WO2023120072A1 - 高周波モジュール及び通信装置 - Google Patents

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WO2023120072A1
WO2023120072A1 PCT/JP2022/044137 JP2022044137W WO2023120072A1 WO 2023120072 A1 WO2023120072 A1 WO 2023120072A1 JP 2022044137 W JP2022044137 W JP 2022044137W WO 2023120072 A1 WO2023120072 A1 WO 2023120072A1
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frequency module
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wiring pattern
chip
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塁 田中
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株式会社村田製作所
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • HELECTRICITY
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    • H04BTRANSMISSION
    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/38Transceivers, i.e. devices in which transmitter and receiver form a structural unit and in which at least one part is used for functions of transmitting and receiving

Definitions

  • the present invention generally relates to high frequency modules and communication devices, and more particularly to high frequency modules provided with switch circuits and communication devices provided therewith.
  • Patent Document 1 discloses a front-end architecture (high-frequency module) comprising an antenna switch (switch circuit) connected to a plurality of antennas.
  • Patent Literature 1 describes that the front-end architecture can include a carrier aggregation function.
  • signal leakage may occur between different signal paths in switch circuits, resulting in signal loss.
  • An object of the present invention is to provide a high frequency module and communication device capable of reducing signal loss in a switch circuit.
  • a high-frequency module includes a mounting substrate and an IC chip.
  • the mounting substrate has a main surface.
  • the IC chip is arranged on the main surface of the mounting substrate.
  • the IC chip includes part of a switch circuit.
  • the switch circuit has a plurality of common terminals, a plurality of select terminals, and a plurality of signal paths.
  • the plurality of selection terminals are connectable to the plurality of common terminals.
  • the plurality of signal paths includes a plurality of switching elements that switch connection modes between the plurality of common terminals and the plurality of selection terminals.
  • the plurality of common terminals, the plurality of selection terminals and the plurality of switching elements of the switch circuit are included in the IC chip.
  • At least one signal path among the plurality of signal paths of the switch circuit includes a first wiring pattern portion included in the IC chip and a second wiring pattern portion included in the mounting board.
  • a communication device includes the high-frequency module of the aspect described above and a signal processing circuit.
  • the signal processing circuit is connected to the high frequency module.
  • the high-frequency module and communication device can reduce signal loss in the switch circuit.
  • FIG. 1 is a circuit diagram of a switch circuit in a high frequency module according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a layout explanatory diagram of a main part of the high frequency module of the same.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining a first wiring pattern portion and a second wiring pattern portion in the high frequency module.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a first wiring pattern portion and a third wiring pattern portion in the high frequency module.
  • FIG. 5 is a circuit diagram of a communication device including the high frequency module of the same.
  • FIG. 6 is a circuit diagram of the high frequency module of the same.
  • FIG. 7 is a circuit diagram of the main part of the high frequency module of the same.
  • FIG. 8 is a plan view of the high frequency module of the same.
  • FIG. 9 shows the same high-frequency module, and is a cross-sectional view taken along the line YY of FIG.
  • FIG. 10 is a schematic plan view of a main part of a high frequency module according to Modification 1 of the embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic plan view of a main part of a high frequency module according to Modification 2 of the embodiment.
  • FIG. 12 is a schematic plan view of a main part of a high frequency module according to Modification 3 of the embodiment.
  • FIG. 13 is a plan view for explaining the first wiring pattern portion, the second wiring pattern portion, and the third wiring pattern portion in the high frequency module according to Modification 4 of the embodiment.
  • FIG. 14 is a plan view for explaining the first wiring pattern portion, the second wiring pattern portion, and the third wiring pattern portion in the high frequency module according to Modification 5 of the embodiment.
  • a high frequency module 100 includes a mounting substrate 9 and an IC chip 1, as shown in FIGS.
  • the mounting board 9 has a main surface 90 .
  • IC chip 1 is arranged on main surface 90 of mounting substrate 9 .
  • IC chip 1 includes part of switch circuit 5 (see FIG. 1).
  • a "high-frequency module” as used herein is a module used for communication of high-frequency signals.
  • the switch circuit 5 includes multiple (eg, 3) common terminals 5A, 5B, 5C, multiple (eg, 7) selection terminals 51 to 57, and multiple (eg, 21) signal terminals. It has routes r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, and r71-r73.
  • a plurality of selection terminals 51 to 57 can be connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C.
  • the plurality of signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, and r71-r73 are connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C and a plurality of selection terminals 51-57. and a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 for switching the form of connection between.
  • the plurality of switching elements Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q41 to Q43, Q51 to Q53, Q61 to Q63, and Q71 to Q73 may be referred to as series switching elements without distinction. be.
  • the switch circuit 5 has a plurality (N ⁇ M) of signal paths.
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (N ⁇ M) of series switching elements corresponding to the plurality of (N ⁇ M) signal paths one-to-one.
  • a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C of the switch circuit 5, a plurality of selection terminals 51 to 57, and a plurality of switching elements Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q41 to Q43, Q51 to Q53, Q61 to Q63, Q71 to Q73 are included in the IC chip 1.
  • At least one of the plurality of signal paths r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63, and r71 to r73 of the switch circuit 5 includes a first wiring pattern portion r1 included in the IC chip 1 and a second wiring pattern portion r2 included in the mounting board 9, as shown in FIG.
  • the thickness T2 of the second wiring pattern portion r2 is greater than the thickness T1 of the first wiring pattern portion r1.
  • a second wiring pattern portion r2 (hereinafter also referred to as a second wiring pattern portion 311) common to the three signal paths r11, r12, and r13 is the first wiring of each of the three signal paths r11, r12, and r13.
  • the portion corresponding to the pattern portion r1 is indicated by a thicker line and surrounded by a dashed line.
  • a second wiring pattern portion r2 (hereinafter also referred to as a second wiring pattern portion 321) common to the three signal paths r21, r22 and r23 is connected to each of the three signal paths r21, r22 and r23.
  • the portion corresponding to one wiring pattern portion r1 is indicated by a thicker line and surrounded by a dashed line.
  • a second wiring pattern portion r2 (hereinafter also referred to as a second wiring pattern portion 361) common to the three signal paths r61, r62, r63 is connected to each of the three signal paths r61, r62, r63.
  • the portion corresponding to one wiring pattern portion r1 is indicated by a thicker line and surrounded by a dashed line. Further, in FIG.
  • a second wiring pattern portion r2 (hereinafter also referred to as a second wiring pattern portion 371) common to the three signal paths r71, r72 and r73 is connected to each of the three signal paths r71, r72 and r73.
  • the portion corresponding to one wiring pattern portion r1 is indicated by a thicker line and surrounded by a dashed line.
  • the switch circuit 5 further includes a plurality (seven) of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, Q70 connected between the plurality (seven) of selection terminals 51 to 57 and the ground.
  • the plurality of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, and Q70 may be referred to as shunt switching elements without distinction.
  • the switch circuit 5 further includes a plurality (three) of switching elements Q1, Q2, Q3 connected between the plurality (three) of common wiring portions 11, 12, 13 and the ground.
  • FIG. 2 shows a part of a plurality of series switching elements, a part of a plurality of shunt switching elements, and a plurality of common terminals of the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 (see FIG. 3) of the mounting board 9.
  • FIG. 3 shows a part of a plurality of series switching elements, a part of a plurality of shunt switching elements, and a plurality of common terminals of the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 (see FIG. 3) of the mounting board 9.
  • the outer edge of the IC chip 1 is indicated by a two-dot chain line
  • the plurality of series switching elements and the plurality of shunt switching elements are indicated by squares
  • the plurality of common terminals 5A, 5B, 5C and the plurality of selection terminals 51 to 57 are indicated by circles
  • a plurality of wiring portions W1 in the IC chip 1 are hatched with dots.
  • a plurality of wiring portions W1 in the IC chip 1 illustrated in FIG. 2 schematically shows a part of wiring portions out of all the wiring portions in the IC chip 1. does not necessarily reflect
  • Each of the plurality of wiring portions W1 is, for example, a metal wiring portion.
  • each of the plurality of wiring portions W1 is, for example, an aluminum alloy, but is not limited to this and may be another alloy or metal.
  • the IC chip 1 does not necessarily have all the wiring portions being metal wiring portions, and may include, for example, a polysilicon wiring portion and a diffusion layer wiring portion in addition to the metal wiring portions.
  • the plurality of wiring portions W1 correspond to the plurality of signal paths r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63, and r71 to r73 of the switch circuit 5 illustrated in FIG. including at least part of When two wiring portions W1 intersect each other in FIG.
  • the wiring width WL2 of each of the plurality of second wiring pattern portions r2 is larger than the wiring width WL1 of each of the plurality of wiring portions W1. Therefore, the wiring width WL2 of each of the plurality of second wiring pattern portions 311, 321, 361, 371 is larger than the wiring width WL1 of the plurality of first wiring pattern portions r1.
  • the wiring width WL2 of each of the plurality of second wiring pattern portions 311, 321, 361, 371 is, for example, 30 ⁇ m, but is not limited to 30 ⁇ m.
  • the wiring widths WL2 of the plurality of second wiring pattern portions 311, 321, 361, and 371 may be different from each other.
  • the material of each of the plurality of second wiring pattern portions r2 is, for example, copper, but is not limited to this and may be other metals or alloys.
  • the IC chip 1 includes, for example, a silicon substrate 10, a multilayer structure portion 15 formed on the silicon substrate 10, a circuit portion 18, and a plurality of pad electrodes 16, as shown in FIGS. .
  • the multiple pad electrodes 16 include multiple common terminals 5A, 5B, and 5C (see FIG. 1) and multiple selection terminals 51 to 57 (see FIG. 1) in the IC chip 1.
  • FIG. The silicon substrate 10 has a first main surface 10A and a second main surface 10B facing each other in the thickness direction of the silicon substrate 10 .
  • “facing" means facing geometrically rather than physically.
  • the multilayer structure 15 is formed on the first main surface 10A of the silicon substrate 10 .
  • the multilayer structure 15 includes, for example, multiple wiring layers, an interlayer insulating film, and a passivation film. A plurality of wiring layers are formed in a predetermined pattern determined for each wiring layer.
  • the wiring layer may include one or more first wiring pattern portions r1.
  • the circuit portion 18 is formed over the region on the first main surface 10A side of the first main surface 10A and the second main surface 10B of the silicon substrate 10 and the multilayer structure portion 15 .
  • the circuit section 18 includes multiple series switching elements and multiple shunt switching elements of the switch circuit 5 . Each of the series switching elements and the shunt switching elements is, for example, an FET (Field Effect Transistor). Further, the circuit section 18 includes a plurality of switching elements Q1, Q2, Q3 of the switch circuit 5. As shown in FIG.
  • Each of the plurality of switching elements Q1, Q2, Q3 is, for example, an FET.
  • the plurality of pad electrodes 16 are connected to the circuit section 18 via wiring layers of the multilayer structure section 15 and the like.
  • FIG. 3 schematically illustrates a first wiring pattern portion r1 included in the IC chip 1 and a second wiring pattern portion r2 included in the mounting board 9 with respect to one signal path r0.
  • the IC chip 1 may have, for example, an SOI (Silicon On Insulator) substrate instead of the silicon substrate 10 .
  • the IC chip 1 is mounted on the mounting substrate 9 by bonding the plurality of pad electrodes 16 to the mounting substrate 9 with conductive bumps 19 corresponding to the plurality of pad electrodes 16 on a one-to-one basis.
  • the plurality of pad electrodes 16 are embedded in the multilayer structure 15, but the structure is not limited to such a structure. may be formed on the opposite major surface.
  • the high-frequency module 100 is used, for example, in a communication device 300 as shown in FIG.
  • the communication device 300 is, for example, a mobile phone (eg, smart phone), but is not limited to this, and may be, for example, a wearable terminal (eg, smart watch).
  • the high-frequency module 100 is a module compatible with, for example, the 4G (fourth generation mobile communication) standard, the 5G (fifth generation mobile communication) standard, and the like.
  • the 4G standard is, for example, the 3GPP (registered trademark, Third Generation Partnership Project) LTE (registered trademark, Long Term Evolution) standard.
  • the 5G standard is, for example, 5G NR (New Radio).
  • the high frequency module 100 is compatible with carrier aggregation and dual connectivity, for example.
  • the high-frequency module 100 is compatible with MIMO (Multi Input Multi Output).
  • the switch circuit 5 includes a plurality of (eg, three) common terminals 5A, 5B, and 5C, a plurality of (eg, seven) selection terminals 51 to 57, and a plurality of (eg, 21) signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73.
  • a plurality (three) of common terminals 5A, 5B, 5C are connected to a plurality (three) of antenna terminals 81A, 81B, 81C (see FIG. 5) outside the switch circuit 5 .
  • a plurality of selection terminals 51 to 57 can be connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, and 5C.
  • the switch circuit 5 includes a plurality (three) of common wiring portions 11, 12, and 13 connected one-to-one to a plurality (three) of common terminals 5A, 5B, and 5C, and a plurality (three) of common wiring portions.
  • the switch circuit 5 has a plurality (three) of switching elements Q11, Q12, Q13 connected between the second wiring portion 31 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (three) of switching elements Q21, Q22, Q23 connected between the second wiring portion 32 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (three) of switching elements Q31, Q32, Q33 connected between the second wiring portion 33 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (three) of switching elements Q41, Q42, Q43 connected between the second wiring portion 34 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (three) of switching elements Q51, Q52, Q53 connected between the second wiring portion 35 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also includes a plurality (three) of switching elements Q61, Q62, Q63 connected between the second wiring portion 36 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • the switch circuit 5 also has a plurality (three) of switching elements Q71, Q72, Q73 connected between the second wiring portion 37 and the plurality (three) of the first wiring portions 21, 22, 23. .
  • a signal path r11 between the common terminal 5A and the selection terminal 51 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q11 in the first wiring portion 21, and the switching element Q11 in the second wiring portion 31. and a portion between the selection terminals 51 .
  • the signal path r12 between the common terminal 5B and the selection terminal 51 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q12 in the first wiring portion 22, and the switching element Q12 in the second wiring portion 31. and a portion between the selection terminals 51 .
  • a signal path r13 between the common terminal 5C and the selection terminal 51 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q13 in the first wiring portion 23, and the switching element Q13 in the second wiring portion 31. and a portion between the selection terminals 51 .
  • a signal path r21 between the common terminal 5A and the selection terminal 52 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q21 in the first wiring portion 21, and the switching element Q21 in the second wiring portion 32. and the portion between the selection terminals 52 .
  • a signal path r22 between the common terminal 5B and the selection terminal 52 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q22 in the first wiring portion 22, and the switching element Q22 in the second wiring portion 32. and the portion between the selection terminals 52 .
  • a signal path r23 between the common terminal 5C and the selection terminal 52 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q23 in the first wiring portion 23, and the switching element Q23 in the second wiring portion 32. and the portion between the selection terminals 52 .
  • a signal path r31 between the common terminal 5A and the selection terminal 53 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q31 in the first wiring portion 21, and the switching element Q31 in the second wiring portion 33. and a portion between the selection terminals 53 .
  • a signal path r32 between the common terminal 5B and the selection terminal 53 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q32 in the first wiring portion 22, and the switching element Q32 in the second wiring portion 33. and a portion between the selection terminals 53 .
  • a signal path r33 between the common terminal 5C and the selection terminal 53 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q33 in the first wiring portion 23, and the switching element Q33 in the second wiring portion 33. and a portion between the selection terminals 53 .
  • a signal path r41 between the common terminal 5A and the selection terminal 54 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q41 in the first wiring portion 21, and the switching element Q41 in the second wiring portion 34. and the portion between the selection terminals 54 .
  • a signal path r42 between the common terminal 5B and the selection terminal 54 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q42 in the first wiring portion 22, and the switching element Q42 in the second wiring portion 34. and the portion between the selection terminals 54 .
  • a signal path r43 between the common terminal 5C and the selection terminal 54 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q43 in the first wiring portion 23, and the switching element Q43 in the second wiring portion 34. and the portion between the selection terminals 54 .
  • a signal path r51 between the common terminal 5A and the selection terminal 55 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q51 in the first wiring portion 21, and the switching element Q51 in the second wiring portion 35. and the portion between the selection terminals 55.
  • a signal path r52 between the common terminal 5B and the selection terminal 55 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q52 in the first wiring portion 22, and the switching element Q52 in the second wiring portion 35. and the portion between the selection terminals 55.
  • a signal path r53 between the common terminal 5C and the selection terminal 55 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q53 in the first wiring portion 23, and the switching element Q53 in the second wiring portion 35. and the portion between the selection terminals 55.
  • a signal path r61 between the common terminal 5A and the selection terminal 56 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q61 in the first wiring portion 21, and the switching element Q61 in the second wiring portion 36. and the portion between the select terminals 56.
  • a signal path r62 between the common terminal 5B and the selection terminal 56 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q62 in the first wiring portion 22, and the switching element Q62 in the second wiring portion 36. and the portion between the select terminals 56.
  • a signal path r63 between the common terminal 5C and the selection terminal 56 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q63 in the first wiring portion 23, and the switching element Q63 in the second wiring portion 36. and the portion between the select terminals 56.
  • a signal path r71 between the common terminal 5A and the selection terminal 57 includes the common wiring portion 11, the portion between the common wiring portion 11 and the switching element Q71 in the first wiring portion 21, and the switching element Q71 in the second wiring portion 37. and the portion between the selection terminals 57 .
  • a signal path r72 between the common terminal 5B and the selection terminal 57 includes the common wiring portion 12, the portion between the common wiring portion 12 and the switching element Q72 in the first wiring portion 22, and the switching element Q72 in the second wiring portion 37. and the portion between the selection terminals 57 .
  • a signal path r73 between the common terminal 5C and the selection terminal 57 includes the common wiring portion 13, the portion between the common wiring portion 13 and the switching element Q73 in the first wiring portion 23, and the switching element Q73 in the second wiring portion 37. and the portion between the selection terminals 57 .
  • the switch circuit 5 has a plurality of shunt switching elements (switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, Q70) as described above.
  • the switching element Q10 is connected between the portion of the second wiring portion 31 between the selection terminal 51 and the switching element Q11 (the portion common to the three signal paths r11 to r13) and the ground.
  • the switching element Q20 is connected between the portion of the second wiring portion 32 between the selection terminal 52 and the switching element Q21 (the portion common to the three signal paths r21 to r23) and the ground.
  • the switching element Q30 is connected between the portion of the second wiring portion 33 between the selection terminal 53 and the switching element Q31 (the portion common to the three signal paths r31 to r33) and the ground.
  • the switching element Q40 is connected between the portion of the second wiring portion 34 between the selection terminal 54 and the switching element Q41 (the portion common to the three signal paths r41 to r43) and the ground.
  • the switching element Q50 is connected between the portion of the second wiring portion 35 between the selection terminal 55 and the switching element Q51 (the portion common to the three signal paths r51 to r53) and the ground.
  • the switching element Q60 is connected between the portion of the second wiring portion 36 between the selection terminal 56 and the switching element Q61 (the portion common to the three signal paths r61 to r63) and the ground.
  • the switching element Q70 is connected between the portion of the second wiring portion 37 between the selection terminal 57 and the switching element Q71 (the portion common to the three signal paths r71 to r73) and the ground.
  • the IC chip 1 further includes a second switch circuit 6 different from the first switch circuit 5 which is the switch circuit 5, as shown in FIG.
  • the second switch circuit 6 has a common terminal 60 and a plurality of (for example, two) selection terminals 61 and 62 .
  • the second switch circuit 6 has a signal path r8 between the common terminal 60 and the selection terminal 61 and a signal path r9 between the common terminal 60 and the selection terminal 62.
  • FIG. Signal path r8 includes wiring portion 38 and switching element Q81.
  • Signal path r9 includes wiring portion 39 and switching element Q91.
