WO2024020950A1

WO2024020950A1 - 吸附装置、吸附系统以及吸附控制方法

Info

Publication number: WO2024020950A1
Application number: PCT/CN2022/108706
Authority: WO
Inventors: 朱学辉; 张俊瑞; 王利; 刘一泽; 周全国; 王志东; 徐丽蓉; 兰荣华; 蒋国; 唐浩; 张青; 孙秀茹; 程久阳
Original assignee: 京东方科技集团股份有限公司
Priority date: 2022-07-28
Filing date: 2022-07-28
Publication date: 2024-02-01
Also published as: CN117794653A

Abstract

一种吸附装置、吸附系统以及吸附控制方法；该吸附装置(10)包括吸附平台(1)和至少两个控制阀(2)；吸附平台(1)包括至少两个吸附区域(11)，在各个吸附区域(11)设置有多个吸附孔(12)，吸附平台(1)用于放置待吸附产品(40)，吸附孔(12)用于将待吸附产品(40)吸附固定；一个控制阀(2)连通至一个吸附区域(11)的多个吸附孔(12)；该吸附装置(10)尺寸兼容性较好、减少真空损耗。

Description

吸附装置、吸附系统以及吸附控制方法

技术领域

本公开涉及真空吸附技术领域，具体而言，涉及一种吸附装置、吸附系统以及吸附控制方法。

背景技术

随着手机、车载、穿戴等显示行业的快速发展，定制化需求激增，显示屏幕尺寸、形状繁多，在对显示屏幕进行各种加工如清洗、镀膜、曝光、贴合、转运等工艺过程中，显示屏幕始终需要在平台上进行精准定位且表面平整，这就对显示屏幕的吸附装置提出了很大的考验，需要同时满足对多种尺寸、形状的显示屏幕进行吸附。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种吸附装置、吸附系统以及吸附控制方法。

根据本公开的一个方面，提供了一种吸附装置，包括：

吸附平台，包括至少两个吸附区域，在各个所述吸附区域设置有多个吸附孔，所述吸附平台用于放置待吸附产品，所述吸附孔用于将所述待吸附产品吸附固定；

至少两个控制阀，一个所述控制阀连通至一个所述吸附区域的多个所述吸附孔。

在本公开的一种示例性实施例中，至少两个所述吸附区域设置为依次连接的嵌套结构。

在本公开的一种示例性实施例中，从所述吸附平台的中心点到所述吸附平台的边沿，所述吸附孔的孔径逐渐增大。

在本公开的一种示例性实施例中，从所述吸附平台的中心点到所述吸附平台的边沿，所述吸附孔的分布密度逐渐减小。

在本公开的一种示例性实施例中，至少两个所述吸附区域包括：

第一吸附区域，设置在所述吸附平台的中心区域；

第二吸附区域，连接于所述第一吸附区域，且围设于所述第一吸附区域的外围；

第三吸附区域，连接于所述第二吸附区域，且围设于第二吸附区域的外围。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一吸附区域的所述吸附孔为第一吸附孔，所述第二吸附区域的所述吸附孔为第二吸附孔，所述第三吸附区域的所述吸附孔为第三吸附孔，所述第一吸附孔的孔径、所述第二吸附孔的孔径以与所述第三吸附孔的孔径互不相同，所述第一吸附孔的分布密度、所述第二吸附孔的分布密度与所述第三吸附孔的分布密度互不相同。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一吸附孔的孔径小于所述第二吸附孔的孔径，且所述第二吸附孔的孔径小于所述第三吸附孔的孔径。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一吸附孔的分布密度大于所述第二吸附孔的分布密度，且所述第二吸附孔的分布密度大于所述第三吸附孔的分布密度。

在本公开的一种示例性实施例中，沿第一方向排列形成至少一行的多个所述吸附孔位于同一所述吸附区域，所述第一方向与所述吸附平台的放置待吸附产品的一面平行。

在本公开的一种示例性实施例中，所述吸附区域设置为多个，且呈阵列排布。

在本公开的一种示例性实施例中，所述吸附装置还包括：

微孔陶瓷平板，密封设于所述吸附平台用于放置待吸附产品的一面。

在本公开的一种示例性实施例中，所述吸附装置包括：

边沿密封胶层，设于所述微孔陶瓷平板的边沿部与所述吸附平台的边沿部之间；

间隔密封部，设于所述微孔陶瓷平板与所述吸附平台之间，且所述间隔密封部在所述吸附平台上的正投影位于相邻两个吸附区域之间，或所述间隔密封部在所述吸附平台上的正投影与相邻两个所述吸附区域中的至少一个边沿部有重叠。

