WO2023243413A1

WO2023243413A1 - 振動アクチュエータ

Info

Publication number: WO2023243413A1
Application number: PCT/JP2023/020450
Authority: WO
Inventors: 憲山上; 起史笹沼
Original assignee: フォスター電機株式会社
Priority date: 2022-06-16
Filing date: 2023-06-01
Publication date: 2023-12-21
Also published as: JP2023183814A

Abstract

適正な内部損失を有するサスペンションの製造が可能となり、低コストで、振動特性に優れた振動アクチュエータを提供する。ケース２と、ケース２に設けられたコイル３と、ケース２の振動軸線Ｏに沿って振動する可動子４とから成る。外周部５１がケース２に固定され、内周部５２が可動子４に固定され、可動子４を振動軸線O方向に往復動可能に支持するサスペンション５を備え、サスペンション５は、可動子４の径方向に変形領域３４を有し、変形領域３４には、可動子４の振動軸線Oを中心とした円形状の凸部５３ａ及び凹部５３ｂの少なくとも一方が設けられている。

Description

振動アクチュエータ

　本開示は、振動アクチュエータに関し、特に、携帯電話やスマートフォン等の携帯端末、ゲーム機のコントローラ等に用いられる小型で軽量の振動アクチュエータに関する。

　従来から、携帯電話等の通信機器において、着信やアラームを人に知らせる方法として振動アクチュエータ（又は、振動モータ）を用いた振動による通知方法がある。そして、近年では、映画やゲーム、ＶＲ（ＶｉｒｔｕａｌＲｅａｌｉｔｙ：仮想現実）の分野においても、例えば、アクションシーンの演出効果や、プレーヤーに対するフィードバック手段の一つとして振動アクチュエータが用いられており、振動により人の触覚を刺激することによってリアリティを向上させている。

　振動アクチュエータには、偏心錘をモータによって回転させて慣性力により振動を発生させる方法を用いるものもある。しかし、回転モータを利用した方法は、偏心錘の慣性力により振動を発生させるため、偏心錘が回転を始め振動が触感として得られるまでの反応が鈍く、リアリティが損なわれるという欠点があった。

　そこで、よりリアルな触感を得るためのアクチュエータとして、例えば、特許文献１に示すように、ボイスコイル型の振動アクチュエータを採用する場合がある。かかる振動アクチュエータでは、筒状のケース内にマグネットを有する可動子をサスペンションを用いた状態で配置すると共に、可動子の周囲にはケースに固定されたコイルを配置し、そのコイルに通電することにより可動子をケース内で往復動させている。

特許第６９２３２７８号公報

　特許文献１では、可動子を懸架するためのサスペンションとして、ステンレス鋼板を用いて板金加工により形成された渦巻き形状の板ばねが複数用いられている。しかし、ステンレス鋼板はその物性から内部損失が低く、アクチュエータの共振周波数で振幅の制御が困難であり、小型化に支障がある。特に、ステンレス鋼板製の板ばねは、その板厚が各部で均一であることから、板厚方向に対する変形は可能であっても、板ばねの内周方向から外周方向に対する変形、軸と外周部間のねじれ方向の変形、更には、内周部近傍と外周部近傍とで弾性係数を変化させることが困難であり、振動アクチュエータのサスペンションに要求される種々のばね特性を得られない欠点がある。

　このような問題点を解決するための一つの手法として、ステンレス鋼板の板ばねを用いた上で、サスペンションにおいて発生する振動を減衰させて所望の振動特性を得るための手段として、板ばねとは別に金属製或いは樹脂製の制振部材を設けることも従来から提案されている。しかし、板ばねに制振部材を併用すると、材料費及び加工費が高くなってしまい、コストアップに繋がってしまう。また、板ばねと制振部材との正確な位置合わせや接着作業のため、組立作業が煩雑となる。

　本開示は、前記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本発明の目的は、適正な内部損失を有するサスペンションの製造が可能となり、低コストで、振動特性に優れた振動アクチュエータを提供することにある。

　本開示の振動アクチュエータは、次のような構成を有する。
（１）ケース。
（２）前記ケースに設けられたコイル。
（３）前記ケースの振動軸線に沿って振動する可動子。
（４）外周部が前記ケースに固定され、内周部が前記可動子に固定され、前記可動子を振動軸線方向に往復動可能に支持する少なくとも１つの板状体のサスペンション。
（５）前記サスペンションは、前記可動子の径方向に変形領域を有する。
（６）前記変形領域には、前記可動子の振動軸線を中心とした円形状の凸部及び凹部の少なくとも一方が設けられている。

