WO2024052084A1 - Anordnung und verfahren zur kalibrierung eines spiegelarrays - Google Patents

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WO2024052084A1
WO2024052084A1 PCT/EP2023/072815 EP2023072815W WO2024052084A1 WO 2024052084 A1 WO2024052084 A1 WO 2024052084A1 EP 2023072815 W EP2023072815 W EP 2023072815W WO 2024052084 A1 WO2024052084 A1 WO 2024052084A1
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mirror
array
detection light
mirror array
light beam
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PCT/EP2023/072815
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Ralf Noltemeyer
Michael Krueger
Martin HUSNIK
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Robert Bosch Gmbh
Carl Zeiss Smt Gmbh
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    • G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load

Definitions

  • the invention relates to an arrangement and a method for calibrating a mirror array with several mirror elements.
  • micromirrors can be used in different applications, such as: B. Projectors on a smartphone, head-up displays, barcode readers, etc.
  • adjustable optical paths up to the reticle also known as a mask, are advantageous, which can be implemented by a micromirror array in the optical path.
  • the micromirrors can be provided with a Bragg coating that reflects the central wavelengths well. Wavelengths outside the reflection range are absorbed and generate heat in the micromirror, which must be specifically dissipated with the lowest possible temperature resistance.
  • the positioning accuracy of the micromirror depends on how well the micromirror position sensor system works.
  • the micromirror position sensor system depends on the manufacturing tolerances, the temperature stability in conjunction with the temperature variance and the long-term stability in conjunction with the product lifespan or the times when the device needs to be recalibrated.
  • the document DE 10 2015 204 874 Al relates to an actuator device for tilting a mirror element.
  • the document DE 10 2016 213 026 A1 relates to a sensor device for detecting a tilt angle of a mirror element. Disclosure of the invention
  • the mirror array can have a control device to control the mirror elements.
  • the mirror elements can be controlled separately from each other.
  • the arrangement includes a detection light device and a detection device.
  • light is understood to mean any form of electromagnetic radiation.
  • the detection light device comprises at least one detection light source, which is set up to generate a detection light beam which is directed onto a reflection surface of the mirror elements of the mirror array. This allows the reflection surface of each mirror element to be illuminated.
  • the detection light source generates the detection light beam with a suitable wavelength with an absorption component of e.g. B. 30% and a reflection proportion of z. B. 70%.
  • the detection light device is preferably designed as a laser device with at least one laser beam source which is set up to generate a laser beam.
  • the detection device includes a first detector array.
  • the first detector array has a plurality of detectors which are set up to determine the angular positions of the individual mirror elements of the mirror array based on temperature changes and/or electrical currents generated by a detection light beam reflected by the mirror elements of the mirror array, which arise from the photoelectric effect or other physical effects to detect and calculate.
  • the detector in the sense of this invention can be designed as a temperature sensor or light sensor.
  • the temperature sensor includes, for example, thermistor, thermistor, thermocouple, etc.
  • the other physical effects through which electrical currents arise include, for example, the thermoelectric effect.
  • the detector array can have different detectors.
  • the detector array can have both temperature sensors and light sensors, which can, for example, serve as redundancy to one another.
  • the term “angular position of the individual mirror elements” is understood to mean the tilt angle of the individual mirror elements.
  • the tilt angle of the individual mirror elements can be azimuth-dependent.
  • the mirror array can also contain detectors such as B. temperature sensors and / or light sensors, each of which is assigned to a mirror element. These detectors can be used to detect which mirror element of the mirror array is illuminated. The detectors can be part of the mirror array.
  • the first detector array is preferably designed as part of a further mirror array with a plurality of mirror elements.
  • the further mirror array can have a control device.
  • the mirror elements can be controlled separately from each other.
  • the additional mirror array can be optically coupled to the mirror array.
  • the detectors of the first detector array are each provided for a mirror element of the further mirror array.
  • each mirror element can be provided with a temperature sensor and/or a light sensor.
  • the further mirror array can be optically coupled to the mirror array when a light beam is at least partially reflected by the mirror array and imaged on the further mirror array, or vice versa, when a light beam is at least partially reflected by the further mirror array and imaged on the mirror array.
  • the arrangement according to the invention further comprises a second detector array.
  • the second detector array is designed as a part of the mirror array and includes several detectors, each of which is provided for a mirror element and is set up to detect temperature changes in the individual mirror elements and/or electrical currents that arise from the photoelectric effect or other physical effects recognize which mirror element is illuminated.
  • the detection device preferably also has a third detector array with a plurality of detectors, which are set up to detect and calculate the angular positions of the individual mirror elements of the further mirror array based on a detection light beam reflected by the mirror elements of the further mirror array.
  • a further aspect of the invention is the provision of a method for calibrating a mirror array with multiple mirror elements.
