WO2024117050A1

WO2024117050A1 - 弾性波装置及びフィルタ装置

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Publication number: WO2024117050A1
Application number: PCT/JP2023/042232
Authority: WO
Inventors: 健太郎中村; 拓也薮
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2022-11-28
Filing date: 2023-11-24
Publication date: 2024-06-06

Abstract

弾性波装置は、圧電体層上に、互いに対向している第１のバスバー及び第２のバスバー及び複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指を有するＩＤＴ電極と、複数の反射器電極指を有する１対の反射器とを備え、前記複数の第２の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線、前記複数の第１の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線とし、前記ＩＤＴ電極における、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線の間の領域が交叉領域であり、前記圧電体層が伝搬軸を有し、平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、曲線状の部分を含み、平面視における前記複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含み、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち少なくとも一方が、前記伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ延びる方向が変化している少なくとも１つの折れ曲がり部を有することにより、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

Description

弾性波装置及びフィルタ装置

　本発明は、弾性波装置及びフィルタ装置に関する。

　従来、弾性波装置が、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上にＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ　Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極が設けられている。ＩＤＴ電極の複数の電極指の形状は、曲線の形状を含む。より具体的には、各電極指が、ＩＤＴ電極が交叉する領域の中央から、共通電極に至るまで、曲線に沿って延びている。

国際公開第２０１１／１０８２２９号

　特許文献１に記載された弾性波装置のＩＤＴ電極においては、複数の電極指が延びる方向における中央の部分の電極指ピッチが、該方向における端部の電極指ピッチよりも狭い。そのため、不要波の応答を抑制する効果が得られる。しかしながら、弾性波のエネルギーの漏洩を十分に抑制することができず、Ｑ値を十分に高めることができない。

　本発明の目的は、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる、弾性波装置及びフィルタ装置を提供することにある。

　本発明に係る弾性波装置は、圧電体層を含む圧電性基板と、前記圧電体層上に設けられており、１対のバスバー及び複数の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように設けられており、複数の反射器電極指をそれぞれ有する、１対の反射器とを備え、前記１対のバスバーが、互いに対向している第１のバスバー及び第２のバスバーであり、前記複数の電極指が、複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指であり、前記複数の第１の電極指の一方端がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２の電極指の一方端がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が互いに間挿し合っており、前記複数の第２の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線、前記複数の第１の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線とし、前記ＩＤＴ電極における、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線の間の領域が交叉領域であり、前記圧電体層が伝搬軸を有し、平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、曲線状の部分を含み、平面視における前記複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含み、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち少なくとも一方が、前記伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ延びる方向が変化している少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。

　本発明に係るフィルタ装置のある広い局面では、複数の弾性波共振子が備えられており、少なくとも１つの前記弾性波共振子が、本発明に従い構成されている弾性波装置である。

　本発明に係るフィルタ装置の他の広い局面では、複数の弾性波共振子が備えられており、少なくとも２つの前記弾性波共振子が、本発明に従い構成されている弾性波装置であり、２つの前記弾性波装置の前記第１のバスバー同士が接続されている。

　本発明に係るフィルタ装置のさらに他の広い局面では、複数の弾性波共振子が備えられており、少なくとも２つの前記弾性波共振子が、本発明に従い構成されている弾性波装置であり、２つの前記弾性波装置の前記第２のバスバー同士が接続されている、フィルタ装置。

　本発明に係る弾性波装置及びフィルタ装置によれば、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２は、図１中の二点鎖線により示される基準線に沿う模式的断面図である。図３は、本発明の第１の実施形態におけるＩＤＴ電極の構成を説明するための、ＩＤＴ電極における１つのセグメントの模式的平面図である。図４は、従来の弾性波装置の模式的平面図である。図５は、第１の参考例の弾性波装置の模式的平面図である。図６は、比較例の弾性波装置の模式的平面図である。図７は、本発明の第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、インピーダンス周波数特性を示す図である。図８は、本発明の第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、周波数及びＱ値の関係を示す図である。図９は、本発明の第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、位相特性を示す図である。図１０は、第２の参考例の弾性波装置を説明するための模式的平面図である。図１１は、折れ曲がり部間の電極指の対数が１０対または２０対である場合の、包絡線の傾斜角度と、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値との関係を示す図である。図１２は、包絡線の傾斜角度が５°、１０°または１５°である場合の、折れ曲がり部間の電極指の対数と、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値との関係を示す図である。図１３は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例における第１のオフセット電極付近を示す模式的平面図である。図１４は、第１の圧電性基板及び第２の圧電性基板を伝搬する弾性波の逆速度面を示す図である。図１５は、第１の圧電性基板における、縦波、速い横波、遅い横波の逆速度面を示す図である。図１６は、本発明の第１の実施形態及び第２の変形例におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、デューティ比との関係を示す図である。図１７は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例におけるＩＤＴ電極の構成を説明するための、ＩＤＴ電極における１つのセグメントの模式的平面図である。図１８は、本発明の第１の実施形態の第４の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図１９は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２０は、本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２１は、本発明の第４の実施形態におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、電極指ピッチの変化率Δｐｉｔｃｈとの関係を示す図である。図２２は、本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２３は、本発明の第６の実施形態におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、電極指の厚みとの関係を示す図である。図２４は、本発明の第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図２５は、本発明の第７の実施形態においての、誘電体膜が覆っているＩＤＴ電極の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、誘電体膜の厚みとの関係を示す図である。図２６は、本発明の第７の実施形態の変形例においての、誘電体膜が覆っているＩＤＴ電極の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、誘電体膜の厚みとの関係を示す図である。図２７は、本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図２８は、本発明の第８の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図２９は、本発明の第８の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３０は、本発明の第９の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３１は、本発明の第１０の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３２は、本発明の第１０の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３３は、本発明の第１０の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３４は、本発明の第１０の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。図３５は、本発明の第１１の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。図３６は、本発明の第１１の実施形態における直列腕共振子同士が接続されている部分を示す、模式的平面図である。図３７は、本発明の第１１の実施形態の第１の変形例における直列腕共振子同士が接続されている部分を示す、模式的平面図である。図３８は、本発明の第１１の実施形態の第２の変形例における直列腕共振子同士が接続されている部分を示す、模式的平面図である。図３９は、本発明の第１１の実施形態の第３の変形例における直列腕共振子同士が接続されている部分を示す、模式的平面図である。図４０は、本発明の第１の実施形態の第５の変形例におけるＩＤＴ電極の一部を拡大して示す模式的平面図である。図４１は、本発明の第１の実施形態の第６の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４２は、本発明の第１２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４３（ａ）～図４３（ｄ）は、第１の包絡線における第１の線部分及び第２の線部分において規定される角度を説明するための模式図である。図４４は、本発明の第１２の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４５は、本発明の第１２の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極の、第１のエッジ領域付近及び第２のエッジ領域付近を示す模式的平面図である。図４６は、本発明の第１３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４７は、本発明の第１３の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４８は、本発明の第１３の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。図４９は、本発明の第１３の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２は、図１中の二点鎖線により示される基準線に沿う模式的断面図である。

　図１及び図２に示すように、弾性波装置１は圧電性基板２を有する。圧電性基板２は圧電性を有する基板である。具体的には、図２に示すように、圧電性基板２は、支持部材３と、圧電体層６とを有する。より具体的には、支持部材３は、支持基板４と、中間層５とを有する。中間層５は第１の層５ａ及び第２の層５ｂを含む。支持基板４上に第１の層５ａが設けられている。第１の層５ａ上に第２の層５ｂが設けられている。第２の層５ｂ上に圧電体層６が設けられている。なお、圧電性基板２の層構成は上記に限定されない。例えば、中間層５は単層の誘電体膜であってもよい。あるいは、圧電性基板２は、圧電体層６のみからなる基板であってもよい。

　弾性波装置１の圧電体層６の材料としては、圧電単結晶が用いられている。圧電体層６において、伝搬軸はＸ伝搬の方向である。伝搬軸は、図１に示す基準線Ｎと平行に延びている。基準線Ｎについては後述する。

　圧電体層６は、第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂを有する。第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂは互いに対向している。第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂのうち第２の主面６ｂが、支持基板４側に位置している。圧電体層６の第１の主面６ａにはＩＤＴ電極８が設けられている。

　図１に示すように、ＩＤＴ電極８は、１対のバスバーと、複数の電極指とを有する。１対のバスバーは、具体的には、第１のバスバー１４及び第２のバスバー１５である。第１のバスバー１４及び第２のバスバー１５は互いに対向している。複数の電極指は、具体的には、複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７である。複数の第１の電極指１６の一方端がそれぞれ、第１のバスバー１４に接続されている。複数の第２の電極指１７の一方端がそれぞれ、第２のバスバー１５に接続されている。なお、複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７はそれぞれ、基端部及び先端部を含む。第１の電極指１６の基端部は、第１のバスバー１４に接続されている部分である。第２の電極指１７の基端部は、第２のバスバー１５に接続されている部分である。複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７は、互いに間挿し合っている。

　ＩＤＴ電極８は、さらに、複数のオフセット電極を有する。複数のオフセット電極は、具体的には、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９である。複数の第１のオフセット電極１８の一方端がそれぞれ、第１のバスバー１４に接続されている。第１の電極指１６及び第１のオフセット電極１８は、交互に並んでいる。複数の第２のオフセット電極１９の一方端がそれぞれ、第２のバスバー１５に接続されている。第２の電極指１７及び第２のオフセット電極１９は交互に並んでいる。

　複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７と同様に、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９はそれぞれ、基端部及び先端部を含む。第１の電極指１６及び第１のオフセット電極１８の基端部は、第１のバスバー１４に接続されている部分である。第２の電極指１７及び第２のオフセット電極１９の基端部は、第２のバスバー１５に接続されている部分である。第１の電極指１６の先端部と、第２のオフセット電極１９の先端部とが、ギャップを隔てて対向している。一方で、第２の電極指１７の先端部と、第１のオフセット電極１８の先端部とが、ギャップを隔てて対向している。なお、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９は、必ずしも設けられていなくともよい。

　以下においては、第１の電極指１６及び第２の電極指１７を、単に電極指と記載することがある。第１のオフセット電極１８及び第２のオフセット電極１９を、単にオフセット電極と記載することがある。第１のバスバー１４及び第２のバスバー１５を、単にバスバーと記載することがある。オフセット電極のピッチあるいはデューティ比は、例えば、後述する交叉領域におけるＩＤＴ電極８の電極指ピッチあるいはデューティ比と異なっていてもよい。

　弾性波装置１のＩＤＴ電極８においては、電極指ピッチは一定である。電極指ピッチとは、隣り合う第１の電極指１６及び第２の電極指１７の中心間距離である。電極指ピッチをｐとしたときに、電極指ピッチｐにより規定される波長λは、λ＝２ｐである。

　図１に示すように、複数の第２の電極指１７の先端を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線Ｅ１、複数の第１の電極指１６の先端を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線Ｅ２とする。第１の包絡線Ｅ１は、伝搬軸に対して傾斜している複数の部分を有する。そして、第１の包絡線Ｅ１は複数の折れ曲がり部Ｖ１を有する。より具体的には、折れ曲がり部とは、包絡線が延びる方向が変化している部分である。本実施形態では、第１の包絡線Ｅ１の形状は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士が直線により結ばれた、波状の形状である。なお、第１の包絡線Ｅ１の形状は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士が曲線により結ばれた、波状の形状であってもよい。

　同様に、第２の包絡線Ｅ２も、伝搬軸に対して傾斜している複数の部分を有する。第２の包絡線Ｅ２は複数の折れ曲がり部Ｖ２を有する。第２の包絡線Ｅ２の形状は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ２同士が直線により結ばれた、波状の形状である。なお、第２の包絡線Ｅ２の形状は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ２同士が曲線により結ばれた、波状の形状であってもよい。

　これらのように、本実施形態では、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２の双方が、複数の折れ曲がり部を有する。もっとも、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２のうち少なくとも一方が、少なくとも１つの折れ曲がり部を有していればよい。

　第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２の間の領域が交叉領域Ｄである。より具体的には、複数の電極指のうち、複数の電極指が並ぶ方向における一方端の電極指と、他方端の電極指と、第１の包絡線Ｅ１と、第２の包絡線Ｅ２とに囲まれた領域が、交叉領域Ｄである。よって、第１の包絡線Ｅ１は、交叉領域Ｄの第１のバスバー１４側の端縁部に相当する。第２の包絡線Ｅ２は、交叉領域Ｄの第２のバスバー１５側の端縁部に相当する。交叉領域Ｄにおいては、電極指が並ぶ方向、つまり第１の包絡線Ｅ１または第２の包絡線Ｅ２が延びる方向から見たときに、隣り合う電極指同士が重なり合っている。

　圧電体層６上には１対の反射器９Ａ及び反射器９Ｂが設けられている。反射器９Ａ及び反射器９Ｂは、ＩＤＴ電極８の複数の電極指が並んでいる方向において、ＩＤＴ電極８を挟み互いに対向している。反射器９Ａは１対の反射器バスバー９ａ及び反射器バスバー９ｂと、複数の反射器電極指９ｃとを有する。反射器バスバー９ａ及び反射器バスバー９ｂは互いに対向している。複数の反射器電極指９ｃの一方端は、反射器バスバー９ａに接続されている。複数の反射器電極指９ｃの他方端は、反射器バスバー９ｂに接続されている。同様に、反射器９Ｂは１対の反射器バスバー９ｄ及び反射器バスバー９ｅと、複数の反射器電極指９ｆとを有する。

　本実施形態においては、平面視における複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７の形状は、曲線状の形状を含む。同様に、平面視における反射器９Ａの複数の反射器電極指９ｃの形状、及び反射器９Ｂの複数の反射器電極指９ｆの形状はそれぞれ、曲線状の形状を含む。より具体的には、平面視における各電極指及び各反射器電極指の形状は、円弧の形状である。本明細書において平面視とは、図２における上方に相当する方向から見ることをいう。図２においては、例えば、支持基板４側及び圧電体層６側のうち、圧電体層６側が上方である。もっとも、複数の電極指及び複数の反射器電極指の形状は上記に限定されない。平面視における複数の電極指の形状が、交叉領域Ｄにおいて、曲線状の形状を含んでいればよい。平面視における複数の反射器電極指の形状が、曲線状の形状を含んでいればよい。

　本実施形態の特徴は、以下の１）～３）の構成を有することにある。１）平面視における複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７の形状がそれぞれ、交叉領域Ｄにおいて、曲線状の部分を含むこと。２）平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含むこと。３）第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有すること。なお、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２のうち少なくとも一方が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有していればよい。弾性波装置１が上記の構成を有することにより、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。これを以下において説明する。

　第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２がそれぞれ、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有することにより、主モードを導波路内に閉じ込めることができる。よって、主モードの漏洩を抑制することができる。これにより、Ｑ値を高めることができる。さらに、横モードを抑制することもできる。

　そして、ＩＤＴ電極８の複数の電極指の平面視における形状が、交叉領域Ｄにおいて曲線状の部分を含む。これにより、横モード及び通過帯域外の不要波を効果的に抑制することができる。本明細書において、弾性波装置における通過帯域外とは、共振周波数よりも低域側、及び反共振周波数よりも高域側をいう。

　ＩＤＴ電極８の複数の電極指と共に、複数の反射器電極指の平面視における形状も、曲線状の形状の部分を含む。それによって、主モードの漏洩を効果的に抑制することができ、Ｑ値を効果的に高めることができる。

　加えて、第１の包絡線Ｅ１または第２の包絡線Ｅ２が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有するため、各電極指の先端と、各オフセット電極との間のギャップは、伝搬軸に対して傾斜して並んでいる。これにより、横モードを効果的に抑制することができる。さらに、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２がそれぞれ、折れ曲がり部を有する。それによって、Ｑ値をより一層高めることができる。

　以下において、本実施形態のさらなる詳細を説明すると共に、本実施形態の効果をより詳細に説明する。

　ＩＤＴ電極８は第１の包絡線Ｅ１の折れ曲がり部Ｖ１を通る電極指を境界として、複数のセグメントを有する。複数のセグメントは、伝搬軸が延びる方向に並んでいる。図１においては、模式的に４つのセグメントを示している。図３において、１つのセグメントを例として、ＩＤＴ電極８の構成の詳細を説明する。

　図３は、第１の実施形態におけるＩＤＴ電極の構成を説明するための、ＩＤＴ電極における１つのセグメントの模式的平面図である。

　ＩＤＴ電極８の複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。そのため、複数の電極指の形状における円弧を含む円の中心は一致している。

　複数の電極指の形状における弧を含む円または楕円の楕円係数をα２／α１としたときに、本実施形態における楕円係数α２／α１は１である。なお、複数の電極指の形状における弧を含む形状が楕円である場合、楕円係数α２／α１は１以外となる。α１は、該楕円の長軸及び短軸のうち、交叉領域Ｄを通る軸の方向に沿う寸法に相当する。α２は、該楕円の長軸及び短軸のうち、交叉領域Ｄを通らない軸の方向に沿う寸法に相当する。なお、ｒを任意の定数としたときに、ＸＹ平面における楕円係数の式として、（ｘ／α１）^２＋（ｙ／α２）^２＝ｒ^２として表わすことができる。

