WO2023240427A1 - 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置 - Google Patents

孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2023240427A1
WO2023240427A1 PCT/CN2022/098558 CN2022098558W WO2023240427A1 WO 2023240427 A1 WO2023240427 A1 WO 2023240427A1 CN 2022098558 W CN2022098558 W CN 2022098558W WO 2023240427 A1 WO2023240427 A1 WO 2023240427A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hole
substrate
layer structure
biochip device
array layer
Prior art date
Application number
PCT/CN2022/098558
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
王琎
郭明钊
翟伟
张悠纳
Original Assignee
成都齐碳科技有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 成都齐碳科技有限公司 filed Critical 成都齐碳科技有限公司
Priority to PCT/CN2022/098558 priority Critical patent/WO2023240427A1/zh
Priority to US18/204,573 priority patent/US20230398544A1/en
Publication of WO2023240427A1 publication Critical patent/WO2023240427A1/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
    • B01L3/5085—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/508—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above
    • B01L3/5085—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates
    • B01L3/50857—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes rigid containers not provided for above for multiple samples, e.g. microtitration plates using arrays or bundles of open capillaries for holding samples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/416—Systems
    • G01N27/447—Systems using electrophoresis
    • G01N27/44756—Apparatus specially adapted therefor
    • G01N27/44791—Microapparatus
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
    • G01N33/483—Physical analysis of biological material
    • G01N33/487—Physical analysis of biological material of liquid biological material
    • G01N33/48707—Physical analysis of biological material of liquid biological material by electrical means
    • G01N33/48721—Investigating individual macromolecules, e.g. by translocation through nanopores
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/12—Specific details about manufacturing devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0819—Microarrays; Biochips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0809—Geometry, shape and general structure rectangular shaped
    • B01L2300/0829—Multi-well plates; Microtitration plates

