WO2023163245A1 - 엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치 - Google Patents

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WO2023163245A1
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light emitting
electrode
light
excimer lamp
auxiliary
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PCT/KR2022/002723
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조훈
장성재
김성진
김창환
송강섭
윤주영
하영덕
김은식
정홍채
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엘지전자 주식회사
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Definitions

  • An excimer lamp includes a light emitting tube for emitting light; a first electrode provided outside the light emitting tube; a second electrode provided outside the light emitting tube in a direction opposite to the first electrode; and an auxiliary light emitting body electrically connected to the first electrode and the second electrode and emitting light toward the light emitting tube when a voltage is applied to the first and second electrodes.
  • a light irradiation device includes a case; and an excimer lamp accommodated in the case, wherein a light transmission portion is formed in the case so that the light emitted from the light emitting tube is radiated to the outside.
  • the auxiliary light emitting element when a voltage is applied to the first and second electrodes for the discharge of the light emitting tube, the auxiliary light emitting element is simultaneously induced to discharge, thereby omitting a separate space and circuit configuration for the auxiliary light emitting element to discharge. Accordingly, there is an advantage in that the excimer lamp and the light irradiation device including the same can be more miniaturized and manufacturing costs can be further reduced.
  • FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the excimer lamp of FIG. 1 viewed from the front;
  • FIG. 3 is a longitudinal cross-sectional view of the excimer lamp of FIG. 1 viewed from the side;
  • FIG. 6 is a plan view of the excimer lamp shown in FIG. 5;
  • FIG. 10 is a perspective view of an excimer lamp excluding the case of the light irradiation device disclosed in FIG. 9;
  • FIG. 11 is a plan view of the excimer lamp shown in FIG. 10;
  • Fig. 13 is a cross-sectional view of first and second electrodes constituting an excimer lamp
  • FIG. 15 is a perspective view of an excimer lamp excluding a case from the light irradiation device of FIG. 14;
  • FIG. 16 is a plan view of the excimer lamp shown in FIG. 15;
  • FIG. 17 is a cross-sectional side view of the excimer lamp shown in FIG. 15;
  • FIG. 21 is a cross-sectional view of first and second electrodes constituting the excimer lamp shown in FIG. 19;
  • FIG. 24 is a plan view of the excimer lamp shown in FIG. 22;
  • 26 is a plan sectional view of the light irradiation device shown in FIG. 25;
  • FIG. 30 is a longitudinal cross-sectional view of a light irradiation device according to another embodiment of the present invention viewed from the front;
  • the excimer lamp 110 includes a light emitting tube 111 having an internal space in which discharge gas is enclosed and emitting light during dielectric barrier discharge, and the light emitting tube 111 ), and a second electrode 113 provided on the top of the light emitting tube 111 to face the first electrode 112.
  • the first electrode 112 may be disposed on the opposite side of the light transmitting portion 120a of the case 120, and thus the second electrode 113 may be disposed on the side of the light transmitting portion 120a.
  • the first electrode 112 may be provided at the center of the light emitting tube 111, and the second electrode 113 is emitted from the light emitting tube 111 to the outside through the light transmitting part 120a. It may be provided at both ends of the light emitting tube 111 so as not to interfere with the light irradiated thereto.
  • first connection groove 112a and a second connection groove 113a respectively, in which a part of the outer surface of the light emitting tube 111 is inserted and brought into contact with the first electrode 112 and the second electrode 113 can be formed
  • the light emitting tube 111 is supported in contact with the first electrode 112 and the second electrode 113 in such a way that it is inserted into the first connection groove 112a and the second connection groove 113a, The contact area between the first electrode 112 and the second electrode 113 is widened. As a result, the light emitting tube 111 can be connected and fixed to the electrodes 112 and 113 more stably and firmly.
  • the first connection groove 112a is made of a material capable of reflecting light and can form a reflective surface, and the light emitted from the light emitting tube 111 passes through the first connection groove 112a again. It may be reflected into the light emitting tube 111. Therefore, among the light emitted from the light-emitting tube 111, the light emitted in a direction other than the light-transmitting portion 120a and lost is reflected back into the light-emitting tube 111 and then emitted toward the light-transmitting portion 120a. , the light emission efficiency of the light emitting tube 111 can be improved.
  • the second connection groove 113a may also be formed as a reflective surface like the first connection groove 112a, but unlike the first connection groove 112a, it may not be formed as a reflective surface.
  • the light transmission portion 120a of the case 120 may be formed as an opening.
  • a window 121 formed of a light-transmitting material may be provided in the light-transmitting part 120a to protect internal components and block the introduction of foreign substances.
  • a filter 122 filtering light emitted from the light emitting tube 111 and passing through the window 121 may be provided.
  • the filter 122 is disclosed as being made of a filter layer formed on the window 121, but is not limited thereto, and may be made of a separate member and attached to the window, or the window itself may be made of a filter. there is.
  • the filter 122 may be a short pass filter, a long pass filter, a band pass filter, a density filter, etc. depending on the purpose of use, but It is not limited to this.
  • the intensity of the light may be filtered so that it has a wavelength within 240 nm, and thus is finally emitted outside the light irradiation device 10.
  • the irradiated light may have a wavelength within 240 nm that is harmless and safe to the human body.
  • FIG. 9 is a longitudinal cross-sectional view of a light irradiation device according to another embodiment of the present invention viewed from the front
  • FIG. 10 is a perspective view of an excimer lamp excluding the case of the light irradiation device disclosed in FIG. 9, and
  • FIG. 11 is an excimer lamp disclosed in FIG. A plan view of the lamp
  • FIG. 12 is a side cross-sectional view of the excimer lamp shown in FIG. 10
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of first and second electrodes constituting the excimer lamp.
  • first connection groove 212a may be formed in the first electrode 212
  • second connection groove 213a may be formed in the second electrode 213 .
  • the first connection groove 212a may be formed as a reflective surface made of a material that reflects light emitted from the light emitting tube 211 as described above.
  • the second connection groove 213a may also be formed as a reflective surface like the first connection groove 212a, but unlike the first connection groove 212a, it may not be formed as a reflective surface.
  • the light irradiation device 20 of this embodiment extends obliquely from the end of the first connection groove 212a and transmits the light emitted from the light emitting tube 211 to the light transmission part 220a. It may further include a reflection unit 212b that reflects as . Like the first connection groove 212a, the reflection part 212b may be formed as a reflective surface made of a material that reflects light.
  • the light irradiation device 20 of this embodiment transmits the light through the first electrode 212 and the second electrode 213, and the first connection groove 212a and the second connection groove 213a.
  • the light emitting tube 211 can be connected and fixed stably and firmly.
  • the light emitted in a direction other than the light transmission part 220a and lost is reflected toward the light transmission part 220a, thereby improving light efficiency. can improve
  • the light irradiation device 20 of this embodiment may also include a window 221 in the light transmitting portion 220a, and may include a filter 222 in the window 221, as in the above-described embodiment. , A detailed description thereof will be omitted since it is the same as that of the above-described embodiment.
  • FIG. 14 is a longitudinal cross-sectional view of a light irradiation device according to another embodiment of the present invention viewed from the front
  • FIG. 15 is a perspective view of an excimer lamp excluding a case from the light irradiation device of FIG. 14, and
  • FIG. 16 is an excimer lamp illustrated in FIG. A plan view of the lamp
  • FIG. 17 is a side cross-sectional view of the excimer lamp shown in FIG. 15, and
  • FIG. 18 is a cross-sectional view of first and second electrodes constituting the excimer lamp shown in FIG.
  • the light irradiation device 30 according to the first and still another embodiment of the present invention, similar to the light irradiation devices 10 and 20 according to the previous embodiment, by dielectric barrier discharge
  • a case 120 having an excimer lamp 110 emitting light and a light transmitting portion 120a for receiving the excimer lamp 110 and irradiating light emitted from the excimer lamp 110 to the outside.
  • the excimer lamp 110 constituting the light irradiation device 30 according to the present embodiment further includes an auxiliary light emitting element 114 .
  • the auxiliary light emitting element 114 is electrically connected to the first electrode 112 and the pair of second electrodes 113, and when a voltage is applied to the first and second electrodes 112 and 113, the light is emitted. Light is emitted toward the tube 111 side.
  • a first auxiliary connection groove 112b into which a part of the outer surface of the auxiliary light emitting element 114 is inserted into contact may be formed in the first electrode 112, and the first auxiliary connection groove 112b may be formed in the second electrode 113 ( 112b) may be formed to face the second auxiliary connection groove (113b). Accordingly, the central portion of the auxiliary light emitting element 114 may be fixedly supported while being electrically connected to the first electrode 112 through the first auxiliary connection groove 112b. In addition, both ends of the auxiliary light emitting element 114 may be fixed while being electrically connected to the second electrode 113 through the second auxiliary connection groove 113b opposite to the first auxiliary connection groove 112b. . Therefore, the auxiliary light emitting element 114 can be stably fixed while being electrically connected to the first and second electrodes 112 and 113 .
  • the auxiliary light emitting element 114 may be formed in the form of a tube having a cross-section of any one of a circle, an ellipse, and a polygon. A discharge gas may be enclosed. Any material that can transmit light by dielectric barrier discharge is sufficient as the material of the auxiliary light emitting element 114, and various materials can be applied without being limited to the type of material. Of course, if the cross-sectional shape of the auxiliary light emitting element 114 is changed, the corresponding shape of the first auxiliary connection hole 112b and the second auxiliary connection hole 113b may also be changed.
