図５Ａ～５Ｃに示すように、第１アタッチメント部材９１と、第２アタッチメント部材９２と、第１連結部材９３と、第２連結部材９４と、一対の第１ピン部材９３ａと、一対の第２ピン部材９４ａと、を備える。

　第１アタッチメント部材９１は、図５Ａ～５Ｃに示すように、基板支持部材８０の後側の一辺に取り付けられる部材である。第１アタッチメント部材９１は、第１アタッチメント部材本体９１ａと、第１レール部材９１ｂと、第２レール部材９１ｃとを有する。第１アタッチメント部材本体９１ａは、左右方向（Ｘ軸方向）に延在する部材である。第１アタッチメント部材本体９１ａの左端部（一端部）には、前後方向（Ｙ軸方向）に向かって延びる被取付部９１ｄが一体に形成されている。第１アタッチメント部材本体９１ａの右端部（他端部）には、前後方向に向かって延びる被取付部９１ｆが一体に形成されている。被取付部９１ｄ，９１ｆは、第１アタッチメント部材９１のうち基板支持部材８０と接触する面よりも一段低く形成されている。第１レール部材９１ｂの基端部は、被取付部９１ｄの上面にボルトで固定されている。第１レール部材９１ｂは、前後方向（第１アタッチメント部材本体９１ａに直交するＹ軸方向）に延在する。第２レール部材９１ｃの基端部は、被取付部９１ｆの上面にボルトで固定されている。第２レール部材９１ｃは、前後方向且つ第１レール部材９１ｂと同方向に延在する。第１レール部材９１ｂには、長手方向（前後方向）に延在する長穴Ｌ１１が形成されている。また、第２レール部材９１ｃには、長手方向（前後方向）に延在する長穴Ｌ１２が形成されている。

　第２アタッチメント部材９２は、基板支持部材８０の前側の一辺に取り付けられる部材である。第２アタッチメント部材９２は、第２アタッチメント部材本体９２ａと、第１レール部材９２ｂと、第２レール部材９２ｃとを有する。第２アタッチメント部材本体９２ａは、第１アタッチメント部材本体９１ａと略同じ寸法で左右方向（Ｘ軸方向）に延在する部材である。第２アタッチメント部材本体９２ａの左端部（一端部）には、前後方向（Ｙ軸方向）に向かって延びる被取付部９２ｄが一体に形成されている。第２アタッチメント部材本体９２ａの右端部（他端部）には、前後方向に向かって延びる被取付部９２ｆが一体に形成されている。被取付部９２ｄ，９２ｆは、第２アタッチメント部材９２のうち基板支持部材８０と接触する面よりも一段低く形成されている。第１レール部材９２ｂは、被取付部９２ｄの上面のうち被取付部９１ｄに第１レール部材９１ｂが固定された位置よりも左右方向にずれた位置にボルトで固定されている。第２レール部材９２ｃは前後方向（第２アタッチメント部材本体９２ａに直交するＹ軸方向）に延在する。第２レール部材９２ｃは、被取付部９２ｆの上面のうち被取付部９１ｆに第２レール部材９１ｃが固定された位置よりも左右方向にずれた位置にボルトで固定されている。第２レール部材９２ｃは、前後方向且つ第１レール部材９２ｂと同方向に延在する。第１レール部材９２ｂには、長手方向（前後方向）に延在する長穴Ｌ２１が形成されている。また、第２レール部材９２ｃには、長手方向（前後方向）に延在する長穴Ｌ２２が形成されている。

　第１連結部材９３は、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂおよび第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ同士を連結するものである。第１連結部材９３の下面には、前後方向（Ｘ軸方向）に延在すると共に第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂを嵌込可能な長溝Ｇ１１と、前後方向に延在すると共に第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂを嵌込可能な長溝Ｇ２１とが左右（Ｙ軸方向）に並ぶように形成されている。長溝Ｇ１１の底面には、図５Ｃに示すように、複数のネジ穴Ｈ１１が一定間隔で設けられている。長溝Ｇ２１の底面には、複数のネジ穴Ｈ２１が一定間隔で設けられている。第１連結部材９３は、長溝Ｇ１１に第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂが嵌り込むと共に長溝Ｇ２１に第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂが嵌り込んだ状態で、長穴Ｌ１１にネジＢを挿通させネジ穴Ｈ１１にネジＢを締め付けると共に長穴Ｌ２１にネジＢを挿通させネジ穴Ｈ２１にネジＢを締め付けることで第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂおよび第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ同士を連結する。

　第２連結部材９４は、第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃおよび第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃ同士を連結するものである。第２連結部材９４の下面には、前後方向に延在すると共に第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃを嵌込可能な長溝Ｇ１２と、前後方向に延在すると共に第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃを嵌込可能な長溝Ｇ２２とが左右に並ぶように形成されている。長溝Ｇ１２の底面には、図５Ｃに示すように、複数のネジ穴Ｈ１２が一定間隔で設けられている。長溝Ｇ２２の底面には、複数のネジ穴Ｈ２２が一定間隔で設けられている。第２連結部材９４は、長溝Ｇ２１に第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃが嵌り込むと共に長溝Ｇ２２に第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃが嵌り込んだ状態で、長穴Ｌ１１にネジＢを挿通させネジ穴Ｈ１１にネジＢを締め付けると共に長穴Ｌ２１にネジＢを挿通させネジ穴Ｈ２１にネジＢを締め付けることで第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃおよび第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃ同士を連結する。