　本発明の振動アクチュエータは、次のような構成を採用することができる。
（１）前記サスペンションは、繊維を含む材料である。
（２）前記可動子の両端側に、それぞれ不織布構造又は織布構造を有する板状体から成る前記サスペンションが設けられている。
（３）前記可動子の一端側に、不織布構造又は織布構造を有する板状体から成る前記サスペンションが設けられ、前記可動子の他端側に、金属板から成るサスペンションが設けられている。
（４）前記サスペンションと前記可動子は、前記可動子の径方向内側に配置される固定部により固定されている。
（５）前記可動子は、前記サスペンション側に伸長した突起部を備える。
（６）前記サスペンションは、前記内周部において、前記可動子に向けて突出した突出部を有する。
（７）前記サスペンションは、前記外周部の固定位置と前記内周部の固定位置の高さが異なる。
（８）前記サスペンションには、前記板状体を貫通する開口部が設けられている。

　本開示によれば、適正な内部損失を有するサスペンションの製造が可能となり、低コストで、振動特性に優れた振動アクチュエータを提供することができる。

第１実施形態の全体構成を示す振動軸線方向で切断した断面図である。第１実施形態の全体構成を示す分解斜視図である。第１実施形態におけるサスペンションを上方から見た斜視図である。第１実施形態におけるサスペンションを下方から見た斜視図である。第１実施形態におけるサスペンションを上方から見た断面図である。周方向に厚さが異なるサスペンションの断面図である。放射状に厚さが異なるサスペンションの断面図である。部分的に張り合わせて厚さ変化させたサスペンションの分解斜視図である。熱溶融性を有する繊維を使用したサスペンションの断面図である。不織布又は織布に樹脂層を形成したサスペンションの断面図である。サスペンション外周部とケースの固定方法の他の実施形態を示す断面図である。第２実施形態の全体構成を示す振動軸線方向で切断した断面図である。第２実施形態全体の分解斜視図である。第２実施形態における板ばねを使用したサスペンションと制振部材の分解斜視図である。

［１．第１実施形態］
［１－１．構成］
　以下、図１及び図２を用いて第１実施形態の振動アクチュエータ１について説明する。本実施形態の振動アクチュエータ１は、その振動軸線Ｏ方向１／２の箇所において中心軸と直交する対称面（図１の符号Ｓ）を境界として、同一形状の部材を設けている。そこで、対称面を境界として各部材の構成については、対称形の一方の構成のみを説明し、他方については特別に必要がない限りは同一の符号を付すことで説明は省略する。

（１）ケース及びコイル
　振動アクチュエータ１は、主に、外殻をなす筒状のケース２と、ケース２の内部に設けられたコイル３と、ケース２の振動軸線Ｏに沿って振動する可動子４と、内周部が可動子４に固定されるサスペンション５と、サスペンション５をケース２に固定する枠部６を備えている。

　ケース２は、筒状のケース本体１０と、その両端開口を閉じるカバーケース１１を備えている。本実施形態において、ケース本体１０及びカバーケース１１は、それぞれＡＢＳ等の樹脂材料からなるが、樹脂材料に限定されるものでない。ケース２には、コイル３とヨーク２０が挿入される。すなわち、ケース本体１０には、その内周に沿うように形成された筒状の軟磁性材料でなるヨーク２０が配置される。ヨーク２０の内周にヨーク２０と電気的に絶縁された状態で取り付けられたコイル３が設けられる。

　コイル３はケース本体１０内に挿入された保護部材２１の外周側に配置され、可動子４の外周部に対して所定の間隔を保って配置されている。保護部材２１は、振動時における可動子４とコイル３との接触を防止するため、コイル３の可動子４側の表面を覆うように、ケース本体１０の内周に内周壁を有し、保護部材２１の内周壁と可動子４の外周面に隙間が設けられている。

（２）可動子
　可動子４は、筒状のケース２の中心軸方向である振動軸線Ｏに沿って振動するように、ケース本体１０内に配置されている。可動子４は、円板状のマグネット３０と、マグネット３０の表面に配置された円板状のポールピース３１と、ポールピース３１の表面に配置される錘３２とを有している。

