WO2024024158A1 - 水処理システムおよび水処理システムの運転方法 - Google Patents

水処理システムおよび水処理システムの運転方法 Download PDF

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WO2024024158A1
WO2024024158A1 PCT/JP2023/009630 JP2023009630W WO2024024158A1 WO 2024024158 A1 WO2024024158 A1 WO 2024024158A1 JP 2023009630 W JP2023009630 W JP 2023009630W WO 2024024158 A1 WO2024024158 A1 WO 2024024158A1
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WO
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water treatment
water
treatment system
ion exchange
chemical solution
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PCT/JP2023/009630
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English (en)
French (fr)
Inventor
勇規 中村
一重 高橋
浩一郎 橋本
亨蓆 朴
史悟 加藤
真一 篠田
仁 田中
修久 吉田
Original Assignee
オルガノ株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis

Definitions

  • the present invention relates to a water treatment system and a method of operating a water treatment system.
  • a deaerator equipped with a deaeration membrane is used to remove dissolved gases (CO 2 and O 2 ) in water to be treated.
  • water treatment devices such as ion exchange resins, reverse osmosis membranes, and ultrafiltration membranes are used to remove ions and total organic carbon (TOC) contained in water to be treated.
  • a water treatment system is constructed by combining multiple deaerators and water treatment devices.
  • fouling which is blockage due to adhesion and accumulation of organic and inorganic substances on the membrane surface.
  • a chemical solution such as acid or alkali is used to clean the degassing membrane (for example, see Patent Document 1).
  • Water treatment equipment also requires regular cleaning and regeneration work.
  • ion exchange resins require periodic regeneration with chemical solutions.
  • membrane cleaning using a chemical solution is also performed on membranes such as reverse osmosis membranes and ultrafiltration membranes.
  • a technique has been considered in which a chemical solution used for cleaning a water treatment device is used for cleaning another water treatment device (for example, see Patent Document 2).
  • the cleaning and regeneration of the equipment as described above is performed for each deaerator and water treatment equipment.
  • An object of the present invention is to provide a water treatment system and a method for operating a water treatment system that can easily shorten the system shutdown time associated with equipment regeneration.
  • the water treatment system of the present invention includes: In a water treatment system comprising a membrane separation device and an ion exchange device, a first pipe that simultaneously supplies a chemical solution to the membrane separation device and the ion exchange device in parallel; a first valve group provided in the first pipe; and a control device that controls opening and closing of the first valve group.
  • the water treatment system of the present invention includes: In a water treatment system comprising a membrane separation device and an ion exchange device, a first pipe that supplies a chemical solution to the membrane separator; a second pipe that supplies the chemical solution passed through the membrane separation device to the ion exchange device; a first valve group provided in the first pipe; a second valve group provided in the second pipe; a control device that controls opening and closing of the first valve group and the second valve group, The control device controls opening and closing of the second valve group so that the chemical solution passed through the membrane separation device is supplied to the ion exchange device.
  • the method of operating the water treatment system of the present invention includes: In a method of operating a water treatment system comprising a membrane separator and an ion exchange device, a water passing step of controlling the opening and closing of valves arranged in piping to pass the water to be treated through the membrane separation device and the ion exchange device; A drug feeding step is performed in which the opening and closing of the valve is controlled based on a predetermined timing to simultaneously supply a chemical solution to the membrane separation device and the ion exchange device in parallel.
  • FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a water treatment system of the present invention.
  • 3 is a flowchart for explaining a first example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 2.
  • FIG. 3 is a flowchart for explaining a second example of the operating method in the water treatment system shown in FIG. 2.
  • FIG. It is a figure showing the 2nd embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • 6 is a flowchart for explaining an example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 5.
  • FIG. It is a figure showing the 4th embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • 10 is a flowchart for explaining an example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 9.
  • FIG. It is a table showing the results of Examples 1 and 2 and a comparative example.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of the configuration of a general water treatment system.
  • the water treatment system shown in FIG. 1 includes a raw water tank 100, a deaerator 200, and a water treatment device 300.
  • the raw water tank 100 is a tank in which raw water, which is a liquid to be treated, is stored.
  • the liquid stored in the raw water tank 100 is supplied from the raw water tank 100 to the deaerator 200 using, for example, a pump in a water passage process in which the raw water is passed through.
  • the deaerator 200 removes dissolved gas contained in the liquid supplied from the raw water tank 100.
  • the deaerator 200 is a membrane deaerator that uses a polymer membrane to remove dissolved gases such as dissolved oxygen and free carbon dioxide by permeating the membrane.
  • a membrane deaerator that removes free carbon dioxide is sometimes referred to as a decarboxylation membrane device.
  • the type of dissolved gas removed by the membrane deaerator in the present invention is not particularly limited.
  • the membrane deaerator in the present invention may be one that removes dissolved gases regardless of the type thereof, or may be one that removes a specific type of dissolved gas.
  • the liquid from which dissolved gas has been removed in the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300 in a water passage step.
  • the water treatment device 300 is connected in series with the deaerator 200 and is a device that removes impurities contained in the liquid supplied from the deaerator 200.
  • the water treatment device 300 may be, for example, an ion exchange device filled with ion exchange resin.
  • ion exchange resin a cation exchange resin that removes cation components from water and an anion exchange resin that removes anion components from water can be used.
  • the water treatment device 300 may be a UF (ultrafiltration device) or an RO (reverse osmosis membrane).
  • the liquid (treated water) treated by the water treatment device 300 is stored in a treated water tank or treated by other unit operations as necessary during the water flow process.
  • such water is used as pure water or ultrapure water for manufacturing electronic parts such as semiconductors, or as miscellaneous water in factories.
  • another water treatment device for example, a cation exchange resin device filled with cation exchange resin, etc.
  • a cation exchange resin device filled with cation exchange resin, etc.
  • the present invention which will be described below, relates to the regeneration and cleaning of used components in a water treatment system that performs a water passage process as shown in FIG. (First embodiment)
  • FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • the water treatment system in this embodiment includes a raw water tank 100, a deaerator 200 (membrane separation device), and a water treatment device 300 (ion exchange device).
  • the membrane separation device is a device that uses a separation membrane to remove ions, TOC, SS (suspended solids), gas components, etc. from raw water.
  • the separation membrane include microfiltration membranes, ultrafiltration membranes, nanofiltration membranes, reverse osmosis membranes, degassing membranes (decarbonation membranes), and the like.
  • the water treatment system in this embodiment includes a chemical tank 400, valves 510, 520, 530, 540, which are a plurality of on-off valves, and a control device 600.
  • Valve 510 and valve 530 constitute a first valve group. These components are connected to each other via piping.
  • the piping from the chemical tank 400 to the deaerator 200 and the water treatment device 300 is the first piping.
  • the piping from the deaerator 200 to the water treatment device 300 via the valves 520 and 530 is the second piping.
  • the chemical solution tank 400 is a tank in which a chemical solution for regenerating the deaerator 200 and the water treatment device 300 is stored.
  • the chemical liquid stored in the chemical liquid tank 400 is, for example, an alkaline chemical liquid such as a sodium hydroxide solution or a potassium hydroxide solution.
  • the chemical liquid stored in the chemical liquid tank 400 is, for example, an acidic chemical liquid such as hydrochloric acid or sulfuric acid.
  • the medicinal solution stored in the medicinal solution tank 400 is supplied from the medicinal solution tank 400 to the valves 510 and 530 using, for example, a pump in the process of passing the medicinal solution through.
  • a chemical solution such as sodium hydroxide is mixed and adjusted in the line with clear water such as RO treated water, ion exchange water, or pure water.
  • a method of supplying the water to the valves 510 and 530 later may also be used.
  • the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is simultaneously supplied in parallel to the deaerator 200 and the water treatment apparatus 300 via the first pipe.
  • the meaning of "simultaneously” here does not necessarily mean that their timings are strictly the same, but includes a difference of less than a preset time as long as the effect of the present invention can be achieved. It also includes the meaning. This meaning also applies to the embodiments described below.
  • the control device 600 controls the opening and closing of valves 510, 520, 530, and 540 arranged in paths through which liquids to be treated, liquids after treatment, chemical solutions, etc. flow.
  • the control device 600 controls opening and closing of the valves 510 and 530 so that the chemical solution supplied from the chemical solution tank 400 is supplied to the deaerator 200 and the water treatment device 300 in parallel in the drug feeding process.
  • the control device 600 opens and closes the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. control.
