CN109029295A - 光刻机微反射镜阵列角位置监测装置及使用方法 - Google Patents

Abstract

一种光刻机微反射镜阵列监测装置由光源单元、反射镜单元、微反射镜阵列固定单元、角位置转换单元、位置传感器单元组成。光源单元的出射光入射到微反射镜阵列上，经该微反射镜阵列反射后，依次入射到角位置转换单元和位置传感器单元，位置传感器单元位于角位置转换单元的后焦面或像面上。本发明的主光路与光刻机的工作光路不在同一个方向，不干扰曝光系统的正常运行，实时监测微反射镜阵列的角位置信息，并反馈给上位机，对微反射阵列的角位置分布实现实时闭环控制。

Description

光刻机微反射镜阵列角位置监测装置及使用方法

技术领域

本发明涉及光学光刻领域，特别涉及一种光刻机微反射镜阵列角位置监测装置及使用方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，对光刻机性能的要求越来越高。为了在提高分辨率的同时增加焦深，诸如离轴照明的光刻分辨率增强技术被广泛应用。离轴照明技术一般通过衍射光学元件来实现，常用的照明模式有环形照明、四极照明和二极照明等。但单个衍射光学元件仅能实现一种类型的照明模式，为实现多种类型的照明模式，需要配备多片衍射光学元件，限制了照明模式变换的灵活性。当集成电路的特征尺寸延伸至28nm以及以下节点时，对照明模式的种类需求越来越大，现有技术已无法满足需求。针对上述问题，可实现任意照明模式的自由光瞳模块被逐渐应用。微反射镜阵列是自由光瞳照明模块的核心器件，其中的微反射镜的角位置二维连续可调，可通过调整微反射镜阵列的角位置分布来实现任意照明模式。为了保证照明模式的性能，微反射镜阵列的角位置需要保持稳定。因此，对微反射镜阵列的角位置分布进行监测具有重要的应用价值。

在先技术“一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法”(申请公布号：CN104111592 A)，公开了一种自由照明光瞳的微反射镜阵列的控制方法。该发明通过将微反射镜阵列与光瞳面均分为M个网格区域(M为整数)，然后将二者对应起来，来反推微反射镜阵列的角位置分布，但该发明并未涉及对微反射镜阵列角位置的监测。

发明内容

本发明旨在克服在先技术的不足，提出了一种光刻机微反射镜阵列角位置监测装置，可以实时监测微反射镜阵列的角位置信息，并反馈给上位机，对微反射阵列的角位置分布实现实时闭环控制。

本发明的技术解决方案如下：

一种光刻机微反射镜阵列监测装置，包括光源单元、供微反射镜阵列放置的固定单元、角位置转换单元、位置传感器单元和上位机，所述的光源单元的出射光入射到所述的微反射镜阵列上，经该微反射镜阵列反射后，依次入射到所述的角位置转换单元和位置传感器单元，所述位置传感器单元位于所述角位置转换单元的后焦面或像面上。

一种光刻机微反射镜阵列监测装置还可以包括反射镜单元，所述的光源单元的出射光经所述反射镜单元反射后，再入射到所述的微反射镜阵列上。

所述光源单元包括沿光路依次放置的光源阵列组件与微透镜阵列组件，所述光源阵列组件中的子光源与所述微透镜阵列组件中的微透镜排列周期相等，且中心对准，所述光源阵列组件位于所述微透镜阵列组件的前焦面上。

优选地，所述固定单元的实现形式可为机械夹持、吸附或粘附。

优选地，所述角位置转换单元的实现形式为傅里叶变换或成像，对应的组件可为傅里叶变换透镜、单成像透镜或成像透镜组。

优选地，所述位置传感器单元的实现形式可为位置敏感传感器或电荷耦合元件。所述位置传感器单元位于所述角位置转换单元的后焦面或像面上。

进一步地，所述光源单元中的光源阵列组件可为可见光或红外光。优选地，所述光源阵列组件可为激光二极管或发光二极管。所述光源阵列组件与所述微透镜阵列组件的组合形式可为单个子组件、一维阵列或二维阵列。

进一步地，所述光源单元与所述微反射镜阵列固定单元中可添加反射镜单元。此时本发明包括光源单元、反射镜单元、固定单元、角位置转换单元、位置传感器单元和上位机。沿该光源单元发出的光的前进方向依次为：反射镜单元、固定单元、角位置转换单元和位置传感器单元。优选地，所述反射镜单元为可转动或不可转动。