  • a plurality of light emitting tubes 111 are arranged side by side with each other, the auxiliary light emitting body 114 is provided between the plurality of light emitting tubes 111, and the first auxiliary connection groove 112b And it has been disclosed that the second auxiliary connection grooves 113b are provided between the plurality of first connection grooves 112a and between the plurality of second connection grooves 113a, but are not limited thereto.
  • the auxiliary light emitting body 114 when voltages of different regions are applied to the first and second electrodes 112 and 113, the auxiliary light emitting body 114 is illuminated by an electric field generated between the first and second electrodes 112 and 113. causes a dielectric barrier discharge.
  • the light emitted from the auxiliary light emitting body 114 by the dielectric barrier discharge is irradiated toward the light emitting tube 111, and energy can be supplied to the discharge gas existing in the inner space of the light emitting tube 111. Accordingly, by accelerating the ionization of the discharge gas inside the light emitting tube 111, starting characteristics of the excimer lamp 110 may be increased and lighting properties may be improved.
  • the light emitted from the auxiliary light emitting element 114 has the same wavelength region as the light emitted from the light emitting tube 111, and accordingly, by increasing the amount of light emitted to the outside through the light emitting tube 111, the light emitted from the light emitting tube 111 is increased. Irradiation performance and efficiency can be improved.
  • the auxiliary light emitting element 114 is provided in the space between the first and second electrodes 112 and 113 and emits light through the electric field of the first and second electrodes 112 and 113, the A separate space for installing the auxiliary light emitting element 114 and a separate device and circuit configuration are not required. Accordingly, since there is no need to increase the size of the excimer lamp 110 and the light irradiation device 10 including the excimer lamp 110 and the light irradiation device 10 including the same in order to increase the starting characteristics, miniaturization of the excimer lamp 110 and the light irradiation device 10 including the same can be done and the manufacturing cost can be reduced.
  • a conductive material 119 may be provided inside the auxiliary light emitting body 114 .
  • the conductive material 119 may be formed of a metal wire extending in a longitudinal direction (axial direction) of the auxiliary light emitting element 114 from the inside of the auxiliary light emitting element 114 .
  • the metal wire may include at least one of getter-based materials such as tantalum (Ta), zirconium (Zr), and hafnium (Hf).
  • the conductive material 119 is provided inside the auxiliary light emitting element 114, the starting and lighting characteristics of the auxiliary light emitting element 114 are improved, so that the starting and lighting characteristics of the light emitting tube 111 can be improved. That is, the conductive material 119 is provided inside the auxiliary light emitting element 114 to increase the degree of vacuum inside the auxiliary light emitting element 114 or the purity of the encapsulating gas, and to absorb unnecessary exhaust gas generated during lighting, so that the auxiliary light emitting element 114 ) It is possible to improve starting and lighting characteristics and increase the lifespan of the auxiliary light emitting element 114 .
  • the first electrode 112 may be disposed on the opposite side of the light transmitting portion 120a of the case 120 with respect to the light emitting tube 111, and the second electrode 113 is the light emitting tube 111. It may be disposed on the side of the transmission part 120a.
  • the first electrode 112 may be provided at the center of the light emitting tube 111, and the pair of second electrodes 113 are provided at both ends of the light emitting tube 111 to emit light. Light emitted from the tube 111 and irradiated to the outside through the light transmission portion 120a may not be interfered with.
  • the first electrode 112 is provided at the lower center of the light emitting tube 111 and the second electrode 113 is provided at the upper edge of the light emitting tube 111, respectively, so that the light emitting tube 111
  • the lower part of the tube 111 may be fixedly supported by the first electrode 112
  • both ends of the upper part of the light emitting tube 111 may be fixedly supported by the second electrode 113 .
  • first connection groove 112a and the second connection groove 113a may be made of a material capable of reflecting light to form a reflective surface, and thus the light emitted from the light emitting tube 111 Light reflected from the first connection groove 112a and the second connection groove 113a may be irradiated into the light emitting tube 111 again. Therefore, among the light emitted from the light-emitting tube 111, the light emitted in a direction other than the light-transmitting portion 120a and lost is reflected back into the light-emitting tube 111 and then re-emitted toward the light-transmitting portion 120a. By doing so, the light emitting efficiency of the light emitting tube 111 can be increased.
  • the first electrode 112 may include a reflection part 112c obliquely extending from an end of the first connection groove 112a, and the reflection part 112c may include a reflection part 112c.
  • a reflective surface made of a material that reflects light may be formed. Accordingly, among the light emitted from the light emitting tube 111 through the reflection part 112c, the light emitted in a direction other than the light transmitting part 120a and thus lost is reflected toward the light transmitting part 120a, thereby increasing light efficiency. can improve
  • the same filter as presented in the previous embodiment may be provided to the window 121 provided in the light transmission portion 120a.
  • FIG. 19 is a front view of an excimer lamp constituting a light irradiation device according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 20 is a plan view of the excimer lamp disclosed in FIG. 19
  • FIG. 21 constitutes the excimer lamp disclosed in FIG. 19 A cross-sectional view of the first and second electrodes.
  • the excimer lamp 210 constituting the light irradiation device includes at least one pair of light-emitting tubes 211 and the light-emitting
  • a first electrode 212 provided at the lower center of the tube 211, a pair of second electrodes 213 provided at the upper edge of the light-emitting tube 211, and the at least one pair of light-emitting tubes 211 ) may include an auxiliary light emitting element 214 disposed between them.
  • the auxiliary light emitting body 214 is electrically connected to the first and second electrodes 212 and 213, and when a voltage is applied to the first and second electrodes 212 and 213, the light emitting tube 211 side. emits light
  • a first connection groove 212a and a second connection groove 213a are formed in the first electrode 212 and the second electrode 213, respectively. It can be.
  • an auxiliary connection portion 213b extending and protruding toward the first electrode 212 is formed on the second electrode 213.
  • a second auxiliary connection hole 213c opposite to the first auxiliary connection hole 212b formed in the first electrode 212 may be formed in the auxiliary connection part 213b. That is, the second auxiliary connection groove 213c is formed on the bottom surface of the auxiliary connection part 213b, and the second auxiliary connection groove 213c faces the first auxiliary connection groove 212b.
  • both ends of the auxiliary light emitting element 214 of the present embodiment are inserted into and supported by the pair of second auxiliary connection grooves 213c formed in the pair of auxiliary connection parts 213b. Also, the central portion of the auxiliary light emitting element 214 is inserted into and contacted with the first auxiliary connection groove 212b to be supported. The length of the auxiliary light emitting element 214 is reduced by the auxiliary connection part 213b, thereby reducing the manufacturing cost of the auxiliary light emitting element.
  • the excimer lamp 210 according to the present embodiment and the light irradiation device including the excimer lamp 210 also have the structure of the above-described embodiment other than the above-described structure, for example, the structure of the case having the light transmission part, the window and / or the filter provided in the light transmission part
  • the structure, the structure of the reflection part, the conductive material, etc. may be equally applied, and since this is a part that can be easily applied by those skilled in the art, a redundant description thereof will be omitted.
  • FIG. 22 is a perspective view of an excimer lamp constituting a light irradiation device according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 23 is a front view of the excimer lamp shown in FIG. 22
  • FIG. 24 is a plan view of the excimer lamp shown in FIG. 22 am.
  • the excimer lamp 310 constituting the light irradiation device includes at least one pair of light-emitting tubes 311 and the A first electrode 312 provided at the lower center of the at least one pair of light-emitting tubes 311 and a pair of second electrodes 313 provided at the upper edge of the at least one pair of light-emitting tubes 311 can do.
  • the auxiliary light emitting element 314 emitting light to the light emitting tube 311 is disposed in a direction crossing the light emitting tube 311 and a pair of auxiliary light emitting elements 314 are spaced apart in the longitudinal direction of the light emitting tube 311.
  • the central axes of the pair of auxiliary light emitting elements 314 are disposed in a direction crossing the central axis of the light emitting tubes 311, and the light emitted from the light emitting tubes 311 smoothly goes outside. It is electrically connected to the first electrode 312 and the second electrode 313 at the bottom of the light emitting tube 311 so as to be irradiated.
  • a second electrode extension 313a extending to a lower end of the first electrode 312 may be formed on the second electrode 313 .
  • a first electrode end 312a protrudes from a side surface of the first electrode 312 facing the second electrode extension 313a, and the first electrode end 312a is formed on the second electrode extension 313a.
  • a second electrode end 313b facing 312a) may be formed.
  • the auxiliary light emitting element 314 of this embodiment is disposed between the first electrode end 312a and the second electrode end 313b, and the first electrode end 312a and the second electrode end 312a (313b) and may be provided to be contactable.
  • the auxiliary light emitting element 314 of this embodiment is electrically connected to the first and second electrodes 312 and 313 through the first electrode end 312a and the second electrode end 313b and is fixedly supported.
  • the auxiliary light emitting element 314 causes dielectric barrier discharge.
  • light emitted from the auxiliary light emitting body 314 through dielectric barrier discharge is irradiated toward the light emitting tube 311, and energy can be supplied to the discharge gas inside the light emitting tube 311.