  • control device 600 controls opening and closing of the valve 530 so that the liquid from the valve 520 is not supplied to the water treatment device 300 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the water treatment device 300. Furthermore, the control device 600 controls the opening and closing of the valve 520 so that the liquid flowing out from the deaerator 200 flows into a path for disposal. Further, the opening/closing of the valve 540 is controlled so that the liquid flowing out from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • the timing of transition from the water passing process to the drug passing process may be according to a preset schedule.
  • the timing of transition from the water passing process to the chemical passing process is determined by the pressure at the front stage of the deaerator 200, that is, the raw water side (raw water tank 100 side), and the pressure at the downstream stage of the deaerator 200, that is, the treated water side (the water treatment equipment).
  • the timing may be based on the difference between the pressure and the pressure on the 300 side). Specifically, when the difference between the pressure on the raw water side of the deaerator 200 and the pressure on the permeate side of the deaerator 200 exceeds a predetermined threshold, the control device 600 shifts from the water passing process to the drug passing process. Therefore, the opening and closing of valves 510, 520, 530, and 540 are controlled.
  • FIG. 3 is a flowchart for explaining a first example of the operating method in the water treatment system shown in FIG.
  • the control device 600 controls opening and closing of the valves 510, 520, 530, and 540 so that water is flowed from the raw water tank 100 (step S1). Specifically, the control device 600 controls opening and closing of the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is supplied to the deaerator 200. Further, the control device 600 controls opening and closing of the valves 520 and 530 so that the liquid from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 600 controls opening and closing of the valve 540 so that the liquid from the water treatment device 300 is supplied to the treated water tank.
  • control device 600 controls the opening and closing of the valves 510, 520, 530, and 540 to allow water to flow from the raw water tank 100, and the water flow process is performed, the control device 600 performs a water flow according to a preset schedule. Based on this, it is determined whether it is the timing to pass the chemical solution (step S2).
  • the timing of passing the chemical solution is the timing of transition from the water passing process to the medicine passing process.
  • control device 600 determines that it is the timing to pass the chemical liquid, it controls the valves 510, 520, 530, 540 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the deaerator 200 and the water treatment device 300 in parallel. (Step S3). Specifically, the control device 600 opens and closes the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. Control. Furthermore, the control device 600 controls the opening and closing of the valve 520 so that the chemical solution from the deaerator 200 flows into a path for disposal.
  • control device 600 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 600 controls the opening and closing of the valve 540 so that the chemical solution from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • FIG. 4 is a flowchart for explaining a second example of the operating method in the water treatment system shown in FIG. 2.
  • the control device 600 controls opening and closing of the valves 510, 520, 530, and 540 so that water is flowed from the raw water tank 100 (step S11). Specifically, the control device 600 controls opening and closing of the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is supplied to the deaerator 200. Further, the control device 600 controls opening and closing of the valves 520 and 530 so that the liquid from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 600 controls opening and closing of the valve 540 so that the liquid from the water treatment device 300 is supplied to the treated water tank.
  • the control device 600 controls the opening and closing of the valves 510 , 520 , 530 , and 540 to allow water to flow from the raw water tank 100 , and after the water flow process is performed, the control device 600 controls the opening and closing of the valves 510 , 520 , 530 , and 540 to allow water to flow from the raw water tank 100 . It is determined whether the difference (differential pressure) between the pressure on the raw water side and the pressure on the permeate side of the deaerator 200 exceeds a predetermined threshold (step S12).
  • the control device 600 determines that the difference (differential pressure) between the pressure on the raw water side of the deaerator 200 and the pressure on the permeate side of the deaerator 200 exceeds a predetermined threshold, the control device 600 deaerates the chemical liquid from the chemical liquid tank 400.
  • the opening and closing of the valves 510, 520, 530, and 540 are controlled so that water is supplied to the water treatment device 300 and the water treatment device 200 in parallel (step S13). Specifically, the control device 600 opens and closes the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. Control.
  • control device 600 controls the opening and closing of the valve 520 so that the chemical solution from the deaerator 200 flows into a path for disposal. Further, the control device 600 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 600 controls the opening and closing of the valve 540 so that the chemical solution from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • the chemical solution is supplied in parallel to the deaerator and the water treatment device. . Therefore, the time during which the system is stopped due to regeneration of the device can be easily shortened.
  • a valve may be provided at a position where the chemical liquid tank 400 shown in FIG.
  • the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 may not be directly supplied to the valve 530.
  • the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 can be supplied to the deaerator 200, and the chemical liquid that has passed through the deaerator 200 can also be supplied to the water treatment apparatus 300. Thereby, the amount of the chemical solution used in the process of passing the chemical solution and the amount of drainage of the chemical solution can be reduced.
  • FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • the water treatment system in this embodiment includes a raw water tank 100, a deaerator 200, and a water treatment device 300. These are the same as those in the first embodiment.
  • the water treatment system in this embodiment includes a chemical tank 400, valves 510, 530, 540, which are a plurality of on-off valves, and a control device 601.
  • Valve 510 and valve 530 constitute a first valve group.
  • the valve 520 in the first embodiment may be provided.
  • Valve 520 and valve 530 constitute a second valve group.
  • Valve 530 belongs to a first valve group and a second valve group.
  • the valve 530 plays both the role of the first valve group and the role of the second valve group.
  • the control device 601 can control the valve 520 to discharge the chemical liquid passed through the deaerator 200 to the outside of the system immediately after the start of the drug passing process. Thereafter, at a predetermined timing, the control device 601 controls the valve 520 to supply the chemical solution passed through the deaerator 200 to the valve 530.
  • the predetermined timing is - When a preset time has elapsed - When the TOC value contained in the chemical solution from the deaerator 200 is less than a predetermined threshold value - When the pH value of the chemical solution from the deaerator 200 is less than a predetermined threshold value Examples include when the electrical conductivity of the chemical solution from the deaerator 200 becomes higher than a predetermined threshold value. The reason for this is that in the early stage of the chemical passing process, the chemical solution passed through the deaerator 200 contains a large amount of removed contaminants, and there is a risk that these pollutants may re-contaminate the water treatment device 300. . Further, the reason for doing this is to prevent the water-diluted chemical solution contained in the deaerator 200 from flowing into the water treatment device 300.
  • valves 510, 530, 540 and the chemical tank 400 are the same as those in the first embodiment.
  • the piping from the chemical tank 400 to the deaerator 200 and the water treatment device 300 is the first piping.
  • the piping from the deaerator 200 to the water treatment device 300 via the valve 530 is the second piping.
  • the control device 601 controls the opening and closing of valves 510, 530, and 540 provided in paths through which liquids to be treated, liquids after treatment, chemical solutions, etc. flow.
  • the control device 601 controls opening and closing of the valves 510 and 530 so that the chemical liquid supplied from the chemical liquid tank 400 is supplied to the deaerator 200 and the water treatment device 300 in parallel in the drug feeding process.
  • the control device 601 opens and closes the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. control.
  • control device 601 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the deaerator 200 and the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 are supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 601 controls the opening and closing of the valve 540 so that the liquid flowing out from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • the control device 601 controls such that the chemical solution flowing out from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300 (valve 530). Controls opening and closing of valve 520. At this time, the control device 601 may control opening and closing of the valves 520 and 530 to continue supplying the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 directly to the water treatment apparatus 300 via the valve 530.
  • control device 601 controls the opening and closing of the valves 520 and 530 to directly connect the valve 530 from the chemical solution tank 400.
  • the supply of the chemical solution to the water treatment device 300 via the water treatment device 300 may be cut off.
  • the timing of transition from the water passing process to the drug passing process is the same as the timing in the first embodiment.
  • FIG. 6 is a flowchart for explaining an example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 5 .
  • the control device 601 controls opening and closing of the valves 510, 530, and 540 so that water is flowed from the raw water tank 100 (step S21). Specifically, the control device 601 controls opening and closing of the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is supplied to the deaerator 200. Further, the control device 601 controls opening and closing of the valve 530 so that the liquid from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 601 controls the opening and closing of the valve 540 so that the liquid from the water treatment device 300 is supplied to equipment such as a treated water tank provided at a subsequent stage.
  • control device 601 controls the opening and closing of the valves 510, 530, and 540 to allow water to flow from the raw water tank 100, and the water flow process is performed, the control device 601 controls the water flow based on a preset schedule. Then, it is determined whether or not it is time to pass the chemical solution (step S22).
  • the timing of passing the chemical solution is the timing of transition from the water passing process to the medicine passing process.
  • control device 601 determines that it is the timing to pass the chemical liquid, it controls the valves 510, 530, and 540 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the deaerator 200 and the water treatment device 300 in parallel. Opening/closing is controlled (step S23). Specifically, the control device 601 opens and closes the valve 510 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. Control. Further, the control device 601 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the deaerator 200 and the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 are supplied to the water treatment device 300.