　複数の電極指の形状における円弧を含む円の中心を定点Ｃとしたときに、本実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１の延長線及び第２の包絡線Ｅ２の延長線はいずれも、定点Ｃを通らない。そのため、定点Ｃ及び第１の包絡線Ｅ１を通る直線は、第１の包絡線Ｅ１と平行ではない。同様に、定点Ｃ及び第２の包絡線Ｅ２を通る直線は、第２の包絡線Ｅ２と平行ではない。

　上述したように、伝搬軸は、基準線Ｎと平行に延びている。ここで、伝搬軸は弾性波の伝搬軸である。本実施形態では、基準線Ｎは、交叉領域Ｄ及び定点Ｃを通る直線のうち、伝搬軸と平行に延びる直線である。定点Ｃを通る直線と基準線Ｎとがなす角の角度をθ_Ｃとする。定点Ｃを通る直線は無数に存在するが、図３では、該直線の例を示している。本明細書においては、角度θ_Ｃの正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とする。より具体的には、第２のバスバー１５側から第１のバスバー１４側に向かう方向が上記正の方向である。

　ＩＤＴ電極８に交流電圧を印加することにより、交叉領域Ｄにおいて弾性波が励振される。なお、交叉領域Ｄは、定点Ｃを通る無数の直線上に位置するそれぞれの部分を有する。図３には、定点Ｃ及び交叉領域Ｄを通る無数の直線のうちの一例として、直線Ｍが示されている。例えば、交叉領域Ｄにおける直線Ｍ上に位置する部分において、弾性波が励振される。定点Ｃ及び交叉領域Ｄを通る、図示しない無数の直線上に位置する部分においてもそれぞれ、弾性波が励振される。すなわち、弾性波装置１は、直線Ｍ上に位置する励振部、及び他の図示しない無数の直線上に位置する励振部を有する。

　定点Ｃ及び励振部を通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度が、上記角度θ_Ｃである。また、定点Ｃ及び交叉領域Ｄにおける励振部を通る直線、並びに電極指の交点における弾性波の励振方向と、基準線Ｎとがなす角の角度を励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}とする。基準線Ｎが通る励振部においては、角度θ_Ｃ及び励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}は０°である。それぞれの励振部間においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が互いに異なるため、弾性波の伝搬特性が互いに異なる。これに対して、本実施形態では、全ての励振部の共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、複数の励振部間において、デューティ比が互いに異ならされている。なお、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が同じ励振部間においては、デューティ比は同じである。ＩＤＴ電極８が上記のように構成されているため、共振特性が劣化し難い。もっとも、デューティ比は一定であっても構わない。

　ここで、励振部における角度θ_Ｃと励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}とは略一致している。以下においては、角度θ_Ｃ及び励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}のうち、いずれか一方の角度を取り上げて、本発明の構成の詳細などを記載することがある。もっとも、角度θ_Ｃ及び励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}の間には、作用及び効果を覆すような影響を及ぼす程の差はないことを指摘しておく。なお、楕円係数α２／α１が１のとき、すなわち電極指の形状が円弧となる場合には、角度θ_Ｃ及び励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}は等しくなる。

　本明細書において、一方の周波数及び他方の周波数が略一致しているとは、双方の周波数の差の絶対値が、基準周波数に対して１０％以下であることをいう。なお、基準周波数とは、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°のときの周波数のことである。交叉領域Ｄにおいて、主モードの最も高い共振周波数、及び最も低い共振周波数の差の絶対値が、基準周波数に対して２％以下であることが好ましく、１％以下であることがより好ましい。あるいは、交叉領域Ｄにおいて、主モードの最も高い反共振周波数、及び最も低い反共振周波数の差の絶対値が、基準周波数に対して２％以下であることが好ましく、１％以下であることがより好ましい。それによって、共振特性をより一層確実に良好にすることができる。

　弾性波装置１のＩＤＴ電極８においては、電極指ピッチは一定である。そのため、電極指ピッチにより規定される波長をλとしたとき、ＩＤＴ電極８における波長λは、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}によらず一定である。

　第１の包絡線Ｅ１における折れ曲がり部Ｖ１、及び定点Ｃを通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度θ_Ｃを、第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}とする。ｋは自然数である。第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}は、それぞれの折れ曲がり部Ｖ１について定義することができる。具体的には、定点Ｃに近い方の折れ曲がり部Ｖ１から順番に、第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}におけるｋを１、２、３…とする。このように、定点Ｃに近い折れ曲がり部Ｖ１に係る第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}ほど、ｋの数値が小さいものとする。なお、図３に示すＩＤＴ電極８のセグメントにおいては、例として、第１の交叉角度を、θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｍ}及びθ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｍ＋１}としている。ｍは自然数である。

　同様に、第２の包絡線Ｅ２における折れ曲がり部Ｖ２、及び定点Ｃを通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度θ_Ｃを、第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｋ}とする。定点Ｃに近い折れ曲がり部Ｖ２に係る第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｋ}ほど、ｋの数値が小さいものとする。なお、図３に示すＩＤＴ電極８のセグメントにおいては、例として、第２の交叉角度をθ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｎ}及びθ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｎ＋１}としている。ｎは自然数である。

　上記のように、本実施形態では、定点Ｃ及び第２の電極指１７の先端を結ぶ直線は、第１の包絡線Ｅ１と平行ではない。そのため、θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｍ}≠θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｍ＋１}である。同様に、定点Ｃ及び第１の電極指１６の先端を結ぶ直線は、第２の包絡線Ｅ２と平行ではない。そのため、θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｎ}≠θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｎ＋１}である。

　図１に戻り、平面視における、反射器９Ａの複数の反射器電極指９ｃの形状、及び反射器９Ｂの複数の反射器電極指９ｆの形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。複数の反射器電極指９ｃ及び複数の反射器電極指９ｆの形状における円弧を含む円の中心は、定点Ｃと一致している。なお、各反射器電極指の形状は、励振部におけるＩＤＴ電極８の電極指の形状と異なる曲線あるいは直線の形状であってもよい。各反射器の反射器電極指ピッチあるいはデューティ比などのパラメータは、励振部におけるＩＤＴ電極８の電極指のパラメータと異なっていてもよい。なお、反射器電極指ピッチとは、隣り合う反射器電極指同士の中心間距離である。各反射器の反射器電極指は、励振部におけるＩＤＴ電極８の電極指の形状と異なるパターンにより構成されていてもよい。

　ところで、弾性波が励振される方向は、以下の３種の方向のうちいずれかである。第１種目の方向としては、電極指が延びる方向と垂直な方向である。第２種目の方向としては、隣接する電極指間の最短距離を結ぶ方向である。第３種目の方向としては、電極指間に生じる電界ベクトルと平行な方向である。

　なお、各電極指は、平面視において、基端部及び先端部を接続している１対の端縁部を含む。そして、両端縁部は曲線状の形状を有する。本明細書においては、特に断りのない限り、電極指が延びる方向は以下の通りである。まず、電極指の任意の部分において、両端縁部を結ぶように、本発明における基準線と平行な仮想線を引いた場合、該仮想線上に位置する部分の重心を、該仮想線における代表点とする。電極指には、無数の仮想線を引くことができ、無数の代表点が存在する。これらの代表点同士を結んだ曲線の接線が延びる方向を、電極指が延びる方向とする。電極指における位置毎に、電極指が延びる方向は異なることとなる。例えば、交叉領域が複数の曲線領域を含み、かつ曲線領域毎に異なる基準線を有する場合には、仮想線を引く曲線領域の基準線が延びる方向を、該仮想線が延びる方向とすればよい。

　図４に示す、従来の弾性波装置１０１では、弾性波の励振方向は、上記における３種の方向のいずれにおいても同一の方向となる。一方で、図３に示す本実施形態では、曲線領域において、平面視における電極指の形状は、定点Ｃを中心とする円弧である。この場合には、弾性波が励振される方向は、上記における第１種目の方向である。すなわち、弾性波が励振される方向は、電極指が延びる方向と垂直の方向により表される。

　上述したように、圧電体層６において、伝搬軸はＸ伝搬の方向である。なお、伝搬軸は、Ｘ伝搬の方向だけでなく、９０°Ｘ伝搬の方向、あるいは、ＩＤＴ電極８の電極指が延びる方向のうちいずれかに対して垂直となる方向であってもよい。基準線Ｎは、必ずしも伝搬軸と平行に延びていなくともよい。

　以下において、第１の実施形態、第１の参考例及び比較例を比較することにより、第１の実施形態の効果を具体的に示す。

　第１の参考例は、図５に示すように、第１の包絡線Ｅ１０１及び第２の包絡線Ｅ１０２がいずれも伝搬軸に対して傾斜していない点において第１の実施形態と異なる。第１の実施形態、第１の参考例及び比較例において、インピーダンス周波数特性、周波数及びＱ値の関係、並びに位相特性を比較した。

　比較例の弾性波装置は、図６に示すように、従来の傾斜型の弾性波装置である。比較例の弾性波装置１０３においては、ＩＤＴ電極１０８、反射器１０９Ａ及び反射器１０９Ｂの各電極指は直線状である。第１のバスバー及び第２のバスバーは、複数の電極指が延びる方向と直交する方向に対して、傾斜して延びている。ＩＤＴ電極１０８においては、交叉領域は平行四辺形状である。

　なお、第１の実施形態の弾性波装置１の設計パラメータは、以下の通りである。ここで、オフセット電極の基端部及び先端部を結ぶ方向に沿う寸法をオフセット電極の長さとする。電極指の先端部及びオフセット電極の先端部の間のギャップの、該電極指及び該オフセット電極が対向する方向に沿う寸法を、ギャップ長とする。第１の実施形態では、第２の電極指の先端部及び第１のオフセット電極の先端部の間におけるギャップ、並びに第１の電極指の先端部及び第２のオフセット電極の先端部の間におけるギャップのギャップ長は同じである。

　支持基板４；材料…Ｓｉ、面方位…（１００）、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるψ…４５°
　第１の層５ａ；材料…ＳｉＮ、厚み…０．４５λ
　第２の層５ｂ；材料…ＳｉＯ_２、厚み…０．３３６５λ
　圧電体層６；材料…回転Ｙカット５０°Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ_３、厚み…０．３λ
　ＩＤＴ電極８；材料…Ａｌ、厚み…０．０７λ、
　ＩＤＴ電極８の電極指の対数；１００対
　電極指の形状における楕円係数α２／α１；１
　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿１}；７．５°
　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿２}；３°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿１}；３°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿２}；４°
　第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２の伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値；１０°
　波長λ；２μｍ
　デューティ比；励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部において０．５
　第１のオフセット電極１８及び第２のオフセット電極１９の長さ；３．５λ
　ギャップ長；０．１３５λ
　反射器９Ａ及び反射器９Ｂ；反射器電極指の対数…２０対

　第１の参考例においては、第１の包絡線Ｅ１０１及び第２の包絡線Ｅ１０２の伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が０°である点以外においては、設計パラメータは第１の実施形態と同様である。

　他方、比較例においては、複数の電極指が延びる方向を電極指延伸方向とし、交叉領域の電極指延伸方向に沿う寸法を交叉幅とする。比較例の弾性波装置のＩＤＴ電極１０８における交叉幅は２５λである。ＩＤＴ電極１０８の電極指の対数は１００対であり、反射器１０９Ａ及び反射器１０９Ｂの反射器電極指の対数はそれぞれ２０対である。ＩＤＴ電極１０８においては、デューティ比は０．５である。各バスバーが、電極指延伸方向と直交する方向に対して傾斜している角度は、７．５°である。

　図７は、第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、インピーダンス周波数特性を示す図である。図８は、第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、周波数及びＱ値の関係を示す図である。図９は、第１の実施形態、第１の参考例及び比較例における、位相特性を示す図である。

　図７に示すように、第１の実施形態、第１の参考例及び比較例においては、共振特性に大差はない。もっとも、図７には示されていないが、第１の参考例においては、共振周波数及び反共振周波数の間に横モードが生じている。これに対して、第１の実施形態では、横モードが抑制されている。これは、第１の実施形態において、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜している部分を有することによる。さらに、図８に示すように、第１の実施形態では、第１の参考例よりもＱ値が高いことがわかる。

　図９に示すように、比較例においては、大きな不要波が生じている。なお、図９に示す不要波はレイリー波である。第１の実施形態においては、比較例よりも、不要波が抑制されていることがわかる。なお、第１の参考例においても、比較例よりも不要波が抑制されている。これらは、第１の実施形態及び第１の参考例においては、平面視における複数の電極指の形状が、交叉領域において曲線状の形状を有することによる。

　以上のように、第１の実施形態においては、不要波を抑制することと、Ｑ値を高めることとを両立することができる。これは、第１の実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がり部を有することによる。この詳細を、第２の参考例を参照して、以下において説明する。

　図１０において模式的に示す第２の参考例の弾性波装置は、第１の包絡線及び第２の包絡線が、折れ曲がり部を有しない点において、第１の実施形態と異なる。なお、図１０中の一点鎖線Ｅｘ１０１は、第１の包絡線の延長線及び第１の包絡線を含む仮想線である。一点鎖線Ｅｘ１０２は、第２の包絡線の延長線及び第２の包絡線を含む仮想線である。第２の参考例では、第１の包絡線及び第２の包絡線が伝搬軸に対して傾斜している。

　一般に、弾性波装置の共振特性を良好にするためには、ＩＤＴ電極の電極指の対数が多くされる。そして、弾性波装置においては、通常、主モードにおけるそれぞれの成分の特性のうち、伝搬軸が延びる方向に伝搬する成分の特性が最も良好である。図１０中に示す二点鎖線Ｎ１０１は、伝搬軸が延びる方向において、主モードが伝搬する部分を示す。具体的には、二点鎖線Ｎ１０１は、曲線状の電極指が延びる方向の法線方向が、伝搬軸が延びる方向と平行となる部分を示す仮想線である。

　第２の参考例においてＱ値を高め、共振特性を良好にするために、例えば、図１０中の破線に示す部分まで電極指を多くすることが考えられる。しかしながら、この場合には、ＩＤＴ電極は、二点鎖線Ｎ１０１上に位置しない電極指を多く含むことになる。すなわち、ＩＤＴ電極における、伝搬軸が延びる方向において主モードが伝搬しない部分の割合が大きくなることとなる。この場合、Ｑ値を十分に高くすることは困難となる。

　一方で、第１の実施形態においては、図１中の基準線Ｎ上の部分が、伝搬軸が延びる方向において、主モードが伝搬する部分である。弾性波装置１においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がり部を有する。それによって、伝搬軸が延びる方向において、主モードが伝搬する部分の割合を多くすることができる。従って、Ｑ値を効果的に高くすることができる。

　なお、全ての電極指のうち５０％以上の電極指が、該電極指が延びる方向の法線方向と、伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含むことが好ましい。全ての電極指のうち８０％以上の電極指が、該電極指が延びる方向の法線方向と、伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含むことがより好ましい。それによって、Ｑ値をより確実に高くすることができる。なお、第１の実施形態においては、全ての電極指が、該電極指が延びる方向の法線方向と、伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含む。よって、Ｑ値をより一層確実に、効果的に高めることができる。

　第１の実施形態のように、第１の包絡線Ｅ１が複数の折れ曲がり部Ｖ１を有することが好ましい。それによって、より一層多い本数の電極指において、該電極指が延びる方向の法線方向と、伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含む構成とすることができる。従って、Ｑ値をより確実に高くすることができる。

　図１に示すように、第２の包絡線Ｅ２が複数の折れ曲がり部Ｖ２を有する波状の形状であり、かつ第１の包絡線Ｅ１と同じ方向に折れ曲がっていることが好ましい。具体的には、第１の包絡線Ｅ１は、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように第１の包絡線Ｅ１が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１を有する。同様に、第２の包絡線Ｅ２は、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２を有する。これらの、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１及び折れ曲がり部Ｖ２が、伝搬軸と直交する方向に並んでいることが好ましい。

　さらに、第１の包絡線Ｅ１は、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように第１の包絡線Ｅ１が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１を有する。同様に、第２の包絡線Ｅ２は、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２を有する。これらの、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１及び折れ曲がり部Ｖ２が、伝搬軸と直交する方向に並んでいることが好ましい。

　上記のように、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が同じ方向に折れ曲がっている場合には、交叉領域Ｄの伝搬軸と直交する方向に沿う寸法の変化が小さい。それによって、弾性波を安定して伝搬させることができる。従って、主モードの特性を良好にすることができる。

