WO2024004092A1

WO2024004092A1 - 流体制御装置、流体圧力供給装置および流体制御方法

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Publication number: WO2024004092A1
Application number: PCT/JP2022/026016
Authority: WO
Inventors: 大江夏樹
Original assignee: Smc株式会社
Priority date: 2022-06-29
Filing date: 2022-06-29
Publication date: 2024-01-04

Abstract

流体制御装置（１０）は、流体の流量（Ｆ）が、第１所定時間（ＴＭ１）以上継続的に閾値（ＦＴ）以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、第１圧力（Ｐ１）より低い第２圧力（Ｐ２）で前記流体が圧力調整弁（５０）から出力されるように前記圧力調整弁を制御する圧力調整弁制御部（７６）と、前記スタンバイモード中に第２所定時間（ＴＭ２）が経過した場合は、前記流体の外部装置（４２）への供給が遮断されるように遮断弁（５４）を制御する遮断弁制御部（８０）と、を備える。

Description

流体制御装置、流体圧力供給装置および流体制御方法

　本発明は、流体制御装置、流体圧力供給装置および流体制御方法に関する。

　米国特許出願公開第２０１９／２５７３２９号明細書には、ワーキングモードにおいて空気の流量が閾値以下になると、ホールドモードへシフトする流体制御装置が開示されている。ホールドモードでは、ワーキングモードよりも低い圧力で、空気が外部流体装置へ提供される。

　米国特許出願公開第２０１９／２５７３２９号明細書に開示された流体制御装置によると、外部装置への流体供給が不要の場合でも流体が供給される。したがって、流体を無駄に消費するという課題がある。

　本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。

　本発明の第１の態様は、流体供給源から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁と、前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置への供給を遮断することが可能な遮断弁と、を備えるバルブモジュールを制御する流体制御装置であって、前記バルブモジュールを通る前記流体の流量を流量計測器から取得する流量取得部と、取得された前記流量が、第１所定時間以上継続的に閾値以下であるか否かを判定する流量判定部と、第１圧力で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える圧力調整弁制御部と、前記スタンバイモード中に第２所定時間が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える遮断弁制御部と、を備える。

　本発明の第２の態様は、流体圧力供給装置であって、第１の態様の流体制御装置と、前記バルブモジュールと、を備える。

　本発明の第３の態様は、流体供給源から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁と、前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置への供給を遮断することが可能な遮断弁と、を備えるバルブモジュールを制御する流体制御方法であって、前記バルブモジュールを通る前記流体の流量を流量計測器から取得する流量取得工程と、取得された前記流量が、第１所定時間以上継続的に閾値以下であるか否かを判定する流量判定工程と、第１圧力で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える第１圧力調整弁制御工程と、前記スタンバイモード中に第２所定時間が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える第１遮断弁制御工程と、を備える。

　本発明によると、外部装置へ供給される流体を節減できる。

図１は、一実施の形態における流体制御装置とバルブモジュールとを含む流体圧力供給装置の構成を示す図である。図２は、オペレーションモードおよびスタンバイモードにおけるバルブモジュールの回路図である。図３は、アイソレーションモードにおけるバルブモジュールの回路図である。図４は、外部装置へ供給される流体の流量および圧力の変化を例示するタイムチャートである。図５は、オペレーションモードがスタンバイモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。図６は、スタンバイモードがオペレーションモードまたはアイソレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。図７は、アイソレーションモードがオペレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。図８は、オペレーションモードにおけるバルブモジュールの回路図である。図９は、スタンバイモードにおけるバルブモジュールの回路図である。図１０は、アイソレーションモードにおけるバルブモジュールの回路図である。図１１は、スタンバイモードがオペレーションモードまたはアイソレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。図１２は、アイソレーションモードがオペレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。図１３は、アイソレーションモードへの移行禁止の指示が有った場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。図１４は、アイソレーションモードがスタンバイモードへ切り替わる場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。図１５は、スタンバイモードへの移行禁止の指示が有った場合に流体制御装置が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。

　図１は、一実施の形態における流体制御装置１０とバルブモジュール２０とを含む流体圧力供給装置３０の構成を示す図である。流体制御装置１０はバルブモジュール２０を制御する。流体供給源４０から供給された流体（例えば空気）は、配管を通ってバルブモジュール２０の流入口に流入する。バルブモジュール２０の流入口に流入した流体はバルブモジュール内を通って、バルブモジュール２０の流出口から流出する。バルブモジュール２０の流出口から流出した流体は、配管を通って外部装置４２へ供給される。バルブモジュール２０は、圧力調整弁５０、流量計測器５２および遮断弁５４を有する。

　圧力調整弁５０は、流体供給源４０から供給された流体の圧力を調整可能である。本実施の形態において、圧力調整弁５０は、電気信号に応じて流体の圧力を調整する比例制御弁である。圧力調整弁５０は、主弁および主弁の開度を調整するパイロット弁を含む。流体供給源４０から供給された流体は、圧力調整弁５０の入口ポートに流入する。圧力調整弁５０の入口ポートは、上述したバルブモジュール２０の流入口に連通している。なお、圧力調整弁５０の入口ポートは、上述したバルブモジュール２０の流入口であってもよい。

　圧力調整弁５０の入口ポートに流入した流体の圧力が、主弁の開度に応じて調整される。圧力が調整された流体は、圧力調整弁５０の出口ポートから流出する。圧力調整弁５０から出力された流体は、遮断弁５４へ向かう。

　流量計測器５２は、バルブモジュール２０を通る流体の流量Ｆを計測する。本実施の形態において、流量計測器５２は、圧力調整弁５０から出力されて遮断弁５４へ向かう流体の流量Ｆを計測する。

　遮断弁５４は、開弁時に、圧力調整弁５０から出力された流体を外部装置４２へ供給する。遮断弁５４は、主弁および主弁を開閉させるパイロット弁を含む。遮断弁５４は、主弁が閉じることにより、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給を遮断する。

　圧力調整弁５０から出力された流体は、遮断弁５４の入口ポートに流入する。遮断弁５４の主弁が開いている場合、遮断弁５４の入口ポートに流入した流体は、遮断弁５４の出口ポートから流出する。遮断弁５４の出口ポートは、上述したバルブモジュール２０の流出口に連通している。遮断弁５４の出口ポートから流出した流体は、外部装置４２へ向かう。こうして、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が実現される。なお、遮断弁５４の出口ポートは、上述したバルブモジュール２０の流出口であってもよい。

　遮断弁５４の主弁が閉じている場合、遮断弁５４の入口ポートに流入した流体は、遮断弁５４の出口ポートから流出しない。すなわち、遮断弁５４の主弁が閉じると、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が遮断される。