在本公开的一种示例性实施例中，所述控制阀为气动电磁阀。

根据本公开的另一个方面，提供了一种吸附系统，包括：

吸附装置，是上述任意一项所述的吸附装置；

位置采集装置，用于采集待吸附产品在吸附平台上的位置信息；

控制器，其输入端电连接于所述位置采集装置的输出端，所述控制器的输出端电连接于所述吸附装置的控制阀的控制端，所述控制器用于根据所述位置信息控制所述控制阀的开关，以使对应的吸附区域的吸附孔进行吸附工作。

在本公开的一种示例性实施例中，所述位置采集装置为图像采集器或压力传感器。

根据本公开的另一个方面，提供了一种吸附控制方法，用于上述任意一项所述的吸附系统，所述吸附控制方法包括：

获取待吸附产品的位置信息；

根据所述位置信息获取被所述待吸附产品占据的目标吸附区域；

控制所述目标吸附区域内的吸附孔进行吸附工作。

在本公开的一种示例性实施例中，位置采集装置为图像采集器，获取待吸附产品的位置信息，包括：

获取包括所述待吸附产品以及吸附平台的整体图像，所述整体图像包括所述位置信息。

在本公开的一种示例性实施例中，根据所述位置信息获取被所述待吸附产品占据的目标吸附区域，包括：

根据灰度阈值从所述整体图像中提取所述待吸附产品的目标图像；

根据所述目标图像获取所述目标图像在所述整体图像中的像素坐标；

根据像素坐标系与实际坐标系的对应关系，确定待吸附产品在所述吸附平台上的实际位置坐标；

根据所述实际位置坐标确定被所述待吸附产品占据的目标吸附区域。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开吸附装置第一示例实施方式的结构示意图。

图2为本公开吸附装置第二示例实施方式的结构示意图。

图3为本公开吸附装置第三示例实施方式的结构示意图。

图4为本公开吸附装置第四示例实施方式的结构示意图。

图5为本公开吸附装置第五示例实施方式的结构示意图。

图6为本公开吸附装置第六示例实施方式的结构示意图。

图7为按照图6中的A-A剖切后的剖视结构示意图。

图8为本公开吸附系统一示例实施方式的结构示意图。

图9为本公开吸附控制方法一示例实施方式的流程示意框图。

附图标记说明：

1、吸附平台；11、吸附区域；11a、第一吸附区域；11a1、边沿线；11b、第二吸附区域；11b1、第二内环线；11b2、第二外环线；11c、第三吸附区域；11c1、第三内环线；11c2、第三外环线；12、吸附孔；12a、第一吸附孔；12b、第二吸附孔；12c、第三吸附孔；13、中心点；

2、控制阀；3、微孔陶瓷平板；

41、边沿密封胶层；42、间隔密封部；

5、气路管道；6、真空管路；

10、吸附装置；20、位置采集装置；30、控制器；40、待吸附产品；

X、第一方向；Y、第二方向。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本公开将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。

虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。

用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

本公开示例实施方式提供了一种吸附装置10，参照图1-图7所示，该吸附装置10可以包括吸附平台1以及至少两个控制阀2；吸附平台1包括至少两个吸附区域11，在各个吸附区域11设置有多个吸附孔12，吸附平台1用于放置待吸附产品40，吸附孔12用于将待吸附产品40吸附固定；一个控制阀2连通至一个吸附区域11的多个吸附孔12。

本公开的吸附装置10，将吸附平台1上的多个吸附孔12进行分区且分别进行控制；一方面，在待吸附产品40面积较大的情况下，可以通过两个或多个吸附区的多个吸附孔12对待吸附产品40进行吸附固定；在待吸附产品40面积较小的情况下，可以通过一个吸附区的多个吸附孔12对待吸附产品40进行吸附固定；尺寸兼容性较好，不需要针对不同面积的待吸附产品40更换不同的吸附平台1，节省厂家的设备成本。另一方面，在待吸附产品40面积较小的情况下，可以减少真空损耗、减少能耗，并保证吸附平台1具有足够的吸附力。

在本示例实施方式中，吸附平台1可以设置为长方体的平板状，即吸附平台1包括相对设置的第一面和第二面，在第一面和第二面之间连接有侧面，第一面和第二面的面积较大，侧面的面积较小。第一面或第二面用于承载并吸附待吸附产品40。下面以第一面用于承载并吸附待吸附产品40为例进行说明。

吸附平台1可以设置为实体结构，吸附平台1可以包括平台本体和吸附盖板，平台本体设置为长方体的平板状，平台本体也包括相对设置的第一平面和第二平面，在第一平面和第二平面之间连接有侧平面，第一平面和第二平面的面积较大，侧平面的面积较小。平台本体的侧平面形成吸附平台1的侧面，平台本体的第二平面形成吸附平台1的第二面。在平台本体的第一平面上设置有多个气路通道，且气路通道的一端连接至侧面。