  • the method according to the invention is preferred using the arrangement proposed according to the invention executed. Accordingly, features described in the order apply to the procedure and, conversely, features described in the procedure apply to the order.
  • a detection light beam is first directed onto the reflection surface of the respective mirror elements of the mirror array.
  • the mirror elements of the mirror array are moved to a predetermined angular position so that the detection light beam is reflected onto the detector array.
  • Temperature changes and/or electrical currents caused by the detection light beam and/or the reflected detection light beam are then detected.
  • the detectors of the first detector array can be used to detect the temperature changes or to detect the electrical currents generated by photoelectric or other physical effects. This detects which mirror element of the mirror array is illuminated. If the first detector array is part of a further mirror array, which can be optically coupled to the mirror array, it can also be recognized according to the same principle which mirror element of the further mirror array is illuminated. The third detector array can also be used to identify which mirror element of the further mirror array is illuminated.
  • the angular position of the respective mirror elements is then determined using the detector array. Since there is an entire detector array, namely the first, second or third detector array, the angular positions of the mirror elements of the respective mirror arrays can be very adjusted using a so-called “four-quadrant method”, in which an x-direction and a y-direction are predefined can be determined precisely if the center of gravity of the reflected relevant radiation is at the center of the mirror array using the four-quadrant method or lies on selected pixels of the detector array.
  • At least one positioning map is generated for the mirror array and/or the further mirror array when the mirror array approaches different four-quadrant centers on the first detector array and/or when the further mirror array approaches different four-quadrant centers on the second or third detector array arrives.
  • a suitable four-quadrant position is recognized which the position accuracy can be recognized more precisely.
  • different positioning maps are generated on the detector array by appropriately moving the mirror array and/or the further mirror array.
  • the initial positioning map can, for example, be generated by calibration after the mirror array has been installed in the application. This calibration eliminates the relevant tolerances at the beginning of the service life.
  • the detection light beam is preferably generated in a pulsed manner. This allows e.g. B. the photocurrents can be better evaluated from the background noise.
  • a lighting system for a projection exposure system comprises at least one mirror array with a plurality of mirror elements, a radiation source whose beam is directed directly onto the reflection surface of the mirror elements of the at least one mirror array or, after at least one reflection, onto the reflection surface of the mirror elements of the at least one mirror array, and at least one arrangement proposed according to the invention and /or is set up to carry out the method according to the invention.
  • the detection light beam direction of the detection light beam is opposite to the illumination beam direction of the illumination beam of the radiation source, so that there is no interference with the exposure from the reticle.
  • the detection light device can z. B. can only be used between the exposure breaks of the radiation source, wafer changes or solder changes.
  • the radiation source is an EUV radiation source.
  • the third detector array is arranged on an illumination aperture provided for the radiation source around an aperture of the illumination aperture.
  • a projection exposure system for microlithography which comprises an illumination system according to the invention and/or which is set up to carry out the method according to the invention.
  • the service life effect of the mirror element and the mirror array can be reduced and thus improved positioning accuracy can be achieved.
  • an automatic calibration of the mirror array can be achieved using the arrangement according to the invention and the method according to the invention.
  • Figure 1 shows a schematic representation of the arrangement according to the invention according to a first embodiment
  • Figure 2 shows a schematic representation of the arrangement according to the invention according to a second embodiment.
  • Figure 1 shows a schematic representation of the arrangement 100 according to the invention according to a first embodiment.
  • the present application includes the subject matter of DE 10 2022 209 438.7.
  • the arrangement 100 according to the invention for calibrating a mirror array 30 includes a detection light device 40 with a first detection light source 41 and a detection device 60 with a first detector array 62.
  • the mirror array 30 includes a plurality of mirror elements 34, each of which has a reflection surface 36.
  • the reflection surface 36 of the individual mirror elements 34 form an overall reflection surface 38 of the mirror array 30.
  • the mirror array 30 can have a control device (not shown).
  • the mirror elements 34 can be controlled separately from one another.
  • the detection light device 40 can also have further detection light sources (see FIG. 2).
  • the detection light device can be designed as a laser device, with the first detection light source or possibly further detection light sources being designed as a laser beam source.
  • the detection light sources are preferably set up to each generate a pulsed detection light beam 50.
  • the first detection light source 41 is set up to generate a detection light beam 50, which is directed in a detection light beam direction 56 onto the reflection surface 36 of the mirror elements 34 of the mirror array 30. This allows the reflection surface 36 of each mirror element 34 to be illuminated.
  • the first detector array 62 has a plurality of detectors (not shown), such as temperature sensors and/or light sensors, which are set up to determine the angular positions of the detectors based on temperature changes and/or electrical currents generated by a detection light beam 52 reflected by the mirror elements 34 of the mirror array 30 individual mirror elements 34 of the mirror array 30 to detect.