　一対の第１ピン部材９３ａは、搬送治具７０の一対のアーム部材のうちの一方である第１アーム部材７２の第１係合部材７４に係合される被係合部である。一対の第１ピン部材９３ａは、前後方向（Ｙ軸方向）における中心が第１連結部材９３の前後方向における中心と一致するように、第１連結部材９３の下面に設けられている。一対の第１ピン部材９３ａ同士の前後方向における幅Ｄ１は（図６Ａ参照）、第１係合部材７４の前後方向における幅ｄ１よりも僅かに広い幅である。一対の第１ピン部材９３ａは、その間に第１係合部材７４が嵌り込むことで、第１係合部材７４に係合される。

　一対の第２ピン部材９４ａは、搬送治具７０の一対のアーム部材のうちの他方である第２アーム部材７５の第２係合部材７６に係合される被係合部である。一対の第２ピン部材９４ａは、前後方向（Ｙ軸方向）における中心が第２連結部材９４の前後方向における中心と一致するように、第２連結部材９４の下面に設けられている。一対の第２ピン部材９４ａ同士の前後方向における幅Ｄ２（Ｄ２＞Ｄ１）は（図６Ａ参照）、第２係合部材７６の前後方向における幅ｄ２よりも僅かに広い幅である。一対の第２ピン部材９４ａは、その間に第２係合部材７６が嵌り込むことで、第２係合部材７６に係合される。

　基板支持部材用アタッチメント９０では、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを前後方向に接近させた状態で、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂおよび第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ同士を第１連結部材９３で連結すると共に第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃおよび第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃ同士を第２連結部材９４で連結することができる。また、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを前後方向に離間させた状態で、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂおよび第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ同士を第１連結部材９３で連結すると共に第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃおよび第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃ同士を第２連結部材９４で連結することができる。このように、基板支持部材用アタッチメント９０では、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２との間隔を調整可能であるため、基板Ｓの幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメント９０を介して基板支持部材８０を搬送治具７０に取り付けることができる。

　また、図６Ａに示すように、第１係合部材７４の幅ｄ１は、第２係合部材７６の幅ｄ２よりも狭く、第１係合部材７４が保持する一対の第１ピン部材９３ａの間隔Ｄ１は、第２係合部材７６が係合される一対の第２ピン部材９４ａの間隔Ｄ２よりも狭くなるように構成される。これにより、図６Ｂに示すように、基板支持部材８０は、搬送治具７０に対して左右が正しい方向に取り付けられている場合には、水平姿勢に保持される。一方、図７Ａ，７Ｂに示すように、基板支持部材８０は、搬送治具７０に対して左右が１８０度反転して取り付けられている場合には、第１ピン部材９３ａ間の間隔Ｄ１よりも広い幅ｄ２を有する第２係合部材７６が第１ピン部材９３ａに正常に係合しないため、搬送治具７０に対して傾いた状態で保持される。これにより、基板支持部材８０が誤った方向に取り付けられたことを作業者に気づかせることができる。なお、第１係合部材７４の幅ｄ１は、作業装置１０で使用可能な基板支持部材８０のうち最も小さい幅よりも小さい。

　制御装置１００は、ＣＰＵを中心としたマイクロプロセッサとして構成され、ＣＰＵの他に、ＲＯＭやＲＡＭ、入出力ポート等を備える。制御装置１００は、ヘッド装置２０や第１および第２基板搬送支持装置３０，４０、交換装置５０等に対して信号をやり取りする。また、制御装置１００は、作業装置１０を含む作業システム全体を管理する管理装置２００と通信可能に接続される。管理装置２００は、作業装置１０を含むラインの進捗状況等を管理する。

　こうして構成された作業装置１０の動作について説明する。本実施形態では、スクリーンマスクＭや基板支持部材８０を交換する段取り替えの動作について説明する。段取り替えは、収容ラック６０を交換装置５０にセットした状態で、マスク搬出処理と、支持部材搬出処理と、支持部材搬入処理と、マスク搬入処理と、をこの順に実行することにより行なわれる。

　マスク搬出処理は、使用済みのスクリーンマスクＭを作業装置本体１１から搬出して収容ラック６０に収容する処理である。このマスク搬出処理では、制御装置１００は、収容ラック６０の空いている支持レール６１が作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さになるようにラック昇降装置５３を制御する。続いて、制御装置１００は、支持レール２９に支持されているスクリーンマスクＭがプッシャ２４により前方に押されて作業装置本体１１から搬出されるようヘッド移動装置２６を制御する。そして、制御装置１００は、搬出されたスクリーンマスクＭが収容ラック６０に収容されるよう枠前後移動装置５４を制御する。マスク搬入処理は、次に使用するスクリーンマスクＭを収容ラック６０から取り出して作業装置本体１１に搬入する処理である。なお、マスク搬入処理は、基本的には、マスク搬出処理と逆の動作により実行されるため、その説明は省略する。