  • the excimer lamp 310 and the light irradiation device including the excimer lamp 310 of the present embodiment also have the structure of the first embodiment other than the above-described structure, that is, the structure of the case having the light transmission part, the window and / or the filter provided in the light transmission part
  • the structure, structure of the reflection unit, conductive material, etc. may be similarly applied, and since this is a part that can be easily applied by those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.
  • FIG. 25 is a cross-sectional side view of a light irradiation device according to another embodiment of the present invention
  • FIG. 26 is a planar cross-sectional view of the light irradiation device disclosed in FIG. 25
  • FIG. 27 is a perspective view of the light irradiation device disclosed in FIG. 25 .
  • the excimer lamp 410 of this embodiment also, like the previous embodiment, the light emitting tube 411, the first electrode 412 provided in the lower center of the light emitting tube 411, and the light emitting tube 411 ) may include at least one pair of second electrodes 413 respectively provided on upper edges, and an auxiliary light emitting body 414 electrically connected to the first and second electrodes 412 and 413.
  • the auxiliary light emitting element 414 emits light toward the light emitting tube 411 when a voltage is applied to the first and second electrodes 412 and 413 .
  • first connection hole 412a and a second connection hole 413a may be formed in the first and second electrodes 412 and 413, respectively, and a window is formed in the light transmission part 420a of the case 420. (421) may be provided.
  • the auxiliary light emitting element 414 of this embodiment is accommodated in the receiving groove 420b formed on the inner side surface of the case 420 to the first and second electrodes 412 and 413. can be electrically connected.
  • the first electrode 412 and the second electrode 413 are disposed side by side at points spaced apart by a predetermined interval in the length direction of the light emitting tube 411 .
  • the accommodating groove 420b is formed on the side surface of the case 420 having a surface parallel to the longitudinal direction of the light emitting tube 411, and the auxiliary light emitting body 414 is accommodated in the accommodating groove 420b.
  • a portion of the outer circumferential surface of the auxiliary light emitting element 414 exposed to the outside of the accommodating groove 420b is spaced apart in the longitudinal direction of the light emitting tube 411 and the first and second electrodes 412 and 413 disposed side by side. ) and can be electrically connected.
  • the structure of the above-described embodiment that is, the structure of the filter provided in the window 421, the reflector 412b, the conductive material, etc. may be similarly applied to the light irradiation device 40 of the present embodiment, except for the above-described structure, A structure in which an additional storage groove and an auxiliary light emitting element are applied to the inner surface of the case opposite to the storage groove 420b may be applied, and since this is a part that can be easily applied by those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.
  • the light irradiation device 50 like the above-described embodiment, includes an excimer lamp 510, the excimer lamp 510 is accommodated, and the excimer lamp 510 ) may include a case 520 having a light transmission part 520a for irradiating light emitted from the outside.
  • the excimer lamp 510 includes a light emitting tube 511, a first electrode 512 provided at the lower center of the light emitting tube 511, and an upper edge of the light emitting tube 511, respectively. At least one pair of second electrodes 513 may be included.
  • the auxiliary light emitting element 514 emitting light to the light emitting tube 511 is disposed in a direction crossing the light emitting tube 511, and at least Two auxiliary light emitting elements 514 are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the light emitting tube 511 .
  • the auxiliary light emitting element 514 is provided under the light emitting tube 511 so that the light emitted from the light emitting tube 511 is smoothly radiated to the outside, and is electrically connected to the first and second electrodes 512 and 513. connected to
  • First electrode ends 512a protrude from both side surfaces of the first electrode 512 . Both sides of the first electrode 512 mean two sides facing the second electrode 513 .
  • a second auxiliary electrode 515 electrically connected to the second electrode 513 may be provided at one side of the first electrode end 512a. Specifically, in the auxiliary light emitting element 514, the first electrode end 512a and the second auxiliary electrode 515 are disposed.
  • a storage groove 520b into which a part of the auxiliary light emitting element 514 is inserted may be formed on the bottom surface of the case 520 where the auxiliary light emitting element 514 is placed, and the auxiliary light emitting element (520b) 514), the auxiliary light emitting member 514 may be more stably fixed and supported.
  • the structure of the above-described embodiment that is, the structure of the filter provided in the window 521, the reflection unit, the conductive material, etc. may be similarly applied to the light irradiation device 50 of the present embodiment, except for the above-described structure, which can be applied similarly to those skilled in the art. Since it is a part that can be easily applied, a detailed description thereof will be omitted.
  • FIG. 30 is a longitudinal cross-sectional view of a light irradiation device according to another embodiment of the present invention viewed from the front.
  • the light irradiation device 60 similar to the above-described embodiment, includes an excimer lamp 610 and the excimer lamp 610, and emits light from the excimer lamp 610.
  • a case 620 having a light transmission portion 620a for irradiating emitted light to the outside may be included.
  • the excimer lamp 610 includes a light-emitting tube 611, a first electrode 612 provided at the lower center of the light-emitting tube 611, and an upper edge of the light-emitting tube 611, respectively. At least one pair of second electrodes 613 may be included.
  • the auxiliary light emitting element 614 emitting light to the light emitting tube 611 is the case 620 facing the longitudinal end of the light emitting tube 611. ) Is provided with a spaced on the inner side of the. That is, the auxiliary light emitting element 614 of this embodiment is placed in a direction crossing the light emitting tube 611, and the light emitted from the light emitting tube 611 is smoothly radiated to the outside. It is provided with a spaced apart longitudinal end.
  • a first auxiliary electrode 615 electrically connected to the first electrode 612 and a second auxiliary electrode 616 electrically connected to the second electrode 613 are placed up and down. It may be provided to face each other in the direction. Also, the auxiliary light emitting element 614 is disposed between the first auxiliary electrode 615 and the second auxiliary electrode 616 .
  • the structure of the above-described embodiment that is, the structure of the filter provided in the window 621, the reflector, the conductive material, etc. may be similarly applied to the light irradiation device 60 of the present embodiment, except for the above-described structure, which can be applied similarly to those skilled in the art. Since it is a part that can be easily applied, a detailed description thereof will be omitted.

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  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예들은 간편하고 용이한 구조로 광 효율을 향상시킬 수 있어 소형화가 가능하고 광 조사 성능을 향상할 수 있는 엑시머 램프 및 이를 구비하는 광 조사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 램프는, 광을 방출하는 발광관; 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 1 전극; 및 상기 제 1 전극과 대향되도록 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 2 전극을 포함하고, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 상기 엑시머 램프를 수용하는 케이스를 포함하고, 상기 케이스에는 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되는 광 투과부가 형성된다. [대표도] 도 5

Description

엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치
본 발명의 실시예들은 엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치에 관한 것이다.
최근에 자외선을 이용한 광 조사 장치는 산업, 환경, 의료, 살균 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이러한 광 조사 장치에 사용되는 광원 중, 엑시머 램프는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)을 이용한 램프의 일 종류이다. 유전체 배리어 방전이란, 절연 유전체에 의해 분리된 두 전극 사이에 발생하는 방전을 의미한다. 그리고, 상기 엑시머 램프는 이 방전을 통해 광을 방출하여 조사하는 램프이다.
이 중 종래의 외부 전극형 엑시머 램프는 구성이 간단하여 제작비용이 저렴한 장점이 있다. 그리고, 다수의 발광관을 사용할 수 있어 광 효율이 높고, 발광관의 배열 방식에 따라 평면 형태의 광원으로 구성할 수 있는 장점을 가지고 있다.
도 1은 종래의 외부 전극형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 엑시머 램프를 정면에서 바라본 종단면도이며, 도 3은 도 1의 엑시머 램프를 측면에서 바라본 종단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 종래 외부 전극형 엑시머 램프는 내부 공간(S)에 방전 가스를 봉입한 발광관(1)과, 상기 발광관(1)의 길이방향을 따라 상기 발광관(1)의 하부에 분리 또는 전기적으로 절연되어 구비되는 적어도 하나의 제 1 전극(2)과, 복수의 제 2 전극(3)을 포함한다.
상세히, 상기 발광관(1)은 복수로 배열되어 평면 광원 구조로 구성될 수 있으며, 상기 제 1 및 제 2 전극(2, 3)은 상기 발광관(1)의 길이방향을 따라 교번하여 배치될 수 있다. 상기 방전공간(S)에는 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하기 위한 방전용 가스가 충전된다. 상기 제 1 및 제 2 전극(2, 3)에 고주파 및 고전압의 전원이 인가됨으로써 엑시머 방전이 발생되고, 엑시머 방전에 의해 상기 발광관(1)의 외부로 광이 방출된다. 이때, 방출된 광의 파장에 따라 광 세정, 공기 정화, 표면 개질, 피부 치료, 살균 소독 등 다양한 용도로 사용된다.
그러나, 종래 외부 전극형 엑시머 램프를 이용한 광 조사 장치는 벽면 또는 천장에 설치되는 경우가 많다. 이에 따라 상기 발광관(1)의 하중 또는 조립 공차에 의해 상기 발광관(1)과 상기 제 1 및 제 2 전극(2, 3)이 상호 분리되어 광 효율이 저하되는 문제점이 있었다.