  • control device 601 controls the opening and closing of the valve 540 so that the chemical solution from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • control device 601 controls so that the chemical solution flowing out from the deaerator 200 is also supplied to the water treatment device 300 (valve 530). , controls the opening and closing of valve 520.
  • the chemical solution in the step of passing a chemical solution to regenerate the deaerator and water treatment device that constitute the water treatment system, the chemical solution is supplied in parallel to the deaerator and the water treatment device. . Therefore, the time during which the system is stopped due to regeneration of the device can be easily shortened. Furthermore, the chemical solution passed through the deaerator is supplied to the water treatment device. This makes it possible to reduce the amount of chemical solution used in the drug delivery process and the amount of drainage of the drug solution. If the chemical solution passed through the deaerator is supplied to the water treatment device, it is also possible to reduce the amount of the chemical solution supplied from the chemical tank to the water treatment device. (Third embodiment)
  • FIG. 7 is a diagram showing a third embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • the water treatment system in this embodiment includes a raw water tank 100, a deaerator 200, and a water treatment device 300. These are the same as those in the first embodiment.
  • the water treatment system in this embodiment includes a chemical tank 400, valves 520, 530, 550, and 560, which are a plurality of on-off valves, and a control device 602.
  • Valve 530 and valve 550 constitute a first valve group.
  • Valve 550 and valve 560 constitute a third valve group.
  • Valve 550 belongs to the first valve group and the third valve group.
  • the valve 550 plays both the role of the first valve group and the role of the third valve group.
  • the control device 602 can control the valve 560 to discharge the chemical liquid passed through the water treatment device 300 to the outside of the system. Thereafter, at a predetermined timing, the control device 602 controls the valve 560 to supply the chemical liquid passed through the water treatment device 300 to the valve 550.
  • the predetermined timing is - When a preset time has elapsed - When the TOC value contained in the chemical solution from the water treatment device 300 is less than a predetermined threshold value - When the pH value of the chemical solution from the water treatment device 300 is less than a predetermined threshold value Examples include when the electrical conductivity of the chemical solution from the water treatment device 300 becomes higher than a predetermined threshold value. The reason for doing this is that in the early stage of the chemical passing process, the chemical solution passed through the water treatment device 300 contains a large amount of removed contaminants, and there is a risk that these pollutants may re-contaminate the deaerator 200. . Further, the reason for doing this is to prevent the water-diluted chemical solution contained in the deaerator 200 from flowing into the water treatment device 300.
  • the valves 520, 530 and the chemical tank 400 are the same as those in the first embodiment.
  • the piping from the chemical tank 400 to the deaerator 200 and the water treatment device 300 is the first piping.
  • the piping from the deaerator 200 to the water treatment device 300 via the valves 520 and 530 is the second piping.
  • the piping from the water treatment device 300 to the deaerator 200 via the valve 560 and the valve 550 is the third piping.
  • the control device 602 controls opening and closing of valves 520, 530, 550, and 560 provided in paths through which liquids to be processed, liquids after processing, chemical solutions, etc. flow.
  • the control device 602 controls the opening and closing of the valves 520, 530, 550, and 560 so that the chemical solution supplied from the chemical solution tank 400 is supplied in parallel to the deaerator 200 and the water treatment device 300 in the drug feeding process. do.
  • the control device 602 opens and closes the valve 550 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the chemical solution from the chemical tank 400 is supplied to the deaerator 200. control.
  • the control device 602 controls the valve 550 so that the chemical solution is also supplied from the water treatment device 300 to the deaerator 200 via the valve 560. Further, the control device 602 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 602 controls opening and closing of the valve 560 so that the chemical solution flowing out from the water treatment device 300 is supplied to the valve 550. Further, the control device 602 controls opening and closing of the valve 520 so that the liquid flowing out from the deaerator 200 flows to a path for disposal.
  • control device 602 may control the opening and closing of the valves 550 and 560 to continue supplying the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 directly to the deaerator 200 via the valve 550. Further, if the supply amount of the chemical solution passed through the water treatment device 300 to the deaerator 200 is sufficient, the control device 602 controls the opening and closing of the valves 550 and 560 to directly open the valve 550 from the chemical solution tank 400. The supply of the chemical solution to the deaerator 200 via the degassing device 200 may be cut off.
  • the timing of transition from the water passing process to the drug passing process is the same as the timing in the first embodiment.
  • FIG. 8 is a flowchart for explaining an example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 7.
  • the control device 602 controls opening and closing of the valves 520, 530, 550, and 560 so that water is flowed from the raw water tank 100 (step S31). Specifically, the control device 602 controls opening and closing of the valve 550 so that the liquid from the raw water tank 100 is supplied to the deaerator 200. Further, the control device 602 controls opening and closing of the valves 520 and 530 so that the liquid from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Further, the control device 602 controls opening and closing of the valve 560 so that the liquid from the water treatment device 300 is supplied to the treated water tank.
  • the control device 602 controls the opening and closing of the valves 520, 530, 550, and 560 to allow water to flow from the raw water tank 100, and after the water flow process is performed, the control device 602 controls the flow according to a preset schedule. Based on this, it is determined whether it is time to pass the chemical solution (step S32).
  • the timing of passing the chemical solution is the timing of transition from the water passing process to the medicine passing process.
  • the control device 602 determines that it is the timing to pass the chemical solution
  • the control device 602 controls the flow of the chemical solution from the water treatment device 300 so that the chemical solution from the chemical solution tank 400 is supplied in parallel to the deaerator 200 and the water treatment device 300 .
  • the opening and closing of the valves 520, 530, 550, and 560 are controlled so that the chemical liquid is supplied to the deaerator 200 via the valves 550, 560 (step S33).
  • the control device 602 controls opening and closing of the valve 530 so that the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 is supplied to the water treatment device 300.
  • the control device 602 controls opening and closing of the valve 560 so that the chemical liquid from the water treatment device 300 is supplied to the valve 550.
  • the control device 602 also prevents the liquid from the raw water tank 100 from being supplied to the deaerator 200 and prevents the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 and the chemical liquid from the water treatment device 300 via the valve 560 from being supplied to the deaerator 200.
  • the opening and closing of valve 550 is controlled so as to be supplied.
  • the control device 602 controls the opening and closing of the valve 520 so that the chemical solution from the deaerator 200 flows into a path for disposal.
  • the chemical solution in the step of passing a chemical solution to regenerate the deaerator and water treatment device that constitute the water treatment system, the chemical solution is supplied in parallel to the deaerator and the water treatment device. . Therefore, the time during which the system is stopped due to regeneration of the device can be easily shortened. Furthermore, the chemical solution passed through the water treatment device is supplied to the deaerator. This makes it possible to reduce the amount of chemical solution used in the drug delivery process and the amount of drainage of the drug solution. (Fourth embodiment)
  • FIG. 9 is a diagram showing a fourth embodiment of the water treatment system of the present invention.
  • the water treatment system in this embodiment includes a raw water tank 100, a deaerator 200, and a water treatment device 300. These are the same as those in the first embodiment.
  • the water treatment system in this embodiment includes a chemical solution tank 400, valves 530, 540, 570, and 580, which are a plurality of on-off valves, a control device 603, and a wash water tank 700.
  • valve 530, valve 570, and valve 580 constitute a fourth valve group.
  • the valves 530, 540 and the chemical tank 400 are the same as those in the first embodiment.
  • the chemical tank 400 is used in a drug feeding process performed before the cleaning process, and is not used in the cleaning process.
  • a chemical solution tank 400 is shown in FIG. 9 in order to explain the cleaning process performed after the medication process as an example.
  • the piping from the chemical tank 400 to the deaerator 200 and the water treatment device 300 is the first piping.
  • the piping from the deaerator 200 to the water treatment device 300 via the valve 530 is the second piping.
  • the piping from the wash water tank 700 to the water treatment device 300 via the deaerator 200 is the fourth piping.
  • the piping from the valve 570 to the deaerator 200 via the valve 580 serves as both the first piping and the fourth piping.
  • the piping from the deaerator 200 to the water treatment device 300 via the valve 530 serves as a second piping and a fourth piping.
  • the cleaning water tank 700 is a tank that stores liquid (cleaning water) for cleaning the deaerator 200 and the water treatment device 300 through which the chemical solution has been passed in the cleaning process.
  • liquid cleaning water
  • raw water RO treated water
  • ion exchange water pure water, etc.
  • pure water pure water, etc.
  • the wash water tank can also be used as the raw water tank.
  • the control device 603 controls opening and closing of valves 530, 540, 570, and 580 provided in paths through which liquids to be processed, liquids after processing, chemical solutions, cleaning water, etc. flow.