　支持部材搬出処理では、使用済みの基板支持部材８０を作業装置本体１１から搬出して収容ラック６０に収容する処理である。制御装置１００は、まず、基板支持部材８０の回収に用いる空の搬送治具７０を支持する収容ラック６０の支持レール６１が作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さになるようにラック昇降装置５３を制御する。続いて、制御装置１００は、空の搬送治具７０を収容ラック６０から作業装置本体１１内に搬入するよう枠前後移動装置５４を制御すると共に搬入した空の搬送治具７０をプッシャ２４によりテーブル３６，４６の上方まで移動するようプッシャ昇降装置とヘッド移動装置２６とを制御する。次に、制御装置１００は、空の搬送治具７０の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５の真上にプッシャ２４が移動するようにヘッド移動装置２６を制御する。続いて、制御装置１００は、プッシャ２４が下降するようプッシャ昇降装置２５を制御する。上述したように、プッシャ２４が下降すると第１アーム部材７２および第２アーム部材７５に当接し、更に下降すると、一対の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５が下方に拡開し、基板支持部材８０を受け入れ可能な状態（第２状態）となる。次に、制御装置１００は、テーブル３６またはテーブル４６が上昇するよう支持部材昇降装置３７または支持部材昇降装置４７を制御する。そして、制御装置１００は、プッシャ２４が上昇するように、プッシャ昇降装置２５を制御する。これにより、第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は互いに向かい合う第１状態となり、基板支持部材８０は、搬送治具７０（第１アーム部材７２および第２アーム部材７５）によって保持される。なお、制御装置１００は、同様の制御によりテーブル３６およびテーブル４６のうちもう一方に載置された基板支持部材８０を搬送治具７０に保持させる。

　次に、制御装置１００は、収容ラック６０の空いている支持レール６１が作業装置本体１１の支持レール２９と略同じ高さになるまで収容ラック６０が上昇するようラック昇降装置５３を制御する。続いて、制御装置１００は、プッシャ昇降装置２５によりプッシャ２４を下降させると共に、プッシャ２４により支持レール２９上の搬送治具７０を前方に押して搬出するようヘッド移動装置２６を制御する。そして、制御装置１００は、搬送治具７０に保持された基板支持部材８０が収容ラック６０に搬送されるよう枠前後移動装置５４を制御する。

　支持部材搬入処理は、次に使用する基板支持部材８０を収容ラック６０から取り出して作業装置本体１１に搬入する処理である。支持部材搬入処理は、２つの基板支持部材８０が保持された搬送治具７０を作業装置本体１１内に搬入すると共に当該搬送治具７０をプッシャ２４によりテーブル３６またはテーブル４６の上方に移動するよう制御する。続いて、制御装置１００は、テーブル３６またはテーブル４６を上昇するよう制御してから、２つの基板支持部材８０のうち一方を保持する搬送治具７０の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５の真上でプッシャ２４が下降するよう制御する。これにより、一対の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５は、下方に拡開し（第２状態）、基板支持部材８０は、一対の第１アーム部材７２および第２アーム部材７５から脱離してテーブル３６またはテーブル４６に載置される。なお、制御装置１００は、同様の制御により搬送治具７０に保持されたもう一方の基板支持部材８０をもう一方のテーブルに載置する。そして、制御装置１００は、テーブル３６およびテーブル４６を下降するよう制御し、２つの基板支持部材８０を取り出した空の搬送治具７０を作業装置本体１１から搬出して収容ラック６０へ収容するよう制御する。

　次に、図８～図１１Ｄを用いて、基板支持部材８０に基板支持部材用アタッチメント９０を取り付ける手順について説明する。まず、図８，９Ａ，９Ｂを用いて、基板支持部材用アタッチメント９０の組み付けに用いられる組付治具１１０の詳細について説明する。

　組付治具１１０は、第１位置決め部材１１２と、第２位置決め部材１１３と、第１移動部１１４と、第２移動部１１７と、第１クランプ機構１２２と、第２クランプ機構１２３と、を有する。これらは、載置台１１１に設けられている。

　左右方向における載置台１１１の両端部のうち後側には、前後方向（Y軸方向）に延在する左右一対の長穴１２０が形成されている。一対の長穴１２０の左右方向（Ｘ軸方向）における外側には、載置台１１１に対する第１移動部１１４の位置を示す目盛ＳＣが設けられている。左右方向における載置台１１１の両端部のうち前側には、前後方向に延在する左右一対の長穴１２１が形成されている。一対の長穴１２１の左右方向における外側には、載置台１１１に対する第２移動部１１７の位置を示す目盛ＳＣが設けられている。目盛ＳＣには、後述する第１位置決め部材１１２の前後方向の中心と第２位置決め部材１１３前後方向の中心とを結ぶ中心線Ｌからの距離が付されている。なお、この距離は、基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられる基板支持部材８０の前後方向の幅に対応した距離であり、例えば、当該基板支持部材８０の前後方向における幅の半分の距離である。

　第１位置決め部材１１２は、基板支持部材用アタッチメント９０を組み付ける際に、第１連結部材９３の位置決めをするのに用いられるものである。第１位置決め部材１１２は、前後方向における載置台１１１の略中心且つ載置台１１１の左端側に、着脱可能にネジ等により取り付けられている。図９Ａに示すように、第１位置決め部材１１２の前後方向における幅は、前後方向において第１係合部材７４と同じ幅（幅ｄ１）である。第１位置決め部材１１２は、第１連結部材９３の一対の第１ピン部材９３ａの間に嵌り込んだ状態で載置台１１１に取り付けられることで、第１連結部材９３の位置決めを行なう。

　第２位置決め部材１１３は、基板支持部材用アタッチメント９０を組み付ける際に、第２連結部材９４の位置決めをするのに用いられるものである。第２位置決め部材１１３は、前後方向における載置台１１１の略中心且つ載置台１１１の右端側に、着脱可能にネジ等により取り付けられている。図９Ｂに示すように、第２位置決め部材１１３の前後方向における幅は、前後方向において第２係合部材７６と同じ幅（幅ｄ２）である。第２位置決め部材１１３は、第２連結部材９４の一対の第２ピン部材９４ａの間に嵌り込んだ状態で載置台１１１に取り付けられることで、第２連結部材９４の位置決めを行なう。