이러한 광효율 저하 문제를 개선하기 위하여, 광 조사 장치 내부에서 상기 발광관(1) 상부에 별도의 누름 부재를 구비하여 상기 누름 부재의 탄성력을 통해 상기 발광관(1)과 상기 제 1제 1 및 제 2 전극(2, 3) 사이의 접촉을 유지하였다. 그러나, 이러한 구조는 다음과 같은 문제점을 안고 있다.
먼저, 종래 외부 전극형 엑시머 램프 구조에서는, 상기 발광관(1)의 상부에 설치되는 누름 부재는 종래에 두께가 얇은 금속 재질의 탄성을 갖는 부재가 적용되었다. 이러한 누름 부재를 상기 발광관(1) 상부에 설치할 경우, 엑시머 램프 점등 시 상기 발광관(1)에서 발생하는 열에 노출된다. 그리고, 상기 발광관(1)에서 발생하는 열에 장시간 노출되면, 상기 누름 부재의 탄성력이 저하되어, 상기 발광관(1)과 상기 제 1 및 제 2 전극(2, 3) 사이의 접촉 상태가 유지되기 어려운 문제점이 있었다.
이러한 문제를 개선하기 위해, 상기 누름 부재의 두께를 증가시키거나 광 조사 장치에 냉각을 위한 별도의 구조를 추가할 수 있으나, 추가적인 설계 구조 및 별도의 설치 공간에 의하여 광 조사 장치의 크기가 증가하고 제작 비용이 상승하는 문제점이 있다.
그리고, 종래 외부 전극형 엑시머 램프의 제 1 및 제 2 전극(2, 3)은 초기 전자를 방출할 수 없는 비 예열형이기 때문에, 외부에서 도입되는 빛 또는 전자와 방사선 등을 초기 전자로 사용할 수 밖에 없다. 또한, 종래 외부 전극형 엑시머 램프는 광 조사 장치 내부에 배치되어, 외부로부터 차폐된 상태로 사용되는 경우가 많다. 이로 인하여 저온 환경이나 암흑 환경에서 시동 특성이 좋지 않아 방전 개시까지 장시간이 요구된다. 따라서, 점등 지연 또는 점등 불량 등의 문제점을 안고 있다.
이를 개선하기 위하여 엑시머 램프의 일측에 소형 방전 램프 또는 LED를 포함하는 별도의 보조 광원을 구비하고, 상기 보조 광원으로부터 엑시머 램프에 광을 조사하는 방법이 채택되고 있다. 그러나, 이와 같은 경우 상기 보조 광원으로부터 외부로 방출되는 광의 노출을 차폐하는 추가적인 구조와, 보조 광원을 위한 별도의 설치 공간, 그리고 보조 광원에 전원을 공급하기 위한 별도의 회로 구성 등 추가적인 설계가 필요하므로, 광 조사 장치의 크기가 증가하고 제작 비용이 상승하는 문제점이 있다.
또한, 상기 보조 광원으로부터 방출되는 광 파장이 상기 엑시머 램프로부터 방출되는 광 파장에 혼합 간섭되어 엑시머 램프로부터 조사되는 광에 얼룩이 발생하는 문제점이 있다.
[선행기술 문헌]
대한민국 등록특허공보 제 10-1949001호 (2019.02.11.)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 제안된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 램프는, 광을 방출하는 발광관; 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 1 전극; 및 상기 제 1 전극과 대향되는 방향으로 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 2 전극을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 램프는, 광을 방출하는 발광관; 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 1 전극; 상기 제 1 전극과 대향되는 방향으로 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 2 전극; 및 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 제 1 및 제 2 전극에 전압이 인가되면 상기 발광관 쪽으로 광을 방출하는 보조 발광체를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 케이스; 및 상기 케이스 내에 수용되는 엑시머 램프를 포함하고, 상기 케이스에는, 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되도록 하는 광 투과부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 케이스; 및 상기 케이스 내에 수용되며 보조 발광체를 가지는 엑시머 램프를 포함하고, 상기 케이스의 내부 바닥 또는 측면에는, 상기 보조 발광체를 수용하는 수납홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 케이스; 및 상기 케이스 내에 수용되며, 보조 발광체와, 상기 보조 발광체와 접촉하는 제 1 및 제 2 보조 전극을 가지는 엑시머 램프를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 보조 전극은 상기 케이스의 내부 측면에서 나란하게 돌출되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 제 1 전극과 제 2 전극에 의하여, 상기 발광관이 견고하게 고정 및 지지될 수 있다. 그 결과, 광 조사 장치의 배치 구조에 상관없이 발광관과 전극 사이의 접촉이 효과적으로 유지될 수 있으며, 광 효율 저하가 방지되고 광 조사 성능이 향상되는 장점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관과 제 1 및 제 2 전극 사이의 접촉을 유지하기 위한 누름 부재를 추가적으로 설치할 필요가 없는 장점이 있다. 그 결과, 누름 부재의 추가적인 설계 및 별도의 설치 공간이 요구되지 않을 뿐 아니라, 누름 부재의 냉각을 위한 추가적인 구조가 요구되지 않아, 광 조사 장치의 소형화가 가능하고 제작비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 보조 발광체를 통하여 발광관과 동일한 파장 영역을 갖는 광을 발광관 내부로 공급하여 발광관 내부의 가스 이온화를 촉진함으로써, 엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치의 시동 특성과 광 조사 효율을 향상할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관과 제 1 및 제 2 전극 사이의 접촉을 효과적이고 안정적으로 유지할 수 있어, 광 효율을 향상시킬 수 있다. 그리고, 누름 부재를 설치하기 위한 별도의 공간 및 추가적인 냉각 구조가 필요하지 않아, 엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치를 소형화할 수 있고 제작 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관의 방전을 위하여 제 1 및 제 2 전극에 전압 인가 시 보조 발광체의 방전을 동시에 유도함으로써, 보조 발광체의 방전을 위한 별도의 공간 및 회로 구성을 생략할 수 있으며, 이에 따라 엑시머 램프 및 이를 포함하는 광 조사 장치를 보다 소형화할 수 있고 제작 비용을 보다 절감할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래의 외부 전극형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 엑시머 램프를 정면에서 바라본 종단면도.
도 3은 도 1의 엑시머 램프를 측면에서 바라본 종단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도.
도 5는 도 4에 개시되는 광조사 장치의 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도.
도 6은 도 5에 개시된 엑시머 램프의 평면도.
도 7은 도 5에 개시된 엑시머 램프의 측단면도.
도 8은 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도.
도 10은 도 9에 개시된 광조사 장치의 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도.
도 11은 도 10에 개시된 엑시머 램프의 평면도.
도 12는 도 10에 개시된 엑시머 램프의 측단면도.
도 13은 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도.
도 14는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도.
도 15는 도 14의 광 조사 장치에서 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도.
도 16은 도 15에 개시된 엑시머 램프의 평면도.
도 17은 도 15에 개시된 엑시머 램프의 측단면도.
도 18은 도 15에 개시된 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도.
도 19는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프의 정면도.
도 20은 도 19에 개시되는 엑시머 램프의 평면도.
도 21은 도 19에 개시되는 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도.
도 22는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프의 사시도.
도 23은 도 22에 개시되는 엑시머 램프의 정면도.
도 24는 도 22에 개시되는 엑시머 램프의 평면도.
도 25는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치의 측단면도.
도 26은 도 25에 개시되는 광 조사 장치의 평단면도.
도 27은 도 25에 개시되는 광조사 장치의 사시도.
도 28은 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치의 정면도.
도 29는 도 28에 개시되는 광 조사 장치의 평면도.
도 30은 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도이고, 도 5는 도 4에 개시되는 광조사 장치의 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도이고, 도 6은 도 5에 개시된 엑시머 램프의 평면도이고, 도 7은 도 5에 개시된 엑시머 램프의 측단면도이고, 도 8은 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 광 조사 장치(10)는, 유전체 배리어 방전에 의해 광을 방출하는 엑시머 램프(110)와, 상기 엑시머 램프(110)가 내부에 구비되며 상기 엑시머 램프(110)로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(120a)를 갖는 케이스(120)를 포함할 수 있다.
보다 상세하게, 도 5 내지 도 8을 참조하면, 상기 엑시머 램프(110)는, 방전가스가 봉입되는 내부 공간을 가지며 유전체 배리어 방전 시 광을 방출하는 발광관(111)과, 상기 발광관(111)의 하부에 구비되는 제 1 전극(112)과, 상기 제 1 전극(112)과 대향되도록 상기 발광관(111)의 상부에 구비되는 제 2 전극(113)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 전극(112)은 상기 케이스(120)의 광 투과부(120a)의 반대측에 배치될 수 있고, 이에 따라 상기 제 2 전극(113)은 상기 광 투과부(120a) 측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 전극(112)은 상기 발광관(111)의 중앙에 구비될 수 있고, 상기 제 2 전극(113)은 상기 발광관(111)으로부터 방출되어 상기 광 투과부(120a)를 통해 외부로 조사되는 광과 간섭되지 않도록 상기 발광관(111)의 양 단부에 구비될 수 있다.