  • the mirror array 30 is designed as a flat mirror. This means that the overall reflection surface 38 of the mirror array 30 essentially forms a plane when the mirror elements 34 of the mirror array 30 are each in a non-pivoted state. However, the overall reflection surface 38 of the mirror array 30 can be curved and wok-shaped (see FIG. 2).
  • the mirror element 34 of the mirror array 30 is controlled in such a way that the first detector array 62 is scanned by the detection light beam 52 reflected by the mirror element 34.
  • the first detector array 62 can be designed as part of a further mirror array 32 (see FIG. 2) with several mirror elements 34.
  • the angular positions of the mirror elements 34 of the mirror array 30 can be determined very precisely using a so-called “four-quadrant method”, in which an x-direction and a y-direction are predefined if the focus of the reflected relevant radiation on the mirror array 30 is preferably at the center of the four-quadrant method or on selected pixels of the detector array 62, 64.
  • the mirror array 30 can also include detectors such as. B. temperature sensors and / or light sensors, each of which is assigned to a mirror element 34. These detectors can be used to detect which mirror element 34 of the mirror array is illuminated. The detectors can be part of the mirror array 30.
  • Figure 2 shows a schematic representation of the arrangement 100 according to the invention according to a second embodiment.
  • Figure 2 shows a lighting system 200 in which the arrangement 100 according to the invention is integrated.
  • the lighting system 200 includes a radiation source 20, in particular an EUV radiation source.
  • the lighting system 200 further comprises a mirror array 30 and a further mirror array 32.
  • the two mirror arrays 30, 32 are optically coupled to one another and are each wok-shaped.
  • a lighting aperture 24 with an aperture opening 26 is provided for the radiation source 20.
  • a The illumination beam 22 of the radiation source 20 is directed through the aperture opening 26 in an illumination beam direction 28 onto the further mirror array 32. Since the further mirror array 32 is optically coupled to the mirror array 30, this illumination beam 22 is reflected by the further mirror array 32 and imaged on the mirror array 30, which is not shown in more detail in Figure 2.
  • the arrangement 100 includes a detection light device 40, which includes a first detection light source 41, a second detection light source 42, a third detection light source 43, a fourth detection light source 44, a fifth detection light source 45 and a sixth detection light source 46.
  • a detection light device 40 which includes a first detection light source 41, a second detection light source 42, a third detection light source 43, a fourth detection light source 44, a fifth detection light source 45 and a sixth detection light source 46.
  • Several detection light sources can be arranged, for example if several mirror arrays are arranged so that each mirror array can be illuminated.
  • the first and second detection light sources 41, 42 are arranged in the vicinity of the further mirror array 32.
  • the third and fourth detection light sources 43, 44 are arranged in the vicinity of the mirror array 30.
  • the fifth and sixth detection light sources 45, 46 are arranged on the lighting aperture 24.
  • the detection light sources 41, 42, 43, 44, 45, 46 are set up to generate detection light beams 50 from different directions and to direct them onto the respective mirror arrays 30, 32.
  • the method according to the invention can therefore be carried out in different situations.
  • the mirror arrays 30, 32 can also be calibrated separately or depending on one another.
  • the arrangement 100 further comprises a detection device 60, which has a first detector array 62, a second detector array 64 and a third detector array 66.
  • the first detector array 62 is designed as a part of the further mirror array 32 and includes several detectors, such as temperature sensors and/or Light sensors, each provided for a mirror element 34.
  • the second detector array 64 is designed as a part of the mirror array 30 and includes several detectors, such as temperature sensors and/or light sensors, each of which is provided for a mirror element 34.
  • the third detector array 66 is arranged on the lighting aperture 24 around the aperture opening 26 and also includes several detectors, such as temperature sensors and/or light sensors.
  • the method according to the invention is described below using the lighting system 200 shown in FIG. 2 and the arrangement 100 shown in FIG Using a detection light beam 50 from the first detection light source 41.
  • Other detection light sources can also be used.
  • a detection light beam 50 is first directed in a detection light beam direction 56 onto the reflection surface 36 of the respective mirror elements 34 of the mirror array 30.
  • Figure 2 shows that the detection light beam direction 56 of the detection light beam 50 from the first detection light source 41 is opposite to the illumination beam direction 28 of the illumination beam 22 from the beam source 20.
  • temperature changes and/or electrical currents caused by the detection light beam 50 are detected by the first detector array 62 in order to detect which mirror element 34 of the mirror array 30 is illuminated.
  • the detectors of the first detector array 62 which are each provided for a mirror element 34 of the further mirror array 32, can be used to detect the temperature changes or to detect the electrical currents that are generated by photoelectric or other physical effects. It is thus recognized which mirror element 34 of the mirror array 30 is illuminated.