　第１移動部１１４は、基板支持部材用アタッチメント９０を組み付ける際に、第１アタッチメント部材９１を支持するものである。第１移動部１１４は、載置台１１１の前後方向（Ｙ軸方向）における後側に設けられている。第１移動部１１４は、長穴１２０に沿って前後に移動可能な第１スライダ１１５と、第１スライダ１１５の上面に固定された第１ブロック１１６とを備える。第１移動部１１４は、第１ブロック１１６の前側面に第１アタッチメント部材９１を突き当てて支持する。

　第２移動部１１７は、基板支持部材用アタッチメント９０を組み付ける際に、第２アタッチメント部材９２を支持するものである。第２移動部１１７は、載置台１１１の前後方向（Ｙ軸方向）における前側に設けられている。第２移動部１１７は、長穴１２１に沿って前後に移動可能な第２スライダ１１８と、第２スライダ１１８の上面に固定された第２ブロック１１９とを備える。第２移動部１１７は、第２ブロック１１９の後側面に第２アタッチメント部材９２を突き当てて支持する。

　第１クランプ機構１２２は、第１移動部１１４を移動範囲内の任意の位置に固定するためのものである。第１クランプ機構１２２は、長穴１２０を上下方向に貫通するクランプネジと、載置台１１１の下面に設けられ第１スライダ１１５と共に前後移動可能なネジ受と、ネジをネジ受けに締め付けたり緩めたりするクランプレバーとを備える。第１クランプ機構１２２では、クランプレバーを操作してネジをネジ受に対して緩めると、第１スライダ１１５が前後に移動するのを許容する。一方、第１クランプ機構１２２では、クランプレバーを操作してネジをネジ受に締め付けると、第１スライダ１１５が前後に移動するのを制限する。

　第２クランプ機構１２３は、第２移動部１１７を移動範囲内の任意の位置に固定するためのものである。第２クランプ機構１２３は、長穴１２１を上下方向に貫通するクランプネジと、載置台１１１の下面に設けられ第２スライダ１１８と共に前後移動可能なネジ受と、ネジをネジ受けに締め付けたり緩めたりするクランプレバーとを備える。第２クランプ機構１２３では、クランプレバーを操作してネジをネジ受に対して緩めると、第２スライダ１１８が前後に移動するのを許容する。一方、第２クランプ機構１２３では、クランプレバーを操作してネジをネジ受に締め付けると、第２スライダ１１８が前後に移動するのを制限する。

　次に、図１０～１１Ｄを用いて、基板支持部材８０に基板支持部材用アタッチメント９０を取り付ける手順について説明する。まず、作業者は、組付治具１１０を用意する（Ｓ１００）。次に、作業者は、図１１Ａに示すように、目盛ＳＣを見ながら、基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられる基板支持部材８０の前後方向（Ｙ軸方向）における幅に応じた位置まで第１移動部１１４を移動させると共に第１クランプ機構１２２を操作して当該位置に第１移動部１１４を固定する（Ｓ１０５）。このとき、中心線Ｌから第１移動部１１４（第１ブロック１１６）までの距離は、基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられる基板支持部材８０の前後方向における幅の半分の長さとなる。続いて、作業者は、第１移動部１１４の第１ブロック１１６の前側面に基板支持部材８０後側面を突き当てるように、基板支持部材８０を載置台１１１に載置する（Ｓ１１０）。そして、作業者は、第２ブロック１１９の後側面が基板支持部材８０の前側面に突き当たるまで第２移動部１１７を移動させると共に第２クランプ機構１２３を操作して当該位置に第２移動部１１７を固定する（Ｓ１１５）。このとき、中心線Ｌから第２移動部１１７（第２ブロック１１９）までの距離は、基板支持部材用アタッチメント９０が取り付けられる基板支持部材８０の前後方向における幅の半分の長さとなる。なお、作業者は、第１移動部１１４の位置を示す目盛ＳＣを確認すると共に第２移動部１１７の位置を示す目盛ＳＣを確認し、両者が一致しない場合には、載置台１１１に対して第１移動部１１４および第２移動部１１７の位置の微調整を行なう。

　次に、作業者は、第１ピン部材９３ａを上に向けた状態で基板支持部材８０上の左端に第１連結部材９３を配置すると共に第２ピン部材９４ａを上に向けた状態で基板支持部材８０上の右端に第２連結部材９４を配置する（Ｓ１２０）。続いて、作業者は、図１１Ｃに示すように、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂ，第２レール部材９１ｃをそれぞれ第１連結部材９３の長溝Ｇ１１，第２連結部材９４の長溝Ｇ１２に嵌め込むと共に、第１アタッチメント部材本体９１ａの側面を第１ブロック１１６に突き当てるように、第１アタッチメント部材９１を基板支持部材８０上に配置する（Ｓ１２５）。そして、作業者は、図１１Ｃに示すように、第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ，第２レール部材９２ｃをそれぞれ第１連結部材９３の長溝Ｇ２１，第２連結部材９４の長溝Ｇ２２を嵌め込むと共に、第２アタッチメント部材本体９２ａの側面を第２ブロック１１９に突き当てるように、第２アタッチメント部材９２を基板支持部材８０上に配置する（Ｓ１３０）。