즉, 상기 제 1 전극(112)은 상기 발광관(111)의 하부 중앙에 구비되고 상기 제 2 전극(113)은 상기 발광관(111)의 상부 가장자리에 각각 구비될 수 있다. 그 결과, 상기 발광관(111)의 하부 중앙은 상기 제 1 전극(112)에 의해 고정 지지되고, 상기 발광관(111)의 상부 양 측단은 상기 제 2 전극(113)에 의해 고정 지지될 수 있다. 결국, 상기 광 투과부(120a)를 통한 광의 상·하향 조사 또는 측방향 조사를 포함하는 조사 방향, 광 조사 장치(10)의 설치 타입, 및 설치 위치에 관계없이 상기 발광관(111)과 상기 제 1·2 전극(112, 113) 사이의 접속이 견고하게 유지될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 전극(112)과 상기 제 2 전극(113)에는 상기 발광관(111)의 외측면 일부가 삽입되어 접촉되는 제 1 접속홈(112a) 및 제 2 접속홈(113a)이 각각 형성될 수 있다.
상기 발광관(111)이 상기 제 1 접속홈(112a) 및 상기 제 2 접속홈(113a)에 삽입되는 방식으로 상기 제 1 전극 (112) 및 상기 제 2 전극(113)에 접촉 지지됨으로써, 상기 제 1 전극(112) 및 상기 제 2 전극(113)과 접촉 면적이 넓어진다. 그 결과, 상기 발광관(111)은 상기 전극들(112,113)에 보다 안정적이고 견고하게 접속 고정될 수 있다.
이때, 상기 제 1 접속홈(112a)은 광을 반사할 수 있는 소재로 이루어져 반사면을 형성할 수 있으며, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광은 상기 제 1 접속홈(112a)을 통해 다시 발광관(111) 내부로 반사될 수 있다. 따라서, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광 중 상기 광 투과부(120a) 이외 방향으로 방출되어 손실되는 광이 상기 발광관(111)의 내부로 다시 반사된 후 상기 광 투과부(120a) 쪽으로 방출되어, 상기 발광관(111)의 광 방출 효율이 향상될 수 있다. 물론, 상기 제 2 접속홈(113a) 역시 상기 제 1 접속홈(112a)과 마찬가지로 반사면으로 형성할 수 있으나, 상기 제 1 접속홈(112a)과 달리 반사면으로 형성하지 않아도 무방하다.
한편, 본 실시예의 광 조사 장치(10)에서 상기 케이스(120)의 광 투과부(120a)는 개구부로 형성될 수 있다. 여기서, 내부 부품 보호 및 이물질 유입 차단을 위하여 상기 광 투과부(120a)에는 광 투과성 재질로 형성된 윈도우(121)가 구비될 수 있다.
그리고, 상기 윈도우(121)에는 상기 발광관(111)으로부터 방출되어 투과되는 광을 여과하는 필터(122)가 구비될 수도 있다.
본 실시예에서 상기 필터(122)는 상기 윈도우(121)에 형성되는 필터층으로 이루어진 것을 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 별도의 부재로 이루어져 상기 윈도우에 부착될 수도 있고 상기 윈도우 자체가 필터로 이루어질 수도 있다.
또한, 상기 필터(122)는 사용 용도에 따라 숏 패스 필터(Short Pass Filter), 롱 패스 필터(Long Pass Filter), 밴드 패스 필터(Band Pass Filter), 밀도 필터(Density Filter) 등이 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광이 상기 필터(121)를 투과하면서 240nm 이내의 파장을 가지도록 광의 세기가 여과될 수 있고, 이에 따라 최종적으로 광 조사 장치(10)의 외부로 조사되는 광은 인체에 무해하고 안전한 240nm 이내의 파장을 가질 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도이고, 도 10은 도 9에 개시된 광조사 장치의 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도이고, 도 11은 도 10에 개시된 엑시머 램프의 평면도이고, 도 12는 도 10에 개시된 엑시머 램프의 측단면도이고, 도 13은 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도이다.
도 9 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 광 조사 장치(20) 역시 전술한 실시예와 유사하게, 발광관(211)과, 제 1 전극(212)과, 상기 제 1 전극(212)과 대향되게 구비되는 제 2 전극(213)을 포함하는 엑시머 램프(210); 및 상기 엑시머 램프(210)가 수용되며 상기 발광관(211)으로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(220a)를 갖는 케이스(220)를 포함한다.
또한, 상기 제 1 전극(212)에는 제 1 접속홈(212a)이 형성될 수 있고, 상기 제 2 전극(213)에는 제 2 접속홈(213a)이 형성될 수 있다. 이때, 상기 제 1 접속홈(212a)은 전술한 바와 같이 상기 발광관(211)으로부터 방출되는 광을 반사하는 재질로 이루어진 반사면으로 형성될 수 있다. 물론, 상기 제 2 접속홈(213a) 역시 상기 제 1 접속홈(212a)과 마찬가지로 반사면으로 형성될 수 있으나, 상기 제 1 접속홈(212a)과 달리 반사면으로 형성되지 않아도 무방하다.
본 실시예의 광 조사 장치(20)는, 전술한 실시예와 달리, 상기 제 1 접속홈(212a)의 단부로부터 경사지게 연장 형성되어 상기 발광관(211)으로부터 방출되는 광을 상기 광 투과부(220a)로 반사하는 리플렉션부(212b)를 더 포함할 수 있다. 상기 리플렉션부(212b)는 상기 제 1 접속홈(212a)과 마찬가지로 광을 반사하는 재질로 이루어진 반사면으로 형성될 수 있다.
이에 따라, 본 실시예의 광 조사 장치(20)는 상기 제 1 전극(212)과 상기 제 2 전극(213), 그리고 상기 제 1 접속홈(212a) 및 상기 제 2 접속홈(213a)을 통해 상기 발광관(211)을 안정적이고 견고하게 접속 고정할 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 리플렉션부(212b)를 통해 상기 발광관(211)으로부터 방출되는 광 중 상기 광 투과부(220a) 이외 방향으로 방출되어 손실되는 광을 상기 광 투과부(220a) 측으로 반사시킴으로써 광 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
한편, 본 실시예의 광 조사 장치(20) 역시 전술한 실시예와 마찬가지로 상기 광 투과부(220a)에 윈도우(221)를 구비할 수 있고, 상기 윈도우(221)에 필터(222)를 구비할 수도 있으며, 이에 따른 상세한 설명은 전술한 실시예와 동일하므로 생략하기로 한다.
도 14는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도이고, 도 15는 도 14의 광 조사 장치에서 케이스를 제외한 엑시머 램프의 사시도이고, 도 16은 도 15에 개시된 엑시머 램프의 평면도이고, 도 17은 도 15에 개시된 엑시머 램프의 측단면도이며, 도 18은 도 15에 개시된 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도이다.
도 14 내지 도 18을 참조하면, 본 발명의 제 1더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치(30)는, 이전 실시예에 따른 광 조사 장치(10,20)와 유사하게, 유전체 배리어 방전에 의해 광을 방출하는 엑시머 램프(110)와, 상기 엑시머 램프(110)가 수용되며 상기 엑시머 램프(110)로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(120a)를 갖는 케이스(120)를 포함할 수 있다.
보다 상세하게, 상기 엑시머 램프(110)는, 이전 실시예와 마찬가지로, 방전가스가 봉입되는 내부 공간을 가지며 유전체 배리어 방전시 광을 방출하는 발광관(111)과, 상기 발광관(111)의 하부에 구비되는 제 1 전극(112)과, 상기 발광관(111)의 상부에 구비되되 상기 발광관(111)의 양 단부에 배치되는 한 쌍의 제 2 전극(113)을 포함한다.
본 실시예에 따른 광 조사 장치(30)를 구성하는 엑시머 램프(110)는 보조 발광체(114)를 더 포함한다. 상기 보조 발광체(114)는, 상기 제 1 전극(112) 및 상기 한 쌍의 제 2 전극(113)과 전기적으로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)에 전압 인가 시 상기 발광관(111) 측으로 광을 방출한다.
상기 보조 발광체(114)는 상기 발광관(111)과 함께 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)에 전압 인가 시 발생하는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)에 의해 동일한 파장 영역의 광을 방출할 수 있다. 또한, 상기 제 1 전극(112) 및 상기 제 2 전극(113)에는 상기 발광관(111)의 외측면 일부가 삽입 접촉되는 제 1 접속홈(112a) 및 제 2 접속홈(113a)이 각각 형성될 수 있다.
그리고, 상기 보조 발광체(114)는 상기 발광관(111)과 나란하게 이격 배치될 수 있다.
상기 제 1 전극(112)에는 상기 보조 발광체(114) 외측면 일부가 삽입 접촉되는 제 1 보조 접속홈(112b)이 형성될 수 있고, 상기 제 2 전극(113)에는 상기 제 1 보조 접속홈(112b)과 대향되도록 제 2 보조 접속홈(113b)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 보조 발광체(114)의 중앙부는 상기 제 1 보조 접속홈(112b)을 통해 상기 제 1 전극(112)과 전기적으로 연결되면서 고정 지지될 수 있다. 그리고, 상기 보조 발광체(114)의 양단부는 상기 제 1 보조 접속홈(112b)과 대향된 상기 제 2 보조 접속홈(113b)을 통해 상기 제 2 전극(113)과 전기적으로 연결되면서 고정될 수 있다. 따라서, 상기 보조 발광체(114)는 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)에 전기적으로 연결됨과 아울러 안정적으로 고정될 수 있다.