  • the second switch circuit 6 further includes a switching element Q80 connected between a portion of the wiring portion 38 between the selection terminal 61 and the switching element Q81 and the ground.
  • the second switch circuit 6 further includes a switching element Q90 connected between a portion of the wiring portion 39 between the selection terminal 62 and the switching element Q91 and the ground.
  • At least part of the signal path r67 connecting the selection terminal 57 of the first switch circuit 5 and the common terminal 60 of the second switch circuit 6 is formed by the wiring pattern portion 67 (see FIGS. 1 and 2) on the mounting board 9 (see FIG. 2). see).
  • the high-frequency module 100 further includes a plurality of (for example, 14) filters F0, as shown in FIG.
  • the multiple filters F0 have passbands different from each other.
  • the passbands of the multiple filters F0 correspond to multiple communication bands.
  • Each of the plurality of communication bands is, for example, a communication band used for communication corresponding to FDD (Frequency Division Duplex) as a communication method, or TDD (Time Division Duplex), or communication corresponding to SDL (Supplemental Downlink) It is a communication band used for
  • the multiple communication bands include, for example, Band 40, Band 1, Band 3, Band 32, Band 34, Band 39, Band 41, Band 7, Band 25, Band 66, Band 30, Band 53, Band 11 and Band 21 of the 3GPP LTE standard.
  • reception filter F40 is written to the left of the graphical symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F40) having a passband corresponding to the reception band of Band 40 of the 3GPP LTE standard.
  • B1Rx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F1R) having a passband corresponding to the reception band of Band1.
  • B3Rx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as the reception filter F3) having a passband corresponding to the reception band of Band3.
  • FIG. 1 is written to the left of the graphical symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F40) having a passband corresponding to the reception band of Band 40 of the 3GPP LTE standard.
  • B1Rx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F1R) having a passband corresponding to the reception band of
  • B32 is written to the left of the graphical symbol of the filter F0 (also referred to as the reception filter F32) having a passband corresponding to the reception band of Band32.
  • B34 is written to the left of the graphical symbol of the filter F0 having a passband corresponding to the reception band of Band34 (hereinafter also referred to as reception filter F34).
  • reception filter F39 is written to the left of the graphical symbol of the filter F0 having a passband corresponding to the reception band of Band39 (hereinafter also referred to as reception filter F39).
  • B41Rx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as the reception filter F41R) having a passband corresponding to the reception band of Band41.
  • B41Tx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as transmission filter F41T) having a passband corresponding to the transmission band of Band41.
  • B7 is written on the left side of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F7) having a passband corresponding to the reception band of Band7.
  • reception filter F7 is written on the left side of the symbol of the filter F0 having a passband corresponding to the reception band of Band7.
  • B25 is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as the reception filter F25) having a passband corresponding to the reception band of Band25.
  • B66Rx is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as the reception filter F66R) having a passband corresponding to the reception band of Band66.
  • B30 is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F30) having a passband corresponding to the reception band of Band30.
  • FIG. 1 is written to the left of the symbol of the filter F0 (hereinafter also referred to as reception filter F30) having a passband corresponding to the reception band of Band30.
  • the high-frequency module 100 further includes, for example, three transmission filters F66T, F3T, F1T as shown in FIGS. 6 and 7, in addition to the plurality of filters F0 shown in FIG.
  • the transmission filter F66T is a filter having passbands corresponding to the transmission band of Band 66 of the 3GPP LTE standard and the transmission band of n70 of the 5G NR standard.
  • B66/n70Tx is written to the left of the symbol of the transmission filter F66T.
  • the transmission filter F3T is a filter having a passband corresponding to the transmission band of Band3.
  • B3Tx is written to the left of the symbol of the transmission filter F3T.
  • the transmission filter F1T is a filter having a passband corresponding to the transmission band of Band1.
  • FIG. 1Tx is written to the left of the symbol of the transmission filter F1T.
  • the receive filter F25 has a passband including the receive band of Band 25 of the 3GPP LTE standard and the receive band of n70 of the 5G NR standard.
  • “B25/n70Rx” is written to the left of the symbol of the reception filter F25.
  • the reception filter F32 has a passband including the reception band of Band 32 of the 3GPP LTE standard and the reception band of n75 and n76 of the 5G NR standard.
  • “B32/n75/n76” is written to the left of the symbol of the reception filter F32.
  • the high-frequency module 100 has a plurality of external connection terminals 8, three matching circuits 161, 162, and 163, a receiving circuit 101 connected to the switch 7, and a and a transmission circuit 102 .
  • the plurality of external connection terminals 8 includes three antenna terminals 81A, 81B, 81C, four signal output terminals 82A, 82B, 82C, 82D, two signal input terminals 83A, 83B, It includes four control terminals 84, a plurality of ground terminals 85 (see FIG. 9), and a power terminal (not shown).
  • the four signal output terminals 82A, 82B, 82C, and 82D are terminals for outputting high-frequency signals (received signals) from the receiving circuit 101 to an external circuit (for example, the signal processing circuit 301).
  • the two signal input terminals 83A and 83B are terminals for inputting a high frequency signal (transmission signal) from an external circuit (for example, the signal processing circuit 301) to the high frequency module 100.
  • FIG. A plurality of control terminals 84 are terminals for inputting control signals (digital signals) from an external circuit (for example, the signal processing circuit 301) to the receiving circuit 101, the transmitting circuit 102, and the switch 7, for example.
  • the plurality of ground terminals 85 are terminals to which a ground potential is applied.
  • the control terminals 84 may be arranged according to the number of circuits (for example, switch circuits 5, etc.) to be controlled within the high-frequency module 100 by control signals from external circuits.
  • the antenna terminal 81A is the external connection terminal 8 to which the common terminal 5A of the first switch circuit 5 is connected, for example.
  • a common terminal 5A of the first switch circuit 5 is connected to the antenna terminal 81A via, for example, a matching circuit 161 for impedance matching.
  • the antenna terminal 81B is the external connection terminal 8 to which the common terminal 5B of the first switch circuit 5 is connected.
  • the common terminal 5B of the first switch circuit 5 is connected to the antenna terminal 81B via, for example, a matching circuit 162 for impedance matching.
  • the antenna terminal 81C is, for example, the external connection terminal 8 to which the common terminal 5C of the first switch circuit 5 is connected.
  • a common terminal 5C of the first switch circuit 5 is connected to the antenna terminal 81C via, for example, a matching circuit 163 for impedance matching.
  • Each of the matching circuits 161, 162, 163 includes, for example, but not limited to, at least one inductor and at least one capacitor.
  • the receiving circuit 101 (see FIG. 5), for example, amplifies the received signals input to the high-frequency module 100 from the three antennas AN1, AN2, and AN3 (see FIG. 5), and outputs them to an external circuit (for example, the signal processing circuit 301). configured for output.
  • the signal processing circuit 301 is not a component of the high frequency module 100 but a component of the communication device 300 including the high frequency module 100 .
  • the receiving circuit 101 is controlled by a signal processing circuit 301, for example.
  • the receiving circuit 101 includes a plurality of (for example, 13) receiving filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, F7, F25, F66R, F30, F53, and F11. .
  • the receiving circuit 101 also includes a plurality (eg, thirteen) of low-noise amplifiers A40, A1, A32, A34, A39, A3, A41, A7, A25, A66, A30, A53, and A11.
  • the receiving circuit 101 also includes a plurality of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L41, L7, L25, L66, L30, L53, and L11.
  • the receiving circuit 101 also includes a plurality (eg, 4) of first switches 2 and a plurality (eg, 4) of second switches 3 .
  • a plurality of low-noise amplifiers A40, A1, A32, A34, A39, A3, A41, A7, A25, A66, A30, A53, and A11 are connected to a plurality of receive filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, and F7. , F25, F66R, F30, F53 and F11.
  • a plurality (eg, 13) of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L3, L41, L7, L25, L66, L30, L53, and L11 are connected to a plurality (eg, 13) of low noise amplifiers A40.
  • the receiving circuit 101 includes a plurality of first switches 2 and a plurality of second switches 3, so that a plurality (for example, 13) of low noise amplifiers A40, A1, A32, A34, A39, A3, A41, A7, A25, Received signals amplified by A66, A30, A53 and A11 can be output from any one of a plurality of signal output terminals 82A, 82B, 82C and 82D.
  • the second switch 3 connected to the signal output terminal 82A is called the second switch 3A
  • the second switch 3 connected to the signal output terminal 82B is called the second switch 3B
  • the second switch 3B and connected to the signal output terminal 82C.
  • the second switch 3 connected to the signal output terminal 82D is designated as a second switch 3C
  • the second switch 3 connected to the signal output terminal 82D is designated as a second switch 3D.
  • the first switch 2 to which the three low-noise amplifiers A1, A66, and A34 are connected is designated as the first switch 2A
  • the first switch 2 to which the three low-noise amplifiers A39, A3, and A25 are connected is designated as the first switch 2A.
  • the first switch 2 to which the two low-noise amplifiers A30 and A40 are connected is referred to as the first switch 2C
  • the first switch 2 to which the three low-noise amplifiers A53, A7 and A41 are connected is referred to as the first switch 2D. is attached.
  • Each of the plurality of first switches 2 and the plurality of second switches 3 has, for example, one common terminal and a plurality of selection terminals, and is a switch capable of one-to-one and one-to-many connections.
  • the high-frequency module 100 can support simultaneous communication in two or more communication bands out of Band1, Band3, Band40, Band32, and Band7, for example. Also, the high-frequency module 100 can support simultaneous communication in two or more communication bands out of Band 34, Band 39 and Band 41, for example. Also, the high-frequency module 100 can support simultaneous communication in two or more communication bands out of Band 34, Band 39 and Band 41, for example.
  • the transmission circuit 102 (see FIG. 5) is configured, for example, to amplify the transmission signal input from the signal processing circuit 301 and output it to the two antennas AN1 and AN3.
  • the transmission circuit 102 is controlled by the signal processing circuit 301, for example.
  • the transmission circuit 102 includes a plurality of (for example, two) power amplifiers 113A and 113B, a plurality of (for example, four) transmission filters F66T, F3T, F1T, and F41T, and a plurality of ( For example, it includes the output matching circuits 131 and 132 of 2), the switch 117 and the switch 114 .
  • Each of the two power amplifiers 113A, 113B has an input terminal and an output terminal.
  • Each of the plurality of power amplifiers 113A and 113B amplifies a transmission signal input to an input terminal and outputs the signal from an output terminal.
  • the input terminal of the power amplifier 113A and the input terminal of the power amplifier 113B are connected via the switch 117 to the signal input terminal 83A or the signal input terminal 83B. Therefore, in the communication device 300 (see FIG. 5) including the high-frequency module 100, the input terminal of the power amplifier 113A and the input terminal of the power amplifier 113B are connected to the communication device via the switch 117 and the signal input terminal 83A or the signal input terminal 83B. 300 is connected to a signal processing circuit 301 .
  • the power amplifiers 113A and 113B power-amplify high-frequency signals in transmission bands of different communication bands.
  • the output terminal of the power amplifier 113A is connected to the first switch circuit 5 via the output matching circuit 131 and the transmission filter F41T.
  • the output terminal of the power amplifier 113B can be connected to a plurality of (for example, three) transmission filters F66T, F1T, and F3T via the output matching circuit 132 and the switch 114.
  • the power amplifier 113A is, for example, a differential synthesis amplifier and includes an amplifier 111 and a transformer 121.
  • the power amplifier 113B is, for example, a differential synthesis amplifier and includes an amplifier 112 and a transformer 122.
  • Each of the two power amplifiers 113A and 113B is not limited to a differential synthesis amplifier, and may be a Doherty amplifier, for example.
  • the high frequency module 100 further includes a controller 118 that controls the power amplifiers 113A and 113B.
  • the controller 118 controls the power amplifiers 113A and 113B according to control signals from the signal processing circuit 301, for example.
  • the controller 118 is connected to the signal processing circuit 301 via a plurality of (eg, four) control terminals 84 .
  • a plurality of control terminals 84 are terminals for inputting control signals from an external circuit (for example, the signal processing circuit 301) to the controller 118 and the like.
  • the controller 118 controls the power amplifiers 113A and 113B, the switches 117 and 114 based on control signals obtained from the signal processing circuit 301 via the plurality of control terminals 84 .
  • the control signal obtained by the controller 118 is a digital signal.
  • the output matching circuit 131 is provided in the signal path between the output terminal of the power amplifier 113A and the transmission filter F41T.
  • the output matching circuit 131 is a circuit for impedance matching between the power amplifier 113A and the transmission filter F41T, and includes, for example, multiple inductors and multiple capacitors.
  • the output matching circuit 132 is provided in the signal path between the output terminal of the power amplifier 113B and the switch 114 .
  • the output matching circuit 132 is a circuit for impedance matching between the power amplifier 113B and the three transmission filters F3T, F1T, and F41T, and includes, for example, multiple inductors and multiple capacitors.
  • the IC chip 1 further has a control circuit 17 (see FIG. 1) that controls the switch circuit 5.
  • the control circuit 17 controls a plurality (eg 21) series switching elements and a plurality (eg 7) shunt switching elements of the switch circuit 5 .
  • the control circuit 17 includes a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 and a plurality of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40. , Q50, Q60, and Q70 are respectively controlled to be conductive (on) or non-conductive (off).
  • the control circuit 17 also controls multiple series switching elements and multiple shunt switching elements of the second switch circuit 6 .
  • the control circuit 17 controls each of the plurality of switching elements Q81, Q91 and the plurality of switching elements Q80, Q90 to be in a conducting state (on) or a non-conducting state (off).
  • a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 and a plurality of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, Q70 Each, in the case of a FET, is conductive when the FET's gate-to-source voltage is greater than or equal to the gate threshold voltage, and is non-conductive when the FET's gate-to-source voltage is less than the gate threshold voltage.
  • the control circuit 17 includes a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 and a plurality of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50. , Q60 and Q70, a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71 . . . Q73 and a plurality of switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, Q70.
  • each of the plurality of switching elements Q81, Q91 and the plurality of switching elements Q80, Q90 becomes conductive when the voltage between the gate and the source of the FET is equal to or higher than the gate threshold voltage in the case of the FET, and the voltage between the gate and the source of the FET becomes It becomes non-conducting when the voltage is less than the gate threshold voltage.
  • the control circuit 17 controls the gate-to-source voltages of the FETs constituting the plurality of switching elements Q81, Q91 and the plurality of switching elements Q80, Q90, thereby controlling the plurality of switching elements Q81, Q91 and the plurality of switching elements Q80. , Q90.
  • control circuit 17 controls the plurality of series switching elements and the plurality of shunt switching elements of the first switch circuit 5 and the second switch circuit according to control signals (digital signals) acquired from the plurality of control terminals 84 (see FIG. 5). 6 multiple series switching elements and multiple shunt switching elements.
  • the control circuit 17 is a logic circuit that controls the first switch circuit 5 and the second switch circuit 6 according to the control signal from the signal processing circuit 301 .
  • the control signal received by the control circuit 17 from the signal processing circuit 301 is, for example, a first command corresponding to carrier aggregation or dual connectivity of two or more communication bands different from each other, a second command corresponding to single communication of one communication band, command, etc.
  • the high-frequency module 100 operates in the first mode when the control circuit 17 receives the first command, and operates in the second mode when the control circuit 17 receives the second command.
  • the first mode is, for example, a mode in which simultaneous transmission, simultaneous reception, or simultaneous transmission and reception is possible using two or more filters having passbands corresponding to different communication bands among the plurality of filters F0.
  • the second mode is, for example, a mode in which transmission or reception using only one filter F0 out of a plurality of filters F0 is possible.
  • the high-frequency module 100 includes a mounting substrate 9 and an IC chip 1, as shown in FIGS.
  • the high-frequency module 100 further includes a plurality of receiving electronic components 4 and a plurality of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L3, L41, L7, L25, L66, L30, L53, and L11.
  • Each of the plurality of reception system electronic components 4 includes at least one of the plurality of reception filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, F7, F25, F66R, F30, F53, F11.
  • the high frequency module 100 further includes an IC chip 110 .
  • the IC chip 110 includes a plurality of low noise amplifiers A40, A1, A32, A34, A39, A3, A41, A7, A25, A66, A30, A53, A11 (see FIG. 6).
  • the IC chip 110 also includes a plurality (eg, four) of first switches 2 (see FIG. 6) and a plurality (eg, four) of second switches 3 (see FIG. 6).
  • the IC chip 110 further includes a control unit 119 .
  • the control unit 119 is connected to the signal processing circuit 301 via a plurality of (for example, four) control terminals 84 .
  • the control unit 119 operates a plurality of low noise amplifiers A40, A1, A32, A34, A39, A3, A41, A7, A25, A66, A30 based on control signals obtained from the signal processing circuit 301 via a plurality of control terminals 84. , A53, A11, a plurality of first switches 2 and a plurality of second switches 3 are controlled.
  • the high frequency module 100 further includes three matching circuits 161, 162, 163 (see FIG. 6). Further, the high-frequency module 100 includes amplifiers 111 and 112 of two power amplifiers 113A and 113B, two transformers 121 and 122, two output matching circuits 131 and 132, a switch 117, a switch 114, a controller 118, (see FIG.
  • the high-frequency module 100 further includes a plurality of external connection terminals 8 .
  • the high-frequency module 100 further includes a resin layer 190 (hereinafter also referred to as a first resin layer 190), a metal electrode layer 200, and a second resin layer 210. As shown in FIG. Note that the illustration of the first resin layer 190 and the metal electrode layer 200 is omitted in FIG.
  • the mounting substrate 9 When viewed from the thickness direction D1 of the mounting board 9, the outer edge of the mounting board 9 is square.
  • the mounting substrate 9 has a first main surface 91 and a second main surface 92 facing each other in the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, as shown in FIG.
  • the second main surface 92 of the mounting board 9 in FIG. 9 is the main surface 90 of the mounting board 9 in FIGS.
  • the mounting substrate 9 has an outer peripheral surface 93 .
  • the outer peripheral surface 93 of the mounting substrate 9 includes, for example, four side surfaces connecting the outer edge of the first main surface 91 and the outer edge of the second main surface 92 of the mounting substrate 9, and the first main surface 91 and the second main surface It does not include face 92 .
  • the mounting substrate 9 is, for example, a multilayer substrate including multiple dielectric layers and multiple conductive layers.
  • a plurality of dielectric layers and a plurality of conductive layers are stacked in the thickness direction D1 of the mounting substrate 9 .
  • a plurality of conductive layers are formed in a predetermined pattern defined for each layer.
  • Each of the plurality of conductive layers includes one or a plurality of conductor portions within one plane perpendicular to the thickness direction D1 of the mounting board 9 .
  • the material of each conductive layer is copper, for example.
  • the plurality of conductive layers includes a ground layer. In the high-frequency module 100 , the plurality of ground terminals 85 and the ground layer are electrically connected through via conductors or the like of the mounting board 9 .
  • the mounting board 9 is, for example, a printed wiring board.
  • the mounting substrate is not limited to a printed wiring board, and may be, for example, an LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) substrate, an HTCC (High Temperature Co-fired Ceramics) substrate, or a resin multilayer substrate.
  • the first main surface 91 and the second main surface 92 of the mounting board 9 are separated in the thickness direction D1 of the mounting board 9 and intersect the thickness direction D1 of the mounting board 9 .
  • the first main surface 91 of the mounting substrate 9 is, for example, orthogonal to the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, but may include, for example, the side surface of the conductor as a surface that is not orthogonal to the thickness direction D1.
  • the second main surface 92 of the mounting substrate 9 is, for example, orthogonal to the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, but includes, for example, the side surface of the conductor portion as a surface that is not orthogonal to the thickness direction D1.
  • first main surface 91 and the second main surface 92 of the mounting substrate 9 may have fine unevenness, concave portions, or convex portions.