吸附盖板设于平台本体的第一平面，且与第一平面密封贴合，例如，在吸附盖板与第一平面之间可以通过密封胶粘接，还可以在吸附盖板与第一平面之间设置密封垫，然后将吸附盖板与吸附平台1通过螺钉、铆钉等等固定连接。

在吸附盖板上设置有多个吸附孔12，多个吸附孔12均连接至气路通道。吸附孔12可以设置为圆形通孔，圆形通孔加工方便、快捷，成本低。当然，根据需要吸附孔12可以设置为椭圆形通孔、三角形通孔、矩形通孔、各种多边形通孔等等。

另外，在本公开的其他一些示例实施方式中，吸附平台1可以设置为壳体结构，即吸附平台1具有容纳腔，壳体结构可以包括盖板，在盖板上设置有多个吸附孔12；在容纳腔内设置有多个气路管道5，气路管道5的一端连接至侧面，气路管道5的另一端连接至盖板上的吸附孔12。

在本示例实施方式中，吸附平台1可以包括至少两个吸附区域11，具体为，盖板可以包括至少两个相邻设置的吸附区域11。在各个吸附区域11设置有多个吸附孔12。

参照图1所示，至少两个吸附区域11设置为依次连接的嵌套结构，即一个吸附区域11设置在中心区域，其他吸附区域11设置为环状，且依次套设，也就是其他吸附区域11设置为一环套一环的结构。具体来讲，至少两个吸附区域11可以包括第一吸附区域11a、第二吸附区域11b以及第三吸附区域11c。第一吸附区域11a设置在吸附平台1的中心区域；第一吸附区域11a可以设置为矩形，当然，第一吸附区域11a可以设置为圆形、椭圆形、梯形等等其他形状。第二吸附区域11b连接于第一吸附区域11a，且围设于第一吸附区域11a的外围；第二吸附区域11b设置为矩形环状，第二吸附区域11b具有第二内环线11b1和第二外环线11b2，第二内环线11b1与第一吸附区域11a的边沿线11a1重合。当然，在第一吸附区域11a设置为圆形、椭圆形、梯形等等其他形状的情况下，第二吸附区域11b对应可以设置为圆环形、椭圆环形、梯形环等等其他形状。第三吸附区域11c连接于第二吸附区域11b，且围设于第二吸附区域11b的外围，第三吸附区域11c设置为矩形环状，第三吸附区域11c具有第三内环线11c1和第三外环线11c2，第三内环线11c1与第二吸附区域11b的第三外环线11c2重合。当然，在第一吸附区域11a设置为圆形、椭圆形、梯形等等其他形状的情况下，第三吸附区域11c对应可以设置为圆环形、椭圆环形、梯形环等等其他形状。

在本公开的另外一些示例实施方式中，第二吸附区域11b也可以设置为内方外圆的环状，即第二吸附区域11b的第二内环线11b1设置为矩形的环线，第二外环线11b2设置为圆形的环线；对应地，第三吸附区域11c也可以设置为内圆外方的环状，即第三吸附区域11c的第三内环线11c1设置为圆形的环线，第三外环线11c2设置为矩形的环线。

另外，也可以仅设置第一吸附区域11a和第二吸附区域11b两个吸附区域11；还可以在第三吸附区域11c外围依次设置第四吸附区域11、第五吸附区域11等等更多个吸附区域11。再此就不一一说明。

进一步地，参照图2所示，从吸附平台1的中心点13到吸附平台1 的边沿，吸附孔12的孔径可以逐渐增大。在吸附平台1设置为平行四边形(例如，矩形)的情况下，吸附平台1的中心点13可以是矩形的两个对角线的交叉点；在吸附平台1设置为圆形的情况下，吸附平台1的中心点13可以是圆形的圆点。在吸附平台1设置为椭圆形的情况下，吸附平台1的中心点13可以是椭圆形的短轴和长轴的交叉点。越靠近吸附平台1的中心点13吸附孔12的孔径越小，越靠近吸附平台1的边沿吸附孔12的孔径越大；也就是说，吸附孔12的孔径与吸附孔12与中心点13的距离成正比，吸附孔12的孔径与吸附孔12与边沿的距离成反比。

一般待吸附产品40对称较为居中地吸附在吸附平台1上。那么面积较小的待吸附产品40一般只占据吸附平台1的中部区域，例如，面积较小的待吸附产品40一般只占据吸附平台1的第一吸附区域11a。将吸附平台1的中部区域的吸附孔12的孔径设置的较小，可以使吸附面积较小的待吸附产品40的吸附孔12的面积较小、吸附力较小，避免面积较大的吸附孔12对待吸附产品40吸附力较大，造成待吸附产品40倾斜或弯曲等等不良。