　流体制御装置１０は、処理回路６０および記憶装置６２を有する。処理回路６０は、ＣＰＵまたはＧＰＵ等のプロセッサを含む。記憶装置６２は、ＲＡＭ等の揮発性メモリと、ＲＯＭまたはフラッシュメモリ等の不揮発性メモリとを含む。揮発性メモリは、プロセッサのワーキングメモリとして用いられる。不揮発性メモリは、プロセッサが実行するプログラムと、その他必要なデータとを記憶する。

　処理回路６０は、インタフェース部７０、計時部７２、流量判定部７４、圧力調整弁制御部７６、流量取得部７８および遮断弁制御部８０を有する。処理回路６０が記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより、インタフェース部７０、計時部７２、流量判定部７４、圧力調整弁制御部７６、流量取得部７８および遮断弁制御部８０が実現される。インタフェース部７０、計時部７２、流量判定部７４、圧力調整弁制御部７６、流量取得部７８および遮断弁制御部８０のうちの少なくとも一部は、ＡＳＩＣまたはＦＰＧＡ等の集積回路、或いはディスクリートデバイスを含む電子回路によって実現されてもよい。

　インタフェース部７０は、無線通信を介してオペレータ端末９０と双方向通信を行う。インタフェース部７０は、有線通信を介してオペレータ端末９０と双方向通信を行ってもよい。インタフェース部７０は、オペレータの指示をオペレータ端末９０から取得する。インタフェース部７０は、オペレータの指示を、流体圧力供給装置３０に設けられた不図示のボタンまたはスライドスイッチ等の操作用装置から取得してもよい。なお、オペレータ端末９０は、例えばＰＣ（パーソナルコンピュータ）またはＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｌｏｇｉｃ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）である。

　計時部７２は、クロック回路またはタイマ回路を有し、時刻を計測する。計時部７２は、クロック回路またはタイマ回路からの時刻情報に基づいて、後述する第１所定時間ＴＭ１および第２所定時間ＴＭ２を計測する。

　流量取得部７８は、流量計測器５２が計測した流量Ｆを、流量計測器５２から取得する。例えば外部装置４２が停止したことが原因で、流体の流量Ｆが低下する場合がある。流量判定部７４は、流量取得部７８により取得された流量Ｆが、第１所定時間ＴＭ１以上継続的に閾値ＦＴ以下であるか否かを、判定する。

　圧力調整弁制御部７６は、電気信号を用いて圧力調整弁５０を制御する。圧力調整弁制御部７６から出力された電気信号に応じて、圧力調整弁５０のパイロット弁が作動する。圧力調整弁５０のパイロット弁が作動することにより、圧力調整弁５０の主弁の開度が様々なレベルに調整される。主弁の開度がゼロの場合、圧力調整弁５０は閉じている状態である。

　遮断弁制御部８０は、電気信号を用いて遮断弁５４を制御する。遮断弁制御部８０から出力された電気信号に応じて、遮断弁５４のパイロット弁が作動する。遮断弁５４のパイロット弁が作動することにより、遮断弁５４の主弁が開閉する。

　図２は、オペレーションモードおよびスタンバイモードにおけるバルブモジュール２０の回路図である。外部装置４２での流体利用のため、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、流体供給源４０から供給された流体の圧力を第１圧力Ｐ１に調整する。流体が圧力調整弁５０から第１圧力Ｐ１で出力されるモードをオペレーションモードという。

　オペレーションモードにおいて、遮断弁５４の主弁は開いている。オペレーションモードでは、圧力調整弁５０から第１圧力Ｐ１で出力された流体が、バルブモジュール２０から流出し、外部装置４２へ供給される。

　オペレーションモード中に、スタンバイモードがオペレータから許可されたことを表す指示Ｃ１が、インタフェース部７０により取得されたとする。さらに、オペレーションモード中に、流量計測器５２により計測された流体の流量Ｆが第１所定時間ＴＭ１以上継続的に閾値ＦＴ以下であると、流量判定部７４により判定されたとする。

　この場合、圧力調整弁制御部７６は、第１圧力Ｐ１より低い第２圧力Ｐ２で流体が圧力調整弁５０から出力されるように圧力調整弁５０を制御する。つまり、圧力調整弁制御部７６は、流体の流量Ｆが第１所定時間ＴＭ１以上継続的に閾値ＦＴ以下で、且つ、オペレータによって指示Ｃ１が指示された場合は、圧力調整弁５０を制御して圧力調整弁５０から第２圧力Ｐ２の流体を出力させる。流体が圧力調整弁５０から第２圧力Ｐ２で出力されるモードをスタンバイモードという。すなわち、圧力調整弁制御部７６が、オペレーションモードをスタンバイモードに切り替える。

　スタンバイモードでは外部装置４２が停止している可能性があり、第１圧力Ｐ１の流体を供給する必要性が低く、第１圧力Ｐ１より低い第２圧力Ｐ２の流体が圧力調整弁５０から出力される。圧力Ｐが第１圧力Ｐ１から第２圧力Ｐ２に低下するように、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０のパイロット弁に、圧力調整弁５０の主弁の開度を減少させる。遮断弁５４の主弁は開いたまま維持される。スタンバイモードでは、流体の圧力Ｐが第２圧力Ｐ２に調整された状態で、流体が外部装置４２へ供給される。スタンバイモードでは、オペレーションモードに比べると流体消費の無駄が抑えられる。

　図３は、アイソレーションモードにおけるバルブモジュール２０の回路図である。スタンバイモード中に第２所定時間ＴＭ２が経過した場合、遮断弁制御部８０は、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が遮断されるように遮断弁５４を制御する。具体的には、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４のパイロット弁に、遮断弁５４の主弁を閉じさせる。流体の外部装置４２への供給が遮断されるモードをアイソレーションモードという。すなわち、遮断弁制御部８０が、スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える。

　アイソレーションモードにおいて、遮断弁制御部８０は、流体の外部装置４２への供給を遮断させるとともに、遮断弁５４の出口ポートを大気に開放させる。換言すると、バルブモジュール２０の流出口が大気に開放される。

　アイソレーションモードにおいて、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０のパイロット弁に、圧力調整弁５０の主弁の開度をゼロにさせるのが好ましい。すなわち、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０の主弁を閉じることが好ましい。

　なお、圧力調整弁５０は、チェック弁５０ｃを有する。オペレーションモード、スタンバイモードおよびアイソレーションモードのいずれにおいても、流体圧力供給装置３０を停止する場合、流体供給源４０からの流体供給が遮断される。圧力調整弁５０の入口ポートが大気圧ＰＡになると、チェック弁５０ｃは、圧力調整弁５０の出口ポートから入口ポートへ向かって、出口ポートから流出する流体を流通させる。したがって、例えばバルブモジュール２０の保守点検のために流体圧力供給装置３０を停止する場合、点検作業者の安全性を確保することができる。