　マグネット３０は、その着磁方向が振動軸線Ｏ方向である。ポールピース３１は、軟磁性材料でなり、マグネット３０の磁気吸着力及び接着剤等により、マグネット３０に取り付けられている。ポールピース３１には、中央部に振動軸線Ｏに沿った凸部３１ａが形成されており、対応する錘３２には中央部に振動軸線Ｏに沿った凹部３２ａが形成されている。ポールピース３１の凸部３１ａと錘３２の凹部３２ａが係合することで、ポールピース３１と錘３２が一体化されている。マグネット３０、ポールピース３１、及び錘３２の一体化は、磁気吸着力や接着剤による取り付けに限定されるものではなく、圧入、ねじ止め等の機械的手段やその他の手段により固定することにより、一体化してもよい。

　可動子４は、サスペンション５側に伸長した突起部３２ｂを備える。本実施形態の錘３２は、非磁性体からなり、振動軸線Ｏ方向においてサスペンション５側に伸長した突起部３２ｂと、突起部３２ｂの根元部分（振動軸線Ｏ方向中央側）から振動軸線Ｏの外周方向に広がった円盤状の底部３２ｃを備えている。錘３２に設けられた突起部３２ｂより、サスペンション５と可動子４との同軸度が安定する。そのため、サスペンション５と可動子４の固定がより強固となり、その結果、安定した振動が実現可能となる。

　少なくとも１つの錘３２における突起部３２ｂの中央には、振動軸線Ｏ方向に沿って穴が設けられる。錘３２の中央の穴は、貫通穴でも、一方又は中央部が閉口した穴でも良い。

（３）サスペンション
　サスペンション５は、繊維を含む材料を有する板状体から構成されている。繊維を含む材料とは、天然繊維又は化学繊維による不織布構造又は織布構造を含むものとし、糸状のものから形成されたものも含むものとする。図３から図５に示すように、サスペンション５の外周部５１は平板状に形成されると共に、その外周部５１から中心の内周部５２にかけて同心円状の凹凸部５３が形成されている。

　図１の断面図のとおり、サスペンション５は、外周部５１がケース２に固定され、内周部５２が可動子４に固定され、可動子４を振動軸線O方向に往復動可能に支持する。すなわち、平板状に形成されたサスペンション５の外周部５１は、カバーケース１１の外周部下面と枠部６の上面との間に挟持されている。この場合、サスペンション５の外周部５１は、枠部６に対して超音波溶接により固定される。なお、本実施形態では、ケース２と別体の枠部６を使用したが、ケース本体１０に枠部６に相当する部分を一体に設けたケース２を使用することもできる。外周部５１がケース２に固定される固定位置は、内周部５２が可動子４に固定される固定位置と、振動軸線O方向において、同じ高さに形成することができる。なお、サスペンション５の外周部５１は、挟持されなくてもよく、接着や溶着によって、少なくとも一方に固定されていてもよい。

　サスペンション５の内周部５２の中心には、可動子４に向けて突出した突出部５４が設けられ、この突出部５４が錘３２の貫通穴に重ね合された状態で、後述する固定部３３により固定されている。

　サスペンション５は、可動子４の径方向に変形領域３４を有する。変形領域３４とは、可動子４が振動軸線O方向に振動する際に、サスペンション５が変形する領域とする。変形領域３４は、固定部３３と突起部３２ｂとで挟まれた部分より外径の部分であり、カバーケース１１の外周部下面と枠部６の上面との間に挟持されている部分より内径の部分である。本実施形態では、図１に示すように、変形領域３４には、可動子４の振動軸線O方向を中心とした円形状の少なくとも１個の凹凸部５３が設けられている。なお、凹凸部５３は、必ずしも凹凸の双方を備える形状に限定されず、少なくとも１つの凸部、又は少なくとも１つの凹部であってもよい。サスペンション５に設けられた円形状の凹凸部５３は、図５の断面図に示すように、本実施形態では、平板状の外周部５１表面よりも上方に突出した環状の凸部５３ａと、平板状の外周部５１表面よりも下方に突出した環状の凹部５３ｂとを２重に形成した波形状断面をしている。この凸部５３ａと凹部５３ｂの各面及び両面が連接する屈曲部分が変形することにより、可動子４の振動に伴う外周部５１と内周部５２間の変位を吸収する。

　本実施形態のサスペンション５は、不織布又は織布に対して樹脂を含侵させた板状体から形成されている。不織布又は織布を構成する繊維は、綿、アラミド繊維のいずれか又はその両方の混紡であることが好ましい。不織布又は織布に含侵させる樹脂は、熱硬化性樹脂が良く、特に、フェノール樹脂又はフェノール樹脂とゴムは、耐久性、可撓性、耐熱性に優れているため好ましいが、熱硬化性樹脂はこれに限定されない。織布又は織布構造を有する板状体にこれらの樹脂を含侵させた後、成型金型を用いてプレスにより熱形成し、内外径を切断してサスペンション５を形成する。