　次に、作業者は、図１１Ｃに示すように、一対の第１ピン部材９３ａ同士の間に第１位置決め部材１１２を挟み込ませた状態で、第１位置決め部材１１２を載置台１１１の左端側にネジ止め（固定）する（Ｓ１３５）。続いて、作業者は、図１１Ｃに示すように、一対の第２ピン部材９４ａ同士の間に第２位置決め部材１１３を挟み込ませた状態で、第２位置決め部材１１３を載置台１１１の右端側にネジ止め（固定）する（Ｓ１４０）。そして、作業者は、長穴Ｌ１１にネジＢを挿通すると共にネジ穴Ｈ１１にネジＢを締め付け、長穴Ｌ２１にネジＢを挿通すると共にネジ穴Ｈ２１にネジＢを締め付け、長穴Ｌ１２にネジＢを挿通すると共にネジ穴Ｈ１２にネジＢを締め付け、長穴Ｌ２２にネジＢを挿通すると共にネジ穴Ｈ２２にネジＢを締め付けることで、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを連結する（Ｓ１４５）。これにより、一対の第１ピン部材９３ａの前後方向における中心と一対の第２ピン部材９４ａの前後方向における中心とを一致させた状態で、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを連結することができる。

　次に、作業者は、組付治具１１０から第１位置決め部材１１２および第２位置決め部材１１３を取り外す（Ｓ１５０）。続いて、作業者は、組付治具１１０から基板支持部材用アタッチメント９０を取り外す（Ｓ１５５）。次に、作業者は、組付治具１１０から基板支持部材８０を取り外す（Ｓ１６０）。そして、作業者は、基板支持部材用アタッチメント９０を基板支持部材８０にネジ等により組付けて（Ｓ１６５）、本手順を終了する。

　組付治具１１０では、一対の第１ピン部材９３ａ同士の前後方向における中心と一対の第２ピン部材９４ａ同士の基板支持部材用アタッチメント９０を組み付けることができる。したがって、安定した状態で基板支持部材８０を搬送治具７０で保持させることができる。

　ここで、実施形態の主要な要素と請求の範囲に記載した本開示の主要な要素との対応関係について説明する。すなわち、本実施形態の基板支持部材用アタッチメント９０が本開示の第１の基板支持部材用アタッチメントに相当し、第１アタッチメント部材９１が第１支持部材に相当し、第２アタッチメント部材９２が第２支持部材に相当し、第１連結部材９３および第２連結部材９４が連結部に相当し、第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａが被保持部に相当する。また、第１アタッチメント部材本体９１ａが第１支持部材本体に相当し、第１レール部材９１ｂおよび第２レール部材９１ｃが第１延在部に相当し、第２アタッチメント部材本体９２ａが第２支持部材本体に相当し、第１レール部材９２ｂおよび第２レール部材９２ｃが第２延在部に相当する。また、組付治具１１０が基板支持部材用アタッチメントの組付治具に相当し、第１位置決め部材１１２が第１位置決め部材に相当し、第２位置決め部材１１３が第２位置決め部材に相当し、第１移動部１１４が第１移動部に相当し、第２移動部１１７が第２移動部に相当する。また、載置台１１１が載置台に相当し、第１クランプ機構１２２が第１固定部に相当し、第２クランプ機構１２３が第２固定部に相当する。

　以上詳説した基板支持部材用アタッチメント９０では、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを両者の幅を変更可能に連結する。したがって、基板Ｓの幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメント９０を介して基板支持部材８０を搬送治具７０に取り付けることができる。

　また、基板支持部材用アタッチメント９０では、第１アタッチメント部材９１は、第１アタッチメント部材本体９１ａと、第１アタッチメント部材本体９１ａの左右両端部から前後方向に延在する第１レール部材９１ｂおよび第２レール部材９１ｃとを有する。また、第２アタッチメント部材９２は、第２アタッチメント部材本体９２ａと、第２アタッチメント部材本体９２ａの左右両端部から前後方向に延在する第１レール部材９２ｂおよび第２レール部材９２ｃとを有する。また、基板支持部材用アタッチメント９０は、第１レール部材９１ｂと第１レール部材９２ｂとを連結する第１連結部材９３と、第２レール部材９１ｃと第２レール部材９２ｃとを連結する第２連結部材９４と、を有する。これにより、比較的容易に第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２との幅を調整することができる。

　また、組付治具１１０では、中心線Ｌから第１移動部１１４までの距離と、中心線Ｌから第２移動部１１７までの距離とを、前後方向における基板支持部材８０の半分の幅に設定する。その状態で、組付治具１１０に第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２を支持する。そして、第１ピン部材９３ａおよび第２ピン部材９４ａをそれぞれ第１位置決め部材１１２および第２位置決め部材１１３に保持させて、第１レール部材９１ｂと第１レール部材９２ｂとを第１連結部材９３で連結すると共に第２レール部材９１ｃと第２レール部材９２ｃとを第２連結部材９４で連結する。これにより、前後方向における第１ピン部材９３ａ，第２ピン部材９４ａの中心位置と基板支持部材８０の中心位置とを一致させることができる。したがって、安定した状態で基板支持部材を搬送治具で保持することができる

　また、組付治具１１０では、第１位置決め部材１１２と、第２位置決め部材１１３と、第１移動部１１４を移動可能範囲内の任意の位置に固定する第１クランプ機構１２２と、第２移動部１１７を移動可能範囲内の任意の位置に固定する第２クランプ機構１２３と、を備えていている。これにより、第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２の位置をそれぞれ第１移動部１１４および第２移動部１１７の位置に合せる際に、第１移動部１１４および第２移動部１１７の位置がずれにくくなる。