进一步地，参照图2所示，从吸附平台1的中心点13到吸附平台1的边沿，吸附孔12的分布密度逐渐减小，即吸附孔12越靠近吸附平台1的中心点13相邻两个吸附孔12之间的距离越小，吸附孔12越靠近吸附平台1的边沿相邻两个吸附孔12之间的距离越大；也就是说，吸附孔12的分布密度与吸附孔12与中心点13的距离成反比，吸附孔12的分布密度与吸附孔12与边沿的距离成正比。

由于吸附平台1的中部区域的吸附孔12的孔径设置的较小，吸附平台1的边沿区域的吸附孔12的孔径设置的较大；那么，吸附平台1的中部区域的吸附孔12的吸附力较小，吸附平台1的边沿区域的吸附孔12的吸附力较大；将吸附平台1的中部区域的吸附孔12的分布密度设置的较大，边沿区域的吸附孔12的分布密度设置的较小，使得吸附平台1各处对待吸附产品40的总吸附力保持基本相同，保证对待吸附产品40吸附力的均匀性。

另外，参照图3所示，吸附孔12的孔径大小可以按照吸附区域11进行划分，例如，上述图1示例实施方式中设置有三个吸附区域11的情况下，第一吸附区域11a的吸附孔12为第一吸附孔12a，第二吸附区域11b的吸附孔12为第二吸附孔12b，第三吸附区域11c的吸附孔12为第三吸附孔12c，第一吸附孔12a的孔径、第二吸附孔12b的孔径以及第三吸附孔12c的孔径互不相同，第一吸附孔12a的分布密度、第二吸附孔12b的分布密度以及第三吸附孔12c的分布密度互不相同。

具体为，第一吸附孔12a的孔径小于第二吸附孔12b的孔径，且第二吸附孔12b的孔径小于第三吸附孔12c的孔径。即在第一吸附区域11a内的多个第一吸附孔12a的孔径是相同的，在第二吸附区域11b内的多个第二吸附孔12b的孔径是相同的，第一吸附区域11a内任意一个第一吸附孔12a的孔径小于第二吸附区域11b内任意一个第二吸附孔12b的孔径；在第三吸附区域11c内的多个第三吸附孔12c的孔径是相同的，第三吸附区域11c内任意一个第三吸附孔12c的孔径大于第二吸附区域11b内任意一个第二吸附孔12b的孔径。如此设置同样可以使吸附面积较小的待吸附产品40的吸附孔12的面积较小、吸附力较小，避免面积较大的吸附孔12对待吸附产品40的吸附力较大造成待吸附产品40倾斜或弯曲。

当然，参照图3所示，吸附孔12的分布密度大小可以按照吸附区域11进行划分。第一吸附孔12a的分布密度大于第二吸附孔12b的分布密度，且第二吸附孔12b的分布密度大于第三吸附孔12c的分布密度。即在第一吸附区域11a内的相邻两个第一吸附孔12a之间的距离是相同的，第二吸附区域11b内的相邻两个第二吸附孔12b之间的距离是相同的，第一吸附区域11a内任意两个第一吸附孔12a之间的距离小于第二吸附区域11b内任意两个第二吸附孔12b之间的距离；第三吸附区域11c内的相邻两个第三吸附孔12c之间的距离是相同的，第三吸附区域11c内任意两个第三吸附孔12c之间的距离大于第二吸附区域11b内任意两个第二吸附孔12b之间的距离。如此设置同样可以使得吸附平台1各处对待吸附产品40的总吸附力保持基本相同，保证对待吸附产品40吸附力的均匀性。

吸附区域11的划分不限于上述说明，例如，参照图4所示，沿第一方向X排列形成至少一行的多个吸附孔12位于同一吸附区域11，可以是一列或一行吸附孔12形成一个吸附区域11。第一方向X与吸附平台1的放置待吸附产品40的一面平行。当然，在本公开的另一些示例实施方式中，可以是两列或两行吸附孔12形成一个吸附区域11，还可以是三列或三行吸附孔12形成一个吸附区域11。再此就不一一说明。

需要说明的是，图4中标出的第一方向X只是举例说明，在本公开的另一些示例实施方式中，第一方向X也可以与图4中标出的第一方向X垂直。

参照图5所示，吸附区域11可以设置为多个，且多个吸附区域11呈阵列排布。吸附区域11可以设置为矩形，多个吸附区域11在第一方向X上依次排列形成一行，一行吸附区域11在第二方向Y上依次排列。第一方向X与第二方向Y相交，例如，第一方向X与第二方向Y垂直。当然，吸附区域11可以设置为梯形、平行四边形等等的情况下，多个吸附区域11也可以呈阵列排布。

