WO2024117283A1 - Zt 스테이지 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 상부에 놓이는 척의 상하운동 및 회전운동이 가능한 ZT스테이지로서, 베이스, 상기 베이스의 상부에 설치되는 보이스코일모터를 포함하는 승강모듈, 상기 베이스의 상부에 설치되는 중력보상기, 상기 베이스의 상부에 원통형상으로 형성되고, 원통형상의 외주면에 상기 보이스코일모터에 각각 안착되는 돌출부, 상기 중력보상기가 각각 체결되는 연결부가 형성되는 무버본체, 상기 무버본체의 내부에 형성되어 상기 척의 회전운동을 유도하는 DD모터 및 상기 DD모터의 회전력을 상기 척에 전달하는 서포트 기구물을 포함하되, 상기 승강모듈은 보이스코일모터를 상기 베이스와 연결시키는 제1지지체, 상기 보이스코일모터와 연결되어 승하강하는 승강하우징, 상기 승강하우징의 상부에 형성되는 구면베어링, 상기 구면베어링에 체결되어 상기 무버본체의 돌출부와 연결되는 폴(pole), 상기 폴의 상부에 연결되어 상기 돌출부에 체결되는 디스크 및 상기 폴의 일단에 체결되어 상기 무버본체와 폴을 결합시키는 고정핀을 포함한다.

Description

ZT 스테이지

본 발명은 ZT 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 틸팅이 가능한 ZT 스테이지에 관한 것이다.

디바이스의 제조공정 또는 디바이스의 측정공정에 있어서, 워크를 지지하는 테이블을 가지는 테이블 장치가 사용된다. 테이블 장치는, 테이블을 이동하며, 테이블에 지지된 워크의 위치를 결정한다. 특허문헌 1, 2, 3 및 특허문헌 4에 개시되어 있는 바와 같이 X축방향, Y축방향, 및 θZ방향(ZT방향)의 3개의 방향으로 테이블을 이동 가능한 테이블 장치가 알려져 있다.

일반적으로 이동 가능한 테이블 장치는 X축방향과 Y축방향의 평면으로 이동가능하도록 하는 XY스테이지 상에 ZT방향으로 상승하강하면서 회전이 가능한 ZT스테이지가 결합된 형태이다.

이동 가능한 테이블 장치는 반도체 웨이퍼를 가공하거나 검사하는 등의 정밀한 공정을 수행한다. 정밀한 공정을 수행하기 위해서 스테이지를 제어하는 시스템은 무엇보다 중요하다.

특히, 정밀한 제어를 위한 스테이지의 경량화, 시스템 특성의 개선 등은 최근 450mm웨이퍼의 양산개시가 현실화 되면서 무엇보다 중요한 문제가 되었다.

본 발명의 목적은 정밀한 위치 및 자세제어가 가능한 ZT스테이지를 제공하는데 있으며, 특히, 틸팅이 가능한 ZT스테이지를 제공하는데 있다.

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 상부에 놓이는 척의 상하운동 및 회전운동이 가능한 ZT스테이지로서, 베이스, 상기 베이스의 상부에 설치되는 보이스코일모터를 포함하는 승강모듈, 상기 베이스의 상부에 설치되는 중력보상기, 상기 베이스의 상부에 원통형상으로 형성되고, 원통형상의 외주면에 상기 보이스코일모터에 각각 안착되는 돌출부, 상기 중력보상기가 각각 체결되는 연결부가 형성되는 무버본체, 상기 무버본체의 내부에 형성되어 상기 척의 회전운동을 유도하는 DD모터 및 상기 DD모터의 회전력을 상기 척에 전달하는 서포트 기구물을 포함하되, 상기 승강모듈은 보이스코일모터를 상기 베이스와 연결시키는 제1지지체, 상기 보이스코일모터와 연결되어 승하강하는 승강하우징, 상기 승강하우징의 상부에 형성되는 구면베어링, 상기 구면베어링에 체결되어 상기 무버본체의 돌출부와 연결되는 폴(pole), 상기 폴의 상부에 연결되어 상기 돌출부에 체결되는 디스크 및 상기 폴의 일단에 체결되어 상기 무버본체와 폴을 결합시키는 고정핀을 포함한다.

실시예로서, 상기 승강모듈은 베이스에 고정되어 상기 승강하우징의 승하강을 유도하는 제2지지체 및 상기 승강하우징과 제2지지체에 부착되어 상기 승강하우징의 움직임을 유도하는 크로스롤러 가이드를 더 포함한다.