  • the second detector array 64 can also be used to detect which mirror element 34 of the mirror array 30 is illuminated by the laser beam 52 reflected by the mirror array 30 when a detection light beam 50 from e.g. B of the sixth detection light source 66, directed onto the reflection surface 36 of the respective mirror elements 34 of the further mirror array 32 and directed onto the mirror array 30. According to the same principle, it is possible to identify which mirror element 34 of the further mirror array 32 is illuminated by means of the third detector array 66, which is irradiated by detection light beam 54 reflected from the further mirror array 34.
  • the angular position of the respective mirror elements 34 of the respective mirror array 30, 32 is then determined by means of the respective detector arrays 62, 64, 66. Since an entire detector array, namely the first, second or third detector array 62, 64, 66, is present, the angular positions of the Mirror elements 34 of the respective mirror arrays 30, 32 can be determined very precisely if the center of gravity of the reflected relevant radiation is at the mirror array 30, 32 preferably lies at the center of the four-quadrant method or lies on selected pixels of the detector array 62, 64, 66.
  • At least one positioning map can generate the mirror array 30 and/or the further mirror array 32 when the mirror array 30 approaches different four-quadrant midpoints on the first detector array 62 and/or when the further mirror array 32 approaches different four-quadrant midpoints on the second Detector array 64 or the third detector array 66 approach.
  • different positioning maps are generated on the detector array 62, 64, 66 by appropriately moving the mirror array 30 and/or the further mirror array 32.
  • the initial positioning map can be generated, for example, by calibration after the mirror array 30, 32 has been installed in the application. This calibration eliminates the relevant tolerances at the beginning of the service life.

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung (100) zur Kalibrierung eines Spiegelarrays (30) mit mehreren Spiegelelementen (34). Die Anordnung (100) umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung (40) und eine Detektionseinrichtung (60). Dabei umfasst die Detektionslichteinrichtung (40) mindestens eine Detektionslichtquelle (41, 42, 43, 44, 45, 46), die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl (50) zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche (36) der Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) gerichtet wird. Die Detektionseinrichtung (60) umfasst dabei ein erstes Detektorarray (62) mit mehreren Detektoren, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen (34) des Spiegelarrays (30) reflektierten Detektionslichtstrahl (52) erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) zu detektieren.

Description

Anordnung und Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung und ein Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen.
Stand der Technik
Mikrospiegel können je nach Anwendungsfall in unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden, wie z. B. Projektoren eines Smartphones, Headup-Displays, Barcodeleser usw.
Für EUV-Lithographie-Anlagen sind verstellbare optische Pfade bis zum Retikel (engl.: Reticle), das auch als Maske bezeichnet wird, vorteilhaft, die durch ein Mikrospiegelarray im optischen Pfad verwirklicht werden können.
Die Mikrospiegel können mit einer Bragg-Beschichtung versehen sein, die die Zentralwellenlängen gut reflektiert. Wellenlängen außerhalb des Reflexionsbereiches werden absorbiert und erzeugen Wärme im Mikrospiegel, die gezielt mit einem möglichst geringen Temperaturwiderstand abgeführt werden muss.
Die Positionsgenauigkeit von dem Mikrospiegel hängt davon ab, wie gut das Mikrospiegel-Positionssensorsystem funktioniert. Das Mikrospiegel- Positionssensorsystem ist abhängig von den Fertigungstoleranzen, der Temperaturstabilität in Zusammenspiel mit der Temperaturvarianz und der Langzeitstabilität in Zusammenspiel mit der Produktlebenszeit bzw. den Zeitpunkten, wann das Gerät neu kalibriert werden muss.
Das Dokument DE 10 2015 204 874 Al bezieht sich auf eine Aktuatoreinrichtung zum Verkippen eines Spiegelelements.
Das Dokument DE 10 2016 213 026 Al bezieht sich auf eine Sensoreinrichtung zur Erfassung eines Kippwinkels eines Spiegelelements. Offenbarung der Erfindung
Es wird eine Anordnung zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente kann das Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Anordnung umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung und eine Detektionseinrichtung. Unter Licht im Sinne dieser Erfindung ist jede Form elektromagnetischer Strahlung zu verstehen.
Die Detektionslichteinrichtung umfasst dabei mindestens eine Detektionslichtquelle, die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche der Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche jedes Spiegelelements angestrahlt werden. Die Detektionslichtquelle erzeugt dabei den Detektionslichtstahl mit geeigneter Wellenlänge mit einem Absorptionsanteil von z. B. 30 % und einem Reflexionsanteil von z. B. 70 %. Vorzugsweise ist die Detektionslichteinrichtung als eine Lasereinrichtung mit mindestens einer Laserstrahlquelle ausgebildet, die dazu eingerichtet ist, einen Laserstrahl zu erzeugen.