本发明中的光刻机微反射镜阵列角位置监测装置的使用方法，其特征在于，具体步骤为：

步骤1：将本发明中所述的光刻机微反射镜阵列监测装置固定于光刻机自由照明模块上。

步骤2：调整所述光源阵列组件与所述微透镜阵列组件的位置，使所述光源阵列组件位于所述微透镜阵列组件的前焦面上；调整所述角位置转换单元与位置传感器单元的位置，使位置传感器单元位于所述角位置转换单元的后焦面或像面上。

步骤3：判断所述光源阵列组件中子光源的个数和尺寸、所述微透镜阵列组件中微透镜的个数和尺寸是否与所述微反射镜阵列单元中微反射镜的个数与尺寸相匹配。若匹配，则直接进入步骤4，对所述微反射镜阵列单元的角位置信息进行监测；若不匹配，则将所述微反射镜阵列单元分为若干区域后，再进行监测。

步骤4：依次点亮所述光源单元，并照亮所述微反射镜阵列单元中对应的微反射镜。光束经该微反射镜阵列反射后，依次入射到所述的角位置转换单元和位置传感器单元，所述位置传感器单元探测所述微反射镜阵列单元中的微反射镜的角位置信息，并反馈给上位机。

步骤5：在对所述微反射镜阵列分区监测的情况下，通过机械传动所述光源单元或转动所述反射镜单元实现所述微反射镜阵列单元中不同区域的监测，每个区域的监测过程同步骤4。

与在先技术相比，本发明具有如下技术效果：

1)本发明可实时监测微反射镜阵列的角位置信息，并及时反馈给上位机，对微反射阵列的角位置分布实现实时闭环控制。

2)本发明的主光路与光刻机的工作光路不在同一个方向，不干扰曝光系统的正常运行。

3)本发明也可以用于微反射镜阵列角位置的离线检测。

附图说明

图1为本发明光刻机微反射镜阵列角位置监测装置示意图。

图2为本发明光刻机微反射镜阵列角位置监测装置包含反射镜单元的示意图。

图3为本发明中微反射镜阵列中的微反射镜偏转示意图。

图4为本发明中微反射镜阵列示意图。

图5为本发明中光源阵列组件和微透镜阵列组件为二维阵列组合时的结构示意图。

图6为本发明中光源阵列组件和微透镜阵列组件为一维阵列组合时的结构示意图。

图7为本发明中光源阵列组件和微透镜阵列组件为单个子组件时的结构示意图。

图8为光刻机自由照明模块工作光路的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

请参阅图1，图1为本发明光刻机微反射镜阵列角位置监测装置的整体构造示意图。由图1可见，本发明的光刻机微反射镜阵列角位置监测装置，包括光源单元1、供微反射镜阵列6放置的固定单元2、角位置转换单元3、位置传感器单元4和上位机7。所述的光源单元1的出射光入射到所述的微反射镜阵列6上，经所述的微反射镜阵列6反射后，依次入射到所述的角位置转换单元3和位置传感器单元4，所述位置传感器单元4位于所述角位置转换单元3的后焦面或像面上。

所述光源单元1与所述固定单元2之间可添加反射镜单元5，如图2所示。此时本发明包括光源单元1、反射镜单元5、固定单元2、角位置转换单元3、位置传感器单元4和上位机7。所述的光源单元1的出射光经所述反射镜单元5反射后，再入射到所述的微反射镜阵列6上。

所述光源单元1包括沿光路依次放置的光源阵列组件101与微透镜阵列组件102，所述光源阵列组件101位于所述微透镜阵列组件102的前焦面上。所述光源阵列组件101中的子光源与所述微透镜阵列组件102中的微透镜排列周期相等，且中心对准。所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列组件102的组合形式可为单个子组件、一维阵列或二维阵列。所述光源阵列组件101为可见光或红外光，优选器件为激光二极管或发光二极管。

所述固定单元2用于固定所要监测的所述微反射镜阵列单元6。优选地，所述固定单元2为机械夹持、吸附或粘附。

所述角位置转换单元3是对所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列单元6的角位置信息进行转换。所述角位置转换单元3为傅里叶变换透镜、单成像透镜或成像透镜组。

所述位置传感器单元4位于所述角位置转换单元3的后焦面或像面上，用于监测通过所述微反射镜阵列单元6偏转后的光束的角位置信息，并将监测到的数据传输到上位机7中，为所述微反射镜阵列单元6的角位置调整提供数据支持。