　ここで、図１に示す第１の実施形態において、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２の条件を異ならせて、横モードによる周波数特性に対する影響を比較した。具体的には、第１の包絡線Ｅ１の折れ曲がり部Ｖ１間の電極指の対数、及び第１の包絡線Ｅ１の伝搬軸に対する傾斜角度を異ならせる毎に、横モードによる影響を評価した。なお、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２においては、折れ曲がり部間の電極指の対数、及び伝搬軸に対する傾斜角度は同じとした。以下においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２の伝搬軸に対する傾斜角度を、単に包絡線の傾斜角度と記載することがある。

　横モードによる影響の評価は、具体的には、共振周波数及び反共振周波数の間の帯域内において、２ＭＨｚの積分波形（２ＭＨｚのＡｎｙＲｉｐｐｌｅ）における最大値により評価した。該最大値が小さいほど、横モードが抑制され、Ｑ値が高くなる。

　図１１は、折れ曲がり部間の電極指の対数が１０対または２０対である場合の、包絡線の傾斜角度と、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値との関係を示す図である。図１２は、包絡線の傾斜角度が５°、１０°または１５°である場合の、折れ曲がり部間の電極指の対数と、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値との関係を示す図である。なお、図１１中及び図１２中の二点鎖線は、上記最大値が最小となる条件の、該最大値を示している。

　図１１に示すように、包絡線の傾斜角度の絶対値が大きくなるほど、横モードの影響が小さくなることがわかる。一方で、図１２に示すように、折れ曲がり部間の電極指の対数が多くなるほど、横モードの影響が小さくなることがわかる。

　図１に示す第１の包絡線Ｅ１における、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士の間に、複数の電極指が２０対以上設けられており、かつ第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が５．５°以上であることが好ましい。それによって、図１１に示すように、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値を０．１ｄＢ以下とすることができる。折れ曲がり部Ｖ１間の電極指の対数が２０対以上であり、かつ第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が７°以上であることがより好ましい。それによって、上記最大値を０．０５ｄＢ以下とすることができる。折れ曲がり部Ｖ１間の電極指の対数が２０対以上であり、かつ第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が１０°以上であることがさらに好ましい。それによって、上記最大値を最小の値とすることができる。これらの場合、横モードを効果的に抑制することができ、かつＱ値を効果的に高くすることができる。

　第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が１０°以上であり、かつ第１の包絡線Ｅ１における、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１の間に、複数の電極指が７対以上設けられていることが好ましい。それによって、図１２に示すように、横モードの２ＭＨｚの積分波形における最大値を０．１ｄＢ以下とすることができる。第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が１０°以上であり、かつ第１の包絡線Ｅ１における、折れ曲がり部Ｖ１間の電極指の対数が１０対以上であることがより好ましい。それによって、上記最大値を０．０５ｄＢ以下とすることができる。第１の包絡線Ｅ１が伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における傾斜角度の絶対値が１０°以上であり、かつ第１の包絡線Ｅ１における、折れ曲がり部Ｖ１間の電極指の対数が２０対以上であることがさらに好ましい。それによって、上記最大値を最小の値とすることができる。これらの場合、横モードを効果的に抑制することができ、かつＱ値を効果的に高くすることができる。

　ところで、図１に示すように、ＩＤＴ電極８が、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９を有することが好ましい。それによって、交叉領域Ｄから各バスバー側に向かい伝搬した主モードを、交叉領域Ｄ側に反射させることができる。これにより、主モードのロスを低減することができ、主モードの特性を良好にすることができる。

　平面視における複数の第１のオフセット電極１８の形状が、曲線状の形状を有することが好ましい。この場合には、第１のオフセット電極１８の形状を、第１のオフセット電極１８において反射される主モードの周波数と一致した条件の形状にすることができる。よって、主モードを反射する反射効率を高めることができる。従って、主モードの特性を効果的に良好にすることができる。同様に、平面視における第２のオフセット電極１９の形状が、曲線状の形状を有することが好ましい。

　なお、平面視における複数のオフセット電極の形状は、曲線状の形状を有していなくともよい。例えば、図１３に示す第１の実施形態の第１の変形例においては、平面視における複数の第１のオフセット電極１８Ａの形状は直線状の形状を有する。図示しないが、平面視における複数の第２のオフセット電極の形状も直線状の形状を有する。この場合には、第１のオフセット電極１８Ａの先端部から第１のバスバー１４までの距離を短くすることができる。同様に、第２のオフセット電極の先端部から第２のバスバーまでの距離を短くすることができる。それによって、ＩＤＴ電極の電気抵抗を低下させることができる。従って、弾性波装置をフィルタ装置に用いた場合において、直列抵抗成分によって挿入損失が大きくなることを抑制できる。加えて、第１の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　図１に戻り、第１の実施形態においては、平面視における第１のバスバー１４の、第１の包絡線Ｅ１側の部分の形状は、波状の形状である。第１のバスバー１４と、第１の包絡線Ｅ１との間の、伝搬軸と直交する方向における距離が一定である。さらに、複数の第１のオフセット電極１８の長さが一定である。第２の電極指１７の先端部及び第１のオフセット電極１８の先端部の間におけるギャップのギャップ長も一定である。このように、第１の包絡線Ｅ１の形状に合わせて、第１のオフセット電極１８を長くせずして、上記ギャップ長を一定にすることができている。それによって、ＩＤＴ電極８の電気抵抗を高くせずして、主モードの漏洩をより確実に抑制することができる。

　同様に、第２のバスバー１５と、第２の包絡線Ｅ２との間の、伝搬軸と直交する方向における距離は一定である。複数の第２のオフセット電極１９の長さは一定である。第１の電極指１６の先端部及び第２のオフセット電極１９の先端部の間におけるギャップのギャップ長も一定である。それによって、ＩＤＴ電極８の電気抵抗を高くせずして、主モードの漏洩をより確実に抑制することができる。

　第１の実施形態では、弾性波の伝搬特性が、各励振部において互いに異なることを利用することによって、不要波の抑制などの効果を得る。以下において、この詳細を説明する。もっとも、第１の実施形態のＩＤＴ電極８の構成は一例であって、本発明におけるＩＤＴ電極の構成は、以下の構成に限定されるものではない。

　弾性波の位相速度は励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に対する依存性を有し、基板の構成に応じて固有の特性を示す。なお、位相速度の逆数は、逆速度面に相当する。よって、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}と位相速度との関係は、圧電性基板の逆速度面と概ね等しい。そこで、図１４において、層構成が互いに異なる圧電性基板の逆速度面の例を示す。一方の圧電性基板は、回転Ｙカット４２°Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ_３（ＬＴ）のみからなる基板である。この基板を第１の圧電性基板とする。他方の圧電性基板は、圧電体層／支持基板の貼り合せ基板である。この基板を第２の圧電性基板とする。第２の圧電性基板は、より具体的には、面方位が（１００）であるシリコン基板、酸化ケイ素膜及びタンタル酸リチウム層がこの順序において積層された基板である。シリコン基板の面方位が（１１０）あるいは（１１１）などのその他の面方位であっても、逆速度面の凹凸の形状は変わらない。

　図１４は、第１の圧電性基板及び第２の圧電性基板を伝搬する弾性波の逆速度面を示す図である。

　図１４に示すｘ軸は、伝搬軸に平行であるときの結果に相当する。すなわち、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°であるときの結果に相当する。第１の圧電性基板及び第２の圧電性基板における逆速度面は、いずれもｘ軸を対称軸とする線対称である。第１の圧電性基板における逆速度面は凹状の形状である。一方で、第２の圧電性基板における逆速度面は凸状の形状である。このように、基板を伝搬する弾性波の励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に対する依存性は、基板の構成によって異なることがわかる。さらに、弾性波のモードが異なる場合には、同じ基板における励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に対する依存性は異なる。これを図１５により示す。

　図１５は、第１の圧電性基板における、縦波、速い横波、遅い横波の逆速度面を示す図である。

　図１５に示すように、３種の弾性波のモードである、縦波、速い横波及び遅い横波の逆速度面は、互いに異なる。図１５中の矢印Ｌ１及びＬ２を通る部分はそれぞれ、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°以外である場合の結果の例に相当する。矢印Ｌ１を通る部分における遅い横波及び速い横波の逆速度面の間隔と、矢印Ｌ２を通る部分における遅い横波及び速い横波の逆速度面の間隔とは互いに異なる。同様に、矢印Ｌ１を通る部分における速い横波及び縦波の逆速度面の間隔と、矢印Ｌ２を通る部分における速い横波及び縦波の逆速度面の間隔とは互いに異なる。すなわち、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が互いに異なる励振部同士においては、異なるモード同士の逆速度面の間隔が異なる。これは、弾性波装置において利用する主モードと、不要波との関係でも同様である。

　この場合において、第１の実施形態の弾性波装置１では、主モードの共振周波数同士または反共振周波数同士を、全ての励振部において略一致させている。そのため、異なる励振部同士においては、不要波の周波数同士が互いに異なることとなる。それによって、通過帯域外の不要波及び横モードがそれぞれ分散される。従って、通過帯域外の不要波及び横モードを抑制することができる。

　なお、第１の実施形態においては、各励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致しているため、主モードが好適に励振される。よって、共振特性の劣化をより確実に抑制することができる。

　加えて、第１の実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１の隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士において、第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}が互いに異なる。同様に、第２の包絡線Ｅ２の隣り合う折れ曲がり部Ｖ２同士において、第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｋ}が互いに異なる。そのため、それぞれの電極指同士においては、電極指が含まれる励振部の励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}の範囲は互いに異なる。

　上記のように、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が互いに異なる励振部同士においては、主モード及び不要波の逆速度面の間隔が異なる。もっとも、第１の実施形態では、全ての励振部において、主モードの共振周波数または反共振周波数は略一致している。そして、第１の実施形態では、各電極指が含まれる励振部の励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}の範囲は互いに異なる。そのため、各電極指が位置する部分毎に、励振される不要波の周波数のばらつきの範囲が異なることとなる。よって、不要波を効果的に分散させることができる。従って、通過帯域外の不要波及び横モードを効果的に抑制することができる。

　上述したように、位相速度は、逆速度面の逆数に相当する。よって、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}と位相速度との関係は、図１５に示すような、圧電性基板のＸＹ面内の逆速度面と概ね等しい。すなわち、電極指の曲線状の形状を表す関数は、圧電性基板のＸＹ面内の逆速度面の形状によって決められるといえる。弾性波の位相速度は励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に対する依存性を有する。

　第１の実施形態では、周波数に影響するデューティ比を、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させることにより、それぞれの励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}において励振される弾性波の周波数を略一致させている。第１の実施形態における、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}及びデューティ比の関係を、図１６により示す。なお、デューティ比の最大値が第１の実施形態と異なる例も、第１の実施形態の第２の変形例として併せて示す。

　図１６は、第１の実施形態及び第２の変形例におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、デューティ比との関係を示す図である。

　第１の実施形態においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である場合に、デューティ比が最大値とされている。すなわち、第１の実施形態では、全ての励振部のうち、デューティ比が最も大きい励振部と、定点Ｃとを通る直線が、上記基準線Ｎである。なお、第１の実施形態においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°のとき、デューティ比は０．５である。そして、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、デューティ比が小さい。これにより、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。

　第２の変形例においても、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、デューティ比が小さい。なお、第２の変形例においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°のとき、デューティ比は０．６３４である。第２の変形例においても、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。加えて、第２の変形例においては、デューティ比以外の点においては、第１の実施形態と同様に構成されている。よって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、圧電性基板の逆速度面によって、デューティ比と各モードの周波数との関係は異なる。よって、圧電性基板の構成や、圧電性基板上の構成によっては、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほどデューティ比が大きいときに、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致する場合もある。この場合、全ての励振部のうち、デューティ比が最も小さい励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。この例としては、回転Ｙカット－４°Ｘ伝搬のＬｉＮｂＯ_３のみからなる基板上に設けられたＩＤＴ電極を、厚みが厚いＳｉＯ_２膜に埋め込んだ弾性波装置などを挙げることができる。あるいは、基準線Ｎが通る、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部において、デューティ比が最大または最小とは、必ずしもならない。

　図１に戻り、第１の実施形態の、平面視における複数の第１のオフセット電極１８の形状、及び複数の第２のオフセット電極１９の形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９の形状における円弧を含む円の中心は、定点Ｃと一致している。平面視における、反射器９Ａの複数の反射器電極指９ｃの形状、及び反射器９Ｂの複数の反射器電極指９ｆの形状もそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。複数の反射器電極指９ｃ及び複数の反射器電極指９ｆの形状における円弧を含む円の中心は、定点Ｃと一致している。もっとも、これに限定されるものではない。

　図１７は、第１の実施形態の第３の変形例におけるＩＤＴ電極の構成を説明するための、ＩＤＴ電極における１つのセグメントの模式的平面図である。

　本変形例のＩＤＴ電極８Ａにおいては、複数の電極指の平面視における形状は、楕円弧の形状を含む。具体的には、複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、重心が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。そして、焦点Ａ及び焦点Ｂの中点が定点Ｃである。言い換えれば、定点Ｃは、焦点Ａ及び焦点Ｂの重心である。なお、焦点Ａ及び焦点Ｂの重心は、焦点Ａ及び焦点Ｂを有する楕円の重心であるともいえる。複数の電極指の平面視における形状の楕円係数α１／α２は、１以外である。

　同様に、平面視における複数のオフセット電極の形状はそれぞれ、重心が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。複数のオフセット電極の形状における楕円弧を含む楕円の焦点の中点は、定点Ｃと一致している。言い換えれば、これらの楕円の焦点の重心は、定点Ｃと一致している。平面視における、各反射器の複数の反射器電極指の形状もそれぞれ、重心が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。各反射器の複数の反射器電極指の形状における楕円弧を含む楕円の焦点の中点は、定点Ｃと一致している。言い換えれば、これらの楕円の焦点の重心は、定点Ｃと一致している。

　本変形例においても、第１の実施形態と同様に、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。よって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　図１に戻り、第１の実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法は一定である。具体的には、上記周期に相当する寸法とは、連続する３つの折れ曲がり部Ｖ１のうち両端部の折れ曲がり部Ｖ１の間の距離における、伝搬軸が延びる方向の成分である。上記振幅に相当する寸法とは、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１の間の距離における、伝搬軸と直交する方向の成分である。なお、第１の包絡線Ｅ１においては、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではなくともよい。この場合には、横モードを効果的に抑制することができる。

　第２の包絡線Ｅ２の波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法も、第１の包絡線Ｅ１と同様に、定義することができる。第２の包絡線Ｅ２においても、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではなくともよい。

　第１の実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法は、いずれも同じである。もっとも、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が互いに異なっていてもよい。この場合には、横モードを効果的に抑制することができる。

　第１の実施形態においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２のそれぞれにおいて、傾斜角度の絶対値は一定である。なお、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２のそれぞれにおいては、傾斜角度の絶対値は一定ではなくともよい。

　本発明においては、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２のうち少なくとも一方が折れ曲がり部を有していればよい。例えば、図１８に示す第１の実施形態の第４の変形例においては、ＩＤＴ電極８Ｂの第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ１０２のうち、第１の包絡線Ｅ１のみが波状の形状を有する。第２の包絡線Ｅ１０２は直線状の形状を有する。第２のバスバー２５の、第２の包絡線Ｅ１０２側の部分の平面視における形状は、直線状の形状を有する。この場合においても、第１の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　ところで、図２に示すように、第１の実施形態においては、圧電性基板２は、支持基板４、中間層５の第１の層５ａ及び第２の層５ｂ、並びに圧電体層６の積層基板である。より詳細には、第１の実施形態における第１の層５ａは高音速膜である。高音速膜は相対的に高音速な膜である。より具体的には、高音速膜を伝搬するバルク波の音速は、圧電体層６を伝搬する弾性波の音速よりも高い。他方、第２の層５ｂは低音速膜である。低音速膜は相対的に低音速な膜である。より具体的には、低音速膜を伝搬するバルク波の音速は、圧電体層６を伝搬するバルク波の音速よりも低い。

　第１の実施形態では、圧電性基板２において、高音速膜、低音速膜及び圧電体層６がこの順序で積層されている。それによって、弾性波のエネルギーを圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。

　高音速膜の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、スピネル、サイアロンなどのセラミック、酸化アルミニウム、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ダイヤモンドなどの誘電体、もしくはシリコンなどの半導体、または上記材料を主成分とする材料を用いることができる。なお、上記スピネルには、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｎなどから選ばれる１以上の元素と酸素とを含有するアルミニウム化合物が含まれる。上記スピネルの例としては、ＭｇＡｌ_２Ｏ_４、ＦｅＡｌ_２Ｏ_４、ＺｎＡｌ_２Ｏ_４、ＭｎＡｌ_２Ｏ_４を挙げることができる。本明細書において主成分とは、占める割合が５０重量％を超える成分をいう。上記主成分の材料は、単結晶、多結晶、及びアモルファスのうちいずれかの状態、もしくは、これらが混在した状態で存在していてもよい。

　低音速膜の材料としては、例えば、ガラス、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化リチウム、酸化タンタル、もしくは酸化ケイ素にフッ素、炭素やホウ素を加えた化合物などの誘電体、または上記材料を主成分とする材料を用いることができる。