자세하게 도시하진 않았지만, 상기 보조 발광체(114)는 원, 타원, 다각형 중 어느 하나의 단면 형태를 가진 관 형태로 이루어질 수 있으며, 그 내부에는 상기 발광관(111)의 내부에 봉입된 방전 가스와 동일한 방전 가스가 봉입될 수 있다. 상기 보조 발광체(114)의 소재는 유전체 배리어 방전에 의해 광이 투과될 수 있는 소재이면 충분하며, 소재의 종류에 한정되지 않고 다양한 소재의 적용이 가능하다. 물론, 상기 보조 발광체(114)의 단면 형태가 변경되면 이에 대응되는 상기 제 1 보조 접속홈(112b) 및 상기 제 2 보조 접속홈(113b)의 형태도 변경 적용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 다수의 발광관(111)이 서로 나란하게 배치되어, 상기 보조 발광체(114)가 상기 복수의 발광관들(111) 사이에 구비되고, 상기 제 1 보조 접속홈(112b) 및 상기 제 2 보조 접속홈(113b)이 복수의 제 1 접속홈(112a) 사이 및 복수의 제 2 접속홈(113a) 사이에 구비된 것을 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
결론적으로, 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)에 서로 다른 영역의 전압이 인가되면, 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113) 사이에서 발생하는 전계에 의해 상기 보조 발광체(114)가 유전체 배리어 방전을 일으킨다. 그리고, 상기 유전체 배리어 방전에 의하여 상기 보조 발광체(114)로부터 방출되는 광은 상기 발광관(111) 측으로 조사되어, 상기 발광관(111)의 내부 공간에 존재하는 방전가스에 에너지를 공급할 수 있다. 이에 따라, 상기 발광관(111) 내부의 방전가스의 이온화를 촉진함으로써 엑시머 램프(110)의 시동 특성을 높이고 점등성을 향상시킬 수 있다.
이때, 상기 보조 발광체(114)에서 방출되는 광은 상기 발광관(111)에서 방출되는 광과 동일한 파장 영역을 가지며, 이에 따라 상기 발광관(111)을 통해 외부로 조사되는 광의 양을 증가시킴으로써 광 조사 성능 및 효율을 높일 수 있다.
또한, 상기 보조 발광체(114)에서 상기 발광관(111)으로 동일한 파장 영역을 갖는 광을 방출 조사함으로써, 상기 발광관(111)을 통해 외부로 조사되는 광의 얼룩과 번짐 등의 광 불량을 방지할 수 있다. 여기서, 상기 보조 발광체(114)가 상기 발광관(111)의 내부에 에너지를 전달할 수 있는 역할만을 고려할 경우, 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)에 전압 인가 시 유전체 배리어 방전에 의해 상기 발광관(111)으로부터 조사되는 광과 다른 파장 영역을 갖는 광을 조사할 수도 있다. 이 경우, 상기 보조 발광체(114)는 내부에 봉입되는 가스의 종류가 상기 발광관(111) 내부에 봉입되는 가스의 종류와 다를 수 있으나, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광과의 간섭을 최소화할 수 있는 파장 영역의 광이 상기 보조 발광체(114)로부터 방출되도록 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 보조 발광체(114)는 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113) 사이의 공간에 구비되어, 상기 제 1 및 제 2 전극(112, 113)의 전계를 통해 광을 방출하므로, 상기 보조 발광체(114)를 설치하기 위한 별도의 공간과 별도의 장치 및 회로 구성이 불필요하다. 이에 따라, 시동 특성을 높이기 위하여 엑시머 램프(110) 및 이를 포함하는 광 조사 장치(10)의 크기를 증가시킬 필요가 없기 때문에, 엑시머 램프(110) 및 이를 포함하는 광 조사 장치(10)를 소형화할 수 있고 제조 비용을 절감할 수 있다.
여기서, 상기 보조 발광체(114)의 내부에는 전도성 물질(119)이 구비될 수도 있다. 상기 전도성 물질(119)은 상기 보조 발광체(114)의 내부에서 상기 보조 발광체(114)의 길이방향(축방향)으로 연장되는 금속 와이어로 구성될 수 있다. 상세히, 상기 금속 와이어는 게터(getter) 계열의 탄탈(Ta), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf) 중 적어도 어느 하나의 소재를 포함할 수 있다.
상기 보조 발광체(114)의 내부에 상기 전도성 물질(119)이 구비됨으로써, 상기 보조 발광체(114)의 시동 및 점등 특성이 향상되어 상기 발광관(111)의 시동 및 점등 특성이 향상될 수 있다. 즉, 상기 전도성 물질(119)은 상기 보조 발광체(114) 내부에 구비되어 보조 발광체(114) 내부의 진공도 또는 봉입 가스의 순도를 높이고, 점등 중 발생하는 불필요 배출 가스를 흡수함으로써 상기 보조 발광체(114)의 시동 및 점등 특성을 향상시키고 보조 발광체(114)의 수명을 증가시킬 수 있다.
한편, 상기 제 1 전극(112)은, 상기 발광관(111)을 기준으로, 상기 케이스(120)의 광 투과부(120a)의 반대측에 배치될 수 있고, 상기 제 2 전극(113)은 상기 광 투과부(120a) 측에 배치될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 전극(112)은 상기 발광관(111)의 중앙에 구비될 수 있고, 상기 한 쌍의 제 2 전극(113)은 상기 발광관(111)의 양 단부에 구비되어, 상기 발광관(111)으로부터 방출되어 상기 광 투과부(120a)를 통해 외부로 조사되는 광과 간섭되지 않도록 할 수 있다.
이전 실시예와 마찬가지로, 상기 제 1 전극(112)은 상기 발광관(111)의 하부 중앙에 구비되고 상기 제 2 전극(113)은 상기 발광관(111)의 상부 가장자리에 각각 구비되어, 상기 발광관(111)의 하부는 상기 제 1 전극(112)에 의해 고정 지지되고, 상기 발광관(111)의 상부의 양 단부는 상기 제 2 전극(113)에 의해 고정 지지될 수 있다.
그리고, 상기 제 1 접속홈(112a) 및 상기 제 2 접속홈(113a)은 광을 반사할 수 있는 소재로 이루어져 반사면을 형성할 수 있으며, 이로 인해 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광은 상기 제 1 접속홈(112a) 및 상기 제 2 접속홈(113a)에서 반사되어 다시 발광관(111) 내부로 조사될 수 있다. 따라서, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광 중 상기 광 투과부(120a) 이외 방향으로 방출되어 손실되는 광을 상기 발광관(111)의 내부로 다시 반사시킨 후 상기 광 투과부(120a) 측으로 재방출함으로써, 상기 발광관(111)의 광 방출 효율을 높일 수 있다.
또한, 이전 실시예와 마찬가지로, 상기 제 1 전극(112)은 상기 제 1 접속홈(112a)의 단부로부터 경사지게 연장되는 리플렉션부(112c)를 포함할 수 있으며, 상기 리플렉션부(112c)는 상기 제 1·2 접속홈(112a, 113a)과 마찬가지로 광을 반사하는 재질로 이루어진 반사면을 형성할 수 있다. 이에 따라, 상기 리플렉션부(112c)를 통해 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광 중 상기 광 투과부(120a) 이외 방향으로 방출되어 손실되는 광을 상기 광 투과부(120a) 측으로 반사시킴으로써 광 효율을 더욱 향상할 수 있다.
또한, 이전 실시예에서 제시된 바와 동일한 필터가 상기 광투과부(120a)에 구비되는 윈도우(121)에 제공될 수 있다.
도 19는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프의 정면도이고, 도 20은 도 19에 개시되는 엑시머 램프의 평면도이고, 도 21은 도 19에 개시되는 엑시머 램프를 구성하는 제 1 및 제 2 전극의 단면도이다.
도 19 내지 도 21를 참조하면, 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프(210)는, 이전 실시예와 마찬가지로, 적어도 한 쌍의 발광관(211)과, 상기 발광관(211)의 하부 중앙에 구비되는 제 1 전극(212)과, 상기 발광관(211)의 상부 가장자리에 구비되는 한 쌍의 제 2 전극(213)과, 상기 적어도 한 쌍의 발광관(211) 사이에 배치되는 보조 발광체(214)를 포함할 수 있다.
상세히, 상기 보조 발광체(214)는 상기 제 1 및 제 2 전극(212, 213)과 전기적으로 연결되어, 상기 제 1 및 제 2 전극(212, 213)에 전압 인가시 상기 발광관(211) 측으로 광을 방출한다. 또한, 상기 제 1 전극(212) 및 상기 제 2 전극(213)에는 상기 발광관(211)의 외측면 일부가 삽입 접촉되는 제 1 접속홈(212a) 및 제 2 접속홈(213a)이 각각 형성될 수 있다.
한편, 본 실시예의 엑시머 램프(210)는, 전술한 실시예와 달리, 상기 제 2 전극(213)에 상기 제 1 전극(212) 측으로 연장 돌출된 보조 접속부(213b)가 형성된다.
그리고, 상기 제 1 전극(212)에 형성된 제 1 보조 접속홈(212b)과 대향되는 제 2 보조 접속홈(213c)이 상기 보조 접속부(213b)에 형성될 수 있다. 즉, 상기 보조 접속부(213b)의 저면에 상기 제 2 보조 접속홈(213c)이 형성되고, 상기 제 2 보조 접속홈(213c)은 상기 제 1 보조 접속홈(212b)과 마주보게 된다.