（４）固定部
　固定部３３は、サスペンション５と可動子４を固定するものであり、可動子４の径方向内側に配置される。固定部３３は、錘３２の突起部３２ｂに設けられており、振動軸を含む位置に設けられている。固定部３３によって、サスペンション５を、磁気回路を形成する部品とは別部品である錘３２に対して固定している。固定部３３は、錘３２から延在したピンを加締めることで形成してもよいし、サスペンション５における可動子４と反対方向から、固定用のピンを挿入して固定してもよく、その他の方法で固定してもよい。

［１－２．実施形態の作用］
　以上のように構成された振動アクチュエータ１は、コイル３に通電していない状態において、図１に示すように、サスペンション５で支持される可動子４が、振動軸線Ｏ方向の中央に位置している。

　可動子４を振動させる際には、ターミナルを介して、コイル３に、交互に逆極性の磁界を発生する向きに交流を通電させる。すなわち、コイル３の隣り合う部分に同極が発生するようになっている。例えば、極性の場合、可動子４には振動軸線Ｏ方向の一側への推力が発生し、コイル３へ流す電流を反転させれば、可動子４には振動軸線Ｏ方向の他側への推力が発生する。このように、コイル３に交流を通電させれば、可動子４はサスペンション５による付勢力を両側から受けながら、振動軸線Ｏに沿って振動する。

　可動子４に発生する推力は、基本的にはフレミングの左手の法則に基づいて与えられる推力に準じられる。本実施形態では、対称形に配置された２つのコイル３がケース２に固定されているので、マグネット３０等が取り付けられた可動子４に２つのコイル３に発生する力の反力としての推力も発生する。

［１－３．実施形態の効果］
（１）本実施形態における振動アクチュエータ１は、サスペンション５が不織布又は織布構造を有する板状体から構成されている。そのため、適正な内部損失を有するサスペンション５の製造が可能となり、金属製のサスペンションのように制振部材を設ける必要がなく低コストで、振動特性に優れた小型の振動アクチュエータを提供することができる。

（２）本実施形態における板状体は、不織布又は織布に対して樹脂を含侵させて成り、不織布又は織布を構成する繊維が樹脂によって固着されている。そのため、樹脂材料の持つ損失分を利用して可動子４の機械抵抗を得ることが可能となり、最大加速度周波数での振幅を抑えることができる。また、共振峰の尖鋭度を抑え、共振周波数の変化に伴う加速度の変化を抑えることができる。その結果、サスペンション５のずれや損傷を防止し、振動アクチュエータ１の耐久性を向上させることが可能となる。

（３）本実施形態におけるサスペンション５は、凹凸部５３を有するため、サスペンション５の強度を補強しつつ柔軟性を持たせることが可能となる。また、凹凸部５３の形状や範囲を調整することにより、全体の形状剛性が向上して共振が高い周波数に移動し且つ分散するので特定の大きなピークの発生を抑制できる。このように、本実施形態では適正な内部損失を有するサスペンション５を形成することが容易であり、スムーズな振動特性が得られる振動アクチュエータを提供することができる。

（４）本実施形態におけるサスペンション５は、凹凸部５３を有するため、可動子４の振動軸線Ｏ方向に対して回転方向の変形が無く、振幅方向にリニアな反応が可能である。また、凹凸部５３によって、径方向の振動が吸収され、軸方向への振動特性をより向上させることができる。

［２．サスペンションの変形例］
　第１実施形態のサスペンション５は、不織布又は織布に対して樹脂を含侵させた板状体から形成されているが、板状体は樹脂の含浸体に限定されるものではなく、また、その形状も波形状断面に限定されない。以下、板状体の変形例を具体的に述べる。

（１）図６に示すサスペンション５は、波形状断面の凹凸部５３を有するサスペンション５において、径方向に厚さを異ならせたものである。ステンレス鋼の板ばねと異なり、不織布や織布の場合には、その製造時において肉厚を制御することが容易であることから、サスペンション５の肉厚を各部で異ならせることで、所望の振動特性を得ることができる。

（２）図７に示すサスペンション５は、全体を放射状に分割した領域において、その分割領域ごとに厚さを異ならせたもので、図中、ａが厚肉部、ｂが薄肉部である。このサスペンション５においても、サスペンション５の肉厚を各部で異ならせたり、分割数や分割面積を調整したりすることで、所望の振動特性を得ることができる。