　圧電体層６の材料としては、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などを用いることができる。圧電体層６の材料として、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムが用いられることが好ましい。

　支持基板４の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライトなどのセラミック、ダイヤモンド、ガラスなどの誘電体、シリコン、窒化ガリウム、ガリウムヒ素などの半導体、もしくは樹脂、または上記材料を主成分とする材料を用いることができる。支持基板４には、高抵抗シリコンが用いられることが好ましい。支持基板４の材料の体積抵抗率は、１０００Ω・ｃｍ以上であることが望ましい。

　ＩＤＴ電極８の材料としては、例えばＴｉ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｗ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｃｒ及びＳｃからなる群から選択された１種以上の金属が用いられてもよい。各反射器にも、ＩＤＴ電極８と同様の材料を用いることができる。ＩＤＴ電極８及び各反射器は、単層の金属膜からなっていてもよく、積層金属膜からなっていてもよい。

　第１の実施形態においては、デューティ比を、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させることにより、全ての励振部の共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させている。なお、本発明においては、デューティ比などのパラメータの設定は特に限定されない。もっとも、周波数に影響するデューティ比、電極指ピッチ、電極指の厚み、圧電体層の厚み、圧電性基板内の中間層の厚みなどのパラメータを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させることが好ましい。圧電性基板上に、ＩＤＴ電極を覆うように誘電体膜が設けられている場合には、誘電体膜の厚みを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。上記のパラメータのうち複数のパラメータを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。これらのパラメータのうち少なくともいずれかが、全ての励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化していることが好ましい。それによって、共振特性をより確実に高めることができる。

　同様に、反射器９Ａ及び反射器９Ｂにおいても、デューティ比、反射器電極指ピッチ、反射器電極指の厚み、圧電体層の厚み、圧電性基板内の中間層の厚みなどのパラメータを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させることが好ましい。圧電性基板上に、反射器９Ａ及び反射器９Ｂを覆うように誘電体膜が設けられている場合には、誘電体膜の厚みを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。上記のパラメータのうち複数のパラメータを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。例えば、反射器９Ａ及び反射器９Ｂが、ＩＤＴ電極８の一部である場合を仮定してもよい。この場合において、上記のパラメータのうち少なくともいずれかが、全ての励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致する構成に相当するように、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化していることが好ましい。それによって、共振特性をより確実に高めることができる。

　なお、第１の実施形態及びその各変形例におけるＩＤＴ電極の形態はそれぞれ、本発明における一例である。本発明においては、平面視におけるＩＤＴ電極の複数の電極指の形状や、平面視における各反射器の複数の反射器電極指の形状は、どのような曲線の形状であってもよい。例えば、複数の電極指は、複数の定点が定義される形状であってもよい。この場合、交叉領域において、複数の電極指の平面視における形状は、異なる曲線同士が接続された形状であってもよい。あるいは、交叉領域において、複数の電極の平面視における形状は、曲線状の形状と共に、直線状の形状を含んでいてもよい。互いに異なる曲線同士が接続されている点、または曲線と直線とが接続されている点を変曲点としたときに、複数の電極指は、複数の変曲点を有していてもよい。複数の反射器電極指においても同様である。

　平面視における複数の電極指及び複数の反射器電極指の形状においての曲線は、微小なサイズの直線を接続して形成された形状であってもよい。あるいは、平面視における複数の電極指及び複数の反射器電極指の形状においての曲線は、必ずしも滑らかな曲線でなくともよい。

　第１の実施形態においては、各電極指の幅が連続的に変化している。もっとも、各電極指の幅は不連続的に変化していてもよい。この場合、例えば、各電極指が、複数の部分が接続された構成に相当する構成を有し、かつ異なる部分同士が接続された接続部において、接続された部分同士の幅が互いに異なっていればよい。各反射器電極指においても同様である。

　本発明においては、基準線は、上記定点を必ずしも通らなくともよい。基準線は、各電極指の平面視における形状の、曲線の局所的な領域において、それぞれ個別に定義することができる。この場合、基準線は、上記定点以外の原点を有する。もっとも、本発明に係る弾性波装置において、原点が互いに異なる複数の基準線が定義される場合においても、複数の基準線が延びる方向は平行であることが好ましい。

　弾性波装置１における反射器９Ａの反射器バスバー９ａ及び反射器バスバー９ｂは、伝搬軸と平行に延びている。同様に、反射器９Ｂの反射器バスバー９ｄ及び反射器バスバー９ｅは、伝搬軸と平行に延びている。もっとも、各反射器の各反射器バスバーは、伝搬軸に対して傾斜して延びていてもよい。

　以下において、第２の実施形態及び第３の実施形態を示す。第２の実施形態及び第３の実施形態の弾性波装置も、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　図１９は、第２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１のバスバー２４の第１の包絡線Ｅ１側の平面視における形状が直線状の形状を有する点、及び第２のバスバー２５の第２の包絡線Ｅ２側の平面視における形状が直線状の形状を有する点において、第１の実施形態と異なる。本実施形態は、複数の第１のオフセット電極１８の長さが一定ではない点、及び複数の第２のオフセット電極１９の長さが一定ではない点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　本実施形態においては、第１のバスバー２４における、複数の第１のオフセット電極１８の基端部が接続されている部分は、直線状の形状を有する。一方で、第１の包絡線Ｅ１は波状の形状とされている。そのため、上記のように、第１のオフセット電極１８の長さは一定ではない。それによって、主モードを反射させるための領域が広くなっている。これにより、主モードの漏洩を効果的に抑制することができる。同様に、複数の第２のオフセット電極１９側においても、主モードの漏洩を効果的に抑制することができる。従って、共振特性を良好にすることができる。

　図２０は、第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が互いに反対の方向に折れ曲がっている点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　具体的には、第１の包絡線Ｅ１は、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように第１の包絡線Ｅ１が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１を有する。第２の包絡線Ｅ２は、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２を有する。これらの、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１と、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２とが、伝搬軸と直交する方向に並んでいる。

　さらに、第１の包絡線Ｅ１は、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように第１の包絡線Ｅ１が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１を有する。第２の包絡線Ｅ２は、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように第２の包絡線Ｅ２が折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２を有する。これらの、第２のバスバー１５側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ１と、第１のバスバー１４側に向かい凸状となるように折れ曲がっている部分である折れ曲がり部Ｖ２とが、伝搬軸と直交する方向に並んでいる。

　ここで、横モードが生じる周波数や、横モードの強度は、交叉領域の伝搬軸と直交する方向に沿う寸法に依存する。そして、本実施形態においては、交叉領域の伝搬軸と直交する方向に沿う寸法が変化している。これにより、横モードが生じる周波数を分散させることができる。なお、本実施形態の交叉領域は、伝搬軸と直交する方向に沿う寸法が互いに異なるそれぞれの部分として分割することができる。これらの分割されたそれぞれの部分において、横モードが生じる。そのため、個別の部分において生じる横モードは小さい。よって、全体として、横モードの応答の大きさも小さくなる。従って、横モードを効果的に抑制することができる。

　本実施形態の第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿ｋ}及び第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿ｋ}の例を以下において示す。

　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿１}；７．５°
　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿２}；３°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿１}；７．５°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿２}；３°

　第１～第３の実施形態においては、デューティ比を調整することにより、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させている。もっとも、電極指ピッチを調整することにより、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させてもよい。この例を、第４の実施形態により示す。

　第４の実施形態は、ＩＤＴ電極において、デューティ比が一定であり、かつ電極指ピッチが一定でない点で第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　上記のように、ＩＤＴ電極において、デューティ比は一定である。具体的には、デューティ比は０．５である。基準線Ｎは、本実施形態では、全ての励振部のうち、電極指ピッチが最も広い励振部を通る直線である。そして、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、電極指ピッチが狭い。それによって、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。以下において、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、電極指ピッチとの関係を具体的に示す。ここで、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部における電極指ピッチをｐ０、任意の部分の電極指ピッチをｐ１、｛（ｐ１－ｐ０）／ｐ０｝×１００［％］を電極指ピッチの変化率Δｐｉｔｃｈ［％］とする。

　図２１は、第４の実施形態におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、電極指ピッチの変化率Δｐｉｔｃｈとの関係を示す図である。

　図２１に示すように、本実施形態では、ＩＤＴ電極における、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部においては、Δｐｉｔｃｈは０％である。そして、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、Δｐｉｔｃｈは負の方向に大きくなっている。すなわち、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、電極指ピッチが狭い。

　本実施形態の弾性波装置では、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、圧電性基板の逆速度面によって、電極指ピッチと各モードの周波数との関係は異なる。よって、圧電性基板の構成や、圧電性基板上の構成によっては、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど電極指ピッチが広いときに、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致する場合もある。この場合、全ての励振部のうち、電極指ピッチが最も狭い励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。この例としては、回転Ｙカット－４°Ｘ伝搬のＬｉＮｂＯ_３のみからなる基板上に設けられたＩＤＴ電極を、厚みが厚いＳｉＯ_２膜に埋め込んだ弾性波装置などを挙げることができる。あるいは、基準線Ｎが通る、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部において、電極指ピッチの値が最大または最小とは、必ずしもならない。

　図２２は、第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、ＩＤＴ電極３８の複数の電極指の形状が第１の実施形態と異なる。本実施形態は、反射器３９Ａ及び反射器３９Ｂにおける複数の反射器電極指の形状も第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　複数の第１の電極指３６及び複数の第２の電極指３７の平面視における形状はそれぞれ、変曲点を有する。上記のように、変曲点は、互いに異なる曲線同士が接続されている点、または曲線と直線とが接続されている点である。変曲点において、互いに異なる曲線同士が接続されている場合、曲線状の形状の方向が、変曲点を境界として、異なっている。曲線状の形状の方向が互いに異なるとは、例えば、曲線状の形状において、曲がる方向が互いに異なることをいう。より具体的には、例えば、図２２における左方向に凸となるように曲がっている場合と、右方向に凸となるように曲がっている場合とは、曲線状の形状の方向が互いに異なる。本実施形態においては、変曲点を境界として、２つの曲線状の形状が、互いに反転している。

　具体的には、複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、２つの円弧が接続された形状である。平面視において、複数の電極指の形状におけるそれぞれの一方の円弧は、複数の同心円におけるそれぞれの円弧である。そのため、複数の電極指の形状における円弧を含む円の中心は一致している。これらの円の中心を１つ目の定点として定義することができる。平面視において、複数の電極指の形状におけるそれぞれの他方の円弧も、複数の同心円におけるそれぞれの円弧である。これらの円の中心を２つ目の定点と定義することができる。このように、本実施形態では、２つの定点が定義される。２つの定点は、ＩＤＴ電極３８を挟み互いに対向している。

　このように、平面視における複数の第１の電極指３６及び複数の第２の電極指３７の形状がそれぞれ、交叉領域Ｄにおいて、第１の電極指３６及び第２の電極指３７の曲がる方向が異なる少なくとも２つの曲線状の部分を含んでいてもよい。そして、平面視における複数の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域Ｄにおいて、少なくとも１つの変曲点を有していてもよい。

　ＩＤＴ電極３８の複数の電極指と同様に、各反射器の複数の反射器電極指の平面視における形状はそれぞれ、２つの円弧が接続された形状である。各反射器電極指においても、ＩＤＴ電極３８の複数の電極指において定義された各定点と同じ定点を定義することができる。

　交叉領域Ｄは、複数の曲線領域を有する。具体的には、複数の曲線領域は、第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２である。第１の曲線領域Ｗ１は第１の包絡線Ｅ１を含む。第２の曲線領域Ｗ２は第２の包絡線Ｅ２を含む。各曲線領域においては、平面視における複数の第１の電極指３６及び複数の第２の電極指３７の形状がそれぞれ、単一の円弧の形状または楕円弧の形状である。もっとも、本実施形態では、各曲線領域において、平面視における複数の電極指の形状は単一の円弧である。なお、交叉領域Ｄにおける複数の曲線領域は２つに限定されない。例えば、交叉領域Ｄが３つ以上の曲線領域を含んでいてもよい。

　上記２つの定点のうち一方の定点は、第１の曲線領域Ｗ１において定義される定点である。他方の定点は、第２の曲線領域Ｗ２において定義される定点である。

　本実施形態では、それぞれの曲線領域における、定点を通る任意の直線上の部分を励振部とする。伝搬軸と平行に延び、かつ定点を通る直線を基準線Ｎとする。なお、本実施形態においては、１本の基準線Ｎ上に２つの定点が位置している。そして、第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２の境界は基準線Ｎである。

　各曲線領域における定点、及び各曲線領域における励振部を通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度θ_Ｃを定義する。一方で、定点及び各曲線領域における励振部を通る直線、並びに電極指の交点における弾性波の励振方向と、基準線Ｎとがなす角の角度を励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}と定義する。この場合において、各曲線領域の全ての励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、電極指ピッチが、それぞれの角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化している。

　なお、各曲線領域において、デューティ比、電極指ピッチ、並びに複数の第１の電極指３６及び複数の第２の電極指３７の厚みのうち少なくともいずれかが、それぞれの角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化していてもよい。あるいは、圧電性基板２上に、ＩＤＴ電極３８を覆うように誘電体膜が設けられている場合には、誘電体膜の厚みを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。上記のパラメータのうち複数のパラメータを、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化させてもよい。これらのパラメータのうち少なくともいずれかが、全ての励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、角度θ_Ｃまたは励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて変化していることが好ましい。それによって、共振特性をより確実に高めることができる。

　本実施形態の弾性波装置も、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指３６及び複数の第２の電極指３７の形状がそれぞれ、交叉領域Ｄにおいて、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線Ｅ１及び第２の包絡線Ｅ２が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　本実施形態においては、複数のオフセット電極及び複数の電極指を合わせた部分の形状は、交叉領域Ｄの第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２において、略点対称とされている。この場合、各電極指は、反射器３９Ａ側に凸状になるように曲がっている部分、及び反射器３９Ｂ側に凸状になるように曲がっている部分を含む。そして、圧電体層６が材料異方性を有する単結晶膜であるとき、反射器３９Ａ側に向かい伝搬する不要波と、反射器３９Ｂ側に向かい伝搬する不要波とにおいて、位相の符号が互いに逆方向となることがある。この場合には、不要波を効果的に抑制することができる。

　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿１}；１０．５°
　第１の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ１＿２}；９°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿１}；９°
　第２の交叉角度θ_{Ｃ＿ＡＰ２＿２}；１０．５°

　第１～第５の実施形態においては、デューティ比または電極指ピッチを調整することにより、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させている。もっとも、複数の電極指の厚みを調整することにより、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させてもよい。この例を、第６の実施形態により示す。

　第６の実施形態は、ＩＤＴ電極において、デューティ比が一定であり、かつ複数の電極指の厚みが一定でない点で第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　図２３は、第６の実施形態におけるＩＤＴ電極の、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、電極指の厚みとの関係を示す図である。

　第６の実施形態では、全ての励振部のうち、第１の電極指及び第２の電極指の厚みが最も厚い励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。図２３に示すように、ＩＤＴ電極における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、第１の電極指及び第２の電極指の厚みが薄い。それによって、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。

　加えて、第６の実施形態の弾性波装置も、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、圧電性基板の逆速度面によって、第１の電極指及び第２の電極指の厚みと各モードの周波数との関係は異なる。よって、圧電性基板の構成や、圧電性基板上の構成によっては、励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、第１の電極指及び第２の電極指の厚みが厚いときに、全ての励振部において、共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致する場合もある。この場合、全ての励振部のうち、第１の電極指及び第２の電極指の厚みが最も薄い励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。この例としては、回転Ｙカット－４°Ｘ伝搬のＬｉＮｂＯ_３のみからなる基板上に設けられたＩＤＴ電極を、厚みが厚いＳｉＯ_２膜に埋め込んだ弾性波装置などを挙げることができる。あるいは、基準線Ｎが通る、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}が０°である励振部において、第１の電極指及び第２の電極指の厚みの値が最大または最小とは、必ずしもならない。

　第１～第６の実施形態においては、ＩＤＴ電極の構成により、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させている。もっとも、ＩＤＴ電極を覆う誘電体膜の厚みを調整することにより、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士を略一致させてもよい。この例を、第７の実施形態及びその変形例により示す。

　図２４は、第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。なお、図２４は、基準線Ｎに沿う模式的断面図である。図２４以外の模式的正面断面図も同様である。

　本実施形態は、ＩＤＴ電極４８において、デューティ比が一定である点で第１の実施形態と異なる。本実施形態は、圧電体層６上に、ＩＤＴ電極４８を覆うように誘電体膜４５が設けられている点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　本実施形態の誘電体膜４５を伝搬する横波の音速は、誘電体膜４５を伝搬する主モードの音速よりも低い。誘電体膜４５の厚みは、誘電体膜４５が覆っているＩＤＴ電極４８の励振部の励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}に応じて異なっている。