所述反射镜单元5将所述光源单元1出射的光转向，使光束可以照射到所述微反射镜阵列单元6上，起到优化装置结构的作用。优选地，所述反射镜单元5为可转动或不可转动。

所述微反射镜阵列单元6由多个微反射镜组成，如图3所示，图3中的微反射镜601可以实现双轴双向独立旋转。所述微反射镜阵列单元6的角位置信息是监测目标。

光刻机自由照明模块的工作主光路为YZ平面，如图8所示，与本装置的主光路所在平面垂直。本装置在对所述微反射镜阵列6的角位置信息进行监测时，与光刻机自由照明模块的工作主光路不在一个方向上，不干扰曝光系统的正常运行。

本装置也可脱离光刻机自由照明模块单独使用，对微反射镜阵列6的角位置信息进行离线检测。

利用本发明中的光刻机微反射镜阵列角位置监测装置实现微反射镜阵列角位置监测装置的使用方法，其特征在于该使用方法包括以下几种情况：

当本装置中不包含所述反射镜单元5时：

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为二维阵列，如图5所示，且所述光源阵列组件101中子光源的个数与尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的个数与尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的个数与尺寸相匹配时，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜。反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为二维阵列，如图5所示，但所述光源阵列组件101中子光源的个数与尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的个数与尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的个数与尺寸不匹配时，将所述微反射镜阵列6划分为若干个区域61、62、63、64，依次对微反射镜阵列6的每个区域61、62、63、64进行监测。在每个区域61、62、63、64的监测过程中，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，通过机械传动的方式实现。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为一维阵列时，如图6所示，无论所述光源阵列组件101中子光源的尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的尺寸是否相匹配，都会将微反射镜阵列6划分为若干个区域61、62、63、64，依次对微反射镜阵列6的每个区域61、62、63、64进行监测。在每个区域61、62、63、64的监测过程中，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，通过机械传动的方式实现。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102为单个子组件时，如图7所示，所述光源单元1依次对微反射镜阵列6的每个微反射镜进行监测。在每个微反射镜的监测过程中，点亮所述光源单元1中的光源101，光源101照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，通过机械传动的方式实现。

当所述装置中包含反射镜单元5时：

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为二维阵列，如图5所示，且所述光源阵列组件101中子光源的个数与尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的个数与尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的个数与尺寸相匹配时，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列单元6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元入射到位置传感器单元3上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置信息，并将所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置信息依次传输至上位机系统，完成监测。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为二维阵列，如图5所示，但所述光源阵列组件101中子光源的个数与尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的个数与尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的个数与尺寸不匹配时，将所述微反射镜阵列单元6划分为若干个区域61、62、63、64，依次对所述微反射镜阵列单元6的每个区域61、62、63、64进行监测。在每个区域61、62、63、64的监测过程中，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列单元6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元3探测所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置信息。此后，当所述反射镜单元5不可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，可通过机械传动的方式来实现；当所述反射镜单元5可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，也可通过转动所述反射镜单元5来实现。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102均为一维阵列时，如图6所示，无论所述光源阵列组件101中子光源的尺寸、所述微透镜阵列组件102中微透镜的尺寸与所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列6中微反射镜的尺寸是否相匹配，都会将微反射镜阵列6划分为若干个区域，依次对微反射镜阵列6的每个区域61、62、63、64进行监测。在每个区域61、62、63、64的监测过程中，依次点亮所述光源阵列组件101中的子光源，子光源照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。此后，当所述反射镜单元5不可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，可通过机械传动的方式来实现；当所述反射镜单元5可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，也可通过转动所述反射镜单元5来实现。

当所述光源单元1中的光源阵列组件101和微透镜阵列组件102为单个组合时，如图7所示，所述光源单元1依次对微反射镜阵列6的每个微反射镜进行监测。在每个微反射镜的监测过程中，点亮所述光源单元1中的光源101，光源101照亮所述微反射镜阵列6中对应的微反射镜，反射光通过所述角位置转换单元3入射到位置传感器单元4上，所述位置传感器单元4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息。当所述反射镜单元5不可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，可通过机械传动的方式来实现；当所述反射镜单元5可转动时，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域61、62、63、64的切换过程中，也可通过转动所述反射镜单元5来实现。

实施例1：

在此实施例中，所述光刻机微反射镜阵列角位置监测装置整体结构如图1所示。所述光源单元1中的光源阵列组件101的优选器件为激光二极管，所选波长为632.8nm；所述微反射镜阵列单元6为64×64的二维阵列；所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列组件102的结构均为64×64的二维阵列，如图5所示，且所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列102中子单元的尺寸与所述微反射镜阵列单元6中的微反射镜尺寸相匹配；所述角位置转换单元3为傅里叶变换透镜；所述位置传感器单元4为位置敏感传感器。