  • the control device 602 controls the cleaning water supplied from the cleaning water tank 700 to the deaerator 200 in the cleaning process after the chemical feeding process, and the cleaning water passed through the deaerator 200 to the water treatment device 300.
  • the opening and closing of valves 530, 540, 570, and 580 are controlled so that the Specifically, the control device 603 prevents the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 from being supplied to the deaerator 200 via the valve 580 and prevents the cleaning water from being supplied to the deaerator 200 when the chemical feeding process ends and the cleaning process starts.
  • Opening and closing of valve 570 is controlled so that wash water from tank 700 is supplied to deaerator 200 via valve 580. Furthermore, the control device 603 controls opening and closing of the valve 580 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the cleaning water from the valve 570 is supplied to the deaerator 200. . The control device 603 also controls the opening and closing of the valve 530 so that the chemical solution from the chemical solution tank 400 is not supplied to the water treatment device 300 and the cleaning water from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Control. Further, the control device 603 controls the opening and closing of the valve 540 so that the washing water from the water treatment device 300 flows to a disposal path.
  • the timing of transitioning from the medication process to the cleaning process may be based on a preset schedule. Further, the timing of shifting from the drug feeding process to the cleaning process may be the timing when the amount of the chemical liquid supplied from the chemical liquid tank 400 reaches a preset amount in the drug feeding process.
  • FIG. 10 is a flowchart for explaining an example of an operating method in the water treatment system shown in FIG. 9.
  • step S41 the cleaning water from the cleaning water tank 700 is supplied to the deaerator 200, and the cleaning water passed through the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. , controls the opening and closing of valves 530, 540, 570, and 580 (step S42). Specifically, the control device 603 prevents the chemical liquid from the chemical liquid tank 400 from being supplied to the valve 580 and so that the cleaning water from the cleaning water tank 700 is supplied to the deaerator 200 via the valve 580. , controls the opening and closing of valve 570.
  • control device 603 controls opening and closing of the valve 580 so that the liquid from the raw water tank 100 is not supplied to the deaerator 200 and the cleaning water from the valve 570 is supplied to the deaerator 200.
  • the control device 603 also controls the opening and closing of the valve 530 so that the chemical solution from the chemical solution tank 400 is not supplied to the water treatment device 300 and so that the cleaning water from the deaerator 200 is supplied to the water treatment device 300. Control.
  • control device 603 controls the opening and closing of the valve 540 so that the washing water from the water treatment device 300 flows to the disposal path.
  • the route for passing the medicinal solution in the drug passing step in this embodiment has been described using the same route as that in the second embodiment, the route is not limited thereto. It may be possible to use a liquid passage route or a liquid medicine passage route according to the third embodiment.
  • cleaning water is supplied to the deaerator in the cleaning step that is performed after the step of passing the chemical solution to regenerate the deaerator and water treatment device that constitute the water treatment system.
  • the washing water passed through the deaerator is supplied to the water treatment equipment.
  • the water treatment device 300 may be placed upstream of the deaerator 200 in the water flow process.
  • the cleaning water used for cleaning the water treatment device 300 and discharged from the water treatment device 300 is supplied to the deaerator 200, and the deaerator 200 is operated using the supplied cleaning water. You can also wash it. Further, before and after the water passing step, the medicine passing step, and the washing step, other mutually independent steps may be performed on the deaerator 200 and the water treatment device 300.
  • a flushing process that uses raw water to replace the liquid in a deaerator or water treatment device, a process that circulates a chemical solution through a degassing membrane or separation membrane, and an extrusion process that supplies water to an ion exchange resin and pushes out the chemical solution.
  • a process, a circulation standby process in which water is circulated within the apparatus in preparation for water sampling, an immersion process, etc. may be performed. Regardless of which process is performed, the present invention contributes to reducing the downtime of the entire system, reducing the amount of chemicals in the chemical water passage process, and reducing the amount of water used.
  • the direction in which the raw water is passed and the direction in which the chemical solution is passed there are no particular limitations on the direction in which the raw water is passed and the direction in which the chemical solution is passed.
  • the direction in which raw water is passed through the deaerator 200 and the water treatment device 300 and the direction in which the chemical solution is passed are shown from the bottom to the top in FIG. 2, but the direction is from the top to the bottom. But it's okay.
  • the direction in which the raw water is passed and the direction in which the chemical solution is passed may be opposite to each other. This direction may also be set externally.
  • Example 1 Water flow process: Raw water, which had been pretreated to remove suspended matter and chlorine, was treated with a degassing membrane and an anion exchange resin device in that order to obtain treated water. A separation membrane module manufactured by 3M was used as the degassing membrane. Further, as a water treatment device, an anion exchange device filled with anion exchange resins AMBERJET4200 (manufactured by DuPont) and IRA96RF (manufactured by DuPont) at a ratio of 2:1 was used. Medication process: Sodium hydroxide was added to the treated water obtained in the water passing step to prepare a 1.5% sodium hydroxide solution as a cleaning solution.
  • AMBERJET4200 manufactured by DuPont
  • IRA96RF manufactured by DuPont
  • the cleaning solution was passed through a degassing membrane and an anion exchange resin device to perform regeneration. After regeneration was performed for a predetermined period of time, the raw water was passed through an anion exchange resin device to wash the anion exchange resin. Thereafter, raw water was passed through the degassing membrane to wash the degassing membrane. After cleaning the degassing membrane and anion exchange resin device, the process moved to the water flow step.
  • Example 2 During the cleaning process, raw water was passed through the anion exchange resin, and the degassing membrane was cleaned using the water that had passed through the anion exchange resin.
  • the degassing membrane and anion exchange resin were regenerated and washed separately.
  • FIG. 11 is a table showing the results of Examples 1 and 2 and Comparative Example.
  • the degassing membrane and the anion exchange resin device were regenerated and cleaned separately. Therefore, it takes a long time to process them separately.
  • Example 1 the degassing membrane and the anion exchange resin are regenerated simultaneously. Therefore, the drug delivery process time can be shortened.
  • Example 2 by passing (reusing) the water used to wash the anion exchange resin through the degassing membrane, it was possible to shorten the washing time and reduce the amount of washing water used.
  • valves 510, 520, 530, 540, 550, 560, 570, and 580 are not limited to three-way valves, but may be a combination of mutually independent valves that open and close each input and output.