  • the inner surface of the recess is included in the first main surface 91 .
  • a plurality of first circuit components are mounted on the first main surface 91 of the mounting substrate 9.
  • the plurality of first circuit components includes a plurality (for example, 6) of receiving electronic components 4 and a plurality (for example, 13) of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L3, L41, L7, L25, and L66. , L30, L53, L11, and a plurality of transmission electronic components.
  • Each of the plurality of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L3, L41, L7, L25, L66, L30, L53, and L11 is a surface mount electronic component, that is, a chip inductor.
  • the plurality of first circuit components includes the plurality of inductors and the plurality of capacitors of each of the output matching circuits 131 and 132 .
  • Each of the multiple inductors included in each of the output matching circuits 131 and 132 is a surface mount electronic component, that is, a chip inductor.
  • each of the plurality of capacitors included in the output matching circuits 131 and 132 is a surface mount electronic component, that is, a chip capacitor.
  • the first circuit component is mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9 means that the first circuit component is arranged on the first main surface 91 of the mounting board 9 (mechanically connected). and that the first circuit component is electrically connected to (a suitable conductor portion of) the mounting board 9 .
  • a plurality of second circuit components are mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9.
  • the plurality of second circuit components includes IC chip 1 and IC chip 110 .
  • the second circuit component is mounted on the second main surface 92 of the mounting board 9 means that the second circuit component is arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9 (mechanically connected). and that the second circuit component is electrically connected to (a suitable conductor portion of) the mounting board 9 .
  • each of the plurality of receiving electronic components 4 is, for example, rectangular.
  • Each of the plurality of receiving electronic components 4 has a main surface 401 on the side of the mounting board 9, a main surface 402 on the side opposite to the mounting board 9, and an outer peripheral surface 403 connecting the main surfaces 401 and 402. and have Perimeter surface 403 includes at least four sides.
  • receiving system electronic component 41, receiving system electronic component 42, receiving system electronic component 43, receiving system electronic component 44, receiving system electronic component 45 and receiving system electronic component 46 when distinguishing a plurality of receiving system electronic components 4, receiving system electronic component 41, receiving system electronic component 42, receiving system electronic component 43, receiving system electronic component 44, receiving system electronic component 45 and receiving system electronic component 46 .
  • the reception electronic component 41 includes, for example, three reception filters F30, F25, F66R (see FIG.
  • the reception electronic component 42 includes, for example, three reception filters F3, F32, F1R (see FIG. 7).
  • the reception electronic component 43 includes, for example, one reception filter F40 (see FIG. 7).
  • the reception electronic component 44 includes, for example, two reception filters F34 and F39 (see FIG. 7).
  • the reception electronic component 45 includes, for example, two reception filters F7 and F41R (see FIG. 7).
  • the reception electronic component 46 includes, for example, two reception filters F11 and F53 (see FIG. 7).
  • a plurality of reception filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, F7, F25, F66R, F30, F53, and F11 are arranged on first main surface 91 of mounting substrate 9.
  • Each of the plurality of receive filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, F7, F25, F66R, F30, F53, and F11 is, for example, a ladder-type filter, and a plurality (for example, four) and a plurality of (for example, three) parallel arm resonators.
  • Each of the plurality of reception filters F40, F1R, F32, F34, F39, F3, F41R, F7, F25, F66R, F30, F53, and F11 is, for example, an elastic wave filter.
  • each of a plurality of series arm resonators and a plurality of parallel arm resonators is composed of an elastic wave resonator.
  • the acoustic wave filter is, for example, a surface acoustic wave filter that utilizes surface acoustic waves.
  • each of a plurality of series arm resonators and a plurality of parallel arm resonators is, for example, a SAW (Surface Acoustic Wave) resonator and has an IDT (Interdigital Transducer) electrode.
  • the multiple transmission system electronic components include, for example, the amplifier 111 of the power amplifier 113A, the amplifier 112 of the power amplifier 113B, and multiple transmission filters F66T, F3T, F1T, and F41T (see FIGS. 6 and 7).
  • Each of amplifiers 111 and 112 is an IC chip for power amplification.
  • the IC chip for power amplification is, for example, a GaAs IC chip when the transistor for amplification is an HBT (Heterojunction Bipolar Transistor).
  • the IC chip for power amplification is, for example, a Si-based IC chip when the amplifying transistor is a bipolar transistor or FET (Field Effect Transistor).
  • Each of the multiple transmission filters F66T, F3T, F1T, and F41T is, for example, a ladder-type filter, and includes multiple (eg, four) series arm resonators and multiple (eg, three) parallel arm resonators.
  • Each of the multiple transmission filters F66T, F3T, F1T, and F41T is, for example, an elastic wave filter.
  • each of a plurality of series arm resonators and a plurality of parallel arm resonators is composed of an elastic wave resonator.
  • the acoustic wave filter is, for example, a surface acoustic wave filter that utilizes surface acoustic waves.
  • each of the multiple series arm resonators and the multiple parallel arm resonators is, for example, a SAW resonator and has an IDT electrode.
  • a plurality of external connection terminals 8 are arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9 .
  • the external connection terminals 8 are arranged on the second main surface 92 of the mounting board 9" means that the external connection terminals 8 are mechanically connected to the second main surface 92 of the mounting board 9, and that the connection terminal 8 is electrically connected to (a proper conductor portion of) the mounting board 9 .
  • the plurality of external connection terminals 8 includes three antenna terminals 81A, 81B, 81C, four signal output terminals 82A, 82B, 82C, 82D, two signal input terminals 83A, 83B, a plurality of control terminals 84, It includes a plurality of ground terminals 85 and a power terminal (not shown).
  • the multiple ground terminals 85 are electrically connected to the ground layer of the mounting board 9 .
  • the ground layer is the circuit ground of the high frequency module 100, and the multiple circuit components of the high frequency module 100 include circuit components electrically connected to the ground layer.
  • the material of the plurality of external connection terminals 8 is, for example, metal (eg, copper, copper alloy, etc.).
  • the plurality of external connection terminals 8 are not constituent elements of the mounting substrate 9 , but may be constituent elements of the mounting substrate 9 .
  • Each of the plurality of external connection terminals 8 is a columnar electrode (for example, a columnar electrode).
  • the first resin layer 190 is arranged on the first main surface 91 of the mounting substrate 9, as shown in FIG.
  • the first resin layer 190 contains resin (for example, epoxy resin).
  • the first resin layer 190 may contain filler in addition to the resin.
  • the first resin layer 190 has electrical insulation.
  • the first resin layer 190 covers the outer peripheral surface 403 of each of the plurality of receiving electronic components 4 .
  • the first resin layer 190 includes the amplifiers 111 and 112 of the two power amplifiers 113A and 113B, the plurality of inductors and the plurality of capacitors of each of the two output matching circuits 131 and 132, the plurality of inductors L40, L1, L32, L34, L39, L3, L41, L7, L25, L66, L30, L53, and L11 are covered.
  • the metal electrode layer 200 includes the main surface 402 of each of the plurality of receiving electronic components 4 , the main surface 191 of the first resin layer 190 opposite to the mounting substrate 9 side, and the outer peripheral surface 193 of the first resin layer 190 . , the outer peripheral surface 93 of the mounting substrate 9, and the outer peripheral surface 213 of the second resin layer 210, which will be described later.
  • the metal electrode layer 200 is in contact with at least part of the outer peripheral surface of the ground layer of the mounting board 9 . Thereby, the potential of the metal electrode layer 200 can be made the same as the potential of the ground layer.
  • the metal electrode layer 200 has a multi-layered structure in which a plurality of metal layers are laminated, but is not limited to this and may be one metal layer.
  • the metal layer contains one or more metals.
  • the metal electrode layer 200 has a multilayer structure in which a plurality of metal layers are laminated, for example, a first metal layer (for example, a first stainless steel layer) and a second metal layer (for example, a Cu layer) on the first metal layer layer) and a third metal layer (eg, a second stainless steel layer) over the second metal layer.
  • a first metal layer for example, a first stainless steel layer
  • a second metal layer for example, a Cu layer
  • a third metal layer eg, a second stainless steel layer
  • Each material of the first stainless steel layer and the second stainless steel layer is an alloy containing Fe, Ni and Cr.
  • the metal electrode layer 200 is, for example, a Cu layer in the case of one metal layer.
  • the second resin layer 210 covers the IC chip 1 , the IC chip 110 , and the outer peripheral surfaces of each of the plurality of external connection terminals 8 .
  • the second resin layer 210 does not cover the end surfaces of the plurality of external connection terminals 8 on the side opposite to the mounting board 9 side.
  • the second resin layer 210 contains resin (for example, epoxy resin).
  • the second resin layer 210 may contain filler in addition to the resin.
  • the material of the second resin layer 210 may be the same material as the material of the first resin layer 190, or may be a different material.
  • the IC chip 1 is arranged on the main surface 90 of the mounting board 9 as shown in FIGS.
  • the IC chip 1 includes part of the first switch circuit 5 (see FIG. 1).
  • the IC chip 1 further includes a second switch circuit 6 (see FIG. 1).
  • the IC chip 1 is, for example, a Si-based IC chip.
  • the IC chip 1 has a plurality of pad electrodes 16 (see FIGS. 3 and 4).
  • the IC chip 1 is flip-chip mounted on the main surface 90 (the second main surface 92 in FIG. 9) of the mounting substrate 9 . More specifically, the IC chip 1 is mounted on the mounting substrate 9 by bonding the plurality of pad electrodes 16 to the mounting substrate 9 by means of conductive bumps 19 corresponding to the plurality of pad electrodes 16 on a one-to-one basis. ing.
  • a plurality of conductive bumps 19 connect the mounting substrate 9 to the plurality of common terminals 5A, 5B, 5C and the plurality of selection terminals 51 to 57 of the IC chip 1.
  • the material of the conductive bumps 19 is solder, for example.
  • the outer peripheral shape of the IC chip 1 is square.
  • the second wiring pattern portion r2 overlaps the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9 (see FIGS. 2 and 3).
  • the entire second wiring pattern portion r2 overlaps the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9. It is sufficient that a part of the IC chip 1 is overlapped.
  • the multiple pad electrodes 16 include multiple common terminals 5A, 5B, 5C and multiple selection terminals 51-57 of the switch circuit 5 (see FIG. 1).
  • the IC chip 1 includes a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 of the switch circuit 5.
  • FIG. The material of each of the plurality of pad electrodes 16 is, for example, aluminum alloy or gold.
  • the signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73 of the switch circuit 5 the signal paths r11-r13, r21-r23, r61-
  • Each of r62 and r71 to r73 includes a first wiring pattern portion r1 included in IC chip 1 and a second wiring pattern portion r2 included in mounting substrate 9.
  • FIG. In the high-frequency module 100 the IC chip 1 side surface Sr ⁇ b>2 (see FIG. 3 ) of the second wiring pattern portion r ⁇ b>2 is part of the main surface 90 of the mounting substrate 9 .
  • the second switch circuit 6 is connected to the selection terminal 57 out of the plurality of selection terminals 51 to 57 of the first switch circuit 5 .
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 311) on the signal path r11 is, for example, connected to the node to which the switching element Q11 (series switching element) is connected in the second wiring portion 31 of the signal path r11. 2 This is the portion between the node to which the switching element Q10 (shunt switching element) is connected in the wiring portion 31 .
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 311) in the signal path r12 is, for example, a node connected to the switching element Q11 in the second wiring portion 31 and the second wiring portion 31 in the signal path r12. This is the portion between the node to which the switching element Q10 is connected.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 311) in the signal path r13 is, for example, a node connected to the switching element Q11 in the second wiring portion 31 in the signal path r13 and This is the portion between the node to which the switching element Q10 is connected.
  • the three signal paths r11 to r13 include the second wiring pattern portion 311 in common.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 321) on the signal path r21 is, for example, connected to the node to which the switching element Q21 (series switching element) is connected in the second wiring portion 32 of the signal path r21. This is the portion between the node to which the switching element Q20 (shunt switching element) is connected in the second wiring portion 32 .
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 321) in the signal path r22 is, for example, a node connected to the switching element Q21 in the second wiring portion 32 in the signal path r22 and This is the portion between the node to which the switching element Q20 is connected.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 321) in the signal path r23 is, for example, a node connected to the switching element Q21 in the second wiring portion 32 in the signal path r23 and This is the portion between the node to which the switching element Q20 is connected.
  • the three signal paths r21 to r23 include the second wiring pattern portion 321 in common.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 361) on the signal path r61 is, for example, connected to the node to which the switching element Q61 (series switching element) is connected in the second wiring portion 36 of the signal path r61. This is the portion between the node to which the switching element Q60 (shunt switching element) is connected in the second wiring portion 36 .
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 361) in the signal path r62 is, for example, a node connected to the switching element Q61 in the second wiring portion 36 in the signal path r62 and This is the portion between the node to which the switching element Q60 is connected.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 361) in the signal path r63 is, for example, a node in the second wiring portion 36 in the signal path r63 to which the switching element Q61 is connected and the second wiring portion 36. This is the portion between the node to which the switching element Q60 is connected.
  • the three signal paths r61 to r63 include the second wiring pattern portion 361 in common.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 371) in the signal path r71 is, for example, connected to the node to which the switching element Q71 (series switching element) is connected in the second wiring portion 37 in the signal path r71. This is the portion between the node to which the switching element Q70 (shunt switching element) is connected in the second wiring portion 37 .
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 371) in the signal path r72 is, for example, a node connected to the switching element Q71 in the second wiring portion 37 in the signal path r72 and This is the portion between the node to which the switching element Q70 is connected.
  • the second wiring pattern portion r2 (second wiring pattern portion 371) in the signal path r73 is, for example, a node connected to the switching element Q71 in the second wiring portion 37 in the signal path r73 and This is the portion between the node to which the switching element Q70 is connected.
  • the three signal paths r71 to r73 include the second wiring pattern portion 371 in common.
  • the switch circuit 5 can simultaneously connect two or more selection terminals among the plurality of selection terminals 51 to 57 to one common terminal among the plurality of common terminals 5A, 5B, and 5C.
  • the two or more selection terminals include a first selection terminal (eg, selection terminal 55) and a second selection terminal (eg, selection terminal 51).
  • a plurality of signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73 are the first signal paths between the first select terminal and the one common terminal. and a second signal path between a second select terminal and the one common terminal.
  • At least one of the first signal path and the second signal path includes a first wiring pattern portion r1 and a second wiring pattern portion r2.
  • the combination of the first selection terminal and the second selection terminal is not limited to the combination of the selection terminal 55 and the selection terminal 51, but the combination of the selection terminal 51 and the selection terminal 55, the selection terminal 54 and the selection terminal 51, the combination of the selection terminal 51 and the selection terminal 54, the combination of the selection terminal 56 and the selection terminal 55, the combination of the selection terminal 55 and the selection terminal 56, the combination of the selection terminal 53 and the selection terminal 52 There is a combination, a combination of the selection terminal 52 and the selection terminal 53 .
  • the first signal path and the second signal path may intersect in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9.
  • the IC chip 1 includes a first portion (first wiring pattern portion r1) overlapping the second signal path in the first signal path, and a second portion (second wiring pattern portion r1) overlapping the first signal path in the second signal path. It is preferable that the wiring pattern portion r2) is included in the mounting board 9.
  • the switch circuit 5 includes the third wiring pattern portion r3 (see FIGS. 2 and 4) included in the mounting board 9.
  • the thickness T3 (see FIG. 4) of the third wiring pattern portion r3 is greater than the thickness T1 (see FIG. 4) of the first wiring pattern portion r1.
  • the wiring width WL3 (see FIG. 2) of the third wiring pattern portion r3 is larger than the wiring width WL1 (see FIG. 2) of the first wiring pattern portion r1.
  • the material of the third wiring pattern portion r3 is, for example, the same as the material of the second wiring pattern portion r2, but is not limited to this and may be different.
  • the third wiring pattern portion r3 is arranged inside the mounting board 9 away from the main surface 90 of the mounting board 9 in the thickness direction D1 of the mounting board 9 .
  • the third wiring pattern portion r3 is separated from the first main surface 91 and the second main surface in the thickness direction D1 of the mounting board 9 .
  • the distance H3 between the third wiring pattern portion r3 and the main surface 1A of the IC chip 1 on the side of the mounting board 9 is the distance between the main surface 90 of the mounting board 9 and the main surface 1A of the IC chip 1. longer than the distance H1 between
  • the third wiring pattern portion r3 may be the second wiring pattern portion r2, or may be a wiring pattern portion other than the second wiring pattern portion r2.
  • the switch circuit 5 includes two third wiring pattern portions r3 included in the mounting board 9, as shown in FIG.
  • the switch circuit 5 when viewed from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, one of the two third wiring pattern portions r3 entirely overlaps the IC chip 1, and another one of the third wiring pattern portions r3 overlaps the IC chip 1. A portion of the third wiring pattern portion r3 overlaps the IC chip 1 .
  • the communication device 300 includes the high frequency module 100 and the signal processing circuit 301 .
  • the signal processing circuit 301 is connected to the high frequency module 100 .
  • the communication device 300 further includes a plurality of (for example, three) antennas AN1, AN2, and AN3.
  • the communication device 300 further includes a circuit board on which the high frequency module 100 is mounted.
  • a circuit board is, for example, a printed wiring board.
  • the circuit board has a ground electrode to which a ground potential is applied.
  • the signal processing circuit 301 includes, for example, an RF signal processing circuit 302 and a baseband signal processing circuit 303.
  • the RF signal processing circuit 302 is, for example, an RFIC (Radio Frequency Integrated Circuit), and performs signal processing on high frequency signals.
  • the RF signal processing circuit 302 for example, performs signal processing such as up-conversion on the high-frequency signal (transmission signal) output from the baseband signal processing circuit 303, and outputs the processed high-frequency signal. Further, the RF signal processing circuit 302 performs signal processing such as down-conversion on the high-frequency signal (received signal) output from the high-frequency module 100, and converts the processed high-frequency signal to the baseband signal processing circuit. 303.
  • the baseband signal processing circuit 303 is, for example, a BBIC (Baseband Integrated Circuit).
  • a baseband signal processing circuit 303 generates an I-phase signal and a Q-phase signal from the baseband signal.
  • the baseband signal is, for example, an externally input audio signal, image signal, or the like.
  • a baseband signal processing circuit 303 performs IQ modulation processing by combining the I-phase signal and the Q-phase signal, and outputs a transmission signal. At this time, the transmission signal is generated as a modulated signal (IQ signal) obtained by amplitude-modulating a carrier signal of a predetermined frequency with a period longer than the period of the carrier signal.
  • IQ signal modulated signal
  • the received signal processed by the baseband signal processing circuit 303 is used, for example, as an image signal for image display, or as an audio signal for communication by the user of the communication device 300 .
  • the high-frequency module 100 transmits high-frequency signals (received signals, transmitted signals) between the plurality of antennas AN1, AN2, AN3 and the RF signal processing circuit 302 of the signal processing circuit 301.
  • FIG. 1 A block diagram illustrating an image signal for image display, or as an audio signal for communication by the user of the communication device 300 .
  • the plurality of electronic components constituting the signal processing circuit 301 may be mounted on, for example, the circuit board described above, or may be mounted on a circuit board (first circuit board) different from the circuit board (first circuit board) on which the high-frequency module 100 is mounted. second circuit board).
  • a high frequency module 100 includes a mounting board 9 and an IC chip 1 .
  • the mounting board 9 has a main surface 90 .
  • IC chip 1 is arranged on main surface 90 of mounting substrate 9 .
  • IC chip 1 includes a portion of switch circuit 5 .
  • the switch circuit 5 includes a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C, a plurality of selection terminals 51 to 57, a plurality of signal paths r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61. ⁇ r63, r71 ⁇ r73.
  • a plurality of selection terminals 51 to 57 can be connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C.