　なお、本開示は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

　例えば、上述した実施形態では、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２との前後方向の間隔を調整可能な基板支持部材用アタッチメントを用いて、基板支持部材８０を搬送治具７０に保持させた。しかし、図１２Ａ，１２Ｂに示すような、基板支持部材用アタッチメント１９０を用いて基板支持部材８０を搬送治具７０に保持させるものとしてもよい。基板支持部材用アタッチメント１９０は、左右方向（Ｘ軸方向）に延在すると共に基板支持部材８０の前側の一辺に取り付けられる第１アタッチメント部材１９１と、左右方向に延在すると共に基板支持部材８０の後側の一辺に取り付けられる第２アタッチメント部材１９２と、左右方向に延在し第１アタッチメント部材１９１と第２アタッチメント部材１９２との間に取り付けられた第３アタッチメント部材１９３とを備える。第３アタッチメント部材１９３は、前後方向における中心が基板支持部材８０の前後方向における中心と一致するように、基板支持部材８０に取り付けられている。第３アタッチメント部材１９３の左端部には、搬送治具７０の第１アーム部材７２に設けられた第１係合部材７４に係合される一対の第１ピン部材１９３ａが設けられている。第３アタッチメント部材１９３の右端部には、搬送治具７０の第２アーム部材７５に設けられた第２係合部材７６に係合される一対の第２ピン部材１９４ａが設けられている。前後方向における第１ピン部材１９３ａ同士の幅は、基板支持部材用アタッチメント９０における第１ピン部材９３ａ同士の幅と同等の幅（幅Ｄ１）である。また、前後方向における第２ピン部材１９４ａ同士の幅は、基板支持部材用アタッチメント９０における第２ピン部材９４ａ同士の幅と同等の幅（幅Ｄ２）である。これにより、基板Ｓの幅に拘らず、基板支持部材用アタッチメント１９０介して基板支持部材８０を搬送治具７０に取り付けることができる。

　上述した実施形態では、第１ピン部材９３ａ同士の前後方向における幅Ｄ１は、第２ピン部材９４ａ同士の前後方向における幅Ｄ２よりも狭いものとした。しかし、幅Ｄ１は、幅Ｄ２よりも広いものとしてもよい。あるいは、幅Ｄ１は幅Ｄ２と等しい幅としてもよい。

　上述した実施形態では、基板支持部材用アタッチメント取付手順において、組付治具１１０から、基板支持部材用アタッチメント９０と基板支持部材８０とを取り外した後、基板支持部材８０に対して基板支持部材用アタッチメント９０を取り付けた。しかし、基板支持部材用アタッチメント取付手順において、基板支持部材８０に対して基板支持部材用アタッチメント９０と取り付けた後、組付治具１１０から基板支持部材用アタッチメント９０と共に基板支持部材８０を取り外してもよい。

　上述した実施形態では、本開示の被保持部を一対の第１ピン部材９３ａおよび一対の第２ピン部材９４ａとして説明した。しかし、本開示の被保持部は、他の構成としてもよい。例えば、一対の第１ピン部材９３ａに代えて第１係合部材７４に係合される凹部としてもよいし、一対の第２ピン部材９４ａに代えて第２係合部材７６に係合される凹部としてもよい。

　ここで、変形例の基板支持部材用アタッチメント取付手順について説明する。変形例の基板支持部材用アタッチメント取付手順において、第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２を基板支持部材８０に載置する際の方向を、上述した実施形態とは上下逆にしてもよい。すなわち、基板支持部材用アタッチメント９０を基板支持部材８０に取り付ける際に、第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２が基板支持部材８０と当接する面を上にした状態で第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２を基板支持部材８０上に載置して組付けを行なってもよい。その場合、第１連結部材９３で第１および第２アタッチメント部材９１，９２の第１レール部材９１ｂ，９２ｂ同士を連結するにあたり、一対の第１ピン部材９３ａを下に向けた状態で連結する。また、第２連結部材９４で第１および第２アタッチメント部材９１，９２の第２レール部材９１ｃ，９２ｃ同士を連結するにあたり、一対の第２ピン部材９４ａを下に向けた状態で連結する。

　変形例の基板支持部材用アタッチメント取付手順では、作業者は、第１アタッチメント部材９１および第２アタッチメント部材９２を基板支持部材８０上に載置するのに先だって、第１位置決め部材２１２および第２位置決め部材２１３を載置台１１１にネジ止め（固定）する。そして、作業者は、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂおよび第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂの上から第１連結部材９３を被せると共に各長穴にネジＢを挿通し、各ネジ穴にネジＢを締め付ける。その場合、長穴Ｌ１１と長穴Ｌ２１とが第１連結部材９３側に形成され、ネジ穴Ｈ１１が第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂ側に形成されると共にネジ穴Ｈ２１が第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂ側に形成されるのが望ましい。また、作業者は、第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃおよび第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃの上から第２連結部材９４を被せると共に各長穴にネジＢを挿通し、各ネジ穴にネジＢを締め付ける。その場合、長穴Ｌ１２と長穴Ｌ２２とが、第２連結部材９４側に形成され、ネジ穴Ｈ１２が第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９２ｃ側に形成されると共にネジ穴Ｈ２２が第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃ側に形成されるのが望ましい。上述した実施形態と同様に、第１連結部材９３および第２連結部材９４に各ネジ穴が形成されると共に第１レール部材９１ｂ，９２ｂおよび第２レール部材９１ｃ，９２ｃに長穴が形成されていたのでは、ネジＢを裏側から締め付ける必要があり、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２との連結が困難なためである。なお、変形例の基板支持部材用アタッチメント取付手順は、前後方向における長さが比較的短い基板支持部材８０に対して取り付けられる基板支持部材用アタッチメント９０を組み付けるのに用いられる。基板支持部材８０の前後方向の幅が短い場合に、上述した実施形態と同様の手順で基板支持部材用アタッチメント９０を組付けようとすると、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを連結できない場合があるためである。いま、図１４Ａ，１４Ｂに示すように、前後方向の幅が短い基板支持部材８０に基板支持部材用アタッチメント９０を取り付けるため、被取付部９１ｄ，９２ｄ同士および被取付部９１ｆ，９２ｆ同士がそれぞれ突き当たる程度に、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを近接させる場合を考える。この場合、基板支持部材用アタッチメント９０を基板支持部材８０に取り付ける際に基板支持部材８０と当接する面を下にすると、第１レール部材９１ｂおよび第２レール部材９１ｃは、それぞれ被取付部９２ｄ，９２ｆの下に隠れ、第１レール部材９２ｂおよび第２レール部材９２ｃは、それぞれ被取付部９１ｄ，９１ｆの下に隠れてしまう。このため、上述した実施形態と同様の手順ではネジＢを締め付けることができない。