Definitions

  • a first aspect of the embodiment of the present application provides a hole array layer structure for forming a film-forming space with a substrate.
  • the film-forming space is used to form a film layer.
  • the hole array layer structure includes a substrate.
  • the substrate A plurality of hole units are arranged in an array, and the hole units penetrate the substrate.
  • the hole units include a first hole portion and a second hole portion superimposed along the thickness direction of the substrate.
  • the second hole portion is configured to be connected to the substrate, the projection of the first hole portion on a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate has a first hole portion profile, and the second hole portion has a projection perpendicular to the thickness direction of the substrate
  • the projection on the plane has a second hole profile, the first hole profile surrounds the outside of the second hole profile, and the second hole portions of the plurality of hole units are not connected to each other, so that The liquid medium in each of the second hole portions is prevented from flowing between the plurality of second hole portions, and the first hole portions of the plurality of hole units are not connected with each other to prevent each of the third hole portions from flowing.
  • the liquid medium in one hole flows between the plurality of first holes.
  • the hole array layer structure further includes a first tooth groove extending outward from the side wall of the first hole portion perpendicularly to the thickness direction of the substrate.
  • a plurality of grooves are provided along the circumferential direction of the first hole portion, and have openings connected with the first hole portion at the outline of the first hole portion, on a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate. In projection, the extending lengths from the groove bottom of the first tooth groove to the opening are different.
  • the contours constrained by the projections of the groove bottoms of the plurality of first tooth grooves and their extension lines are the outer contours of the first tooth grooves.
  • the outer contour of the first tooth slot is a regular polygon or a circle.
  • the axes of the plurality of first tooth slots extend and intersect at the center of the outer contour of the first tooth slot.
  • the hole array layer structure further includes a second tooth groove extending outward from the side wall of the second hole part perpendicularly to the thickness direction of the substrate, and the second tooth groove A plurality of grooves are provided along the circumferential direction of the second hole portion, and have openings communicating with the second hole portion at the outline of the second hole portion.
  • the projections of the openings of the plurality of first tooth slots and the contour constrained by their extension lines are the contours of the first hole portion.
  • the contours constrained by the projections of the slot bottoms of the plurality of second slots and their extension lines are the second slot outer contours, and the second slot outer contours are consistent with the first hole contour.
  • the outer contour of the first tooth groove is a regular polygon, and the first hole portion is a circular contour.
  • the outer contour of the first tooth groove is circular, and the contour of the first hole portion is non-circular.
  • the projection of the opening of the second tooth slot and the contour constrained by its extension line are the contours of the second hole, so The second hole contour is located within the first hole contour, the second hole contour is circular, and the center of the first tooth groove outer contour coincides with the center of the second hole contour.
  • the axes of the plurality of second tooth slots extend and intersect at the center of the outer contour of the second hole portion.
  • a plurality of the hole units are provided in the substrate, and channels are provided between adjacent hole units, and the channels extend along the thickness direction of the substrate, On a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate, the projection of the channel coincides with the projection of the outer contour of the first tooth slot.
  • the first tooth slot of a hole unit among the plurality of hole units is different from the first tooth slot of an adjacent hole unit. Align each other.
  • the first tooth slot of a hole unit among the plurality of hole units is different from the first tooth slot of an adjacent hole unit. Intertwined.
  • a plurality of third tooth grooves extend outward in a direction perpendicular to the thickness of the substrate on the side wall of the channel.
  • the axes of the plurality of third tooth slots extend and intersect at the center of the outer contour of the first tooth slot.
  • a second aspect of the embodiment of the present application provides a biochip device, including a substrate and the above-mentioned hole array layer structure.
  • the hole array layer structure is located on the substrate, and the first hole portion of the hole unit is located on a side of the second hole portion of the hole unit facing away from the substrate.
  • a third aspect of the embodiment of the present application provides a biochip device pre-coating method, including the following steps:
  • Evaporation and condensation process including: facing the opening of the well unit in the biochip device toward the evaporation position; setting a pre-coating part, and placing the pre-coating part at the evaporation position, and the pre-coating part contains There is a pre-coat, and the opening of the pre-coat is facing the biochip device, the pre-coat is heated to the evaporation threshold, and the pre-coating is stopped after heating for a predetermined time;
  • the spraying process includes: taking the biochip device and the printer, placing the precoat in the printer, aligning the print nozzle of the printer with the edge of the hole unit on the biochip device, starting the printer, and placing the precoat in the printer. A predetermined amount of the precoat is sprayed into the well unit.
  • the step of removing the pre-coating in the well unit to the pre-coating threshold further includes: heating the biochip device to evaporate the pre-coating , to the pre-coating material in the hole unit is the pre-coating threshold.
  • the step of removing the pre-coating material in the well unit to the pre-coating threshold further includes: providing an adsorption member to cover all the components on the substrate.
  • the opening side of the hole unit to the pre-coating material in the hole unit is the pre-coating threshold.
  • a biochip device pre-coating method including the following steps:
  • a drain plate with leak holes and cover the opening side of the well unit on the biochip device with the drain plate, so that the edge of the hole unit corresponds to at least one leak hole on the drain plate;
  • a scraper is provided, the edge of the scraper is attached to the side of the drain plate away from the biochip device and can move relative to the drain plate;
  • a biochip device pre-coating method including the following steps:
  • a printing plate is provided, and a transfer portion is provided on the printing plate.
  • the printing plate covers the opening side of the well unit on the biochip device, the bonding portion of the printing plate and the biochip device is located at the Within the above-mentioned transfer part;
  • the biochip device before flowing the second polar medium through the biochip device, it further includes flowing air through the biochip device to replace at least part of the second non-polar medium. polar media.
  • the hole array layer structure provided by this application sets the side wall of the first hole part as a closed structure, which can make each hole unit relatively independent and reduce the movement of the medium between each hole unit after film formation, especially when a hole unit appears
  • the middle membrane ruptures, the polar solvent under the inner membrane of the pore unit diffuses into other pore units along the first pore part, further affecting the stability of other pore units.
  • Figure 1 is an array schematic diagram of a hole array layer structure provided by an embodiment of the present application.
  • Figure 2 is a schematic structural diagram of a hole array layer structure provided by an embodiment of the present application.
  • Figure 3 is a schematic top structural view of the embodiment shown in Figure 2;
  • Figure 4 is an array schematic diagram of a hole array layer structure provided by another embodiment of the present application.
  • Figure 5 is a schematic structural diagram of a hole array layer structure provided by another embodiment of the present application.
  • Figure 6 is a schematic top structural view of the embodiment shown in Figure 5;
  • Figure 7 is a schematic structural diagram showing the first tooth slot axis, the first tooth slot outer contour and the first hole portion outline by adding auxiliary lines;
  • Figure 8 is a schematic top view of the hole array layer structure provided by yet another embodiment of the present application.
  • Figure 9 is a schematic structural diagram of the first tooth alveol outer contour transformed into a regular hexagon in the embodiment shown in Figure 8;
  • Figure 10 is a schematic three-dimensional structural diagram of the embodiment shown in Figure 9;
  • Figure 11 is a schematic diagram of the array of the embodiment shown in Figure 9;
  • Figure 12 is a structural schematic diagram showing the second tooth space axis, the first hole profile, the first tooth space outer profile, the second hole profile and the second tooth space outer profile by adding auxiliary lines;
  • Figure 13 is a schematic diagram of the shapes of the first hole profile, the first tooth space outer profile, the second hole profile and the second tooth space outer profile in an optional embodiment of the present application;
  • Figure 14 is a schematic structural diagram of a hole array layer structure provided by yet another embodiment of the present application.
  • Figure 16 is an array schematic diagram of a hole array layer structure provided by an optional embodiment of the present application.
  • Figure 18 is a partial top view structural diagram of an array without channels
  • Figure 19 is a first partial top structural schematic diagram of the embodiment shown in Figure 17;
  • Figure 20 is a schematic structural diagram of a partial top view of the array according to another embodiment without channels;
  • Figure 21 is a second partial top structural schematic diagram of the embodiment shown in Figure 17;
  • Figure 22 shows the structural schematic diagram of the third alveolar axis by adding auxiliary lines
  • Figure 23 is a flow chart of an embodiment of the pre-coating method in this application.
  • Figure 24 is a flow chart of an embodiment of the evaporation and condensation process in this application.
  • Figure 25 is a schematic diagram of the implementation of the embodiment shown in Figure 24;
  • Figure 26 is a schematic diagram of the implementation of the excess precoating removal process in this application.
  • Figure 27 is a schematic diagram of an embodiment of the excess precoating removal process in this application.
  • Figure 28 is a schematic diagram of the implementation of the spray removal process in this application.
  • Figure 29 is a flow chart of another embodiment of the pre-coating method in this application.
  • Figure 30 is a schematic diagram of the implementation of the embodiment shown in Figure 29;
  • Figure 31 is a flow chart of another embodiment of the pre-coating method in the present application.
  • Figure 32 is a schematic diagram of the implementation of the embodiment shown in Figure 31;
  • Figure 33 is a flow chart of an embodiment of the film forming method in this application.
  • Figure 34 is a schematic diagram of the implementation of step S43 in the embodiment shown in Figure 33;
  • Figure 35 is a schematic diagram of the implementation of step S44 in the embodiment shown in Figure 33;
  • Figure 36 is a schematic diagram of the implementation of step S45 in the embodiment shown in Figure 33;
  • Figure 37 is a flow chart of another embodiment of the film forming method in this application.
  • Figure 38 is a schematic diagram of the implementation of step S441 in the embodiment shown in Figure 37;
  • Figure 39 is a schematic top view of the structure of the amphiphilic molecular film after formation.