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Abstract

膜分離装置とイオン交換装置とを備え、対象となる水の処理を行う水処理システムにおいて、膜分離装置とイオン交換装置とに薬液を同時に並列に供給する第１の配管と、第１の配管に設けられた第１のバルブ群（５１０），（５３０）と、第１のバルブ群（５１０），（５３０）の開閉を制御する制御装置（６００）とを有する。

Description

水処理システムおよび水処理システムの運転方法
　本発明は、水処理システムおよび水処理システムの運転方法に関する。
　水処理システムにおいて、処理対象の水中の溶存気体（ＣＯ2やＯ2）を除去するために、脱気膜が具備された脱気装置が用られる。また、処理対象の水中に含まれるイオンや全有機炭素（ＴＯＣ：Ｔｏｔａｌ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃａｒｂｏｎ）を除去するために、イオン交換樹脂や逆浸透膜、限外ろ過膜といった水処理装置が用いられる。これらの脱気装置および水処理装置を複数組み合わせて、水処理システムを構築する。
　脱気膜の使用に伴い、膜表面への有機物や無機物の付着・堆積による閉塞、いわゆるファウリングが起こる。ファウリングが生じてしまうと、脱気装置の脱気性能や通水性能が低下する。付着・堆積した有機物や無機物を除去するために、脱気膜を定期的に洗浄する必要がある。脱気膜の洗浄には、酸やアルカリといった薬液が使用される（例えば、特許文献１参照。）。
　水処理装置においても、定期的な洗浄や再生作業が必要となる。例えば、イオン交換樹脂においては、薬液による定期的な再生が必要である。また、ファウリングにより低下した膜性能を回復させるため、逆浸透膜や限外ろ過膜等の膜に対しても、薬液を用いた膜洗浄が行われる。また、水処理装置の洗浄に使用した薬液を別の水処理装置の洗浄に使用する技術が考えられている（例えば、特許文献２参照。）。
特開２００７－９０２４９号公報 特開２０１６－２２４４７号公報
　上述したような装置の洗浄や再生は、脱気装置や水処理装置の装置ごとに行われる。脱気装置や水処理装置の洗浄や再生を行う場合、脱気装置や水処理装置またはこれらの装置を具備するシステムの運転を停止させ、洗浄や再生対象となる装置をメインラインから切り離して行うことが多い。そのため、洗浄や再生を頻繁に行うと、システムの稼働率が大きく低下してしまうという問題点がある。また、特許文献２に記載された技術においては、付帯設備が多くなり、システムの構成が複雑になってしまう。
　本発明の目的は、装置の再生に伴うシステムの運転停止時間を容易に短くすることができる水処理システムおよび水処理システムの運転方法を提供することにある。
　本発明の水処理システムは、
　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムにおいて、
　前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに薬液を同時に並列に供給する第１の配管と、
　前記第１の配管に設けられた第１のバルブ群と、
　前記第１のバルブ群の開閉を制御する制御装置と、を有する。
　また、本発明の水処理システムは、
　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムにおいて、
　前記膜分離装置へ薬液を供給する第１の配管と、
　前記膜分離装置に通液された薬液を前記イオン交換装置へ供給する第２の配管と、
　前記第１の配管に設けられた第１のバルブ群と、
　前記第２の配管に設けられた第２のバルブ群と、
　前記第１のバルブ群および前記第２のバルブ群の開閉を制御する制御装置と、を有し、
　前記制御装置は、前記膜分離装置に通液された薬液が前記イオン交換装置へ供給されるように、前記第２のバルブ群の開閉を制御する。
　また、本発明の水処理システムの運転方法は、
　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムの運転方法において、
　配管に配置されたバルブの開閉を制御して、前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに被処理水を通水する通水工程と、
　所定のタイミングに基づいて、前記バルブの開閉を制御して、前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに薬液を同時に並列に供給する通薬工程とを行う。
　本発明においては、装置の再生に伴うシステムの運転停止時間を容易に短くすることができる。
一般的な水処理システムの構成の一例を示す図である。 本発明の水処理システムの第１の実施の形態を示す図である。 図２に示した水処理システムにおける運転方法の第１の例を説明するためのフローチャートである。 図２に示した水処理システムにおける運転方法の第２の例を説明するためのフローチャートである。 本発明の水処理システムの第２の実施の形態を示す図である。 図５に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。 本発明の水処理システムの第３の実施の形態を示す図である。 図７に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。 本発明の水処理システムの第４の実施の形態を示す図である。 図９に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。 実施例１，２と比較例との結果を示す表である。
　以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、一般的な水処理システムの構成の一例を示す図である。図１に示した水処理システムは、原水タンク１００と、脱気装置２００と、水処理装置３００とを有する。原水タンク１００は、処理対象の液体である原水が貯留されている槽である。原水タンク１００に貯留された液体は、原水を通水する通水工程において、例えば、ポンプを用いて原水タンク１００から脱気装置２００へ供給される。脱気装置２００は、原水タンク１００から供給された液体中に含まれる溶存気体を除去する。例えば、脱気装置２００は、高分子膜を用いて、溶存酸素や遊離二酸化炭素のような溶存気体を膜透過させて除去する膜脱気装置である。なお、遊離二酸化炭素を除去する膜脱気装置を脱炭酸膜装置と呼ぶこともある。本発明における膜脱気装置が除去する溶存気体の種類は、特に限定しない。例えば、本発明における膜脱気装置は、溶存気体をその種類に関わらず除去するものであっても良いし、特定の種類の溶存気体を除去するものであっても良い。脱気装置２００にて溶存気体が除去された液体は、通水工程において、水処理装置３００へ供給される。水処理装置３００は、脱気装置２００と直列に接続され、脱気装置２００から供給された液体に含まれる不純物を除去する装置である。水処理装置３００は、例えば、イオン交換樹脂が充填されたイオン交換装置でも良い。イオン交換樹脂として、水中のカチオン成分を除去するカチオン交換樹脂や、水中のアニオン成分を除去するアニオン交換樹脂を使用することができる。水処理装置３００は、ＵＦ（限外ろ過装置）やＲＯ（逆浸透膜）でも良い。水処理装置３００にて処理された液体（処理水）は、通水工程において、必要に応じて、処理水タンクに貯留されたり、他の単位操作によって処理されたりする。このような水は、原水の水質や、処理された水の純度に応じて、半導体等の電子部品の製造に供する純水、超純水や、工場内の雑用水として利用される。なお、原水タンク１００と脱気装置２００との間に、ほかの水処理装置（例えば、カチオン交換樹脂が充填されたカチオン交換樹脂装置等）が配置されていても良い。
　以下に説明する本発明は、図１に示したような通水工程を行う水処理システムにおいて、使用された構成要素の再生や洗浄に関するものである。
（第１の実施の形態）
　図２は、本発明の水処理システムの第１の実施の形態を示す図である。本形態における水処理システムは図２に示すように、原水タンク１００と、脱気装置２００（膜分離装置）と、水処理装置３００（イオン交換装置）とを有する。これらは、図１に示したものとそれぞれ同じものである。ここで、膜分離装置は、分離膜を用いて、原水中のイオン、ＴＯＣ、ＳＳ（懸濁物質）、ガス成分等を除去する装置である。また、分離膜として、精密ろ過膜、限外ろ過膜、ナノろ過膜、逆浸透膜、脱気膜（脱炭酸膜）等が挙げられる。さらに、本形態における水処理システムは図２に示すように、薬液タンク４００と、複数の開閉弁であるバルブ５１０，５２０，５３０，５４０と、制御装置６００とを有する。バルブ５１０とバルブ５３０とから、第１のバルブ群が構成される。これらの構成要素は、互いに配管を介して接続されている。本形態においては、薬液タンク４００から脱気装置２００および水処理装置３００への配管が第１の配管である。また、脱気装置２００からバルブ５２０およびバルブ５３０を介した水処理装置３００への配管が第２の配管である。
　薬液タンク４００は、脱気装置２００および水処理装置３００を再生するための薬液が貯留された槽である。水処理装置３００にアニオン交換樹脂が充填されている場合、薬液タンク４００に貯留されている薬液は、例えば、水酸化ナトリウム溶液や水酸化カリウム溶液等のアルカリ性の薬液である。また、水処理装置３００にカチオン交換樹脂が充填されている場合、薬液タンク４００に貯留されている薬液は、例えば、塩酸や硫酸等の酸性の薬液である。薬液タンク４００に貯留された薬液は、薬液を通液する通薬工程において、例えば、ポンプを用いて薬液タンク４００からバルブ５１０，５３０へ供給される。なお、薬液タンク４００に貯留された薬液を５１０、５３０に供給する代わりに、ＲＯ処理水やイオン交換水、純水といった清澄な水に、水酸化ナトリウム等の薬液をライン中で混合調整させたのちにバルブ５１０，５３０へ供給する方法を用いても良い。薬液タンク４００からの薬液は、第１の配管を経由して脱気装置２００と水処理装置３００とに同時に並列に供給される。ここでの「同時」の意味には、互いのタイミングが厳密に同一であるという意味に限らず、本発明の効果を奏することができるものであれば、あらかじめ設定された時間以下の差があるという意味も含まれる。この意味は、以下に説明する実施の形態についても同じである。
　制御装置６００は、処理対象となる液体や、処理後の液体、薬液等が流通する経路に配置されたバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する。制御装置６００は、通薬工程において、薬液タンク４００から供給される薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるように、バルブ５１０，５３０の開閉を制御する。具体的には、制御装置６００は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、バルブ５２０からの液体が水処理装置３００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０の開閉を制御する。さらに、制御装置６００は、脱気装置２００から流出してきた液体を廃棄する経路へ流すようにバルブ５２０の開閉を制御する。また、水処理装置３００から流出してきた液体を廃棄する経路へ流すようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　通水工程から通薬工程へ移行するタイミングは、あらかじめ設定されたスケジュールに従ったタイミングでも良い。また、通水工程から通薬工程へ移行するタイミングは、脱気装置２００の前段、つまり原水側（原水タンク１００側）における圧力と、脱気装置２００の後段、つまり処理水側（水処理装置３００側）における圧力との差分に基づいたタイミングでも良い。具体的には、脱気装置２００の原水側における圧力と脱気装置２００の透過側における圧力との差分が所定の閾値を超えた場合、制御装置６００は通水工程から通薬工程へ移行するためにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する。