Dabei umfasst die Detektionseinrichtung ein erstes Detektorarray. Das erste Detektorarray weist dabei mehrere Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen des Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahl erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen. Der Detektor im Sinne dieser Erfindung kann als Temperatursensor oder Lichtsensor ausgebildet werden. Zu dem Temperatursensor gehören beispielsweise Kaltleiter, Heißleiter, Thermoelement usw. Zu den anderen physikalischen Effekten, durch die elektrische Ströme entstehen, gehört beispielsweise der thermoelektrische Effekt. Das Detektorarray kann dabei unterschiedliche Detektoren aufweisen. Beispielsweise kann das Detektorarray sowohl Temperatursensoren als auch Lichtsensoren aufweisen, die beispielsweise als Redundanz zueinander dienen können. Unter dem Begriff „Winkelposition der einzelnen Spiegelelemente“ wird der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente verstanden. Der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente kann dabei azimutabhängig sein. Das Spiegelarray kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays sein.
Vorzugsweise ist das erste Detektorarray als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen ausgebildet. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays kann das weiteren Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Dabei ist das weitere Spiegelarray optisch mit dem Spiegelarray koppelbar. Die Detektoren des ersten Detektorarrays sind dabei jeweils für ein Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays vorgesehen. Beispielsweise kann jedes Spiegelelement mit einem Temperatursensor und/oder einem Lichtsensor versehen sein. Das weitere Spiegelarray ist mit dem Spiegelarray optisch koppelbar, wenn ein Lichtstrahl von dem Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem weiteren Spiegelarray abgebildet wird, oder umgekehrt, wenn ein Lichtstrahl von dem weiteren Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem Spiegelarray abgebildet wird.
Vorzugsweise umfasst die erfindungsgemäße Anordnung ferner ein zweites Detektorarray. Das zweite Detektorarray ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, die jeweils für ein Spiegelelement vorgesehen und dazu eingerichtet sind, anhand von Temperaturänderungen der einzelnen Spiegelelemente und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, zu erkennen, welches Spiegelelement angestrahlt wird.
Vorzugsweise weist die Detektionseinrichtung ferner ein drittes Detektorarray mit mehreren Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand eines von den Spiegelelementen des weiteren Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahls die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Das erfindungsgemäße Verfahren wird bevorzugt unter Verwendung der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Anordnung ausgeführt. Entsprechend gelten im Rahmen der Anordnung beschriebene Merkmale für das Verfahren und umgekehrt gelten im Rahmen des Verfahrens beschriebene Merkmale für die Anordnung.
Bei der Durchführung des erfmdungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl auf die Reflexionsfläche der jeweiligen Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet. Vorzugsweise werden die Spiegelelemente des Spiegelarrays zu einer vorbestimmten Winkelposition angefahren, so dass der Detektionslichtstrahl auf das Detektorarray reflektiert wird.
Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl und/oder den reflektierten Detektionslichtstrahl verursacht werden, erfasst. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Wenn das erste Detektorarray ein Teil eines weiteren Spiegelarrays ist, welches mit dem Spiegelarray optisch koppelbar ist, kann gemäß dem gleichen Prinzip ebenfalls erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird. Ebenfalls kann mittels des dritten Detektorarrays erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird.
Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente mittels des Detektorarrays bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefmiert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente der jeweiligen Spiegelarrays sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode hegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays liegt.
Vorzugsweise wird mindestens ein Positionierkennfeld für das Spiegelarray und/oder das weitere Spiegelarray erzeugt, wenn das Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten- Mittelpunkt auf dem ersten Detektorarray anfährt und/oder wenn das weitere Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem zweiten oder dem dritten Detektorarray anfährt. Dabei wird eine geeignete Vier-Quadranten-Position erkannt, bei der die Positionsgenauigkeit genauer erkannt werden kann. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray und/oder dem weiteren Spiegelarray erzeugt.
Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.
Vorzugsweise wird der Detektionslichtstrahl gepulst erzeugt. Dadurch können z. B. die Photoströme aus dem Grundrauschen besser ausgewertet werden.
Es wird auch ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das Beleuchtungssystem umfasst dabei mindestens ein Spiegelarray mit mehreren Spiegelelementen, eine Strahlungsquelle, deren Strahl direkt auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays oder nach mindestens einer Reflexion auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays gerichtet ist, und mindestens eine erfindungsgemäß vorgeschlagene Anordnung und/oder ist dazu eingerichtet, das erfmdungsgemäße Verfahren durchzuführen.
Vorzugsweise ist die Detektionslichtstrahlrichtung des Detektionslichtstrahls entgegengesetzt der Beleuchtungsstrahlrichtung des Beleuchtungsstrahls der Strahlungsquelle, so dass es zu keiner Störung der Belichtung vom Retikel kommt. Die Detektionslichteinrichtung kann z. B. auch nur zwischen den Belichtungspausen der Strahlungsquelle, Waferwechsel oder Lotwechsel zum Einsatz kommen.
Vorzugsweise ist die Strahlungsquelle eine EUV-Strahlungsquelle.