　この処理の詳細について、図１３，１４を用いて説明する。なお、図１３では、図１０と同様の手順については同じステップ番号を付して詳細な説明を省略した。

　まず、作業者は、上述した実施形態と同様に、組付治具１１０を用意し、基板支持部材８０の幅に応じた位置に第１移動部１１４を固定し、載置台１１１に基板支持部材８０を載置する（Ｓ１００～１１０）。次に、作業者は、第２ブロック１１９が基板支持部材８０の側面に突き当たるまで第２移動部１１７を移動させて、第２移動部１１７を固定する（Ｓ１１０，Ｓ１１５）。続いて、作業者は、図１４Ａに示すように、載置台１１１の右端側に第１位置決め部材２１２をネジ止め（固定）する（Ｓ２００）。そして、作業者は、第２位置決め部材２１３を載置台１１１の左端側にネジ止め（固定）する（Ｓ２０５）。ここで、第１位置決め部材２１２および第２位置決め部材２１３の上下方向における長さは、上述した第１位置決め部材１１２および第２位置決め部材１１３の上下方向における長さよりも短いものである。次に、作業者は、基板支持部材８０に取り付けられる際に基板支持部材８０と当接する面を上に向けて、側面を第１ブロック１１６に突き当てながら第１アタッチメント部材９１を基板支持部材８０上に載置する（Ｓ２１０）。続いて、作業者は、基板支持部材８０に取り付けられる際に基板支持部材８０と当接する面を上に向けて、側面を第２ブロック１１９に突き当てながら第２アタッチメント部材９２を基板支持部材８０上に載置する（Ｓ２１５）。そして、作業者は、一対の第１ピン部材９３ａを下に向けた状態で、第１アタッチメント部材９１の第１レール部材９１ｂ，第２アタッチメント部材９２の第１レール部材９２ｂをそれぞれ長溝Ｇ１１，Ｇ２１に嵌め込むと共に第１ピン部材９３ａで第１位置決め部材２１２を挟み込むように第１連結部材９３を配置する（Ｓ２２０）。続いて、作業者は、一対の第２ピン部材９４ａを下に向けた状態で、第１アタッチメント部材９１の第２レール部材９１ｃ，第２アタッチメント部材９２の第２レール部材９２ｃをそれぞれ長溝Ｇ１２，Ｇ２２に嵌め込むと共に第２ピン部材９４ａで第２位置決め部材２１３を挟み込むように第２連結部材９４を配置する（Ｓ２２５）。続いて、作業者は、各長穴にネジＢを挿通すると共に各ネジ穴にネジＢを締め付けることで、第１アタッチメント部材９１と第２アタッチメント部材９２とを連結する（Ｓ１４５）。次に、作業者は、基板支持部材用アタッチメント９０、第１位置決め部材２１２，第２位置決め部材２１３および基板支持部材８０を、この順で組付治具１１０から取り外す（Ｓ１５５，Ｓ１５０，Ｓ１６０）。そして、作業者は、基板支持部材用アタッチメント９０を基板支持部材８０にネジ等により組付けて（Ｓ１６５）、本手順を終了する。

　また、上述した実施形態では、作業装置１０は、基板Ｓを搬送・支持するレーンを２つ備えるものとしたが、レーンを１つだけ備えてもよい。

　また、上述した実施形態では、本開示の作業装置を印刷装置に適用して説明したが、これに限定されるものではなく、例えば部品実装装置など、支持部材に支持された基板に対して作業を行なう作業装置であって当該支持部材を自動交換可能なものであれば、如何なる作業装置に適用してもよい。