  • orientation terms used in the description of this application are only for the convenience of describing this application and simplifying the description. They do not indicate or imply that the device or element referred to must have a specific orientation, be constructed and operated in a specific orientation, and therefore cannot be construed as limiting the scope of this application. limit.
  • a hole array layer structure is provided, which is used to form a film-forming space with a substrate, and the film-forming space is used to form a film layer.
  • the hole array is The layer structure includes a substrate 1. A plurality of hole units are arranged in an array in the substrate 1. The hole units penetrate the substrate 1. The hole units include a first hole part 11 and a second hole part 12 that are superimposed along the thickness direction of the substrate 1. The hole 12 is configured to be connected to the substrate. The projection of the first hole 11 on a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate 1 has a first hole profile 111 .
  • the second hole 12 is on a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate 1 .
  • the projection on has a second hole profile 121.
  • the first hole profile 111 surrounds the outside of the second hole profile 121.
  • the second hole portions 12 of the hole units are not connected to each other to prevent the polar medium from flowing into the second hole.
  • the first hole portions 11 of the plurality of hole units are not connected to each other to prevent the non-polar medium from flowing between the plurality of first hole portions 11 .
  • the first hole profile 111 may be circular.
  • the diameter of the first hole profile 111 is 20 ⁇ m to 200 ⁇ m, for example, it may be 20 ⁇ m, 50 ⁇ m, 80 ⁇ m, 100 ⁇ m, 120 ⁇ m, 150 ⁇ m or 200 ⁇ m, etc. , which can help improve the film-forming rate and film-forming quality of molecular films.
  • an amphiphilic molecular film can be formed roughly at the junction of the first hole part 11 and the second hole part 12. Under the action of the electrode, a potential difference can be formed on the upper and lower sides of the substrate, and current can pass through the hole unit.
  • the DNA single strand passes through the pore unit, due to the different structures of the different bases on the DNA single strand, it will interact differently with the protein pore, causing the resistivity in the nanopore to change, which in turn causes the current to change, thereby realizing the DNA transfer.
  • the base information on a single strand is converted into an electrical signal. Measuring the change in current can identify the base information on a single strand of DNA and complete gene sequencing.
  • the depths of the first hole portion 11 and the second hole portion 12 are equal.
  • the hole array layer structure also includes a first tooth groove 112 extending outward from the side wall of the first hole portion 11 perpendicular to the thickness direction of the substrate 1 , a plurality of first tooth grooves 112 are provided along the circumferential direction of the first hole part 11, and have openings connected with the first hole part 11 at the first hole part outline 111, on a plane perpendicular to the thickness direction of the substrate 1 In the projection of , the extension length from the groove bottom of the first tooth groove 112 to the opening is different.
  • the distance that the first tooth groove 112 extends in the thickness direction of the substrate 1 is equal to the depth of the first hole portion 11 .
  • the width of the first tooth groove 112 from the opening to the bottom of the groove can be set uniformly.
  • the width of the first tooth groove 112 from the opening to the bottom of the groove is equal or increases or decreases in an equal proportion along a linear relationship.
  • the width of the first tooth groove 112 from the opening to the groove bottom may also be set unevenly.
  • the width of the first tooth groove 112 first increases and then decreases from the opening to the groove bottom.
  • first tooth grooves 112 are arranged with different extension lengths perpendicular to the thickness direction of the substrate 1, so that the surface of the substrate 1 has different permeability, which facilitates the fluid on the surface of the substrate 1 to penetrate into the first tooth grooves 112 more quickly, and then enter the first hole.
  • Department 11 the first tooth grooves 112 are arranged with different extension lengths perpendicular to the thickness direction of the substrate 1, so that the surface of the substrate 1 has different permeability, which facilitates the fluid on the surface of the substrate 1 to penetrate into the first tooth grooves 112 more quickly, and then enter the first hole. Department 11.
  • any number of hole units can be provided on the substrate 1 .
  • the substrate 1 may be provided with, for example, 2 to 106 hole units.
  • the polar medium may be a hydrophilic medium, such as an aqueous buffer solution, and the buffer may include a supporting electrolyte (supporting electrolyte).
  • the non-polar medium may be a hydrophobic medium, such as a hydrocarbon-containing material, an oily material, or a mixture of the two.
  • the hydrophobic medium can be one or more of silicone oil, AR20 or hexadecane.
  • the non-polar medium can be immiscible with the polar medium, and the non-polar medium contains amphiphilic molecules for forming an amphiphilic molecule film when the polar medium and the non-polar medium come into contact.
  • the projections of the groove bottoms of the plurality of first tooth grooves 112 and the contours constrained by their extension lines are the first The outer contour of the tooth groove 113 and the first outer contour of the tooth groove 113 are regular polygons or circles.
  • the axes of the plurality of first tooth slots 112 extend and intersect at the outer contour of the first tooth slot. 113 in the center.
  • the axes of the plurality of first tooth grooves 112 coincide with the radius of the circle.
  • the axis of the first tooth groove 112 may also be arranged in a non-radial direction of the circle.
  • the outline of the first hole portion 11 can be made more regular, which not only facilitates the arrangement of the hole units, but also allows the hole units to have
  • the characteristics of central symmetry make the traction ability of each part on the medium also centrally symmetrical, which effectively improves the film-forming efficiency and the stability after film formation.
  • it can make the first tooth groove 112 have the characteristics of diverging to the surroundings, which is convenient for Media penetration.
  • the distance that the second tooth groove 122 extends in the thickness direction of the substrate 1 is equal to the depth of the second hole portion 12 .
  • the non-polar medium will be stored in the second slot 122 through capillary action.
  • the acute or right-angled structures on the second grooves 122 can also produce a tendency of aggregation to maintain stability in the second hole portion 12 and thereby improve the stability after film formation.
  • the projection of the openings of the plurality of first tooth slots 112 and the contour constrained by their extensions are the first holes.
  • the contour 111 of the second tooth slot, the projection of the groove bottoms of the plurality of second tooth slots 122 and the contour constrained by their extensions are the second tooth slot outer contour 123, and the second tooth slot outer contour 123 is consistent with the first hole portion contour 111.
  • the second tooth groove outer contour 123 Through the arrangement of the second tooth groove outer contour 123, it can be facilitated that the second tooth groove 122 extends in the second hole portion 12 to be as close as possible to the first hole portion contour 111, so that the second tooth groove 122 can obtain a vertical position perpendicular to the first hole portion 111.
  • the optimal depth extension in the thickness plane of the substrate 1 improves the efficiency of the medium fluid entering the second slot 122 .
  • the axis of the second tooth groove 122 coincides with the radius of the circle.
  • the channel 13 is formed by a regular hexagon wrapping the first tooth groove outer contour 113 Honeycomb shape.
  • each hole unit be separated and the possibility of mutual influence between adjacent hole units be reduced, but also the reserved area on the surface of the substrate 1 on the opening side of the hole unit can be reduced, reducing the fluid being absorbed.
  • the surface of the substrate 1 remains on the opening side of the hole unit to prevent the subsequent coating process from being affected by the medium remaining in the previous step when multiple fluids are sequentially applied to the hole unit.
  • the groove bottoms of the plurality of first tooth grooves 112 provided on adjacent hole units correspond to each other.
  • the first tooth slot 112 of one of the plurality of hole units is different from the first tooth slot of the adjacent hole unit. 112 intertwined.
  • the groove bottoms of the plurality of first tooth grooves 112 provided on one of the hole units correspond to the openings of the plurality of first tooth grooves 112 provided on the adjacent hole unit.
  • a plurality of third tooth grooves 131 extend outward on the side walls of the channel 13 in a direction perpendicular to the thickness of the substrate 1 .
  • the third tooth groove 131 may be aligned with the adjacent first tooth groove 112 , that is, the groove bottom of the third tooth groove 131 is parallel to the groove bottom of the adjacent first tooth groove 112 .
  • the third tooth groove 131 may be staggered with the adjacent first tooth groove 112 , that is, the groove bottom of the third tooth groove 131 may be parallel to the tooth top of the adjacent first tooth groove 112 .
  • the medium remaining on the opening side of the hole unit on the substrate 1 can quickly penetrate into the channel 13 through the capillary action of the third tooth groove 131 and be discharged, preventing subsequent work from being affected. cause impact.
  • the axes of the plurality of third tooth slots 131 extend and intersect at the center of the first tooth slot outer contour 113 .
  • the axes of the plurality of third tooth grooves 131 coincide with the circular radius direction.
  • the reserved area on the opening side of the hole unit on the substrate 1 and the distribution of the channels 13 can be made more even, which facilitates preparation. Leave the remaining medium on the area to enter the channel 13.
  • a biochip device including a substrate and the above-mentioned biochip device 100 .
  • the hole array layer structure is located on the substrate, and the first hole portion 11 of the hole unit 10 is located on the side of the second hole portion 12 of the hole unit 10 facing away from the substrate.
  • a biochip device pre-coating method including the following steps:
  • the spraying process includes: S1231, taking the biochip device 100 and the printer 90, the printer 90 is provided with the precoat 20, S1232, connecting the printing nozzle of the printer 90 with the hole unit on the biochip device 100 10 edge alignment, S1233, start the printer 90 and spray a predetermined amount of pre-coating material 20 into the hole unit 10.
  • silicone oil AR20 can be used as the pre-coating material 20, and the excess pre-coating material 20 can be removed by heating at 120°C for 30 minutes.
  • step S1222 in the excess precoating removal process may include: providing an adsorption member 50 to cover the opening side of the hole unit 10 on the substrate 1, and the adsorption member 50 is removed from The hole unit 10 absorbs the pre-coating material 20 until the pre-coating material 20 in the hole unit 10 reaches the pre-coating threshold.
  • the adsorbing member 50 is made of a material capable of adsorbing non-polar media.
  • the printing plate 80 is provided with a transfer part, such as any surface on the printing plate 80 (in the example shown in FIG. 31, the transfer part is on the lower surface of the printing plate 80).
  • the printing plate 80 can Moving relative to the biochip device 100, when the printing plate 80 covers the opening side of the well unit 10 on the biochip device 100, the bonding portion of the printing plate 80 and the biochip device 100 is located in the transfer location;
  • a film forming method including the following steps:
  • S441 is also included before the step of flowing the second polar medium 202 through the biochip device 100. Flow the air 206 through the biochip. Device 100 to replace at least part of the second non-polar medium 205.
  • a sequencing device is also provided, as shown in Figure 39, including the above-mentioned biochip device 100 and a film layer prepared by a film forming method.