另外，吸附区域11的划分以及排布，还可以采用其他方法，在此不再一一赘述。

多个吸附孔12均连接至气路通道或气路管道5，且一个吸附区域11内的吸附孔12连接至同一个气路通道或气路管道5。

在吸附区域11设置为嵌套的三个的情况下，设置有三个气路通道，连接多个第一吸附孔12a的为第一气路通道，连接多个第二吸附孔12b的为第二气路通道，连接多个第三吸附孔12c的为第三气路通道。

第一气路通道可以包括第一总通道，和连接于第一总通道的多个第一子通道，第一总通道的一端连通至吸附平台1的侧面；多个第一子通道可以设置为直线状，且多个第一子通道可以相互平行设置；多个第一子通道可以设置为环状，且可以相互嵌套设置。

第二气路通道可以包括第二总通道，和连接于第二总通道的多个第二子通道，第二总通道的一端连通至吸附平台1的侧面，多个第二子通道可以设置为环状，且可以相互嵌套设置。

第三气路通道可以包括第三总通道，和连接于第三总通道的多个第三子通道，第三总通道的一端连通至吸附平台1的侧面，多个第三子通道可以设置为环状，且可以相互嵌套设置。

在沿第一方向X排列的一列或一行吸附孔12形成一个吸附区域11的情况下，气路通道设置为多个，且多个气路通道的结构可以相同，例如，气路通道设置为沿第一方向X延伸的条状，气路通道的一端连通至吸附平台1的侧面。当然，在沿第一方向X排列的两列或两行吸附孔12形成一个吸附区域11的情况下，气路通道设置为多个，且多个气路通道的结构可以相同，例如，气路通道可以包括总通道，和连接于总通道的多个子通道，总通道的一端连通至吸附平台1的侧面；多个子通道可以设置为直线状，且多个子通道可以相互平行设置。

在吸附区域11设置为多个，且呈阵列排布的情况下，气路通道设置为多个，且多个气路通道的结构可以相同，气路通道的一端连通至吸附平台1的侧面，气路通道可以设置为直线状，且多个气路通道可以相互平行设置；气路通道可以设置为环状，且多个气路通道可以相互嵌套设置。

参照图1、图4、图5所示，在吸附平台1的侧面设置有真空管路6，真空管路6的一端连接至气路通道或气路管道5。真空管路6上设置有控制阀2，真空管路6的另一端连接有抽真空装置。通过控制阀2可以控制真空管路6的通断，从而控制各个吸附区域11的多个吸附孔12是否能够进行吸附工作，具体为，控制阀2打开时，真空管路6为通路，与该真空管路6连接的吸附区域11的多个吸附孔12能够进行吸附工作；控制阀2关闭时，真空管路6为断路，与该真空管路6连接的吸附区域11的多个吸附孔12不进行吸附工作。

控制阀2为气动电磁阀，气动电磁阀通过控制阀2体的移动来档住或漏出不同的排气的孔，而进气孔是常开的，高压气体就会进入不同的排气管，然后通过气动电磁阀的气压来推动气缸的活塞，这样通过控制气动电磁阀的电磁铁的电流就控制了整个电磁阀的机械运动。

上述示例实施方式中的吸附装置10适用于刚性待吸附产品40的吸附。在柔性的待吸附产品40应用场景中，若直接采用上述示例实施方式，吸附孔12的直径为毫米级，若直接对柔性的待吸附产品40进行吸附，在吸附力的作用下会导致柔性的待吸附产品40出现凹印、翘曲等问题，致使柔性的待吸附产品40出现质量问题，而且影响后续对柔性的待吸附产品40进行拍照检测质量。

为了实现更好的吸附效果并保证柔性的待吸附产品40平整度(平坦度<1μm)。进一步地，参照图6和图7所示，吸附装置10还可以包括微孔陶瓷平板3，微孔陶瓷平板3密封设于吸附平台1用于放置待吸附产品40的一面。微孔陶瓷是指在陶瓷内部或表面含有大量开口或闭口微小气孔的陶瓷体，其孔径一般为微米级或亚微米级。

微孔陶瓷平板3密封设于吸附平台1用于放置待吸附产品40的一面，使得吸附孔12与微孔陶瓷平板3上的小气孔连通，将柔性的待吸附产品40放置在微孔陶瓷平板3背离吸附平台1的一面，然后，打开控制阀2使得吸附孔12进行吸附工作时，微孔陶瓷平板3上的小气孔会被抽真空，从而使得柔性的待吸附产品40吸附在微孔陶瓷平板3上，而且微孔陶瓷平板3上的微米级或亚微米级的小气孔不会导致柔性的待吸附产品40出现凹印、翘曲等问题。