　また、流体圧力供給装置３０への給電が緊急停止した場合、バルブモジュール２０はノーマルクローズの状態であってもよい。バルブモジュール２０がノーマルクローズの状態では、図３に示す状態と同様に、遮断弁５４の主弁が閉じた状態になる。この場合、バルブモジュール２０内の流体が排出されて、点検作業者の安全性を確保することができる。

　流体圧力供給装置３０への給電が緊急停止した場合、バルブモジュール２０はノーマルオープンの状態であってもよい。バルブモジュール２０がノーマルオープンの状態では、図２に示す状態と同様に、圧力調整弁５０の主弁と遮断弁５４の主弁とが、ともに開いた状態になる。この場合、外部装置４２への流体供給を継続することができる。

　図４は、外部装置４２へ供給される流体の流量Ｆおよび圧力Ｐの変化を例示するタイムチャートである。時刻が時刻Ｔ０からＴ９およびそれ以降の時刻へ進むにつれて、外部装置４２へ供給される流体の流量Ｆが変化する様子が、図４に示されている。さらに、時刻が時刻Ｔ０からＴ９およびそれ以降の時刻へ進むにつれて、外部装置４２へ供給される流体の圧力Ｐが変化する様子が、図４に示されている。

　図４に示す例の時刻Ｔ０において、バルブモジュール２０はオペレーションモードで動作している。時刻Ｔ０において、第１流量Ｆ１の流体が、第１圧力Ｐ１で外部装置４２へ供給される。その後、外部装置４２の停止により外部装置４２での流体の消費が停止すると、流体の流量Ｆが低下し始める。この流体の流量Ｆが低下し始めた時刻を時刻Ｔ１とする。その後、流体の流量Ｆは閾値ＦＴに到達する。この流体の流量Ｆが閾値ＦＴに到達した時刻を時刻Ｔ３とする。

　なお、時刻Ｔ３より前の時刻で、インタフェース部７０は、オペレータの指示Ｃ１を取得している。例えば、インタフェース部７０が指示Ｃ１を取得した時刻は、時刻Ｔ１より遅く時刻Ｔ３より早い時刻Ｔ２である。流量Ｆが閾値ＦＴに達した時刻Ｔ３から、計時部７２は計時を開始する。

　図４に示す例では、時刻Ｔ３以降においても、流量Ｆは閾値ＦＴ以下である。計時部７２が時刻Ｔ３に計時を開始して第１所定時間ＴＭ１が経過した時刻を時刻Ｔ４とする。また、時刻Ｔ４において、オペレータからスタンバイモードへの移行許可が取り消されていない（スタンバイモードへの移行が禁止されていない）とする。この場合、時刻Ｔ４において、流量判定部７４は、流量Ｆが、第１所定時間ＴＭ１以上継続的に閾値ＦＴ以下である、と判定する。この判定処理が行われる工程を、流量判定工程と呼ぶ。時刻Ｔ４において、圧力調整弁制御部７６は、オペレーションモードをスタンバイモードに切り替える。

　時刻Ｔ４に至るまでオペレーションモードで動作したバルブモジュール２０は、時刻Ｔ４から時刻Ｔ７まで、スタンバイモードで動作する。時刻Ｔ４において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０の主弁を閉じる。時刻Ｔ４において、流体の流量Ｆはゼロになる。時刻Ｔ４において、計時部７２は再び計時を開始する。

　時刻Ｔ４から時刻Ｔ５まで、一時的に圧力調整弁５０の主弁が閉じられた状態が維持される。その間に、バルブモジュール２０から先の下流で流体が徐々に消費される。例えば、流体が空気の場合、バルブモジュール２０の流出口と外部装置４２とを接続する配管におけるエアパージ等により、空気が消費される。これに伴い、図４に示すように、時刻Ｔ４から、流体の圧力Ｐは徐々に低下する。流体の圧力Ｐが第１圧力Ｐ１から第２圧力Ｐ２に低下した時刻を時刻Ｔ５とする。

　時刻Ｔ５において、圧力調整弁制御部７６は、流体が圧力調整弁５０から第２圧力Ｐ２で出力されるように圧力調整弁５０を制御する。この制御処理が行われる工程を、第１圧力調整弁制御工程と呼ぶ。

　時刻Ｔ５において、流体の流量Ｆが増加し始める。流体の圧力Ｐは第２圧力Ｐ２のままである。流体の流量Ｆが第２流量Ｆ２に達する時刻を時刻Ｔ６とする。時刻Ｔ６以降、第２流量Ｆ２の流体が、第２圧力Ｐ２で外部装置４２へ供給される。

　スタンバイモード中において、計時部７２が時刻Ｔ４に計時を開始して第２所定時間ＴＭ２が経過する。第２所定時間ＴＭ２が経過した時刻を時刻Ｔ７とする。時刻Ｔ７において、遮断弁制御部８０は、スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える。時刻Ｔ４から時刻Ｔ７までスタンバイモードで動作したバルブモジュール２０は、時刻Ｔ７以降、アイソレーションモードで動作する。

　時刻Ｔ７において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０の主弁を閉じる。時刻Ｔ７において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、遮断弁５４の主弁を閉じる。この制御処理が行われる工程を、第１遮断弁制御工程と呼ぶ。これにより、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が遮断される。

　なお、遮断弁制御部８０による遮断弁５４の制御の後に圧力調整弁制御部７６による圧力調整弁５０の制御が行われてもよい。時刻Ｔ７において、流体の流量Ｆはゼロになる。時刻Ｔ７において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４の出口ポート（バルブモジュール２０の流出口）を大気に開放させる。時刻Ｔ７において、バルブモジュール２０の流出口の圧力は大気圧ＰＡに等しい圧力に低下する。

　アイソレーションモードにおいて、インタフェース部７０が、オペレータの指示Ｃ２を取得した時刻を時刻Ｔ８とする。指示Ｃ２は、オペレータからオペレーションモードへの復帰が指示されたことを表す。時刻Ｔ８において、圧力調整弁制御部７６は、アイソレーションモードをオペレーションモードに切り替える。

　時刻Ｔ７から時刻Ｔ８までアイソレーションモードで動作したバルブモジュール２０は、時刻Ｔ８以降、オペレーションモードで動作する。時刻Ｔ８から時刻Ｔ９にかけて、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０から出力させる流体の圧力Ｐを、大気圧ＰＡから第１圧力Ｐ１へ、時間に応じて定められた増加率にしたがって緩やかに増加させる。このようにして、いわゆるソフトスタート機能が実現される。ソフトスタート機能は、圧力調整弁５０から出力させる流体の圧力Ｐが大気圧ＰＡから第１圧力Ｐ１へ急激に上昇することを防止する。この制御処理が行われる工程を、第２圧力調整弁制御工程と呼ぶ。