　以下に、図２に示した水処理システムにおける運転方法について説明する。図３は、図２に示した水処理システムにおける運転方法の第１の例を説明するためのフローチャートである。
　まず、通水工程を行うために、制御装置６００は、原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ１）。具体的には、制御装置６００は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、脱気装置２００からの液体が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５２０，５３０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、水処理装置３００からの液体が処理水タンクへ供給されるようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　制御装置６００が原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御して、通水工程が行われた後、制御装置６００は、あらかじめ設定されたスケジュールに基づいて薬液を通液するタイミングになったかどうかを判定する（ステップＳ２）。薬液を通液するタイミングは、通水工程から通薬工程へ移行するタイミングである。
　制御装置６００は、薬液を通液するタイミングになったと判定すると、薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ３）。具体的には、制御装置６００は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、脱気装置２００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５２０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、水処理装置３００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　図４は、図２に示した水処理システムにおける運転方法の第２の例を説明するためのフローチャートである。
　まず、通水工程を行うために、制御装置６００は、原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ１１）。具体的には、制御装置６００は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、脱気装置２００からの液体が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５２０，５３０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、水処理装置３００からの液体が処理水タンクへ供給されるようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　制御装置６００が原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御して、通水工程が行われた後、制御装置６００は、脱気装置２００の原水側における圧力と脱気装置２００の透過側における圧力との差分（差圧）が所定の閾値を超えたかどうかを判定する（ステップＳ１２）。
　制御装置６００は、脱気装置２００の原水側における圧力と脱気装置２００の透過側における圧力との差分（差圧）が所定の閾値を超えたと判定すると、薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるようにバルブ５１０，５２０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ１３）。具体的には、制御装置６００は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、脱気装置２００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５２０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６００は、水処理装置３００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　なお、水処理システムが複数の運転系列を有する冗長構成を持つ場合、通水工程で運転している系列が通水工程から通薬工程へ移行すると、他の系列が通水工程へ移行することは言うまでもない。このことは、以下の実施の形態についても同じである。
　このように、本形態においては、水処理システムを構成する脱気装置および水処理装置を再生するために薬液を通液する工程において、脱気装置と水処理装置とに並列に薬液を供給する。そのため、装置の再生に伴うシステムの運転停止時間を容易に短くすることができる。
　なお、薬液を通液する工程において、例えば、図２に示した薬液タンク４００からバルブ５１０とバルブ５３０とへ分岐する位置にバルブを設け、または薬液タンク４００からバルブ５３０への経路を遮断／排除し、薬液タンク４００からの薬液がバルブ５３０へ直接供給されないようにしても良い。この場合、薬液を通液する工程において、薬液タンク４００からの薬液を脱気装置２００に供給し、脱気装置２００を通液した薬液を水処理装置３００へ供給することもできる。これにより、薬液を通液する工程に使用される薬液の量および薬液の排水量を低減することができる。
（第２の実施の形態）
　図５は、本発明の水処理システムの第２の実施の形態を示す図である。本形態における水処理システムは図５に示すように、原水タンク１００と、脱気装置２００と、水処理装置３００とを有する。これらは、第１の実施の形態におけるものとそれぞれ同じものである。さらに、本形態における水処理システムは図５に示すように、薬液タンク４００と、複数の開閉弁であるバルブ５１０，５３０，５４０と、制御装置６０１とを有する。バルブ５１０とバルブ５３０とから、第１のバルブ群が構成される。なお、第１の実施の形態におけるバルブ５２０を具備しても良い。バルブ５２０とバルブ５３０とから、第２のバルブ群が構成される。バルブ５３０は、第１のバルブ群と第２のバルブ群とに属する。つまり、バルブ５３０は、第１のバルブ群の役割と、第２のバルブ群の役割との双方の役割を果たす。バルブ５２０が設けられている場合、通薬工程の開始直後は、脱気装置２００に通液した薬液を、制御装置６０１がバルブ５２０を制御して、系外へ排出することもできる。その後、所定のタイミングで、制御装置６０１がバルブ５２０を制御して、脱気装置２００に通液した薬液をバルブ５３０へ供給する。所定のタイミングとして、例えば、
・あらかじめ設定された時間が経過したとき
・脱気装置２００からの薬液に含まれるＴＯＣの値が所定の閾値よりも少なくなったとき
・脱気装置２００からの薬液のｐＨ値が所定の閾値よりも高くなったとき
・脱気装置２００からの薬液の導電率が所定の閾値よりも高くなったとき
等が挙げられる。こうする理由は、通薬工程の初期では、脱気装置２００に通液した薬液には除去された汚染物質量が多く含まれ、それらが水処理装置３００を再汚染するおそれがあるためである。また、こうする理由は、脱気装置２００に含まれていた水で薄められた薬液が水処理装置３００に流入することを防ぐためでもある。
　バルブ５１０，５３０，５４０および薬液タンク４００のそれぞれは、第１の実施の形態におけるものとそれぞれ同じものである。本形態においては、薬液タンク４００から脱気装置２００および水処理装置３００への配管が第１の配管である。また、脱気装置２００からバルブ５３０を介した水処理装置３００への配管が第２の配管である。
　制御装置６０１は、処理対象となる液体や、処理後の液体、薬液等が流通する経路に設けられたバルブ５１０，５３０，５４０の開閉を制御する。制御装置６０１は、通薬工程において、薬液タンク４００から供給される薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるように、バルブ５１０，５３０の開閉を制御する。具体的には、制御装置６０１は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６０１は、脱気装置２００からの薬液と薬液タンク４００からの薬液とが水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０の開閉を制御する。さらに、制御装置６０１は、水処理装置３００から流出してきた液体を廃棄する経路へ流すように、バルブ５４０の開閉を制御する。本形態において、第１の実施の形態のバルブ５２０が設けられている場合、制御装置６０１は、脱気装置２００から流出してきた薬液が水処理装置３００（バルブ５３０）へ供給されるように、バルブ５２０の開閉を制御する。このとき、制御装置６０１は、バルブ５２０，５３０の開閉を制御して、薬液タンク４００からバルブ５３０を直接介した水処理装置３００への薬液の供給を継続して行っても良い。また、脱気装置２００に通液した薬液の水処理装置３００への供給量が十分であれば、制御装置６０１は、バルブ５２０，５３０の開閉を制御して、薬液タンク４００からバルブ５３０を直接介した水処理装置３００への薬液の供給を遮断しても良い。
　通水工程から通薬工程へ移行するタイミングは、第１の実施の形態におけるタイミングと同じである。
　以下に、図５に示した水処理システムにおける運転方法について説明する。図６は、図５に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。
　まず、通水工程を行うために、制御装置６０１は、原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ２１）。具体的には、制御装置６０１は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６０１は、脱気装置２００からの液体が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０１は、水処理装置３００からの液体が、その後段に設けられた処理水タンク等の設備へ供給されるようにバルブ５４０の開閉を制御する。
　制御装置６０１が原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５１０，５３０，５４０の開閉を制御して、通水工程が行われた後、制御装置６０１は、あらかじめ設定されたスケジュールに基づいて薬液を通液するタイミングになったかどうかを判定する（ステップＳ２２）。薬液を通液するタイミングは、通水工程から通薬工程へ移行するタイミングである。