실시예로서, 상기 승강모듈은 상기 무버본체의 승하강 위치를 측정하는 엔코더, 상기 승강하우징에 부착되는 스케일 및 상기 베이스에 부착되어 상기 엔코더를 지지하는 제3지지체를 더 포함한다.

실시예로서, 상기 중력보상기는 상기 베이스의 상부에 형성되는 에어실린더, 상기 에어실린더에 체결되고, 상부일단이 상기 무버본체의 연결부에 결합하는 피스톤 축 및 상기 피스톤 축에 체결되어 상기 무버본체와 나사결합하는 결합핀을 포함한다.

실시예로서, 상기 베이스에 형성되며, 상기 에어실린더에 공기를 주입하는 공기주입구가 형성된다.

실시예로서, 상기 베이스는 알루미늄 재질이며, 상기 베이스의 상부면과 하부면을 관통하는 복수개의 천공이 형성된다.

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 틸팅이 가능하다.

또한, 정밀한 위치 및 자세제어가 가능하고, 스케일에 의한 정밀한 측정이 가능하다.

비교적 경량화된 ZT스테이지로 구동이 용이하고, 워크피스(workpiece)의 정밀한 가공이 가능하다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지의 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 승강부재의 사시도이다.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명한다. 그러나 특허출원의 범위가 이러한 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 반도체 공정에서 사용되는 계측, 검사장비용 스테이지에 탑재되는 장치일 수 있다. ZT스테이지는 평면상을 이동하는 XY스테이지와는 달리 스테이지 위에 놓여 있는 워크피스(workpiece)를 상하로 이동시키고, Z축을 중심으로 회전시키는 스테이지이다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 틸팅이 가능하여 워크피스를 기울이거나 편평도를 유지하게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지의 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 승강모듈의 사시도이다.

도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 상부에 놓이는 척(10)의 상하운동 및 회전운동이 가능한 ZT스테이지로서, 베이스(100), 상기 베이스(100)의 상부에 설치되는 보이스코일모터(200)를 포함하는 승강모듈(20), 상기 베이스(100)의 상부에 설치되는 중력보상기(300), 상기 베이스(100)의 상부에 원통형상으로 형성되고, 원통형상의 외주면에 상기 보이스코일모터(200)에 각각 안착되는 돌출부(410), 상기 중력보상기(300)가 각각 체결되는 연결부(420)가 형성되는 무버본체(400), 상기 무버본체(400)의 내부에 형성되어 상기 척(10)의 회전운동을 유도하는 DD모터(500) 및 상기 DD모터(500)의 회전력을 상기 척(10)에 전달하는 서포트 기구물(600)을 포함한다.

본 발명의 실시예에 따른 상기 승강모듈(20)은 보이스코일모터(200)를 상기 베이스(100)와 연결시키는 제1지지체(210), 상기 보이스코일모터(200)와 연결되어 승하강하는 승강하우징(220), 상기 승강하우징(220)의 상부에 형성되는 구면베어링(700), 상기 구면베어링(700)에 체결되어 상기 무버본체(400)의 돌출부(410)와 연결되는 폴(pole, 710), 상기 폴(710)의 상부에 연결되어 상기 돌출부(410)에 체결되는 디스크(720) 및 상기 폴(710)의 일단에 체결되어 상기 무버본체(400)와 폴(710)을 결합시키는 고정핀(730)을 포함한다.

베이스(100)는 ZT스테이지의 하부에 배치되며, 상기 베이스(100)의 상부면에 아래 설명하게 될 상하운동을 위한 추력을 제공하는 보이스코일 모터(200), 중력보상기(300) 등이 견고하게 부착된다. 이러한 스테이지의 구성부품이 설치되기 위해서 베이스(100)의 상부면과 하부면을 관통하는 볼트체결홀(110)이 형성될 수 있다.

베이스(100)는 ZT스테이지의 경량화를 위해서 알루미늄 재질로 구성될 수 있으며, 스테이지의 구성부품이 설치되지 않는 평면에는 베이스(100)에 가해지는 횡력, 수직력 등에 강성이 확보될 수 있도록 다각형 또는 원형형상의 천공(120)이 형성될 수 있다. 나아가 베이스(100)에 형성되는 천공(120)은 회전력에 대한 균형을 유지시키기 위해서 중심점을 기준으로 서로 대칭되도록 형성되는 것이 바람직하다.