　図２５は、第７の実施形態においての、誘電体膜が覆っているＩＤＴ電極の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、誘電体膜の厚みとの関係を示す図である。

　本実施形態では、全ての励振部のうち、誘電体膜４５における最も厚みが厚い部分が位置している励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。図２５に示すように、本実施形態では、誘電体膜４５が覆っているＩＤＴ電極４８の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、誘電体膜４５の厚みが薄い。これにより、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。

　加えて、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　第７の実施形態では、誘電体膜４５を伝搬する横波の音速は、誘電体膜４５を伝搬する主モードの音速よりも低い。もっとも、誘電体膜を伝搬する波の音速の関係は上記に限定されない。誘電体膜を伝搬する横波の音速、及び誘電体膜の厚みの変化の態様のみが第７の実施形態と異なる、第７の実施形態の変形例を以下において示す。

　第７の実施形態の変形例においては、誘電体膜を伝搬する横波の音速は、該誘電体膜を伝搬する主モードの音速よりも高い。そして、本変形例においては、誘電体膜が覆っているＩＤＴ電極の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜と、誘電体膜の厚みとの関係は、図２６に示す通りである。より具体的には、本変形例では、全ての励振部のうち、誘電体膜における最も厚みが薄い部分が位置している励振部と、定点Ｃとを通る直線が基準線Ｎである。誘電体膜が覆っているＩＤＴ電極の励振部における励振角度の絶対値｜θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}｜が大きいほど、誘電体膜の厚みが厚い。それによって、全ての励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。加えて、本変形例においても、第７の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、圧電性基板の構成などによっては、誘電体膜における励振部を覆っている部分の厚みのうち、基準線Ｎが通る部分の厚みの値が最大または最小とは、必ずしもならない。

　ところで、圧電性基板の積層構造は、図２に示す構成には限定されない。第８の実施形態により、弾性波装置が、第１の実施形態とは異なる圧電性基板を有する例を示す。

　図２７は、第８の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。

　本実施形態は、圧電性基板５２の積層構造において第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　圧電性基板５２は、支持基板４と、中間層５５と、圧電体層６とを有する。支持基板４上に中間層５５が設けられている。中間層５５上に圧電体層６が設けられている。本実施形態においては、中間層５５は枠状の形状を有する。すなわち、中間層５５は貫通孔を有する。支持基板４は、中間層５５の貫通孔の一方を塞いでいる。圧電体層６は中間層５５の貫通孔の他方を塞いでいる。これにより、圧電性基板５２において中空部５２ｃが構成されている。圧電体層６の一部及び支持基板４の一部は、中空部５２ｃを挟み互いに対向している。

　本実施形態においては、主モードを圧電体層６側に反射させることができる。よって、弾性波のエネルギーを圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。加えて、第１の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　以下において、圧電性基板の積層構造のみが第８の実施形態と異なる、第８の実施形態の第１の変形例及び第２の変形例を示す。第１の変形例及び第２の変形例においても、第８の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。さらに、弾性波のエネルギーを圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。

　図２８に示す第１の変形例においては、圧電性基板５２Ａは、支持基板４と、音響反射膜５７と、中間層５５Ａと、圧電体層６とを有する。支持基板４上に音響反射膜５７が設けられている。音響反射膜５７上に中間層５５Ａが設けられている。中間層５５Ａ上に圧電体層６が設けられている。中間層５５Ａは低音速膜である。

　音響反射膜５７は複数の音響インピーダンス層の積層体である。具体的には、音響反射膜５７は、複数の低音響インピーダンス層と、複数の高音響インピーダンス層とを有する。高音響インピーダンス層は、相対的に音響インピーダンスが高い層である。音響反射膜５７の複数の高音響インピーダンス層は、より具体的には、高音響インピーダンス層５７ａ、高音響インピーダンス層５７ｃ及び高音響インピーダンス層５７ｅである。一方で、低音響インピーダンス層は、相対的に音響インピーダンスが低い層である。音響反射膜５７の複数の低音響インピーダンス層は、より具体的には、低音響インピーダンス層５７ｂ及び低音響インピーダンス層５７ｄである。低音響インピーダンス層及び高音響インピーダンス層は交互に積層されている。なお、高音響インピーダンス層５７ａが、音響反射膜５７において最も圧電体層６側に位置する層である。

　音響反射膜５７は、低音響インピーダンス層を２層有し、高音響インピーダンス層を３層有する。もっとも、音響反射膜５７は、低音響インピーダンス層及び高音響インピーダンス層をそれぞれ少なくとも１層ずつ有していればよい。

　低音響インピーダンス層の材料としては、例えば、酸化ケイ素またはアルミニウムなどを用いることができる。高音響インピーダンス層の材料としては、例えば、白金またはタングステンなどの金属や、窒化アルミニウムまたは窒化ケイ素などの誘電体を用いることができる。なお、中間層５５Ａの材料は、低音響インピーダンス層の材料と同じであってもよい。

　図２９に示す第２の変形例においては、圧電性基板５２Ｂは、支持基板５４と、圧電体層６とを有する。支持基板５４上に直接的に圧電体層６が設けられている。より具体的には、支持基板５４は凹部を有する。支持基板５４上に、凹部を塞ぐように、圧電体層６が設けられている。これにより、圧電性基板５２Ｂに中空部が設けられている。中空部は、平面視において、ＩＤＴ電極８の少なくとも一部と重なっている。

　図３０は、第９の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。

　本実施形態は、ＩＤＴ電極８が、保護膜に埋め込まれている点において、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　具体的には、圧電体層６上に、ＩＤＴ電極８を覆うように、保護膜６９が設けられている。保護膜６９の厚みは、ＩＤＴ電極８の厚みよりも厚い。ＩＤＴ電極８は保護膜６９に埋め込まれている。これにより、ＩＤＴ電極８が破損し難い。

　保護膜６９は、第１の層６９ａ及び第２の層６９ｂを有する。第１の層６９ａにＩＤＴ電極８が埋め込まれている。第１の層６９ａ上に第２の層６９ｂが設けられている。それによって、保護膜６９によって複数の効果を得ることができる。具体的には、本実施形態においては、第１の層６９ａの材料として、酸化ケイ素が用いられている。これにより、弾性波装置における周波数温度係数（ＴＣＦ）の絶対値を小さくすることができる。よって、弾性波装置の温度特性を改善することができる。第２の層６９ｂには、窒化ケイ素が用いられている。これにより、耐湿性を高めることができる。

　加えて、本実施形態の弾性波装置も、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、第１の層６９ａ及び第２の層６９ｂの材料は上記に限定されない。保護膜６９は単層であってもよく、３層以上の積層体であってもよい。

　図３１は、第１０の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。

　本実施形態は、圧電体層６の第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂの双方にＩＤＴ電極８が設けられている点において第１の実施形態と異なる。なお、第２の主面６ｂに設けられたＩＤＴ電極８は、中間層５における第２の層５ｂに埋め込まれている。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置７１は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　圧電体層６の第１の主面６ａに設けられたＩＤＴ電極８及び第２の主面６ｂに設けられたＩＤＴ電極８は、圧電体層６を挟み互いに対向している。本実施形態の弾性波装置も、第１の実施形態と同様に、平面視における複数の第１の電極指１６及び複数の第２の電極指１７の形状がそれぞれ、交叉領域において、曲線状の部分を含む。平面視における複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含む。そして、第１の包絡線及び第２の包絡線が、伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ少なくとも１つの折れ曲がり部を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、圧電体層６の第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂに設けられたＩＤＴ電極８は、例えば、設計パラメータが互いに異なっていてもよい。

　以下において、圧電体層の第２の主面に設けられた電極の構成、及び圧電性基板の積層構造のうち少なくとも一方のみが第１０の実施形態と異なる、第１０の実施形態の第１～第３の変形例を示す。第１～第３の変形例においても、第１０の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　図３２に示す第１の変形例においては、圧電性基板５２が、第８の実施形態と同様に構成されている。具体的には、圧電性基板５２が、支持基板４、中間層５５及び圧電体層６を有する。圧電体層６の第２の主面６ｂに設けられたＩＤＴ電極８は、中空部５２ｃ内に位置している。

　図３３に示す第２の変形例においては、圧電体層６の第２の主面６ｂに、板状の電極７８が設けられている。電極７８は第２の層５ｂに埋め込まれている。ＩＤＴ電極８及び電極７８は、圧電体層６を挟み互いに対向している。

　図３４に示す第３の変形例においては、圧電性基板５２が第１の変形例と同様に構成されており、かつ圧電体層６の第２の主面６ｂに、第２の変形例と同様の電極７８が設けられている。電極７８は、中空部５２ｃ内に位置している。ＩＤＴ電極８及び電極７８は、圧電体層６を挟み互いに対向している。

　本発明に係る弾性波装置は、例えば、フィルタ装置に用いることができる。この例を以下において示す。

　図３５は、第１１の実施形態に係るフィルタ装置の回路図である。

　本実施形態のフィルタ装置８０はラダー型フィルタである。フィルタ装置８０は、第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３と、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子とを有する。フィルタ装置８０においては、全ての直列腕共振子及び全ての並列腕共振子は弾性波共振子である。さらに、全ての直列腕共振子及び全ての並列腕共振子は本発明に係る弾性波装置である。もっとも、フィルタ装置８０の複数の弾性波共振子のうち少なくとも１つの弾性波共振子が、本発明に係る弾性波装置であればよい。

　第１の信号端子８２はアンテナ端子である。アンテナ端子はアンテナに接続される。もっとも、第１の信号端子８２は、必ずしもアンテナ端子ではなくともよい。第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３は、例えば、電極パッドとして構成されていてもよく、配線として構成されていてもよい。

　本実施形態の複数の直列腕共振子は、具体的には、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２及び直列腕共振子Ｓ３である。複数の直列腕共振子は、第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３の間に、互いに直列に接続されている。複数の並列腕共振子は、具体的には、並列腕共振子Ｐ１及び並列腕共振子Ｐ２である。直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ１が接続されている。直列腕共振子Ｓ２及び直列腕共振子Ｓ３の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ２が接続されている。なお、フィルタ装置８０の回路構成は上記に限定されない。フィルタ装置８０は、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタを含んでいてもよい。

　フィルタ装置８０における弾性波共振子は、本発明に係る弾性波装置である。よって、フィルタ装置８０の弾性波共振子において、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　ところで、本実施形態では、直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２は、いずれも第１の実施形態の弾性波装置１である。図３６に示すように、直列腕共振子Ｓ１における第１のバスバー１４と、直列腕共振子Ｓ２における第２のバスバー１５とが接続されている。もっとも、第１のバスバー１４同士が接続されていてもよく、第２のバスバー１５同士が接続されていてもよい。

　直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２において、互いに接続されたバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２において、互いに接続されていないバスバーの形状の組み合わせも、双方のバスバーの包絡線側の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されたバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバー側の包絡線の形状の組み合わせも、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。もっとも、これに限定されるものではない。

　以下において、接続された直列腕共振子同士の組み合わせのみが第１１の実施形態と異なる、第１１の実施形態の第１～第３の変形例を示す。第１～第３の変形例においても、第１１の実施形態と同様に、フィルタ装置の弾性波共振子において、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　図３７に示す第１の変形例では、第２の実施形態の弾性波装置同士が接続されている。一方の弾性波装置の第１のバスバー２４と、他方の弾性波装置の第２のバスバー２５とが接続されている。

　互いに接続されたバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバーの形状の組み合わせも、双方のバスバーの包絡線側の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されたバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバー側の包絡線の形状の組み合わせも、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。

　図３８に示す第２の変形例では、第１の実施形態の第４の変形例の弾性波装置同士が接続されている。一方の弾性波装置の第２のバスバー２５と、他方の弾性波装置の第２のバスバー２５とが接続されている。なお、一方の弾性波装置においては、複数の電極指及び複数の反射器電極指が曲がっている方向が、図１８に示す例とは反対方向とされている。

　互いに接続されたバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されたバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。

　図３９に示す第３の変形例では、第１の実施形態の第４の変形例の弾性波装置同士が接続されている。一方の弾性波装置の第１のバスバー１４と、他方の弾性波装置の第１のバスバー１４とが接続されている。なお、一方の弾性波装置においては、複数の電極指及び複数の反射器電極指が曲がっている方向が、図１８に示す例とは反対方向とされている。

　互いに接続されたバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバーの形状の組み合わせは、双方のバスバーの包絡線側の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されたバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、波状の形状を有する組み合わせである。互いに接続されていないバスバー側の包絡線の形状の組み合わせは、双方の包絡線の形状が、直線状の形状を有する組み合わせである。

　第２の変形例及び第３の変形例においては、交叉領域の伝搬軸と直交する方向に沿う寸法が変化している。これにより、横モードが生じる周波数を分散させることができる。従って、横モードを効果的に抑制することができる。

　図３６～図３９に示すように、フィルタ装置において、弾性波装置の設計の自由度を高めることができる。加えて、弾性波共振子において、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、上記においては、直列腕共振子同士が接続されている例を示したが、図３６～図３９に示す態様と同様に、直列腕共振子及び並列腕共振子が接続されていてもよい。

　上記の例に示した、接続された２つの弾性波共振子の間においては、容量が同一であり、交叉領域の伝搬軸と直交する方向に沿う寸法が同一であり、電極指の対数が同一である。もっとも、これに限られるものではない。接続される２つの弾性波共振子の間においては、容量は同一ではなくともよく、交叉領域の伝搬軸と直交する方向に沿う寸法は同一ではなくともよく、電極指の対数は同一ではなくともよい。あるいは、上記弾性波共振子間において、電極指の平面視における曲線の形状や、電極指の設計が異なっていてもよい。３つ以上の弾性波共振子を接続する場合においても、上記に示した例と同様のバスバー及び包絡線の形状の組み合わせとしてもよい。弾性波共振子同士において接続されているバスバーは、１つのバスバーとしてもよい。接続される２つの弾性波共振子の間において、第１の包絡線及び第２の包絡線の形状の組み合わせは、同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。第１の包絡線及び第２の包絡線の形状の組み合わせが異なる場合、例えば、包絡線において、折れ曲がり部同士が曲線により結ばれている形状であることと、直線により結ばれている形状であることとによって異なっていてもよい。

　ところで、上記の各実施形態の弾性波装置における、平面視したときの複数の電極指の形状においての曲線は、滑らかな曲線である。なお、平面視における複数の電極指の形状においての曲線は、微小なサイズの直線を接続して形成された形状であってもよい。平面視における複数の電極指の形状においての曲線は、複数の頂点同士を、曲線により接続して形成された形状であってもよい。あるいは、平面視における複数の電極指の形状においての曲線は、必ずしも滑らかな曲線でなくともよい。この例を、第１の実施形態の第５の変形例として示す。

　図４０により拡大して示す第５の変形例におけるＩＤＴ電極８Ｃでは、平面視したときの各第１の電極指１６Ｃの形状においての曲線は、滑らかな曲線ではない。具体的には、平面視における各第１の電極指１６Ｃの形状は、直線を接続して形成された形状である。なお、該形状における直線は、微小なサイズの直線ではない。より具体的には、該形状における直線の長さは、例えば、第１の電極指１６Ｃの全長の数％程度である。もっとも、該形状においては、接続された直線同士がなす角の角度は、例えば、１６０°以上、１８０°未満程度と大きい。そのため、各第１の電極指１６Ｃの平面視における形状は、曲線に近似可能な形状である。

　各第２の電極指１７Ｃの平面視における形状も、各第１の電極指１６Ｃの平面視における形状と同様である。本変形例においても、第１の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　あるいは、上述したように、交叉領域において、平面視における第１の電極指及び第２の電極指の形状が、直線の形状を含んでいてもよい。図４１に示す第１の実施形態の第６の変形例においては、交叉領域が直線領域Ｆと、第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２とを含む。

　直線領域Ｆにおいては、第１の電極指１６Ｄ及び第２の電極指１７Ｄの平面視における形状が、直線状の形状である。第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２は、直線領域Ｆを挟み互いに対向している。第１の曲線領域Ｗ１は第１の包絡線Ｅ１を含む。第２の曲線領域Ｗ２は第２の包絡線Ｅ２を含む。各電極指は２つの変曲点を含む。本変形例における変曲点は、曲線と直線とが接続されている点である。

　直線領域Ｆ及び第１の曲線領域Ｗ１の境界線の延長線は、定点Ｃ１を通る。該境界線及び該境界線の延長線を含む直線が、第１の曲線領域Ｗ１における基準線Ｎ１である。第１の曲線領域Ｗ１における角度θ_Ｃは、定点Ｃ１及び第１の曲線領域Ｗ１における励振部を通る直線と、基準線Ｎ１とがなす角の角度である。本変形例では、第１の曲線領域Ｗ１において、θ_Ｃ＝θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}である。