　時刻Ｔ８において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、圧力調整弁５０から出力された流体を外部装置４２に供給させる。この制御処理が行われる工程を、第２遮断弁制御工程と呼ぶ。時刻Ｔ８から時刻Ｔ９にかけて、流体の流量Ｆおよび圧力Ｐが徐々に増加する。時刻Ｔ９以降、第１流量Ｆ１の流体が、第１圧力Ｐ１で外部装置４２へ供給される。

　図５は、オペレーションモードがスタンバイモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。本処理手順が開始されるとき、バルブモジュール２０はオペレーションモードで動作している。オペレーションモードでは、第１流量Ｆ１の流体が、第１圧力Ｐ１で外部装置４２へ供給される。

　本処理手順が開始されると、ステップＳ１０において、流量取得部７８は、流量計測器５２が計測した流量Ｆを流量計測器５２から取得する。ステップＳ１０の処理が行われる工程を、流量取得工程と呼ぶ。

　ステップＳ１２において、流量判定部７４は、流量取得部７８が取得した流量Ｆが閾値ＦＴ以下であるか否かを、判定する。ステップＳ１２でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ１４へ進む。ステップＳ１２でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ１０へ戻る。

　ステップＳ１４において、流量判定部７４は、計時部７２が計測した第１所定時間ＴＭ１以上継続的に、流量Ｆが閾値ＦＴ以下であるか否かを判定する。ステップＳ１４でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ１６へ進む。ステップＳ１４でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ１０へ戻る。ステップＳ１２およびＳ１４の処理が行われる工程は、上述した流量判定工程に対応する。

　ステップＳ１６において、圧力調整弁制御部７６は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ１を取得したか否かを判定する。指示Ｃ１は、オペレータからスタンバイモードが許可されたことを表す。ステップＳ１６でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ１８へ進む。ステップＳ１６でＮＯとなるのは、スタンバイモードへの移行が禁止されている場合である。この場合、オペレータからスタンバイモードへの移行許可がされていないか、またはオペレータによりスタンバイモードへの移行許可が取り消されている。ステップＳ１６でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ１０へ戻る。

　ステップＳ１８において、圧力調整弁制御部７６は、流体が圧力調整弁５０から第２圧力Ｐ２で出力されるように圧力調整弁５０を制御する。ステップＳ１８の処理が行われる工程は、上述した第１圧力調整弁制御工程に対応する。ステップＳ１８の処理が完了すると、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はスタンバイモードで動作する。

　図６は、スタンバイモードがオペレーションモードまたはアイソレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。本処理手順が開始されるとき、バルブモジュール２０はスタンバイモードで動作している。スタンバイモードでは、第２流量Ｆ２の流体が、第２圧力Ｐ２で外部装置４２へ供給される。本処理手順が開始されると、ステップＳ３０において、計時部７２は第２所定時間ＴＭ２の計測を開始する。

　ステップＳ３２において、圧力調整弁制御部７６は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ３を取得したか否かを判定する。指示Ｃ３は、スタンバイモードへの移行が禁止されたことを表す。スタンバイモードで指示Ｃ３が取得された場合、指示Ｃ３は、図５のステップＳ１６におけるオペレータからスタンバイモードへの移行許可が取り消されたことに対応する。ステップＳ３２でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ３４へ進む。ステップＳ３２でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ４０へ進む。

　ステップＳ３２でＹＥＳとなった場合、ステップＳ３４において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０から出力させる流体の圧力Ｐを、第２圧力Ｐ２から第１圧力Ｐ１へ、時間に応じて定められた増加率にしたがって増加させる。

　ステップＳ３６において、圧力調整弁制御部７６は、流体が圧力調整弁５０から第１圧力Ｐ１で出力されるように圧力調整弁５０を制御する。ステップＳ３６の処理が完了すると、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はオペレーションモードで動作する。

　ステップＳ３２でＮＯとなった場合、ステップＳ４０において、計時部７２は、第２所定時間ＴＭ２が経過したか否かを判定する。ステップＳ４０でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ４２へ進む。ステップＳ４０でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ３２へ戻る。

　ステップＳ４２において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０を閉じる。

　ステップＳ４４において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、遮断弁５４の主弁を閉じる。これにより、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が遮断される。ステップＳ４４の処理が行われる工程は、上述した第１遮断弁制御工程に対応する。バルブモジュール２０の流出口は、大気に開放されるため、大気圧ＰＡに等しい圧力になっている。ステップＳ４４の処理が完了すると、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はアイソレーションモードで動作する。

　図７は、アイソレーションモードがオペレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。本処理手順が開始されるとき、バルブモジュール２０はアイソレーションモードで動作している。アイソレーションモードでは、圧力調整弁５０から出力された流体の外部装置４２への供給が遮断されている。バルブモジュール２０の流出口の圧力は大気圧ＰＡに等しい。

　本処理手順が開始されると、ステップＳ６０において、遮断弁制御部８０は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ２を取得したか否かを判定する。指示Ｃ２は、オペレータからオペレーションモードへの復帰が指示されたことを表す。ステップＳ６０でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ６２へ進む。ステップＳ６０でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ６０を繰り返す。

　ステップＳ６２において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して遮断弁５４を開く。この後の処理で圧力調整弁５０が開くと、圧力調整弁５０から出力された流体が外部装置４２に供給される。ステップＳ６２の処理が行われる工程は、上述した第２遮断弁制御工程に対応する。

　ステップＳ６４において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０から出力させる流体の圧力Ｐを、大気圧ＰＡから第１圧力Ｐ１へ、時間に応じて定められた増加率にしたがって増加させる。ステップＳ６６において、圧力調整弁制御部７６は、流体が圧力調整弁５０から第１圧力Ｐ１で出力されるように圧力調整弁５０を制御する。ステップＳ６４およびＳ６６の処理が行われる工程は、上述した第２圧力調整弁制御工程に対応する。ステップＳ６６の処理が完了すると、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はオペレーションモードで動作する。

［変形例］
　上記実施の形態は、以下のように変形されることとしてもよい。

（変形例１）
　上記実施の形態において、バルブモジュール２０の圧力調整弁５０は、電気信号に応じて流体の圧力を調整する比例制御弁である。変形例１による流体制御装置１０が制御するバルブモジュール２０Ａは、オンおよびオフに対応する電気信号に応じて２種類の圧力で流体を出力する圧力調整弁５０Ａと、流量計測器５２と、絞り弁１００と、切替弁１０２と、遮断弁５４とを有する。