如图1所示，所述光源单元1发出的光的方向与X轴正方向呈135°，所述角位置转换元件3与所述位置传感器单元4平行放置，并均与X轴正方向呈135°。此时，所述微反射镜阵列单元6处在初始状态，反射光可以经过所述傅里叶变换透镜3后照射到所述位置敏感传感器4的中心。

当需要对所述微反射镜阵列单元6中的微反射镜的角位置状态进行监测时，首先所述光源单元1发出的光与X轴正方向夹角为135°，依次点亮所述光源单元1中的光源阵列组件101，照亮所述微反射镜阵列单元6中对应的微反射镜；沿着光束的前进方向，光束将照射到所述微反射镜阵列单元6上；光束在所述微反射镜阵列单元6上被偏转，反射光的传播方向由所照射到的微反射镜的角位置决定；之后，经过所述微反射镜阵列单元6偏转后的光束通过所述傅里叶变换透镜3作用于所述位置敏感传感器4上；所述位置敏感传感器4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息，并及时反馈给上位机，对所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置分布实现实时闭环控制。

实施例2：

在此实施例中，所述光刻机微反射镜阵列角位置监测装置整体结构如图2所示。所述光源单元1中的光源阵列组件101的优选器件为激光二极管，所选波长为632.8nm；所述微反射镜阵列单元6为64×64的二维阵列；所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列组件102的结构均为64×1的一维阵列，如图6所示，且所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列102中子单元的尺寸与所述微反射镜阵列单元6中的微反射镜尺寸相匹配，将所述微反射镜阵列单元6划分为64个区域，所述光源单元1依次对所述微反射镜阵列单元6的64个区域中的微反射镜的角位置进行监测；所述反射镜单元5为不可转动结构；所述角位置转换单元3为傅里叶变换透镜；所述位置传感器单元4为位置敏感传感器。

如图2所示，所述光源单元1发出的光的方向与X轴正方向呈-135°。所述反射镜单元5和所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列单元6与沿X轴平行放置。所述角位置转换元件3与所述位置传感器单元4平行放置，并均与X轴正方向呈135°。此时，所述微反射镜阵列单元6处在初始状态时的光可以经过所述角位置转换元件3后照射到所述位置传感器单元4的中心。

当需要对所述微反射镜阵列单元6中的微反射镜的角位置状态进行监测时，首先将所述微反射镜阵列单元6划分为64个区域，并依次对每个区域进行监测。所述光源单元1发出的光与X轴正方向夹角为-135°，依次点亮所述光源单元1中的光源阵列组件101，照亮所述微反射镜阵列单元6中对应的微反射镜；沿着光束的前进方向，光束将在所述反射镜单元5上发生转向，此时光束前进的方向与X轴正方向夹角为135°，随后照射到所述微反射镜阵列单元6上；光束在所述微反射镜阵列单元6上被偏转，反射光的传播方向由所照射到的微反射镜的角位置决定；之后，经过所述微反射镜阵列单元6偏转后的光束通过所述傅里叶变换透镜3作用于所述位置敏感传感器4上；所述位置敏感传感器4探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息；此后，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同区域的切换过程中，通过机械传动的方式来实现，并完成对所有区域的微反射镜角位置信息的监测，并及时反馈给上位机，对所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置分布实现实时闭环控制。

实施例3：

在此实施例中，所述光刻机微反射镜阵列角位置监测装置整体结构如图2所示。所述光源单元1中的光源阵列组件101的优选器件为激光二极管，所选波长为632.8nm；所述微反射镜阵列单元6为64×64的二维阵列；所述光源阵列组件101与所述微透镜阵列组件102的结构为单个子组件，如图7所示，所述光源单元1依次对微反射镜阵列6的每个微反射镜进行监测；所述反射镜单元5为可转动结构；所述角位置转换单元3为傅里叶变换透镜；所述位置传感器单元4为位置敏感传感器。

如图2所示，所述光源单元1发出的光的方向与X轴正方向呈-135°。所述反射镜单元5和所述固定单元2所固定的所述微反射镜阵列单元6与沿X轴平行放置。所述角位置转换元件3与所述位置传感器单元4平行放置，并均与X轴正方向呈135°。此时，所述微反射镜阵列单元6处在初始状态时的光可以经过所述角位置转换元件3后照射到所述位置传感器单元4的中心。