　他方、直線領域Ｆ及び第２の曲線領域Ｗ２の境界線の延長線は、定点Ｃ２を通る。該境界線及び該境界線の延長線を含む直線が、第２の曲線領域Ｗ２における基準線Ｎ２である。第２の曲線領域Ｗ２における角度θ_Ｃは、定点Ｃ２及び第２の曲線領域Ｗ２における励振部を通る直線と、基準線Ｎ２とがなす角の角度である。本変形例では、第２の曲線領域Ｗ２において、θ_Ｃ＝θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}である。

　直線領域Ｆにおいては、励振角度は一定である。より具体的には、直線領域Ｆ及び第１の曲線領域Ｗ１の境界においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}は０°である。同様に、直線領域Ｆ及び第２の曲線領域Ｗ２の境界においては、励振角度θ_{Ｃ＿ｐｒｏｐ}は０°である。よって、直線領域Ｆにおける励振部の励振角度は０°に相当する。なお、直線領域Ｆにおける励振部の励振角度は、必ずしも０°ではなくともよい。

　本変形例では、直線領域Ｆの全てにおいて、圧電体層６の伝搬軸が延びる方向であるＸ伝搬の方向と、複数の電極指が延びる方向とが直交している。そのため、直線領域Ｆは、伝搬軸に対して安定した領域である。交叉領域が直線領域Ｆを有することによって、ＩＤＴ電極８Ｄ全体として、伝搬方向の変化を小さくすることができ、弾性波の伝搬を安定化させることができる。

　加えて、本変形例においても、第１の実施形態と同様に、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　本発明における交叉領域は、１対のエッジ領域及び中央領域を有する。１対のエッジ領域は、中央領域を挟み互いに対向している。一方のエッジ領域は第１の包絡線を含む。他方のエッジ領域は第２の包絡線を含む。１対のエッジ領域のうち少なくとも一方において、低音速領域が構成されていてもよい。低音速領域とは、音速が中央領域における音速よりも低い領域である。

　低音速領域は、例えば、エッジ領域におけるデューティ比が、中央領域におけるデューティ比よりも大きくされていることによって構成されていてもよい。この場合、電極指のエッジ領域における幅が、該電極指の中央領域における幅よりも広い。電極指の幅は、電極指の法線方向に沿う寸法である。そのため、曲線領域においては、電極指の幅の基準となる法線方向は、部分毎に異なる。

　あるいは、低音速領域は、エッジ領域において、電極指及び質量付加膜が積層されていることによって構成されていてもよい。電極指及び質量付加膜が積層されている部分において、圧電体層、電極指及び質量付加膜がこの順序で積層されていてもよい。該部分において、圧電体層、質量付加膜及び電極指がこの順序で積層されていてもよい。なお、低音速領域は、電極指の幅が広くされた構成、及び質量付加膜が設けられた構成の双方により構成されていてもよい。

　質量付加膜は、適宜の誘電体からなっていてもよく、適宜の金属からなっていてもよい。もっとも、質量付加膜が金属からなる場合には、１つの質量付加膜は、接続される電位が互いに異なる複数の電極指には接触していない。

　１対のバスバーが互いに対向する方向における中央側から外側に向かい、中央領域及び低音速領域がこの順序で配置されていることによって、ピストンモードが成立する。これにより、不要波である横モードを抑制することができる。低音速領域は、１対のエッジ領域の双方において構成されていることが好ましい。それによって、横モードをより確実に抑制することができる。

　図４２は、第１２の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１の包絡線Ｅ９１において、圧電体層６の伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が一定でない点で第１の実施形態と異なる。本実施形態は、第１の包絡線Ｅ９１において、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１の間に位置している電極指の対数が一定でない点においても、第１の実施形態と異なる。さらに、本実施形態は、第２の包絡線Ｅ１０２の形状が直線状の形状である点、及び第２のバスバー９５の構成においても、第１の実施形態と異なる。本実施形態は、交叉領域が、１つの曲線領域と、１つの直線領域とを有する点においても、第１の実施形態と異なる。これらに対応して、本実施形態は、各反射器の形状においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１と同様の構成を有する。

　交叉領域における直線領域は、本実施形態では、一方のエッジ領域である。なお、交叉領域の１対のエッジ領域は、具体的には、第１のエッジ領域Ｈ１及び第２のエッジ領域Ｈ２である。第１のエッジ領域Ｈ１は第１の包絡線Ｅ９１を含む。第２のエッジ領域Ｈ２は第２の包絡線Ｅ１０２を含む。より具体的には、第１のエッジ領域Ｈ１は、複数の第２の電極指９７の先端部と、複数の第１の電極指９６のそれぞれにおける、第２の電極指９７の先端部に隣接している部分とが位置している領域である。第２のエッジ領域Ｈ２は、複数の第１の電極指９６の先端部と、複数の第２の電極指９７のそれぞれにおける、第１の電極指９６の先端部に隣接している部分とが位置している領域である。

　交叉領域における直線領域は、第２のエッジ領域Ｈ２である。一方で、曲線領域は、第１のエッジ領域Ｈ１及び中央領域Ｊを含む。

　第１の包絡線Ｅ９１の形状は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士が直線により接続された形状である。よって、第１の包絡線Ｅ９１は複数の直線の部分としての、複数の線部分を有する。第１の包絡線Ｅ９１の複数の線部分は、複数の第１の線部分ｅ１と、複数の第２の線部分ｅ２とを含む。第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２は、交互に接続されている。第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２が接続されている部分が、折れ曲がり部Ｖ１である。

　以下においては、圧電体層６の伝搬軸に対して包絡線が傾斜している角度の正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とする。本実施形態では、第１の線部分ｅ１の伝搬軸に対する傾斜角度を第１の傾斜角度θ１としたときに、第１の傾斜角度θ１の符号は正である。なお、第１の実施形態と同様に、圧電体層６において、伝搬軸はＸ伝搬の方向である。

　第２の線部分ｅ２の伝搬軸に対する傾斜角度を第２の傾斜角度θ２としたときに、第１の傾斜角度θ１の正負の符号と、第２の傾斜角度θ２の正負の符号とは互いに異なる。本実施形態では、第２の傾斜角度θ２の符号は負である。

　第１の線部分ｅ１に位置している電極指の対数は、第２の線部分ｅ２に位置している電極指の対数よりも少ない。もっとも、各第１の線部分ｅ１に位置している電極指の対数は同じである。同様に、各第２の線部分ｅ２に位置している電極指の対数は同じである。

　本実施形態では、第１の傾斜角度θ１は２０°であり、第２の傾斜角度θ２は－１０°である。そのため、第１の傾斜角度θ１の絶対値は、第２の傾斜角度θ２の絶対値よりも大きい。なお、第１の傾斜角度θ１及び第２の傾斜角度θ２の値は上記に限定されない。｜θ１｜＞｜θ２｜であることにより、弾性波装置を大型化せずして、横モードを効果的に抑制することができる。この詳細を以下において説明する。

　図４３（ａ）～図４３（ｄ）は、第１の包絡線における第１の線部分及び第２の線部分において規定される角度を説明するための模式図である。図４３（ａ）、図４３（ｃ）及び図４３（ｄ）中の二点鎖線は、圧電体層の伝搬軸と平行に延びている仮想線である。図４３（ａ）、図４３（ｃ）及び図４３（ｄ）では、各角度の正負の符号を、矢印の方向により示している。矢印の方向が反時計回りであれば、該矢印により表される角度の符号は正である。

　図４３（ａ）に示すように、上記第１の傾斜角度θ１及び上記第２の傾斜角度θ２は、圧電体層の伝搬軸が延びる方向を基準とした角度である。

　他方、第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２の角度の基準は、電極指の形状に基づいて規定することもできる。より具体的には、例えば、図４３（ｂ）に示す電極指の法線Ｋ１及び法線Ｋ２を、第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２の角度の基準としてもよい。図４３（ｃ）に示すように、電極指の法線Ｋ１と、第１の線部分ｅ１とがなす角の角度を、θ１ｂとする。電極指の法線Ｋ２と、第２の線部分ｅ２とがなす角の角度を、θ２ｂとする。

　より詳細には、電極指が延びる方向は、該電極指の部分毎に異なる。角度θ１ｂは、第１の線部分ｅ１に位置している第２の電極指９７の先端部の法線Ｋ１に対して、第１の線部分ｅ１が傾斜している角度である。図４３（ｄ）に示すように、法線Ｋ１と、圧電体層の伝搬軸とがなす角の角度をθ１ｈとしたときに、θ１－θ１ｈ＝θ１ｂである。

　なお、圧電体層の伝搬軸と、電極指の法線とがなす角の角度における正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とする。本実施形態では、第１の傾斜角度θ１及び角度θ１ｈの符号はいずれも正である。そのため、角度θ１ｂの絶対値は、第１の傾斜角度θ１の絶対値と、角度θ１ｈの絶対値との差である。よって、θ１＞θ１ｈである場合には、第１の傾斜角度θ１の絶対値が大きいほど、角度θ１ｂの絶対値は大きい。

　角度θ２ｂは、第２の線部分ｅ２に位置している第２の電極指９７の先端部の法線Ｋ２に対して、第２の線部分ｅ２が傾斜している角度である。法線Ｋ２と、圧電体層の伝搬軸とがなす角の角度をθ２ｈとしたときに、θ２－θ２ｈ＝θ２ｂである。本実施形態では、第２の傾斜角度θ２の符号は負であり、角度θ２ｈの符号は正である。そのため、角度θ２ｂの絶対値は、第２の傾斜角度θ２の絶対値と、角度θ２ｈの絶対値との和である。よって、第２の傾斜角度θ２の絶対値が大きいほど、角度θ２ｂの絶対値は大きい。

　電極指の法線方向は、上記において弾性波の励振方向として例示した方向のうち、第１種目の方向である。弾性波の励振方向は、第１種目の方向としての、該法線方向ではない場合もある。もっとも、弾性波の励振方向は、少なくとも該法線方向に近い方向である。そして、角度θ１ｂは、電極指の法線Ｋ１と、第１の線部分ｅ１とがなす角の角度である。よって、角度θ１ｂの絶対値が大きいほど、弾性波の励振方向に対して第１の線部分ｅ１が大きく傾斜している。同様に、角度θ２ｂの絶対値が大きいほど、弾性波の励振方向に対して第２の線部分ｅ２が大きく傾斜している。

　図４２に戻り、第１の包絡線Ｅ９１における第１の線部分ｅ１または第２の線部分ｅ２が、弾性波の励振方向に対して大きく傾斜しているほど、横モードを効果的に抑制することができる。すなわち、角度θ１ｂの絶対値、または角度θ２ｂの絶対値が大きいほど、横モードを効果的に抑制することができる。

　例えば、第１の包絡線Ｅ９１においての、波状の形状における振幅に相当する寸法を大きくする場合には、第１の傾斜角度θ１の絶対値及び第２の傾斜角度θ２の絶対値の双方を大きくすることができる。もっとも、この場合において、交叉領域の面積を小さくしない場合には、弾性波装置の大型化につながる。

　あるいは、第１の包絡線Ｅ９１においての、波状の形状における周期に相当する寸法を小さくする場合には、角度θ１ｂの絶対値、及び角度θ２ｂの絶対値の双方を大きくすることができる。もっとも、この場合には、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１同士の間に位置する、複数の電極指の対数が少なくなる。この場合、横モードの抑制の効果が小さくなる場合がある。

　ここで、上記のように、角度θ２ｂの絶対値は、第２の傾斜角度θ２の絶対値と、角度θ２ｈの絶対値との和である。そのため、角度θ２ｂの絶対値は、第２の傾斜角度θ２が小さくとも、十分に大きい。他方、角度θ１ｂの絶対値は、第１の傾斜角度θ１の絶対値と、角度θ１ｈの絶対値との差である。そのため、第１の傾斜角度θ１の絶対値を大きくすることにより、角度θ１ｂの絶対値を効果的に大きくすることができる。

　そして、本実施形態においては、第１の傾斜角度θ１の絶対値は、第２の傾斜角度θ２の絶対値よりも大きい。それによって、第１の包絡線Ｅ９１においての、波状の形状における振幅に相当する寸法を大きくせず、周期に相当する寸法を小さくせずして、角度θ１ｂの絶対値、及び角度θ２ｂの絶対値を大きくすることができる。従って、弾性波装置を大型化せずして、横モードを効果的に抑制することができる。

　上記の第１の実施形態などにおける第１の包絡線も、第１の線部分及び第２の線部分を有することを指摘しておく。もっとも、例えば第１の実施形態では、第１の傾斜角度θ１の絶対値及び第２の傾斜角度θ２の絶対値は同じである。

　本実施形態では、第１の実施形態と同様に、第１の包絡線Ｅ９１が、伝搬軸に対して傾斜して延びている、複数の第１の線部分ｅ１及び複数の第２の線部分ｅ２を含み、かつ複数の折れ曲がり部Ｖ１を有する。それによって、不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、第１の傾斜角度θ１の符号は、必ずしも正ではなくともよい。第１の傾斜角度θ１の正負の符号と、角度θ１ｈの正負の符号とが同じであればよい。例えば、ＩＤＴ電極及び各反射器の形状が、第１２の実施形態における形状に対して、図４２における左右方向において反転した形状である場合には、第１の傾斜角度θ１及び角度θ１ｈの符号は負である。

　第１２の実施形態では、第１の包絡線Ｅ９１の全体において、第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２が交互に接続されている。なお、第１の包絡線Ｅ９１は、少なくとも１本の第１の線部分ｅ１と、少なくとも１本の第２の線部分ｅ２とを含んでいればよい。第１の包絡線Ｅ９１の少なくとも一部において、第１の線部分ｅ１及び第２の線部分ｅ２が接続されていればよい。そして、第１の傾斜角度θ１の絶対値が、第２の傾斜角度θ２の絶対値よりも大きければよい。この場合においても、通過帯域外の不要波を抑制することができ、Ｑ値を高めることができる。加えて、横モードを効果的に抑制することができる。

　第１の包絡線Ｅ９１においては、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法は一定である。なお、第１の包絡線Ｅ９１における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではなくても構わない。

　図４２に示すように、第２のバスバー９５には複数の開口部９５ｄが設けられている。より具体的には、第２のバスバー９５は、内側バスバー部９５ａ及び外側バスバー部９５ｂと、複数の接続部９５ｃとを有する。内側バスバー部９５ａ及び外側バスバー部９５ｂは互いに対向している。内側バスバー部９５ａ及び外側バスバー部９５ｂのうち、内側バスバー部９５ａが交叉領域側に位置している。複数の接続部９５ｃは、内側バスバー部９５ａ及び外側バスバー部９５ｂを接続している。上記複数の開口部９５ｄはそれぞれ、内側バスバー部９５ａ、外側バスバー部９５ｂ及び複数の接続部９５ｃにより囲まれた開口部である。

　内側バスバー部９５ａは、第２の包絡線Ｅ１０２と平行に延びている。内側バスバー部９５ａは、複数の第１の電極指９６とギャップを隔てて対向している。

　第２のバスバー９５の複数の接続部９５ｃはそれぞれ、本実施形態では、第２の電極指９７の延長線上に延びている。複数の接続部９５ｃは、第１の電極指９６の延長線上には設けられていない。一方で、交叉領域においては、第１の電極指９６及び第２の電極指９７が交互に並んでいる。そのため、第２のバスバー９５の、複数の開口部９５ｄが形成されている領域における音速は、交叉領域における音速よりも高い。これにより、第２のバスバー９５における複数の開口部９５ｄが形成されている領域において、高音速領域が構成されている。なお、高音速領域とは、音速が中央領域Ｊにおける音速よりも高い領域である。

　ここで、主モードのモードの変換に伴い、弾性波のエネルギーの漏洩が生じることがある。例えば、弾性波の主モードとしてＳＨ波が用いられている場合、ＳＨ波からレイリー波、またはＳＨ波からバルク波に変換されることにより、弾性波のエネルギーが漏洩する。このような漏洩は、交叉領域側からバスバー側に向かって生じる。

　第１２の実施形態においては、第２のバスバー９５の内側バスバー部９５ａは、複数の第１の電極指９６とギャップを隔てて対向している。それによって、モードの変換に伴う弾性波のエネルギーの漏洩を抑制することができる。

　内側バスバー部９５ａと、第１の電極指９６との間の距離は、０．５λ以下であることが好ましい。それによって、モードの変換に伴う弾性波のエネルギーの漏洩を効果的に抑制することができる。

　第１の包絡線Ｅ９１が第１２の実施形態のように構成されている場合にも、弾性波装置がピストンモードを利用可能に構成されていてもよい。この例を、第１２の実施形態の第１の変形例及び第２の変形例により示す。第１の変形例及び第２の変形例においても、第１２の実施形態と同様に、通過帯域外の不要波を抑制でき、かつＱ値を高めることができる。加えて、弾性波装置を大型化せずして、横モードをより一層抑制することができる。

　図４４に示す第１の変形例においては、第１のエッジ領域Ｈ１及び第２のエッジ領域Ｈ２の双方において低音速領域が構成されている。より具体的には、第１のエッジ領域Ｈ１に１つの質量付加膜９８Ａが設けられている。第１のエッジ領域Ｈ１においては、１つの質量付加膜９８Ａが複数の電極指上にわたり設けられている。質量付加膜９８Ａは、圧電体層６における、電極指間の部分にも設けられている。