　図８は、オペレーションモードにおけるバルブモジュール２０Ａの回路図である。絞り弁１００と切替弁１０２とが、圧力調整弁５０Ａと遮断弁５４との間に配置される。圧力調整弁５０Ａは、主弁５０ｍおよび主弁５０ｍの開度を調整するパイロット弁５０ｐを含む。流体供給源４０から第１圧力Ｐ１で供給された流体は、圧力調整弁５０Ａの入口ポートに流入する。

　本変形例において、流体制御装置１０の圧力調整弁制御部７６から圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐに出力される電気信号がオフの場合、圧力調整弁５０Ａは、流体供給源４０から供給された流体の第１圧力Ｐ１を略維持して、流体を出力する。圧力調整弁制御部７６から圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐに出力される電気信号がオンの場合、圧力調整弁５０Ａは、流体供給源４０から供給された流体の第１圧力Ｐ１を第２圧力Ｐ２に調整して、流体を出力する。

　図８に示すように、バルブモジュール２０Ａがオペレーションモードで動作する場合、圧力調整弁制御部７６から圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐに出力される電気信号はオフである。圧力調整弁５０Ａは、第１圧力Ｐ１で流体を出力する。遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、遮断弁５４の主弁を開く。

　圧力調整弁５０Ａから出力された流体の第１圧力Ｐ１が、切替弁１０２の第１受圧面１０２ａを押圧する。その第１圧力Ｐ１の第１受圧面１０２ａに対する第１押圧力Ｓ１が、切替弁１０２の位置を押し下げる向きに作用する。遮断弁５４の出口ポートから外部装置４２へ流出する流体の第１圧力Ｐ１が、切替弁１０２の第２受圧面１０２ｂを押圧する。その第１圧力Ｐ１の第２受圧面１０２ｂに対する第２押圧力Ｓ２が、切替弁１０２の位置を押し上げる向きに作用する。

　切替弁１０２の第１受圧面１０２ａの面積は、第２受圧面１０２ｂの面積よりも小さい。その場合、第１受圧面１０２ａにかかる第１押圧力Ｓ１は、第２受圧面１０２ｂにかかる第２押圧力Ｓ２よりも小さい。したがって、図８に示すように、切替弁１０２の位置は押し上げられている。切替弁１０２は、圧力調整弁５０Ａから出力された流体を、絞り弁１００を介さずに遮断弁５４へ流通させる。こうして、オペレーションモードでは、圧力調整弁５０Ａから出力された第１圧力Ｐ１の流体が外部装置４２へ供給される。

　図９は、スタンバイモードにおけるバルブモジュール２０Ａの回路図である。バルブモジュール２０Ａがスタンバイモードで動作する場合、圧力調整弁制御部７６から圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐに出力される電気信号はオンである。圧力調整弁５０Ａは、第２圧力Ｐ２で流体を出力する。遮断弁５４の主弁は開いたままである。

　第２圧力Ｐ２の第１受圧面１０２ａに対する第３押圧力Ｓ３は、第２圧力Ｐ２の第２受圧面１０２ｂに対する第４押圧力Ｓ４よりも小さい。その場合、図９に示すように、切替弁１０２の位置は押し上げられている。切替弁１０２は、圧力調整弁５０Ａから出力された流体を、絞り弁１００を介さずに遮断弁５４へ流通させる。こうして、スタンバイモードでは、圧力調整弁５０Ａから出力された第２圧力Ｐ２の流体が外部装置４２へ供給される。

　図１０は、アイソレーションモードにおけるバルブモジュール２０Ａの回路図である。バルブモジュール２０Ａがアイソレーションモードで動作する場合、圧力調整弁制御部７６から圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐに出力される電気信号はオフである。圧力調整弁５０Ａは、第１圧力Ｐ１で流体を出力する。なお、圧力調整弁５０Ａは、第２圧力Ｐ２で流体を出力してもよい。遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、遮断弁５４の主弁を閉じる。遮断弁制御部８０は、遮断弁５４の出口ポートを大気に開放させる。

　遮断弁５４の出口ポートの圧力は大気圧ＰＡに等しくなる。第２圧力Ｐ２の第１受圧面１０２ａに対する第５押圧力Ｓ５は、大気圧ＰＡの第２受圧面１０２ｂに対する第６押圧力Ｓ６よりも大きい。その場合、図１０に示すように、切替弁１０２の位置が押し下げられる。

　アイソレーションモードがオペレーションモードに切り替えられると、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して、遮断弁５４の主弁を開く。圧力調整弁５０Ａは、第１圧力Ｐ１で流体を出力する。切替弁１０２は、圧力調整弁５０Ａから出力された流体を、絞り弁１００を介して遮断弁５４へ流通させる。遮断弁５４の出口ポートの圧力は、徐々に上昇する。

　これに伴い、遮断弁５４の出口ポートの圧力の第２受圧面１０２ｂに対する押圧力が、第１圧力Ｐ１の第１受圧面１０２ａに対する第１押圧力Ｓ１より大きくなると、切替弁１０２の位置は押し上げられる。その場合、図８に示すように、切替弁１０２は、圧力調整弁５０Ａから出力された流体を、絞り弁１００を介さずに遮断弁５４へ流通させる。このようにして、いわゆるソフトスタート機能が実現される。切替弁１０２は、遮断弁５４から外部装置４２へ流出する流体の圧力に応じて、圧力調整弁５０Ａから出力された流体を、絞り弁１００を介して遮断弁５４へ流通させるか、或いは絞り弁１００を介さずに遮断弁５４へ流通させる。

　本変形例において、オペレーションモードがスタンバイモードへ切り替わる場合に、流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートは、図５に一致する。そのため、その処理手順の説明を省略する。

　図１１は、スタンバイモードがオペレーションモードまたはアイソレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。

　図１１に示す本処理手順のステップに付与された符号は、図６に示した処理手順のステップに付与された符号の一部に一致する。符号が一致するステップでは、同一の処理が実行されるため、図１１に示す各ステップの処理の説明を省略する。図１１に示すフローチャートは、図６に示すステップＳ３４およびＳ４２を含まない。したがって、ステップＳ３２の処理が完了すると、ステップＳ３６の処理が行われる。ステップＳ４０でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ４４へ進む。

　図１２は、アイソレーションモードがオペレーションモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を示すフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。

　図１２に示す本処理手順のステップに付与された符号は、図７に示した処理手順のステップに付与された符号の一部に一致する。符号が一致するステップでは、同一の処理が実行されるため、図１２に示す各ステップの処理の説明を省略する。図１２に示すフローチャートは、図７に示すステップＳ６４を含まない。したがって、ステップＳ６２の処理が完了すると、ステップＳ６６の処理が行われる。