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Urology & Nephrology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

一种孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及相关装置，孔阵列层结构用于和衬底形成成膜空间，成膜空间用于形成膜层，孔阵列层结构包括基板，基板中的阵列排布有多个孔单元，孔单元贯穿基板，孔单元包括沿基板厚度方向叠加设置的第一孔部及第二孔部，第二孔部被配置为和衬底连接，第一孔部在垂直于基板厚度方向的平面上的投影具有第一孔部轮廓，第二孔部在垂直于基板厚度方向的平面上的投影具有第二孔部轮廓，第一孔部轮廓环绕于第二孔部轮廓外侧，多个孔单元的第二孔部之间彼此不连通，并且多个孔单元的第一孔部之间彼此不连通。

Description

孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置 技术领域
本申请属于生物检测技术领域，尤其涉及一种孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置。
背景技术
纳米孔测序中，通过施加一定的电势，驱动诸如生物大分子的分析物穿过嵌入在支撑膜(例如脂质膜)中的纳米孔测序通道，利用不同化学基团在经过纳米孔测序通道时引起电流变化，识别通过纳米孔测序通道的生物大分子。形成纳米孔的结构通常分为上下两层，其上层结构间相互连通，但是在成膜过程后，上层的互联结构，易导致介质能够流通于各个纳米孔中，严重影响成膜后的稳定性。
发明内容
本申请实施例提供了一种孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置，以解决现有技术中成膜过程后不稳定的问题。
本申请实施例的第一方面，提供一种孔阵列层结构，用于和衬底形成成膜空间，所述成膜空间用于形成膜层，所述孔阵列层结构包括基板，所述基板中的阵列排布有多个孔单元，所述孔单元贯穿所述基板，所述孔单元包括沿所述基板厚度方向叠加设置的第一孔部及第二孔部，所述第二孔部被配置为和所述衬底连接，所述第一孔部在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影具有第一孔部轮廓，所述第二孔部在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影具有第二孔部轮廓，所述第一孔部轮廓环绕于所述第二孔部轮廓外侧，所述多个孔单元的所述第二孔部之间彼此不连通，以阻止各个所述第二孔部内的液体介质在多个所述第二孔部之间流动，并且所述多个孔单元的所述第一孔部之间彼此不连通，以阻止各个所述第一孔部内的液体介质在多个所述第一孔部之间流动。
采用上述结构，将第一孔部的侧壁设置为密闭结构，能够使各个孔单元间相对独立，减少成膜后，介质在各个孔单元间移动，尤其是当出现孔单元中膜破裂时，孔单元内膜下方的极性溶剂，沿第一孔部扩散至其 他孔单元内，进一步影响其他孔单元的稳定性。
在本申请的一些可选实施方式中，所述孔阵列层结构还包括有从所述第一孔部侧壁垂直于所述基板厚度方向向外延伸的第一齿槽，所述第一齿槽沿所述第一孔部周向设置有多个，并具有在所述第一孔部轮廓处与所述第一孔部相连通的开口，在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影中，所述第一齿槽的槽底至所述开口处的延伸长度不等。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第一齿槽外轮廓，所述第一齿槽外轮廓为正多边形或圆形。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的轴线延伸后交汇于所述第一齿槽外轮廓的中心。
在本申请的一些可选实施方式中，所述孔阵列层结构还包括有从所述第二孔部侧壁垂直于所述基板厚度方向向外延伸的第二齿槽，所述第二齿槽沿所述第二孔部周向设置有多个，并具有在所述第二孔部轮廓处与所述第二孔部相连通的开口。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的开口的投影及其延长线约束的轮廓为所述第一孔部轮廓，多个所述第二齿槽的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第二齿槽外轮廓，所述第二齿槽外轮廓与所述第一孔部轮廓相吻合。
在本申请的一些可选实施方式中，所述第一齿槽外轮廓为正多边形，所述第一孔部轮廓为圆形。
在本申请的一些可选实施方式中，所述第一齿槽外轮廓为圆形，所述第一孔部轮廓为非圆形。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，所述第二齿槽的开口的投影及其延长线约束的轮廓为所述第二孔部轮廓，所述第二孔部轮廓位于所述第一孔部轮廓以内，所述第二孔部轮廓为圆形，所述第一齿槽外轮廓的中心与所述第二孔部轮廓的中心相重合。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的 平面上，多个所述第二齿槽的轴线延伸后交汇于所述第二孔部外轮廓的中心。
在本申请的一些可选实施方式中，所述基板中设置有多个所述孔单元，相邻所述孔单元间还设置有沟道，所述沟道沿所述基板的厚度方向延伸，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，所述沟道的投影与所述第一齿槽外轮廓的投影相吻合。
在本申请的一些可选实施方式中，在所述孔阵列层结构中，所述多个孔单元中的一孔单元的所述第一齿槽与相邻孔单元的所述第一齿槽相互对齐。
在本申请的一些可选实施方式中，在所述孔阵列层结构中，所述多个孔单元中的一孔单元的所述第一齿槽与相邻孔单元的所述第一齿槽相互交错。
在本申请的一些可选实施方式中，所述沟道侧壁上沿垂直于所述基板厚度方向向外延伸的多个第三齿槽。
在本申请的一些可选实施方式中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第三齿槽的轴线延伸后交汇于所述第一齿槽外轮廓的中心。
本申请实施例的第二方面，提供一种生物芯片装置，包括衬底及上述孔阵列层结构。所述孔阵列层结构位于所述衬底上，所述孔单元的所述第一孔部位于所述孔单元的所述第二孔部背离所述衬底的一侧。
本申请实施例的第三方面，提供一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
提供上述生物芯片装置；
对所述生物芯片装置进行预涂，所述预涂包括如下工艺中的任一项：
(1)蒸发冷凝工艺，包括：将所述生物芯片装置中的孔单元的开口朝向蒸发位置；设置预涂件，将所述预涂件放置于所述蒸发位置，所述预涂件内盛有预涂物，且所述预涂件开口朝向所述生物芯片装置，加热预涂件至蒸发阈值，在加热预定时间后停止预涂；
(2)过量预涂去除工艺，包括：所述孔单元添加大于预涂阈值的预涂物，去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值；
(3)喷涂工艺，包括：取生物芯片装置及打印机，将预涂物设置于所述打印机内，将所述打印机的打印喷头与所述生物芯片装置上的孔单元边缘对齐，启动打印机，将预定量的所述预涂物喷射至所述孔单元内。
在本申请的一些可选实施方式中，所述去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值的步骤中，还包括：加热所述生物芯片装置，使预涂物蒸发，至所述孔单元内的所述预涂物为所述预涂阈值。
在本申请的一些可选实施方式中，所述去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值的步骤中，还包括：提供吸附件，覆盖于所述基板上的所述孔单元开口一侧，至所述孔单元内的所述预涂物为所述预涂阈值。
在本申请的一些可选实施方式中，还提供一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
提供上述生物芯片装置；
提供具有漏孔的漏板，并将所述漏板覆盖于所述生物芯片装置上的孔单元开口一侧，使所述孔单元边缘至少与所述漏板上的一个漏孔相对应；
设置刮件，所述刮件的边缘贴合于所述漏板上远离所述生物芯片装置的一侧，并能够相对于所述漏板移动；
取预涂物，放置于所述刮件处，移动所述刮件推动所述预涂物在所述漏板上移动，所述预涂物的移动轨迹经过每个所述漏孔，并经由所述漏孔进入孔单元中。
在本申请的一些可选实施方式中，还提供一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
提供上述生物芯片装置；
提供印板，所述印板上设置有转印部位，在所述印板覆盖于所述生物芯片装置上的孔单元开口一侧时，所述印板与生物芯片装置的贴合部分位于所述转印部位内；
取预涂物，将所述预涂物均匀设置于所述转印部位上；
转印，将所述转印部位上设置有所述预涂物的所述印板覆盖于生物芯片装置上的孔单元开口一侧，并使所述预涂物从所述印板的所述转印部位转移至所述生物芯片装置的所述孔单元中，维持覆盖状态至所述孔单元内的所述预涂物达到预涂阈值，停止预涂。
本申请实施例的第四方面，提供一种成膜方法，包括以下步骤：
提供上述生物芯片装置；
将第一非极性介质布置于生物芯片装置内，于所述生物芯片装置的表面形成预涂膜层；
将第一极性介质流动穿过所述生物芯片装置内，至少取代部分所述第一非极性介质；
将第二非极性介质流动穿过所述孔阵列层结构，至少取代部分所述第一极性介质，其中，所述第二非极性介质包含两亲性分子材料；
将第二极性介质流动穿过所述生物芯片装置，至少取代部分所述第二非极性介质，并在所述第一极性介质和所述第二极性介质之间的界面形成膜层，其中，所述膜层包含两亲性分子材料。
在本申请的一些可选实施方式中，在将第二极性介质流动穿过所述生物芯片装置之前，还包括将空气流动穿过所述生物芯片装置，以至少取代部分所述第二非极性介质。
本申请实施例的第五方面，提供一种测序装置，所述测序装置包括如权利要求上述生物芯片装置和上述成膜方法制备的膜层。
本申请提供的孔阵列层结构，将第一孔部的侧壁设置为密闭结构，能够使各个孔单元间相对独立，减少成膜后，介质在各个孔单元间移动，尤其是当出现孔单元中膜破裂时，孔单元内膜下方的极性溶剂，沿第一孔部扩散至其他孔单元内，进一步影响其他孔单元的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一实施例提供的孔阵列层结构的阵列示意图；