그러므로, 본 실시예의 상기 보조 발광체(214)의 양단부는 한 쌍의 상기 보조 접속부(213b)에 각각 형성된 한 쌍의 상기 제 2 보조 접속홈(213c)에 삽입 접촉되어 지지된다. 그리고, 상기 보조 발광체(214)의 중앙부는 상기 제 1 보조 접속홈(212b)에 삽입 접촉되어 지지된다. 상기 보조 접속부(213b)에 의하여, 상기 보조 발광체(214)의 길이가 감소되어, 보조 발광체의 제조 비용이 절감되는 효과가 있다.
한편, 본 실시예에 따른 엑시머 램프(210) 및 이를 포함하는 광 조사 장치 역시 상술한 구조 이외에는 전술한 실시예의 구조, 예컨대 광 투과부를 갖는 케이스의 구조, 광 투과부에 구비되는 윈도우 및/또는 필터의 구조, 리플렉션부의 구조, 전도성 물질 등이 동일하게 적용될 수 있으며, 이는 당업자가 용이하게 적용할 수 있는 부분이므로 이에 대한 중복 설명은 생략한다.
도 22는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프의 사시도이고, 도 23은 도 22에 개시되는 엑시머 램프의 정면도이고, 도 24는 도 22에 개시되는 엑시머 램프의 평면도이다.
도 22 내지 도 24를 참조하면, 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 구성하는 엑시머 램프(310)는, 전술한 실시예와 마찬가지로, 적어도 한 쌍의 발광관(311)과, 상기 적어도 한 쌍의 발광관(311)의 하부 중앙에 구비되는 제 1 전극(312)과, 상기 적어도 한 쌍의 발광관(311)의 상부 가장자리에 구비되는 한 쌍의 제 2 전극(313)을 포함할 수 있다.
그러나, 본 실시예에 따른 엑시머 램프(310)는, 전술한 실시예와 달리, 상기 발광관(311)으로 광을 방출하는 보조 발광체(314)가 상기 발광관(311)과 교차하는 방향으로 배치되고, 한 쌍의 보조 발광체(314)가 상기 발광관(311)의 길이 방향으로 이격 배치되는 것을 특징으로 한다.
상세히, 본 실시예에 따른 한 쌍의 보조 발광체(314)의 중심축은 상기 발광관(311)의 중심축과 교차하는 방향으로 배치되되, 상기 발광관(311)으로부터 방출되는 광이 외부로 원활하게 조사되도록, 상기 발광관(311)의 하부에서 상기 제 1 전극(312) 및 상기 제 2 전극(313)과 전기적으로 연결된다.
보다 상세하게, 본 실시예에서 상기 제 2 전극(313)에는 상기 제 1 전극(312)의 하단까지 연장되는 제 2 전극 연장부(313a)가 형성될 수 있다. 상기 제 2 전극 연장부(313a)와 마주보는 상기 제 1 전극(312)의 측면에는 제 1 전극 단부(312a)가 돌출 형성되고, 상기 제 2 전극 연장부(313a)에는 상기 제 1 전극 단부(312a)와 마주보는 제 2 전극 단부(313b)가 형성될 수 있다.
이러한 구조에 의하여, 본 실시예의 보조 발광체(314)는 상기 제 1 전극 단부(312a)와 상기 제 2 전극 단부(313b) 사이에 배치되어, 상기 제 1 전극 단부(312a) 및 상기 제 2 전극 단부(313b)와 접촉 가능하게 구비될 수 있다.
그러므로, 본 실시예의 보조 발광체(314)는 상기 제 1 전극 단부(312a)와 상기 제 2 전극 단부(313b)를 통해 상기 제 1 및 제 2 전극(312, 313)과 전기적으로 연결되면서 고정 지지될 수 있다. 그리고, 상기 제 1 및 제 2 전극(312, 313)에 서로 다른 영역의 전압이 인가되면, 상기 제 1 전극 단부(312a)와 상기 제 2 전극 단부(313b) 사이에서 발생하는 전계에 의해, 상기 보조 발광체(314)가 유전체 배리어 방전을 일으킨다. 그리고, 유전체 배리어 방전을 통해 상기 보조 발광체(314)로부터 방출되는 광이 상기 발광관(311) 측으로 조사되어, 상기 발광관(311) 내부의 방전가스에 에너지가 공급될 수 있다.
한편, 본 실시예의 엑시머 램프(310) 및 이를 포함하는 광 조사 장치 역시 상술한 구조 이외에는 전술한 제 1 실시예의 구조 즉, 광 투과부를 갖는 케이스의 구조, 광 투과부에 구비되는 윈도우 및/또는 필터의 구조, 리플렉션부의 구조, 전도성 물질 등이 유사하게 적용될 수 있으며, 이는 당업자가 용이하게 적용할 수 있는 부분이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 25는 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치의 측단면도이고, 도 26은 도 25에 개시되는 광 조사 장치의 평단면도이며, 도 27은 도 25에 개시되는 광조사 장치의 사시도이다.
도 25 내지 도 27을 참조하면, 본 실시예에 따른 광 조사 장치(40) 역시 이전 실시예와 마찬가지로, 엑시머 램프(410)와, 상기 엑시머 램프(410)가 수용되고 상기 엑시머 램프(410)로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(420a)를 갖는 케이스(420)를 포함할 수 있다.
그리고, 본 실시예의 엑시머 램프(410) 역시, 이전실시예와 마찬가지로, 발광관(411)과, 상기 발광관(411)의 하부 중앙에 구비되는 제 1 전극(412)과, 상기 발광관(411)의 상부 가장자리들에 각각 구비되는 적어도 한 쌍의 제 2 전극(413)과, 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)과 전기적으로 연결되는 보조 발광체(414)를 포함할 수 있다. 상기 보조 발광체(414)는, 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)에 전압 인가 시, 상기 발광관(411) 측으로 광을 방출한다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)에는 제 1 접속홈(412a) 및 제 2 접속홈(413a)이 각각 형성될 수 있으며, 상기 케이스(420)의 광 투과부(420a)에는 윈도우(421)가 구비될 수 있다.
그러나, 본 실시예의 보조 발광체(414)는, 이전 실시예와 달리, 상기 케이스(420)의 내부 측면에 형성된 수납홈(420b)에 수용된 상태에서 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)에 전기적으로 연결될 수 있다.
보다 상세하게, 상기 제 1 전극(412) 및 상기 제 2 전극(413)은 상기 발광관(411)의 길이 방향으로 소정 간격 이격되는 지점에서 나란하게 배치된다. 이에 상기 발광관(411)의 길이방향과 평행한 면을 가지는 상기 케이스(420)의 측면에 상기 수납홈(420b)이 형성되고, 상기 수납홈(420b)에 상기 보조 발광체(414)가 수용된다.
이때, 보조 발광체(414)의 외주면 중 상기 수납홈(420b)의 외부로 노출되는 부위는 상기 발광관(411)의 길이방향으로 이격되어 나란하게 배치된 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)에 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다.
따라서, 상기 제 1 및 제 2 전극(412, 413)에 서로 다른 영역의 전압이 인가되면 상기 보조 발광체(414)의 내부에서는 유전체 배리어 방전을 일으켜 광을 방출한다. 그리고, 상기 보조 발광체(414)에서 방출되는 광은 상기 발광관(411) 측으로 조사되어 상기 발광관(411) 내부의 방전가스로 에너지가 공급된다.
한편, 본 실시예의 광 조사 장치(40) 역시 상술한 구조 이외에는 전술한 실시예의 구조 즉, 윈도우(421)에 구비되는 필터의 구조, 리플렉션부(412b), 전도성 물질 등이 유사하게 적용될 수 있고, 상기 수납홈(420b)의 반대편 케이스 내측면에 추가 수납홈과 보조 발광체를 적용하는 구조 등이 적용될 수 있으며, 이는 당업자가 용이하게 적용할 수 있는 부분이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 28은 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치의 정면도이고, 도 29는 도 28에 개시되는 광 조사 장치의 평면도이다.
도 28 및 도 29를 참조하면, 본 실시예에 따른 광 조사 장치(50)는, 전술한 실시예와 마찬가지로, 엑시머 램프(510)와, 상기 엑시머 램프(510)가 수용되고 상기 엑시머 램프(510)로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(520a)를 갖는 케이스(520)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 엑시머 램프(510)는, 발광관(511)과, 상기 발광관(511)의 하부 중앙에 구비되는 제 1 전극(512)과, 상기 발광관(511)의 상부 가장자리에 각각 구비되는 적어도 한 쌍의 제 2 전극(513)을 포함할 수 있다.
그러나, 본 실시예의 엑시머 램프(510)는 전술한 실시예와 달리, 상기 발광관(511)으로 광을 방출하는 보조 발광체(514)가 상기 발광관(511)과 교차하는 방향으로 배치되고, 적어도 두 개의 보조 발광체(514)가 상기 발광관(511)의 길이 방향으로 이격 배치된다.
상기 보조 발광체(514)는 상기 발광관(511)으로부터 방출되는 광이 외부로 원활하게 조사되도록, 상기 발광관(511)의 하부에 구비되어 상기 제 1 및 제 2 전극(512, 513)과 전기적으로 연결된다.