  • the plurality of signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, and r71-r73 are connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C and a plurality of selection terminals 51-57. and a plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 for switching the form of connection between.
  • a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C of the switch circuit 5, a plurality of selection terminals 51 to 57, and a plurality of switching elements Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q41 to Q43, Q51 to Q53, Q61 to Q63, Q71 to Q73 are included in the IC chip 1.
  • At least one signal path r0 among the plurality of signal paths r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63, and r71 to r73 of the switch circuit 5 is included in the IC chip 1. and a second wiring pattern portion r2 included in the mounting substrate 9.
  • the high-frequency module 100 it is possible to reduce signal loss in the switch circuit 5 .
  • at least one signal path r0 includes a first wiring pattern portion r1 included in the IC chip 1 and a second wiring pattern portion r2 included in the mounting board 9.
  • the wiring density in the IC chip 1 can be reduced, the wiring width of the signal path in the IC chip 1 can be increased, and signal loss can be reduced.
  • the wiring width WL2 of the second wiring pattern portion r2 can be made larger than the wiring width WL1 of the first wiring pattern portion r1, and the thickness T2 of the second wiring pattern portion r2 can be set to the thickness of the wiring pattern portion r1. Since the thickness can be made larger than the thickness T1, it is possible to reduce signal loss in the signal path r0.
  • the switch circuit 5 can simultaneously connect two or more selection terminals among the plurality of selection terminals 51 to 57 to one common terminal among the plurality of common terminals 5A, 5B, and 5C.
  • the two or more selection terminals include a first selection terminal and a second selection terminal.
  • a plurality of signal paths r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73 are the first signal paths between the first select terminal and the one common terminal. and a second signal path between a second select terminal and the one common terminal.
  • At least one of the first signal path and the second signal path includes a first wiring pattern portion r1 and a second wiring pattern portion r2.
  • the IC chip 1 further includes a second switch circuit 6 different from the first switch circuit 5 which is the switch circuit 5 .
  • the high-frequency module 100 at least part of the signal path r ⁇ b>67 connecting the first switch circuit 5 and the second switch circuit 6 includes the wiring pattern portion 67 on the mounting board 9 .
  • the signal paths r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63 and the signal paths r71 to r73 of the first switch circuit 5 Signal interference with the connected second switch circuit 6 can be suppressed.
  • a communication device 300 includes a high frequency module 100 and a signal processing circuit 301 .
  • the signal processing circuit 301 is connected to the high frequency module 100 .
  • signal loss in the switch circuit 5 can be reduced.
  • the switch circuit 5 has three common terminals 5A, 5B, and 5C, three selection terminals 51 to 53, and a plurality (nine) of and a signal path r0 of A plurality of selection terminals 51 to 53 can be connected to a plurality of common terminals 5A, 5B, 5C.
  • the plurality of signal paths r0 includes a plurality of switching elements Q0 for switching the connection form between the plurality of common terminals 5A, 5B, 5C and the plurality of selection terminals 51-53.
  • two signal paths r0 intersecting in plan view from the thickness direction D1 see FIG.
  • the IC chip 1 includes a first portion (the switching element Q0 included in the signal path r0 in the example of FIG. 10) overlapping the second signal path r02 in the first signal path r01.
  • the mounting substrate 9 includes a second portion (part of the second wiring pattern portion r2) that overlaps the first signal route r01 in the second signal route r02.
  • the circuit configuration of the high-frequency module 100 according to Modification 2 is the same as that of the high-frequency module 100 according to Embodiment 1 (see FIGS. 1 and 6), so illustration and description thereof will be omitted.
  • the common terminals 5A, 5B, and 5C (see FIG. 1) and the selection terminals (51 to 57) are arranged in plan view from the thickness direction D1 (see FIG. 3) of the mounting board 9.
  • the signal path r0 having the maximum straight line distance includes the second wiring pattern portion r2. 11 shows one first area E1 and three second areas E2 of the IC chip 1 in a plan view from the thickness direction D1 (see FIG.
  • the first area E1 is an area in which the common terminals 5A, 5B, 5C and a plurality of switching elements Q1, Q2, Q3 (see FIG. 1) are arranged.
  • Each of the three second regions E2 includes one or more selection terminals among the plurality of selection terminals 51 to 57, and a plurality of series switching elements (switching elements Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q31 to Q33 in FIG. 1).
  • the second wiring pattern portion r2 shown in FIG. 11 includes common terminals 5A, 5B, and 5C (see FIG. 1) and selection terminals 51 to 57 (see FIG. 1) in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9. is the second wiring pattern portion r2 of the signal route r0 with the maximum linear distance.
  • the circuit configuration of the high-frequency module 100 according to Modification 3 is the same as that of the high-frequency module 100 according to Embodiment 1 (see FIGS. 1 and 6), so illustration and description thereof will be omitted.
  • 12 shows one first area E1 and three second areas E1 and three second areas E1 of the IC chip 1 in a plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9 (see FIG. 3) for the high-frequency module 100 according to Modification 3.
  • a region E2 is shown schematically.
  • the first area E1 is an area where the common terminals 5A, 5B, 5C and a plurality of switching elements Q1, Q2, Q3 are arranged.
  • Each of the three second regions E2 includes one or more selection terminals among the plurality of selection terminals 51 to 57 and a plurality of series switching elements (switching elements Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q41 to Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73) and multiple shunt switching elements (switching elements Q10, Q20, Q30, Q40, Q50, Q60, Q70) of one or more series switching element and shunt switching element pairs This is an area in which a pair and are arranged.
  • the remaining one of the two second wiring pattern portions r2 illustrated in FIG. 12 is a second switching element connected to a second selection terminal simultaneously connectable to the one common terminal among the plurality of series switching elements. It is the second wiring pattern portion r2 in the signal path (second signal path) between the one common terminal.
  • Both the portion of the first signal path between the one common terminal and the first switching element and the portion of the second signal path between the one common terminal and the second switching element are the first Although two wiring pattern portions r2 are included, it is sufficient that at least one of them includes the second wiring pattern portion r2.
  • FIG. 13 shows only some of the external connection terminals 8 of the plurality of external connection terminals 8 .
  • a portion of one third wiring pattern portion r3 of the two third wiring pattern portions r3 does not overlap the IC chip 1 in plan view of the mounting substrate 9 in the thickness direction D1.
  • the high-frequency module 100 according to Modification 4 can suppress the coupling between the wiring portion W1 of the IC chip 1 and the third wiring pattern portion r3, and the signal in the switch circuit 5 (see FIG. 7) can be suppressed. Loss can be further reduced.
  • the high-frequency module 100 according to Modification 4 reduces the area of the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, or reduces the multilayer structure portion 15 of the IC chip 1 (see FIG. 4). It is also possible to reduce the number of layers of Further, in the high-frequency module 100 according to the fourth modification, when viewed from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, part of the third wiring pattern portion r3 has a predetermined number of external connection terminals 8 (see FIG. 13). In the example, it overlaps with 3) external connection terminals 8 .
  • the external connection terminal 8 with which a part of the third wiring pattern portion r3 overlaps in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9 is preferably the ground terminal 85 .
  • FIG. 14 shows only some of the external connection terminals 8 of the plurality of external connection terminals 8 .
  • a portion of one second wiring pattern portion r2 among the plurality of second wiring pattern portions r2 does not overlap the IC chip 1 in plan view of the mounting substrate 9 in the thickness direction D1.
  • the high-frequency module 100 according to the modification 5 can suppress the coupling between the wiring portion W1 of the IC chip 1 and the second wiring pattern portion r2, and the signal in the switch circuit 5 (see FIG. 7) can be suppressed. Loss can be further reduced.
  • the high-frequency module 100 according to Modification 5 reduces the area of the IC chip 1 in plan view from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, or reduces the multilayer structure portion 15 of the IC chip 1 (see FIG. 3). It is also possible to reduce the number of layers of In the high-frequency module 100 according to Modification 5, when viewed from the thickness direction D1 of the mounting substrate 9, part of the second wiring pattern portion r2 overlaps the region where the plurality of external connection terminals 8 are arranged. . Further, the high-frequency module 100 according to Modification 5 has a second wiring pattern portion r2 that has a portion that does not overlap the IC chip 1 in plan view in the thickness direction D1 of the mounting substrate 9 among the plurality of second wiring pattern portions r2. at least.
  • the IC chip 1 does not include the control circuit 17, and the first switch circuit 5 and the second switch circuit 6 are directly controlled by the signal processing circuit 301. may have been
  • each of the plurality of switching elements Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73 is not limited to a FET, and may be a bipolar transistor. It may be a transistor or a CMOS switch.
  • each of the plurality of filters F0 is not limited to being a surface acoustic wave filter, and may be a bulk acoustic wave filter.
  • each of the multiple acoustic wave resonators is a BAW resonator.
  • BAW resonators are FBARs (Film Bulk Acoustic Resonators) or SMRs (Solidly Mounted Resonators).
  • each of the plurality of filters F0 may be an elastic wave filter that utilizes boundary acoustic waves, plate waves, or the like, for example.
  • Each of the plurality of external connection terminals 8 is not limited to being a columnar electrode, and may be, for example, a ball-shaped bump.
  • the material of the ball-shaped bumps forming each of the plurality of external connection terminals 8 is, for example, gold, copper, solder, or the like.
  • the high-frequency module 100 has a configuration in which a plurality of second circuit components are mounted on the first main surface 91 of the mounting board 9 instead of the second main surface 92, and does not include the second resin layer 210.
  • the main surface 90 of the mounting board 9 on which the IC chip 1 is arranged is the first main surface 91 of the mounting board 9 .
  • the circuit configuration of the high frequency module 100 is not limited to the example shown in FIG. Moreover, the high-frequency module 100 may include at least the mounting board 9 and the IC chip 1 .
  • the high-frequency module 100 is not limited to a transmission/reception module including transmission electronic components and reception electronic components, and may be a transmission module including only transmission electronic components among transmission electronic components and reception electronic components.
  • the receiving module may include only the receiving electronic component among the transmitting electronic component and the receiving electronic component.
  • a high frequency module (100) comprises a mounting substrate (9) and an IC chip (1).
  • a mounting substrate (9) has a main surface (90).
  • An IC chip (1) is arranged on a main surface (90) of a mounting substrate (9).
  • the IC chip (1) contains part of the switch circuit (5).
  • the switch circuit (5) includes a plurality of common terminals (5A, 5B, 5C), a plurality of selection terminals (51-57), a plurality of signal paths (r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41- r43, r51 to r53, r61 to r63, r71 to r73).
  • a plurality of selection terminals (51-57) can be connected to a plurality of common terminals (5A, 5B, 5C).
  • Multiple signal paths (r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73) have multiple common terminals (5A, 5B, 5C) and multiple selection It includes a plurality of switching elements (Q11-Q13, Q21-Q23, Q31-Q33, Q41-Q43, Q51-Q53, Q61-Q63, Q71-Q73) for switching the form of connection with terminals (51-57).
  • a plurality of common terminals (5A, 5B, 5C), a plurality of selection terminals (51 to 57), and a plurality of switching elements (Q11 to Q13, Q21 to Q23, Q31 to Q33, Q41 to Q43, Q51) of the switch circuit (5) ⁇ Q53, Q61-Q63, Q71-Q73) are included in the IC chip (1).
  • At least one signal path (r0) among the plurality of signal paths (r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73) of the switch circuit (5) is , a first wiring pattern portion (r1) included in the IC chip (1) and a second wiring pattern portion (r2) included in the mounting substrate (9).
  • the high-frequency module (100) it is possible to reduce signal loss in the switch circuit (5).
  • the switch circuit (5) connects two or more selection terminals among the plurality of selection terminals (51 to 57) to the plurality of common terminals (5A, 5B, 5C) can be simultaneously connected to one common terminal.
  • the two or more selection terminals include a first selection terminal and a second selection terminal.
  • a plurality of signal paths (r11-r13, r21-r23, r31-r33, r41-r43, r51-r53, r61-r63, r71-r73) are the first signal paths between the first select terminal and the one common terminal. and a second signal path between a second select terminal and the one common terminal. At least one of the first signal path and the second signal path includes a first wiring pattern portion (r1) and a second wiring pattern portion (r2).
  • the isolation between the first signal path and the second signal path can be improved, and signal leakage between the first signal path and the second signal path can be prevented. can be reduced.
  • the first signal path and the second signal path intersect in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9).
  • D1 thickness direction of the mounting substrate (9).
  • a first portion of the first signal path that overlaps the second signal path is included in the IC chip (1), and a second portion of the second signal path that overlaps the first signal path is included in the mounting board (9).
  • the high-frequency module (100) when the first signal path and the second signal path intersect in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9), the The isolation between the first signal path and the second signal path can be improved, and signal leakage between the first signal path and the second signal path can be reduced.
  • the plurality of switching elements includes a first switching element connected to the first selection terminal and a second switching element connected to the second selection terminal.
  • a region in which the first switching element is formed and a region in which the second switching element is formed are adjacent to each other in the IC chip (1) in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9).
  • One of the portion between the one common terminal and the first switching element in the first signal path and the portion between the one common terminal and the second switching element in the second signal path is the first 2 wiring pattern portion (r2) is included.
  • the high frequency module (100) according to the fourth aspect, it is possible to improve the isolation between the first signal path and the second signal path.
  • a high-frequency module (100) in any one of the first to fourth aspects, further comprises a plurality of conductive bumps (19).
  • a plurality of conductive bumps (19) connect the mounting substrate (9) with a plurality of common terminals (5A, 5B, 5C) and a plurality of selection terminals (51-57) of the IC chip (1).
  • the second wiring pattern portion (r2) overlaps the IC chip (1) in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9).
  • the area occupied by the switch circuit (5) is larger than the area of the IC chip (1) in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting board (9). It is possible to suppress the increase in size.
  • the at least one signal path (r0) includes a plurality of signal paths (r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43 , r51 to r53, r61 to r63, r71 to r73), common terminals (5A, 5B, 5C) and selection terminals (51 to 57) in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9). is the signal path with the maximum straight-line distance.
  • the high frequency module (100) among the plurality of signal paths (r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63, r71 to r73) To reduce the loss in the signal path where the linear distance between the common terminals (5A, 5B, 5C) and the selection terminals (51 to 57) is maximized in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting board (9). becomes possible.
  • the multiple common terminals (5A, 5B, 5C) include three common terminals (5A, 5B, 5C).
  • the plurality of selection terminals (51-57) includes three or more selection terminals (51-57).
  • the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9) among the plurality of signal paths (r0; r11 to r13, r21 to r23, r31 to r33, r41 to r43, r51 to r53, r61 to r63, r71 to r73)
  • the two signal paths (r0) that intersect in plan view are defined as a first signal path (r01) and a second signal path (r02)
  • the first signal path (r01) overlaps the second signal path (r02)
  • a first portion (first wiring pattern portion r1) is included in the IC chip (1), and a second portion (second wiring pattern portion r2) overlapping the first signal path (r01) in the second signal path (r02) is It is included in the mounting board (9).
  • the isolation between the first signal path (r01) and the second signal path (r02) can be improved.
  • the IC chip (1) is separate from the first switch circuit (5) which is the switch circuit (5). further includes a second switch circuit (6) of At least part of the signal path (r67) connecting the first switch circuit (5) and the second switch circuit (6) includes a wiring pattern portion (67) on the mounting substrate (9).
  • the high-frequency module (100) according to the eighth aspect it is possible to reduce signal loss in the signal path (r67) connecting the first switch circuit (5) and the second switch circuit (6). becomes. Further, in the high-frequency module (100) according to the eighth aspect, it is possible to suppress signal interference between the first switch circuit (5) and the second switch circuit (6).
  • the surface (Sr2) of the second wiring pattern portion (r2) on the side of the IC chip (1) is a mounting substrate Part of main surface (90) of (9).
  • the switch circuit (5) includes the third wiring pattern portion (r3) included in the mounting board (9). include.
  • the distance (H3) between the third wiring pattern portion (r3) and the main surface (90) of the IC chip (1) on the mounting board (9) side is the same as the main surface (90) of the mounting board (9) and the IC It is longer than the distance (H1) between the chip (1) and the main surface (1A) on the side of the mounting substrate (9).
  • the high-frequency module (100) for example, it is possible to improve the isolation between the power supply wiring section in the IC chip (1) and the third wiring pattern section (r3).
  • the mounting substrate (9) has a second main surface (92) facing the second main surface (92), which is the main surface (90) of the mounting substrate (9). It has one main surface (91).
  • the high-frequency module (100) includes electronic components (receiver electronic component 4, transmitter electronic component, inductors L1, L3, L7, L11, L25, L30, L32, L34, L39, L40, L41, L53, L66) and a plurality of external connection terminals (8) arranged on the second main surface (92) of the mounting substrate (9).
  • a part of at least one of the second wiring pattern portion (r2) and the third wiring pattern portion (r3) overlaps the IC chip (1) in plan view from the thickness direction (D1) of the mounting substrate (9). not.
  • the high-frequency module (100) it is possible to further reduce signal loss in the switch circuit (5).
  • a communication device (300) comprises the high-frequency module (100) according to any one of the first to eleventh aspects, and a signal processing circuit (301).
  • a signal processing circuit (301) is connected to the high frequency module (100).
  • the communication device (300) According to the communication device (300) according to the twelfth aspect, it is possible to reduce signal loss in the switch circuit (5).