Vorzugsweise ist das dritte Detektorarray an einer für die Strahlungsquelle vorgesehenen Beleuchtungsblende um eine Blendenöffnung der Beleuchtungsblende angeordnet. Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, die ein erfindungsgemäßes Beleuchtungssystem umfasst und/oder die dazu eingerichtet ist, das erfindungsgemäße Verfahren durchzufuhren.
Vorteile der Erfindung
Mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens kann der Lebensdauereffekt des Spiegelelements sowie des Spiegelarrays reduziert werden und somit kann eine verbesserte Positioniergenauigkeit erreicht werden.
Außerdem ermöglicht es eine Fehlererkennung während der Fertigung des Spiegelarrays, welche zur Diagnose des Spiegelarrays dienen kann.
Darüber hinaus kann eine automatische Kalibrierung des Spiegelarrays mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens erreicht werden.
Ferner sind Linearitätsmessungen der Kippwinkel des Spiegelelements über den Azimutwinkel unter Verwendung der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens möglich.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Es zeigen:
Figur 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer ersten Ausführungsform und
Figur 2 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform.
Ausführungsformen der Erfindung In der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung werden gleiche oder ähnliche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente in Einzelfallen verzichtet wird. Die Figuren stellen den Gegenstand der Erfindung nur schematisch dar.
Figur 1 zeigt eine schematische Darstellung der erfmdungsgemäßen Anordnung 100 gemäß einer ersten Ausfuhrungsform. Die vorliegende Anmeldung schließt den Gegenstand der DE 10 2022 209 438.7 ein.
Die erfindungsgemäße Anordnung 100 zur Kalibrierung eines Spiegelarrays 30 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40 mit einer ersten Detektionslichtquelle 41 und eine Detektionseinrichtung 60 mit einem ersten Detektorarray 62. Das Spiegelarray 30 umfasst dabei mehrere Spiegelelemente 34, die jeweils eine Reflexionsfläche 36 aufweisen. Die Reflexionsfläche 36 der einzelnen Spiegelelemente 34 bilden dabei eine Gesamtflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente 34 kann das Spiegelarray 30 eine Steuereinrichtung (nicht dargestellt) aufweisen. Die Spiegelelemente 34 können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Detektionslichteinrichtung 40 kann dabei auch weitere Detektionslichtquellen aufweisen (vgl. Figur 2). Beispielsweise kann die Detektionslichteinrichtung als Lasereinrichtung ausgebildet sein, wobei die erste Detektionslichtquelle oder gegebenenfalls weitere Detektionslichtquellen als Laserstrahlquelle ausgebildet sind. Vorzugsweise sind die Detektionslichtquellen dazu eingerichtet, jeweils einen gepulsten Detektionslichtstrahl 50 zu erzeugen.
Die erste Detektionslichtquelle 41 ist dazu eingerichtet, einen Detektionslichtstrahl 50 zu erzeugen, welcher in einer Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche 36 jedes Spiegelelements 34 angestrahlt werden.
Das erste Detektorarray 62 weist dabei mehrere Detektoren (nicht dargestellt) wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen 34 des Spiegelarrays 30 reflektierten Detektionslichtstrahl 52 erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 zu detektieren. Vorliegend sind das Spiegelarray 30 als ein ebener Spiegel ausgebildet. Das heißt, die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 bilde im Wesentliche eine Ebene, wenn die Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 jeweils in einem unverschwenkten Zustand sind. Die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 kann jedoch gekrümmt geformt werden und Wok-förmig (vgl. Figur 2) ausgebildet sein.
Bei der Durchführung des erfmdungsgemäßen Verfahrens wird das Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 so angesteuert, dass das erste Detektorarray 62 von dem vom Spiegelelement 34 reflektierte Detektionslichtstrahl 52 gescannt wird.
Das erste Detektorarray 62 kann dabei als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays 32 (vgl. Figur 2) mit mehreren Spiegelelementen 34 ausgebildet.
Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste Detektorarray 62, vorliegt, können durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y- Richtung vordefmiert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30 vorzugsweise im Mittelpunkt der Vier- Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64 hegt.
Das Spiegelarray 30 kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement 34 zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays 30 sein.
Figur 2 ist eine schematische Darstellung der erfmdungsgemäßen Anordnung 100 gemäß einer zweiten Ausführungsform zu entnehmen. Figur 2 zeigt dabei ein Beleuchtungssystem 200, in dem die erfmdungsgemäße Anordnung 100 integriert ist.