상기 제 1 전극(512)의 양 측면에는 제 1 전극 단부(512a)가 돌출된다. 상기 제 1 전극(512)의 양 측면은 상기 제 2 전극(513)과 마주하는 두 측면을 의미한다.
상기 제 1 전극 단부(512a)의 일측에는 상기 제 2 전극(513)과 전기적으로 연결되는 제 2 보조 전극(515)이 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 보조 발광체(514)는 상기 제 1 전극 단부(512a)와 상기 제 2 보조 전극(515)이 배치된다.
상기 보조 발광체(514)가 놓이는 상기 케이스(520)의 바닥면에는 상기 보조 발광체(514)의 일부가 삽입되는 수납홈(520b)이 형성될 수 있으며, 상기 수납홈(520b)에 상기 보조 발광체(514)의 일부가 수용됨으로써, 상기 보조 발광체(514)가 보다 안정적으로 고정 지지될 수 있다.
한편, 본 실시예의 광 조사 장치(50) 역시 상술한 구조 이외에는 전술한 실시예의 구조 즉, 윈도우(521)에 구비되는 필터의 구조, 리플렉션부, 전도성 물질 등이 유사하게 적용될 수 있으며, 이는 당업자가 용이하게 적용할 수 있는 부분이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 30은 본 발명의 더 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 정면에서 바라본 종단면도이다.
도 30을 참조하면, 본 실시예에 따른 광 조사 장치(60)는, 전술한 실시예와 유사하게, 엑시머 램프(610)와, 상기 엑시머 램프(610)가 수용되고 상기 엑시머 램프(610)로부터 방출되는 광을 외부로 조사하기 위한 광 투과부(620a)를 갖는 케이스(620)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 엑시머 램프(610)는, 발광관(611)과, 상기 발광관(611)의 하부 중앙에 구비되는 제 1 전극(612)과, 상기 발광관(611)의 상부 가장자리에 각각 구비되는 적어도 한 쌍의 제 2 전극(613)을 포함할 수 있다.
본 실시예의 엑시머 램프(610)는 전술한 실시예와 달리, 상기 발광관(611)으로 광을 방출하는 보조 발광체(614)가 상기 발광관(611)의 길이방향 단부와 마주보는 상기 케이스(620)의 내부 측면에 이격 구비된다. 즉, 본 실시예의 보조 발광체(614)는 상기 발광관(611)과 교차하는 방향으로 놓이되, 상기 발광관(611)으로부터 방출되는 광이 외부로 원활하게 조사되도록 상기 발광관(611)의 길이방향 단부에 이격 구비된다.
상기 케이스(620)의 내측면에는 상기 제 1 전극(612)과 전기적으로 연결되는 제 1 보조 전극(615) 및 상기 제 2 전극(613)과 전기적으로 연결되는 제 2 보조 전극(616)이 상하 방향으로 서로 마주보도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 보조 발광체(614)는 상기 제 1 보조 전극(615)과 상기 제 2 보조 전극(616) 사이에 배치된다.
한편, 본 실시예의 광 조사 장치(60) 역시 상술한 구조 이외에는 전술한 실시예의 구조 즉, 윈도우(621)에 구비되는 필터의 구조, 리플렉션부, 전도성 물질 등이 유사하게 적용될 수 있으며, 이는 당업자가 용이하게 적용할 수 있는 부분이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

Claims (33)

  1. 광을 방출하는 발광관;
    상기 발광관의 외측에 구비되는 제 1 전극; 및
    상기 제 1 전극과 대향되는 방향으로 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 2 전극을 포함하는 엑시머 램프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 광 투과부의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광관의 중앙에 구비되고,
    상기 제 2 전극은 상기 발광관의 일측 가장자리 및 타측 가장자리에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극에는 상기 발광관의 외면 일부가 삽입되어 접촉되는 제 1 접속홈 및 제 2 접속홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 접속홈은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사하는 반사면인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 접속홈은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사하는 반사면인 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은,
    상기 제 1 접속홈의 단부로부터 경사지게 연장 형성되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사하는 리플렉션부를 더 포함하는 엑시머 램프.
  8. 광을 방출하는 발광관;
    상기 발광관의 외측에 구비되는 제 1 전극;
    상기 제 1 전극과 대향되는 방향으로 상기 발광관의 외측에 구비되는 제 2 전극; 및
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되며, 상기 제 1 및 제 2 전극에 전압이 인가되면 상기 발광관 쪽으로 광을 방출하는 보조 발광체를 포함하는 엑시머 램프.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 광 투과부의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은 상기 발광관의 중앙에 구비되고,
    상기 제 2 전극은 상기 발광관의 일측 가장자리 및 타측 가장자리에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극에는 상기 발광관의 외면 일부가 삽입되어 접촉되는 제 1 접속홈 및 제 2 접속홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는 상기 발광관과 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 발광관은 적어도 한 쌍이 제공되고,
    상기 보조 발광체는 상기 한 쌍의 발광관 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극에는 상기 보조 발광체의 외면 일부가 삽입되는 제 1 보조 접속홈 및 제 2 보조 접속홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1 보조 접속홈은 인접하는 상기 제 1 접속홈들 사이에 형성되고,
    상기 제 2 보조 접속홈은 인접하는 상기 제 2 접속홈들 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 전극은,
    상기 제 1 접속홈의 단부로부터 경사지게 연장 형성되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사하는 리플렉션부를 더 포함하는 엑시머 램프.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 전극은,
    상기 제 2 보조 접속홈의 단부로부터 경사지게 연장 형성되어 상기 보조 발광체로부터 방출되는 빛을 반사하는 리플렉션부를 더 포함하는 엑시머 램프.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 발광관의 일측 가장자리 및 타측 가장자리에 각각 구비되는 상기 제 2 전극들의 측면 중, 서로 마주보는 측면에는 보조 접속부가 돌출되고,
    상기 제 2 보조 접속홈 및 상기 리플렉션부는 상기 보조 접속부에 형성되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는 상기 발광관과 교차하는 방향으로 배치되고
    상기 제 2 전극의 저면에는 제 2 전극 연장부가 연장되며,
    상기 제 1 전극의 측면 및 상기 제 1 전극의 측면과 마주보는 상기 제 2 전극 연장부의 측면에는 제 1 전극 단부와 제 2 전극 단부가 각각 돌출되고,
    상기 보조 발광체는 상기 제 1 전극 단부와 상기 제 2 전극 단부의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  20. 제 11 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는 상기 발광관과 교차하는 방향으로 배치되고,
    상기 제 1 전극의 측면에는 제 1 전극 단부가 돌출되고,
    상기 제 1 전극 단부로부터 이격되는 지점에는, 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결되는 제 2 보조 전극이 구비되며,
    상기 보조 발광체는 상기 제 1 전극 단부와 상기 제 2 보조 전극 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  21. 제 11 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는,
    상기 발광관과 나란하게 배치되되, 상기 제 2 전극의 길이 방향 단부 쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 보조 발광체의 단부의 외주면은,
    제 2 전극의 길이 방향 단부에 접촉되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  23. 제 21 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는 상기 제 2 전극의 길이 방향 단부로부터 상기 제 2 전극의 길이 방향으로 이격 배치되고,
    상기 보조 발광체의 상측과 하측에는,
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극과 각각 전기적으로 연결되는 제 1 보조 전극 및 제 2 보조 전극이 배치되는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  24. 제 8 항에 있어서,
    상기 보조 발광체의 내부에 수용되는 전도성 물질을 포함하는 엑시머 램프.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 전도성 물질은 상기 보조 발광체의 길이 방향으로 연장되는 금속 와이어를 포함하는 엑시머 램프.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 금속 와이어는 게터(getter) 계열의 탄탈(Ta), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf) 중 적어도 어느 하나의 소재를 포함하는 엑시머 램프.
  27. 제 8 항에 있어서,
    상기 보조 발광체는,
    상기 제 1 및 제 2 전극에 전압이 인가되면, 상기 발광관으로부터 방출되는 광의 파장과 동일한 파장 영역 또는 다른 파장 영역의 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프.
  28. 케이스; 및
    상기 케이스 내에 수용되는 제 1 항 또는 제 8 항 중 어느 한 항에 기재된 엑시머 램프를 포함하고,
    상기 케이스에는, 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되도록 하는 광 투과부가 형성되는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 광 투과부에 구비되어, 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 투과시키는 윈도우를 더 포함하는 광 조사 장치.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 윈도우에 구비되어, 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 여과하는 필터를 더 포함하는 광 조사 장치.
  31. 케이스; 및
    상기 케이스 내에 수용되는 제 20 항에 기재된 엑시머 램프를 포함하고,
    상기 케이스의 내부 바닥에는 상기 보조 발광체의 일부를 수용하는 수납홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
  32. 케이스; 및
    상기 케이스 내에 수용되는 제 22 항에 기재된 엑시머 램프를 포함하고,
    상기 케이스의 내부 측면에는 상기 보조 발광체의 일부를 수용하는 수납홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
  33. 케이스; 및
    상기 케이스 내에 수용되는 제 23 항에 기재된 엑시머 램프를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 보조 전극은 상기 케이스의 내부 측면에서 나란하게 돌출되는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.
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