  • IC chip 1A main surface 10 silicon substrate 10A first main surface 10B second main surface 11-13 common wiring section 15 multilayer structure section 16 pad electrode 17 control circuit 18 circuit section 19 conductive bumps 21-23 first wiring section 31 ⁇ 37 Second wiring part 38, 39 Wiring part 2, 2A, 2B, 2C, 2D First switch 3, 3A, 3B, 3C, 3D Second switch 4 Receiving system electronic component 41 to 46 Receiving system electronic component 401 Main surface 402 main surface 403 outer peripheral surface 5 switch circuit (first switch circuit) 5A, 5B, 5C common terminal 51 to 57 selection terminal 6 second switch circuit 60 common terminal 61, 62 selection terminal 67 wiring pattern section 7 switch 8 external connection terminal 81A, 81B, 81C antenna terminal 82A, 82B, 82C, 82D signal Output terminals 83A, 83B Signal input terminal 84 Control terminal 85 Ground terminal 9 Mounting substrate 90 Main surface 91 First main surface 92 Second main surface 93 Outer peripheral surface 100 High frequency module 101 Receiving circuit 102 Transmitting circuit

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Abstract

スイッチ回路での信号の損失を低減する。高周波モジュール(100)では、スイッチ回路(5)の複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)は、複数の共通端子(5A、5B、5C)と複数の選択端子(51~57)との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子(Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)を含む。スイッチ回路(5)の複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)のうち少なくとも1つの信号経路は、ICチップに含まれる第1配線パターン部と、実装基板に含まれる第2配線パターン部(r2)と、を含む。

Description

高周波モジュール及び通信装置
 本発明は、一般に高周波モジュール及び通信装置に関し、より詳細には、スイッチ回路を備える高周波モジュール、及び、それを備える通信装置に関する。
 特許文献1は、複数のアンテナに接続されるアンテナスイッチ(スイッチ回路)を備えるフロントエンドアーキテクチャ(高周波モジュール)を開示している。特許文献1には、フロントエンドアーキテクチャは、キャリアアグリゲーション機能を含むことができることが記載されている。
米国特許出願公開第2018/0019768号明細書
 高周波モジュールでは、例えば、スイッチ回路において互いに異なる信号経路間で信号漏れが発生し、信号の損失が発生することがある。
 本発明の目的は、スイッチ回路での信号の損失を低減することが可能な高周波モジュール及び通信装置を提供することにある。
 本発明の一態様に係る高周波モジュールは、実装基板と、ICチップと、を備える。前記実装基板は、主面を有する。前記ICチップは、前記実装基板の前記主面に配置されている。前記ICチップは、スイッチ回路の一部を含む。前記スイッチ回路は、複数の共通端子と、複数の選択端子と、複数の信号経路と、を有する。前記複数の選択端子は、前記複数の共通端子に接続可能である。前記複数の信号経路は、前記複数の共通端子と前記複数の選択端子との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子を含む。前記スイッチ回路の前記複数の共通端子、前記複数の選択端子及び前記複数のスイッチング素子は、前記ICチップに含まれている。前記スイッチ回路の前記複数の信号経路のうち少なくとも1つの信号経路は、前記ICチップに含まれる第1配線パターン部と、前記実装基板に含まれる第2配線パターン部と、を含む。
 本発明の一態様に係る通信装置は、上記態様の高周波モジュールと、信号処理回路と、を備える。前記信号処理回路は、前記高周波モジュールに接続されている。
 本発明の上記態様に係る高周波モジュール及び通信装置は、スイッチ回路での信号の損失を低減することが可能となる。
図1は、実施形態に係る高周波モジュールにおけるスイッチ回路の回路図である。 図2は、同上の高周波モジュールの要部のレイアウト説明図である。 図3は、同上の高周波モジュールにおける第1配線パターン部及び第2配線パターン部を説明するための断面図である。 図4は、同上の高周波モジュールにおける第1配線パターン部及び第3配線パターン部を説明するための断面図である。 図5は、同上の高周波モジュールを備える通信装置の回路図である。 図6は、同上の高周波モジュールの回路図である。 図7は、同上の高周波モジュールの要部回路図である。 図8は、同上の高周波モジュールの平面図である。 図9は、同上の高周波モジュールを示し、図8のY-Y線断面図である。 図10は、実施形態の変形例1に係る高周波モジュールの要部の概略平面図である。 図11は、実施形態の変形例2に係る高周波モジュールの要部の概略平面図である。 図12は、実施形態の変形例3に係る高周波モジュールの要部の概略平面図である。 図13は、実施形態の変形例4に係る高周波モジュールにおける第1配線パターン部、第2配線パターン部及び第3配線パターン部を説明するための平面図である。 図14は、実施形態の変形例5に係る高周波モジュールにおける第1配線パターン部、第2配線パターン部及び第3配線パターン部を説明するための平面図である。
 以下の実施形態等において参照する図2~4、8~14は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
 (実施形態)
 (1)概要
 実施形態に係る高周波モジュール100は、図2及び3に示すように、実装基板9と、ICチップ1と、を備える。実装基板9は、主面90を有する。ICチップ1は、実装基板9の主面90に配置されている。ICチップ1は、スイッチ回路5(図1参照)の一部を含む。本明細書でいう「高周波モジュール」とは、高周波信号の通信に用いられるモジュールである。
 図1に示すように、スイッチ回路5は、複数(例えば、3)の共通端子5A、5B、5Cと、複数(例えば、7)の選択端子51~57と、複数(例えば、21)の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73と、を有する。複数の選択端子51~57は、複数の共通端子5A、5B、5Cに接続可能である。複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73は、複数の共通端子5A、5B、5Cと複数の選択端子51~57との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73を含む。以下では、説明の便宜上、複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73を区別せずにシリーズスイッチング素子と称することもある。スイッチ回路5は、例えば、共通端子の数をN個とし、選択端子の数をM個とすると、複数(N×M個)の信号経路を有する。また、スイッチ回路5は、複数(N×M個)の信号経路に一対一に対応する複数(N×M個)のシリーズスイッチング素子を含む。
 スイッチ回路5の複数の共通端子5A、5B、5C、複数の選択端子51~57及び複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73は、ICチップ1に含まれている。スイッチ回路5の複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73のうち少なくとも1つの信号経路(以下、信号経路r0とも称する)は、図3に示すように、ICチップ1に含まれる第1配線パターン部r1と、実装基板9に含まれる第2配線パターン部r2と、を含む。第2配線パターン部r2の厚さT2は、第1配線パターン部r1の厚さT1よりも大きい。図1では、3つの信号経路r11、r12、r13に共通の第2配線パターン部r2(以下、第2配線パターン部311ともいう)を3つの信号経路r11、r12、r13の各々の第1配線パターン部r1に対応する部分よりも太い線で示して一点鎖線で囲んである。また、図1では、3つの信号経路r21、r22、r23に共通の第2配線パターン部r2(以下、第2配線パターン部321ともいう)を3つの信号経路r21、r22、r23の各々の第1配線パターン部r1に対応する部分よりも太い線で示して一点鎖線で囲んである。また、図1では、3つの信号経路r61、r62、r63に共通の第2配線パターン部r2(以下、第2配線パターン部361ともいう)を3つの信号経路r61、r62、r63の各々の第1配線パターン部r1に対応する部分よりも太い線で示して一点鎖線で囲んである。また、図1では、3つの信号経路r71、r72、r73に共通の第2配線パターン部r2(以下、第2配線パターン部371ともいう)を3つの信号経路r71、r72、r73の各々の第1配線パターン部r1に対応する部分よりも太い線で示して一点鎖線で囲んである。
 スイッチ回路5は、複数(7つ)の選択端子51~57とグランドとの間に接続されている複数(7つ)のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70を更に有する。以下では、説明の便宜上、複数のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70を区別せずにシャントスイッチング素子と称することもある。また、スイッチ回路5は、複数(3つ)の共通配線部11、12、13とグランドとの間に接続されている複数(3つ)のスイッチング素子Q1、Q2、Q3を更に有する。
 図2は、実装基板9の厚さ方向D1(図3参照)からの平面視での、ICチップ1の複数のシリーズスイッチング素子の一部、複数のシャントスイッチング素子の一部、複数の共通端子5A、5B、5C及び複数の選択端子51~57の一部と、実装基板9に含まれる複数の第2配線パターン部311、321、361、371と、の概略のレイアウトを説明するための図である。図2では、ICチップ1の外縁を二点鎖線で示し、複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子の各々を四角形で示し、複数の共通端子5A、5B、5C及び複数の選択端子51~57の一部の各々を丸で示し、ICチップ1内の複数の配線部W1にドットハッチングを付してある。図2に例示したICチップ1内の複数の配線部W1は、ICチップ1内の全ての配線部のうちの一部の配線部を模式的に示しているが、必ずしも実際の配線部のレイアウトを反映しているとは限らない。複数の配線部W1の各々は、例えば、金属配線部である。複数の配線部W1の各々の材料は、例えば、アルミニウム合金であるが、これに限らず、他の合金又は金属であってもよい。また、ICチップ1は、全ての配線部が金属配線部であることは必須ではなく、金属配線部の他にも、例えば、ポリシリコン配線部、拡散層配線部を含んでいてもよい。また、複数の配線部W1は、図1に例示したスイッチ回路5の複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73それぞれの少なくとも一部を含む。図2において2つの配線部W1が交差している場合、2つの配線部W1において互いに交差する部分の間には、ICチップ1に含まれる層間絶縁膜の一部が介在している。複数の第2配線パターン部r2の各々の配線幅WL2は、複数の配線部W1の各々の配線幅WL1よりも大きい。したがって、複数の第2配線パターン部311、321、361、371の各々の配線幅WL2は、複数の第1配線パターン部r1の配線幅WL1よりも大きい。複数の第2配線パターン部311、321、361、371の各々の配線幅WL2は、例えば、30μmであるが、30μmに限定されない。また、複数の第2配線パターン部311、321、361、371の配線幅WL2は、互いに異なっていてもよい。複数の第2配線パターン部r2の各々の材料は、例えば、銅であるが、これに限らず、他の金属又は合金であってもよい。
 ICチップ1は、例えば、図3及び4に示すように、シリコン基板10と、シリコン基板10上に形成されている多層構造部15と、回路部18と、複数のパッド電極16と、を備える。複数のパッド電極16は、ICチップ1における複数の共通端子5A、5B、5C(図1参照)及び複数の選択端子51~57(図1参照)を含む。シリコン基板10は、シリコン基板10の厚さ方向において互いに対向する第1主面10A及び第2主面10Bを有する。ここにおいて、「対向する」とは物理的ではなく幾何学的に対向することを意味する。多層構造部15は、シリコン基板10の第1主面10A上に形成されている。多層構造部15は、例えば、複数の配線層と、層間絶縁膜と、パッシベーション膜と、を含む。複数の配線層は、配線層ごとに定められた所定パターンに形成されている。配線層は、1つ又は複数の第1配線パターン部r1を含んでもよい。回路部18は、シリコン基板10における第1主面10Aと第2主面10Bとのうち第1主面10A側の領域内と多層構造部15内とにわたって形成されている。回路部18は、スイッチ回路5の複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子を含む。複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子の各々は、例えば、FET(Field Effect Transistor)である。また、回路部18は、スイッチ回路5の複数のスイッチング素子Q1、Q2、Q3を含む。複数のスイッチング素子Q1、Q2、Q3の各々は、例えば、FETである。複数のパッド電極16は、多層構造部15の配線層等を介して回路部18と接続されている。図3では、1つの信号経路r0に関して、ICチップ1に含まれる第1配線パターン部r1と、実装基板9に含まれる第2配線パターン部r2と、を模式的に図示してある。ICチップ1は、シリコン基板10の代わりに、例えば、SOI(Silicon On Insulator)基板を備えていてもよい。
 ICチップ1は、複数のパッド電極16が実装基板9に対して複数のパッド電極16に一対一に対応する導電性バンプ19により接合されることで、実装基板9に実装されている。なお、図3において、複数のパッド電極16は、多層構造部15に埋設されている構造になっているが、そのような構造に限ったものではなく、多層構造部15におけるシリコン基板10側とは反対側の主面上に形成されていてもよい。
 高周波モジュール100は、例えば、図5に示すように、通信装置300に用いられる。通信装置300は、例えば、携帯電話(例えば、スマートフォン)であるが、これに限らず、例えば、ウェアラブル端末(例えば、スマートウォッチ)等であってもよい。高周波モジュール100は、例えば、4G(第4世代移動通信)規格、5G(第5世代移動通信)規格等に対応可能なモジュールである。4G規格は、例えば、3GPP(登録商標、Third Generation Partnership Project) LTE(登録商標、Long Term Evolution)規格である。5G規格は、例えば、5G NR(New Radio)である。高周波モジュール100は、例えば、キャリアアグリゲーション及びデュアルコネクティビティに対応可能である。また、高周波モジュール100は、MIMO(Multi Input Multi Output)に対応可能である。
 (2)詳細
 以下、実施形態に係る高周波モジュール100について、図1~9を参照して説明し、通信装置300について、図5~7を参照して、より詳細に説明する。
 (2.1)高周波モジュール
 (2.1.1)高周波モジュールの回路構成
 実施形態に係る高周波モジュール100の回路構成について、図1を参照して説明する。
 スイッチ回路5は、例えば、図1に示すように、複数(例えば、3つ)の共通端子5A、5B、5Cと、複数(例えば、7つ)の選択端子51~57と、複数(例えば、21個)の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73と、を有する。
 複数(3つ)の共通端子5A、5B、5Cは、スイッチ回路5の外部の複数(3つ)のアンテナ端子81A、81B、81C(図5参照)に接続されている。
 複数の選択端子51~57は、複数の共通端子5A、5B、5Cに接続可能である。
 スイッチ回路5は、複数(3つ)の共通端子5A、5B、5Cに一対一に接続された複数(3つ)の共通配線部11、12、13と、複数(3つ)の共通配線部11、12、13に一対一に接続された複数(3つ)の第1配線部21、22、23と、複数(7つ)の選択端子51~57に一対一に接続された複数(7つ)の第2配線部31~37と、を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部31と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q11、Q12、Q13を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部32と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q21、Q22、Q23を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部33と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q31、Q32、Q33を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部34と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q41、Q42、Q43を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部35と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q51、Q52、Q53を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部36と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q61、Q62、Q63を有する。また、スイッチ回路5は、第2配線部37と複数(3つ)の第1配線部21、22、23との間に接続された複数(3つ)のスイッチング素子Q71、Q72、Q73を有する。
 共通端子5Aと選択端子51との間の信号経路r11は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q11間の部分と、第2配線部31におけるスイッチング素子Q11及び選択端子51間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子51との間の信号経路r12は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q12間の部分と、第2配線部31におけるスイッチング素子Q12及び選択端子51間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子51との間の信号経路r13は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q13間の部分と、第2配線部31におけるスイッチング素子Q13及び選択端子51間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子52との間の信号経路r21は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q21間の部分と、第2配線部32におけるスイッチング素子Q21及び選択端子52間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子52との間の信号経路r22は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q22間の部分と、第2配線部32におけるスイッチング素子Q22及び選択端子52間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子52との間の信号経路r23は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q23間の部分と、第2配線部32におけるスイッチング素子Q23及び選択端子52間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子53との間の信号経路r31は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q31間の部分と、第2配線部33におけるスイッチング素子Q31及び選択端子53間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子53との間の信号経路r32は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q32間の部分と、第2配線部33におけるスイッチング素子Q32及び選択端子53間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子53との間の信号経路r33は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q33間の部分と、第2配線部33におけるスイッチング素子Q33及び選択端子53間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子54との間の信号経路r41は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q41間の部分と、第2配線部34におけるスイッチング素子Q41及び選択端子54間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子54との間の信号経路r42は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q42間の部分と、第2配線部34におけるスイッチング素子Q42及び選択端子54間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子54との間の信号経路r43は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q43間の部分と、第2配線部34におけるスイッチング素子Q43及び選択端子54間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子55との間の信号経路r51は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q51間の部分と、第2配線部35におけるスイッチング素子Q51及び選択端子55間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子55との間の信号経路r52は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q52間の部分と、第2配線部35におけるスイッチング素子Q52及び選択端子55間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子55との間の信号経路r53は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q53間の部分と、第2配線部35におけるスイッチング素子Q53及び選択端子55間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子56との間の信号経路r61は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q61間の部分と、第2配線部36におけるスイッチング素子Q61及び選択端子56間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子56との間の信号経路r62は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q62間の部分と、第2配線部36におけるスイッチング素子Q62及び選択端子56間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子56との間の信号経路r63は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q63間の部分と、第2配線部36におけるスイッチング素子Q63及び選択端子56間の部分と、を含む。
 共通端子5Aと選択端子57との間の信号経路r71は、共通配線部11と、第1配線部21における共通配線部11及びスイッチング素子Q71間の部分と、第2配線部37におけるスイッチング素子Q71及び選択端子57間の部分と、を含む。共通端子5Bと選択端子57との間の信号経路r72は、共通配線部12と、第1配線部22における共通配線部12及びスイッチング素子Q72間の部分と、第2配線部37におけるスイッチング素子Q72及び選択端子57間の部分と、を含む。共通端子5Cと選択端子57との間の信号経路r73は、共通配線部13と、第1配線部23における共通配線部13及びスイッチング素子Q73間の部分と、第2配線部37におけるスイッチング素子Q73及び選択端子57間の部分と、を含む。
 スイッチ回路5は、上述のように複数のシャントスイッチング素子(スイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70)を有している。スイッチング素子Q10は、第2配線部31における、選択端子51とスイッチング素子Q11との間の部分(3つの信号経路r11~r13に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q20は、第2配線部32における、選択端子52とスイッチング素子Q21との間の部分(3つの信号経路r21~r23に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q30は、第2配線部33における、選択端子53とスイッチング素子Q31との間の部分(3つの信号経路r31~r33に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q40は、第2配線部34における、選択端子54とスイッチング素子Q41との間の部分(3つの信号経路r41~r43に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q50は、第2配線部35における、選択端子55とスイッチング素子Q51との間の部分(3つの信号経路r51~r53に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q60は、第2配線部36における、選択端子56とスイッチング素子Q61との間の部分(3つの信号経路r61~r63に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。スイッチング素子Q70は、第2配線部37における、選択端子57とスイッチング素子Q71との間の部分(3つの信号経路r71~r73に共通の部分)と、グランドと、の間に接続されている。