　第１の包絡線Ｅ９１は波状の形状である。よって、複数の第２の電極指９７の先端部も波状に並んでいる。そして、第１のエッジ領域Ｈ１は、複数の第２の電極指９７の先端部と、複数の第１の電極指９６のそれぞれにおける、第２の電極指９７の先端部に隣接している部分とが位置している領域である。そのため、第１のエッジ領域Ｈ１は波状の形状である。これに伴い、質量付加膜９８Ａの形状も波状の形状である。

　第２のエッジ領域Ｈ２に１つの質量付加膜９８Ｂが設けられている。質量付加膜９８Ｂは帯状の形状を有する。より具体的には、第２のエッジ領域Ｈ２においては、１つの質量付加膜９８Ｂが複数の電極指上にわたり設けられている。質量付加膜９８Ｂは、圧電体層６における、電極指間の部分にも設けられている。

　質量付加膜９８Ａ及び質量付加膜９８Ｂが設けられていることにより、第１のエッジ領域Ｈ１及び第２のエッジ領域Ｈ２の双方において、低音速領域が構成されている。

　なお、上述したように、本発明では、質量付加膜及び電極指が積層されている順序は特に限定されない。

　質量付加膜は、少なくとも１本の電極指と積層されていればよい。もっとも、質量付加膜が、複数の電極指と積層されていることが好ましく、全ての電極指と積層されていることがより好ましい。それによって、ピストンモードをより確実に成立させることができる。

　なお、各エッジ領域に複数の質量付加膜が設けられていてもよい。この場合、各質量付加膜は、少なくとも１本の電極指と積層されていればよい。

　図４５に示す第２の変形例においては、複数の電極指が幅広部を有する。幅広部における電極指の幅は、中央領域Ｊにおける該電極指の幅よりも広い。より具体的には、第１のエッジ領域Ｈ１において、複数の第１の電極指９６Ａに幅広部９６ａが設けられている。第２のエッジ領域Ｈ２において、複数の第１の電極指９６Ａに幅広部９６ｂが設けられている。同様に、第１のエッジ領域Ｈ１において、複数の第２の電極指９７Ａに幅広部９７ａが設けられている。第２のエッジ領域Ｈ２において、複数の第２の電極指９７Ａに幅広部９７ｂが設けられている。これらにより、第１のエッジ領域Ｈ１及び第２のエッジ領域Ｈ２の双方において、低音速領域が構成されている。

　第１のエッジ領域Ｈ１において、少なくとも１本の電極指が幅広部を有していればよい。もっとも、第１のエッジ領域Ｈ１において、複数の電極指が幅広部を有していることが好ましく、全ての電極指が幅広部を有していることがより好ましい。第２のエッジ領域Ｈ２においても同様である。それによって、ピストンモードをより確実に成立させることができる。

　第１２の実施形態や第１の実施形態などにおいては、第１の包絡線の隣り合う折れ曲がり部同士の間には、複数対の電極指が位置している。なお、第１の包絡線においては、必ずしも全ての折れ曲がり部同士の間に１対以上の電極指が位置していなくともよい。この例を、第１３の実施形態により示す。

　図４６は、第１３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。

　本実施形態は、第１の包絡線Ｅ９３が複数の第１の線部分ｅ１と、複数の第３の線部分ｅ３とを含み、第２の線部分ｅ２を含まない点において、第１２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１２の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。

　第１の包絡線Ｅ９３においては、第１の線部分ｅ１及び第３の線部分ｅ３が交互に接続されている。第１の線部分ｅ１及び第３の線部分ｅ３が接続されている部分が折れ曲がり部Ｖ１である。

　第３の線部分ｅ３には、複数の電極指のうち１本の第１の電極指９６のみが位置している。すなわち、第３の線部分ｅ３には０．５対の電極指が位置している。第３の線部分ｅ３には、第２の電極指９７の先端部は位置していない。第３の線部分ｅ３の両端が接続された各折れ曲がり部Ｖ１には、第２の電極指９７の先端部がそれぞれ位置している。第３の線部分ｅ３は、隣り合う折れ曲がり部Ｖ１に位置している、隣り合う２本の第２の電極指９７の先端部同士を結んでいる部分である。

　本実施形態では、隣り合う第１の線部分ｅ１の全体同士が、圧電体層６の伝搬軸が延びる方向から見たときに重なり合っている。そのため、交叉領域の、伝搬軸の法線方向に沿う寸法が、第１の包絡線Ｅ９３の第３の線部分ｅ３が位置する部分を境界として、急激に変化している。

　横モードは、交叉領域側からバスバー側に向かう方向に生じる定在波である。交叉領域の、伝搬軸の法線方向に沿う寸法が、急激に変化していることによって、横モードは不安定となる。それによって、横モードを効果的に抑制することができる。

　加えて、本実施形態では、電極指における交叉領域に位置する部分、及び各反射器は、第１２の実施形態と同様に構成されている。第１の包絡線Ｅ９３は、伝搬軸に対して傾斜して延びている、複数の第１の線部分ｅ１を含み、かつ複数の折れ曲がり部Ｖ１を有する。それによって、通過帯域外の不要波及び横モードを抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、隣り合う第１の線部分ｅ１の少なくとも一部同士が、圧電体層６の伝搬軸が延びる方向から見たときに重なり合っていればよい。この場合にも、交叉領域の、伝搬軸の法線方向に沿う寸法が、第１の包絡線Ｅ９３の第３の線部分ｅ３が位置する部分を境界として、急激に変化する。これにより、横モードを抑制することができる。

　第１３の実施形態では、第１の包絡線Ｅ９３の全体において、第１の線部分ｅ１及び第３の線部分ｅ３が交互に接続されている。もっとも、第１の包絡線Ｅ９３の少なくとも一部において、２本の第１の線部分ｅ１が第３の線部分ｅ３により接続されていればよい。

　複数の第１の線部分ｅ１同士においては、第１の傾斜角度θ１は同じであり、かつ長さは同じである。なお、同じ第３の線部分ｅ３により接続された第１の線部分ｅ１同士においては、第１の傾斜角度θ１は必ずしも同じではなくともよく、長さは必ずしも同じではなくともよい。例えば、第１の包絡線Ｅ９３における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではなくても構わない。

　第１の包絡線Ｅ９３は、圧電体層６の伝搬軸に対して傾斜している少なくとも２本の線部分と、少なくとも１本の第３の線部分ｅ３とを含んでいればよい。２本の該線部分に、第３の線部分ｅ３の両端が接続されていればよい。同じ第３の線部分ｅ３に接続されている線部分の伝搬軸に対する傾斜角度の正負の符号が同じであればよい。第１３の実施形態では、同じ第３の線部分ｅ３に接続されている線部分は第１の線部分ｅ１であり、第１の傾斜角度θ１の符号は正である。

　同じ第３の線部分ｅ３に接続されている線部分の伝搬軸に対する傾斜角度の符号は、負であってもよい。例えば、図４７に示す第１３の実施形態の第１の変形例においては、第１の包絡線Ｅ９５は、複数の第２の線部分ｅ２と、複数の第３の線部分ｅ３とを含み、第１の線部分ｅ１を含まない。

　第１の包絡線Ｅ９５においては、第２の線部分ｅ２及び第３の線部分ｅ３が交互に接続されている。第３の線部分ｅ３には第２の電極指９７の先端部は位置していない。第３の線部分ｅ３の両端が接続された各折れ曲がり部Ｖ１には、第２の電極指９７の先端部がそれぞれ位置している。

　本変形例では、隣り合う第２の線部分ｅ２の全体同士が、圧電体層６の伝搬軸が延びる方向から見たときに重なり合っている。そのため、交叉領域の、伝搬軸の法線方向に沿う寸法が、第１の包絡線Ｅ９５の第３の線部分ｅ３が位置する部分を境界として、急激に変化している。それによって、横モードを効果的に抑制することができる。加えて、本変形例においても、第１３の実施形態と同様に、通過帯域外の不要波を抑制することができ、かつＱ値を高めることができる。

　なお、隣り合う第２の線部分ｅ２の少なくとも一部同士が、圧電体層６の伝搬軸が延びる方向から見たときに重なり合っていればよい。この場合にも、交叉領域の、伝搬軸の法線方向に沿う寸法が、第１の包絡線Ｅ９５の第３の線部分ｅ３が位置する部分を境界として、急激に変化する。これにより、横モードを抑制することができる。

　本変形例では、第１の包絡線Ｅ９５の全体において、第２の線部分ｅ２及び第３の線部分ｅ３が交互に接続されている。もっとも、第１の包絡線Ｅ９５の少なくとも一部において、２本の第２の線部分ｅ２が第３の線部分ｅ３により接続されていればよい。

　複数の第２の線部分ｅ２同士においては、第２の傾斜角度θ２は同じであり、かつ長さは同じである。なお、同じ第３の線部分ｅ３により接続された第２の線部分ｅ２同士においては、第２の傾斜角度θ２は必ずしも同じではなくともよく、長さは必ずしも同じではなくともよい。例えば、第１の包絡線Ｅ９５における、波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではなくても構わない。

　第１の包絡線が第１３の実施形態またはその第１の変形例のように構成されている場合にも、弾性波装置がピストンモードを利用可能に構成されていてもよい。これらの例を、第１３の実施形態の第２の変形例及び第３の変形例により示す。第２の変形例及び第３の変形例においても、第１３の実施形態と同様に、通過帯域外の不要波を抑制でき、かつＱ値を高めることができる。加えて、弾性波装置を大型化せずして、横モードをより一層抑制することができる。

　図４８に示す第２の変形例においては、第１の包絡線Ｅ９３は、複数の第１の線部分ｅ１と、複数の第３の線部分ｅ３とを含む。第１のエッジ領域Ｈ１に、複数の質量付加膜９８Ｃが設けられている。他方、第２のエッジ領域Ｈ２に、１つの質量付加膜９８Ｂが設けられている。

　第１のエッジ領域Ｈ１においては、複数の質量付加膜９８Ｃが周期的に設けられている。より具体的には、第１の包絡線Ｅ９３における各第１の線部分ｅ１に沿って、各質量付加膜９８Ｃが設けられている。各質量付加膜９８Ｃは、複数の電極指上にわたり設けられている。各質量付加膜９８Ｃは、圧電体層６における電極指間の部分にも設けられている。質量付加膜９８Ｃは、第３の線部分ｅ３に沿っては設けられていない。

　図４９に示す第３の変形例においては、第１の包絡線Ｅ９５は、複数の第２の線部分ｅ２と、複数の第３の線部分ｅ３とを含む。第１のエッジ領域Ｈ１に、複数の質量付加膜９８Ｃが設けられている。他方、第２のエッジ領域Ｈ２に、１つの質量付加膜９８Ｂが設けられている。

　第１のエッジ領域Ｈ１においては、複数の質量付加膜９８Ｃが周期的に設けられている。より具体的には、第１の包絡線Ｅ９５における各第２の線部分ｅ２に沿って、各質量付加膜９８Ｃが設けられている。各質量付加膜９８Ｃは、複数の電極指上にわたり設けられている。各質量付加膜９８Ｃは、圧電体層６における電極指間の部分にも設けられている。質量付加膜９８Ｃは、第３の線部分ｅ３に沿っては設けられていない。

　第２の変形例及び第３の変形例では、圧電体層６の伝搬軸の法線方向から見たときにおいて、第１のエッジ領域Ｈ１の全ての部分に複数の質量付加膜９８Ｃが設けられている。これにより、横モードを効果的に抑制することができる。

　なお、第２の変形例及び第３の変形例において、質量付加膜が設けられた構成の代わりに、少なくとも１本の電極指が、１対のエッジ領域のうち少なくとも一方において幅広部を有する構成であってもよい。あるいは、電極指が幅広部を有する構成、及び質量付加膜が設けられた構成の双方により、低音速領域が構成されていてもよい。

　第１２の実施形態及び第１３の実施形態並びにこれらの各変形例では、第２のバスバー及び第２の包絡線の一例を示した。もっとも、第１２の実施形態及び第１３の実施形態並びにこれらの各変形例において、本発明の他の実施形態における第２のバスバー及び第２の包絡線を採用することもできる。第１２の実施形態及び第１３の実施形態並びにこれらの各変形例において、複数の第２のオフセット電極が設けられている構成を採用することもできる。

　以下において、本発明に係る弾性波装置及びフィルタ装置の形態の例をまとめて記載する。

　＜１＞圧電体層を含む圧電性基板と、前記圧電体層上に設けられており、１対のバスバー及び複数の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように設けられており、複数の反射器電極指をそれぞれ有する、１対の反射器と、を備え、前記１対のバスバーが、互いに対向している第１のバスバー及び第２のバスバーであり、前記複数の電極指が、複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指であり、前記複数の第１の電極指の一方端がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２の電極指の一方端がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が互いに間挿し合っており、前記複数の第２の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線、前記複数の第１の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線とし、前記ＩＤＴ電極における、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線の間の領域が交叉領域であり、前記圧電体層が伝搬軸を有し、平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、曲線状の部分を含み、平面視における前記複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含み、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち少なくとも一方が、前記伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ延びる方向が変化している少なくとも１つの折れ曲がり部を有する、弾性波装置。

　＜２＞全ての前記電極指のうち５０％以上の電極指が、該電極指が延びる方向の法線方向と、前記伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含む、＜１＞に記載の弾性波装置。

　＜３＞平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状が、円弧または楕円弧の形状を含む、＜１＞または＜２＞に記載の弾性波装置。

　＜４＞前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、前記交叉領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角度を定義し、前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、全ての前記励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、デューティ比、電極指ピッチ、並びに前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の厚みのうち少なくともいずれかが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、＜３＞に記載の弾性波装置。

　＜５＞前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、前記交叉領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角度を定義し、前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、全ての前記励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、前記誘電体膜の厚みが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、＜３＞に記載の弾性波装置。

　＜６＞平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の曲がる方向が異なる少なくとも２つの曲線状の部分を含み、かつ少なくとも１つの変曲点を有する、＜１＞または＜２＞に記載の弾性波装置。

　＜７＞平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状における、前記少なくとも２つの曲線状の部分がそれぞれ、円弧または楕円弧の形状を含み、前記交叉領域が、平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、単一の円弧または楕円弧の形状である、少なくとも２つの曲線領域を含む、＜６＞に記載の弾性波装置。

　＜８＞それぞれの前記曲線領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、それぞれの前記曲線領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角の角度を定義し、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、該曲線領域の全ての前記励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、デューティ比、電極指ピッチ、並びに前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の厚みのうち少なくともいずれかが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、＜７＞に記載の弾性波装置。

　＜９＞前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、それぞれの前記曲線領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、それぞれの前記曲線領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角の角度を定義し、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、該曲線領域の全ての前記励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、前記誘電体膜の厚みが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、＜７＞に記載の弾性波装置。

　＜１０＞前記交叉領域において、平面視における前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状が、直線の形状を含む、＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜１１＞前記圧電性基板が支持基板を有し、前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜１２＞前記圧電性基板が、前記支持基板及び前記圧電体層の間に設けられている中間層を有する、＜１１＞に記載の弾性波装置。

　＜１３＞前記圧電性基板において中空部が構成されており、前記支持基板の一部と、前記圧電体層の一部とが、前記中空部を挟み互いに対向している、＜１１＞または＜１２＞に記載の弾性波装置。

　＜１４＞前記圧電性基板が前記圧電体層のみからなる、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜１５＞複数の第１のオフセット電極及び複数の第２のオフセット電極と、を有し、前記複数の第１のオフセット電極がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２のオフセット電極がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、前記第２の電極指の先端部と、前記第１のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、前記第１の電極指の先端部と、前記第２のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向している、＜１＞～＜１４＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜１６＞平面視における前記複数の第１のオフセット電極の形状が、曲線状の形状を有する、＜１５＞に記載の弾性波装置。

　＜１７＞平面視における前記複数の第１のオフセット電極の形状が、直線状の形状を有する、＜１５＞に記載の弾性波装置。

　＜１８＞前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、少なくとも１本の前記電極指と積層されている、質量付加膜をさらに備える、＜１＞～＜１７＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜１９＞前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、少なくとも１本の前記電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に位置しており、前記中央領域よりも幅が広い幅広部を有する、＜１＞～＜１８＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜２０＞前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち、少なくとも前記第１の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状である、＜１＞～＜１９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜２１＞前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部同士の間に、前記複数の電極指が２０対以上設けられており、前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が５．５°以上である、＜２０＞に記載の弾性波装置。

　＜２２＞前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が７°以上である、＜２１＞に記載の弾性波装置。

　＜２３＞前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が１０°以上である、＜２２＞に記載の弾性波装置。

　＜２４＞前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が１０°以上であり、前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部の間に、前記複数の電極指が７対以上設けられている、＜２０＞に記載の弾性波装置。