（３）図８のサスペンション５は、シート状に形成された平板部５０３の表面に他の材料５０７を部分的に張り合わせて厚さ変化させたものである。大面積のシート状の素材をプレス加工するなどしてサスペンションを形成する場合、素材の一部に肉厚部を形成することが難しい場合がある。このサスペンション５によれば、他の材料５０７を積層するだけでサスペンション５の肉厚を部分的に変化させることができ、製造が容易になると共に、複雑な形状の肉厚部を有するサスペンションを容易に得ることができる。

（４）図９に示すサスペンション５は、その一部もしくは全部に熱溶融性を有する繊維を含む不織布又は織布から成り、不織布又は織布を構成する繊維が、熱溶融性を有する繊維によって固着されている。熱溶融を有する繊維は、耐熱性高弾性率繊維、高融点繊維、低融点繊維のいずれか、もしくはこれらから選択された複数の繊維から構成されている。特に、耐熱性高弾性率繊維はポリアミド繊維から成り、高融点繊維及び低融点繊維がポリエステル繊維から成ると、優れた剛性、弾力特性、耐久性、耐熱性を有するため好ましい。

（５）図１０のサスペンション５は、不織布又は織布に樹脂層５０８を形成したものである。すなわち、板状体は、その表面又は裏面に形成された樹脂層５０８によって繊維が固着されている。樹脂層５０８は、板状体の表面に積層された樹脂フィルム又はコーティングされた樹脂によって構成されている。特に、樹脂層５０８をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）のいずれか１層、もしくは複数層から構成すると、適正な内部損失を有するサスペンションの製造が可能となる。なお、板状体は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＩ（ポリイミド）、ＰＥＩ（ポリエーテルイミド）、熱硬化性エラストマ、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ゴムなどであってもよい。

（６）図１１のサスペンション５は、サスペンション５の外周部５１と波形状断面の凹凸部５３や平板部５０３の境界部分に、断面半円状の弾性部５０９を一体に設けたものである。この変形例では、ケース２側に固定される外周部５１と振動する凹凸部５３や平板部５０３との振動が弾性部５０９によって緩和されることから、サスペンション５の固定部分の破断の恐れがなく、優れた耐用年数を得ることができる。

［３．第２実施形態］
　図１２から図１４は、本発明の第２実施形態を示すものである。すなわち、第１実施形態は、可動子４の両端側に、それぞれ不織布又は織布構造を有する板状体から成るサスペンション５が設けられている。一方、第２実施形態では、可動子４の一端側（図中上方）に、不織布又は織布構造を有する板状体から成るサスペンション５が設けられ、可動子４の他端側（図中下方）に、金属板から成る従来のサスペンション６００が設けられている。また、金属板から成るサスペンション６００に重ね合わせて同じく金属板から成る制振部材６０１が設けられている。

　このような構成を有する第２実施形態においては、可動子４の往側と復側の振動特性を異ならせることが可能となり、特異な振動特性を要する機器に対して本願のアクチュエータの適用が可能となる。特に、金属製のサスペンション６００は、外部衝撃や耐久性の点で優れていることから、内部損失の少ない不織布又は織布から成る板状体のサスペンション５との組み合わせにより、種々の用途に適用可能である。

［４．他の実施形態］
　以上のように、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、発明の範囲を限定することを意図しておらず、以下に列記するように、発明の要旨を逸脱しない範囲で、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態、それらの組合せ、更にはそれらの変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。以下は、本発明に包含される実施形態の例である。

（１）本実施形態のサスペンション５は、ステンレスなどの金属の一枚ないし複数枚の板ばねで構成されても良いし、織布又は織布構造を有する板状体から構成してもよいし、樹脂やゴム等から構成されてもよい。サスペンション５の材料は、耐久性及び可撓性に優れた材料が望ましい。

（２）サスペンション５と錘３２は、両者が固定されるものであれば、どちらに凸部、凹部又は貫通穴を設けるかは問わない。例えば、サスペンション５の中心には、振動軸線に沿って貫通穴を設けられ、錘３２の中心には、サスペンション５の貫通穴に対向して凸形状が設けられ、錘３２とサスペンション５は加締めにより固定されても良い。サスペンション５の表面から突出した錘３２の凸形状が治具によって加熱・加圧されて押し潰されることで、錘３２の表面とサスペンション５が重ね合わされた状態で加締められている。サスペンション５と錘３２との固定手段は加締めに限定されるものではなく、ねじ止めや接着等の他の方法により固定（連結）することもできる。なお、サスペンション５又は錘３２に凸形状を設ける場合、円形に限られず、三角形や四角形などの他の多角形であってもよい。