Das Beleuchtungssystem 200 umfasst dabei eine Strahlungsquelle 20, insbesondere eine EUV-Strahlungsquelle. Das Beleuchtungssystem 200 umfasst ferner ein Spiegelarray 30 und ein weiteres Spiegelarray 32. Die beiden Spiegelarrays 30, 32 sind dabei optisch miteinander gekoppelt und jeweils Wok-förmig ausgebildet. Für die Strahlungsquelle 20 ist eine Beleuchtungsblende 24 mit eine Blendeöffnung 26 vorgesehen. Ein Beleuchtungsstrahl 22 der Strahlungsquelle 20 ist dabei durch die Blendeöffhung 26 in einer Beleuchtungsstrahlrichtung 28 auf das weitere Spiegelarray 32 gerichtet. Da das weitere Spiegelarray 32 mit das Spiegelarray 30 optisch gekoppelt ist, wird dieser Beleuchtungsstrahl 22 von dem weiteren Spiegelarray 32 reflektiert und auf dem Spiegelarray 30 abgebildet, welche in Figur 2 nicht näher dargestellt wird.
Die Anordnung 100 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40, die eine erste Detektionslichtquelle 41, eine zweite Detektionslichtquelle 42, eine dritte Detektionslichtquelle 43, eine vierte Detektionslichtquelle 44, eine fünfte Detektionslichtquelle 45 und eine sechste Detektionslichtquelle 46 umfasst. Es können noch mehrere Detektionslichtquellen angeordnet sein, wenn beispielsweise noch mehrere Spiegelarrays angeordnet sind, so dass jedes Spiegelarray beleuchtet werden kann. Dabei sind die erste und die zweite Detektionslichtquelle 41, 42 in der Nähe des weiteren Spiegelarrays 32 angeordnet. Die dritte und die vierte Detektionslichtquelle 43, 44 sind dabei in der Nähe des Spiegelarrays 30 angeordnet. Die fünfte und die sechste Detektionslichtquelle 45, 46 sind dabei an der Beleuchtungsblende 24 angeordnet. Die Detektionslichtquellen 41, 42, 43, 44, 45, 46 sind dazu eingerichtet, Detektionslichtstrahlen 50 von unterschiedlichen Richtungen zu erzeugen und auf die jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 zu richten. Somit kann das erfmdungsgemäße Verfahren in unterschiedlichen Situationen durchgefiihrt werden. Die Spiegelarrays 30, 32 können dabei auch separat oder in Abhängigkeit voneinander kalibriert werden.
Die Anordnung 100 umfasst ferner eine Detektionseinrichtung 60, die ein erstes Detektorarray 62, ein zweites Detektorarray 64 und ein drittens Detektorarray 66. Das erste Detektorarray 62 ist dabei als ein Teil des weiteren Spiegelarrays 32 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das zweite Detektorarray 64 ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays 30 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das dritte Detektorarray 66 ist dabei an der Beleuchtungsblende 24 um die Blendeöffnung 26 angeordnet und umfasst ebenfalls mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren.
Nachfolgend wird anhand von dem in Figur 2 dargestellten Beleuchtungssystem 200 und der in Figur 2 dargestellten Anordnung 100 das erfmdungsgemäße Verfahren unter Verwendung eines Detektionslichtstrahls 50 von der ersten Detektionslichtquelle 41 ausgeführt. Dabei können auch andere Detektionslichtquellen verwendet werden.
Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl 50 in eine Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet. Figur 2 ist dabei zu entnehmen, dass die Detektionslichtstrahlrichtung 56 des Detektionslichtstrahls 50 von der ersten Detektionslichtquelle 41 der Beleuchtungsstrahlrichtung 28 des Beleuchtungsstrahls 22 von der Strahlquelle 20 entgegengesetzt ist.
Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl 50 verursacht werden, von dem ersten Detektorarray 62 erfasst, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays 62, die jeweils für ein Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 vorgesehen sind, können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird.
Ebenfalls kann durch das zweite Detektorarray 64 erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 durch von dem Spiegelarray 30 reflektierten Laserstrahl 52 angestrahlt wird, wenn ein Detektionslichtstrahl 50 von z. B der sechsten Detektionslichtquelle 66 erzeugt, auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des weiteren Spiegelarrays 32 gerichtet und auf das Spiegelarray 30 gerichtet wird. Gemäß dem gleichen Prinzip kann mittels des dritten Detektorarrays 66, der durch von dem weiteren Spiegelarray 34 reflektierten Detektionslichtstrahl 54 bestrahlt wird, erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 angestrahlt wird.
Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente 34 des jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 mittels der jeweiligen Detektorarrays 62, 64, 66 bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray 62, 64, 66, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x- Richtung und eine y-Richtung vordefmiert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 der jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30, 32 vorzugsweise im Mitelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64, 66 liegt.
Dabei kann mindestens ein Positionierkennfeld das Spiegelarray 30 und/oder das weitere Spiegelarray 32 erzeugt, wenn das Spiegelarray 30 unterschiedliche Vier-Quadranten- Mitelpunkt auf dem ersten Detektorarray 62 anfahrt und/oder wenn das weitere Spiegelarray 32 unterschiedliche Vier-Quadranten-Mitelpunkt auf dem zweiten Detektorarray 64 oder dem driten Detektorarray 66 anfahrt. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray 62, 64, 66 durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray 30 und/oder dem weiteren Spiegelarray 32 erzeugt.
Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays 30, 32 in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.
Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele und die darin hervorgehobenen Aspekte beschränkt. Vielmehr ist innerhalb des durch die Ansprüche angegebenen Bereichs eine Vielzahl von Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachmännischen Handelns liegen.

Claims

Ansprüche
1. Anordnung (100) zur Kalibrierung eines Spiegelarrays (30) mit mehreren Spiegelelementen (34), umfassend eine Detektionslichteinrichtung (40) und eine Detektionseinrichtung (60), wobei die Detektionslichteinrichtung (40) mindestens eine Detektionslichtquelle (41, 42, 43, 44, 45, 46) umfasst, die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl (50) zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche (36) der Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) gerichtet wird, und wobei die Detektionseinrichtung (60) umfasst:
- ein erstes Detektorarray (62) mit mehreren Detektoren, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen (34) des Spiegelarrays (30) reflektierten Detektionslichtstrahl (52) erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30) zu detektieren und zu berechnen, und mit einem zweiten Detektorarray (64), das als ein Teil des Spiegelarrays (30) ausgebildet ist, wobei das zweite Detektorarray (64) mehrere Detektoren umfasst, die jeweils für ein Spiegelelement (34) vorgesehen und dazu eingerichtet sind, anhand von Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen zu erkennen, welches Spiegelelement (34) angestrahlt wird.
2. Anordnung (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Detektorarray (62) als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays (32) mit mehreren Spiegelelementen (34) ausgebildet ist, wobei das weitere Spiegelarray (32) optisch mit dem Spiegelarray (30) koppelbar ist und wobei die Detektoren des ersten Detektorarrays (62) jeweils für ein Spiegelelement (34) des weiteren Spiegelarrays (32) vorgesehen sind.
3. Anordnung (100) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinrichtung (60) ferner ein drittes Detektorarray (66) mit mehreren Detektoren aufweist, die dazu eingerichtet sind, anhand eines von den Spiegelelementen (34) des weiteren Spiegelarrays (32) reflektierten
Detektionslichtstrahls (54) die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente (34) des weiteren Spiegelarrays (32) zu detektieren und zu berechnen. Anordnung (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionslichteinrichtung (40) als eine Lasereinrichtung ausgebildet ist, die mindestens eine Laserstrahlquelle aufweist. Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays (30, 32) mit mehreren Spiegelelementen (34) mittels einer Anordnung (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, umfassend nachfolgende Schritte:
- Richten eines Detektionslichtstrahls (50) auf die Reflexionsfläche (36) der jeweiligen Spiegelelemente (34) des Spiegelarrays (30, 32);
- Erfassen von Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen, welche durch den Detektionslichtstrahl (50) und/oder den reflektierten Detektionslichtstrahl (52, 54) verursacht werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement (34) angestrahlt wird;
- Bestimmen der Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente (34) mittels der jeweiligen Detektorarrays (62, 64, 66). Verfahren nach Anspruch 5, ferner umfassend:
- Erzeugen mindestens eines Positionierkennfeldes für das Spiegelarray (30, 32);
- Erkennen von Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Detektionslichtstrahl (50) gepulst erzeugt wird. Beleuchtungssystem (200) für eine Projektionsbelichtungsanlage, das umfasst:
- mindestens ein Spiegelarray (30, 32) mit mehreren Spiegelelementen (34),
- eine Strahlungsquelle (20), deren Beleuchtungsstrahl (22) direkt auf die Reflexionsfläche (36) der Spiegelelemente (34) des mindestens einen Spiegelarrays (30, 32) oder nach mindestens einer Reflexion auf die Reflexionsfläche (36) der Spiegelelemente (34) des mindestens einen Spiegelarrays (30, 32) gerichtet ist, und
- mindestens eine Anordnung (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, und/oder das dazu eingerichtet ist, ein Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7 durchzufuhren. Beleuchtungssystem (200) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionslichtstrahlrichtung (56) des Detektionslichtstrahls (50) der Beleuchtungsstrahlrichtung (28) des Beleuchtungsstrahls (22) der Strahlungsquelle (20) entgegengesetzt ist. Beleuchtungssystem (200) nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (20) eine EUV-Strahlungsquelle ist. Beleuchtungssystem (200) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Detektorarray (66) an einer für die Strahlungsquelle (20) vorgesehenen Beleuchtungsblende (24) um eine Blendenöffnung (26) der Beleuchtungsblende (24) angeordnet ist. Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, die ein Beleuchtungssystem (200) nach einem der Ansprüche 8 bis 11 umfasst und/oder die dazu eingerichtet ist, das Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7 durchzuführen.
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