图2为本申请一实施例提供的孔阵列层结构的结构示意图；
图3为图2所示实施例的俯视结构示意图；
图4为本申请另一实施例提供的孔阵列层结构的阵列示意图；
图5为本申请另一实施例提供的孔阵列层结构的结构示意图；
图6为图5所示实施例的俯视结构示意图；
图7为通过添加辅助线示出第一齿槽轴线、第一齿槽外轮廓及第一孔部轮廓的结构示意图；
图8为本申请再一实施例提供的孔阵列层结构的俯视结构示意图；
图9为图8所示实施例的第一齿槽外轮廓变换为正六边形的结构示意图；
图10为图9所示实施例的立体结构示意图；
图11为图9所示实施例的阵列示意图；
图12为通过添加辅助线示出第二齿槽轴线、第一孔部轮廓、第一齿槽外轮廓、第二孔部轮廓及第二齿槽外轮廓的结构示意图；
图13为本申请一可选实施例中第一孔部轮廓、第一齿槽外轮廓、第二孔部轮廓及第二齿槽外轮廓的形状示意图；
图14为本申请又一实施例提供的孔阵列层结构的结构示意图；
图15为图14所示实施例的俯视结构示意图；
图16为本申请一可选实施例提供的孔阵列层结构的阵列示意图；
图17为本申请一可选实施例提供的孔阵列层结构的俯视结构示意图；
图18为无沟道情况下的一种实施例阵列局部俯视结构示意图；
图19为图17所示实施例的第一局部俯视结构示意图；
图20为无沟道情况下的另一种实施例阵列局部俯视结构示意图；
图21为图17所示实施例的第二局部俯视结构示意图；
图22通过添加辅助线示出第三齿槽轴线的结构示意图；
图23为本申请中预涂方法一实施例的流程图；
图24为本申请中蒸发冷凝工艺一实施例的流程图；
图25为图24所示实施例的实施示意图；
图26为本申请中过量预涂去除工艺的实施示意图；
图27为本申请中过量预涂去除工艺一实施例的实施示意图；
图28为本申请中喷涂去除工艺的实施示意图；
图29为本申请中预涂方法另一实施例的流程图；
图30为图29所示实施例的实施示意图；
图31为本申请中预涂方法再一实施例的流程图；
图32为图31所示实施例的实施示意图；
图33为本申请中成膜方法一实施例的流程图；
图34为图33所示实施例中步骤S43的实施示意图；
图35为图33所示实施例中步骤S44的实施示意图；
图36为图33所示实施例中步骤S45的实施示意图；
图37为本申请中成膜方法另一实施例的流程图；
图38为图37所示实施例中步骤S441的实施示意图；
图39为两亲分子膜成膜后的俯视结构示意图。
具体实施方式
下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本申请的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请的更好的理解。
本申请描述中的方位术语仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将结合附图对实施例进行详细描述。
本申请实施例的一些可选实施方式中，如图1至图3所示，提供一种孔阵列层结构，用于和衬底形成成膜空间，成膜空间用于形成膜层，孔阵列层结构包括基板1，基板1中的阵列排布有多个孔单元，孔单元贯 穿基板1，孔单元包括沿基板1厚度方向叠加设置的第一孔部11及第二孔部12，第二孔部12被配置为和衬底连接，第一孔部11在垂直于基板1厚度方向的平面上的投影具有第一孔部轮廓111，第二孔部12在垂直于基板1厚度方向的平面上的投影具有第二孔部轮廓121，第一孔部轮廓111环绕于第二孔部轮廓121外侧，孔单元的第二孔部12之间彼此不连通，以阻止极性介质在第二孔部12之间流动，并且多个孔单元的第一孔部11之间彼此不连通，以阻止非极性介质在多个第一孔部11之间流动。
可选地，第一孔部轮廓111可以为圆形，示例性地，第一孔部轮廓111的直径为20μm至200μm，比如，可以为20μm、50μm、80μm、100μm、120μm、150μm或者200μm等，可有利于提高分子膜的成膜率和成膜质量。实际使用中，可以大致在第一孔部11与第二孔部12的交界处形成两亲分子膜，可在电极的作用下，在基板的上下两侧形成电势差，孔单元内存在电流通过，当DNA单链通过孔单元时，由于DNA单链上不同碱基的结构不同，会与蛋白孔产生不同相互作用，引起纳米孔内的电阻率发生变化，进而引起电流发生变化，从而实现将DNA单链上的碱基信息转化为电信号，测量电流的变化量可以识别DNA单链上的碱基信息，完成基因测序工作。可选地，在基板1厚度方向上，第一孔部11及第二孔部12的深度相等。
将第一孔部11的侧壁设置为密闭结构，能够使各个孔单元间相对独立，使得成膜后，第一孔部11内的极性介质和非极性介质无法在各个孔单元间移动，尤其是当出现某一孔单元内的分子膜破裂时，膜下方的极性溶剂会跟膜上方的极性溶剂接触融合，极性介质会占据孔单元中原来非极性介质的位置，而这个过程会从相邻的孔单元中吸取非极性介质，造成相连孔单元内的分子膜的连锁破裂，严重影响分子膜的稳定性。
在本申请的一些可选实施方式中，如图4至图6所示，孔阵列层结构还包括有从第一孔部11侧壁垂直于基板1厚度方向向外延伸的第一齿槽112，第一齿槽112沿第一孔部11周向设置有多个，并具有在第一孔部轮廓111处与第一孔部11相连通的开口，在垂直于基板1厚度方向的平面上的投影中，第一齿槽112的槽底至所述开口处的延伸长度不等。
可选地，第一齿槽112在基板1厚度方向上延伸的距离和第一孔部11的深度相等。可选地，第一齿槽112上从开口至槽底各处的宽度可均匀设置，如第一齿槽112的开口至槽底各处的宽度相等或沿线性关系等比增大或减少。可选地，第一齿槽112上从开口至槽底的宽度也可不均匀设置，如第一齿槽112上的宽度从开口处至槽底处先增大后减小。
通过第一齿槽112的设置，当第一孔部11容纳非极性介质后，非极性介质会通过毛细作用，储存于第一齿槽112内，其次，在第一孔部11内形成的两亲分子膜也能够通过第一齿槽112上的锐角或者直角结构，产生聚集的趋势，使第一孔部11内能够相对稳定的牵引分子膜，对分子膜具有更加稳定的支撑作用，有效提高成膜率及成膜后的稳定性。其次，第一齿槽112垂直于基板1厚度方向延伸长度不等的设置，使基板1表面具有不同渗透能力，便于基板1表面的流体更快速渗入第一齿槽112内，进而进入第一孔部11。
一些实施例中，基板1上可设置任意数量的孔单元。可选地，基板1上可设置，如2至106的孔单元。一些实施例中，极性介质可为亲水介质，如缓冲剂水溶液，缓冲剂可包括支持电解质(supporting electrolyte)。
一些实施例中，非极性介质可为疏水介质，如含烃物质、油性物质或二者的混合。疏水介质可为硅油、AR20或十六烷中的一种或者几种。非极性介质可与极性介质互不混溶，且非极性介质中包含两亲性分子，用于在极性介质与非极性介质相接触时形成两亲分子膜。
在本申请的一些可选实施方式中，如图7所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第一齿槽112的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第一齿槽外轮廓113，第一齿槽外轮廓113为正多边形或圆形。
示例性地，在垂直于基板1厚度方向的平面上，第一齿槽外轮廓113还可以设置为花瓣状。
通过约束第一齿槽外轮廓113，能够便于在基板1上排列孔单元，使相邻孔单元间的界限更加明确，防止相邻孔单元间相连通。通过根据第一齿槽外轮廓113对孔单元进行合理排布，能够通过尽可能减小基板1表 面上孔单元彼此间的面积而在基板1上设置尽可能多的孔单元。
在本申请的一些可选实施方式中，如图7及图8所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第一齿槽112的轴线延伸后交汇于第一齿槽外轮廓113的中心。
示例性地，当第一齿槽外轮廓113为圆形时，多个第一齿槽112的轴线与圆形半径相重合。可选地，当第一齿槽外轮廓113为圆形时，第一齿槽112的轴线还可沿圆形的非径向设置。
可选地，第一齿槽外轮廓113的边数取决于阵列结构中孔单元周围相邻的孔单元的数量。可选地，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第一齿槽112具有不同的延伸长度，故多个第一齿槽112间的齿隙可设置为不同长度。示例性地，第一齿槽外轮廓113可为正六边形，该正六边形各顶点处的第一齿槽112的齿隙长度最长，即该处的第一齿槽112的槽底距离第一孔部11的中心最远，而位于该正六边形各边中心的第一齿槽112的齿隙最短，即该处的第一齿槽112的槽底距离第一孔部11的中心最近。故在第一齿槽外轮廓113为正六边形时，正六边形边的中心处至该边的两顶点处，第一齿槽112齿隙的长度逐渐增大。
通过将多个第一齿槽112轴线的交点与第一齿槽外轮廓113的中心相重叠，能够使第一孔部11的轮廓更加规则，不仅便于孔单元排布，还能够使孔单元具有中心对称的特点，使其上的各部分对介质的牵引能力也中心对称，有效提高成膜效率及成膜后的稳定性，其次，能够使第一齿槽112具有向四周发散的特点，便于介质渗入。
在本申请的一些可选实施方式中，如图8至图11所示，孔阵列层结构还包括有从第二孔部12侧壁垂直于基板1厚度方向向外延伸的第二齿槽122，第二齿槽122沿第二孔部12周向设置有多个，并具有在第二孔部轮廓121处与第二孔部12相连通的开口。
可选地，第二齿槽122在基板1厚度方向上延伸的距离和第二孔部12的深度相等。
通过第二齿槽122的设置，在对孔单元进行非极性介质预涂期间当第二孔部12容纳非极性介质后，非极性介质会通过毛细作用，储存于第 二齿槽122内，在形成两亲分子膜时，第二齿槽122上的锐角或者直角结构，也能够产生聚集的趋势，维持第二孔部12内的稳定，进而提高成膜后的稳定性。
在本申请的一些可选实施方式中，如图12所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第一齿槽112的开口的投影及其延长线约束的轮廓为第一孔部轮廓111，多个第二齿槽122的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第二齿槽外轮廓123，第二齿槽外轮廓123与第一孔部轮廓111相吻合。
具体地，第二齿槽外轮廓123可由为第一孔部轮廓111等比例缩放获得，且第二齿槽外轮廓123上各点到第一孔部轮廓111上的垂线相等。示例性地，第一孔部轮廓111设置为圆形时，第二齿槽外轮廓123也设置为圆形，且与第一孔部轮廓111同心设置。