（変形例２）
　上記実施の形態において、スタンバイモード中に第２所定時間ＴＭ２が経過すると、スタンバイモードがアイソレーションモードに切り替えられる。変形例２による流体制御装置１０においては、オペレータからアイソレーションモードへの移行が禁止された場合、スタンバイモード中に第２所定時間ＴＭ２が経過しても、スタンバイモードが維持される。

　図１３は、アイソレーションモードへの移行禁止の指示Ｃ４が有った場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。図１３に示す本処理手順のステップに付与された符号の一部は、図６に示した処理手順のステップに付与された符号に一致する。符号が一致するステップでは、同一の処理が実行されるため、それらのステップの処理の説明を省略する。

　図１３には、図６と異なり、ステップＳ８０の処理が追加されている。ステップＳ４０でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ８０へ進む。ステップＳ８０において、圧力調整弁制御部７６は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ４を取得したか否かを判定する。指示Ｃ４は、アイソレーションモードへの移行が禁止されたことを表す。

　ステップＳ８０でＹＥＳとなった場合、本処理手順は終了する。したがって、スタンバイモード中に第２所定時間ＴＭ２が経過しても、スタンバイモードが維持される。ステップＳ８０でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ４２へ進む。

（変形例３）
　変形例３による流体制御装置１０においては、オペレータからスタンバイモードへの復帰が指示された場合、アイソレーションモードがスタンバイモードに切り替えられる。

　図１４は、アイソレーションモードがスタンバイモードへ切り替わる場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。図１４に示す本処理手順のステップに付与された符号の一部は、図７に示した処理手順のステップに付与された符号に一致する。符号が一致するステップでは、同一の処理が実行されるため、それらのステップの処理の説明を省略する。

　図１４には、図７と異なり、ステップＳ９０、Ｓ９２、Ｓ９４およびＳ９６の処理が追加されている。ステップＳ６０でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ９０へ進む。ステップＳ９０において、遮断弁制御部８０は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ５を取得したか否かを判定する。指示Ｃ５は、オペレータからスタンバイモードへの復帰が指示されたことを表す。ステップＳ９０でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ９２へ進む。ステップＳ９０でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ６０へ戻る。

　ステップＳ９２において、遮断弁制御部８０は、遮断弁５４を制御して遮断弁５４を開く。この後の処理で圧力調整弁５０が開くと、圧力調整弁５０から出力された流体が外部装置４２に供給される。

　ステップＳ９４において、圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０を制御して、圧力調整弁５０から出力させる流体の圧力Ｐを、大気圧ＰＡから第２圧力Ｐ２へ、時間に応じて定められた増加率にしたがって増加させる。ステップＳ９６において、圧力調整弁制御部７６は、流体が圧力調整弁５０から第２圧力Ｐ２で出力されるように圧力調整弁５０を制御する。ステップＳ９６の処理が完了すると、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はスタンバイモードで動作する。

（変形例４）
　上記実施の形態において、オペレーションモード中に取得された流量Ｆが、第１所定時間ＴＭ１以上継続的に閾値ＦＴ以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、オペレーションモードがスタンバイモードに切り替えられる。変形例４による流体制御装置１０においては、オペレータから予めスタンバイモードへの移行が禁止されていた場合、オペレーションモードが維持される。

　図１５は、スタンバイモードへの移行禁止の指示Ｃ３が有った場合に流体制御装置１０が行う流体制御処理の処理手順を説明するためのフローチャートである。本処理手順は、流体制御装置１０が有する処理回路６０が、記憶装置６２に保存されたプログラムを実行することにより行われる。図１５に示す本処理手順のステップに付与された符号の一部は、図５に示した処理手順のステップに付与された符号に一致する。符号が一致するステップでは、同一の処理が実行されるため、それらのステップの処理の説明を省略する。

　図１５には、図５と異なり、ステップＳ１００の処理が追加されている。ステップＳ１６でＹＥＳとなった場合、本処理手順はステップＳ１００へ進む。ステップＳ１００において、圧力調整弁制御部７６は、インタフェース部７０がオペレータの指示Ｃ３を取得したか否かを判定する。指示Ｃ３は、スタンバイモードへの移行が禁止されたことを表す。

　オペレーションモードで指示Ｃ３が予め取得されていた場合、ステップＳ１００でＹＥＳとなる。ステップＳ１００でＹＥＳとなった場合、本処理手順は終了する。バルブモジュール２０はオペレーションモードで動作する。ステップＳ１００でＮＯとなった場合、本処理手順はステップＳ１８へ進む。

（変形例５）
　上記実施の形態において、圧力調整弁５０は、電気信号に応じて流体の圧力を調整する比例制御弁である。圧力調整弁制御部７６が出力した電気信号に応じて、圧力調整弁５０のパイロット弁が作動する。こうした、圧力調整弁５０のパイロット弁を作動させる圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０のハウジングと一体に実装されてもよい。すなわち、圧力調整弁制御部７６と圧力調整弁５０とは、一体のモジュールＭＲであってもよい。

　同様に、遮断弁制御部８０と遮断弁５４とは、一体のモジュールＭＳであってもよい。インタフェース部７０、計時部７２、流量判定部７４、および流量取得部７８と、流量計測器５２とは、一体のモジュールＭＭであってもよい。モジュールＭＲ、ＭＳおよびＭＭの各々は、交換可能である。

　例えば、現在使用中の古いモジュールＭＲを、新しいモジュールＭＲに交換することができる。現在使用中の古いモジュールＭＳを、新しいモジュールＭＳに交換することができる。現在使用中の古いモジュールＭＭを、新しいモジュールＭＭに交換することができる。

　上記変形例１において、圧力調整弁５０Ａは、オンおよびオフに対応する電気信号に応じて、圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐが作動する。こうした、圧力調整弁５０Ａのパイロット弁５０ｐを作動させる圧力調整弁制御部７６は、圧力調整弁５０Ａの主弁５０ｍおよびパイロット弁５０ｐのハウジングと一体に実装されてもよい。すなわち、圧力調整弁制御部７６と圧力調整弁５０Ａとは、一体のモジュールＭＰであってもよい。

　同様に、遮断弁制御部８０と、遮断弁５４と、絞り弁１００と、切替弁１０２とは、一体のモジュールＭＧであってもよい。インタフェース部７０、計時部７２、流量判定部７４、および流量取得部７８と、流量計測器５２とは、一体のモジュールＭＭであってもよい。モジュールＭＰ、ＭＧおよびＭＭの各々は、交換可能である。

　例えば、現在使用中の古いモジュールＭＰを、新しいモジュールＭＰに交換することができる。現在使用中の古いモジュールＭＧを、新しいモジュールＭＧに交換することができる。現在使用中の古いモジュールＭＭを、新しいモジュールＭＭに交換することができる。