 高周波モジュール100では、ICチップ1は、図1に示すように、スイッチ回路5である第1スイッチ回路5とは別の第2スイッチ回路6を更に含む。第2スイッチ回路6は、共通端子60と、複数(例えば、2つ)の選択端子61、62と、を有する。第2スイッチ回路6は、共通端子60と選択端子61との間の信号経路r8と、共通端子60と選択端子62との間の信号経路r9と、を有する。信号経路r8は、配線部38と、スイッチング素子Q81と、を含む。信号経路r9は、配線部39と、スイッチング素子Q91と、を含む。第2スイッチ回路6は、配線部38における、選択端子61とスイッチング素子Q81との間の部分と、グランドと、の間に接続されたスイッチング素子Q80を更に有する。また、第2スイッチ回路6は、配線部39における、選択端子62とスイッチング素子Q91との間の部分と、グランドと、の間に接続されているスイッチング素子Q90を更に有する。
 第1スイッチ回路5の選択端子57と第2スイッチ回路6の共通端子60とを接続する信号経路r67の少なくとも一部は、実装基板9(図2参照)における配線パターン部67(図1及び2参照)を含む。
 高周波モジュール100は、図1に示すように、複数(例えば、14)のフィルタF0を更に備えている。複数のフィルタF0は、互いに異なる通過帯域を有する。複数のフィルタF0の通過帯域は、複数の通信バンドに対応している。複数の通信バンドのそれぞれは、例えば、通信方式としてFDD(Frequency Division Duplex)に対応した通信に利用される通信バンド、又は、TDD(Time Division Duplex)、又は、SDL(Supplemental Downlink)に対応した通信に利用される通信バンドである。複数の通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand40、Band1、Band3、Band32、Band34、Band39、Band41、Band7、Band25、Band66、Band30、Band53、Bannd11及びBand21を含む。
 図1では、3GPP LTE規格のBand40の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF40とも称する)の図記号の左側に、「B40」と表記してある。同様に、図1では、Band1の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF1Rとも称する)の図記号の左側に、「B1Rx」と表記してある。同様に、図1では、Band3の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF3とも称する)の図記号の左側に、「B3Rx」と表記してある。同様に、図1では、Band32の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(受信フィルタF32とも称する)の図記号の左側に、「B32」と表記してある。同様に、図1では、Band34の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF34とも称する)の図記号の左側に、「B34」と表記してある。同様に、図1では、Band39の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF39とも称する)の図記号の左側に、「B39」と表記してある。同様に、図1では、Band41の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF41Rとも称する)の図記号の左側に、「B41Rx」と表記してある。同様に、図1では、Band41の送信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、送信フィルタF41Tとも称する)の図記号の左側に、「B41Tx」と表記してある。同様に、図1では、Band7の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF7とも称する)の図記号の左側に、「B7」と表記してある。同様に、図1では、Band25の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF25とも称する)の図記号の左側に、「B25」と表記してある。同様に、図1では、Band66の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF66Rとも称する)の図記号の左側に、「B66Rx」と表記してある。また、図1では、Band30の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF30とも称する)の図記号の左側に、「B30」と表記してある。同様に、図1では、Band53の受信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF53とも称する)の図記号の左側に、「B53」と表記してある。同様に、図1では、Band11の受信帯域とBand21の受信帯域とに対応した通過帯域を有するフィルタF0(以下、受信フィルタF11とも称する)の図記号の左側に、「B11/21」と表記してある。高周波モジュール100は、図1に示した複数のフィルタF0の他にも、例えば、図6及び7に示すように、3つの送信フィルタF66T、F3T、F1Tを更に備える。送信フィルタF66Tは、3GPP LTE規格のBand66の送信帯域と5G NR規格のn70の送信帯域とに対応した通過帯域を有するフィルタである。図7では、送信フィルタF66Tの図記号の左側に、「B66/n70Tx」と表記してある。送信フィルタF3Tは、Band3の送信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタである。図7では、送信フィルタF3Tの図記号の左側に、「B3Tx」と表記してある。送信フィルタF1Tは、Band1の送信帯域に対応した通過帯域を有するフィルタである。図1では、送信フィルタF1Tの図記号の左側に、「B1Tx」と表記してある。図6及び7の例では、受信フィルタF25は、3GPP LTE規格のBand25の受信帯域と5G NR規格のn70の受信帯域とを含む通過帯域を有する。図7では、受信フィルタF25の図記号の左側に、「B25/n70Rx」と表記してある。また、受信フィルタF32は、3GPP LTE規格のBand32の受信帯域と5G NR規格のn75の受信帯域とn76の受信帯域とを含む通過帯域を有する。図7では、受信フィルタF32の図記号の左側に、「B32/n75/n76」と表記してある。
 高周波モジュール100は、例えば、図5に示すように、複数の外部接続端子8と、3つの整合回路161、162、163と、スイッチ7に接続された受信回路101と、スイッチ7に接続された送信回路102と、を備える。
 複数の外部接続端子8は、図5に示すように、3つのアンテナ端子81A、81B、81Cと、4つの信号出力端子82A、82B、82C、82Dと、2つの信号入力端子83A、83Bと、4つの制御端子84と、複数のグランド端子85(図9参照)と、電源端子(図示せず)と、を含む。4つの信号出力端子82A、82B、82C、82Dは、受信回路101からの高周波信号(受信信号)を外部回路(例えば、信号処理回路301)へ出力するための端子である。2つの信号入力端子83A、83Bは、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの高周波信号(送信信号)を高周波モジュール100に入力するための端子である。複数の制御端子84は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの制御信号(デジタル信号)を例えば受信回路101、送信回路102及びスイッチ7へ入力するための端子である。複数のグランド端子85は、グランド電位が与えられる端子である。なお、制御端子84は、外部回路からの制御信号によって高周波モジュール100内で制御したい回路(例えばスイッチ回路5等)の個数に応じて配置してもよい。
 図7に示すように、アンテナ端子81Aは、例えば、第1スイッチ回路5の共通端子5Aが接続される外部接続端子8である。第1スイッチ回路5の共通端子5Aは、例えば、インピーダンス整合用の整合回路161を介してアンテナ端子81Aに接続されている。アンテナ端子81Bは、第1スイッチ回路5の共通端子5Bが接続される外部接続端子8である。第1スイッチ回路5の共通端子5Bは、例えば、インピーダンス整合用の整合回路162を介してアンテナ端子81Bに接続されている。アンテナ端子81Cは、例えば、第1スイッチ回路5の共通端子5Cが接続される外部接続端子8である。第1スイッチ回路5の共通端子5Cは、例えば、インピーダンス整合用の整合回路163を介してアンテナ端子81Cに接続されている。整合回路161、162、163の各々は、例えば、少なくとも1つのインダクタと、少なくとも1つのキャパシタと、を含むが、これに限らない。
 受信回路101(図5参照)は、例えば、3つのアンテナAN1、AN2、AN3(図5参照)から高周波モジュール100に入力された受信信号を増幅して外部回路(例えば、信号処理回路301)に出力できるように構成されている。信号処理回路301は、高周波モジュール100の構成要素ではなく、高周波モジュール100を備える通信装置300の構成要素である。受信回路101は、例えば、信号処理回路301によって制御される。
 受信回路101は、例えば、図6に示すように、複数(例えば、13)の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11を備える。また、受信回路101は、複数(例えば、13)のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11を備える。また、受信回路101は、複数のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11を備える。また、受信回路101は、複数(例えば、4)の第1スイッチ2と、複数(例えば、4)の第2スイッチ3と、を備える。複数のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11は、複数の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11に接続されている。受信回路101では、複数(例えば、13)のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L3、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11は、複数(例えば、13)のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11と複数(例えば、13)の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11とのインピーダンスを整合させるための入力整合回路の回路要素である。受信回路101は、複数の第1スイッチ2及び複数の第2スイッチ3を備えることによって、複数(例えば、13)のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11それぞれで増幅された受信信号を複数の信号出力端子82A、82B、82C、82Dのいずれかから出力できるように構成されている。図6では、信号出力端子82Aに接続されている第2スイッチ3を第2スイッチ3Aとし、信号出力端子82Bに接続されている第2スイッチ3を第2スイッチ3Bとし、信号出力端子82Cに接続されている第2スイッチ3を第2スイッチ3Cとし、信号出力端子82Dに接続されている第2スイッチ3を第2スイッチ3Dとして符号を付してある。また、図6では、3つのローノイズアンプA1、A66、A34が接続された第1スイッチ2を第1スイッチ2Aとし、3つのローノイズアンプA39、A3、A25が接続された第1スイッチ2を第1スイッチ2Bとし、2つのローノイズアンプA30、A40が接続された第1スイッチ2を第1スイッチ2Cとし、3つのローノイズアンプA53、A7、A41が接続された第1スイッチ2を第1スイッチ2Dとして符号を付してある。複数の第1スイッチ2及び複数の第2スイッチ3の各々は、例えば、1つの共通端子と複数の選択端子とを有し、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。高周波モジュール100は、例えば、Band1、Band3、Band40、Band32及びBand7のうち2以上の通信バンドでの同時通信に対応することができる。また、高周波モジュール100は、例えば、Band34、Band39及びBand41のうち2以上の通信バンドでの同時通信に対応することができる。また、高周波モジュール100は、例えば、Band34、Band39及びBand41のうち2以上の通信バンドでの同時通信に対応することができる。
 送信回路102(図5参照)は、例えば、信号処理回路301から入力された送信信号を増幅して2つのアンテナAN1、AN3に出力できるように構成されている。送信回路102は、例えば、信号処理回路301によって制御される。
 送信回路102は、例えば、図6に示すように、複数(例えば、2つ)のパワーアンプ113A、113Bと、複数(例えば、4つ)の送信フィルタF66T、F3T、F1T、F41Tと、複数(例えば、2)の出力整合回路131、132と、スイッチ117と、スイッチ114と、を備える。2つのパワーアンプ113A、113Bの各々は、入力端子及び出力端子を有する。複数のパワーアンプ113A、113Bの各々は、入力端子に入力された送信信号を増幅して出力端子から出力する。パワーアンプ113Aの入力端子及びパワーアンプ113Bの入力端子は、スイッチ117を介して信号入力端子83A又は信号入力端子83Bに接続される。したがって、高周波モジュール100を備える通信装置300(図5参照)では、パワーアンプ113Aの入力端子及びパワーアンプ113Bの入力端子は、スイッチ117と信号入力端子83A又は信号入力端子83Bとを介して通信装置300の信号処理回路301に接続される。パワーアンプ113Aとパワーアンプ113Bとは互いに異なる通信バンドの送信帯域の高周波信号を電力増幅する。パワーアンプ113Aの出力端子は、出力整合回路131及び送信フィルタF41Tを介して、第1スイッチ回路5に接続されている。パワーアンプ113Bの出力端子は、出力整合回路132及びスイッチ114を介して、複数(例えば、3つ)の送信フィルタF66T、F1T、F3Tと接続可能となっている。パワーアンプ113Aは、例えば、差動合成増幅器であり、増幅器111と、トランス121と、を含んでいる。パワーアンプ113Bは、例えば、差動合成増幅器であり、増幅器112と、トランス122と、を含んでいる。2つのパワーアンプ113A、113Bの各々は、差動合成増幅器に限らず、例えば、ドハティ増幅器であってもよい。高周波モジュール100は、パワーアンプ113A、113Bを制御するコントローラ118を更に備える。コントローラ118は、例えば、信号処理回路301からの制御信号に従ってパワーアンプ113A、113Bを制御する。コントローラ118は、複数(例えば、4つ)の制御端子84を介して信号処理回路301に接続される。複数の制御端子84は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの制御信号をコントローラ118等に入力するための端子である。コントローラ118は、信号処理回路301から複数の制御端子84を介して取得した制御信号に基づいてパワーアンプ113A、113B、スイッチ117及びスイッチ114を制御する。コントローラ118が取得する制御信号は、デジタル信号である。出力整合回路131は、パワーアンプ113Aの出力端子と送信フィルタF41Tとの間の信号経路に設けられている。出力整合回路131は、パワーアンプ113Aと送信フィルタF41Tとのインピーダンス整合をとるための回路であり、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含む。また、出力整合回路132は、パワーアンプ113Bの出力端子とスイッチ114との間の信号経路に設けられている。出力整合回路132は、パワーアンプ113Bと3つの送信フィルタF3T、F1T、F41Tとのインピーダンス整合をとるための回路であり、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含んでいる。
 高周波モジュール100では、ICチップ1は、スイッチ回路5を制御する制御回路17(図1参照)を更に有する。制御回路17は、スイッチ回路5の複数(例えば、21)のシリーズスイッチング素子及び複数(例えば、7)のシャントスイッチング素子を制御する。要するに、制御回路17は、複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73及び複数のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70それぞれを、導通状態(オン)又は非導通状態(オフ)に制御する。また、制御回路17は、第2スイッチ回路6の複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子も制御する。要するに、制御回路17は、複数のスイッチング素子Q81、Q91及び複数のスイッチング素子Q80、Q90それぞれを、導通状態(オン)又は非導通状態(オフ)に制御する。複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73及び複数のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70の各々は、FETの場合、FETのゲート-ソース間電圧がゲート閾値電圧以上のときに導通状態となり、FETのゲート-ソース間電圧がゲート閾値電圧未満のときに非導通状態となる。制御回路17は、複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73及び複数のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70それぞれを構成するFETのゲート-ソース間電圧を制御することによって、複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73及び複数のスイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70を制御する。また、複数のスイッチング素子Q81、Q91及び複数のスイッチング素子Q80、Q90の各々は、FETの場合、FETのゲート-ソース間電圧がゲート閾値電圧以上のときに導通状態となり、FETのゲート-ソース間電圧がゲート閾値電圧未満のときに非導通状態となる。制御回路17は、複数のスイッチング素子Q81、Q91及び複数のスイッチング素子Q80、Q90それぞれを構成するFETのゲート-ソース間電圧を制御することによって、複数のスイッチング素子Q81、Q91及び複数のスイッチング素子Q80、Q90を制御する。制御回路17は、例えば、複数の制御端子84(図5参照)から取得した制御信号(デジタル信号)に従って、第1スイッチ回路5の複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子、第2スイッチ回路6の複数のシリーズスイッチング素子及び複数のシャントスイッチング素子を制御する。制御回路17は、信号処理回路301からの制御信号に従って第1スイッチ回路5及び第2スイッチ回路6を制御するロジック回路である。制御回路17が信号処理回路301から受信する制御信号は、例えば、互いに異なる2以上の通信バンドのキャリアアグリゲーション又はデュアルコネクティビティに対応する第1コマンド、1つの通信バンドの単一通信に対応する第2コマンド、等である。高周波モジュール100は、制御回路17が第1コマンドを受信すると、第1モードで動作し、制御回路17が第2コマンドを受信すると、第2モードで動作する。第1モードは、例えば、複数のフィルタF0のうち互いに異なる通信バンドに対応した通過帯域を有する2つ以上のフィルタを利用した同時送信又は同時受信又は同時送受信が可能なモードである。第2モードは、例えば、複数のフィルタF0のうち1つのフィルタF0のみを利用した送信又は受信が可能なモードである。
 (2.1.2)高周波モジュールの構造
 以下、高周波モジュール100の全体の構成について、図8及び9を参照して説明する。
 高周波モジュール100は、図8及び9に示すように、実装基板9と、ICチップ1と、を備える。また、高周波モジュール100は、複数の受信系電子部品4と、複数のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L3、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11と、を更に備える。複数の受信系電子部品4の各々は、複数の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11のうち少なくとも1つの受信フィルタを含む。また、高周波モジュール100は、ICチップ110を更に備える。ICチップ110は、複数のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11(図6参照)を含む。また、ICチップ110は、複数(例えば、4つ)の第1スイッチ2(図6参照)及び複数(例えば、4つ)の第2スイッチ3(図6参照)を含む。また、ICチップ110は、制御部119を更に含む。制御部119は、複数(例えば、4つ)の制御端子84を介して信号処理回路301に接続される。制御部119は、信号処理回路301から複数の制御端子84を介して取得した制御信号に基づいて複数のローノイズアンプA40、A1、A32、A34、A39、A3、A41、A7、A25、A66、A30、A53、A11、複数の第1スイッチ2及び複数の第2スイッチ3を制御する。また、高周波モジュール100は、3つの整合回路161、162、163を更に備える(図6参照)。また、高周波モジュール100は、2つのパワーアンプ113A、113Bの増幅器111、112及び2つのトランス121、122と、2つの出力整合回路131、132と、スイッチ117と、スイッチ114と、コントローラ118と、を更に備える(図6参照)。また、高周波モジュール100は、複数の外部接続端子8を更に備える。また、高周波モジュール100は、樹脂層190(以下、第1樹脂層190ともいう)と、金属電極層200と、第2樹脂層210と、を更に備える。なお、図8では、第1樹脂層190及び金属電極層200の図示を省略してある。
 実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、実装基板9の外縁は、四角形状である。実装基板9は、図9に示すように、実装基板9の厚さ方向D1において互いに対向する第1主面91及び第2主面92を有する。ここで、図9における実装基板9の第2主面92が、図2~4における実装基板9の主面90である。また、実装基板9は、外周面93を有する。実装基板9の外周面93は、例えば、実装基板9の第1主面91の外縁と第2主面92の外縁とをつないでいる4つの側面を含み、第1主面91及び第2主面92を含まない。実装基板9は、例えば、複数の誘電体層及び複数の導電層を含む多層基板である。複数の誘電体層及び複数の導電層は、実装基板9の厚さ方向D1において積層されている。複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。複数の導電層の各々は、実装基板9の厚さ方向D1に直交する一平面内において1つ又は複数の導体部を含む。各導電層の材料は、例えば、銅である。複数の導電層は、グランド層を含む。高周波モジュール100では、複数のグランド端子85とグランド層とが、実装基板9の有するビア導体等を介して電気的に接続されている。実装基板9は、例えば、プリント配線板である。実装基板は、プリント配線板に限らず、例えば、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)基板、HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)基板、樹脂多層基板であってもよい。
 実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、実装基板9の厚さ方向D1において離れており、実装基板9の厚さ方向D1に交差する。実装基板9における第1主面91は、例えば、実装基板9の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、厚さ方向D1に直交しない面として導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9における第2主面92は、例えば、実装基板9の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、厚さ方向D1に直交しない面として、導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、微細な凹凸又は凹部又は凸部が形成されていてもよい。例えば、実装基板9の第1主面91に凹部が形成されている場合、凹部の内面は、第1主面91に含まれる。
 高周波モジュール100では、複数の第1回路部品が、実装基板9の第1主面91に実装されている。複数の第1回路部品は、複数(例えば、6つ)の受信系電子部品4と、複数(例えば、13)のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L3、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11と、複数の送信系電子部品と、を含む。複数のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L3、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11の各々は、表面実装型電子部品、つまり、チップインダクタである。また、複数の第1回路部品は、出力整合回路131、132の各々の複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含む。出力整合回路131、132の各々に含まれる複数のインダクタの各々は、表面実装型電子部品、つまり、チップインダクタである。また、出力整合回路131、132に含まれる複数のキャパシタの各々は、表面実装型電子部品、つまり、チップキャパシタである。「第1回路部品が実装基板9の第1主面91に実装されている」とは、第1回路部品が実装基板9の第1主面91に配置されていること(機械的に接続されていること)と、第1回路部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。
 高周波モジュール100では、複数の第2回路部品が、実装基板9の第2主面92に実装されている。複数の第2回路部品は、ICチップ1と、ICチップ110と、を含む。「第2回路部品が実装基板9の第2主面92に実装されている」とは、第2回路部品が実装基板9の第2主面92に配置されていること(機械的に接続されていること)と、第2回路部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。
 実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、複数の受信系電子部品4の各々の外縁は、例えば、四角形状である。複数の受信系電子部品4の各々は、実装基板9側の主面401と、実装基板9側とは反対側の主面402と、主面401と主面402とをつないでいる外周面403と、を有する。外周面403は、少なくとも4つの側面を含む。以下では、説明の便宜上、複数の受信系電子部品4を区別する場合に、それぞれ、受信系電子部品41、受信系電子部品42、受信系電子部品43、受信系電子部品44、受信系電子部品45及び受信系電子部品46とも称する。受信系電子部品41は、例えば、3つの受信フィルタF30、F25、F66R(図7参照)を含む。受信系電子部品42は、例えば、3つの受信フィルタF3、F32、F1R(図7参照)を含む。受信系電子部品43は、例えば、1つの受信フィルタF40(図7参照)を含む。受信系電子部品44は、例えば、2つの受信フィルタF34、F39(図7参照)を含む。受信系電子部品45は、例えば、2つの受信フィルタF7、F41R(図7参照)を含む。受信系電子部品46は、例えば、2つの受信フィルタF11、F53(図7参照)を含む。したがって、高周波モジュール100では、複数の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11が実装基板9の第1主面91に配置されている。