通过第二齿槽外轮廓123的设置，能够便于第二齿槽122在第二孔部12内的延伸至尽可能与第一孔部轮廓111接近，使第二齿槽122能够获得在垂直于基板1厚度平面内较优深度延伸，提高介质流体进入第二齿槽122的效率。
在本申请的一些可选实施方式中，如图12所示，当第一齿槽外轮廓113为正多边形时，第一孔部轮廓111为圆形，且第一齿槽外轮廓113的中心与第一孔部轮廓111的中心相重合。
在本申请的一些可选实施方式中，如图13所示，当第一齿槽外轮廓113为圆形时，第一孔部轮廓111为非圆形，且第一齿槽外轮廓113的中心与第一孔部轮廓111的中心相重合。
在本申请的一些可选实施方式中，如图13所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，第二齿槽122的开口的投影及其延长线约束的轮廓为第二孔部轮廓121，第二孔部轮廓121位于第一孔部轮廓111以内，第二孔部轮廓121为圆形，第一齿槽外轮廓113的中心与第二孔部轮廓121的中心相重合。
可选地，第一孔部轮廓111、第二孔部轮廓121可为圆形，第一齿槽外轮廓113及第二齿槽外轮廓123可为正六边形，且第一孔部轮廓111、 第二孔部轮廓121、第一齿槽外轮廓113及第二齿槽外轮廓123的中心相重合。可选地，第一孔部轮廓111、第二孔部轮廓121、第一齿槽外轮廓113及第二齿槽外轮廓123均为中心对称图形，前述中心为对称中心。示例性地，参照图14及图15所示，第一孔部轮廓111、第一齿槽外轮廓113及第二齿槽外轮廓123为为各角处圆化处理的类六变形，第二孔部轮廓121为圆形。
在本申请的一些可选实施方式中，如图13所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第二齿槽122的轴线延伸后交汇于第二孔部轮廓121的中心。
具体地，当第二孔部轮廓121为圆形时，第二齿槽122的轴线与圆形的半径相重合。
在本申请的一些可选实施方式中，如图16及图17所示，基板1中设置有多个孔单元，相邻孔单元间还设置有沟道13，沟道13沿基板1的厚度方向延伸，在垂直于基板1厚度方向的平面上，沟道13的投影与第一齿槽外轮廓113的投影相吻合。
具体地，当第一齿槽外轮廓113为圆形时，或当第一齿槽外轮廓113为正六边形时，沟道13为由包裹第一齿槽外轮廓113的正六边形形成的蜂巢状。
通过沟道13的设置，不仅能够将各个孔单元相分隔，减少相邻孔单元间相互影响的可能性，还能够使孔单元开口一侧的基板1表面上的预留面积降低，减少流体被留存在孔单元开口一侧的基板1表面，防止多种流体依次涂布于孔单元时，后步的涂布过程，因前步留存的介质造成影响。
在本申请的一些可选实施方式中，如图18及图19所示，在孔阵列层结构中，多个孔单元中一者的第一齿槽112与相邻孔单元的第一齿槽112相互对齐。
可选地，相邻孔单元上所设置的多个第一齿槽112的槽底对应。
在本申请的一些可选实施方式中，如图20及图21所示，在孔阵列层结构中，多个孔单元中一者的第一齿槽112与相邻孔单元的第一齿槽 112相互交错。
具体地，孔单元中的一者上所设置的多个第一齿槽112的槽底与相邻孔单元上所设置的多个第一齿槽112的开口对应。
在本申请的一些可选实施方式中，如图16及图22所示，沟道13侧壁上沿垂直于基板1厚度方向向外延伸有多个第三齿槽131。
可选地，第三齿槽131可与相邻的第一齿槽112相互对齐，即第三齿槽131的槽底与相邻的第一齿槽112的槽底对应平行。可选地，第三齿槽131可与相邻的第一齿槽112相互交错，即第三齿槽131的槽底与相邻的第一齿槽112的齿顶对应平行。
通过第三齿槽131的设置，当流体涂布后，残留于基板1上孔单元开口一侧的介质能够通过第三齿槽131的毛细作用迅速渗入沟道13中被排出，防止对后续工作造成影响。
在本申请的一些可选实施方式中，如图22所示，在垂直于基板1厚度方向的平面上，多个第三齿槽131的轴线延伸后交汇于第一齿槽外轮廓113的中心。
示例性地，当第一齿槽外轮廓113为圆形时，多个第三齿槽131的轴线与圆形半径方向相重合。
通过将多个第三齿槽131轴线的交点与第一齿槽外轮廓113的中心相重叠，能够使基板1上孔单元开口一侧的预留面积与沟道13的分布更加均匀，便于预留面积上残留的介质进入沟道13。
在本申请的一些可选实施方式中，提供了一种生物芯片装置，包括衬底及上述生物芯片装置100。孔阵列层结构位于衬底上，孔单元10的第一孔部11位于孔单元10的第二孔部12背离衬底的一侧。
在本申请的一些可选实施方式中，如图23所示，提供了一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
S11、提供上述生物芯片装置100；
S12、对生物芯片装置进行预涂，预涂包括如下工艺中的任一者：
(1)蒸发冷凝工艺，参照图24及图25，包括：S1211、将生物芯片装置100中的孔单元10的开口朝向蒸发位置；S1212、设置预涂件30， 将预涂件30放置于蒸发位置，预涂件30内盛有预涂物20，且预涂件30开口朝向生物芯片装置100，加热预涂件30至蒸发阈值，在加热预定时间后停止预涂；
(2)过量预涂去除工艺，参照图26及图27，包括：S1221、孔单元10添加大于预涂阈值的预涂物20，S1222、去除孔单元10内的预涂物20至预涂阈值；
(3)喷涂工艺，参照图28，包括：S1231、取生物芯片装置100及打印机90，打印机90内设置有预涂物20，S1232、将打印机90的打印喷头与生物芯片装置100上的孔单元10边缘对齐，S1233、启动打印机90，将预定量的预涂物20喷射至孔单元10内。
可选地，预涂物20可以为非极性介质。蒸发冷凝工艺中，预涂件30可为盛有预涂物20的容器，该容器上设置有开口，该开口即为蒸发位置，孔单元10的开口朝向预涂件30的开口设置，加热预涂件30，预涂物20受热蒸发后，经过预涂件30开口飘出，在面向其的孔单元10内凝结，实现对孔单元10的预涂。
可选地，蒸发冷凝工艺中预涂物20可采用硅油AR20，孔单元10开口处距非极性溶剂液面5至10cm，加热器40温度可设置为100至140℃，持续加热冷凝10至40分钟，可使孔单元10完成预涂。
可选地，过量预涂去除工艺中预涂物20可采用硅油AR20，在120℃条件下加热30分钟，去除多余预涂物20。
能够对生物芯片装置100进行预涂，使孔单元10中的第一孔部11及第二孔部12的侧壁上涂满非极性介质，在第一孔部11及第二孔部12侧壁上设置有第一齿槽112及第二齿槽122的情况下，使第一齿槽112及第二齿槽122内涂满非极性介质，便于后续成膜。
在本申请的一些可选实施方式中，如图25所示，过量预涂去除工艺中S1222步骤可包括：采用加热器40加热生物芯片装置100，使预涂物20蒸发，至孔单元10内的预涂物20为预涂阈值。
在本申请的一些可选实施方式中，如图26所示，过量预涂去除工艺中S1222步骤可包括：提供吸附件50，覆盖于基板1上的孔单元10开 口一侧，吸附件50从孔单元10吸附预涂物20，至孔单元10内的预涂物20为预涂阈值。具体地，吸附件50采用能够吸附非极性介质的材质。
在本申请的一些可选实施方式中，如图29及图30所示，还提供一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
S21、提供上述生物芯片装置100；
S22、提供具有漏孔601的漏板60，并将漏板60覆盖于生物芯片装置100上的孔单元10开口一侧，使孔单元10边缘至少与漏板60上的一个漏孔601相对应，在孔单元10上设置有第一齿槽112的情况下，使漏孔601与第一齿槽112相对应，在孔单元10上设置有第一齿槽112及第二齿槽122的情况下，使漏孔601与第一齿槽112及第二齿槽122相对应，如漏孔601的宽度可等于第一齿槽112的槽底至第二齿槽122的开口的宽度；
S23、设置刮件70，刮件70的边缘贴合于漏板60上远离生物芯片装置100的一侧，并能够相对于漏板60移动；
S24、取预涂物20，放置于漏板60上的一侧，移动刮件70推动预涂物20向漏板60上的另一侧移动，预涂物20的移动轨迹经过每个漏孔601时，经由漏孔601进入孔单元10中，实现预涂。
在本申请的一些可选实施方式中，如图31及图32所示，还提供一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
S31、提供上述生物芯片装置100；
S32、提供印板80，印板80上设置有转印部位，如印板80上的任一表面(在图31所示的示例中转印部位在印板80的下表面)，印板80能够相对于生物芯片装置100移动，在印板80覆盖于生物芯片装置100上的孔单元10开口一侧时，印板80与生物芯片装置100的贴合部分位于转印部位内；
S33、取预涂物20，将预涂物20均匀设置于转印部位上；
S34、转印，将转印部位上设置有预涂物20的印板80覆盖于生物芯片装置100上的孔单元10开口一侧，并使预涂物20从印板80的转印部位转移至生物芯片装置100的孔单元10中，维持覆盖状态至孔单元10内的预涂物20达到预涂阈值。
在本申请的一些可选实施方式中，如图33所示，还提供了一种成膜方法，包括以下步骤：
S41、提供上述生物芯片装置；
S42、将第一非极性介质204布置于生物芯片装置100内，于生物芯片装置100的表面形成预涂膜层；
S43、如图34所示，将第一极性介质201流动穿过生物芯片装置100内，至少取代部分第一非极性介质204；
S44、如图35所示，将第二非极性介质205流动穿过生物芯片装置100，至少取代部分第一极性介质201，其中，第二非极性介质205包含两亲性分子材料；
S45、如图36所示将第二极性介质202流动穿过生物芯片装置100，至少取代部分第二非极性介质205，并在第一极性介质201和第二极性介质202之间的界面形成膜层203，其中，膜层203包含两亲性分子材料。
在本申请的一些可选实施方式中，如图37及图38所示，在将第二极性介质202流动穿过生物芯片装置100步骤之前，还包括S441、将空气206流动穿过生物芯片装置100，以至少取代部分第二非极性介质205。在本申请的一些可选实施方式中，还提供了一种测序装置，如图39所示，包括上述生物芯片装置100和成膜方法制备的膜层。
虽然已经参考优选实施例对本申请进行了描述，但在不脱离本申请的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本申请并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (24)