（変形例６）
　流量計測器５２は、バルブモジュール２０を通る流体の流量Ｆに加え、その流体の温度および圧力を計測してもよい。流量取得部７８は、流量計測器５２が計測した流量Ｆと温度と圧力とを、流量計測器５２から取得する。流量取得部７８は、流量計測器５２から取得した流量Ｆを用いた演算により、積算流量を取得できる。

　インタフェース部７０は、流体の流量Ｆ、積算流量、温度および圧力に関する情報、ならびにその他の情報を、オペレータ端末９０に通知する。インタフェース部７０からオペレータに通知されるその他の情報は、バルブモジュール２０の稼働状態の情報と、流体圧力供給装置３０のボディサイズの情報とを含む。

　オペレータ端末９０の処理回路は、オペレータ端末９０の記憶装置に保存されたプログラムを実行することにより、流体制御装置１０から通知された情報を、オペレータ端末９０の表示装置に出力する。オペレータ端末９０の処理回路は、オペレータ端末９０の記憶装置に保存されたプログラムを実行することにより、流体制御装置１０から通知された情報に適合するボディサイズの新たな流体圧力供給装置３０の提案画面を、オペレータ端末９０の表示装置に出力する。

［実施の形態から得られる発明］
　上記実施の形態および変形例から把握しうる発明について、以下に記載する。

（１）流体供給源（４０）から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁（５０）と、前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置（４２）への供給を遮断することが可能な遮断弁（５４）と、を備えるバルブモジュール（２０）を制御する流体制御装置（１０）は、前記バルブモジュールを通る前記流体の流量（Ｆ）を流量計測器（５２）から取得する流量取得部（７８）と、取得された前記流量が、第１所定時間（ＴＭ１）以上継続的に閾値（ＦＴ）以下であるか否かを判定する流量判定部（７４）と、第１圧力（Ｐ１）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力（Ｐ２）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える圧力調整弁制御部（７６）と、前記スタンバイモード中に第２所定時間（ＴＭ２）が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える遮断弁制御部（８０）と、を備える。これにより、流体制御装置は、通常よりも低い圧力で外部装置へ流体を供給できるとともに、外部装置への流体供給を停止することもできる。流体供給が自動的に停止するため、外部装置の運転が長時間停止される場合、流体を節減できる。

（２）前記圧力調整弁から出力された前記流体は、前記バルブモジュールの流出口から流出して前記外部装置へ供給され、前記遮断弁制御部は、前記遮断弁を制御して、前記流体の前記外部装置への前記供給を遮断させるとともに、前記バルブモジュールの前記流出口を大気に開放させてもよい。これにより、バルブモジュールの流出口の圧力を速やかに低下させることができる。

（３）前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記オペレーションモードへの復帰が指示された場合、前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して前記第１圧力の前記流体を前記圧力調整弁から出力させ、前記遮断弁制御部は、前記遮断弁を制御して、前記圧力調整弁から出力された前記流体を前記外部装置に供給させてもよい。これにより、適切なタイミングでアイソレーションモードをオペレーションモードに切り替えることができる。

（４）前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記スタンバイモードへの復帰が指示された場合、前記遮断弁制御部は前記遮断弁を制御して、前記流体の前記遮断を解除させてもよい。これにより、適切なタイミングで外部装置への第１圧力での流体供給を再開することができる。

（５）前記オペレータから前記アイソレーションモードへの移行が禁止された場合、前記スタンバイモード中に前記第２所定時間が経過しても、前記遮断弁制御部は、前記スタンバイモードを前記アイソレーションモードに切り替えなくてもよい。これにより、外部装置の運転が長時間停止された場合でも、オペレーションモードへの復帰時間を短縮することができる。

（６）前記スタンバイモードにおいて、前記オペレータから前記スタンバイモードが禁止された場合、前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して、前記流体を前記圧力調整弁から前記第１圧力で出力させて、前記スタンバイモードを前記オペレーションモードに切り替えてもよい。これにより、外部装置への第１圧力での流体供給を速やかに再開することができる。

（７）前記オペレータから前記スタンバイモードへの移行が禁止された場合、前記オペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定されても、前記圧力調整弁制御部は、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替えなくてもよい。これにより、外部装置への第１圧力での流体供給を維持することができる。

（８）前記圧力調整弁は電気信号に応じて前記流体の前記圧力を調整する比例制御弁であり、前記アイソレーションモードにおいて、前記圧力調整弁制御部は前記圧力調整弁を制御して前記圧力調整弁を閉じてもよい。これにより、バルブモジュールを構成する部品の劣化を防止できる。

（９）前記圧力調整弁は電気信号に応じて前記流体の前記圧力を調整する比例制御弁であり、前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して、前記圧力調整弁により調整される前記流体の前記圧力を、時間に応じて定められた増加率にしたがって増加させてもよい。これにより、ソフトスタートアップ機能を実現できる。流体が供給される外部装置がシリンダを有する場合、急激な圧力変化によるロッドの飛び出しを防止できる。

（１０）前記バルブモジュールが、前記圧力調整弁と前記遮断弁との間に、絞り弁（１００）と切替弁（１０２）とを有し、前記切替弁は、前記遮断弁から前記外部装置へ流出する前記流体の前記圧力に応じて、前記圧力調整弁から出力された前記流体を、前記絞り弁を介して前記遮断弁へ流通させるか、或いは前記絞り弁を介さずに前記遮断弁へ流通させてもよい。これにより、ソフトスタートアップ機能を実現できる。流体が供給される外部装置がシリンダを有する場合、急激な圧力変化によるロッドの飛び出しを防止できる。

（１１）流体圧力供給装置（３０）は、前記流体制御装置と、前記バルブモジュールと、を備える。これにより、長時間停止する外部装置への流体供給を自動的に停止する流体圧力供給装置を提供することができる。

（１２）流体供給源（４０）から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁（５０）と、前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置（４２）への供給を遮断することが可能な遮断弁（５４）と、を備えるバルブモジュール（２０）を制御する流体制御方法は、前記バルブモジュールを通る前記流体の流量（Ｆ）を流量計測器（５２）から取得する流量取得工程と、取得された前記流量が、第１所定時間（ＴＭ１）以上継続的に閾値（ＦＴ）以下であるか否かを判定する流量判定工程と、第１圧力（Ｐ１）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力（Ｐ２）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える第１圧力調整弁制御工程と、前記スタンバイモード中に第２所定時間（ＴＭ２）が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える第１遮断弁制御工程と、を備える。これにより、通常よりも低い圧力で外部装置へ流体を供給することが可能になるとともに、外部装置への流体供給を停止することも可能になる。流体供給が自動的に停止するため、外部装置の運転が長時間停止される場合、流体を節減できる。