（３）本実施形態のケース２は円筒状をなしており、可動子４は略円柱状をなしているが、ケース２及び可動子４の形状はこれに限られるものではなく、多角形やその他の形状であってもよい。また、本実施形態のケース２は、両端開口を閉じるカバーケース１１を備えているが、ケース２の形状はこれに限定されず、有底円筒状のケースの開口にカバーを備えるものであっても、カバーを備えないものであっても良い。

（４）本実施形態のコイル３には保護部材２１を設けたが、コイル３に保護部材２１を設けなくても良い。コイル３は、可動子４の外周部に対して所定の間隔を保って配置されるように、ヨーク２０に接着剤等により固定される。本実施形態では、コイル３に保護部材２１を設けないため、より小型の設計が可能になる。

（５）本実施形態のサスペンション５は、外周部５１がケース２に固定され、内周部５２が可動子４に固定されるところ、外周部５１の固定位置と内周部５２の固定位置の高さを異ならせても良い。内周部５２の固定位置の高さを、外周部５１の固定位置より低くすると、可動子４の振動スペースがより広範に形成されるため、装置の小型化を図れる。

（６）本実施形態のサスペンション５には、板状体を貫通する開口部が設けられてもよい。開口部により、サスペンション５の振動特性を制御することができると共に、サスペンション５の振動時において開口部を空気が通過することにより、振動抵抗や、動作音の低減を図ることができる。なお、開口部の形状には限定がなく、前記のような作用効果を発揮するものであれば、単数又は複数のスリット及び又は穴を設けることができる。

（７）上記実施形態では、振動アクチュエータ１は、その振動軸線Ｏ方向１／２の箇所において中心軸と直交する対称面を境界として、対称に配置されたコイル３を有する例を示した。しかし、振動アクチュエータ１は、この態様に限定されず、１つのコイル３を有するタイプのアクチュエータとしてもよい。

１　振動アクチュエータ
２　ケース
３　コイル
４　可動子
５　サスペンション
５１　外周部
５２　内周部
５３　凹凸部
５３ａ　凸部
５３ｂ　凹部
５４　突出部
６　枠部
１０　ケース本体
１１　カバーケース
２０　ヨーク
２１　保護部材
３０　マグネット
３１　ポールピース
３１ａ　凸部
３２　錘
３２ａ　凹部
３２ｂ　突起部
３２ｃ　底部
３３　固定部
３４　変形領域
５０３　平板部
５０７　他の材料
５０８　樹脂層
５０９　弾性部
６００　サスペンション
６０１　制振部材

Claims

　ケースと、
　前記ケースに設けられたコイルと、
　前記ケースの振動軸線に沿って振動する可動子と、
　外周部が前記ケースに固定され、内周部が前記可動子に固定され、前記可動子を振動軸線方向に往復動可能に支持する少なくとも１つの板状体のサスペンションを備え、
　前記サスペンションは、前記可動子の径方向に変形領域を有し、
　前記変形領域には、前記可動子の振動軸線を中心とした円形状の凸部及び凹部の少なくとも一方が設けられている
　振動アクチュエータ。
　前記サスペンションは、繊維を含む材料である請求項１に記載の振動アクチュエータ。
　前記可動子の両端側に、それぞれ不織布構造又は織布構造を有する板状体から成る前記サスペンションが設けられている請求項１に記載の振動アクチュエータ。
　前記可動子の一端側に、不織布構造又は織布構造を有する板状体から成る前記サスペンションが設けられ、前記可動子の他端側に、金属板から成るサスペンションが設けられている請求項１に記載の振動アクチュエータ。
　前記サスペンションと前記可動子は、前記可動子の径方向内側に配置される固定部により固定されている請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。
　前記可動子は、前記サスペンション側に伸長した突起部を備える請求項５に記載の振動アクチュエータ。
　前記サスペンションは、前記内周部において、前記可動子に向けて突出した突出部を有する請求項５に記載の振動アクチュエータ。
　前記サスペンションは、前記外周部の固定位置と前記内周部の固定位置の高さが異なる請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。
　前記サスペンションには、前記板状体を貫通する開口部が設けられている請求項１又は請求項２に記載の振動アクチュエータ。