　制御装置６０１は、薬液を通液するタイミングになったと判定すると、薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるように、バルブ５１０，５３０，５４０の開閉を制御する（ステップＳ２３）。具体的には、制御装置６０１は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５１０の開閉を制御する。また、制御装置６０１は、脱気装置２００からの薬液と薬液タンク４００からの薬液とが水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０１は、水処理装置３００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５４０の開閉を制御する。また、本形態に第１の実施の形態のバルブ５２０が設けられている場合、制御装置６０１は、脱気装置２００から流出してきた薬液も水処理装置３００（バルブ５３０）へ供給されるように、バルブ５２０の開閉を制御する。
　このように、本形態においては、水処理システムを構成する脱気装置および水処理装置を再生するために薬液を通液する工程において、脱気装置と水処理装置とに並列に薬液を供給する。そのため、装置の再生に伴うシステムの運転停止時間を容易に短くすることができる。さらに、脱気装置に通液された薬液を水処理装置へ供給する。これにより、通薬工程に使用する薬液の量および薬液の排水量を低減することができる。脱気装置に通液された薬液を水処理装置へ供給すれば、薬液タンクから水処理装置へ供給する薬液の量を低減させることも可能となる。
（第３の実施の形態）
　図７は、本発明の水処理システムの第３の実施の形態を示す図である。本形態における水処理システムは図７に示すように、原水タンク１００と、脱気装置２００と、水処理装置３００とを有する。これらは、第１の実施の形態におけるものと同じものである。さらに、本形態における水処理システムは図７に示すように、薬液タンク４００と、複数の開閉弁であるバルブ５２０，５３０，５５０，５６０と、制御装置６０２とを有する。バルブ５３０とバルブ５５０とから、第１のバルブ群が構成される。バルブ５５０とバルブ５６０とから、第３のバルブ群が構成される。バルブ５５０は、第１のバルブ群と第３のバルブ群とに属する。つまり、バルブ５５０は、第１のバルブ群の役割と、第３のバルブ群の役割との双方の役割を果たす。通薬工程の開始直後は、水処理装置３００に通液した薬液を、制御装置６０２がバルブ５６０を制御して、系外へ排出することもできる。その後、所定のタイミングで、水処理装置３００に通液した薬液を、制御装置６０２がバルブ５６０を制御して、バルブ５５０へ供給する。所定のタイミングとして、例えば、
・あらかじめ設定された時間が経過したとき
・水処理装置３００からの薬液に含まれるＴＯＣの値が所定の閾値よりも少なくなったとき
・水処理装置３００からの薬液のｐＨ値が所定の閾値よりも高くなったとき
・水処理装置３００からの薬液の導電率が所定の閾値よりも高くなったとき
等が挙げられる。こうする理由は、通薬工程の初期では、水処理装置３００に通液した薬液には除去された汚染物質量が多く含まれ、それらが脱気装置２００を再汚染するおそれがあるためである。また、こうする理由は、脱気装置２００に含まれていた水で薄められた薬液が水処理装置３００に流入することを防ぐためでもある。
　バルブ５２０，５３０および薬液タンク４００のそれぞれは、第１の実施の形態におけるものとそれぞれ同じものである。本形態においては、薬液タンク４００から脱気装置２００および水処理装置３００への配管が第１の配管である。また、脱気装置２００からバルブ５２０およびバルブ５３０を介した水処理装置３００への配管が第２の配管である。また、水処理装置３００からバルブ５６０およびバルブ５５０を介した脱気装置２００への配管が第３の配管である。
　制御装置６０２は、処理対象となる液体や、処理後の液体、薬液等が流通する経路に設けられたバルブ５２０，５３０，５５０，５６０の開閉を制御する。制御装置６０２は、通薬工程において、薬液タンク４００から供給される薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるように、バルブ５２０，５３０，５５０，５６０の開閉を制御する。具体的には、制御装置６０２は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５５０の開閉を制御する。このとき、制御装置６０２は、水処理装置３００からバルブ５６０を介した薬液も脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５５０を制御する。また、制御装置６０２は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０の開閉を制御する。さらに、制御装置６０２は、水処理装置３００から流出してきた薬液がバルブ５５０へ供給されるように、バルブ５６０の開閉を制御する。また、制御装置６０２は、脱気装置２００から流出してきた液体を廃棄する経路へ流すように、バルブ５２０の開閉を制御する。このとき、制御装置６０２は、バルブ５５０，５６０の開閉を制御して、薬液タンク４００から直接バルブ５５０を介した脱気装置２００への薬液の供給を継続して行っても良い。また、水処理装置３００に通液した薬液の脱気装置２００への供給量が十分であれば、制御装置６０２は、バルブ５５０，５６０の開閉を制御して、薬液タンク４００から直接バルブ５５０を介した脱気装置２００への薬液の供給を遮断しても良い。
　通水工程から通薬工程へ移行するタイミングは、第１の実施の形態におけるタイミングと同じである。
　以下に、図７に示した水処理システムにおける運転方法について説明する。図８は、図７に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。
　まず、通水工程を行うために、制御装置６０２は、原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５２０，５３０，５５０，５６０の開閉を制御する（ステップＳ３１）。具体的には、制御装置６０２は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されるようにバルブ５５０の開閉を制御する。また、制御装置６０２は、脱気装置２００からの液体が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５２０，５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０２は、水処理装置３００からの液体が処理水タンクへ供給されるようにバルブ５６０の開閉を制御する。
　制御装置６０２が原水タンク１００からの通水が行われるようにバルブ５２０，５３０，５５０，５６０の開閉を制御して、通水工程が行われた後、制御装置６０２は、あらかじめ設定されたスケジュールに基づいて薬液を通液するタイミングになったかどうかを判定する（ステップＳ３２）。薬液を通液するタイミングは、通水工程から通薬工程へ移行するタイミングである。
　制御装置６０２は、薬液を通液するタイミングになったと判定すると、薬液タンク４００からの薬液が脱気装置２００と水処理装置３００とに並列に供給されるように、且つ水処理装置３００からの薬液がバルブ５５０，５６０を介して脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５２０，５３０，５５０，５６０の開閉を制御する（ステップＳ３３）。具体的には、制御装置６０２は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されるようにバルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０２は、水処理装置３００からの薬液がバルブ５５０へ供給されるように、バルブ５６０の開閉を制御する。また、制御装置６０２は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つ薬液タンク４００からの薬液と水処理装置３００からバルブ５６０を介した薬液とが脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５５０の開閉を制御する。さらに、制御装置６０２は、脱気装置２００からの薬液を廃棄する経路へ流すようにバルブ５２０の開閉を制御する。
　このように、本形態においては、水処理システムを構成する脱気装置および水処理装置を再生するために薬液を通液する工程において、脱気装置と水処理装置とに並列に薬液を供給する。そのため、装置の再生に伴うシステムの運転停止時間を容易に短くすることができる。さらに、水処理装置に通液された薬液を脱気装置へ供給する。これにより、通薬工程に使用する薬液の量および薬液の排水量を低減することができる。
（第４の実施の形態）
　図９は、本発明の水処理システムの第４の実施の形態を示す図である。本形態において、通薬工程から洗浄工程へ移行する際の動作について説明する。本形態における水処理システムは図９に示すように、原水タンク１００と、脱気装置２００と、水処理装置３００とを有する。これらは、第１の実施の形態におけるものとそれぞれ同じものである。さらに、本形態における水処理システムは図９に示すように、薬液タンク４００と、複数の開閉弁であるバルブ５３０，５４０，５７０，５８０と、制御装置６０３と、洗浄水タンク７００とを有する。本形態においては、バルブ５３０と、バルブ５７０と、バルブ５８０とから、第４のバルブ群が構成される。
　バルブ５３０，５４０および薬液タンク４００のそれぞれは、第１の実施の形態におけるものとそれぞれ同じものである。薬液タンク４００は、洗浄工程の前に行われる通薬工程で使用されるものであって、洗浄工程では使用されないものである。本形態では、通薬工程の後に行われる洗浄工程を例に挙げて説明するため、図９においては薬液タンク４００を示している。本形態においては、薬液タンク４００から脱気装置２００および水処理装置３００への配管が第１の配管である。また、脱気装置２００からバルブ５３０を介した水処理装置３００への配管が第２の配管である。また、洗浄水タンク７００から脱気装置２００を介した水処理装置３００への配管が第４の配管である。バルブ５７０からバルブ５８０を介した脱気装置２００への配管は、第１の配管と第４の配管とを兼ねる。脱気装置２００からバルブ５３０を介した水処理装置３００への配管は、第２の配管と第４の配管とを兼ねる。
　洗浄水タンク７００は、薬液が通液された脱気装置２００および水処理装置３００を、洗浄工程において洗浄するための液体（洗浄水）が貯留された槽である。洗浄水として、原水、ＲＯ処理水やイオン交換水、純水などを使用することができる。洗浄水が原水である場合、洗浄水タンクは原水タンクを兼用できる。
　制御装置６０３は、処理対象となる液体や、処理後の液体、薬液、洗浄水等が流通する経路に設けられたバルブ５３０，５４０，５７０，５８０の開閉を制御する。制御装置６０２は、通薬工程の後の洗浄工程において、洗浄水タンク７００から供給される洗浄水が脱気装置２００へ供給され、脱気装置２００に通水された洗浄水が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０，５４０，５７０，５８０の開閉を制御する。具体的には、制御装置６０３は、通薬工程が終了し、洗浄工程が開始される際、薬液タンク４００からの薬液がバルブ５８０を介して脱気装置２００へ供給されないように、且つ洗浄水タンク７００からの洗浄水がバルブ５８０を介して脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５７０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つバルブ５７０からの洗浄水が脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５８０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されないように、且つ脱気装置２００からの洗浄水が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、水処理装置３００からの洗浄水を廃棄する経路へ流すように、バルブ５４０の開閉を制御する。