 複数の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11の各々は、例えば、例えば、ラダー型フィルタであり、複数(例えば、4つ)の直列腕共振子と、複数(例えば、3つ)の並列腕共振子と、を有する。複数の受信フィルタF40、F1R、F32、F34、F39、F3、F41R、F7、F25、F66R、F30、F53、F11の各々は、例えば、弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々が弾性波共振子により構成されている。弾性波フィルタは、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。表面弾性波フィルタでは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々は、例えば、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子であり、IDT(Interdigital Transducer)電極を有する。
 複数の送信系電子部品は、例えば、パワーアンプ113Aの増幅器111、パワーアンプ113Bの増幅器112及び複数の送信フィルタF66T、F3T、F1T、F41T(図6及び7参照)を含む。増幅器111、112の各々は、電力増幅用のICチップである。電力増幅用のICチップは、増幅用トランジスタがHBT(Heterojunction Bipolar Transistor)の場合、例えばGaAs系ICチップである。また、電力増幅用のICチップは、例えば、増幅用トランジスタがバイポーラトランジスタ又はFET(Field Effect Transistor)の場合、例えば、Si系ICチップである。
 複数の送信フィルタF66T、F3T、F1T、F41Tの各々は、例えば、ラダー型フィルタであり、複数(例えば、4つ)の直列腕共振子と、複数(例えば、3つ)の並列腕共振子と、を有する。複数の送信フィルタF66T、F3T、F1T、F41Tの各々は、例えば、弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々が弾性波共振子により構成されている。弾性波フィルタは、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。表面弾性波フィルタでは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々は、例えば、SAW共振子であり、IDT電極を有する。
 複数の外部接続端子8(図5及び9参照)は、実装基板9の第2主面92に配置されている。「外部接続端子8が実装基板9の第2主面92に配置されている」とは、外部接続端子8が実装基板9の第2主面92に機械的に接続されていることと、外部接続端子8が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。
 複数の外部接続端子8は、3つのアンテナ端子81A、81B、81Cと、4つの信号出力端子82A、82B、82C、82Dと、2つの信号入力端子83A、83Bと、複数の制御端子84と、複数のグランド端子85と、電源端子(図示せず)と、を含んでいる。複数のグランド端子85は、実装基板9のグランド層と電気的に接続されている。グランド層は高周波モジュール100の回路グランドであり、高周波モジュール100の複数の回路部品は、グランド層と電気的に接続されている回路部品を含む。
 複数の外部接続端子8の材料は、例えば、金属(例えば、銅、銅合金等)である。複数の外部接続端子8は、実装基板9の構成要素ではないが、実装基板9の構成要素であってもよい。複数の外部接続端子8の各々は、柱状電極(例えば、円柱状の電極)である。
 第1樹脂層190は、図9に示すように、実装基板9の第1主面91に配置されている。第1樹脂層190は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第1樹脂層190は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。第1樹脂層190は、電気絶縁性を有する。
 第1樹脂層190は、複数の受信系電子部品4の各々の外周面403を覆っている。また、第1樹脂層190は、2つのパワーアンプ113A、113Bの増幅器111、112と、2つの出力整合回路131、132の各々の複数のインダクタ及び複数のキャパシタと、複数のインダクタL40、L1、L32、L34、L39、L3、L41、L7、L25、L66、L30、L53、L11と、を覆っている。
 金属電極層200は、複数の受信系電子部品4の各々の主面402と、第1樹脂層190における実装基板9側とは反対側の主面191と、第1樹脂層190の外周面193と、実装基板9の外周面93と、後述の第2樹脂層210の外周面213と、を覆っている。金属電極層200は、実装基板9の有するグランド層の外周面の少なくとも一部と接触している。これにより、金属電極層200の電位をグランド層の電位と同じにすることができる。金属電極層200は、複数の金属層を積層した多層構造を有しているが、これに限らず、1つの金属層であってもよい。金属層は、1又は複数種の金属を含む。金属電極層200は、複数の金属層を積層した多層構造を有する場合、例えば、第1金属層(例えば、第1ステンレス鋼層)と、第1金属層上の第2金属層(例えば、Cu層)と、第2金属層上の第3金属層(例えば、第2ステンレス鋼層)と、を含む。第1ステンレス鋼層及び第2ステンレス鋼層の各々の材料は、FeとNiとCrとを含む合金である。また、金属電極層200は、1つの金属層の場合、例えば、Cu層である。
 第2樹脂層210は、ICチップ1と、ICチップ110と、複数の外部接続端子8それぞれの外周面と、を覆っている。第2樹脂層210は、複数の外部接続端子8における実装基板9側とは反対側の端面を覆っていない。第2樹脂層210は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第2樹脂層210は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。第2樹脂層210の材料は、第1樹脂層190の材料と同じ材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。
 (2.1.3)第1スイッチ回路を含むICチップの詳細
 ICチップ1は、図2~4に示すように、実装基板9の主面90に配置されている。ICチップ1は、第1スイッチ回路5(図1参照)の一部を含む。また、ICチップ1は、第2スイッチ回路6(図1参照)を更に含む。
 ICチップ1は、例えば、Si系ICチップである。ICチップ1は、複数のパッド電極16(図3及び4参照)を有する。ICチップ1は、実装基板9の主面90(図9では、第2主面92)にフリップチップ実装されている。より詳細には、ICチップ1は、複数のパッド電極16が実装基板9に対して複数のパッド電極16に一対一に対応する導電性バンプ19により接合されることで、実装基板9に実装されている。複数の導電性バンプ19は、実装基板9とICチップ1の複数の共通端子5A、5B、5C及び複数の選択端子51~57とを接続している。導電性バンプ19の材料は、例えば、はんだである。実装基板9の厚さ方向D1(図3及び4参照)からの平面視で、ICチップ1の外周形状は、四角形状である。高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第2配線パターン部r2はICチップ1に重なる(図2及び3参照)。高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第2配線パターン部r2の全部がICチップ1に重なっているが、これに限らず、第2配線パターン部r2の少なくとも一部がICチップ1に重なっていればよい。
 ICチップ1では、複数のパッド電極16は、スイッチ回路5(図1参照)の複数の共通端子5A、5B、5C、複数の選択端子51~57を含んでいる。ICチップ1は、スイッチ回路5の複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73を含んでいる。複数のパッド電極16の各々の材料は、例えば、アルミニウム合金又は金である。
 スイッチ回路5の複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73のうち、信号経路r11~r13、r21~r23、r61~r62、r71~r73の各々は、ICチップ1に含まれる第1配線パターン部r1と、実装基板9に含まれる第2配線パターン部r2と、を含む。高周波モジュール100では、第2配線パターン部r2におけるICチップ1側の面Sr2(図3参照)は、実装基板9の主面90の一部である。高周波モジュール100では、第1スイッチ回路5と第2スイッチ回路6とを接続する信号経路r67の少なくとも一部が、実装基板9における配線パターン部67(図1及び2参照)を含む。高周波モジュール100では、第1スイッチ回路5の複数の選択端子51~57のうち選択端子57に第2スイッチ回路6が接続されている。
 信号経路r11における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部311)は、例えば、信号経路r11のうち、第2配線部31においてスイッチング素子Q11(シリーズスイッチング素子)が接続されているノードと第2配線部31においてスイッチング素子Q10(シャントスイッチング素子)が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r12における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部311)は、例えば、信号経路r12のうち、第2配線部31においてスイッチング素子Q11が接続されているノードと第2配線部31においてスイッチング素子Q10が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r13における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部311)は、例えば、信号経路r13のうち、第2配線部31においてスイッチング素子Q11が接続されているノードと第2配線部31においてスイッチング素子Q10が接続されているノードとの間の部分である。3つの信号経路r11~r13は、共通の第2配線パターン部311を含んでいる。
 信号経路r21における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部321)は、例えば、信号経路r21のうち、第2配線部32においてスイッチング素子Q21(シリーズスイッチング素子)が接続されているノードと第2配線部32においてスイッチング素子Q20(シャントスイッチング素子)が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r22における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部321)は、例えば、信号経路r22のうち、第2配線部32においてスイッチング素子Q21が接続されているノードと第2配線部32においてスイッチング素子Q20が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r23における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部321)は、例えば、信号経路r23のうち、第2配線部32においてスイッチング素子Q21が接続されているノードと第2配線部32においてスイッチング素子Q20が接続されているノードとの間の部分である。3つの信号経路r21~r23は、共通の第2配線パターン部321を含んでいる。
 信号経路r61における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部361)は、例えば、信号経路r61のうち、第2配線部36においてスイッチング素子Q61(シリーズスイッチング素子)が接続されているノードと第2配線部36においてスイッチング素子Q60(シャントスイッチング素子)が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r62における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部361)は、例えば、信号経路r62のうち、第2配線部36においてスイッチング素子Q61が接続されているノードと第2配線部36においてスイッチング素子Q60が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r63における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部361)は、例えば、信号経路r63のうち、第2配線部36においてスイッチング素子Q61が接続されているノードと第2配線部36においてスイッチング素子Q60が接続されているノードとの間の部分である。3つの信号経路r61~r63は、共通の第2配線パターン部361を含んでいる。
 信号経路r71における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部371)は、例えば、信号経路r71のうち、第2配線部37においてスイッチング素子Q71(シリーズスイッチング素子)が接続されているノードと第2配線部37においてスイッチング素子Q70(シャントスイッチング素子)が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r72における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部371)は、例えば、信号経路r72のうち、第2配線部37においてスイッチング素子Q71が接続されているノードと第2配線部37においてスイッチング素子Q70が接続されているノードとの間の部分である。信号経路r73における第2配線パターン部r2(第2配線パターン部371)は、例えば、信号経路r73のうち、第2配線部37においてスイッチング素子Q71が接続されているノードと第2配線部37においてスイッチング素子Q70が接続されているノードとの間の部分である。3つの信号経路r71~r73は、共通の第2配線パターン部371を含んでいる。
 高周波モジュール100では、スイッチ回路5は、複数の選択端子51~57のうち2以上の選択端子を複数の共通端子5A、5B、5Cのうち1つの共通端子に同時接続可能である。上記2以上の選択端子は、第1選択端子(例えば、選択端子55)と、第2選択端子(例えば、選択端子51)と、を含む。複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73は、第1選択端子と上記1つの共通端子との間の第1信号経路と、第2選択端子と上記1つの共通端子との間の第2信号経路と、を含む。第1信号経路と第2信号経路との少なくとも一方が第1配線パターン部r1及び第2配線パターン部r2を含む。図1の例では、第1選択端子と第2選択端子との組み合わせは、例えば、選択端子55と選択端子51との組み合わせに限らず、選択端子51と選択端子55との組み合わせ、選択端子54と選択端子51との組み合わせ、選択端子51と選択端子54との組み合わせ、選択端子56と選択端子55との組み合わせ、選択端子55と選択端子56との組み合わせ、選択端子53と選択端子52との組み合わせ、選択端子52と選択端子53との組み合わせがある。
 高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で第1信号経路と第2信号経路とが交差していてもよい。この場合、第1信号経路において第2信号経路に重なる第1部分(第1配線パターン部r1)がICチップ1に含まれ、第2信号経路において第1信号経路に重なる第2部分(第2配線パターン部r2)が実装基板9に含まれているのが好ましい。
 高周波モジュール100では、スイッチ回路5が実装基板9に含まれる第3配線パターン部r3(図2及び4参照)を含む。第3配線パターン部r3の厚さT3(図4参照)は、第1配線パターン部r1の厚さT1(図4参照)よりも大きい。第3配線パターン部r3の配線幅WL3(図2参照)は、第1配線パターン部r1の配線幅WL1(図2参照)よりも大きい。第3配線パターン部r3の材料は、例えば、第2配線パターン部r2の材料と同じであるが、これに限らず、異なっていてもよい。第3配線パターン部r3は、実装基板9内において実装基板9の厚さ方向D1で実装基板9の主面90から離れて配置されている。第3配線パターン部r3は、実装基板9の厚さ方向D1において第1主面91及び第2主面から離れている。図4に示すように、第3配線パターン部r3とICチップ1における実装基板9側の主面1Aとの間の距離H3は、実装基板9の主面90とICチップ1の主面1Aとの間の距離H1よりも長い。第3配線パターン部r3は、第2配線パターン部r2であってもよいし、第2配線パターン部r2以外の配線パターン部であってもよい。スイッチ回路5は、図2に示すように、実装基板9に含まれる2つの第3配線パターン部r3を含む。高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、2つの第3配線パターン部r3のうち1つの第3配線パターン部r3の全部がICチップ1に重なり、別の1つの第3配線パターン部r3の一部がICチップ1に重なっている。
 (2.2)通信装置
 図5に示すように、通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。信号処理回路301は、高周波モジュール100に接続されている。
 通信装置300は、複数(例えば、3つ)のアンテナAN1、AN2、AN3を更に備える。通信装置300は、高周波モジュール100が実装された回路基板を更に備える。回路基板は、例えば、プリント配線板である。回路基板は、グランド電位が与えられるグランド電極を有する。
 信号処理回路301は、例えば、RF信号処理回路302と、ベースバンド信号処理回路303と、を含む。RF信号処理回路302は、例えばRFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)であり、高周波信号に対する信号処理を行う。RF信号処理回路302は、例えば、ベースバンド信号処理回路303から出力された高周波信号(送信信号)に対してアップコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号を出力する。また、RF信号処理回路302は、例えば、高周波モジュール100から出力された高周波信号(受信信号)に対してダウンコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号をベースバンド信号処理回路303へ出力する。ベースバンド信号処理回路303は、例えばBBIC(Baseband Integrated Circuit)である。ベースバンド信号処理回路303は、ベースバンド信号からI相信号及びQ相信号を生成する。ベースバンド信号は、例えば、外部から入力される音声信号、画像信号等である。ベースバンド信号処理回路303は、I相信号とQ相信号とを合成することでIQ変調処理を行って、送信信号を出力する。この際、送信信号は、所定周波数の搬送波信号を、当該搬送波信号の周期よりも長い周期で振幅変調した変調信号(IQ信号)として生成される。ベースバンド信号処理回路303で処理された受信信号は、例えば、画像信号として画像表示のために、又は、音声信号として通信装置300のユーザの通話のために使用される。高周波モジュール100は、複数のアンテナAN1、AN2、AN3と信号処理回路301のRF信号処理回路302との間で高周波信号(受信信号、送信信号)を伝達する。
 信号処理回路301を構成する複数の電子部品は、例えば、上述の回路基板に実装されていてもよいし、高周波モジュール100が実装された回路基板(第1回路基板)とは別の回路基板(第2回路基板)に実装されていてもよい。
 (3)効果
 (3.1)高周波モジュール
 実施形態に係る高周波モジュール100は、実装基板9と、ICチップ1と、を備える。実装基板9は、主面90を有する。ICチップ1は、実装基板9の主面90に配置されている。ICチップ1は、スイッチ回路5の一部を含む。スイッチ回路5は、複数の共通端子5A、5B、5Cと、複数の選択端子51~57と、複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73と、を有する。複数の選択端子51~57は、複数の共通端子5A、5B、5Cに接続可能である。複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73は、複数の共通端子5A、5B、5Cと複数の選択端子51~57との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73を含む。スイッチ回路5の複数の共通端子5A、5B、5C、複数の選択端子51~57及び複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73は、ICチップ1に含まれている。スイッチ回路5の複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73のうち少なくとも1つの信号経路r0は、ICチップ1に含まれる第1配線パターン部r1と、実装基板9に含まれる第2配線パターン部r2と、を含む。
 実施形態に係る高周波モジュール100によれば、スイッチ回路5での信号の損失を低減することが可能となる。より詳細には、高周波モジュール100では、少なくとも1つの信号経路r0が、ICチップ1に含まれる第1配線パターン部r1と、実装基板9に含まれる第2配線パターン部r2と、を含むことにより、ICチップ1内の配線密度を低減でき、ICチップ1内での信号経路の配線幅を大きくすることが可能となり、信号の損失を低減することが可能となる。また、高周波モジュール100では、第2配線パターン部r2の配線幅WL2を第1配線パターン部r1の配線幅WL1よりも大きくできるとともに、第2配線パターン部r2の厚さT2を配線パターン部r1の厚さT1よりも大きくできるので、信号経路r0での信号の損失を低減することが可能となる。
 また、実施形態に係る高周波モジュール100では、スイッチ回路5は、複数の選択端子51~57のうち2以上の選択端子を複数の共通端子5A、5B、5Cのうち1つの共通端子に同時接続可能である。上記2以上の選択端子は、第1選択端子と、第2選択端子と、を含む。複数の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73は、第1選択端子と上記1つの共通端子との間の第1信号経路と、第2選択端子と上記1つの共通端子との間の第2信号経路と、を含む。第1信号経路と第2信号経路との少なくとも一方が第1配線パターン部r1及び第2配線パターン部r2を含む。これにより、実施形態に係る高周波モジュール100では、第1信号経路と第2信号経路とを利用した同時通信のときに、第1信号経路と第2信号経路とのアイソレーションの向上を図れ、第1信号経路と第2信号経路との間での信号の漏洩を低減することが可能となる。
 また、実施形態に係る高周波モジュール100では、ICチップ1が、スイッチ回路5である第1スイッチ回路5とは別の第2スイッチ回路6を更に含む。高周波モジュール100では、第1スイッチ回路5と第2スイッチ回路6とを接続する信号経路r67の少なくとも一部は、実装基板9における配線パターン部67を含む。これにより、実施形態に係る高周波モジュール100は、第1スイッチ回路5と第2スイッチ回路6とを接続する信号経路r67での信号の損失を低減することが可能となる。また、実施形態に係る高周波モジュール100では、第1スイッチ回路5の信号経路r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63と、信号経路r71~r73に接続された第2スイッチ回路6との間での信号の干渉を抑制することが可能となる。
 (3.2)通信装置
 実施形態に係る通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。信号処理回路301は、高周波モジュール100に接続されている。
 実施形態に係る通信装置300によれば、スイッチ回路5での信号の損失を低減することが可能となる。
 (4)高周波モジュールの変形例
 上記の実施形態は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
 (4.1)変形例1
 実施形態の変形例1に係る高周波モジュール100では、スイッチ回路5が、図10に示すように、3つの共通端子5A、5B、5Cと、3つ選択端子51~53と、複数(9つ)の信号経路r0と、を有する。複数の選択端子51~53は、複数の共通端子5A、5B、5Cに接続可能である。複数の信号経路r0は、複数の共通端子5A、5B、5Cと複数の選択端子51~53との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子Q0を含む。変形例1に係る高周波モジュール100では、複数の信号経路r0のうち実装基板9の厚さ方向D1(図3参照)からの平面視で交差する2つの信号経路r0を第1信号経路r01及び第2信号経路r02とするとき、第1信号経路r01において第2信号経路r02に重なる第1部分(図10の例では、信号経路r0に含まれるスイッチング素子Q0)がICチップ1に含まれ、第2信号経路r02において第1信号経路r01に重なる第2部分(第2配線パターン部r2の一部)が実装基板9に含まれている。これにより、変形例1に係る高周波モジュール100では、第1信号経路r01と第2信号経路r02とのアイソレーションの向上を図ることが可能となり、第1信号経路r01及び第2信号経路r02それぞれでの信号の損失を低減することが可能となる。
 (4.2)変形例2
 変形例2に係る高周波モジュール100の回路構成については、実施形態1に係る高周波モジュール100(図1及び6参照)と同じなので、図示及び説明を省略する。変形例2に係る高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1(図3参照)からの平面視で共通端子5A、5B、5C(図1参照)と選択端子(51~57)との直線距離が最大となる信号経路r0が第2配線パターン部r2を含む。図11では、変形例2に係る高周波モジュール100に関して、実装基板9の厚さ方向D1(図3参照)からの平面視でのICチップ1の1つの第1領域E1及び3つの第2領域E2を模式的に示してある。第1領域E1は、共通端子5A、5B、5C及び複数のスイッチング素子Q1、Q2、Q3(図1参照)が配置される領域である。3つの第2領域E2の各々は、複数の選択端子51~57のうち1以上の選択端子と、複数のシリーズスイッチング素子(図1における、スイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)及び複数のシャントスイッチング素子(図1における、スイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70)のペアのうち1以上のシリーズスイッチング素子及びシャントスイッチング素子のペアと、が配置される領域である。図11に図示した第2配線パターン部r2は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で共通端子5A、5B、5C(図1参照)と選択端子51~57(図1参照)との直線距離が最大となる信号経路r0の第2配線パターン部r2である。
 (4.3)変形例3