보이스코일모터(200)는 앞서 설명한 베이스(100)의 상부에 설치된다. 보다 상세하게 보이스코일모터(200)는 제1지지체를 매개로 베이스(100)와 연결될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 3개의 보이스코일모터(200)가 베이스(100)의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 설치된다. 보이스코일모터(200)는 일반적으로 정밀하게 선형운동 가능한 모터로서, 자력을 갖는 입체형상의 중심 외경에 코일이 감긴 이동체가 놓인다.

본 발명의 실시예에 따른 보이스코일모터(200)는 코일에 전류를 인가하면 자력에 의해서 코일이 감긴 이동체(미도시)가 상승 또는 하강하게 되는데, 코일에 입력되는 전류값에 의해서 상승 또는 하강 속도, 가속도 등을 조절할 수 있는 선형모터이다.

3개의 보이스코일모터(200)는 ZT스테이지의 중심에 놓이게 되는 무버본체(400)의 돌출부(410)에 안착되어 무버본체(400)를 상승, 하강시킨다. 무버본체(400)에 대한 상세한 설명은 하기한다.

중력보상기(300)는 베이스(100)의 상부에 결합, 설치된다. 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 3개의 중력보상기(300)가 베이스(100)의 중심을 기준으로 서로 대칭되도록 설치된다.

중력보상기(300)는 베이스(100)의 상부에 형성되는 에어실린더(302), 상기 에어실린더(302)에 체결되고 상부일단이 무버본체(400)의 연결부(420)에 결합하는 피스톤 축(303) 및 상기 피스톤 축(303)에 체결되어 무버본체(400)와 나사결합하는 결합핀(305)을 포함한다.

에어실린더(302)는 가공부재 등의 중량으로 인해 가해지는 압력을 보상해주는 기능을 수행한다. 에어실린더(302)의 하부에는 별도의 공기주입구가 마련되어, 공기압의 조절이 가능하다.

중력보상기(300)는 무버본체(400) 및 무버본체(400)에 탑재되는 DD모터(500) 등 상승과 하강을 반복하는 구성부품과 척(10)에 탑재되는 웨이퍼와 같은 가공부재의 중량으로 인하여 무버본체(400)가 하강하는 것을 보상한다.

또한, 척(10)에 탑재되는 가공부재의 중량이 골고루 분포되어 있지 않을 경우 무버본체(400)가 기울어진 상태로 공정이 진행될 수 있으나, 중력보상기(300)를 통해서 가공부재의 평형을 유지시킬 수 있다.

무버본체(400)는 하부가 개방되고 상부의 중심 일부가 개방된 형태의 원통형상으로 보이스코일모터(200)에 의해서 상승, 하강하는 구성부품이다. 무버본체(400)의 내부에는 회전력을 제공하는 DD모터(500)가 삽입되며, DD모터(500)의 상부에 척(10)이 안착되는 서포트 기구물(600)이 체결된다.

본 발명의 실시예에 따른 원통형상의 무버본체(400) 외주면에는 3개의 보이스코일모터(200)에 각각 안착되는 돌출부(410)와 3개의 중력보상기(300)가 각각 체결되는 연결부(420)가 형성된다.

DD모터(Direct Drive Motor, 500)는 회전력을 제공하는 장치로서, 별도의 감속기나 기어의 연결 없이 회전한다. DD모터(500)는 원판형 단면을 갖는 고정부(미도시)와, 상기 고정부와 회전자(미도시)가 베어링(미도시)으로 연결되어 있으며, 회전자의 외측에는 스테이터(stator)와 영구자석(rotor)이 구비되어 있어 스테이터에 전류가 가해지면 자력에 의해 발생한 추력으로 회전자를 회전시킨다.

DD모터(500)는 1회전당 수백만 단계의 분해능이 가능한 정밀제어용 모터로 종류에 따라 엔코더와 리저버(resolver)가 적용될 수도 있다.

서포트 기구물(600)은 DD모터(500)의 회전력을 가공부재가 안착되는 척(10)에 전달한다. 서포트 기구물(600)은 3개의 암(arm, 610)이 원형상의 중심바디(620)에 연결되는 구조를 갖는다. 서포트 기구물(600)은 경량의 플라스틱 또는 금속재질일 수는 있으나 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지의 틸팅을 담당하는 승강모듈(20)은 앞서 언급한 바와 같이 제1지지체(210), 승강하우징(220), 구면베어링(700), 폴(710), 디스크(720), 고정핀(730)을 포함한다. 또한, 베이스(100)에 고정되어 승강하우징(220)의 승하강을 유도하는 제2지지체(230) 및 승강하우징(220)과 제2지지체(230)에 부착되어 승강하우징의 움직임을 유도하는 크로스롤러 가이드(800)를 포함한다.