　通薬工程から洗浄工程へ移行するタイミングは、あらかじめ設定されたスケジュールに従ったタイミングでも良い。また、通薬工程から洗浄工程へ移行するタイミングは、通薬工程において、薬液タンク４００から供給された薬液の量があらかじめ設定された量になったタイミングでも良い。
　以下に、図９に示した水処理システムにおける運転方法について説明する。図１０は、図９に示した水処理システムにおける運転方法の一例を説明するためのフローチャートである。
　通薬工程が終了すると（ステップＳ４１）、洗浄水タンク７００からの洗浄水が脱気装置２００へ供給され、脱気装置２００に通水された洗浄水が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０，５４０，５７０，５８０の開閉を制御する（ステップＳ４２）。具体的には、制御装置６０３は、薬液タンク４００からの薬液がバルブ５８０へ供給されないように、且つ洗浄水タンク７００からの洗浄水がバルブ５８０を介して脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５７０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、原水タンク１００からの液体が脱気装置２００へ供給されないように、且つバルブ５７０からの洗浄水が脱気装置２００へ供給されるように、バルブ５８０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、薬液タンク４００からの薬液が水処理装置３００へ供給されないように、且つ脱気装置２００からの洗浄水が水処理装置３００へ供給されるように、バルブ５３０の開閉を制御する。また、制御装置６０３は、水処理装置３００からの洗浄水を廃棄する経路へ流すように、バルブ５４０の開閉を制御する。
　なお、本形態における通薬工程の薬液の通液経路を第２の実施の形態におけるものと同様のものを用いて説明したが、これに限らない、例えば、第１の実施の形態における薬液の通液経路を用いたものや、第３の実施の形態における薬液の通液経路を用いたものでも良い。
　このように、本形態においては、水処理システムを構成する脱気装置および水処理装置を再生するために薬液を通液する工程の後に行われる洗浄工程において、脱気装置へ洗浄水を供給し、脱気装置を通水した洗浄水を水処理装置へ供給する。これにより、洗浄工程に使用する洗浄水の量および洗浄水の排水量を低減することができる。
　なお、通水工程において水処理装置３００が脱気装置２００の前段に配置されていても良い。この構成の洗浄工程においては、水処理装置３００の洗浄に使用されて水処理装置３００から排出された洗浄水を脱気装置２００へ供給し、供給された洗浄水を用いて脱気装置２００を洗浄しても良い。また、通水工程、通薬工程および洗浄工程の前後に、脱気装置２００および水処理装置３００に対して互いに独立した別の工程を行っても良い。例えば、原水を用いて、脱気装置や水処理装置の装置内の液体を入れ替えるフラッシング工程、脱気膜や分離膜を薬液で循環する工程、イオン交換樹脂に水を供給して薬液を押し出す押し出し工程、装置内で水を循環させて採水に備える循環待機工程、浸漬工程等を行っても良い。いずれの工程を行った場合であっても、本発明は、システム全体の停止時間の低減や、薬品通水工程における薬品量の低減、水の使用量の低減に寄与する。また、脱気装置２００および水処理装置３００において、原水を通水する方向および薬液を通液する方向については、特に限定しない。例えば、図２では、脱気装置２００および水処理装置３００に原水を通水する方向および薬液を通液する方向は図２の下側から上側として示しているが、上側から下側への方向でも良い。また、原水を通水する方向と薬液を通液する方向とが互いに対向する方向でも良い。この方向を外部から設定できても良い。
［実施例１］
　通水工程：
　前処理をあらかじめ行い、濁質および塩素が除去された原水を、脱気膜、アニオン交換樹脂装置の順番で処理し、処理水を得た。脱気膜として、スリーエム社製分離膜モジュールを用いた。また、水処理装置として、アニオン交換樹脂ＡＭＢＥＲＪＥＴ４２００（ＤｕＰｏｎｔ製）とＩＲＡ９６ＲＦ（ＤｕＰｏｎｔ製）とを２：１の割合で充填したアニオン交換装置を用いた。
　通薬工程：
　通水工程で得られた処理水に水酸化ナトリウムを添加し、濃度１．５％の水酸化ナトリウム溶液を洗浄溶液として調製した。洗浄溶液を脱気膜およびアニオン交換樹脂装置にそれぞれ通液し、それぞれ再生を行った。再生を所定時間行ったのち、原水をアニオン交換樹脂装置に通水し、アニオン交換樹脂の洗浄を行った。その後、原水を脱気膜に通水し、脱気膜の洗浄を行った。脱気膜およびアニオン交換樹脂装置の洗浄終了後、通水工程へ移行した。
［実施例２］
　洗浄工程の際、原水をアニオン交換樹脂に通水し、アニオン交換樹脂を通水した水を用いて脱気膜の洗浄を行った。
［比較例］
　脱気膜とアニオン交換樹脂とをそれぞれ別々に再生および洗浄を行った。
　図１１は、実施例１，２と比較例との結果を示す表である。図１１に示すように、比較例では、脱気膜とアニオン交換樹脂装置とをそれぞれ別々に再生および洗浄している。そのため、別々に処理した分だけ長い時間がかかっている。一方、実施例１では、脱気膜とアニオン交換樹脂とを互いに同時に再生している。そのため、通薬工程時間が短縮できている。また、実施例２では、アニオン交換樹脂を洗浄した水を脱気膜へ通水する（再利用する）ことで、洗浄時間の短縮および洗浄水使用量の削減が実現できている。
　以上、各構成要素に各機能（処理）それぞれを分担させて説明したが、この割り当ては上述したものに限定しない。また、構成要素の構成についても、上述した形態はあくまでも例であって、これに限定しない。また、各実施の形態を組み合わせたものであっても良い。また、上述したバルブ５１０，５２０，５３０，５４０，５５０，５６０，５７０，５８０は、三方バルブに限らず、それぞれの入力および出力それぞれを開閉する互いに独立したバルブの組み合わせであっても良い。
　以上、実施の形態を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
　この出願は、２０２２年７月２８日に出願された日本出願特願２０２２－１２０２８５を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。

Claims (10)

  1. 　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムにおいて、
    　前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに薬液を同時に並列に供給する第１の配管と、
    　前記第１の配管に設けられた第１のバルブ群と、
    　前記第１のバルブ群の開閉を制御する制御装置と、を有する水処理システム。
  2. 　請求項１に記載の水処理システムにおいて、
    　前記制御装置は、前記膜分離装置の前段における圧力と該膜分離装置の後段における圧力との差分が所定の閾値を超えた場合、前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに薬液が供給されるように、前記第１のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  3. 　請求項１または請求項２に記載の水処理システムにおいて、
    　前記膜分離装置に通液された薬液を前記イオン交換装置へ供給する第２の配管と、
    　前記第２の配管に設けられた第２のバルブ群と、を有し、
    　前記制御装置は、前記膜分離装置に通液された薬液が前記イオン交換装置へ供給されるように、前記第２のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  4. 　請求項３に記載の水処理システムにおいて、
    　前記制御装置は、前記膜分離装置に通液された薬液のＴＯＣ値と、ｐＨ値と、導電率との少なくとも１つに基づいて、前記膜分離装置に通液された薬液が前記イオン交換装置へ供給されるように、前記第２のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  5. 　請求項１または請求項２に記載の水処理システムにおいて、
    　前記イオン交換装置に通液された薬液を前記膜分離装置へ供給する第３の配管と、
    　前記第３の配管に設けられた第３のバルブ群と、を有し、
    　前記制御装置は、前記イオン交換装置に通液された薬液が前記膜分離装置へ供給されるように、前記第３のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  6. 　請求項１または請求項２に記載の水処理システムにおいて、
    　前記イオン交換装置にアニオン交換樹脂が充填されており、前記薬液がアルカリ性の液体である水処理システム。
  7. 　請求項１または請求項２に記載の水処理システムにおいて、
    　前記イオン交換装置にカチオン交換樹脂が充填されており、前記薬液が酸性の液体である水処理システム。
  8. 　請求項１または請求項２に記載の水処理システムにおいて、
    　洗浄水を前記膜分離装置および前記イオン交換装置へ供給する第４の配管と、
    　前記第４の配管に設けられた第４のバルブ群と、を有し、
    　前記制御装置は、前記膜分離装置および前記イオン交換装置への前記薬液の通液が終了した後、前記膜分離装置および前記イオン交換装置へ前記洗浄水が供給されるように、前記第４のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  9. 　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムにおいて、
    　前記膜分離装置へ薬液を供給する第１の配管と、
    　前記膜分離装置に通液された薬液を前記イオン交換装置へ供給する第２の配管と、
    　前記第１の配管に設けられた第１のバルブ群と、
    　前記第２の配管に設けられた第２のバルブ群と、
    　前記第１のバルブ群および前記第２のバルブ群の開閉を制御する制御装置と、を有し、
    　前記制御装置は、前記膜分離装置に通液された薬液が前記イオン交換装置へ供給されるように、前記第２のバルブ群の開閉を制御する水処理システム。
  10. 　膜分離装置とイオン交換装置とを備える水処理システムの運転方法において、
    　配管に配置されたバルブの開閉を制御して、前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに被処理水を通水する通水工程と、
    　所定のタイミングに基づいて、前記バルブの開閉を制御して、前記膜分離装置と前記イオン交換装置とに薬液を同時に並列に供給する通薬工程とを行う水処理システムの運転方法。
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