微孔陶瓷平板3与吸附平台1之间通过密封胶层进行密封。具体地，边沿密封胶层41设于微孔陶瓷平板3的边沿部与吸附平台1的边沿部之间，从而将微孔陶瓷平板3与吸附平台1之间的间隙密封，与外界隔离。

间隔密封部42设于微孔陶瓷平板3与吸附平台1之间，且在相邻两个吸附区域11间隔设置的情况下，间隔密封部42在吸附平台1上的正投影还位于相邻两个吸附区域11之间；或者，在相邻两个吸附区域11连接设置的情况下，间隔密封部42在吸附平台1上的正投影与相邻两个吸附区域11的至少一个边沿部有重叠，例如，图6所示，间隔密封部42在吸附平台1上的正投影可以与第一吸附区域的边沿部有重叠，也可以与第二吸附区域的边沿部有重叠；还可以与第一吸附区域的边沿部和第二吸附区域的边沿部均有重叠。从而通过间隔密封部42将各个吸附区域11密封隔离，避免各个吸附区域11相互影响。参照图6所示，间隔密封部42可以设置为环状。当然，对于图4所示的结构，间隔密封部42可以设置为条状；对于图5所示的结构，间隔密封部42可以设置为栅格结构。

基于同一发明构思，本公开示例实施方式提供了一种吸附系统，参照图8所示，吸附系统可以包括吸附装置10、位置采集装置20以及控制器30；吸附装置10是上述任意一项所述的吸附装置10，吸附装置10的具体结构上述已经进行了详细说明，因此，此处不再赘述。

位置采集装置20可以用于采集待吸附产品40在吸附平台1上的位置信息；控制器30的输入端电连接于位置采集装置20的输出端，控制器30的输出端电连接于吸附装置10的控制阀2的控制端，控制器30可以用于根据位置信息控制控制阀2的开关，以使对应的吸附区域11的吸附孔12进行吸附工作。

位置采集装置20可以是图像采集器，例如，位置采集装置20可以是相机、摄像机等等。图像采集器可以设置为一个，也可以设置为多个。图像采集器设置在吸附装置10的吸附平台1的放置待吸附产品40的一侧，且图像采集器的进光侧朝向吸附平台1设置，通过图像采集器可以采集吸附产品以及吸附平台1的图像。

位置采集装置20还可以是压力传感器，例如，位置采集装置20可以是压阻式压力传感器、陶瓷压力传感器、压电式压力传感器等等。压力传感器可以设置为多个，多个压力传感器阵列排布于吸附装置10的吸附平台1上，多个压力传感器可以沿吸附区域11的边沿排布，当然，在吸附区域11内部也可以设置有多个压力传感器。待吸附产品40放置到吸附平台1上后，在待吸附产品40下方的压力传感器会感测到压力，有电信号输出；没有被待吸附产品40压住的压力传感器不会感测到压力，没有电信号输出。从而通过多个压力传感器可以确定待吸附产品40的具体的位置，进一步确定待吸附产品40所占据的吸附区域11。

需要说明的是，压力传感器的分布不能引起吸附平台的平整度降低，压力传感器也不能阻挡吸附孔；在设置有微孔陶瓷平板3的情况下，可以不采用压力传感器。

控制器30可以是单片机、微型处理器、工控机等等。控制器30的输入端电连接于位置采集装置20的输出端，控制器30的输出端电连接于控制阀2的控制端。

基于同一发明构思，本公开示例实施方式提供了一种吸附控制方法，参照图9所示，用于上述任意一项所述的吸附系统，该吸附控制方法可以包括以下步骤：

步骤S10，获取待吸附产品的位置信息。

步骤S20，根据所述位置信息获取被所述待吸附产品占据的目标吸附区域。

步骤S30，控制所述目标吸附区域内的吸附孔进行吸附工作。

下面对吸附控制方法的各个步骤进行详细说明。

步骤S10，获取待吸附产品的位置信息。

在本示例实施方式中，采集装置可以是图像采集器，图像采集器采集包括待吸附产品40以及吸附平台1的整体图像。然后将整体图像传输至控制器30，整体图像中包括了待吸附产品40的位置信息。

在另一些示例实施方式中，采集装置可以是多个压力传感器，在使用之前将多个压力传感器安装好，且在控制器30内存储各个压力传感器的位置坐标。使用过程中，部分压力传感器感测待吸附产品40的的压力，并输出电信号至控制器30，待吸附产品40的位置信息包括各个压力传感器的位置坐标以及各个压力传感器的电信号。