제1지지체(210)는 보이스코일 모터(200)를 베이스(100)와 연결시킨다. 상세하게는 보이스코일 모터(200)의 고정자가 제1지지체(210)에 고정될 수 있다. 제1지지체(210)는 베이스(100)에 견고하게 결합되어 보이스코일 모터(200)의 움직임을 방지한다.

승강하우징(220)은 보이스 코일 모터(200)와 연결된다. 도 2에 도시된 바와 같이 승강하우징(220)은 보이스 코일 모터(200)를 양쪽으로 감싸듯이 위치하고, 보이스코일 모터(200)의 상단에 승강하우징(220)이 연결되어 보이스코일 모터(200)의 이동자의 승하강시에 함께 이동한다.

구면베어링(700)은 승강하우징(220)의 상부에 형성된다. 보다 상세하게는 보이스코일 모터(200)의 상부와 승강하우징(220)이 연결되는 선상에 구면베어링(700)의 중심이 연결된다. 구면베어링(700)은 내부에 원형의 체결홈(미도시)이 형성되고 주변으로 원형베어링(미도시) 등이 다수 형성되어 있어 체결홈에 체결된 후술하게 될 폴(pole, 미도시)이 원호를 그리듯이 움직일 수 있도록 한다.

구면베어링(700)의 중심에 형성되는 원형의 체결홈에 체결되는 폴(미도시)은 호리병 형상으로 구모양의 일단과 봉형상의 타단으로 구성될 수 있으나 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

디스크(720)는 폴의 상부에 연결되어 돌출부(410)에 체결된다. 보다 상세하게는 돌출부(410)에 형성되는 디스크홈(미도시)에 디스크(720)가 삽입되어 폴과 함께 무버본체(400)와 결합한다. 또한, 폴과 무버본체(400)는 고정핀(730)으로 고정된다. 디스크(720)는 Z축을 중심으로 회동하도록 형성되는데, 보이스코일 모터(200)의 승하강에 따른 yaw방향으로의 회전노이즈를 필터링하여 무버본체(400)에 전달되지 않도록 한다.

도 2에 도시된 바와 같이 구면베어링(700)이 보이스코일 모터(200)의 상부에 형성됨으로 인하여 보이스코일 모터(200)가 상승, 하강할 때 구면베어링(700)은 Z축운동을 하는 것이 아니라 폴에 의해서 원호운동을 할 수 있도록 유도된다.

구체적으로 3축 보이스코일 모터(200)가 같은 높이로 상승하게 될 경우는 무버본체(400)는 Z축으로 상승하게 된다. 그러나 3축 보이스 코일 모터(200)가 서로 다른 높이로 상승하거나 또는 상승과 하강 동작이 동시에 유도되는 경우 중심축을 기준으로 무버본체(400)는 틸팅할 수밖에 없는데, 틸팅시에 폴(710)이 원호운동을 함으로서 무버본체(400)의 변형이 일어나지 않고 정밀한 제어가 가능하게 된다.

제2지지체(230)는 제1지지체(210)와 같은 재질로 이루어져 있으며, 베이스(100)에 고정되고, 승강하우징(220)의 승하강을 유도한다. 본 발명의 실시예에 따른 제2지지체(230)는 승강하우징(220)의 양측에 설치되며, 2개의 전용레일을 포함하는 크로스롤러 가이드(800)의 한 개의 전용레일은 길이방향으로 승강하우징(220)에 부착되고, 제2지지체(230)에는 승강하우징에 설치되어 있는 전용레일과 대응되는 위치에 나머지 하나의 전용레일이 설치되어 승강하우징(230)의 승하강시에 Z축을 따라 움직일 수 있도록 유도한다.

크로스 롤러 가이드(800)는 2개의 전용레일이 서로 평행하게 연결되고, 전용레일 사이에 롤러(또는 볼)와 롤러케이지(또는 볼 케이지)로 구성된다. 특히 크로스 롤러 가이드(800)는 상하좌우 방향의 부하에 대응할 수 있으며, 예압을 간단하게 부여할 수 있어 클리어런스가 없고 강성이 높다.

본 발명의 실시예에 따른 ZT스테이지는 무버본체(400)의 승하강 위치를 측정하는 엔코더(240), 승강하우징에 부착되는 스케일(250), 베이스(100)에 부착되어 엔코더(240)를 지지하는 제3지지체(280)를 포함한다.