　本開示は、基板支持部材用アタッチメントや、組付治具、印刷装置の製造産業などに利用可能である。

　１０　作業装置、１１　作業装置本体、２０　ヘッド装置、２１　ヘッド、２２　スキージ、２３　スキージ昇降装置、２４　プッシャ、２５　プッシャ昇降装置、２６　ヘッド移動装置、２７　Ｙ軸スライダ、２８　ガイドレール、２９　支持レール、３０　第２基板搬送支持装置、３１　コンベア装置、３２　基板ガイド、３３ｂ　ベースフレーム、３３ｓ　サイドフレーム、３５　コンベア昇降装置、３６　テーブル、３７　支持部材昇降装置、４０　第２基板搬送支持装置、４１　コンベア装置、４２　基板ガイド、４３ｂ　ベースフレーム、４３ｓ　サイドフレーム、４５　コンベア昇降装置、４６　テーブル、４７　支持部材昇降装置、５０　交換装置、５１ａ　左側ユニット、５１ｂ　右側ユニット、５２　ラック支持部材、５３　ラック昇降装置、５４　枠前後移動装置、６０　収容ラック、６１　支持レール、６２　開口部、７０　搬送治具、７１　枠体、７２　第１アーム部材、７３　アーム本体、７４　第１係合部材、７５　第２アーム部材、７６　第２係合部材、８０　基板支持部材、９０　基板支持部材用アタッチメント、９１　第１アタッチメント部材、９１ａ　第１アタッチメント部材本体、９１ｂ　第１レール部材、９１ｃ　第２レール部材、９１ｄ，９１ｆ　被取付部、９２　第２アタッチメント部材、９２ａ　第２アタッチメント部材本体、９２ｂ　第１レール部材、９２ｃ　第２レール部材、９２ｄ，９２ｆ　被取付部、９３　第１連結部材、９３ａ　第１ピン部材、９４　第２連結部材、９４ａ　第２ピン部材、１００　制御装置、１１０　組付治具、１１１　載置台、１１２　第１位置決め部材、１１３　第２位置決め部材、１１４　第１移動部、１１５　第１スライダ、１１６　第１ブロック、１１７　第２移動部、１１８　第２スライダ、１１９　第２ブロック、１２０　長穴、１２１　長穴、１２２　第１クランプ機構、１２３　第２クランプ機構、１９０　基板支持部材用アタッチメント、１９１　第１アタッチメント部材、１９２　第２アタッチメント部材、１９３　第３アタッチメント部材、１９３ａ　第１ピン部材、１９４ａ　第２ピン部材、２００　管理装置、２１２　第１位置決め部材、２１３　第２位置決め部材、Ｂ　ネジ、Ｇ１１，Ｇ１２，Ｇ２１，Ｇ２２　長溝、Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２１，Ｈ２２　ネジ穴、Ｌ　中心線、Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ２１，Ｌ２２　長穴、Ｍ　スクリーンマスク、Ｐ１　，Ｐ２　パターン孔、Ｓ　基板、ＳＣ　目盛。

Claims (5)

1. 　基板を支持する基板支持部材を搬送治具に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントであって、
   　前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、
   　前記基板支持部材の前記一辺に対向する他辺側に取り付けられる第２支持部材と、
   　前記第１支持部材と前記第２支持部材とを両者の間隔を調整可能に連結する連結部と、
   　前記搬送治具により保持される被保持部と、
   　を備える基板支持部材用アタッチメント。
2. 　請求項１に記載の基板支持部材用アタッチメントであって、
   　前記第１支持部材は、第１支持部材本体と、前記第１支持部材本体の両端部から直交する方向に延在する一対の第１延在部とを有し、
   　前記第２支持部材は、第２支持部材本体と、前記第２支持部材本体の両端部から直交する方向に延在する一対の第２延在部とを有し、
   　前記連結部は、前記一対の第１延在部の一方と前記一対の第２延在部の一方とを連結する第１連結部材と、前記一対の第１延在部の他方と前記一対の第２延在部の他方とを連結する第２連結部材と、を有する、
   　基板支持部材用アタッチメント。
3. 　基板を支持する基板支持部材を搬送治具の対向する一対の保持部に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントにおいて、前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、前記基板支持部材の前記一辺側に対向する他辺側に取り付けられる第２支持部材と、前記第１支持部材の一端部と前記第２支持部材の一端部とを連結すると共に前記搬送治具における前記一対の保持部のうち一方の保持部に保持される第１被保持部が形成される第１連結部材と、前記第１支持部材の他端部と前記第２支持部材の他端部とを連結すると共に前記搬送治具における前記一対の保持部のうち他方の保持部に保持される第２被保持部が形成される第２連結部材と、を備える基板支持部材用アタッチメントの組付治具であって、
   　前記第１被保持部を前記一方の保持部に保持される第１位置に位置決めするように前記第１連結部材を着脱可能に保持する第１位置決め部材と、
   　前記第２被保持部を前記他方の保持部に保持される第２位置に位置決めするように前記第２連結部材を着脱可能に保持する第２位置決め部材と、
   　前記第１位置および前記第２位置を通る中心線に平行になるように前記第１支持部材を支持すると共に前記中心線に直交する直交方向に移動可能な第１移動部と、
   　前記中心線に対して前記第１移動部とは反対側に前記中心線に平行になるように前記第２支持部材を支持すると共に前記中心線に直交する直交方向に移動可能な第２移動部と、
   　を備える基板支持部材用アタッチメントの組付治具。
4. 　請求項３に記載の基板支持部材用アタッチメントの組付治具であって、
   　前記第１位置決め部材、前記第２位置決め部材、前記第１移動部および前記第２移動部が載置される載置台と、
   　前記載置台に対して前記第１移動部を移動可能範囲内の任意の位置に固定する第１固定部と、
   　前記載置台に対して前記第２移動部を移動可能範囲内の任意の位置に固定する第２固定部と、
   　基板支持部材用アタッチメントの組付治具。
5. 　基板を支持する基板支持部材を搬送治具の対向する一対の保持部に保持させて対基板作業機に搬送するにあたり、前記基板支持部材に取り付けられる基板支持部材用アタッチメントであって、
   　前記基板支持部材の一辺側に取り付けられる第１支持部材と、
   　前記基板支持部材の前記一辺に対向する他辺に取り付けられる第２支持部材と、
   　前記第１支持部材と前記第２支持部材との間に取り付けられ、前記第１支持部材と前記第２支持部材の延在方向に沿って延在する第３支持部材と、
   　前記第３支持部材の延在方向における両端部に設けられ、前記搬送治具の前記一対の保持部によって保持される一対の被保持部と、
   　を備える基板支持部材用アタッチメント。

Images