 変形例3に係る高周波モジュール100の回路構成については、実施形態1に係る高周波モジュール100(図1及び6参照)と同じなので、図示及び説明を省略する。また、図12では、変形例3に係る高周波モジュール100に関して、実装基板9の厚さ方向D1(図3参照)からの平面視でのICチップ1の1つの第1領域E1及び3つの第2領域E2を模式的に示してある。第1領域E1は、共通端子5A、5B、5C及び複数のスイッチング素子Q1、Q2、Q3が配置される領域である。3つの第2領域E2の各々は、複数の選択端子51~57のうち1以上の選択端子と、複数のシリーズスイッチング素子(スイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)及び複数のシャントスイッチング素子(スイッチング素子Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70)のペアのうち1以上のシリーズスイッチング素子及びシャントスイッチング素子のペアと、が配置される領域である。図12に図示した2つの第2配線パターン部r2の1つは、複数のシリーズスイッチング素子のうち3つの共通端子5A、5B、5Cの1つの共通端子に同時接続可能な第1選択端子に接続された第1スイッチング素子と上記1つの共通端子との間の信号経路(第1信号経路)における第2配線パターン部r2である。図12に図示した2つの第2配線パターン部r2の残りの1つは、複数のシリーズスイッチング素子のうち上記1つの共通端子に同時接続可能な第2選択端子に接続された第2スイッチング素子と上記1つの共通端子との間の信号経路(第2信号経路)における第2配線パターン部r2である。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視でICチップ1において第1スイッチング素子が形成されている領域(第2領域E2)と第2スイッチング素子が形成されている領域(第2領域E2)とが隣接している。第1信号経路における、上記1つの共通端子と第1スイッチング素子との間の部分と、第2信号経路における、上記1つの共通端子と第2スイッチング素子との間の部分と、の両方が第2配線パターン部r2を含むが、少なくとも一方が第2配線パターン部r2を含んでいればよい。
 (4.4)変形例4
 以下、変形例4に係る高周波モジュール100について、図13に基づいて説明する。変形例4に係る高周波モジュール100に関し、実施形態1に係る高周波モジュール100(図1~9参照)と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 変形例4に係る高周波モジュール100は、実装基板9の第2主面92に配置されている複数の外部接続端子8のうち一部の外部接続端子8が実装基板9の厚さ方向D1(図9参照)からの平面視でICチップ1の外縁に沿って位置している点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。なお、図13には、複数の外部接続端子8に関して、上記一部の外部接続端子8のみ図示されている。
 変形例4に係る高周波モジュール100では、2つの第3配線パターン部r3のうち1つの第3配線パターン部r3の一部(例えば、第3配線パターン部r3の第1端と第2端との間の部分)が、実装基板9の厚さ方向D1の平面視でICチップ1に重ならない。これにより、変形例4に係る高周波モジュール100は、ICチップ1の配線部W1と第3配線パターン部r3との結合を抑制することが可能となり、スイッチ回路5(図7参照)での信号の損失を、より低減することが可能となる。また、変形例4に係る高周波モジュール100は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視でのICチップ1の面積を小さくする、又は、ICチップ1の多層構造部15(図4参照)の層数を減らすことも可能となる。また、変形例4に係る高周波モジュール100は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第3配線パターン部r3の一部が複数の外部接続端子8のうち所定数(図13の例では、3つ)の外部接続端子8に重なる。なお、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で第3配線パターン部r3の一部が重なる外部接続端子8は、グランド端子85であるのが好ましい。
 (4.5)変形例5
 以下、変形例5に係る高周波モジュール100について、図14に基づいて説明する。変形例5に係る高周波モジュール100に関し、実施形態1に係る高周波モジュール100(図1~9参照)と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 変形例5に係る高周波モジュール100は、実装基板9の第2主面92に配置されている複数の外部接続端子8のうち一部の外部接続端子8が実装基板9の厚さ方向D1(図9参照)からの平面視でICチップ1の外縁に沿って位置している点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。なお、図14には、複数の外部接続端子8に関して、上記一部の外部接続端子8のみ図示されている。
 変形例5に係る高周波モジュール100では、複数の第2配線パターン部r2のうち1つの第2配線パターン部r2の一部(例えば、第2配線パターン部r2の第1端と第2端との間の部分)が、実装基板9の厚さ方向D1の平面視でICチップ1に重ならない。これにより、変形例5に係る高周波モジュール100は、ICチップ1の配線部W1と第2配線パターン部r2との結合を抑制することが可能となり、スイッチ回路5(図7参照)での信号の損失を、より低減することが可能となる。また、変形例5に係る高周波モジュール100は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視でのICチップ1の面積を小さくする、又は、ICチップ1の多層構造部15(図3参照)の層数を減らすことも可能となる。なお、変形例5に係る高周波モジュール100は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第2配線パターン部r2の一部が複数の外部接続端子8が配置されている領域に重なる。また、変形例5に係る高周波モジュール100は、複数の第2配線パターン部r2のうち、実装基板9の厚さ方向D1の平面視でICチップ1に重ならない部分を有する第2配線パターン部r2を少なくとも有していればよい。
 (4.6)その他の変形例
 高周波モジュール100において、ICチップ1が制御回路17を備えずに、第1スイッチ回路5及び第2スイッチ回路6が信号処理回路301によって直接制御されるように構成されていてもよい。
 また、高周波モジュール100において、複数のスイッチング素子Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73の各々は、FETに限らず、例えば、バイポーラトランジスタ又はCMOSスイッチであってもよい。
 また、複数のフィルタF0の各々は、表面弾性波フィルタである場合に限らず、バルク弾性波フィルタであってもよい。バルク弾性波フィルタでは、複数の弾性波共振子の各々が、BAW共振子である。BAW共振子は、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)又はSMR(Solidly Mounted Resonator)である。また、複数のフィルタF0の各々は、例えば、弾性境界波、板波等を利用する弾性波フィルタであってもよい。
 複数の外部接続端子8の各々は、柱状電極である場合に限らず、例えば、ボール状のバンプであってもよい。複数の外部接続端子8の各々を構成するボール状のバンプの材料は、例えば、金、銅、はんだ等である。
 また、高周波モジュール100は、複数の第2回路部品が実装基板9の第2主面92ではなく第1主面91に実装された構成であり、第2樹脂層210を備えていない構成であってもよい。この場合、実装基板9においてICチップ1が配置される主面90は、実装基板9の第1主面91である。
 高周波モジュール100の回路構成は、上述の図6の例に限らない。また、高周波モジュール100は、少なくとも実装基板9とICチップ1とを備えていればよい。
 また、高周波モジュール100は、送信系電子部品と受信系電子部品とを備える送受信モジュールに限らず、送信系電子部品と受信系電子部品とのうち送信系電子部品のみを備える送信モジュールであってもよいし、送信系電子部品と受信系電子部品とのうち受信系電子部品のみを備える受信モジュールであってもよい。
 (態様)
 本明細書には、以下の態様が開示されている。
 第1の態様に係る高周波モジュール(100)は、実装基板(9)と、ICチップ(1)と、を備える。実装基板(9)は、主面(90)を有する。ICチップ(1)は、実装基板(9)の主面(90)に配置されている。ICチップ(1)は、スイッチ回路(5)の一部を含む。スイッチ回路(5)は、複数の共通端子(5A、5B、5C)と、複数の選択端子(51~57)と、複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)と、を有する。複数の選択端子(51~57)は、複数の共通端子(5A、5B、5C)に接続可能である。複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)は、複数の共通端子(5A、5B、5C)と複数の選択端子(51~57)との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子(Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)を含む。スイッチ回路(5)の複数の共通端子(5A、5B、5C)、複数の選択端子(51~57)及び複数のスイッチング素子(Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)は、ICチップ(1)に含まれている。スイッチ回路(5)の複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)のうち少なくとも1つの信号経路(r0)は、ICチップ(1)に含まれる第1配線パターン部(r1)と、実装基板(9)に含まれる第2配線パターン部(r2)と、を含む。
 第1の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、スイッチ回路(5)での信号の損失を低減することが可能となる。
 第2の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1の態様において、スイッチ回路(5)は、複数の選択端子(51~57)のうち2以上の選択端子を複数の共通端子(5A、5B、5C)のうち1つの共通端子に同時接続可能である。上記2以上の選択端子は、第1選択端子と、第2選択端子と、を含む。複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)は、第1選択端子と上記1つの共通端子との間の第1信号経路と、第2選択端子と上記1つの共通端子との間の第2信号経路と、を含む。第1信号経路と第2信号経路との少なくとも一方が第1配線パターン部(r1)及び第2配線パターン部(r2)を含む。
 第2の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、第1信号経路と第2信号経路とのアイソレーションの向上を図れ、第1信号経路と第2信号経路との間での信号の漏洩を低減することが可能となる。
 第3の態様に係る高周波モジュール(100)では、第2の態様において、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で第1信号経路と第2信号経路とが交差している。第1信号経路において第2信号経路に重なる第1部分がICチップ(1)に含まれ、第2信号経路において第1信号経路に重なる第2部分が実装基板(9)に含まれている。
 第3の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で第1信号経路と第2信号経路とが交差している場合に第1信号経路と第2信号経路とのアイソレーションの向上を図れ、第1信号経路と第2信号経路との間での信号の漏洩を低減することが可能となる。
 第4の態様に係る高周波モジュール(100)では、第2の態様において、複数のスイッチング素子(Q11~Q13、Q21~Q23、Q31~Q33、Q41~Q43、Q51~Q53、Q61~Q63、Q71~Q73)は、第1選択端子に接続された第1スイッチング素子と、第2選択端子に接続された第2スイッチング素子と、を含む。実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視でICチップ(1)において第1スイッチング素子が形成されている領域と第2スイッチング素子が形成されている領域とが隣接している。第1信号経路における、上記1つの共通端子と第1スイッチング素子との間の部分と、第2信号経路における、上記1つの共通端子と第2スイッチング素子との間の部分と、の一方が第2配線パターン部(r2)を含む。
 第4の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、第1信号経路と第2信号経路とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
 第5の態様に係る高周波モジュール(100)は、第1~4の態様のいずれか一つにおいて、複数の導電性バンプ(19)を更に備える。複数の導電性バンプ(19)は、実装基板(9)とICチップ(1)の複数の共通端子(5A、5B、5C)及び複数の選択端子(51~57)とを接続している。実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で、第2配線パターン部(r2)はICチップ(1)に重なる。
 第5の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視でスイッチ回路(5)の専有面積がICチップ(1)の面積よりも大きくなるのを抑制することが可能となる。
 第6の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1の態様において、上記少なくとも1つの信号経路(r0)は、複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)のうち実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で共通端子(5A、5B、5C)と選択端子(51~57)との直線距離が最大となる信号経路である。
 第6の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、複数の信号経路(r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)のうち実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で共通端子(5A、5B、5C)と選択端子(51~57)との直線距離が最大となる信号経路での損失を低減することが可能となる。
 第7の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1の態様において、複数の共通端子(5A、5B、5C)は、3つの共通端子(5A、5B、5C)を含む。複数の選択端子(51~57)は、3つ以上の選択端子(51~57)を含む。複数の信号経路(r0;r11~r13、r21~r23、r31~r33、r41~r43、r51~r53、r61~r63、r71~r73)のうち実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で交差する2つの信号経路(r0)を第1信号経路(r01)及び第2信号経路(r02)とするとき、第1信号経路(r01)において第2信号経路(r02)に重なる第1部分(第1配線パターン部r1)がICチップ(1)に含まれ、第2信号経路(r02)において第1信号経路(r01)に重なる第2部分(第2配線パターン部r2)が実装基板(9)に含まれている。
 第7の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、第1信号経路(r01)と第2信号経路(r02)とのアイソレーションの向上を図れる。
 第8の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1~7の態様のいずれか一つにおいて、ICチップ(1)は、スイッチ回路(5)である第1スイッチ回路(5)とは別の第2スイッチ回路(6)を更に含む。第1スイッチ回路(5)と第2スイッチ回路(6)とを接続する信号経路(r67)の少なくとも一部は、実装基板(9)における配線パターン部(67)を含む。
 第8の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、第1スイッチ回路(5)と第2スイッチ回路(6)とを接続する信号経路(r67)での信号の損失を低減することが可能となる。また、第8の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1スイッチ回路(5)と第2スイッチ回路(6)との間での信号の干渉を抑制することが可能となる。
 第9の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1~8の態様のいずれか一つにおいて、第2配線パターン部(r2)におけるICチップ(1)側の面(Sr2)は、実装基板(9)の主面(90)の一部である。
 第10の態様に係る高周波モジュール(100)では、第1~9の態様のいずれか一つにおいて、スイッチ回路(5)は、実装基板(9)に含まれる第3配線パターン部(r3)を含む。第3配線パターン部(r3)とICチップ(1)における実装基板(9)側の主面(90)との間の距離(H3)は、実装基板(9)の主面(90)とICチップ(1)における実装基板(9)側の主面(1A)との間の距離(H1)よりも長い。
 第10の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、例えば、ICチップ(1)内の電源配線部と第3配線パターン部(r3)とのアイソレーションを向上させることが可能となる。
 第11の態様に係る高周波モジュール(100)では、第10の態様において、実装基板(9)は、実装基板(9)の主面(90)である第2主面(92)に対向する第1主面(91)を有する。高周波モジュール(100)は、実装基板(9)の第1主面(91)に配置されている電子部品(受信系電子部品4、送信系電子部品、インダクタL1、L3、L7、L11、L25、L30、L32、L34、L39、L40、L41、L53、L66)と、実装基板(9)の第2主面(92)に配置されている複数の外部接続端子(8)と、を更に備える。第2配線パターン部(r2)と第3配線パターン部(r3)との少なくとも一方の一部は、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視でICチップ(1)に重ならない。
 第11の態様に係る高周波モジュール(100)によれば、スイッチ回路(5)での信号の損失を、より低減することが可能となる。
 第12の態様に係る通信装置(300)は、第1~11の態様のいずれか一つの高周波モジュール(100)と、信号処理回路(301)と、を備える。信号処理回路(301)は、高周波モジュール(100)に接続されている。
 第12の態様に係る通信装置(300)によれば、スイッチ回路(5)での信号の損失を低減することが可能となる。
 1 ICチップ
 1A 主面
 10 シリコン基板
 10A 第1主面
 10B 第2主面
 11~13 共通配線部
 15 多層構造部
 16 パッド電極
 17 制御回路
 18 回路部
 19 導電性バンプ
 21~23 第1配線部
 31~37 第2配線部
 38、39 配線部
 2、2A、2B、2C、2D 第1スイッチ
 3、3A、3B、3C、3D 第2スイッチ
 4 受信系電子部品
 41~46 受信系電子部品
 401 主面
 402 主面
 403 外周面
 5 スイッチ回路(第1スイッチ回路)
 5A、5B、5C 共通端子
 51~57 選択端子
 6 第2スイッチ回路
 60 共通端子
 61、62 選択端子
 67 配線パターン部
 7 スイッチ
 8 外部接続端子
 81A、81B、81C アンテナ端子
 82A、82B、82C、82D 信号出力端子
 83A、83B 信号入力端子
 84 制御端子
 85 グランド端子
 9 実装基板
 90 主面
 91 第1主面
 92 第2主面
 93 外周面
 100 高周波モジュール
 101 受信回路
 102 送信回路
 110 ICチップ
 111、112 増幅器
 113A、113B パワーアンプ
 114 スイッチ
 117 スイッチ
 121、122 トランス
 131 132 出力整合回路
 161、162、163 整合回路
 190 樹脂層(第1樹脂層)
 191 主面
 193 外周面
 200 金属電極層
 210 第2樹脂層
 213 外周面
 300 通信装置
 301 信号処理回路
 302 RF信号処理回路
 303 ベースバンド信号処理回路
 AN1、AN2、AN3 アンテナ
 A1、A3、A7、A11、A25、A30、A32、A34、A39、A40、A41、A53、A66 ローノイズアンプ
 D1 厚さ方向
 L1、L3、L7、L11、L25、L30、L32、L34、L39、L40、L41、L53、L66 インダクタ
 F0 フィルタ
 F1R、F3、F7、F11、F25、F30、F32、F34、F39、F40、F41R、F53、F66R 受信フィルタ
 F1T、F3T、F41T、F66T 送信フィルタ
 H1 距離
 H3 距離
 Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60、Q70 スイッチング素子(シャントスイッチング素子)
 Q11~Q13 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q21~Q23 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q31~Q33 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q41~Q43 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q51~Q53 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q61~Q63 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q71~Q73 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q80 スイッチング素子(シャントスイッチング素子)
 Q81 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 Q90 スイッチング素子(シャントスイッチング素子)
 Q91 スイッチング素子(シリーズスイッチング素子)
 r0 信号経路
 r01 第1信号経路
 r02 第2信号経路
 r1 第1配線パターン部
 r2 第2配線パターン部
 r3 第3配線パターン部
 r11~r13 信号経路
 r21~r23 信号経路
 r31~r33 信号経路
 r41~43 信号経路
 r51~53 信号経路
 r51~53 信号経路
 r61~63 信号経路
 r67 信号経路
 r71~73 信号経路
 Sr2 面
 T1 厚さ
 T2 厚さ
 T3 厚さ
 W1 配線部
 WL1 配線幅
 WL2 配線幅
 WL3 配線幅
 

Claims (12)

  1.  主面を有する実装基板と、
     前記実装基板の前記主面に配置されており、スイッチ回路の一部を含むICチップと、を備え、
     前記スイッチ回路は、
      複数の共通端子と、
      前記複数の共通端子に接続可能な複数の選択端子と、
      前記複数の共通端子と前記複数の選択端子との間の接続形態を切り替える複数のスイッチング素子を含む複数の信号経路と、を有し、
     前記スイッチ回路の前記複数の共通端子、前記複数の選択端子及び前記複数のスイッチング素子は、前記ICチップに含まれており、
     前記スイッチ回路の前記複数の信号経路のうち少なくとも1つの信号経路は、
      前記ICチップに含まれる第1配線パターン部と、
      前記実装基板に含まれる第2配線パターン部と、を含む、
     高周波モジュール。
  2.  前記スイッチ回路は、
      前記複数の選択端子のうち2以上の選択端子を前記複数の共通端子のうち1つの共通端子に同時接続可能であり、
     前記2以上の選択端子は、
      第1選択端子と、
      第2選択端子と、を含み、
     前記複数の信号経路は、
      前記第1選択端子と前記1つの共通端子との間の第1信号経路と、
      前記第2選択端子と前記1つの共通端子との間の第2信号経路と、を含み、
      前記第1信号経路と前記第2信号経路との少なくとも一方が前記第1配線パターン部及び前記第2配線パターン部を含む、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  3.  前記実装基板の厚さ方向からの平面視で前記第1信号経路と前記第2信号経路とが交差しており、
     前記第1信号経路において前記第2信号経路に重なる第1部分が前記ICチップに含まれ、前記第2信号経路において前記第1信号経路に重なる第2部分が前記実装基板に含まれている、
     請求項2に記載の高周波モジュール。
  4.  前記複数のスイッチング素子は、
      前記第1選択端子に接続された第1スイッチング素子と、
      前記第2選択端子に接続された第2スイッチング素子と、を含み、
     前記実装基板の厚さ方向からの平面視で前記ICチップにおいて前記第1スイッチング素子が形成されている領域と前記第2スイッチング素子が形成されている領域とが隣接しており、
     前記第1信号経路における、前記1つの共通端子と前記第1スイッチング素子との間の部分と、前記第2信号経路における、前記1つの共通端子と前記第2スイッチング素子との間の部分と、の一方が前記第2配線パターン部を含む、
     請求項2に記載の高周波モジュール。
  5.  前記実装基板と前記ICチップの前記複数の共通端子及び前記複数の選択端子とを接続している複数の導電性バンプを更に備え、
     前記実装基板の厚さ方向からの平面視で、前記第2配線パターン部は前記ICチップに重なる、
     請求項1~4のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  6.  前記少なくとも1つの信号経路は、
      前記複数の信号経路のうち前記実装基板の厚さ方向からの平面視で前記共通端子と前記選択端子との直線距離が最大となる信号経路である、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  7.  前記複数の共通端子は、3つの共通端子を含み、
     前記複数の選択端子は、3つ以上の選択端子を含み、
     前記複数の信号経路のうち前記実装基板の厚さ方向からの平面視で交差する2つの信号経路を第1信号経路及び第2信号経路とするとき、
     前記第1信号経路において前記第2信号経路に重なる第1部分がICチップに含まれ、前記第2信号経路において前記第1信号経路に重なる第2部分が前記実装基板に含まれている、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  8.  前記ICチップは、
      前記スイッチ回路である第1スイッチ回路とは別の第2スイッチ回路を更に含み、
      前記第1スイッチ回路と前記第2スイッチ回路とを接続する信号経路の少なくとも一部は、前記実装基板における配線パターン部を含む、
     請求項1~7のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  9.  前記第2配線パターン部における前記ICチップ側の面は、前記実装基板の前記主面の一部である、
     請求項1~8のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  10.  前記スイッチ回路は、前記実装基板に含まれる第3配線パターン部を含み、
     前記第3配線パターン部と前記ICチップにおける前記実装基板側の主面との間の距離は、前記実装基板の前記主面と前記ICチップにおける前記実装基板側の主面との間の距離よりも長い、
     請求項1~9のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  11.  前記実装基板は、前記実装基板の前記主面である第2主面に対向する第1主面を有し、
     前記高周波モジュールは、
      前記実装基板の前記第1主面に配置されている電子部品と、
      前記実装基板の前記第2主面に配置されている複数の外部接続端子と、を更に備え、
     前記第2配線パターン部と前記第3配線パターン部との少なくとも一方の一部は、前記実装基板の厚さ方向からの平面視で前記ICチップに重ならない、
     請求項10に記載の高周波モジュール。
  12.  請求項1~11のいずれか一項に記載の高周波モジュールと、
     前記高周波モジュールに接続されている信号処理回路と、を備える、
     通信装置。
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