　＜２５＞前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部の間に、前記複数の電極指が１０対以上設けられている、＜２４＞に記載の弾性波装置。

　＜２６＞前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線が、少なくとも１本の第１の線部分と、前記第１の線部分に接続されている少なくとも１本の第２の線部分と、を含み、前記第１の包絡線及び前記電極指の法線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度の正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とし、前記第１の線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度を第１の傾斜角度としたときに、前記第１の線部分に位置している前記第２の電極指の先端部の法線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度と、前記第１の傾斜角度との正負の符号が同じであり、前記第２の線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度を第２の傾斜角度としたときに、前記第１の傾斜角度と前記第２の傾斜角度との正負の符号が互いに異なり、前記第１の傾斜角度の絶対値が、前記第２の傾斜角度の絶対値よりも大きい、＜２０＞に記載の弾性波装置。

　＜２７＞前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線が、前記伝搬軸に対して傾斜している少なくとも２本の線部分と、２本の前記線部分に両端が接続されている少なくとも１本の第３の線部分と、を含み、前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度の正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向としたときに、同じ前記第３の線部分に接続されている前記線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度の正負の符号が同じであり、前記第３の線部分に前記第２の電極指の先端部が位置しておらず、前記伝搬軸が延びる方向から見たときに、同じ前記第３の線部分に接続されている前記線部分の少なくとも一部同士が重なり合っている、＜２０＞に記載の弾性波装置。

　＜２８＞前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、少なくとも１本の前記電極指と積層されている、質量付加膜をさらに備える、＜２６＞または＜２７＞に記載の弾性波装置。

　＜２９＞前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、少なくとも１本の前記電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に位置しており、前記中央領域よりも幅が広い幅広部を有する、＜２６＞～＜２８＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３０＞前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでおり、前記第１の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでいる、＜２０＞～＜２９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３１＞前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでおり、前記第１の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでいる、＜２０＞～＜２９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３２＞前記第１の包絡線における、前記波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではない、＜２０＞～＜２９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３３＞前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線における、前記波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が互いに異なる、＜２０＞～＜２９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３４＞平面視における前記第１のバスバーの、前記第１の包絡線側の部分の形状が、波状の形状であり、前記第１のバスバーと、前記第１の包絡線との間の、前記伝搬軸と直交する方向における距離が一定である、＜２０＞～＜３３＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３５＞複数の第１のオフセット電極及び複数の第２のオフセット電極と、を有し、前記複数の第１のオフセット電極がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２のオフセット電極がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、前記第２の電極指の先端部と、前記第１のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、前記第１の電極指の先端部と、前記第２のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、前記複数の第１のオフセット電極の長さが一定である、＜３４＞に記載の弾性波装置。

　＜３６＞前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、平面視における前記第２のバスバーの、前記第２の包絡線側の部分の形状が、波状の形状であり、前記第２のバスバーと、前記第２の包絡線との間の、前記伝搬軸と直交する方向における距離が一定である、＜３４＞または＜３５＞に記載の弾性波装置。

　＜３７＞前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち、前記第１の包絡線のみが前記波状の形状を有する、＜２０＞～＜２９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。

　＜３８＞前記第２の包絡線が直線状の形状を有する、＜３７＞に記載の弾性波装置。

　＜３９＞前記第２のバスバーにおける前記第２の包絡線側の部分の形状が、直線状の形状を有する、＜３４＞または＜３８＞に記載の弾性波装置。

　＜４０＞複数の弾性波共振子を備え、少なくとも１つの前記弾性波共振子が、＜１＞～＜３９＞のいずれか１つに記載の弾性波装置である、フィルタ装置。

　＜４１＞複数の弾性波共振子を備え、少なくとも２つの前記弾性波共振子が、＜３４＞～＜３６＞のいずれか１つに記載の弾性波装置であり、２つの前記弾性波装置の前記第１のバスバー同士が接続されている、フィルタ装置。

　＜４２＞複数の弾性波共振子を備え、少なくとも２つの前記弾性波共振子が、＜３９＞に記載の弾性波装置であり、２つの前記弾性波装置の前記第２のバスバー同士が接続されている、フィルタ装置。

１…弾性波装置
２…圧電性基板
３…支持部材
４…支持基板
５…中間層
５ａ，５ｂ…第１，第２の層
６…圧電体層
６ａ，６ｂ…第１，第２の主面
８，８Ａ，８Ｂ，８Ｃ，８Ｄ…ＩＤＴ電極
９Ａ，９Ｂ…反射器
９ａ，９ｂ…反射器バスバー
９ｃ…反射器電極指
９ｄ，９ｅ…反射器バスバー
９ｆ…反射器電極指
１４，１５…第１，第２のバスバー
１６，１７…第１，第２の電極指
１６Ｃ，１７Ｃ…第１，第２の電極指
１６Ｄ，１７Ｄ…第１，第２の電極指
１８，１８Ａ…第１のオフセット電極
１９…第２のオフセット電極
２４，２５…第１，第２のバスバー
３６，３７…第１，第２の電極指
３８…ＩＤＴ電極
３９Ａ，３９Ｂ…反射器
４５…誘電体膜
４８…ＩＤＴ電極
５２，５２Ａ，５２Ｂ…圧電性基板
５２ｃ…中空部
５４…支持基板
５５，５５Ａ…中間層
５７…音響反射膜
５７ａ…高音響インピーダンス層
５７ｂ…低音響インピーダンス層
５７ｃ…高音響インピーダンス層
５７ｄ…低音響インピーダンス層
５７ｅ…高音響インピーダンス層
６９…保護膜
６９ａ，６９ｂ…第１，第２の層
７１…弾性波装置
７８…電極
８０…フィルタ装置
８２，８３…第１，第２の信号端子
９５…第２のバスバー
９５ａ…内側バスバー部
９５ｂ…外側バスバー部
９５ｃ…接続部
９５ｄ…開口部
９６，９７…第１，第２の電極指
９６Ａ，９７Ｂ…第１，第２の電極指
９６ａ，９６ｂ，９７ａ，９７ｂ…幅広部
９８Ａ～９８Ｃ…質量付加膜
１０１，１０３…弾性波装置
１０８…ＩＤＴ電極
１０９Ａ，１０９Ｂ…反射器
Ｄ…交叉領域
ｅ１～ｅ３…第１～第３の線部分
Ｅ１，Ｅ２…第１，第２の包絡線
Ｅ９１，Ｅ９３，Ｅ９５…第１の包絡線
Ｅ１０１，Ｅ１０２…第１，第２の包絡線
Ｆ…直線領域
Ｈ１，Ｈ２…第１，第２のエッジ領域
Ｊ…中央領域
Ｎ，Ｎ１，Ｎ２…基準線
Ｐ１，Ｐ２…並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ３…直列腕共振子
Ｖ１，Ｖ２…折れ曲がり部
Ｗ１，Ｗ２…第１，第２の曲線領域

Claims

　圧電体層を含む圧電性基板と、
　前記圧電体層上に設けられており、１対のバスバー及び複数の電極指を有するＩＤＴ電極と、
　前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を挟み互いに対向するように設けられており、複数の反射器電極指をそれぞれ有する、１対の反射器と、
を備え、
　前記１対のバスバーが、互いに対向している第１のバスバー及び第２のバスバーであり、前記複数の電極指が、複数の第１の電極指及び複数の第２の電極指であり、前記複数の第１の電極指の一方端がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２の電極指の一方端がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指が互いに間挿し合っており、
　前記複数の第２の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線、前記複数の第１の電極指の先端部を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線とし、前記ＩＤＴ電極における、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線の間の領域が交叉領域であり、
　前記圧電体層が伝搬軸を有し、
　平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、曲線状の部分を含み、平面視における前記複数の反射器電極指の形状がそれぞれ曲線状の部分を含み、前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち少なくとも一方が、前記伝搬軸に対して傾斜して延びている部分を有し、かつ延びる方向が変化している少なくとも１つの折れ曲がり部を有する、弾性波装置。
　全ての前記電極指のうち５０％以上の電極指が、該電極指が延びる方向の法線方向と、前記伝搬軸が延びる方向とが同じである部分を含む、請求項１に記載の弾性波装置。
　平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状が、円弧または楕円弧の形状を含む、請求項１または２に記載の弾性波装置。
　前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、前記交叉領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角度を定義し、前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、全ての前記励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、デューティ比、電極指ピッチ、並びに前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の厚みのうち少なくともいずれかが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、請求項３に記載の弾性波装置。
　前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、
　前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、前記交叉領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角度を定義し、前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、全ての前記励振部における共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、前記誘電体膜の厚みが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、請求項３に記載の弾性波装置。
　平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、前記交叉領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の曲がる方向が異なる少なくとも２つの曲線状の部分を含み、かつ少なくとも１つの変曲点を有する、請求項１または２に記載の弾性波装置。
　平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状における、前記少なくとも２つの曲線状の部分がそれぞれ、円弧または楕円弧の形状を含み、前記交叉領域が、平面視における前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の形状がそれぞれ、単一の円弧または楕円弧の形状である、少なくとも２つの曲線領域を含む、請求項６に記載の弾性波装置。
　それぞれの前記曲線領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、それぞれの前記曲線領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角の角度を定義し、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、該曲線領域の全ての前記励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、デューティ比、電極指ピッチ、並びに前記複数の第１の電極指及び前記複数の第２の電極指の厚みのうち少なくともいずれかが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、請求項７に記載の弾性波装置。
　前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜をさらに備え、
　それぞれの前記曲線領域において、前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状における前記円弧を含む円の中心、または前記楕円弧を含む楕円の２つの焦点の重心を定点とし、それぞれの前記曲線領域における、前記定点を通る任意の直線上の部分を励振部とし、前記伝搬軸と平行に延び、かつ前記定点を通る直線を基準線とし、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線と、前記基準線とがなす角の角度を定義し、前記第１の包絡線を含む前記曲線領域における前記定点及び前記励振部を通る直線並びに前記電極指の交点における弾性波の励振方向と、前記基準線とがなす角の励振角度を定義した場合、該曲線領域の全ての前記励振部における共振周波数同士、または反共振周波数同士が略一致するように、前記誘電体膜の厚みが、それぞれの前記角度または前記励振角度に応じて変化している、請求項７に記載の弾性波装置。
　前記交叉領域において、平面視における前記第１の電極指及び前記第２の電極指の形状が、直線の形状を含む、請求項１～９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記圧電性基板が支持基板を有し、
　前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記圧電性基板が、前記支持基板及び前記圧電体層の間に設けられている中間層を有する、請求項１１に記載の弾性波装置。
　前記圧電性基板において中空部が構成されており、前記支持基板の一部と、前記圧電体層の一部とが、前記中空部を挟み互いに対向している、請求項１１または１２に記載の弾性波装置。
　前記圧電性基板が前記圧電体層のみからなる、請求項１～１０のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　複数の第１のオフセット電極及び複数の第２のオフセット電極と、を有し、
　前記複数の第１のオフセット電極がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２のオフセット電極がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、
　前記第２の電極指の先端部と、前記第１のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、前記第１の電極指の先端部と、前記第２のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向している、請求項１～１４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　平面視における前記複数の第１のオフセット電極の形状が、曲線状の形状を有する、請求項１５に記載の弾性波装置。
　平面視における前記複数の第１のオフセット電極の形状が、直線状の形状を有する、請求項１５に記載の弾性波装置。
　前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、
　前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、少なくとも１本の前記電極指と積層されている、質量付加膜をさらに備える、請求項１～１７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、
　少なくとも１本の前記電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に位置しており、前記中央領域よりも幅が広い幅広部を有する、請求項１～１８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち、少なくとも前記第１の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、
　前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状である、請求項１～１９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部同士の間に、前記複数の電極指が２０対以上設けられており、
　前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が５．５°以上である、請求項２０に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が７°以上である、請求項２１に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が１０°以上である、請求項２２に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜しているそれぞれの部分における、前記伝搬軸に対する傾斜角度の絶対値が１０°以上であり、
　前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部の間に、前記複数の電極指が７対以上設けられている、請求項２０に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線における、隣り合う前記折れ曲がり部の間に、前記複数の電極指が１０対以上設けられている、請求項２４に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線が、少なくとも１本の第１の線部分と、前記第１の線部分に接続されている少なくとも１本の第２の線部分と、を含み、
　前記第１の包絡線及び前記電極指の法線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度の正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とし、前記第１の線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度を第１の傾斜角度としたときに、前記第１の線部分に位置している前記第２の電極指の先端部の法線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度と、前記第１の傾斜角度との正負の符号が同じであり、
　前記第２の線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度を第２の傾斜角度としたときに、前記第１の傾斜角度と前記第２の傾斜角度との正負の符号が互いに異なり、
　前記第１の傾斜角度の絶対値が、前記第２の傾斜角度の絶対値よりも大きい、請求項２０に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線が、前記伝搬軸に対して傾斜している少なくとも２本の線部分と、２本の前記線部分に両端が接続されている少なくとも１本の第３の線部分と、を含み、
　前記第１の包絡線が前記伝搬軸に対して傾斜している角度の正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向としたときに、同じ前記第３の線部分に接続されている前記線部分の前記伝搬軸に対する傾斜角度の正負の符号が同じであり、
　前記第３の線部分に前記第２の電極指の先端部が位置しておらず、前記伝搬軸が延びる方向から見たときに、同じ前記第３の線部分に接続されている前記線部分の少なくとも一部同士が重なり合っている、請求項２０に記載の弾性波装置。
　前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、
　前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に設けられており、少なくとも１本の前記電極指と積層されている、質量付加膜をさらに備える、請求項２６または２７に記載の弾性波装置。
　前記交叉領域が、前記第１の包絡線を含む第１のエッジ領域と、前記第２の包絡線を含む第２のエッジ領域と、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域により挟まれた中央領域と、を有し、
　少なくとも１本の前記電極指が、前記第１のエッジ領域及び前記第２のエッジ領域のうち少なくとも一方に位置しており、前記中央領域よりも幅が広い幅広部を有する、請求項２６～２８のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、
　前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでおり、
　前記第１の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでいる、請求項２０～２９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、
　前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでおり、
　前記第１の包絡線における、前記第２のバスバー側に向かい凸状となるように前記第１の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部と、前記第２の包絡線における、前記第１のバスバー側に向かい凸状となるように前記第２の包絡線が折れ曲がっている部分である前記折れ曲がり部とが、前記伝搬軸と直交する方向に並んでいる、請求項２０～２９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線における、前記波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が一定ではない、請求項２０～２９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、
　前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、
　前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線における、前記波状の形状における周期に相当する寸法、及び振幅に相当する寸法のうち少なくとも一方が互いに異なる、請求項２０～２９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　平面視における前記第１のバスバーの、前記第１の包絡線側の部分の形状が、波状の形状であり、
　前記第１のバスバーと、前記第１の包絡線との間の、前記伝搬軸と直交する方向における距離が一定である、請求項２０～３３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　複数の第１のオフセット電極及び複数の第２のオフセット電極と、を有し、
　前記複数の第１のオフセット電極がそれぞれ、前記第１のバスバーに接続されており、前記複数の第２のオフセット電極がそれぞれ、前記第２のバスバーに接続されており、
　前記第２の電極指の先端部と、前記第１のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、前記第１の電極指の先端部と、前記第２のオフセット電極の先端部とが、ギャップを隔てて対向しており、
　前記複数の第１のオフセット電極の長さが一定である、請求項３４に記載の弾性波装置。
　前記第２の包絡線が複数の前記折れ曲がり部を有し、
　前記第２の包絡線の形状が、隣り合う前記折れ曲がり部同士が、直線または曲線により結ばれた波状の形状であり、
　平面視における前記第２のバスバーの、前記第２の包絡線側の部分の形状が、波状の形状であり、
　前記第２のバスバーと、前記第２の包絡線との間の、前記伝搬軸と直交する方向における距離が一定である、請求項３４または３５に記載の弾性波装置。
　前記第１の包絡線及び前記第２の包絡線のうち、前記第１の包絡線のみが前記波状の形状を有する、請求項２０～２９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
　前記第２の包絡線が直線状の形状を有する、請求項３７に記載の弾性波装置。
　前記第２のバスバーにおける前記第２の包絡線側の部分の形状が、直線状の形状を有する、請求項３４または３８に記載の弾性波装置。
　複数の弾性波共振子を備え、
　少なくとも１つの前記弾性波共振子が、請求項１～３９のいずれか１項に記載の弾性波装置である、フィルタ装置。
　複数の弾性波共振子を備え、
　少なくとも２つの前記弾性波共振子が、請求項３４～３６のいずれか１項に記載の弾性波装置であり、
　２つの前記弾性波装置の前記第１のバスバー同士が接続されている、フィルタ装置。
　複数の弾性波共振子を備え、
　少なくとも２つの前記弾性波共振子が、請求項３９に記載の弾性波装置であり、
　２つの前記弾性波装置の前記第２のバスバー同士が接続されている、フィルタ装置。