엔코더(240)는 도 3에 도시된 바와 같이 승강하우징(220)의 일면을 향하도록 설치되어 승강하우징(220)의 승하강 위치를 측정한다. 본 발명의 실시예에 따른 엔코더(240)는 광학식 엔코더 또는 자기식 엔코더일 수 있으며, 두 종류의 엔코더는 물리적인 환경으로부터 피드백을 제공한다는 점에서 원리는 동일하나 광학식 엔코더는 피드백을 위한 물리적 신호를 광으로 한다는 점에서 자기식 엔코더와 구별될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 엔코더(240)는 Z축으로 직선운동을 하는 승강하우징(220)의 위치와 속도정보를 가지고 움직임을 카운터 또는 제어장치가 읽을 수 있는 전기적인 신호로 출력한다.

엔코더(240)는 정밀 스테이지의 위치를 피드백하여 제어하는데 필수적인 센서장치로서 본 발명의 실시예에 따른 엔코더(240)는 2열의 슬릿이 일렬로 배열된 스케일(250)에 광을 조사함으로서 반사되는 광신호인 펄스신호를 카운팅하는 방식으로 위치 등을 산출할 수도 있다.

스케일(250)은 승강하우징(220)에 부착되고 앞서 설명한 엔코더(240)와 서로 대응되는 위치에 설치된다.

엔코더(240)는 베이스(100)에 부착되어 고정되어 있는 제3지지체(280)에 고정되어 설치된다.

본 발명의 실시예에 따른 스케일(250)이 승강하우징(220)에 부착됨으로서, 실제 무버본체(400)가 틸팅을 하는 경우에도 스케일(250)의 왜곡이 발생하지 않아 무버본체(400)의 기울어진 틸팅각도를 정확하게 산출할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성 요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성 요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (6)

1. 상부에 놓이는 척의 상하운동 및 회전운동이 가능한 ZT스테이지로서,

   베이스;

   상기 베이스의 상부에 설치되는 보이스코일모터를 포함하는 승강모듈;

   상기 베이스의 상부에 설치되는 중력보상기;

   상기 베이스의 상부에 원통형상으로 형성되고, 원통형상의 외주면에 상기 보이스코일모터에 각각 안착되는 돌출부, 상기 중력보상기가 각각 체결되는 연결부가 형성되는 무버본체;

   상기 무버본체의 내부에 형성되어 상기 척의 회전운동을 유도하는 DD모터; 및

   상기 DD모터의 회전력을 상기 척에 전달하는 서포트 기구물을 포함하되,

   상기 승강모듈은

   보이스코일모터를 상기 베이스와 연결시키는 제1지지체;

   상기 보이스코일모터와 연결되어 승하강하는 승강하우징;

   상기 승강하우징의 상부에 형성되는 구면베어링;

   상기 구면베어링에 체결되어 상기 무버본체의 돌출부와 연결되는 폴(pole);

   상기 폴의 상부에 연결되어 상기 돌출부에 체결되는 디스크; 및

   상기 폴의 일단에 체결되어 상기 무버본체와 폴을 결합시키는 고정핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.
2. 제1항에 있어서,

   상기 승강모듈은

   베이스에 고정되어 상기 승강하우징의 승하강을 유도하는 제2지지체; 및

   상기 승강하우징과 제2지지체에 부착되어 상기 승강하우징의 움직임을 유도하는 크로스롤러 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.
3. 제2항에 있어서,

   상기 승강모듈은

   상기 무버본체의 승하강 위치를 측정하는 엔코더;

   상기 승강하우징에 부착되는 스케일; 및

   상기 베이스에 부착되어 상기 엔코더를 지지하는 제3지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.
4. 제1항에 있어서,

   상기 중력보상기는 상기 베이스의 상부에 형성되는 에어실린더;

   상기 에어실린더에 체결되고, 상부일단이 상기 무버본체의 연결부에 결합하는 피스톤 축; 및

   상기 피스톤 축에 체결되어 상기 무버본체와 나사결합하는 결합핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.
5. 제4항에 있어서,

   상기 베이스에 형성되며, 상기 에어실린더에 공기를 주입하는 공기주입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.
6. 제1항에 있어서,

   상기 베이스는 알루미늄 재질이며, 상기 베이스의 상부면과 하부면을 관통하는 복수개의 천공이 형성되는 것을 특징으로 하는 ZT스테이지.

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