  1. 一种孔阵列层结构，用于和衬底形成成膜空间，所述成膜空间用于形成膜层，所述孔阵列层结构包括：
    基板；及
    设置于所述基板中的阵列排布的多个孔单元，所述孔单元贯穿所述基板，所述孔单元包括沿所述基板厚度方向叠加设置的第一孔部及第二孔部，所述第二孔部被配置为和所述衬底连接，所述第一孔部在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影具有第一孔部轮廓，所述第二孔部在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影具有第二孔部轮廓，所述第一孔部轮廓环绕于所述第二孔部轮廓外侧，
    所述多个孔单元的所述第二孔部之间彼此不连通，以阻止各个所述第二孔部内的介质在多个所述第二孔部之间流动，并且
    所述多个孔单元的所述第一孔部之间彼此不连通，以阻止各个所述第一孔部内的介质在多个所述第一孔部之间流动。
  2. 根据权利要求1所述的孔阵列层结构，其中，还包括有从所述第一孔部侧壁垂直于所述基板厚度方向向外延伸的第一齿槽，所述第一齿槽沿所述第一孔部周向设置有多个，并具有在所述第一孔部轮廓处与所述第一孔部相连通的开口，在垂直于所述基板厚度方向的平面上的投影中，所述第一齿槽的槽底至所述开口处的延伸长度不等。
  3. 根据权利要求2所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第一齿槽外轮廓，所述第一齿槽外轮廓为正多边形或圆形。
  4. 根据权利要求3所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的轴线延伸后交汇于所述第一齿槽外轮廓的中心。
  5. 根据权利要求4所述的孔阵列层结构，其中，还包括有从所述第二孔部侧壁垂直于所述基板厚度方向向外延伸的第二齿槽，所述第二齿槽沿所述第二孔部周向设置有多个，并具有在所述第二孔部轮廓处与所述第二孔部相连通的开口。
  6. 根据权利要求5所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第一齿槽的开口的投影及其延长线约束的轮廓为所述第一孔部轮廓，多个所述第二齿槽的槽底的投影及其延长线约束的轮廓为第二齿槽外轮廓，所述第二齿槽外轮廓与所述第一孔部轮廓相吻合。
  7. 根据权利要求6所述的孔阵列层结构，其中，所述第一齿槽外轮廓为正多边形，所述第一孔部轮廓为圆形。
  8. 根据权利要求6所述的孔阵列层结构，其中，所述第一齿槽外轮廓为圆形，所述第一孔部轮廓为非圆形。
  9. 根据权利要求5-8中任一项所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，所述第二齿槽的开口的投影及其延长线约束的轮廓为所述第二孔部轮廓，所述第二孔部轮廓位于所述第一孔部轮廓以内，所述第二孔部轮廓为圆形，所述第一齿槽外轮廓的中心与所述第二孔部轮廓的中心相重合。
  10. 根据权利要求9所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第二齿槽的轴线延伸后交汇于所述第二孔部外轮廓的中心。
  11. 根据权利要求10所述的孔阵列层结构，其中，相邻所述孔单元间还设置有沟道，所述沟道沿所述基板的厚度方向延伸，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，所述沟道的投影与所述第一齿槽外轮廓的投影相吻合。
  12. 根据权利要求5所述的孔阵列层结构，其中，在所述孔阵列层结构中，所述多个孔单元中的一者的所述第一齿槽与相邻孔单元的所述第一齿槽相互对齐。
  13. 根据权利要求5所述的孔阵列层结构，其中，在所述孔阵列层结构中，所述多个孔单元中的一者的所述第一齿槽与相邻孔单元的所述第一齿槽相互交错。
  14. 根据权利要求11所述的孔阵列层结构，其中，所述沟道侧壁上沿垂直于所述基板厚度方向向外延伸的多个第三齿槽。
  15. 根据权利要求14所述的孔阵列层结构，其中，在垂直于所述基板厚度方向的平面上，多个所述第三齿槽的轴线延伸后交汇于所述第一齿槽外轮廓的中心。
  16. 一种生物芯片装置，包括：
    衬底；
    如权利要求1所述的孔阵列层结构，所述孔阵列层结构位于所述衬底上，所述孔单元的所述第一孔部位于所述孔单元的所述第二孔部背离所述衬底的一侧。
  17. 一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
    提供如权利要求16中所述的生物芯片装置；
    对所述生物芯片装置进行预涂，所述预涂包括如下工艺中的任一项：
    (1)蒸发冷凝工艺，包括：将所述生物芯片装置中的孔单元的开口朝向蒸发位置；设置预涂件，将所述预涂件放置于所述蒸发位置，所述预涂件内盛有预涂物，且所述预涂件开口朝向所述生物芯片装置，加热预涂件至蒸发阈值，在加热预定时间后停止预涂；
    (2)过量预涂去除工艺，包括：所述孔单元添加大于预涂阈值的预涂物，去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值；
    (3)喷涂工艺，包括：取生物芯片装置及打印机，将预涂物设置于所述打印机内，将所述打印机的打印喷头与所述生物芯片装置上的孔单元 边缘对齐，启动打印机，将预定量的所述预涂物喷射至所述孔单元内。
  18. 根据权利要求17所述的预涂方法，其中，所述去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值的步骤中，还包括：加热所述生物芯片装置，使预涂物蒸发，至所述孔单元内的所述预涂物为所述预涂阈值。
  19. 根据权利要求17所述的预涂方法，其中，所述去除所述孔单元内的所述预涂物至所述预涂阈值的步骤中，还包括：提供吸附件，覆盖于所述基板上的所述孔单元开口一侧，至所述孔单元内的所述预涂物为所述预涂阈值。
  20. 一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
    提供如权利要求16所述的生物芯片装置；
    提供具有漏孔的漏板，并将所述漏板覆盖于所述生物芯片装置上的孔单元开口一侧，使所述孔单元边缘至少与所述漏板上的一个漏孔相对应；
    设置刮件，所述刮件的边缘贴合于所述漏板上远离所述生物芯片装置的一侧，并能够相对于所述漏板移动；
    取预涂物，放置于所述刮件处，移动所述刮件推动所述预涂物在所述漏板上移动，所述预涂物的移动轨迹经过每个所述漏孔，并经由所述漏孔进入孔单元中。
  21. 一种生物芯片装置预涂方法，包括以下步骤：
    提供如权利要求16所述的生物芯片装置；
    提供印板，所述印板上设置有转印部位，在所述印板覆盖于所述生物芯片装置上的孔单元开口一侧时，所述印板与生物芯片装置的贴合部分位于所述转印部位内；
    取预涂物，将所述预涂物均匀设置于所述转印部位上；
    转印，将所述转印部位上设置有所述预涂物的所述印板覆盖于生物芯片装置上的孔单元开口一侧，并使所述预涂物从所述印板的所述转印部位转移至所述生物芯片装置的所述孔单元中，维持覆盖状态至所述孔单元内的所述预涂物达到预涂阈值。
  22. 一种成膜方法，包括：
    提供如权利要求16所述的生物芯片装置；
    将第一非极性介质布置于生物芯片装置内，于所述生物芯片装置的表面形成预涂膜层；
    将第一极性介质流动穿过所述生物芯片装置内，至少取代部分所述第一非极性介质；
    将第二非极性介质流动穿过所述生物芯片装置，至少取代部分所述第一极性介质，其中，所述第二非极性介质包含两亲性分子材料；
    将第二极性介质流动穿过所述生物芯片装置，至少取代部分所述第二非极性介质，并在所述第一极性介质和所述第二极性介质之间的界面形成膜层，其中，所述膜层包含两亲性分子材料。
  23. 根据权利要求22所述的成膜方法，其中，在将第二极性介质流动穿过所述生物芯片装置之前，还包括将空气流动穿过所述生物芯片装置，以至少取代部分所述第二非极性介质。
  24. 一种测序装置，所述测序装置包括如权利要求16所述的生物芯片装置和权利要求22所述的成膜方法制备的膜层。
PCT/CN2022/098558 2022-06-14 2022-06-14 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置 WO2023240427A1 (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2022/098558 WO2023240427A1 (zh) 2022-06-14 2022-06-14 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置
US18/204,573 US20230398544A1 (en) 2022-06-14 2023-06-01 Hole array layered structure, precoating method, membrane forming method and sequencing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2022/098558 WO2023240427A1 (zh) 2022-06-14 2022-06-14 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US18/204,573 Continuation US20230398544A1 (en) 2022-06-14 2023-06-01 Hole array layered structure, precoating method, membrane forming method and sequencing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023240427A1 true WO2023240427A1 (zh) 2023-12-21