（１３）前記流体制御方法は、前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記オペレーションモードへの復帰が指示された場合、前記流体が前記圧力調整弁から前記第１圧力で出力されるように前記圧力調整弁を制御する第２圧力調整弁制御工程と、前記第２圧力調整弁制御工程が行われるとき、前記圧力調整弁から出力された前記流体が前記外部装置に供給されるように前記遮断弁を制御する第２遮断弁制御工程と、をさらに備えてもよい。これにより、適切なタイミングでアイソレーションモードをオペレーションモードに切り替えることができる。

　なお、本発明は、上述した開示に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得る。

１０…流体制御装置　　　　　　　　　　　２０…バルブモジュール
３０…流体圧力供給装置　　　　　　　　　４０…流体供給源
４２…外部装置　　　　　　　　　　　　　５０…圧力調整弁
５２…流量計測器　　　　　　　　　　　　５４…遮断弁
６０…処理回路　　　　　　　　　　　　　６２…記憶装置
７０…インタフェース部　　　　　　　　　７２…計時部
７４…流量判定部　　　　　　　　　　　　７６…圧力調整弁制御部
７８…流量取得部　　　　　　　　　　　　８０…遮断弁制御部
９０…オペレータ端末　　　　　　　　　　１００…絞り弁
１０２…切替弁

Claims

　流体供給源（４０）から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁（５０）と、
　前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置（４２）への供給を遮断することが可能な遮断弁（５４）と、
　を備えるバルブモジュール（２０）を制御する流体制御装置（１０）であって、
　前記バルブモジュールを通る前記流体の流量（Ｆ）を流量計測器（５２）から取得する流量取得部（７８）と、
　取得された前記流量が、第１所定時間（ＴＭ１）以上継続的に閾値（ＦＴ）以下であるか否かを判定する流量判定部（７４）と、
　第１圧力（Ｐ１）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力（Ｐ２）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える圧力調整弁制御部（７６）と、
　前記スタンバイモード中に第２所定時間（ＴＭ２）が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える遮断弁制御部（８０）と、
　を備える、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記圧力調整弁から出力された前記流体は、前記バルブモジュールの流出口から流出して前記外部装置へ供給され、
　前記遮断弁制御部は、前記遮断弁を制御して、前記流体の前記外部装置への前記供給を遮断させるとともに、前記バルブモジュールの前記流出口を大気に開放させる、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記オペレーションモードへの復帰が指示された場合、前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して前記第１圧力の前記流体を前記圧力調整弁から出力させ、前記遮断弁制御部は、前記遮断弁を制御して、前記圧力調整弁から出力された前記流体を前記外部装置に供給させる、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記スタンバイモードへの復帰が指示された場合、前記遮断弁制御部は前記遮断弁を制御して、前記流体の前記遮断を解除させる、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記オペレータから前記アイソレーションモードへの移行が禁止された場合、前記スタンバイモード中に前記第２所定時間が経過しても、前記遮断弁制御部は、前記スタンバイモードを前記アイソレーションモードに切り替えない、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記スタンバイモードにおいて、前記オペレータから前記スタンバイモードが禁止された場合、前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して、前記流体を前記圧力調整弁から前記第１圧力で出力させて、前記スタンバイモードを前記オペレーションモードに切り替える、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記オペレータから前記スタンバイモードへの移行が禁止された場合、前記オペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定されても、前記圧力調整弁制御部は、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替えない、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記圧力調整弁は電気信号に応じて前記流体の前記圧力を調整する比例制御弁であり、
　前記アイソレーションモードにおいて、前記圧力調整弁制御部は前記圧力調整弁を制御して前記圧力調整弁を閉じる、流体制御装置。
　請求項１に記載の流体制御装置であって、
　前記圧力調整弁は電気信号に応じて前記流体の前記圧力を調整する比例制御弁であり、
　前記圧力調整弁制御部は、前記圧力調整弁を制御して、前記圧力調整弁により調整される前記流体の前記圧力を、時間に応じて定められた増加率にしたがって増加させる、流体制御装置。
　請求項３に記載の流体制御装置であって、
　前記バルブモジュールが、前記圧力調整弁と前記遮断弁との間に、絞り弁（１００）と切替弁（１０２）とを有し、
　前記切替弁は、前記遮断弁から前記外部装置へ流出する前記流体の前記圧力に応じて、前記圧力調整弁から出力された前記流体を、前記絞り弁を介して前記遮断弁へ流通させるか、或いは前記絞り弁を介さずに前記遮断弁へ流通させる、流体制御装置。
　請求項１～１０のいずれか１項に記載の流体制御装置と、
　前記バルブモジュールと、
　を備える、流体圧力供給装置（３０）。
　流体供給源（４０）から供給された流体の圧力を調整可能な圧力調整弁（５０）と、
　前記圧力調整弁から出力された前記流体の外部装置（４２）への供給を遮断することが可能な遮断弁（５４）と、
　を備えるバルブモジュール（２０）を制御する流体制御方法であって、
　前記バルブモジュールを通る前記流体の流量（Ｆ）を流量計測器（５２）から取得する流量取得工程と、
　取得された前記流量が、第１所定時間（ＴＭ１）以上継続的に閾値（ＦＴ）以下であるか否かを判定する流量判定工程と、
　第１圧力（Ｐ１）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるオペレーションモード中に取得された前記流量が、前記第１所定時間以上継続的に前記閾値以下であると判定され、且つオペレータからスタンバイモードが許可された場合、前記第１圧力より低い第２圧力（Ｐ２）で前記流体が前記圧力調整弁から出力されるように前記圧力調整弁を制御して、前記オペレーションモードを前記スタンバイモードに切り替える第１圧力調整弁制御工程と、
　前記スタンバイモード中に第２所定時間（ＴＭ２）が経過した場合は、前記圧力調整弁から出力された前記流体の前記外部装置への前記供給が遮断されるように前記遮断弁を制御して、前記スタンバイモードをアイソレーションモードに切り替える第１遮断弁制御工程と、
　を備える、流体制御方法。
　請求項１２に記載の流体制御方法であって、
　前記アイソレーションモードにおいて、前記オペレータから前記オペレーションモードへの復帰が指示された場合、前記流体が前記圧力調整弁から前記第１圧力で出力されるように前記圧力調整弁を制御する第２圧力調整弁制御工程と、
　前記第２圧力調整弁制御工程が行われるとき、前記圧力調整弁から出力された前記流体が前記外部装置に供給されるように前記遮断弁を制御する第２遮断弁制御工程と、
　をさらに備える、流体制御方法。