步骤S20，根据所述位置信息获取被所述待吸附产品40占据的目标吸附区域11。

在本示例实施方式中，控制器30对获取的整体图像进行滤波处理，改善噪声对待吸附产品40边缘检测的影响。滤波处理的方法可以采用现有技术中的方法，在此就不再赘述。

然后，根据灰度阈值从整体图像中提取待吸附产品40的目标图像，即对整体图像进行阈值分割，将待吸附产品40的目标图像和吸附平台1的图像分割开来。由于待吸附产品40比吸附平台1有更强的反光，因此，待吸附产品40的目标图像的灰阶值与吸附平台1的图像的灰阶值具有明显的差异，例如，待吸附产品40的目标图像的灰阶值明显小于吸附平台1的图像的灰阶值。所以，通过灰阶值的阈值可以将待吸附产品40的目标图像和吸附平台1的图像分割开来。

根据目标图像获取目标图像在整体图像中的像素坐标，即根据分割结果，计算得到待吸附产品40的目标图像的边沿的像素坐标。像素坐标为待吸附产品40的目标图像在整体图像中的坐标值。

具体来讲，可以先建立像素坐标系，像素坐标系可以以整体图像中的一个角(例如左上角)的一个像素点为原点，一个像素为一个单位。根据待吸附产品40的目标图像在整体图像中所占据的像素即可获得目标图像在整体图像中的像素坐标。还可以是，像素坐标系为[u,v]，该坐标系没有物理单位。像素坐标系中的坐标点[u,v]代表图像在存储数组中的行和列位置，存储数组是按照像素的排列存储的，该位置存储的是图像的颜色或灰度信息。

建立像素坐标系与实际坐标系的对应关系，具体来讲，像素坐标系与实际坐标系的对应可以通过对吸附平台标定实现。比如，可以在吸附平台的边缘可以做一些对位标记，这些对位标记的物理位置关系是已知的，通过这些对位标记也可以建立吸附平台的实际坐标系。然后，通过图像采集器采集的图片上的对位标记图像之间的像素距离也可以计算出来。通过对位标记之间的物理位置关系和对位标记图像之间的像素距离就可以计算得到一个像素点对应实际坐标系中x _I轴方向物理尺寸dx和y _I轴方向物理尺寸dy。

另外，需要说明的是一般在图像采集器对焦成功的情况下得到的对位标记图像之间的像素距离才是准确的，计算dx和dy才更准确。因此，采用不同的图像采集器计算得到的dx和dy是有差异的。

当然，还可以先建立实际坐标系，实际坐标系可以以吸附平台1的一个角(例如左上角)为原点，为了方便计算，实际坐标系的原点与像素坐标系的原点相对应，即实际坐标系的原点通过图像采集器采集形成整体图像后，实际坐标系的原点形成的图像点与图像坐标系的原点重合。

例如，实际坐标系为[x _I,y _I]，其中x _I,y _I轴分别与图像采集器的X,Y轴平行。实际坐标系中的坐标点单位为毫米，其中一个像素点对应实际坐标系中x _I轴方向物理尺寸dx和y _I轴方向物理尺寸dy，dx和dy与相机焦距f有关。

实际坐标系上的一点I ₁＝[X ₁,Y ₁]与其像素坐标系中的点[u ₁,v ₁]对应关系为：

其中，[u ₀,v ₀]为像素坐标系中的原点，也即实际坐标系的原点所对应的像素点。

其中，

为图像采集器的内参矩阵，包含与图像采集器内部结构有关的参数。

通过上述方法可以将目标图像的多个像素坐标对应转换为多个实际位置坐标，从而确定待吸附产品在所述吸附平台上的实际位置坐标。

另外，为了减少计算量，一般拟合出目标图像的轮廓线即可；当然，也可以从相邻的多个像素中选取一个像素进行转换和计算；还可以是从目标图像的轮廓线的相邻的多个像素中选取一个像素进行转换和计算，可以更进一步减少计算量。

由于图像采集器是提前已经安装好的，而且，图像采集器在整个使用过程中都不会移动，因此，像素坐标系与实际坐标系的对应关系可以提前设置好，并存储在控制器30内，控制器30可以直接调用。

各个吸附区域11在实际坐标系中的位置也是固定的，而且存储在控制器30内，因此，控制器30可以将待吸附产品40的实际位置坐标与各个吸附区域11的坐标进行对比，即可确定待吸附产品40占据的目标吸附区域11。

步骤S30，控制所述目标吸附区域11内的吸附孔12进行吸附工作。

在本示例实施方式中，控制器30控制连接目标吸附区域11内的吸附孔12的控制阀2打开，即可使目标吸附区域11内的吸附孔12进行吸附工作。

需要说明的是，尽管在附图中以特定顺序描述了本公开中吸附控制方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims

一种吸附装置，其中，包括：

吸附平台，包括至少两个吸附区域，在各个所述吸附区域设置有多个吸附孔，所述吸附平台用于放置待吸附产品，所述吸附孔用于将所述待吸附产品吸附固定；

至少两个控制阀，一个所述控制阀连通至一个所述吸附区域的多个所述吸附孔。
根据权利要求1所述的吸附装置，其中，至少两个所述吸附区域设置为依次连接的嵌套结构。
根据权利要求2所述的吸附装置，其中，从所述吸附平台的中心点到所述吸附平台的边沿，所述吸附孔的孔径逐渐增大。
根据权利要求3所述的吸附装置，其中，从所述吸附平台的中心点到所述吸附平台的边沿，所述吸附孔的分布密度逐渐减小。
根据权利要求2所述的吸附装置，其中，至少两个所述吸附区域包括：

第一吸附区域，设置在所述吸附平台的中心区域；

第二吸附区域，连接于所述第一吸附区域，且围设于所述第一吸附区域的外围；

第三吸附区域，连接于所述第二吸附区域，且围设于第二吸附区域的外围。
根据权利要求5所述的吸附装置，其中，所述第一吸附区域的所述吸附孔为第一吸附孔，所述第二吸附区域的所述吸附孔为第二吸附孔，所述第三吸附区域的所述吸附孔为第三吸附孔，所述第一吸附孔的孔径、所述第二吸附孔的孔径以与所述第三吸附孔的孔径互不相同，所述第一吸附孔的分布密度、所述第二吸附孔的分布密度与所述第三吸附孔的分布密度互不相同。
根据权利要求6所述的吸附装置，其中，所述第一吸附孔的孔径小于所述第二吸附孔的孔径，且所述第二吸附孔的孔径小于所述第三吸附孔的孔径。
根据权利要求7所述的吸附装置，其中，所述第一吸附孔的分布密度大于所述第二吸附孔的分布密度，且所述第二吸附孔的分布密度大于所述第三吸附孔的分布密度。
根据权利要求1所述的吸附装置，其中，沿第一方向排列形成至少一行的多个所述吸附孔位于同一所述吸附区域，所述第一方向与所述吸附平台的放置待吸附产品的一面平行。
根据权利要求1所述的吸附装置，其中，所述吸附区域设置为多个，且呈阵列排布。
根据权利要求1所述的吸附装置，其中，所述吸附装置还包括：

微孔陶瓷平板，密封设于所述吸附平台用于放置待吸附产品的一面。
根据权利要求11所述的吸附装置，其中，所述吸附装置包括：

边沿密封胶层，设于所述微孔陶瓷平板的边沿部与所述吸附平台的边沿部之间；

间隔密封部，设于所述微孔陶瓷平板与所述吸附平台之间，且所述间隔密封部在所述吸附平台上的正投影位于相邻两个吸附区域之间，或所述间隔密封部在所述吸附平台上的正投影与相邻两个所述吸附区域中的至少一个边沿部有重叠。
根据权利要求1所述的吸附装置，其中，所述控制阀为气动电磁阀。
一种吸附系统，其中，包括：

吸附装置，是权利要求1～13任意一项所述的吸附装置；

位置采集装置，用于采集待吸附产品在吸附平台上的位置信息；

控制器，其输入端电连接于所述位置采集装置的输出端，所述控制器的输出端电连接于所述吸附装置的控制阀的控制端，所述控制器用于根据所述位置信息控制所述控制阀的开关，以使对应的吸附区域的吸附孔进行吸附工作。
根据权利要求14所述的吸附系统，其中，所述位置采集装置为图像采集器或压力传感器。
一种吸附控制方法，用于权利要求14或15所述的吸附系统，其中，所述吸附控制方法包括：

获取待吸附产品的位置信息；

根据所述位置信息获取被所述待吸附产品占据的目标吸附区域；

控制所述目标吸附区域内的吸附孔进行吸附工作。
根据权利要求16所述的吸附控制方法，其中，位置采集装置为图像采集器，获取待吸附产品的位置信息，包括：

获取包括所述待吸附产品以及吸附平台的整体图像，所述整体图像包括所述位置信息。
根据权利要求17所述的吸附控制方法，其中，根据所述位置信息获取被所述待吸附产品占据的目标吸附区域，包括：

根据灰度阈值从所述整体图像中提取所述待吸附产品的目标图像；

根据所述目标图像获取所述目标图像在所述整体图像中的像素坐标；

根据像素坐标系与实际坐标系的对应关系，确定待吸附产品在所述吸附平台上的实际位置坐标；

根据所述实际位置坐标确定被所述待吸附产品占据的目标吸附区域。