Family

ID=89077813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2022/098558 WO2023240427A1 (zh) 2022-06-14 2022-06-14 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20230398544A1 (zh)
WO (1) WO2023240427A1 (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104918696A (zh) * 2012-10-26 2015-09-16 牛津楠路珀尔科技有限公司 膜阵列的形成及其装置
US20160361717A1 (en) * 2014-02-25 2016-12-15 Sophion Bioscience A/S Integrated polymer foil, patch-clamp array and membrane valves
WO2021078971A2 (en) * 2019-10-25 2021-04-29 Oxford Nanopore Technologies Limited Improved nanopore sensing device, components and method of manufacture
CN113426499A (zh) * 2021-07-08 2021-09-24 成都齐碳科技有限公司 微结构、生物芯片、成膜方法、基因测序装置及其应用
CN216208593U (zh) * 2021-10-08 2022-04-05 成都齐碳科技有限公司 分子膜成膜或表征器件、装置以及生物芯片
CN216337555U (zh) * 2021-04-30 2022-04-19 成都齐碳科技有限公司 孔阵列层结构、芯片装置和纳米孔测序装置
CN114460135A (zh) * 2022-01-10 2022-05-10 成都齐碳科技有限公司 成膜支架、生物芯片、装置、制备方法及其应用

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104918696A (zh) * 2012-10-26 2015-09-16 牛津楠路珀尔科技有限公司 膜阵列的形成及其装置
US20150265994A1 (en) * 2012-10-26 2015-09-24 Oxford Nanopore Technologies Ltd. Formation of array of membranes and apparatus therefor
CN109569458A (zh) * 2012-10-26 2019-04-05 牛津楠路珀尔科技有限公司 用于形成含极性介质的体积的阵列的装置
US20160361717A1 (en) * 2014-02-25 2016-12-15 Sophion Bioscience A/S Integrated polymer foil, patch-clamp array and membrane valves
WO2021078971A2 (en) * 2019-10-25 2021-04-29 Oxford Nanopore Technologies Limited Improved nanopore sensing device, components and method of manufacture
CN216337555U (zh) * 2021-04-30 2022-04-19 成都齐碳科技有限公司 孔阵列层结构、芯片装置和纳米孔测序装置
CN113426499A (zh) * 2021-07-08 2021-09-24 成都齐碳科技有限公司 微结构、生物芯片、成膜方法、基因测序装置及其应用
CN216208593U (zh) * 2021-10-08 2022-04-05 成都齐碳科技有限公司 分子膜成膜或表征器件、装置以及生物芯片
CN114460135A (zh) * 2022-01-10 2022-05-10 成都齐碳科技有限公司 成膜支架、生物芯片、装置、制备方法及其应用

Also Published As

Publication number Publication date
US20230398544A1 (en) 2023-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11084015B2 (en) Formation of array of membranes and apparatus therefor
US8100348B2 (en) Device for generating microspheres from a fluid, method of injecting at least one first fluid into a second fluid, and an injection plate
JP6684209B2 (ja) バイオチップ上に脂質二重層を形成するための方法
US7535692B2 (en) Multilevel structured surfaces
KR102018485B1 (ko) 세퍼레이터의 제조 방법
KR20200015620A (ko) 시퀀싱을 위한 디바이스
WO2003103836A1 (en) Methods and devices for microfluidic extraction
JP2015508164A (ja) 両親媒性分子の層の配列を支持する装置および両親媒性分子の層の配列を形成する方法
US8883014B2 (en) Monolithically formed EWOD device and method of making the same
CN113426499B (zh) 微结构、生物芯片、成膜方法、基因测序装置及其应用
WO2023240427A1 (zh) 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及测序装置
CN114460135A (zh) 成膜支架、生物芯片、装置、制备方法及其应用
US20120238474A1 (en) Probe array base, method for manufacturing probe array base, method for manufacturing probe array
JP6924263B2 (ja) ビード集積システム（ｂｅａｄ ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ）を備えたマイクロ流体チップ
CN114751363B (zh) 孔阵列层结构、预涂方法、成膜方法及相关装置
US9176030B2 (en) Substrate and target plate
CN113070113B (zh) 芯片结构、成膜方法、纳米孔测序装置及应用
US9671441B2 (en) Microstructure device for measuring molecular membranes and a method for producing said microstructure device
Osaki et al. Towards artificial cell array system: Encapsulation and hydration technologies integrated in liposome array
JP2012205537A (ja) マイクロ流体デバイス
US20100104459A1 (en) Micropump actuated by droplets
WO2023122883A1 (zh) 成膜装置及成膜方法
WO2019142784A1 (ja) 脂質二重膜形成用隔壁及びその製造方法
US7291003B1 (en) Micromachined spinneret
US8282196B2 (en) Micro electro mechanical system device and method of manufacturing the same

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22946127

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1