当需要对所述微反射镜阵列单元6中的每个微反射镜的角位置状态进行监测时，首先所述光源单元1发出的光与X轴正方向夹角为-135°，点亮所述光源单元1中的光源101，照亮所述微反射镜阵列单元6中对应的微反射镜；沿着光束的前进方向，光束将在所述反射镜单元5上发生转向，此时光束前进的方向与X轴正方向夹角为135°，随后照射到所述微反射镜阵列单元6上；光束在所述微反射镜阵列单元6上被偏转，反射光的传播方向由所照射到的微反射镜的角位置决定；之后，经过所述微反射镜阵列单元6偏转后的光束通过所述角位置信息转换单元3作用于所述位置传感器单元4上；所述位置传感器单元5探测所述微反射镜阵列6中微反射镜的角位置信息；此后，所述光源单元1在所述微反射镜阵列单元6中不同微反射镜的切换过程中，通过转动所述反射镜单元5的方式来实现，并完成对所有微反射镜角位置信息的监测，并及时反馈给上位机，对所述微反射镜阵列单元6中微反射镜的角位置分布实现实时闭环控制。

Claims (10)

1.一种光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：包括光源单元(1)、供微反射镜阵列(6)放置的固定单元(2)、角位置转换单元(3)、位置传感器单元(4)和上位机(7)，所述的光源单元(1)的出射光入射到所述的微反射镜阵列(6)上，经该微反射镜阵列(6)反射后，依次入射到所述的角位置转换单元(3)和位置传感器单元(4)，所述位置传感器单元(4)位于所述角位置转换单元(3)的后焦面或像面上。

2.如权利要求1所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：还包括反射镜单元(5)，所述的光源单元(1)的出射光经所述射镜单元(5)发射后，再入射到所述的微反射镜阵列(6)上。

3.如权利要求1所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述光源单元(1)包括沿光路依次放置的光源阵列组件(101)与微透镜阵列组件(102)，所述光源阵列组件(101)位于所述微透镜阵列组件(102)的前焦面上。

4.如权利要求3所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述光源阵列组件(101)中的子光源与所述微透镜阵列组件(102)中的微透镜排列周期相等，且中心对准。所述光源阵列组件(101)与所述微透镜阵列组件(102)的组合形式可为单个子组件、一维阵列或二维阵列。

5.如权利要求3所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述光源阵列组件(101)为可见光或红外光，优选器件为激光二极管或发光二极管。

6.如权利要求1所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述固定单元(2)为机械夹持、吸附或粘附。

7.如权利要求1所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述角位置转换单元(3)为傅里叶变换透镜、单成像透镜或成像透镜组。

8.如权利要求1所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述位置传感器单元(4)为位置敏感传感器或电荷耦合元件。

9.如权利要求2所述的光刻机微反射镜阵列监测装置，其特征在于：所述反射镜单元(5)为可转动或不可转动。

10.一种光刻机微反射镜阵列监测装置的使用方法，其特征在于，具体步骤为：

步骤1：将本发明中所述的光刻机微反射镜阵列监测装置固定于光刻机自由照明模块上。

步骤2：调整所述光源阵列组件(101)与所述微透镜阵列组件(102)的位置，使所述光源阵列组件(101)位于所述微透镜阵列组件(102)的前焦面上；调整所述角位置转换单元(3)与位置敏感传感器单元(4)的位置，使位置传感器单元(4)位于所述角位置转换单元(3)的后焦面或像面上。

步骤3：判断所述光源阵列组件中子光源的个数和尺寸、所述微透镜阵列组件中微透镜的个数和尺寸是否与所述微反射镜阵列单元中微反射镜的个数与尺寸相匹配。若匹配，则直接进入步骤4，对所述微反射镜阵列单元的角位置信息进行监测；若不匹配，则将所述微反射镜阵列单元分为若干区域后，再进行监测。

步骤4：依次点亮所述光源单元，并照亮所述微反射镜阵列单元中对应的微反射镜。光束经该微反射镜阵列反射后，依次入射到所述的角位置转换单元和位置传感器单元，所述位置传感器单元探测所述微反射镜阵列单元中的微反射镜的角位置信息，并反馈给上位机。

步骤5：在对所述微反射镜阵列分区监测的情况下，通过机械传动所述光源单元或转动所述反射镜单元实现所述微反射镜阵列单元中不同区域的监测，每个区域的监测过程同步骤4。